JPH0760140B2 - Ｘ線分析装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は、例えば、Ｘ線回析装置のように、試料表面と
検出器とを入射Ｘ線に対して回転させるゴニオメータを
備えるＸ線分析装置に関する。

（ロ）従来技術とその問題点 従来、この種のＸ線分析装置、例えば、Ｘ線回折装置に
おいては、試料表面に対してＸ線入射角が変わるように
試料と検出器とを走査しつつ回折Ｘ線強度を測定し、試
料に含まれる化合物などの定性、定量分析を行なう。こ
の場合の走査速度は、通常、４度／分〜0.25度／分程度
であり、１回の測定に要する時間は、数分〜数時間であ
る。したがって、オペレータは、測定を開始した後は、
Ｘ線回折装置を離れて次の試料の準備などの別の作業を
行なうことが可能である。

ところが、従来例のＸ線回折装置では、１回の測定がい
つ終了するかが、明示されておらず、このため、オペレ
ータの勘に頼るか、あるいは、オペレータ自らが走査速
度および走査範囲などの測定条件に基づいて、測定時間
を算出する必要があった。このような測定時間の算出
は、検出器を所定角度ずつ送って各位置でのＸ線強度を
測定する、いわゆるステップ・スキャンモードでは、非
常に複雑となり、正確に算出するは困難である。

このように従来例のＸ線回折装置では、測定時間、した
がって、測定終了予定時刻の算出が困難であったり、あ
るいは、分かりにくいために、測定終了までに手待ち状
態ができたりして時間が有効に使えず、効率が悪いとい
う難点がある。

本発明は、上述の点に鑑みて成されたものであって、分
析の際の手待ち状態をなくして、時間を効率よく使える
ようにしたＸ線分析装置を提供することを目的とする。

（ハ）問題点を解決するための手段 本発明では、上述の目的を達成するために、試料表面と
検出器とを入射Ｘ線に対して回転させて測定を行うＸ線
分析装置において、時刻を計測する時計部と、走査モー
ド、走査範囲、走査速度、ステップ幅、ステップ速度な
どの測定条件を入力するための入力部と、該入力部から
の測定条件に基づいて、測定時間を算出するとともに、
この測定時間と前記時計部からの時刻とに基づいて、測
定終了予定時刻を算出する演算部と、該演算部の出力に
基づいて測定終了予定時刻を表示する表示部とを備えて
いる。

（ニ）作用 上記構成によれば、測定終了予定時刻が自動的に算出さ
れて表示部に表示されるので、オペレータは、その測定
終了予定時刻まで別の作業を行なうことができ、手待ち
状態をなくして時間を効率的に使うことができる。

（ホ）実施例 以下、図面によって本発明の実施例について詳細に説明
する。第１図は、本発明の一実施例の概略構成図であ
り、この実施例では、Ｘ線回折装置16に適用した場合に
ついて説明する。同図において、１はＸ線を放射するＸ
線管、２は回折Ｘ線17を検出するガイガー計数管などの
検出器、３は試料、４は測定の際に、試料３表面および
検出器２をＸ線管１からの入射Ｘ線15に対して回転させ
るゴニオメータである。

５は検出器２の出力に基づいて、Ｘ線強度を計測する計
測回路、６はゴニオメータ４の駆動を制御するととも
に、後述するデータ処理回路９を制御するコントロー
ラ、７はＸ線強度の変化を記録するレコーダである。

この実施例のＸ線回折装置16では、走査モードや走査範
囲などの測定条件を入力するための入力部としてのキー
ボード８と、このキーボード８からの測定条件に基づい
て、測定終了予定時刻を算出演算するデータ処理回路９
と、このデータ処理回路９からの出力に基づいて、測定
終了予定時刻を表示する表示部としてのCRT10とを備え
ている。

データ処理回路９は、時刻を計測する時計部11と、所定
のデータが記憶されているメモリ12と、演算部13とを備
えている。演算部13では、キーボード８からの測定条件
およびメモリ12からのデータに基づいて、測定時間を算
出し、さらに、この測定時間と時計部11からの現在時刻
とに基づいて、測定終了予定時刻を算出してCRT10に出
力する。

この演算部13における演算は、例えば、次のようにして
行なわれる。

（１）連続スキャンモードの場合 この場合には、キーボード８から入力される走査範囲お
よび走査速度に基づいて、次式に従って測定時間が算出
される。

測定時間＝走査範囲／走査速度 （２）ステップ・スキャンモードの場合 この場合には、キーボード８から入力される積分時間、
ステップ幅およびデータ点数、さらに、メモリ12から読
み出されるステップ速度、レコーダ送り時間およびデー
タ送り時間に基づいて、次式に従って測定時間が算出さ
れる。

測定時間＝（積分時間＋ステップ幅／ステップ速度＋レ
コーダ送り時間＋データ送り時間）×データ点数 このようにして算出された測定時間と、時計部11から与
えられる現在時刻とから測定終了予定時刻を算出し、CR
T10に出力し、表示するようになっている。

ここで、連続スキャンモードとは、入射Ｘ線に対して試
料と検出器とを連続的に回転させながら、回折Ｘ線を連
続的に検出する測定モードを示している。また、ステッ
プスキャンモードとは、入射Ｘ線に対して試料と検出器
とを段階的に回転させる、すなわち、ステップ回転させ
ながら、各ステップ角度ごとの回折Ｘ線を積分して検出
する測定モードを示している。そして、通常、連続スキ
ャンモードは、定性分析に用いられ、ステップスキャン
モードは、定量分析に用いられている。

さらに、連続スキャンモードやステップスキャンモード
における各種測定条件は周知のものであるが、これら条
件について詳細に述べると次の通りである。すなわち、
走査速度とは、連続スキャンモードにおいて、試料と検
出器とを回転させる際の速度を示し、積分時間とは、ス
テップスキャンモードにおいて、各ステップ角度ごとに
回折Ｘ線強度を積分するのに要する時間を示し、ステッ
プ幅とは、ステップスキャンモードにおいて、隣接する
ステップ角度間の角度を示し、ステップ速度とは、ステ
ップスキャンモードにおいて、試料と検出器とをステッ
プ角度から次のステップ角度まで回転移動させる際の速
度を示している。

さらには、レコーダ送り時間とは、検出したデータをレ
コーダ７に送りレコード７が棒グラフ等のデータを書く
のに要する時間を示し、データ送り時間とは、検出した
データを演算部13に取り込むのに要する時間を示してい
る。

なお、上述した測定モードや各種測定条件は、分析開始
時に、予め演算部13にキーボード８等から入力してお
く。

第２図はCRT10の表示例を示す図である。CRT10には、キ
ーボード８から入力される測定条件とともに、測定開始
時刻および測定終了予定時刻が表示されるようになって
いる。この例では、ステップ・スキャンモードで、走査
範囲を150度から10度、積分時間を１秒、ステップ幅を
0.02度に設定し、測定を13時46分20秒に開始したときの
測定終了予定時刻が16時55分何秒かであることが矢符Ａ
で示される位置に表示されている。

このように測定条件をキーボード８で設定入力すること
により、測定終了予定時刻が自動的に算出演算されてCR
T10に表示されるので、オペレータは、測定を開始して
から測定終了予定時刻までの間、次の試料の準備などの
別の作業を行なうことができ、従来例のように面倒な測
定終了予定時刻の算出をする必要がなく、また、測定終
了までの間に手待ち状態が生じるようなことがなくな
り、効率よく時間を使うことができる。

上述の実施例では、Ｘ線回折装置に適用した場合につい
て説明したけれども、本発明は、これに限るものではな
く、その他のＸ線分析装置、例えば、蛍光Ｘ線分析装置
やＸ線マイクロアナライザなどにも同様に適用できるも
のである。

上述の実施例では、表示部としてCRT10を設けたけれど
も、本発明の他の実施例として、CRT10に代えてプリン
タにより測定終了予定時刻を印字して表示するように構
成してもよい。

（ヘ）効果 以上のように本発明によれば、測定条件を設定入力する
ことにより、測定終了予定時刻が自動的に算出演算され
て表示部に表示されるので、オペレータは、測定を開始
してから表示された測定終了予定時刻までの間、次の試
料の準備などの別の作業を行なうことができ、従来例の
ように面倒な測定終了予定時刻の算出を自らする必要が
なく、また、測定終了までの間に手待ち状態が生じるよ
うなことがなくなり、時間を効率よく使うことができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の概略構成図、第２図は第１
図のCRT10の表示例を示す図である。 ２……検出器、３……試料、８……キーボード（入力
部）、10……CRT（表示部）、11……時計部、13……演
算部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】試料表面と検出器とを入射Ｘ線に対して回
   転させて測定を行うＸ線分析装置において、 時刻を計測する時計部と、 走査モード、走査範囲、走査速度、ステップ幅、ステッ
   プ速度などの測定条件を入力するための入力部と、 該入力部からの測定条件に基づいて、測定時間を算出す
   るとともに、この測定時間と前記時計部からの時刻とに
   基づいて、測定終了予定時刻を算出する演算部と、 該演算部の出力に基づいて測定終了予定時刻を表示する
   表示部とを備えることを特徴とするＸ線分析装置。