JP2001296149A - 分析装置 - Google Patents

分析装置

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JP2001296149A
JP2001296149A JP2000115094A JP2000115094A JP2001296149A JP 2001296149 A JP2001296149 A JP 2001296149A JP 2000115094 A JP2000115094 A JP 2000115094A JP 2000115094 A JP2000115094 A JP 2000115094A JP 2001296149 A JP2001296149 A JP 2001296149A
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Kazue Asao
和重 浅尾
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Rigaku Denki Co Ltd
Rigaku Corp
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Rigaku Denki Co Ltd
Rigaku Corp
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Automatic Analysis And Handling Materials Therefor (AREA)
  • Indicating Measured Values (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 1つ又は複数の測定データに関する処理前デ
ータと処理後データとを直感的且つ即座に判別できる表
示を行うことができる分析装置を提供する。 【解決手段】 測定器によって求められた生データAに
1つ又は複数の処理を施す処理装置と、像を表示する表
示装置と、処理に関して処理後データと処理前データの
両方を表示装置に表示させる表示制御装置とを有する分
析装置である。表示制御装置は、処理後データB、C、
D及び処理前データA’、B’、C’の両方を同じ色相
で表示すると共に、処理後データは濃い色で、処理前デ
ータは薄い色で表示する。つまり、関連性のあるデータ
であることを同じ色相によって表現し、処理前と処理後
の違いを濃度の違いによって表現する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、各種の測定を行っ
てその測定の結果をCRTディスプレイ等といった表示
手段に表示する分析装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、種々の産業界において種々の分析
装置が用いられている。そして、多くの分析装置におい
て測定結果がCRTディスプレイ等に、例えばプロファ
イルとして表示されるようになっている。また、分析装
置の中には、測定された生データをそのままディスプレ
イに表示するのではなく、平滑化処理等といった処理を
施した後に表示を行うものもある。このように処理後の
データを表示する方式の分析装置の中には、処理後のデ
ータを表示するときに、参考のために処理前のデータも
一緒に表示するものもある。
【0003】このように処理後データと処理前データの
両方をディスプレイ等に表示する方式の分析装置では、
従来、識別のためにそれらのデータの色相を、例えば
黒、赤、緑、青等の間で変えて表示させていた。しかし
ながら、オペレータはどの色相のものが処理前で、どの
色相のものが処理後のものであるかを判断することが難
しかった。
【0004】処理前データと処理後データの識別を容易
にするために、従来、どの色相のものが処理前データで
どの色相のものが処理後のものであるかを、データ表示
と合わせて文字又はイラストによって表示、いわゆる凡
例表示する表示方式も知られている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、凡例表
示を行った場合であっても、処理前データと処理後デー
タとが単に異なる色相で表示される方法においては、オ
ペレータはどの色相が処理前データでどの色相が処理後
データであるかを直感的に即座に判断することができ
ず、従って、処理前データか処理後データかの判断はや
はり難しかった。
【0006】また、分析装置の中には、1つのディスプ
レイ画面に複数のデータを同時に表示する方式のものが
ある。例えば、1つの試料に関して測定温度を異ならせ
て測定を行った後に、各温度の測定結果を1つの画面内
に同時に表示する方式のものがある。このような分析装
置において、各温度における測定データに関して処理前
と処理後の各データを異なる色相で表示しようとする
と、1つの画面内に種々の色相が混在することになって
処理前データと処理後データとの関連を判断することが
より一層困難になっていた。
【0007】本発明は、上記の問題点に鑑みて成された
ものであって、1つ又は複数の測定データに関する処理
前データと処理後データとを直感的且つ即座に判別でき
る表示を行うことのできる分析装置を提供することを目
的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】(1) 上記の目的を達
成するため、本発明に係る分析装置は、測定手段によっ
て求められた生データに1つ又は複数の処理を施す処理
手段と、像を表示する表示手段と、前記処理に関して処
理後データと処理前データの両方を前記表示手段に表示
させる表示制御手段とを有する分析装置において、前記
表示制御手段は、前記処理後データ及び前記処理前デー
タの両方を同じ色相で表示すると共に、前記処理後デー
タは濃い色で、前記処理前データは薄い色で表示するこ
とを特徴とする。
【0009】上記構成において、「色相」とは、赤、
緑、青等といった色の違いのことである。また、「処理
手段」は、例えば、CPU(Central Processing Uni
t)を含んだコンピュータシステムによって構成でき
る。また、「表示手段」は、例えば、CRT(Cathode
Ray Tube)ディスプレイや、液晶ディスプレイ等といっ
たフラットディスプレイ等によって構成できる。また、
「表示制御手段」は、例えば、CPUを含んだコンピュ
ータシステムによって構成できる。
【0010】上記構成の分析装置によれば、処理後デー
タと処理前データとが同じ色相で表示されるので、オペ
レータは両データが互いに関連していることを容易に判
断できる。このことは、処理後データと処理前データの
対が1つの画面に複数種類表示されるときに特に効果的
である。しかも、処理後データは濃い色で表示され、処
理前データは薄い色で表示されるので、オペレータは直
感的且つ即座に処理後データと処理前データとを識別で
きる。
【0011】人は複数のプロファイルデータを判別する
場合、何等かの違いの情報を必要とする。しかしながら
その反面、同一のグループに属する情報を認識する場
合、それらの情報には何等かの関連性を必要とする。本
発明では、これらの違いの情報と関連性の情報とを同じ
色相で濃度の違う色表示によって実現させたものであ
る。
【0012】従来、多重記録のプロファイル表現は明確
な色相による区別が基本であった。しかし、この場合、
同一試料に対する処理プロセスの表現や複数プロファイ
ルの表示では常にその色相がどのデータを表示するのか
をオペレータが覚えねばならない煩わしさがあった。こ
れに対し、本発明によれば、同一測定に関わる処理前後
のプロファイルの相違を濃度の違いによって表現したの
で、オペレータにかかる負担を大きく軽減できる。この
ことは、プロファイル表示が主体となる測定、例えば粉
末X線回折測定に対して特に有効であると考えられる。
【0013】(2) 上記構成の分析装置において、前
記表示制御手段は、前記処理後データの色に背景色をブ
レンド処理することにより、前記薄い色を表示すること
が望ましい。こうすれば、簡単な制御によって薄い色を
表示できる。
【0014】(3) 上記(2)項に記載した構成の分
析装置において、前記表示制御手段は、 処理前データの色=(処理後データの色+背景色×n)
/(n+1) 但し、n=2〜4の間の数値 で前記処理前データを薄い色で表示することが望まし
い。この場合には、処理前データの色は処理後データの
色と背景色の1対2〜4の割合による合成色として表示
される。ここに記載した構成によれば、より一層簡単な
制御によって薄い色を表示できる。
【0015】(4) 上記各項に記載した構成の分析装
置において、前記表示制御手段は、前記処理後データ及
び前記処理前データの両方を実線で示すことが望まし
い。処理後データと処理前データとを識別し易くすると
いう観点からすれば、例えば、処理後データを実線で表
示し、処理前データを破線で表示する表示方法が良いよ
うに考えられる。しかしながら、この表示方法によれ
ば、処理前データのプロファイルが細かく変化する場合
にその変化の様子を破線では正確に表示できないおそれ
がある。これに対し、処理前データを実線で表示すれ
ば、プロファイルの変化が細かい場合でも正確な表示が
できる。
【0016】(5) 分析装置の中には、複数の処理後
データ及び対応する複数の処理前データを前記表示手段
に同時に表示する方式のものがある。例えば、温度を変
えて測定を行った場合に各温度に対する処理後データ及
び処理前データが1つの画面に同時に表示されることが
ある。本発明は、このような種類の分析装置に適用され
たときに効果的である。その理由は、複数の処理後デー
タが異なる色相で表示されるときに、各処理前データは
対応する処理後データと同じ色相で表示されるので、対
応するデータ同士の関連性をきわめて簡単に認識できる
からである。
【0017】(6) 上記各項に記載した構成の分析装
置において、前記測定手段はX線回折装置であり、前記
処理手段は平滑化処理、バックグラウンド処理及びKα
2除去処理の少なくとも1つを行うことができる。X線
回折測定では、従来から、測定によって求められた生デ
ータに対して平滑化処理、バックグラウンド処理、Kα
2除去処理、その他各種の処理が施される。本発明によ
れば、各種の処理が連続して実行されるときに、各処理
における処理前と処理後のデータを迅速且つ明確にオペ
レータに知らせることができる。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る分析装置をX
線回折装置に適用した場合の一実施形態を説明する。
【0019】図1は、測定手段としてのX線回折装置の
全体を示している。このX線回折装置1は、X線を発生
するX線発生装置2及び測角装置すなわちゴニオメータ
3を有する。X線発生装置2は、通電によって発熱して
熱電子を放出するフィラメント4と、フィラメント4に
対向して配設されたターゲット6とを有する。フィラメ
ント4から放出された電子は高速でターゲット6に衝突
して該衝突部分にX線焦点Fを形成し、このX線焦点F
からX線が放射される。放射されたX線は、X線発生装
置2のケーシング7に設けられたX線取出し口8から外
部へ取り出される。
【0020】ゴニオメータ3はθ回転台11及び2θ回
転台12を有する。θ回転台11はそれ自身を通る軸線
ωを中心として回転可能であり、θ回転駆動装置13に
よって駆動されて所定角速度で連続的又は間欠的に回
転、いわゆるθ回転する。一方、2θ回転台12も軸線
ωを中心として回転可能であり、2θ回転駆動装置14
によって駆動されて上記θ回転の2倍の角速度で同じ方
向へ連続的又は間欠的に回転、いわゆる2θ回転する。
【0021】測定対象である試料Sはθ回転台11に取
り付けられ、ω軸線はその試料SのX線回折面を通るよ
うに設定されている。X線発生装置2から放射されて発
散するX線は発散規制スリット16によって発散を規制
されながら試料Sへ向けられる。試料Sへ入射するX線
の入射角度θは、θ回転台11がθ回転駆動装置13に
よって駆動されてθ回転するときに変化する。
【0022】θ回転駆動装置13及び2θ回転駆動装置
14は任意の機構によって構成できるが、例えば、駆動
源であるモータの出力軸の回転をウオームとウオームホ
イールとから成る動力伝達機構によって伝達する構造を
用いることができる。
【0023】2θ回転台12には半径方向へ延びる検出
器アーム16が設けられ、その検出器アーム16の上に
X線カウンタ17及び受光スリット18が設けられる。
試料Sに対するX線入射角θが変化するとき、検出器ア
ーム16は2θ回転台12と共に2θ回転駆動装置14
によって駆動されて2θ回転し、これにより、X線カウ
ンタ17が試料Sからの回折X線を受け取ることができ
る角度位置に持ち運ばれる。このとき、受光スリット1
8はX線カウンタ17に取り込まれるX線の断面サイズ
を規制する。
【0024】X線カウンタ17は、例えば、SC(Scin
tillation Counter:シンチレーションカウンタ)によ
って構成され、このX線カウンタ17はX線を受け取っ
たときに出力端子に信号、例えばパルス信号を出力す
る。この出力端子にはX線強度演算回路19が接続さ
れ、この演算回路19はX線カウンタ17の出力信号に
基づいてX線強度を演算する。
【0025】図1ではX線回折装置の主要部分を例示し
ており、実際には、必要に応じて図示したもの以外の各
種のX線光学要素、例えば、コリメータ、モノクロメー
タ、真空パス、散乱線規制スリット等が用いられること
があるが、図1ではそれらのX線光学要素の図示は省略
してある。
【0026】図2は、図1に示したX線回折装置1で用
いられる制御装置の一例を示している。ここに示す制御
装置21は、バス30に接続される各種装置を制御する
ための演算を行うCPU(Central Processing Unit)
22と、各種データやファイルを記憶するメモリ23
と、各種の入出力機器とCPU22との間で信号のやり
とりを行う入出力インターフェース24とを含んで構成
される。
【0027】図1に示したθ回転駆動装置13及び2θ
回転駆動装置14の各機器は図2において入出力インタ
ーフェース24を介してCPU22へ接続されて制御さ
れる。また、図1に示したX線強度演算回路19の出力
信号は図2において入出力インターフェース24を介し
てCPU22へ取り込まれる。さらに、制御装置21の
入出力インターフェース24には、表示手段としてのC
RTディスプレイ26を駆動して映像を表示させるため
の映像制御回路27が接続され、さらに、キーボード、
ボタンスイッチ等といった操作入力部28が接続され
る。
【0028】メモリ23は、RAM(Random Access Me
mory)、ROM(Read Only Memory)等といった内部メ
モリや、場合によってはハードディスク等といった外部
メモリ等といった各種の記憶媒体によって構成される。
このメモリ23には、図1のX線回折装置1によって行
われる測定を制御するための測定プログラムを記憶した
領域や、X線回折装置1によって求められた測定結果デ
ータのための解析処理を制御するための解析プログラム
を記憶した領域や、CPU22のためのワークエリアや
テンポラリファイルとして用いられる領域等といった各
種の記憶領域が確保される。
【0029】以下、上記構成より成る分析装置の動作を
図3に示すフローチャートを用いて説明する。
【0030】まず、ステップS1でX線回折測定が行わ
れる。これは、図2に示したメモリ23に格納された測
定プログラムに基づいて行われる測定であり、具体的に
は、図1において、X線発生装置2からX線を発生し、
ゴニオメータ3によって試料2及びX線カウンタ17の
角度位置を測角しながら、試料SへX線を照射する。
【0031】試料Sに対するX線の入射角度θと試料S
の結晶格子面との間でブラッグの回折条件が満足される
と試料SでX線の回折が生じ、この回折X線が回折角度
2θの角度位置に置かれたX線カウンタ17によって受
け取られ、そのX線カウンタ17の出力端子にパルス信
号が出力される。
【0032】X線強度演算回路19はその出力信号に基
づいて回折X線の強度を演算し、その強度信号を図2に
おいてCPU22へ伝送する。X線の強度信号はCPU
22によって回折角度2θと関連付けられてメモリ23
の所定領域に記憶される。この測定データは生データで
あり、例えば、図4(a)に示すようなプロファイルA
で表現できるものである。
【0033】以上のような測定ステップS1が終わる
と、CPU22は図3のステップS2において、図4
(a)の生データを読み出し、そしてメモリ23に格納
された解析プログラムに従って上記生データに対して所
定の処理を実行する。本実施形態では、このような処理
として平滑化処理(ステップS3)、バックグラウンド
処理(ステップS4)、そしてKα2除去処理(ステッ
プS5)を行うものとする。
【0034】平滑化処理ステップS3では、図4(b)
に示すように、プロファイルA’で示す生データがプロ
ファイルBで示すような滑らかな曲線の平滑化データB
となるような演算が行われる。
【0035】また、バックグラウンド除去処理ステップ
S4では、図4(c)で示すように、散乱X線等を起因
として生じるバックグラウンド成分Gを除去する演算が
行われて、平滑処理ステップS3において平滑化された
データB’がバックグラウンド除去データCへと処理さ
れる。
【0036】さらに、Kα2除去処理ステップS5で
は、Kα2線に起因する成分を含むデータC’からKα
2成分を除去する演算を行って、Kα2成分を含まない
Kα2除去データDを作成する。本実施形態では、この
Kα2除去データが最終的に求めるべきデータというこ
とになる。
【0037】図4において、平滑化処理(b)について
考えれば、生データA’が処理前データであり、平滑化
データBが処理後データである。また、バックグラウン
ド処理(c)について考えれば、平滑化データB’が処
理前データであり、バックグラウンド除去データCが処
理後データである。また、Kα2除去処理(d)につい
て考えれば、バックグラウンド除去データC’が処理前
データであり、Kα2除去データDが処理後データであ
る。
【0038】以上のようにして所定の処理が実行される
と、ステップS6〜ステップS9において表示処理が演
算されて、図2のディスプレイ26に図4に示した各種
プロファイルが映像として表示される。具体的には、ス
テップS6において、オペレータからの指示に基づい
て、あるいは、予め図2の解析プログラムで規定された
手順に基づいて、いずれの処理に関してプロファイルを
表示するかを選択する。具体的な選択の仕方としては、
これら3つの処理の全てを交互に順々に表示する方法
や、これら3つの処理の全てを同時に表示する方法や、
これら3つの処理のうちから希望するものを選択して表
示する方法等が考えられる。
【0039】表示する処理が決まると、その処理に対応
して表示しようとするプロファイルが処理前データか、
あるいは処理後データであるかが判断され、処理後デー
タである場合(ステップS7でYES)はプロファイル
を標準色、例えば黒色の実線で表示する。一方、処理前
データであると判断された場合には(ステップS7でN
O)、処理後データの表示色である標準色に対して次の
演算、すなわち、 (標準色+背景色×n)/(n+1) … … … (1) 但し、n=2〜4の数値 の演算を行って、この色の実線によって処理前データを
表示する。
【0040】上式(1)によって表示される色は標準
色、本実施形態の場合は黒色と同じ色相であってその濃
度を薄くした色、すなわち灰色である。よって、本実施
形態では、処理後データB,C,Dが黒色の実線で表示
され、処理前データA’,B’,C’が灰色の実線で表
示される。
【0041】また、別の表示方法として、平滑化処理
(b)、バックグラウンド除去処理(c)、Kα2除去
処理(d)のプロファイルをそれぞれ異なった色相、例
えば、赤、緑、青の各色相でそれぞれを実線で表示し、
各処理の表示に際しては処理後データを濃い色の実線で
表示し、処理前データを薄い色の実線で表示するという
表示制御を行うこともできる。こうすれば、表示された
プロファイルがいずれの処理のものかを直感的に正確に
認識できる。
【0042】上式(1)に基づいて表示色を制御するよ
うにすれば、プロファイルの色と背景色の色の組合せが
どのような場合でも、処理後プロファイルと処理前プロ
ファイルとの関連が容易に認識できる。また、処理前プ
ロファイルと処理後プロファイルとにかなりの重複があ
る場合でもそれらを十分に区別できるレベルで表現でき
る。
【0043】以上のように、本実施形態では、各処理を
受ける前の処理前データと処理を受けた後の処理後デー
タとを同じ色相で表示するようにしたので、オペレータ
は両データが互いに関連していることを容易に判断でき
る。しかも、処理後データは濃い色で表示され、処理前
データは薄い色で表示されるので、オペレータは直感的
且つ即座に処理後データと処理前データとを識別でき
る。
【0044】また、1つのプロファイル表示画面に複数
の処理に関する複数のプロファイルデータを同時に表示
する場合、固有のプロファイルデータの処理群が同じ色
相の濃淡によって的確に判別でき、従来のように黒、
赤、緑、青等といった色相の対応を覚える必要がなくな
って非常に楽である。
【0045】なお、図4に示す複数の処理に関する処理
前データと処理後データとを連続して交互に順を追って
ディスプレイに表示する場合には、1つの処理に関する
処理前データと処理後データを表示した後、その表示を
消してから次の処理に関する処理前データと処理後デー
タを表示する。つまり、複数の処理に関するデータが1
つの画面に重ねて表示されることはない。
【0046】そしてこのとき、平滑化処理、バックグラ
ウンド除去処理、Kα2除去処理といった各処理の流れ
を考えたとき、先の処理における処理後データは次の処
理においては処理前データということになる。本実施形
態では、1つの処理から次の処理へと表示を切り替える
とき、先の処理では処理後データであって濃い実線で表
示されたプロファイルも次の処理では処理前データにな
るので、その表示は薄い実線による表示へと切り替えら
れる。
【0047】このように、本実施形態では、表示される
処理が変わる場合でも、処理後データは常に濃い実線で
表示され、処理前データは常に薄い実線で表示されるの
で、処理後データと処理前データの識別は非常に容易で
ある。
【0048】なお、図4に示した表示方式では、ディス
プレイ26(図2参照)の1つの画面に表示されるプロ
ファイルは1つの処理に関わる処理前と処理後の一対の
プロファイルであった。しかしながら、このような表示
方式とは別に、図5(a)に示すように、複数の処理に
関わるプロファイルを1つの画面に同時に表示するとい
う表示方法も考えられる。
【0049】図5(a)では、試料S(図1参照)に関
する温度をT1℃、T2℃、T3℃のように変化させ、
それらの各温度においてX線回折測定を行って測定デー
タを求め、それらの測定データを同時に表示している。
このような表示方法に対して本発明を適用する場合に
は、各プロファイルの表示色を異ならせて、例えば、
赤、緑、青のように異ならせて表示する。
【0050】そして、これらの各プロファイルに関して
処理前プロファイルと処理後プロファイルを同時に表示
する場合には、図5(b)に示すように、処理後プロフ
ァイルA1a,A2a,A3aを赤、緑、青の異なる色
相の濃い色で表示し、一方、処理前プロファイルA1
b,A2b,A3bは対応する処理後プロファイルと同
じ色相の薄い色で表示する。
【0051】このような表示方法を用いれば、1つの測
定に関わる処理前プロファイルと処理後プロファイルは
同じ色相で表示されるので、オペレータはそれらのプロ
ファイルが1つの測定に関わるものであることを直感的
且つ即座に認識できる。また、処理後プロファイルは濃
い色で処理前プロファイルは薄い色で表示されるので、
オペレータは処理後のデータであるか、処理前のデータ
であるかを直感的且つ即座に認識できる。つまり、本発
明に係る分析データの表示方法によれば、オペレータは
プロファイルの色表示に関して複雑な取り決めを記憶し
ておく必要なく、複数のプロファイルに関する処理関係
をきわめて容易に認識できる。
【0052】以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を
説明したが、本発明はその実施形態に限定されるもので
なく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改変
できる。
【0053】例えば、以上の説明では本発明をX線回折
装置に適用したが、本発明はX線回折装置以外の任意の
分析装置に対して適用することができる。また、表示を
異ならせる必要が生じる処理としては、X線回折測定に
おける次の各処理、すなわち平滑化処理、バックグラウ
ンド除去処理、Kα2除去処理に限られず、X線回折測
定におけるその他の処理、あるいはX線回折測定以外の
測定において行われる任意の処理を考えることができ
る。
【0054】
【発明の効果】本発明に係る分析装置によれば、処理後
データと処理前データとが同じ色相で表示されるので、
オペレータは両データが互いに関連していることを容易
に判断できる。しかも、処理後データは濃い色で表示さ
れ、処理前データは薄い色で表示されるので、オペレー
タは直感的且つ即座に処理後データと処理前データとを
識別できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る分析装置の機構部分の一実施形態
を示す斜視図である。
【図2】図1に示す分析装置の制御系の一実施形態を示
すブロック図である。
【図3】図2に示す制御系によって実行される制御の流
れを示すフローチャートである。
【図4】図3に示す制御によって表示されるプロファイ
ルの一例を示す図である。
【図5】図3に示す制御によって表示されるプロファイ
ルの他の一例を示す図である。
【符号の説明】
1 X線回折装置(測定手段) 2 X線発生装置 3 ゴニオメータ 26 ディスプレイ(表示手段) F X線焦点 S 試料

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 測定手段によって求められた生データに
    1つ又は複数の処理を施す処理手段と、像を表示する表
    示手段と、前記処理に関して処理後データと処理前デー
    タの両方を前記表示手段に表示させる表示制御手段とを
    有する分析装置において、 前記表示制御手段は、前記処理後データ及び前記処理前
    データの両方を同じ色相で表示すると共に、前記処理後
    データは濃い色で、前記処理前データは薄い色で表示す
    ることを特徴とする分析装置。
  2. 【請求項2】 請求項1において、前記表示制御手段
    は、前記処理後データの色に背景色をブレンド処理する
    ことにより、前記薄い色を表示することを特徴とする分
    析装置。
  3. 【請求項3】 請求項2において、前記表示制御手段
    は、 処理前データの色=(処理後データの色+背景色×n)
    /(n+1) 但し、n=2〜4の間の数値 で前記処理前データを薄い色で表示することを特徴とす
    る分析装置。
  4. 【請求項4】 請求項1から請求項3の少なくともいず
    れか1つにおいて、前記表示制御手段は、前記処理後デ
    ータ及び前記処理前データの両方を実線で示すことを特
    徴とする分析装置。
  5. 【請求項5】 請求項1から請求項4の少なくともいず
    れか1つにおいて、前記表示制御手段は、複数の処理後
    データ及び対応する複数の処理前データを前記表示手段
    に同時に表示することを特徴とする分析装置。
  6. 【請求項6】 請求項1から請求項5の少なくともいず
    れか1つにおいて、前記測定手段はX線回折装置であ
    り、前記処理手段は平滑化処理、バックグラウンド処理
    及びKα2除去処理の少なくとも1つを行うことを特徴
    とする分析装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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