JP2524256Y2 - 電子線マイクロアナライザ - Google Patents
電子線マイクロアナライザInfo
- Publication number
- JP2524256Y2 JP2524256Y2 JP1986200120U JP20012086U JP2524256Y2 JP 2524256 Y2 JP2524256 Y2 JP 2524256Y2 JP 1986200120 U JP1986200120 U JP 1986200120U JP 20012086 U JP20012086 U JP 20012086U JP 2524256 Y2 JP2524256 Y2 JP 2524256Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- data
- scanning
- analysis
- wavelength
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 イ．産業上の利用分野 本考案は、電子線マイクロアナライザ（EPMA）におけ
る測定値の収集及び表示に関する。
る測定値の収集及び表示に関する。
ロ．従来の技術 EPMAは試料の微小部について定性分析（どのような元
素により構成されているか），定量分析（それらの元素
がどれだけ含まれているか），状態分析（それらの元素
がどのような化学結合をしているか）等の分析を行うこ
とができるが、これらの分析手法としては、従来はシー
ケンシャルに表面観察→定性半定量（線分析，面分析）
→定量→状態分析といった順番に行うのが通常である。
しかし、この方法にてこれらの分析を試料に含まれる全
元素について順次行うことは、多くの時間を必要とする
ために実際上不可能であり、通常は分析目的に合わせて
目的元素を予め決めて行っており、目的元素の選択漏れ
があった場合等は、再度分析をやり直すこともあった。
また短時間しか保存できない試料等では分析自身が不可
能となってしまうこともあり、上記のシーケンシャル分
析法にはこのような多くの問題点がある。
素により構成されているか），定量分析（それらの元素
がどれだけ含まれているか），状態分析（それらの元素
がどのような化学結合をしているか）等の分析を行うこ
とができるが、これらの分析手法としては、従来はシー
ケンシャルに表面観察→定性半定量（線分析，面分析）
→定量→状態分析といった順番に行うのが通常である。
しかし、この方法にてこれらの分析を試料に含まれる全
元素について順次行うことは、多くの時間を必要とする
ために実際上不可能であり、通常は分析目的に合わせて
目的元素を予め決めて行っており、目的元素の選択漏れ
があった場合等は、再度分析をやり直すこともあった。
また短時間しか保存できない試料等では分析自身が不可
能となってしまうこともあり、上記のシーケンシャル分
析法にはこのような多くの問題点がある。
ハ．考案が解決しようとする問題点 本考案は、上述した問題点を解消し、全画素において
全波長スペクトルを測定することにより、１回の測定で
あらゆる分析のデータを入手することを目的とする。
全波長スペクトルを測定することにより、１回の測定で
あらゆる分析のデータを入手することを目的とする。
ニ．問題点解決のための手段 電子線マイクロアナライザにおいて、試料を放射線で
励起する手段と、試料から放射されるＸ線を波長走査を
しながら分光する手段と、分光したＸ線を検出する手段
と、試料をＸ又はＹ方向に走査する手段と、分光する手
段と走査する手段を自動制御する手段と、分光する波長
及び試料を試料走査位置を検知する手段と、その検知し
たデータを付加して検出する手段から得られた試料走査
位置毎の全波長Ｘ線スペクトルデータと試料位置のデー
タを記憶する手段と、モード指定によって所定の方式に
より上記記憶されたデータから必要データを検索し処理
する手段を備え、１回の測定であらゆる分析データを入
手し、その後、所定の方式により記憶されたデータから
必要データを検索し処理し表示するようにした。
励起する手段と、試料から放射されるＸ線を波長走査を
しながら分光する手段と、分光したＸ線を検出する手段
と、試料をＸ又はＹ方向に走査する手段と、分光する手
段と走査する手段を自動制御する手段と、分光する波長
及び試料を試料走査位置を検知する手段と、その検知し
たデータを付加して検出する手段から得られた試料走査
位置毎の全波長Ｘ線スペクトルデータと試料位置のデー
タを記憶する手段と、モード指定によって所定の方式に
より上記記憶されたデータから必要データを検索し処理
する手段を備え、１回の測定であらゆる分析データを入
手し、その後、所定の方式により記憶されたデータから
必要データを検索し処理し表示するようにした。
ホ．作用 本考案によれば、試料の測定位置走査と分光器による
波長走査をCPUによって自動制御を行い、各走査位置に
おいて波長走査を行うことによって得られる測定データ
を、走査位置及び波長位置をアドレス指定データとして
CPUに記憶し、分析方法即ち定性，定量、状態分析に応
じて、CPU9に記憶されているこれらのデータを分析モー
ド，表示モードの指定により必要なデータをCPUにより
検索し処理し表示させるようにする。
波長走査をCPUによって自動制御を行い、各走査位置に
おいて波長走査を行うことによって得られる測定データ
を、走査位置及び波長位置をアドレス指定データとして
CPUに記憶し、分析方法即ち定性，定量、状態分析に応
じて、CPU9に記憶されているこれらのデータを分析モー
ド，表示モードの指定により必要なデータをCPUにより
検索し処理し表示させるようにする。
当初の測定により、試料中の分析可能な元素について
の全情報が得られているので、後はデータ処理だけで指
定元素の定性，定量及び状態分析（特性Ｘ線ピークの波
長ずれ，半値幅の変化等の調査）が可能であり、一測定
には従来より時間がかかるが、全種目の測定を順次行う
のに比し、所要時間が短縮される。
の全情報が得られているので、後はデータ処理だけで指
定元素の定性，定量及び状態分析（特性Ｘ線ピークの波
長ずれ，半値幅の変化等の調査）が可能であり、一測定
には従来より時間がかかるが、全種目の測定を順次行う
のに比し、所要時間が短縮される。
ヘ．実施例 第１図に本考案の一実施例を示す。第１図において、
Ｂは電子ビーム、Ｓは試料、１は試料Ｓを保持する試料
ステージ、２は試料ステージ１をＸ方向に駆動させるＸ
軸パルスモータ、３は試料ステージ１をＹ方向に駆動さ
せるＹ軸パルスモータ、４は試料Ｓより発生するＸ線を
分光する分光結晶、５は分光結晶４で分光されたＸ線を
検出する検出器、６は試料Ｓの分析点と分光結晶４と検
出器５の検出スリット（不図示）をローランド円上に位
置させながらブラッグ角を変更させる分光器駆動装置、
７はＸ軸パルスモータ2,Y軸パルスモータ３及び分光器
駆動装置６に制御信号を送る制御装置、８は検出器５で
入手した信号を処理する信号処理系、９は制御装置７に
送る制御信号をアドレスとして信号処理系で処理された
検出データを記憶及び演算するCPUである。
Ｂは電子ビーム、Ｓは試料、１は試料Ｓを保持する試料
ステージ、２は試料ステージ１をＸ方向に駆動させるＸ
軸パルスモータ、３は試料ステージ１をＹ方向に駆動さ
せるＹ軸パルスモータ、４は試料Ｓより発生するＸ線を
分光する分光結晶、５は分光結晶４で分光されたＸ線を
検出する検出器、６は試料Ｓの分析点と分光結晶４と検
出器５の検出スリット（不図示）をローランド円上に位
置させながらブラッグ角を変更させる分光器駆動装置、
７はＸ軸パルスモータ2,Y軸パルスモータ３及び分光器
駆動装置６に制御信号を送る制御装置、８は検出器５で
入手した信号を処理する信号処理系、９は制御装置７に
送る制御信号をアドレスとして信号処理系で処理された
検出データを記憶及び演算するCPUである。
上記の構成において、CPU9の制御信号に基づいて、試
料Ｓを制御装置７によりＸ線パルスモータ２またはＹ軸
パルスモータ３を駆動させて、順次全画素の測定点にス
テップ移動させる。各測定点において分光器駆動装置６
を制御装置７により駆動させて波長走査を行い第２図に
示すようなスペクトルを得る。このスペクトルを画素位
置データをアドレスとしてCPU9に記憶させる。
料Ｓを制御装置７によりＸ線パルスモータ２またはＹ軸
パルスモータ３を駆動させて、順次全画素の測定点にス
テップ移動させる。各測定点において分光器駆動装置６
を制御装置７により駆動させて波長走査を行い第２図に
示すようなスペクトルを得る。このスペクトルを画素位
置データをアドレスとしてCPU9に記憶させる。
第２図はこのように測定したスペクトルを示してしる
が、これは３台のＸ線分光器で波長範囲を分担させて同
時に走査し測定したものであり、酸素より重い元素の0.
1％以上の分析が可能であり、１画素の測定即ち第２図
に示すスペクトルの入手は約100秒で行うことができ
る。また主成分（１％以上の元素）の測定ならば１画素
の測定は約10秒で可能であるから、もし50×50画素の情
報を得るためには、実施例（0.1％以上の元素）の測定
では約70時間，主成分だけの測定では約７時間で可能で
ある。多少時間を要するが試料Ｓに関する全てのデータ
を自動的に得ることができる。
が、これは３台のＸ線分光器で波長範囲を分担させて同
時に走査し測定したものであり、酸素より重い元素の0.
1％以上の分析が可能であり、１画素の測定即ち第２図
に示すスペクトルの入手は約100秒で行うことができ
る。また主成分（１％以上の元素）の測定ならば１画素
の測定は約10秒で可能であるから、もし50×50画素の情
報を得るためには、実施例（0.1％以上の元素）の測定
では約70時間，主成分だけの測定では約７時間で可能で
ある。多少時間を要するが試料Ｓに関する全てのデータ
を自動的に得ることができる。
CPU9に記憶されているこれらのデータは、定性，定
量，状態分析に必要な全てのデータを有しているから、
CPU9にデータ処理プログラムを入力しておけば、必要な
分析モード，表示モードを指定するだけで、必要なデー
タを検索し処理し表示することができる。
量，状態分析に必要な全てのデータを有しているから、
CPU9にデータ処理プログラムを入力しておけば、必要な
分析モード，表示モードを指定するだけで、必要なデー
タを検索し処理し表示することができる。
ト．効果 本考案によれば、定性，定量，状態分析に必要な全て
のデータを１回の測定によって入手でき、必要に応じて
分析モード，表示モードを指定するだけで、必要なデー
タを検索し処理し表示することができるので、再度分析
をやり直すことがなくなり測定能率が向上した。特に従
来は試料についての予備知識がないと、分析に当たって
元素指定等ができず、別な分析手法で含有元素の見当を
つけておく等の必要があったので、総合的にみると、本
考案における測定能率の向上は著しい。
のデータを１回の測定によって入手でき、必要に応じて
分析モード，表示モードを指定するだけで、必要なデー
タを検索し処理し表示することができるので、再度分析
をやり直すことがなくなり測定能率が向上した。特に従
来は試料についての予備知識がないと、分析に当たって
元素指定等ができず、別な分析手法で含有元素の見当を
つけておく等の必要があったので、総合的にみると、本
考案における測定能率の向上は著しい。
第１図は本考案の一実施例の構成図、第２図は上記実施
例のスペクトル図である。 Ｂ……電子ビーム,S……試料,1……試料ステージ,2……
Ｘ線パルスモータ,3……Ｙ軸パルスモータ,4……分光結
晶,5……検出器,6……分光器駆動装置,7……制御装置,8
……信号処理系,9……CPU。
例のスペクトル図である。 Ｂ……電子ビーム,S……試料,1……試料ステージ,2……
Ｘ線パルスモータ,3……Ｙ軸パルスモータ,4……分光結
晶,5……検出器,6……分光器駆動装置,7……制御装置,8
……信号処理系,9……CPU。
Claims (1)
- 【請求項１】試料を放射線で励起する手段と、試料から
放射されるＸ線を波長走査をしながら分光する手段と、
分光したＸ線を検出する手段と、試料をＸ又はＹ方向に
走査する手段と、分光する手段と走査する手段を自動制
御する手段と、分光する波長及び試料を試料走査位置を
検知する手段と、その検知したデータを付加して検出す
る手段から得られた試料走査位置毎の全波長Ｘ線スペク
トルデータと試料位置のデータを記憶する手段と、モー
ド指定によって所定の方式により上記記憶されたデータ
から必要データを検索し処理する手段を有することを特
徴とする電子線マイクロアナライザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986200120U JP2524256Y2 (ja) | 1986-12-29 | 1986-12-29 | 電子線マイクロアナライザ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986200120U JP2524256Y2 (ja) | 1986-12-29 | 1986-12-29 | 電子線マイクロアナライザ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63107848U JPS63107848U (ja) | 1988-07-12 |
| JP2524256Y2 true JP2524256Y2 (ja) | 1997-01-29 |
Family
ID=31162337
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986200120U Expired - Lifetime JP2524256Y2 (ja) | 1986-12-29 | 1986-12-29 | 電子線マイクロアナライザ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2524256Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4630490B2 (ja) * | 2001-06-08 | 2011-02-09 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | Ｘ線マッピング分析方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58190716A (ja) * | 1982-04-30 | 1983-11-07 | Shimadzu Corp | 試料分析装置用カラ−マツピング装置 |
-
1986
- 1986-12-29 JP JP1986200120U patent/JP2524256Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63107848U (ja) | 1988-07-12 |
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