JP2001297463A - 情報記録再生装置 - Google Patents

情報記録再生装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 近視野光の生成を行うための光を近視野光ヘ
ッドに供給し、十分大きな近視野光を微小開口近傍に生
成し、超高分解能の再生記録・高速記録再生、高ＳＮ比
化を実現する情報記録再生装置を提供すること。 【解決手段】 記録媒体１０７と、光源１０１と、サス
ペンションアーム１０９と、サスペンションアーム１０
９に固定されたフレクシャー１１０と、フレクシャー１
１０に固定された記録媒体１０７側に微小開口を有する
近視野光ヘッド３０１と、光源１０１からの光束を近視
野光ヘッド３０１へ導く導光構造１０３と、受光部１０
８とから構成される情報記録再生装置において、微小開
口と微小開口に光を導く光導波路が近視野光ヘッドの同
じ側にあり、導光構造がサスペンションアームに固定さ
れた光伝搬部と、近視野光ヘッドに固定された光結合部
と、光伝搬部と光結合部とを光学的に接続する光接続部
とから構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、近視野光を発生さ
せる微小開口を有する近視野光発生素子を近視野光ヘッ
ドとして利用し、高密度な情報の記録・再生を行う情報
記録再生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近視野光発生素子は、情報記録再生装置
の近視野光ヘッドや、サンプルなどの光学的な観察を行
うプローブとして現在利用あるいは検討が始められた。
【０００３】光を用いた情報記録再生装置は、大容量化
・小型化の方向へと進化しており、そのため記録ビット
の高密度化が要求されている。その対策として、青紫色
半導体レーザやSIL（Solid Immersion Lens）を用い
た研究がおこなわれているが、これらの技術では光の回
折限界の問題により、現在の記録密度の数倍程度の向上
しか望めない。これに対し、光の回折限界を超えた微小
領域の光学情報を扱う技術として近視野光を利用した情
報記録再生方法が期待されている。
【０００４】この技術では、微小領域と近視野光発生素
子である近視野光ヘッドに形成した光の波長以下サイズ
の光学的開口との相互作用により発生する近視野光を利
用する。これにより、従来の光学系において限界とされ
ていた光の波長以下となる領域における光学情報を扱う
ことが可能となる。光学情報の再生方法としては、記録
媒体表面に光を照射することにより微小マークに局在す
る多くの近視野光を微小開口との相互作用により散乱光
に変換する（コレクションモード）方法、あるいは微小
開口より生成される近視野光を記録媒体表面に照射し、
記録媒体表面の情報が記録された微小な凹凸や屈折率等
の光学定数の変化との相互作用により変換される散乱光
を別途設けた受光素子で検出する（イルミネーションモ
ード）方法で可能である。記録は、微小開口より生成さ
れる近視野光を記録媒体表面に照射させ、メディア上の
微小な領域の形状を変化させたり（ヒートモード記
録）、微小な領域の屈折率あるいは透過率を変化させる
（フォトンモード記録）ことにより行う。これら、光の
回折限界を超えた光学的微小開口を有する近視野光ヘッ
ドを用いることにより、従来の光情報記録再生装置を超
える記録ビットの高密度化が達成される。
【０００５】こうしたなか、一般に近視野光を利用した
記録再生装置の構成は、磁気ディスク装置とほぼ同様で
あり、磁気ヘッドに代わり、近視野光ヘッドを用いる。
サスペンションアームの先端に取り付けた光学的微小開
口をもつ近視野光ヘッドをフライングヘッド技術により
一定の高さに浮上させ、ディスク上に存在する任意のデ
ータマークへアクセスする。高速に回転するディスクに
近視野光ヘッドを追従させるため、ディスクのうねりに
対応して姿勢を安定させるフレクシャー機能をもたせて
いる。
【０００６】このような構成の近視野光ヘッドにおい
て、開口に光を供給する方法として、光ファイバや光導
波路を上方あるいは横方向より近視野光ヘッドに接続し
たり、近視野光ヘッドの上方に設けたレーザーからの光
束を直接近視野光ヘッドに照射する手段をとっていた。
【０００７】また、近視野光顕微鏡に代表される光ファ
イバを加工し開口部が先鋭化された光ファイバプローブ
やカンチレバー型光プローブを用いて、走査型プローブ
顕微鏡におけるプローブとサンプル表面との間に生じる
トンネル電流や原子間力などの相互作用によりメディア
との相対位置を保ちながら、情報の記録再生、観察を実
現している。
【０００８】また、シリコン基板に異方性エッチングに
より逆ピラミッド構造の開口を形成した平面プローブの
使用が提案されている。上方あるいは横方向より光を入
射し、逆錐状のピラミッド内での反射によりその頂点に
存在する開口より近視野光を発生させている。このプロ
ーブは上述した先鋭化された先端をもたないため、高速
記録再生や高速な観察に適した光ヘッドやプローブなど
の近視野光ヘッドとして使用できる。このような近視野
光ヘッドは、基板上面と基板下面の加工に２枚以上のフ
ォトマスクを用い、基板の両面で精密にアライメント
し、フォトリソグラフィー技術により近視野光ヘッド構
造を作製していた。しかしながら、フォトマスクの超高
精度な両面アライメントは難しく、また、基板の厚さの
誤差や基板の格子欠陥などにより、微小開口の形状を制
御することは非常に困難である。そこで、微小開口や、
微小開口まで光を導くための光導波路を基板の片面にの
み作製した近視野光ヘッドが考案されている。また、こ
のような構造にすることでさらなる小型化・薄型化が可
能となる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような近視野光ヘッド構造では微小開口と、微小開口ま
で光を導くための光導波路が基板の同じ側で記録媒体側
に面して作製されており、記録媒体と微小開口との距離
を数十nm程度にする必要がある近視野光を利用した情報
記録再生装置においては、光ファイバー等を直接近視野
光ヘッド上の光導波路に接続するためのスペースがな
く、近視野光ヘッドに外部より光を入射することができ
ず、近視野光ヘッドを用いた近視野光の生成を行うため
の光を近視野光ヘッドに供給することが困難であるとい
う課題があった。
【００１０】従って本発明は、微小開口と微小開口に光
を導く光導波路が同じ側に作製されている近視野光ヘッ
ドを用いた情報記録再生装置において、近視野光の生成
を行うための光を近視野光ヘッドに供給し、微小開口よ
り十分大きな近視野光を生成し、超高分解能の再生記録
・高速記録再生、高ＳＮ比化を実現する情報記録再生装
置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】そこで、上記の目的を達
成するために、本発明に係る第１の情報記録再生装置
は、記録媒体と、光源と、サスペンションアームと、前
記サスペンションアームに固定されたフレクシャーと、
前記フレクシャーに固定され、前記記録媒体側に微小開
口を有する近視野光ヘッドと、前記光源からの光束を前
記近視野光ヘッドへ導く導光構造と、受光部と、から構
成されている近視野光を利用した情報の記録あるいは再
生を行う情報記録再生装置において、前記微小開口と微
小開口に光を導く光導波が前記近視野光ヘッドの同じ側
にあり、前記導光構造が、前記サスペンションアームに
固定された光伝搬部と、前記近視野光ヘッドに固定され
た光結合部と、前記光伝搬部と前記光結合部とを光学的
に接続する光接続部とから構成されていることを特徴と
する。
【００１２】従って、微小開口と微小開口に光を導く光
導波路が同じ側に作製されている近視野光ヘッドを用い
た情報記録再生装置においても、光源からの光束を光伝
搬部と光接続部と光結合部により、近視野光の生成を行
うための光を近視野光ヘッドに供給することが可能とな
り、十分大きな近視野光を近視野光ヘッドの微小開口近
傍に生成し、超高分解能の再生記録・高速記録再生、高
ＳＮ比化を実現する情報記録再生装置を提供することが
できる。
【００１３】また、本発明に係る第２の情報記録再生装
置は、前記光結合部がプリズムとギャップからなること
を特徴とする。
【００１４】従って、本発明に係る第１の情報記録再生
装置の効果に加え、簡単な構成で近視野光ヘッドに光源
からの光束を供給できるので、低コスト化がはかれる。
【００１５】また、本発明に係る第３の情報記録再生装
置は、前記光結合部が回折格子からなることを特徴とす
る。
【００１６】従って、本発明に係る第１の情報記録再生
装置の効果に加え、回折格子を用いて光束を導波路に結
合するため、プリズムを用いる場合に比べ近視野光ヘッ
ド周辺の質量を軽くすることができ、より高速なトラッ
キングが可能となり、より高速なデータ再生が可能とな
る。その上、光結合部が近視野光ヘッド作製プロセスと
同様なプロセスのみで作製可能なため、大量生産可能で
あり、低コスト化が可能である。
【００１７】また、本発明に係る第４の情報記録再生装
置は、前記光結合部が少なくとも２段以上積み重ねた光
導波路を含むことを特徴とする。
【００１８】従って、上記の効果に加え、部品点数を減
らすことにより調整が容易になり、且つ調整箇所も減
り、より低コスト化が可能である。また、近視野光ヘッ
ドの質量を軽くすることができるので、さらなる高速な
トラッキングが可能となり、より高速なデータ再生が可
能となる。
【００１９】また、本発明に係る第５の情報記録再生装
置は、前記光結合部と光接続部が少なくとも１つの光導
波路からなることを特徴とする。
【００２０】従って、本発明に係る第１の情報記録再生
装置の効果に加え、近視野光ヘッド中に作製された光導
波路のクラッド部分に加工をする必要が無いため製造プ
ロセスを簡略化できる。さらに部品点数を減らすことが
できるので、プリズムや回折格子を用いた場合に比べ、
光学調整が非常に簡単になり、部品点数が減ったことに
より調整箇所も減り、より低コスト化が可能である。さ
らに近視野光ヘッドの質量を軽くすることができるの
で、さらなる高速なトラッキングが可能となり、より高
速なデータ再生が可能となる。
【００２１】また、本発明に係る第６の情報記録再生装
置は、前記光伝搬部が光導波路と、前記光源からの光束
を前記光導波路端面に集光するためのレンズからなるこ
とを特徴とする。
【００２２】従って、上記の効果に加え、光接続部へ光
束を伝播させるために、レンズと光導波路から構成され
ているので、サスペンションアームに光伝搬部を固定す
ることができ、装置の薄型化が可能である。さらに記録
媒体を重ね、それぞれの記録媒体に対応するサスペンシ
ョンアームと近視野光ヘッドを配置することが可能とな
り、大容量化を実現できる。
【００２３】また、本発明に係る第７の情報記録再生装
置は、前記光伝搬部が前記光源からの光束を平行光束に
するためのレンズからなることを特徴とする。
【００２４】従って、本発明に係る第１から第４及び第
６の情報記録再生装置の効果に加え、光伝搬部の光導波
路を省略することができるので、部品点数の削減により
さらに調整が容易になり、小型軽量な情報記録再生装置
を実現できる。
【００２５】また、本発明に係る第８の情報記録再生装
置は、前記光接続部が前記光伝搬部からの光束を前記光
結合部に入射するように光路をかえるためのミラーから
なることを特徴とする。
【００２６】従って、本発明に係る第１から第４、及び
第６と第７の情報記録再生装置の効果に加え、光伝搬部
からの光束を光結合部に結合するためにミラーにより折
り曲げ、近視野光ヘッドへの光束を空中伝搬を用いるこ
とができるので、フレクシャー構造が有効に働き、近視
野光ヘッドを安定に浮上させるつづけつことができる。
その上、空中伝搬の場所にはなにもない空間となるの
で、光伝搬部の質量を軽くすることができ、より軽量な
情報記録再生装置を実現できる。
【００２７】また、本発明に係る第９の情報記録再生装
置は、前記光接続部が前記光伝搬部からの光束を前記光
結合部に入射するように光路をかえるための回折格子か
らなることを特徴とする。
【００２８】従って、本発明に係る第１から第４、及び
第６から第８の情報記録再生装置の効果に加え、回折格
子を自由に設計できるので、最適な光分布の光束を光結
合部に入射することができるので、より有効に光エネル
ギーを利用することができる。
【００２９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の情報記録再生装置
について、添付の図面を参照して詳細に説明する。な
お、この実施の形態によりこの発明が限定されるもので
はない。 （実施の形態１）図１に本発明の実施の形態１に係る情
報再生装置の概略を示す。情報記録再生装置の概略をわ
かりやすくするために、サスペンションアーム１０９と
フレクシャー１１０と光結合部付き近視野光ヘッド１０
６、サスペンションアーム１１１と受光ヘッド１０８は
それぞれ分解した形で示してあるが、実際には、それぞ
れは接続され必要に応じて固定されている。
【００３０】本実施の形態に係る情報再生装置は、従来
の磁気ディスク装置と基本構成は類似であり、近視野光
を発生する微小開口（図示略）を有する光結合部付き近
視野光ヘッド１０６を記録媒体１０７の表面に数十ナノ
メートルまで近接した状態で記録媒体１０７を高速に回
転させ、光結合部付き近視野光ヘッド１０６が記録媒体
１０７と常に一定の相対配置で浮上するために、フレク
シャー１１０をサスペンションアーム１０９の先端部に
形成している。サスペンションアーム１０９はボイスコ
イルモータ（図示略）によって記録媒体１０７の半径方
向に移動可能である。ここで、光結合部付き近視野光ヘ
ッドは、記録媒体１０７に微小開口が対面するように配
置されている。
【００３１】レーザー１０１からの光束をフレクシャー
１１０近傍まで導く光伝搬部は、レンズ１０２とサスペ
ンションアーム１０９に固定された光ファイバー１０３
から構成されている。光伝搬部から光結合部付き近視野
光ヘッド１０６とを光学的に接続する光接続部は、レン
ズ１０４とミラー１０５から構成されている。
【００３２】ここで、光ファイバー１０３を用いたが、
これは、光導波路や空中光伝搬を用いてもよい。また、
必要に応じて、レーザー１０１は回路系１１２により強
度変調などをかけることもできる。
【００３３】図３に本実施の形態１に係る情報再生装置
の断面図を示す。光結合部付き近視野光ヘッドは、近視
野光ヘッド３０１と、この近視野光ヘッド３０１に固定
された光結合部であるプリズム３０２から構成されてい
る。また、受光ヘッド１０８は、微小開口で生成された
近視野光と記録媒体１０７との相互作用との結果発生す
る散乱光を効率良く受光するために、レンズ３０３と受
光素子３０４とから構成されている。
【００３４】図４は、本実施の形態１に係る情報記録再
生装置の近視野光ヘッド近傍の拡大図を示す。
【００３５】近視野光ヘッド３０１は、微小開口２１３
と微小開口２１３に光を導くための光導波路であるコア
２０８とクラッド２０７がシリコン基板の同じ側に作成
してある。このような近視野光ヘッド３０１の製造方法
について説明する。
【００３６】図２は、近視野光ヘッド３０１の製造方法
を示している。
【００３７】まずステップＳ２０１では、基板には、面
方位(100)の単結晶のシリコン基板２０１を使用する。
この基板の両面にマスク２０２、２０３となる熱酸化膜
あるいは酸化珪素膜をCVD法あるいはスパッタ法により
積層させる。マスク材としては、この他に窒化珪素ある
いは非アルカリ溶解系金属を用いても良い。リソグラフ
ィの手法を用いてこのマスク材に所望の大きさの窓を開
け、エッチングを行う所のシリコンを露出させる。
【００３８】この後ステップＳ２０２で、水酸化カリウ
ム(KOH)、あるいはテトラメチルアンモミウムハイドロ
オキサイド(TMAH)を用いて、シリコン基板２０１にウェ
ットエッチングを施すことにより段差を設け、(100)面
に対し54.7°の角度を有する(111)面である斜面を形成
し、マスク２０２、２０３を除去する。続けてこの作製
された斜面の上面に横方向から伝搬してきた光を開口方
向に供給できるようアルミニウム、銀、金等の金属膜や
誘電体多層膜からなる反射膜２０４を積層形成する。
【００３９】その後ステップＳ２０３で、この後段差の
底部に光を伝搬させるための光導波路の材料として、低
屈折率層２０５と高屈折率層２０６の酸化シリコンや窒
化シリコン等の石英系材料、ポリイミドやポリメタクリ
ル酸といった高分子等の誘電体材料を堆積させる。誘電
体材料である酸化シリコンの場合、スパッタリング法、
CVD(Chemical Vapor Deposition)法、真空蒸着法によっ
て容易に形成できる。屈折率をより大きくするには、成
膜時にゲルマニウムをドープすればよく、また屈折率を
より小さくするには、クラッド成膜時にフッ素をドープ
すればよい。
【００４０】その後ステップＳ２０４でフォトリソグラ
フィ技術とエッチングを用いて、光導波路の形状を調整
する。通常の半導体製造工程で用いられるフォトリソグ
ラフィ技術を使用して、光導波路上にエッチングを保護
するマスク材を積層してパターニングを行なう。その
後、光導波路材料をエッチングし、マスク材を除去する
ことにより、光導波路をパターニングできる。
【００４１】次にステップＳ２０５で斜面の反射層２０
４および光導波路の上面にＴＥＯＳ( Tetraethoxysilan
e : Si(OC2H5)4 )膜をCVD法にて積層形成し、コア２０
８とクラッド２０７からなる光導波路を形成する。他の
誘電体材料を用いても問題ない。
【００４２】そして、ステップＳ２０６では、段差のあ
るＴＥＯＳ膜の表面を研磨加工し、平坦化し、その上に
レジスト膜２０９を成膜する。
【００４３】ステップＳ２０７で、レジスト膜２０９を
露光し、その後、フォトリソグラフィーの技術により、
マスク２１０を作製する。ここでは図示していないが、
ＨＤＤ等で一般的に利用されているフライングヘッドと
して、この近視野光ヘッドを用いる場合には、フライン
グヘッドに必要な構造をフォトリソグラフィー技術を用
いて表面に必要な構造のマスクを作製することで可能で
ある。
【００４４】ステップＳ２０７で作製したマスク２１０
をもとに、化学エッチング法を用いてステップＳ２０８
で凸形状部２１１を作製する。
【００４５】ウェットエッチングを用いる場合は、マス
ク形状とマスク下のアンダーエッチングの速度を調整す
ることによりTEOS膜の凸形状部２１１を作製できる。こ
れは、ウェットエッチングの等方性を利用したものであ
る。アンダーエッチングの速度を調節することにより任
意のテーパ角度をもつ錘状の凸形状部２１１を形成する
ことが可能となる。フォトレジストをマスクとして使用
する場合は、TEOS膜表面粗さ、レジストの種類、コート
方法あるいはベーキング温度の調整を行いTEOS膜とレジ
ストの密着性を最適化することにより任意のテーパ角を
作製する。ウェットエッチャントとして、弗化水素酸と
弗化アンモニウムの混合液を使用する。
【００４６】また、ドライエッチングを用いる場合は、
マスクの形状が転写されながらTEOS膜のエッチングが進
行するため、マスク自体にあらかじめ凸形状をもたせて
おく必要がある。また、ドライエッチングでもスパッタ
系のエッチング法を用いる場合の作製方法はまた異な
る。あらかじめTEOS膜を柱型あるいは台形に加工する。
その後、スパッタ系エッチングを施すことにより、柱あ
るいは台形の角だけが削れていき、先端の尖った突起形
状が作製される。
【００４７】その後ステップＳ２０９で不要なマスク２
１０を除去し、表面に遮光膜２１２として金属膜を積層
形成する。光反射率の高い金、銀、アルミ等の金属膜を
真空蒸着法にて成膜する。デポレートの高い蒸着条件に
より、グレインサイズの小さい成膜が可能となる。被覆
方法として、スパッタリング法やイオンプレーティング
法を用いて成膜しても良い。その後、凸形状部２１１の
先端部の遮光膜２１２を加工し、微小開口２１３を形成
する。遮光膜２１２の成膜で、方向依存性の高い成膜条
件にて基板の斜め方向からデポすることにより、凸形状
部２１１斜面の厚みに対し、先端部での厚みが薄くなる
傾向がある。このような厚み分布をもった遮光膜２１２
をエッチングすることにより先端部に微小開口２１３を
形成することが可能となる。また、別の方法として、先
端部に微小開口２１３の大きさに相当する穴をもつマス
ク材を遮光膜２１２上面に形成し、先端部の遮光膜２１
２だけを選択的にエッチングすることにより微小開口を
作製することも可能である。この場合エッチングのマス
クとして、スピンコートすることにより先端部だけ塗布
されないで遮光膜２１２が露出された状態のフォトレジ
ストを使用したり、あるいはCVD法により先端部のみ薄
く形成された誘電体をエッチングすることにより微小開
口２１３に相当する大きさの穴が形成されたものを使用
することができる。
【００４８】また、別の微小開口作製方法として、遮光
膜２１２より硬い材料から成る表面が滑らかな平板を、
凸形状部２１１先端部の上方より遮光膜２１２に押し当
て、一定の負荷荷重を加えることにより、遮光膜２１２
先端部の形状を平板の型にあうよう平らに変化させ、下
層のTEOS膜を露出させることにより微小開口を作製して
も良い。この場合、平板で押し当てず、先端の尖った形
状のもの、あるいは球状のものを先端部に押し当てて、
遮光膜２１２をその型にはめ込んだ形状に加工すること
により微小開口２１３を作製することも可能である。そ
の後、遮光膜２１２の上面に保護膜となる誘電体膜（図
示略）を形成する。保護膜は30nm以下の厚みに形成す
る。誘電体膜の形成により、遮光膜２１２の経時的な酸
化による反射率の低下あるいは光の漏れ、あるいは媒体
との接触に起因する剥離による光漏れを抑制することが
可能となる。なお、このステップは省略できる場合もあ
る。
【００４９】ステップＳ２０１と同様な異方性エッチン
グの技術をもちいてステップＳ２１０で、テーパー部２
１４を作成し、クラッド２０７の一部をシリコン基板２
０１より露出させる。この露出させたクラッド２０７
は、必要に応じて、さらに化学的エッチング法を用いて
加工する。本実施の形態においては、クラッド２０７の
一部をエッチングし、コア２０８をさらに露出させた。
【００５０】次に、図４を用いてレーザー１０１から近
視野光ヘッド３０１の微小開口２１３近傍に近視野光を
生成する方法を説明する。
【００５１】上記に説明した製造方法により作製された
近視野光ヘッド３０１を上下反転させ、プリズム３０２
をコア２０８が露出した上に固定する。その際、露出し
たコア２０８とプリズム３０２の間に適切な高さのエア
ーギャップ４０２をもたせる。このプリズム３０２が固
定された近視野光ヘッド３０１は、フレクシャー１１０
に固定されている。
【００５２】光ファイバー１０３から出射された拡散光
束は、レンズ１０４により平行光束に変換され、ミラー
１０５により光束４０３の進行方向が曲げられ、プリズ
ム３０２の斜面に入射する。プリズム３０２の斜面に入
射された光束は、プリズム内で屈折し、プリズム底面で
反射する。このとき、プリズム３０２の底面の外側には
近視野光が存在し、これがコア２０８の導波路の伝搬モ
ードと結合し、導波路に光エネルギーが移行する。プリ
ズム３０２の中を伝搬する光の横方向伝搬速度とプリズ
ム下の導波路を伝搬する光の速度が一致するときに、プ
リズム３０２側からコア２０８の導波路に光が移動す
る。
【００５３】よって、コア２０８中を光束４０５が伝搬
していき、反射膜２０４で下方向に反射し、微小開口２
１３に光束４０６が入射され、微小開口２１３近傍に近
視野光が生成される。
【００５４】このような構成の近視野光ヘッドはコア２
０８とクラッド２０７からなる光導波路の出射端と近視
野光ヘッド３０１の微小開口２１３との光路距離を短く
できる。例えば積層する酸化珪素膜の厚みを10μｍ程度
にすることにより、その距離を10μｍ以下に設定でき
る。この結果、出射端が離れるほど大きくなる伝搬光の
ビームスポット径を小さいまま微小開口２１３に照射で
き、多くの近視野光の生成が可能となる。
【００５５】たとえば、レーザーからの光束を近視野光
ヘッドの微小開口に直接入射すると、近視野光ヘッドが
フレクシャーにより姿勢を変化したときに、入射された
光束と微小開口の位置関係がずれてしまい微小開口近傍
に生成される近視野光が急激に変化する。しかし、本実
施の形態１のようにレーザーからの光束を近視野光ヘッ
ド３０１に作製されたコア２０８、クラッド２０７から
なる光導波路にいったん入射することにより、フレクシ
ャー１１０によって近視野光ヘッド３０１が姿勢を変え
ても、微小開口と微小開口に照射される光束の位置関係
は変化せず安定した近視野光が微小開口近傍に生成され
る。
【００５６】次に、図１を用いて記録媒体１０７に記録
された情報の再生および情報の記録方法について説明す
る。サスペンションアーム１０９の先端に取り付けた光
学的微小開口をもつ光結合部付き近視野光ヘッド１０６
をフライングヘッド技術により一定の高さに浮上させ、
記録媒体１０７の上に存在する任意のデータマークへア
クセスする。高速に回転する記録媒体１０７に光結合部
付き近視野光ヘッド１０６を追従させるため、記録媒体
１０７のうねりに対応して姿勢を安定させるフレクチャ
１１０機能をもたせている。レーザー１０１から出射さ
れた光束は光伝搬部と光接続部により光結合部付き近視
野光ヘッド１０６に入射される。その後、光結合部付き
近視野光ヘッド１０６の微小開口まで導かれ、微小開口
近傍に近視野光が生成される。この近視野光と記録媒体
１０７との相互作用の結果発生した散乱光は、サスペン
ションアーム１１１に固定された受光ヘッド１０８によ
って受光されて電気信号に変換され、回路系１１２に伝
送される。これを必要に応じて増幅し、情報の再生信号
とする。また、記録媒体１０７への情報の記録は、記録
媒体１０７と微小開口を近接させながら記録媒体の所望
の位置に微小開口を有する光結合部付き近視野光ヘッド
１０６を移動させ、微小開口から近視野光を記録媒体１
０７に照射し書き込み動作を行うことで実現される。
【００５７】本実施の形態においては、近視野光を発生
させる近視野光ヘッド１０９と受光ヘッド１０８をそれ
ぞれサスペンションアームにとりつけているが、近視野
光ヘッド１０６と受光ヘッド１０８を一体化し、1つの
サスペンションアームで実施することも可能である。
【００５８】さらに、近視野光を微小開口から発生させ
て記録媒体で散乱させるイルミネーションモードを実施
したが、記録媒体表面に近視野光を発生させて、微小開
口によって散乱した光を集光するコレクションモードで
も本発明の実施は同様に行うことができる。
【００５９】記録媒体からの情報の再生や記録に近視野
光による相互作用を利用していることから、光の回折限
界を超える記録密度での記録や再生が実現される。微小
開口から発生する近視野光は、微小開口からの距離に強
く依存して減衰するが、本実施の形態におけるフレクシ
ャー構造によって近視野光ヘッドが記録媒体の動きに追
従するために、常に安定した相互作用が起き、情報の記
録・再生中常に安定した信号出力が得られる。
【００６０】従って以上説明したように、本実施の形態
に係る情報記録再生装置において、微小開口と微小開口
に光を導く光導波路が同じ側に作製されている近視野光
ヘッドを用いた情報記録再生装置においても、近視野光
の生成を行うための光を近視野光ヘッドに供給すること
が可能となり、近視野光ヘッドの微小開口より十分大き
な近視野光を生成し、超高分解能の再生記録・高速記録
再生、高ＳＮ比化を実現する情報記録再生装置を提供す
ることができる。
【００６１】また、光接続部であるミラーへ光束を伝搬
させるために、光伝搬部がレンズと光ファイバーから構
成されているので、サスペンションアームに光伝搬部を
固定することができ、装置の薄型化が可能である。さら
に記録媒体を重ね、それぞれの記録媒体に対応するサス
ペンションアームと近視野光ヘッドを配置することが可
能となり、大容量化を実現できる。
【００６２】さらに、レーザーからの光束をレンズによ
り平行光束にし、空中伝搬させることで、光接続部であ
るミラーへ光束を伝搬させる場合には、光伝搬部の光フ
ァイバーを省略することができるので、部品点数の削減
によりさらに調整が容易になり、小型軽量な情報記録再
生装置を実現できる。
【００６３】その上、光伝搬部からの光束を光結合部に
結合するために、ミラーにより折り曲げ、空中伝搬を用
いることができるので、フレクシャー構造が有効に働
き、近視野光ヘッドを安定して浮上させつづけることが
できる。さらに、空中伝搬の場所にはなにもない空間と
なるので、光伝搬部の質量を軽くすることができ、より
軽量な情報記録再生装置を実現できる。 （実施の形態２）図５に本発明の実施の形態２に係る情
報再生装置の近視野光ヘッド近傍の拡大図を示す。本実
施の形態は、実施の形態１における光結合部のプリズム
を回折格子に置き換えたものであるので、基本的構成は
実施の形態１と同じであるので、説明を一部省略あるい
は簡単にする。
【００６４】近視野光ヘッド５０１の製造方法は、実施
の形態１で説明した製造方法とほとんど同じである。本
実施の形態においては、微小開口とは異なる側の光導波
路のクラッド部分を化学的エッチング法を用いて回折格
子５０２を作製した。
【００６５】次に、近視野光ヘッド５０１の微小開口２
１３近傍に近視野光を生成する方法について説明する。
【００６６】光ファイバー１０３から出射された拡散光
束は、レンズ１０４により平行光束に変換され、ミラー
１０５により光束４０３の進行方向を曲げられ、フレク
シャー１１０に固定された近視野光ヘッド５０１に作製
された回折格子５０２に入射する。回折格子５０２に入
射された光束により、コア２０８の導波路に導波光が励
振し、コア２０８内部を伝搬する光束４０５が得られ
る。
【００６７】よって、コア２０８中を光束４０５が伝搬
していき、反射膜２０４で下方向に反射し、微小開口２
１３に光束４０６が入射され、微小開口２１３近傍に近
視野光が生成される。
【００６８】回折格子５０２による光の結合効率は、回
折格子の形状できまり、正弦波型の回折格子で５０％前
後、鋸歯状形の回折格子では１００％近くの結合効率が
得られる。
【００６９】また、本実施の形態では、クラッド部を化
学的エッチング法により加工することで、回折格子形状
を作製したが、転写等他の方法を用いて、導波路に回折
格子を作成しても良い。
【００７０】このような近視野光ヘッド５０１を用いた
情報記録再生装置の記録・再生方法については、実施の
形態１とまったく同じであるので、説明を省略する。
【００７１】従って以上説明したように、本実施の形態
２に係る情報記録再生装置は、実施の形態１に係る情報
記録再生装置の効果に加え、回折格子を用いて光束を導
波路に結合するため、プリズムを用いる場合に比べ光結
合部付き近視野光ヘッドの質量を軽くすることができ、
より高速なトラッキングが可能となり、より高速なデー
タ再生が可能となる。その上、光結合部が近視野光ヘッ
ド作製プロセスと同様なプロセスのみで作製可能なた
め、大量生産可能であり、低コスト化が可能である。 （実施の形態３）図６に本発明の実施の形態３に係る情
報再生装置の近視野光ヘッド近傍の拡大図を示す。本実
施の形態は、実施の形態２における光接続部のレンズと
ミラーを回折格子に置き換えたものであるので、基本的
構成は実施の形態２と同じであるので、説明を一部省略
あるいは簡単にする。
【００７２】光ファイバー１０３から出射された拡散光
束は、サスペンションアーム１０９に固定された回折格
子６０１により、平行光束に変換されると同時に、その
進行方向が折り曲げられ、近視野光ヘッド５０１に作製
された回折格子５０２に入射される。その後は、実施の
形態２とまったく同様にして、微小開口２１３近傍に近
視野光が生成される。
【００７３】このような回折格子６０１を用いた場合の
情報記録再生装置の記録・再生方法については、実施の
形態２とまったく同じであるので、説明を省略する。
【００７４】従って、以上説明したように、本実施の形
態３に係る情報記録再生装置は、実施の形態２に係る情
報記録再生装置の効果に加え、２つの部品（レンズとミ
ラー）の代わりに、１つの部品（回折格子）を用いて光
を導波路に結合するため、さらに近視野光ヘッドの質量
を軽くすることができ、さらなる高速なトラッキングが
可能となり、より高速なデータ再生が可能となる。その
上、部品点数が減ったことにより調整箇所も減り、より
低コスト化が可能である。
【００７５】さらに、回折格子６０１は自由に設計でき
るので、最適な光分布の光束を光結合部に入射すること
ができるので、より有効に光エネルギーを利用すること
ができる。 （実施の形態４）図７に本発明の実施の形態４に係る情
報記録再生装置の断面図を示す。本実施の形態は、図３
の実施の形態１における光結合部であるプリズムと、光
接続部であるレンズとミラーの代わりに、導波路基板７
０２と光導波路７０３に置き換えたものであるので、実
施の形態１と同じ部分については説明を一部省略あるい
は簡単にする。
【００７６】レーザー１０１から出射された光束はレン
ズ１０２によりサスペンションアーム１０９に固定され
た光ファイバー１０３に入射される。光ファイバー１０
３は、サスペンションアームに固定された光導波路基板
７０２上に作製された光導波路７０３と接続され、光フ
ァイバー１０３を伝搬した光束は光導波路７０３を伝搬
して、フレクシャー１１０に固定された近視野光ヘッド
７０１に入射される。ここで、フレクシャー１１０はサ
スペンションアーム１０９に固定されている。また光導
波路７０３は、屈折率の高いコアとコアよりも屈折率の
低いクラッドから構成されている。ここでは、クラッド
は屈折率＝１である空気とした。もちろん、屈折率が１
よりも大きなクラッドからなる光導波路を用いても良い
ことは言うまでもない。このような光導波路基板７０２
上に作製された光導波路７０３の製造方法を次に説明す
る。まず、シリコン基板の上に光を伝搬させるための光
導波路の材料として、酸化シリコンや窒化シリコン等の
石英系材料、ポリイミドやポリメタクリル酸といった高
分子等の誘電体材料を堆積させる。誘電体材料である酸
化シリコンの場合、スパッタリング法、CVD法、真空蒸
着法によって容易に形成できる。この光導波路を屈折率
の異なるコア、クラッドにより形成してもよい。コアの
屈折率をクラッドの屈折率より大きくするには、コア成
膜時にゲルマニウムをドープすればよく、またクラッド
の屈折率をコアの屈折率より小さくするには、クラッド
成膜時にフッ素をドープすればよい。このような場合、
光はコアを全反射して伝搬していくため、伝搬ロスを減
少させることができる。
【００７７】その後、フォトリソグラフィ技術とエッチ
ングを用いて、光導波路の形状を調整する。通常の半導
体製造工程で用いられるフォトリソグラフィ技術を使用
して、光導波路上にエッチングを保護するマスク材を積
層してパターニングを行なう。その後、光導波路材料を
エッチングし、マスク材を除去することにより、光導波
路をパターニングできる。その後、光導波路基板７０２
以外のシリコンをエッチングにより取り除き、光導波路
基板７０２上に作製された光導波路７０３を作製し、サ
スペンションアーム１０９に立てて固定する。ここで、
コアの周りにクラッドで取り囲むような３層構造の光導
波路を作成するには、さらに、屈折率の低い層をＴＥＯ
Ｓ膜をCVD法にて積層形成し、フォトリソグラフィー技
術を利用して光導波路の形状を調整する。また、他の誘
電体材料を用いても問題ない。
【００７８】また、近視野光ヘッド７０１は、実施の形
態１で用いた近視野ヘッドと同様に作製することができ
る。近視野光ヘッド７０１は、実施の形態１で説明した
ような、近視野光ヘッド中に作製された光導波路のクラ
ッド部分への加工が必要なく、クラッド部分は平らなま
まである。
【００７９】図８は、本発明の実施の形態４に係る情報
再生装置の近視野光ヘッド近傍の拡大図を示す。なお、
図８は、説明を容易にするために、図７におけるサスペ
ンションアーム１０９とフレクシャー１１０を省略して
いる。光導波路７０３は、近視野光ヘッド７０１中に作
製されたコア２０８とクラッド２０７からなる光導波路
に接続されている。これら２つの導波路は、一定の長さ
の領域でお互いに近接し、導波路間で伝搬する光束のエ
ネルギーを交換することできる。
【００８０】この現象の原理を以下に説明する。３層構
造の光導波路にTE0モードの光束が伝搬してくると仮定
する。簡単のためにテーパー部の影響を無視すると、２
つの導波路が接近して配置されている部分は、５層光導
波路に突然変化していると考えられる。３層光導波路か
ら５層光導波路になる場所をｚ＝０、その後５層光導波
路から３層光導波路になる場所をｚ＝Lとする。する
と、３層構造の光導波路のTE0モードは、０＜ｚ＜L区間
である５層光導波路部分において、振幅の等しいTE0モ
ードとTE1モードを励振し、この時の両モードの位相関
係は、もう１方の３層光導波路の側に電磁波が存在しな
いように決定される。５層光導波路を伝搬するTE0、TE1
両モードは位相速度が異なるために相対的な位相のずれ
を生じる。この位相ずれがｚ＝Lでπになるとすれば、
両モードの重ね合わせによる電磁界分布は、ｚ＞Lにお
ける３層光導波路のTE0モードとほとんど一致する。結
果として、導波路を伝搬してきた光束のエネルギーは、
もう１方の光導波路の導波モードに移動したことにな
り、２つの導波路間で伝搬する光束のエネルギーを交換
することができる。
【００８１】よって、光ファイバー１０３を出射した光
束８０１は、近視野光ヘッド７０１中に作製された光導
波路のコア２０８を伝搬する光束８０３となる。その
後、反射膜２０４で下方向に反射し、微小開口２１３に
光束４０６が入射され、微小開口２１３近傍に近視野光
が生成される。
【００８２】このような光導波路７０３を用いた場合の
情報記録再生装置の記録・再生方法については、実施の
形態１等とまったく同じであるので、説明を省略する。
【００８３】従って以上説明したように、本実施の形態
４に係る情報記録再生装置は、実施の形態１に係る情報
記録再生装置の効果に加え、近視野光ヘッド中に作製さ
れた光導波路のクラッド部分に加工をする必要が無いた
め製造プロセスを簡略化できる。さらに２つの部品（レ
ンズとミラー）の代わりに、１つの部品（光導波路付き
の光導波路基板）を用いて光を近視野光ヘッドに作製さ
れた導波路に結合するため、プリズムを用いた場合に比
べ、光学調整が非常に簡単になり、部品点数が減ったこ
とにより調整箇所も減り、より低コスト化が可能であ
る。さらに近視野光ヘッドの質量を軽くすることができ
るので、さらなる高速なトラッキングが可能となり、よ
り高速なデータ再生が可能となる。 （実施の形態５）図９に本発明の実施の形態５に係る情
報再生装置の近視野光ヘッド近傍の拡大図を示す。本実
施の形態は、実施の形態４における光ファイバーと光導
波路付きの光導波路基板を１つの多層光導波路に置き換
えたものであり、基本的構成は実施の形態４と同じであ
るので、説明を一部省略あるいは簡単にする。図８の実
施の形態４の場合と同様に、図９においても説明を容易
にするためにサスペンションアームとフレクシャーを省
略している。
【００８４】多層光導波路９０２中に作製されているコ
ア９０３は、フレクシャーに固定されている近視野光ヘ
ッド９０１の近傍まで光源であるレーザーから出射され
た光束を伝搬させる。その後、コア９０４，９０５，９
０６，９０７を階段状に配置し、その間をコアよりも屈
折率の低いクラッド９０８で覆っている。このような多
層光導波路は、実施の形態４で説明した光導波路の製造
方法と同様な方法により作製可能である。
【００８５】このような多層光導波路９０２は、サスペ
ンションアーム（図示略）に固定されている。レーザー
から出射された光束は、レンズにより多層光導波路９０
２の光導波路のコア９０３に入射される。コア９０３を
伝搬した光束は、実施の形態４で説明したように、一定
の長さの領域でお互いに近接し配置された導波路に光束
のエネルギーが結合され、コア９０４に伝搬光が得られ
る。その後つぎつぎと、コア９０５、コア９０６、コア
９０７へと光束が移り、最終的に、実施の形態４とまっ
たく同様にして近視野光ヘッド９０１のコア２０８とク
ラッド２０７からなる光導波路を伝搬する光束となる。
その後、実施の形態４と同様にして、微小開口２１３近
傍において近視野光が生成される。
【００８６】このような多層光導波路９０２を用いた場
合の情報記録再生装置の記録・再生方法については、実
施の形態１等とまったく同じであるので、説明を省略す
る。
【００８７】従って以上説明したように、本実施の形態
５に係る情報記録再生装置は、実施の形態４に係る情報
記録再生装置の効果に加え、２つの部品（光ファイバー
と光導波路付き光導波路基板）の代わりに１つの部品
（多層光導波路）を用いて光近視野光ヘッド中に作製さ
れた導波路に結合するため、さらに光学調整が非常に簡
単になり、さらに部品点数が減ったことにより調整箇所
も減り、より低コスト化が可能である。また、近視野光
ヘッドの質量を軽くすることができるので、さらなる高
速なトラッキングが可能となり、より高速なデータ再生
が可能となる。
【００８８】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る第１の
情報再生記録装置によれば、微小開口と微小開口に光を
導く光導波路が同じ側に作製されている近視野光ヘッド
を用いた情報記録再生装置においても、光源からの光束
を光伝搬部と光接続部と光結像部により、近視野光の生
成を行うための光を近視野光ヘッドに供給することが可
能となり、十分大きな近視野光を近視野光ヘッドの微小
開口近傍に生成し、超高分解能の再生記録・高速記録再
生、高ＳＮ比化を実現する情報記録再生装置を提供する
ことができる。
【００８９】以上説明したように本発明に係る第２の情
報再生記録装置によれば、本発明に係る第１の情報記録
再生装置の効果に加え、簡単な構成で近視野光ヘッドに
光源からの光束を供給できるので、低コスト化がはかれ
る。
【００９０】以上説明したように本発明に係る第３の情
報再生記録装置によれば、本発明に係る第１の情報記録
再生装置の効果に加え、回折格子を用いて光束を導波路
に結合するため、プリズムを用いる場合に比べ近視野光
ヘッド周辺の質量を軽くすることができ、より高速なト
ラッキングが可能となり、より高速なデータ再生が可能
となる。その上、光結合部が近視野光ヘッド作製プロセ
スと同様なプロセスのみで作製可能なため、大量生産可
能であり、低コスト化が可能である。
【００９１】以上説明したように本発明に係る第４の情
報再生記録装置によれば、上記の効果に加え、部品点数
を減らすことにより調整が容易になり、且つ調整箇所も
減り、より低コスト化が可能である。また、近視野光ヘ
ッドの質量を軽くすることができるので、さらなる高速
なトラッキングが可能となり、より高速なデータ再生が
可能となる。
【００９２】以上説明したように本発明に係る第５の情
報再生記録装置によれば、本発明に係る第１の情報記録
再生装置の効果に加え、近視野光ヘッド中に作製された
光導波路のクラッド部分に加工をする必要が無いため製
造プロセスを簡略化できる。さらに部品点数を減らすこ
とができるので、プリズムや回折格子を用いた場合に比
べ、光学調整が非常に簡単になり、部品点数が減ったこ
とにより調整箇所も減り、より低コスト化が可能であ
る。さらに近視野光ヘッドの質量を軽くすることができ
るので、さらなる高速なトラッキングが可能となり、よ
り高速なデータ再生が可能となる。
【００９３】以上説明したように本発明に係る第６の情
報再生記録装置によれば、上記の効果に加え、光接続部
へ光束を伝播させるために、レンズと光導波路から構成
されているので、サスペンションアームに光伝搬部を固
定することができ、装置の薄型化が可能である。さらに
記録媒体を重ね、それぞれの記録媒体に対応するサスペ
ンションアームと近視野光ヘッドを配置することが可能
となり、大容量化を実現できる。
【００９４】以上説明したように本発明に係る第７の情
報再生記録装置によれば、本発明に係る第１から第４、
及び第６の情報記録再生装置の効果に加え、光導波路を
減らすことができるので、部品点数の削減によりさらに
調整が容易になり、小型軽量な情報記録再生装置を実現
できる。
【００９５】以上説明したように本発明に係る第８の情
報再生記録装置によれば、本発明に係る第１から第４、
及び第６と第７の情報記録再生装置の効果に加え、光伝
搬部からの光束を光結合部に結合するために、ミラーに
より折り曲げ、空中伝搬を用いることができるので、フ
レクシャー構造が有効に働き、近視野光ヘッドを安定し
て浮上させつづけることができる。さらに、空中伝搬の
場所にはなにもない空間となるので、光伝搬部の質量を
軽くすることができ、より軽量な情報記録再生装置を実
現できる。
【００９６】以上説明したように本発明に係る第９の情
報再生記録装置によれば、本発明に係る第１から第４、
及び第６から第８の情報記録再生装置の効果に加え、回
折格子を自由に設計できるので、最適な光分布の光束を
光結合部に入射することができるので、より有効に光エ
ネルギーを利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１に係る情報記録再生装置
の概略を示す図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る情報再生装置の近
視野光ヘッドの作製方法を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係る情報記録再生装置
を示す断面図である。
【図４】本発明の実施の形態１に係る情報再生装置の近
視野光ヘッド近傍を示す拡大図である。
【図５】本発明の実施の形態２に係る情報再生装置の近
視野光ヘッド近傍を示す拡大図である。
【図６】本発明の実施の形態３に係る情報再生装置の近
視野光ヘッド近傍を示す拡大図である。
【図７】本発明の実施の形態４に係る情報記録再生装置
を示す断面図である。
【図８】本発明の実施の形態４に係る情報再生装置の近
視野光ヘッド近傍を示す拡大図である。
【図９】本発明の実施の形態５に係る情報再生装置の近
視野光ヘッド近傍を示す拡大図である。
【符号の説明】
１０１ レーザー １０２、１０４ レンズ １０３ 光ファイバー １０５ ミラー １０６ 光結合部付き近視野光ヘッド １０７ 記録媒体 １０８ 受光ヘッド １０９、１１１ サスペンションアーム １１０ フレクシャー １１２ 回路系 ２０１ シリコン基板 ２０２ マスク ２０３ マスク ２０４ 反射膜 ２０５ 低屈折率層 ２０６ 高屈折率層 ２０７ クラッド ２０８ コア ２０９ レジスト膜 ２１０ マスク ２１１ 凸形状部 ２１２ 遮光膜 ２１３ 微小開口 ２１４ テーパー部 ３０１ 近視野光ヘッド ３０２ プリズム ３０３ レンズ ３０４ 受光素子 ４０２ エアーギャップ ４０３、４０４、４０５、４０６ 光束 ５０１ 近視野光ヘッド ５０２ 回折格子 ６０１ 回折格子 ７０１ 近視野光ヘッド ７０２ 導波路基板 ７０３ 光導波路 ８０１、８０２、８０３ 光束 ９０１ 近視野光ヘッド ９０２ 多層光導波路 ９０３、９０４、９０５、９０６、９０７ コア ９０８ クラッド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ１１Ｂ 7/135 Ｇ１１Ｂ 7/135 Ｚ (72)発明者 光岡 靖幸 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 株 式会社エスアイアイ・アールディセンター 内 (72)発明者 前田 英孝 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 株 式会社エスアイアイ・アールディセンター 内 (72)発明者 加藤 健二 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 株 式会社エスアイアイ・アールディセンター 内 (72)発明者 新輪 隆 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 株 式会社エスアイアイ・アールディセンター 内 Ｆターム(参考） 2H037 AA04 BA12 BA23 BA25 CA31 CA33 CA38 DA06 5D119 AA38 AA43 BA01 CA06 DA01 DA05 JA36 JA41 JA57 KA02

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 記録媒体と、 光源と、 サスペンションアームと、 前記サスペンションアームに固定されたフレクシャー
    と、 前記フレクシャーに固定され、前記記録媒体側に微小開
    口を有する近視野光ヘッドと、 前記光源からの光束を前記近視野光ヘッドへ導く導光構
    造と、 受光部と、から構成されている近視野光を利用した情報
    の記録あるいは再生を行う情報記録再生装置において、 前記微小開口と微小開口に光を導く光導波路が前記近視
    野光ヘッドの同じ側にあり、前記導光構造が、 前記サスペンションアームに固定された光伝搬部と、 前記近視野光ヘッドに固定された光結合部と、 前記光伝搬部と前記光結合部とを光学的に接続する光接
    続部とから構成されていることを特徴とする情報記録再
    生装置。
  2. 【請求項２】 前記光結合部がプリズムとギャップから
    なることを特徴とする請求項１記載の情報記録再生装
    置。
  3. 【請求項３】 前記光結合部が回折格子からなることを
    特徴とする請求項１記載の情報記録再生装置。
  4. 【請求項４】 前記光結合部が少なくとも２段以上積み
    重ねた光導波路を含むことを特徴とする請求項１から３
    のいずれか一項に記載の情報記録再生装置。
  5. 【請求項５】 前記光結合部と光接続部が少なくとも１
    つの光導波路からなることを特徴とする請求項１記載の
    情報記録再生装置。
  6. 【請求項６】 前記光伝搬部が光導波路と、前記光源か
    らの光束を前記光導波路端面に集光するためのレンズか
    らなることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項
    に記載の情報記録再生装置。
  7. 【請求項７】 前記光伝搬部が前記光源からの光束を平
    行光束にするためのレンズからなることを特徴とする請
    求項１から４のいずれか一項に記載の情報記録再生装
    置。
  8. 【請求項８】 前記光接続部が前記光伝搬部からの光束
    を前記光結合部に入射するように光路をかえるためのミ
    ラーからなることを特徴とする請求項１から請求項４、
    請求項６、請求項７のいずれか一項に記載の情報記録再
    生装置。
  9. 【請求項９】 前記光接続部が前記光伝搬部からの光束
    を前記光結合部に入射するように光路をかえるための回
    折格子からなることを特徴とする請求項１から請求項
    ４、請求項６、請求項７のいずれか一項に記載の情報記
    録再生装置。
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