JP2001289769A - 集塵／カウント装置 - Google Patents
集塵／カウント装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単で、再現性の良い測定を可能にしたドラ
イ方式の集塵／カウント装置を提供する。 【解決手段】 密閉構造のチャンバーと、このチャンバ
ーに設けられた空気流入口と、この気体流入口に設けら
れたウルパフィルタと、前記チャンバーに設けられた空
気流出口と、この空気流出口に接続されたサイクロン式
の大流量パーティクル集塵／カウント装置と、前記チャ
ンバー内に設けられ集塵対象物が取付けられるターンテ
ーブルと、前記集塵対象物に空気を吹き付けるノズルと
を具備した事を特徴とする集塵／カウント装置である。
イ方式の集塵／カウント装置を提供する。 【解決手段】 密閉構造のチャンバーと、このチャンバ
ーに設けられた空気流入口と、この気体流入口に設けら
れたウルパフィルタと、前記チャンバーに設けられた空
気流出口と、この空気流出口に接続されたサイクロン式
の大流量パーティクル集塵／カウント装置と、前記チャ
ンバー内に設けられ集塵対象物が取付けられるターンテ
ーブルと、前記集塵対象物に空気を吹き付けるノズルと
を具備した事を特徴とする集塵／カウント装置である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、精密部品やその組
立て部品に付着したコンタミの集塵／カウント装置に関
し、特に、ハ−ドディスクアセンブリの部品，並びにそ
の組立品等に付着したコンタミを集塵／カウントするの
に好適な集塵／カウント装置に関するものである。
立て部品に付着したコンタミの集塵／カウント装置に関
し、特に、ハ−ドディスクアセンブリの部品，並びにそ
の組立品等に付着したコンタミを集塵／カウントするの
に好適な集塵／カウント装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図１３は、従来より一般に使用されてい
る集塵／カウント装置の要部説明図で、集塵／カウント
対象物として、ハ−ドディスクアセンブリの部品を使用
した例に付いて説明する。
る集塵／カウント装置の要部説明図で、集塵／カウント
対象物として、ハ−ドディスクアセンブリの部品を使用
した例に付いて説明する。
【０００３】図１３に示すように、ハ−ドディスクアセ
ンブリの部品1を超純水2で超音波洗浄し，剥離したパ−
ティクル3を含む超純水2を、 液体用パ−ティクルカウ
ンタ−を用いパ−ティクルの数を測定する。
ンブリの部品1を超純水2で超音波洗浄し，剥離したパ−
ティクル3を含む超純水2を、 液体用パ−ティクルカウ
ンタ−を用いパ−ティクルの数を測定する。
【０００４】または、その液体２をフィルタ４でフィル
タリングし、パ−ティクル３を集め、パ−ティクルアナ
ライザ等を用い分析する。
タリングし、パ−ティクル３を集め、パ−ティクルアナ
ライザ等を用い分析する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、集塵／
カウント技術が向上し、より細かい微粒径の パ−ティ
クルについても測定出来るようになって来ると、以下の
ような問題が発生する。 （１）超純水中のパ−ティクルが無視できなく，かつビ
−カ−等の容器コンタミの影響も大きく，バックグラン
ドを取るのに多大の時間並びに高度なテクニックを必要
とする。
カウント技術が向上し、より細かい微粒径の パ−ティ
クルについても測定出来るようになって来ると、以下の
ような問題が発生する。 （１）超純水中のパ−ティクルが無視できなく，かつビ
−カ−等の容器コンタミの影響も大きく，バックグラン
ドを取るのに多大の時間並びに高度なテクニックを必要
とする。
【０００６】（２）超音波洗浄することにより、必要以
上の（通常なら落ちない）パ−ティクルを落してしま
い，測定結果の信頼性を低下させていた。
上の（通常なら落ちない）パ−ティクルを落してしま
い，測定結果の信頼性を低下させていた。
【０００７】（３）液体用パ−ティクルカウンタ−で
は、超音波洗浄により発生した気泡をもカウントしてし
まい，特に、微粒径の パ−ティクルの再現性を得るこ
とが、ほとんど不可能であった。
は、超音波洗浄により発生した気泡をもカウントしてし
まい，特に、微粒径の パ−ティクルの再現性を得るこ
とが、ほとんど不可能であった。
【０００８】（４）超純水中のパ−ティクルをフィルタ
−上に捕集する手間がかかる上，水に溶けるパ−ティク
ルについては捕集出来なかった。
−上に捕集する手間がかかる上，水に溶けるパ−ティク
ルについては捕集出来なかった。
【０００９】（５）浸漬出来ない部品、たとえば、モー
ターが組み込まれた部品等については測定出来なかっ
た。また、組み立てられた部品については、動作してい
る状態での集塵／カウントができなかった。
ターが組み込まれた部品等については測定出来なかっ
た。また、組み立てられた部品については、動作してい
る状態での集塵／カウントができなかった。
【００１０】本発明の目的は、上記の課題を解決するも
ので、簡単で，再現性の良い測定を可能にするため，ド
ライ方式の集塵／カウント装置を実現する事を目的とす
る．
ので、簡単で，再現性の良い測定を可能にするため，ド
ライ方式の集塵／カウント装置を実現する事を目的とす
る．
【００１１】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明では、請求項１においては、密閉構造
のチャンバーと、このチャンバーに設けられた空気流入
口と、この気体流入口に設けられたウルパフィルタと、
前記チャンバーに設けられた空気流出口と、この空気流
出口に接続されたサイクロン式の大流量パーティクル集
塵／カウント装置と、前記チャンバー内に設けられ集塵
対象物が取付けられるターンテーブルと、前記集塵対象
物に空気を吹き付けるノズルとを具備した事を特徴とす
る。
るために、本発明では、請求項１においては、密閉構造
のチャンバーと、このチャンバーに設けられた空気流入
口と、この気体流入口に設けられたウルパフィルタと、
前記チャンバーに設けられた空気流出口と、この空気流
出口に接続されたサイクロン式の大流量パーティクル集
塵／カウント装置と、前記チャンバー内に設けられ集塵
対象物が取付けられるターンテーブルと、前記集塵対象
物に空気を吹き付けるノズルとを具備した事を特徴とす
る。
【００１２】本発明の請求項２においては、請求項1記
載の集塵／カウント装置において、前記ノズルと前記タ
ーンテーブルの両方あるいは前記ノズルとターンテーブ
ルのいずれか一方が回転されるようにされたことを特徴
とする。
載の集塵／カウント装置において、前記ノズルと前記タ
ーンテーブルの両方あるいは前記ノズルとターンテーブ
ルのいずれか一方が回転されるようにされたことを特徴
とする。
【００１３】本発明の請求項３においては、請求項1又
は請求項２記載の集塵／カウント装置において、前記タ
ーンテーブルを回転する回転軸と前記チャンバーとの隙
間に設けられこの隙間を通って前記チャンバー内に侵入
しようとする塵を吸引して外部に排出する吸引装置を具
備したことを特徴とする。
は請求項２記載の集塵／カウント装置において、前記タ
ーンテーブルを回転する回転軸と前記チャンバーとの隙
間に設けられこの隙間を通って前記チャンバー内に侵入
しようとする塵を吸引して外部に排出する吸引装置を具
備したことを特徴とする。
【００１４】本発明の請求項４においては、請求項１乃
至請求項3の何れかに記載の集塵／カウント装置におい
て、前記ノズルとして、前記ターンテーブルのテーブル
面に平行に中心軸が配置されたノズル筒体と、この筒体
の周面に設けられ前記集塵対象物に前記テーブル面に直
交した方向に空気を吹き付ける少なくとも1個のノズル
孔とを具備したことを特徴とする。
至請求項3の何れかに記載の集塵／カウント装置におい
て、前記ノズルとして、前記ターンテーブルのテーブル
面に平行に中心軸が配置されたノズル筒体と、この筒体
の周面に設けられ前記集塵対象物に前記テーブル面に直
交した方向に空気を吹き付ける少なくとも1個のノズル
孔とを具備したことを特徴とする。
【００１５】本発明の請求項５においては、請求項１乃
至請求項3の何れかに記載の集塵／カウント装置におい
て、前記ターンテーブルのテーブル面に直交した方向に
中心軸が配置され一端に設けられたノズル孔よりそれぞ
れ前記集塵対象物の所定個所の内の1個所を個別に所定
個所を重複することなく空気を吹き付ける所定個の筒状
のノズルとを具備した事を特徴とする。
至請求項3の何れかに記載の集塵／カウント装置におい
て、前記ターンテーブルのテーブル面に直交した方向に
中心軸が配置され一端に設けられたノズル孔よりそれぞ
れ前記集塵対象物の所定個所の内の1個所を個別に所定
個所を重複することなく空気を吹き付ける所定個の筒状
のノズルとを具備した事を特徴とする。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、
図2は図1の平面図、図3は図１の要部詳細図、図4は図３
のノズルの詳細図、図5は図４の底面図、図6は図１の要
部詳細図である。図において、図１３と同一記号の構成
は同一機能を表す。以下、図１３と相違部分のみ説明す
る。
説明する。図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、
図2は図1の平面図、図3は図１の要部詳細図、図4は図３
のノズルの詳細図、図5は図４の底面図、図6は図１の要
部詳細図である。図において、図１３と同一記号の構成
は同一機能を表す。以下、図１３と相違部分のみ説明す
る。
【００１７】図１において、チャンバー１１は、密閉構
造をなす。空気流入口１２は、このチャンバー１１に設
けられている。ウルパフィルタ（ＵＬＰＡフィルタ）１
３は、この気体流入口１２に設けられ、チャンバ−１１
内にクリ−ンな空気を供給する。
造をなす。空気流入口１２は、このチャンバー１１に設
けられている。ウルパフィルタ（ＵＬＰＡフィルタ）１
３は、この気体流入口１２に設けられ、チャンバ−１１
内にクリ−ンな空気を供給する。
【００１８】空気流出口１４は、チャンバー１１に設け
られている。サイクロン式の大流量パーティクル集塵／
カウント装置１５は、この空気流出口１４に接続され、
この場合は、約1.2ｍ3／minの流量で吸引する。
られている。サイクロン式の大流量パーティクル集塵／
カウント装置１５は、この空気流出口１４に接続され、
この場合は、約1.2ｍ3／minの流量で吸引する。
【００１９】ターンテーブル１６は、チャンバー１１内
に設けられ、集塵対象物Aを乗せる。この場合は、集塵
対象物Aとして、ハ−ドディスクアセンブリの部品が使
用されている。
に設けられ、集塵対象物Aを乗せる。この場合は、集塵
対象物Aとして、ハ−ドディスクアセンブリの部品が使
用されている。
【００２０】ノズル１７は、集塵対象物Aに空気を吹き
付ける。この場合は、図３，図４，図5に示す如く、ノ
ズル１７として、ターンテーブル１６のテーブル面に平
行に中心軸が配置されたノズル筒体１７１と、この筒体
１７１の周面に設けられ、集塵対象物Aに、テーブル面
に直交した方向に空気を吹き付ける少なくとも1個のノ
ズル孔１７２とを有する。
付ける。この場合は、図３，図４，図5に示す如く、ノ
ズル１７として、ターンテーブル１６のテーブル面に平
行に中心軸が配置されたノズル筒体１７１と、この筒体
１７１の周面に設けられ、集塵対象物Aに、テーブル面
に直交した方向に空気を吹き付ける少なくとも1個のノ
ズル孔１７２とを有する。
【００２１】この場合は、ハ−ドディスクアセンブリの
部品Ａより１０ｍｍの位置に配置され，２．５ｍｍピッ
チで２５ｍｍにわたり９個の孔１７２が開けられ、その
孔１７２から空気をハ−ドディスクアセンブリの部品Ａ
上に吹き付ける。
部品Ａより１０ｍｍの位置に配置され，２．５ｍｍピッ
チで２５ｍｍにわたり９個の孔１７２が開けられ、その
孔１７２から空気をハ−ドディスクアセンブリの部品Ａ
上に吹き付ける。
【００２２】この場合は、ターンテーブル１６が回転す
るようになっている。従って、図６に示す如く、この場
合、ターンテーブル１６を回転する回転軸２１とチャン
バー１１との隙間２２に設けられ、この隙間２２を通っ
てチャンバー１１内に侵入しようとする塵を吸引して、
外部に排出する吸引装置２３が設けられている。
るようになっている。従って、図６に示す如く、この場
合、ターンテーブル１６を回転する回転軸２１とチャン
バー１１との隙間２２に設けられ、この隙間２２を通っ
てチャンバー１１内に侵入しようとする塵を吸引して、
外部に排出する吸引装置２３が設けられている。
【００２３】以上の構成において、サイクロン式の大流
量パーティクル集塵／カウント装置１５は、空気流出口
１４に接続され、この場合は、約1.2ｍ3／minの流量で
吸引する。
量パーティクル集塵／カウント装置１５は、空気流出口
１４に接続され、この場合は、約1.2ｍ3／minの流量で
吸引する。
【００２４】ウルパフィルタ１３が、気体流入口１２に
設けられているので、チャンバ−１１内にクリ−ンな空
気が供給される。集塵対象物Aとしてのハ−ドディスク
アセンブリの部品が、タ−ンテ−ブル１６に乗せられ，
ノズル１７から空気が吹き付けられることにより，ハ−
ドディスクアセンブリの部品Ａに付着しているパ−ティ
クルは、チャンバ−１１内に飛散する。
設けられているので、チャンバ−１１内にクリ−ンな空
気が供給される。集塵対象物Aとしてのハ−ドディスク
アセンブリの部品が、タ−ンテ−ブル１６に乗せられ，
ノズル１７から空気が吹き付けられることにより，ハ−
ドディスクアセンブリの部品Ａに付着しているパ−ティ
クルは、チャンバ−１１内に飛散する。
【００２５】飛散したパ−ティクルは、サイクロン式の
大流量パーティクル集塵／カウント装置１５により吸引
され，各粒径毎に数がカウントされる。カウントされた
パ−ティクルは捕集用フィルタ−に捕獲され，パ−ティ
クルアナライザー等で分析する事が出来る。
大流量パーティクル集塵／カウント装置１５により吸引
され，各粒径毎に数がカウントされる。カウントされた
パ−ティクルは捕集用フィルタ−に捕獲され，パ−ティ
クルアナライザー等で分析する事が出来る。
【００２６】タ−ンテ−ブル１６を回転させる事によ
り、ハ−ドディスクアセンブリの部品Ａ全面に空気が吹
き付けられ，付着しているパ−ティクルを効率よく集塵
する事が出来る。
り、ハ−ドディスクアセンブリの部品Ａ全面に空気が吹
き付けられ，付着しているパ−ティクルを効率よく集塵
する事が出来る。
【００２７】図７は、本発明者が測定した一例で、縦軸
はパ−ティクルの捕集個数、横軸は測定経過時間（分）
を示す。パ−ティクルの大きさは０．３ｍμ以上であ
る。最初に吸引Ｅのみを行い、次に、タ−ンテ−ブル１
６の回転Ｆの動作を加え、最後に、ノズル１７から空気
を吹き付けるＧの動作を加えるようにした。
はパ−ティクルの捕集個数、横軸は測定経過時間（分）
を示す。パ−ティクルの大きさは０．３ｍμ以上であ
る。最初に吸引Ｅのみを行い、次に、タ−ンテ−ブル１
６の回転Ｆの動作を加え、最後に、ノズル１７から空気
を吹き付けるＧの動作を加えるようにした。
【００２８】図７に示す如く、吸引Ｅ、回転Ｆ、空気の
吹き付けＧの開始時に、明らかにパ−ティクルが多く捕
集されている。従って、吸引Ｅ、回転Ｆすることによる
吸引風の当たる方向の変化、空気の強制的吹き付けＧの
動作の効果があることが分かる。
吹き付けＧの開始時に、明らかにパ−ティクルが多く捕
集されている。従って、吸引Ｅ、回転Ｆすることによる
吸引風の当たる方向の変化、空気の強制的吹き付けＧの
動作の効果があることが分かる。
【００２９】図８に、バックグランドのレベルの一例を
示す。縦軸はパ−ティクルの捕集個数、横軸は測定経過
時間（分）を示す。パ−ティクルの大きさは０．３ｍμ
以上である。非常に良好なバックグランド状態が得られ
ることが分かる。
示す。縦軸はパ−ティクルの捕集個数、横軸は測定経過
時間（分）を示す。パ−ティクルの大きさは０．３ｍμ
以上である。非常に良好なバックグランド状態が得られ
ることが分かる。
【００３０】図９は本発明の他の実施例の要部構成説明
図、図１０は図９の要部詳細図、図１１は図１０の要部
Ａ−Ａ矢視図でノズル３１と集塵対象物Ａとの配置関係
を示した図、図１２はノズル３１の詳細図である。
図、図１０は図９の要部詳細図、図１１は図１０の要部
Ａ−Ａ矢視図でノズル３１と集塵対象物Ａとの配置関係
を示した図、図１２はノズル３１の詳細図である。
【００３１】本実施例においては、所定個の筒状のノズ
ル３１、この場合は、１０個のノズル３１は、ターンテ
ーブル１６のテーブル面に直交した方向に中心軸が配置
され、一端に設けられたノズル孔３１１より、それぞれ
集塵対象物Ａの所定個所の内の1個所を個別に所定個所
を重複することなく空気を吹き付ける。
ル３１、この場合は、１０個のノズル３１は、ターンテ
ーブル１６のテーブル面に直交した方向に中心軸が配置
され、一端に設けられたノズル孔３１１より、それぞれ
集塵対象物Ａの所定個所の内の1個所を個別に所定個所
を重複することなく空気を吹き付ける。
【００３２】この場合は、集塵対象物Aとして、ハ−ド
ディスクアセンブリの部品Ａが使用されている。集塵対
象物Ａの所定個所とは、この場合は、図１１に示す如
く、ハ−ドディスクアセンブリの部品Ａのａ〜ｊの個所
がこれに当たる。
ディスクアセンブリの部品Ａが使用されている。集塵対
象物Ａの所定個所とは、この場合は、図１１に示す如
く、ハ−ドディスクアセンブリの部品Ａのａ〜ｊの個所
がこれに当たる。
【００３３】以上の構成において、所定個のノズル３１
は、集塵対象物Ａに対する位置がずらして配置されてい
るので、ターンテーブル１６を回転させることにより、
この場合は１０個のハ−ドディスクアセンブリの部品の
所定個所を一度に集塵／カウントし評価することが出来
る。
は、集塵対象物Ａに対する位置がずらして配置されてい
るので、ターンテーブル１６を回転させることにより、
この場合は１０個のハ−ドディスクアセンブリの部品の
所定個所を一度に集塵／カウントし評価することが出来
る。
【００３４】この結果、集塵対象物Ａの必要な所定個所
ａ〜ｊのみを選択して集塵／カウント出来るので、發塵
個所を容易に解析する事が出来る集塵／カウント装置が
得られる。
ａ〜ｊのみを選択して集塵／カウント出来るので、發塵
個所を容易に解析する事が出来る集塵／カウント装置が
得られる。
【００３５】また、集塵対象物Ａの必要な所定個所ａ〜
ｊのみを選択して集塵／カウント出来るので、効率の良
い集塵／カウント装置が得られる。また、図９実施例で
は、ノズル３１の位置を変えて多数使用し、ターンテー
ブル１６を回転させることにより、一度に多量の集塵対
象物Ａの評価を行うことが出来る集塵／カウント装置が
得られる。
ｊのみを選択して集塵／カウント出来るので、効率の良
い集塵／カウント装置が得られる。また、図９実施例で
は、ノズル３１の位置を変えて多数使用し、ターンテー
ブル１６を回転させることにより、一度に多量の集塵対
象物Ａの評価を行うことが出来る集塵／カウント装置が
得られる。
【００３６】なを、前述の実施例においては、ターンテ
ーブル１６が回転することについて説明したが、これに
限る事は無く、ノズル１７，３１が回転しても良く、ま
た、組立て品の場合は、ターンテーブル１６とノズル１
７，３１とを回転させずに、組立て品自体を動作させ
て、組立て品の動作状態の發塵状態を評価することも出
来る。
ーブル１６が回転することについて説明したが、これに
限る事は無く、ノズル１７，３１が回転しても良く、ま
た、組立て品の場合は、ターンテーブル１６とノズル１
７，３１とを回転させずに、組立て品自体を動作させ
て、組立て品の動作状態の發塵状態を評価することも出
来る。
【００３７】なお、以上の説明は、本発明の説明および
例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎな
い。したがって本発明は、上記実施例に限定されること
なく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、
変形をも含むものである。
例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎな
い。したがって本発明は、上記実施例に限定されること
なく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、
変形をも含むものである。
【００３８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項１
によれば、次のような効果がある。従来の如き、ウエッ
ト処理に起因する問題、又はウエット処理が不可能な物
のコンタミ状況を集塵し，測定するためドライ方式によ
る装置を開発した。
によれば、次のような効果がある。従来の如き、ウエッ
ト処理に起因する問題、又はウエット処理が不可能な物
のコンタミ状況を集塵し，測定するためドライ方式によ
る装置を開発した。
【００３９】そして、パ−ティクルを効率よく集塵、測
定するため、ノズルによる空気吹き付け方式を併用し
た。
定するため、ノズルによる空気吹き付け方式を併用し
た。
【００４０】また、パ−ティクルを周囲に発散させない
ため、チャンバ−内を密閉構造とし、出入り口を２カ所
設け、片方からサイクロン式の大流量パーティクル集塵
／カウント装置で大量吸引し、他方はクリ−ンな空気を
チャンバ−内に供給するためウルパフィルタ−を取り付
ける構造とした。
ため、チャンバ−内を密閉構造とし、出入り口を２カ所
設け、片方からサイクロン式の大流量パーティクル集塵
／カウント装置で大量吸引し、他方はクリ−ンな空気を
チャンバ−内に供給するためウルパフィルタ−を取り付
ける構造とした。
【００４１】従って、 （１）液体用パーティクルカウンターの如く、超純水中
のパ−ティクルの存在を気にすること無く、かつ、ビ−
カ−等の容器コンタミの影響を気にすること無く、バッ
クグランドを取るのに多大の時間並びに高度なテクニッ
クを必要としない集塵／カウント装置が得られる。
のパ−ティクルの存在を気にすること無く、かつ、ビ−
カ−等の容器コンタミの影響を気にすること無く、バッ
クグランドを取るのに多大の時間並びに高度なテクニッ
クを必要としない集塵／カウント装置が得られる。
【００４２】（２）超音波洗浄することにより、必要以
上の（通常なら落ちない）パ−ティクルを落してしま
い、測定結果の信頼性を低下させる事も無い集塵／カウ
ント装置が得られる。
上の（通常なら落ちない）パ−ティクルを落してしま
い、測定結果の信頼性を低下させる事も無い集塵／カウ
ント装置が得られる。
【００４３】（３）液体用パ−ティクルカウンタ−で
は、超音波洗浄により発生した気泡をもカウントしてし
まい、特に、微粒径の パ−ティクルの再現性を得るこ
とが、ほとんど不可能になる事も無い集塵／カウント装
置が得られる。
は、超音波洗浄により発生した気泡をもカウントしてし
まい、特に、微粒径の パ−ティクルの再現性を得るこ
とが、ほとんど不可能になる事も無い集塵／カウント装
置が得られる。
【００４４】（４）超純水中のパ−ティクルをフィルタ
−上に捕集する手間がかかる上、水に溶けるパ−ティク
ルについては捕集出来ない問題も生じない集塵／カウン
ト装置が得られる。
−上に捕集する手間がかかる上、水に溶けるパ−ティク
ルについては捕集出来ない問題も生じない集塵／カウン
ト装置が得られる。
【００４５】（５）浸漬出来ないような部品、たとえ
ば、モーターが組み込まれた部品等についても測定出来
るようになる集塵／カウント装置が得られる。また、組
み立てられた部品については、動いている状態での集塵
／カウントをも出来るようになる集塵／カウント装置が
得られる。
ば、モーターが組み込まれた部品等についても測定出来
るようになる集塵／カウント装置が得られる。また、組
み立てられた部品については、動いている状態での集塵
／カウントをも出来るようになる集塵／カウント装置が
得られる。
【００４６】本発明の請求項２によれば、次のような効
果がある。ノズルとターンテーブルの両方あるいはノズ
ルとターンテーブルのいずれか一方が回転されるように
された。従って、集塵対象物全面からのパーティクルの
捕集を可能とした集塵／カウント装置が得られる。
果がある。ノズルとターンテーブルの両方あるいはノズ
ルとターンテーブルのいずれか一方が回転されるように
された。従って、集塵対象物全面からのパーティクルの
捕集を可能とした集塵／カウント装置が得られる。
【００４７】本発明の請求項３によれば、次のような効
果がある。ターンテーブルの回転により発生する塵をも
防止出来るので、より精度が向上された集塵／カウント
装置が得られる。
果がある。ターンテーブルの回転により発生する塵をも
防止出来るので、より精度が向上された集塵／カウント
装置が得られる。
【００４８】本発明の請求項４によれば、次のような効
果がある。ハ−ドディスクアセンブリの部品全面に空気
が吹き付けられ、付着しているパ−ティクルを効率よく
集塵する事が出来る集塵／カウント装置が得られる。
果がある。ハ−ドディスクアセンブリの部品全面に空気
が吹き付けられ、付着しているパ−ティクルを効率よく
集塵する事が出来る集塵／カウント装置が得られる。
【００４９】本発明の請求項５によれば、次のような効
果がある。集塵対象物の必要な所定個所のみを選択して
集塵／カウント出来るので、發塵個所を容易に解析する
事が出来る集塵／カウント装置が得られる。また、集塵
対象物の必要な所定個所のみを選択して集塵／カウント
出来るので、効率の良い集塵／カウント装置が得られ
る。
果がある。集塵対象物の必要な所定個所のみを選択して
集塵／カウント出来るので、發塵個所を容易に解析する
事が出来る集塵／カウント装置が得られる。また、集塵
対象物の必要な所定個所のみを選択して集塵／カウント
出来るので、効率の良い集塵／カウント装置が得られ
る。
【００５０】従って、本発明によれば、簡単で、再現性
の良い測定を可能にした、ドライ方式の集塵／カウント
装置を実現することが出来る。
の良い測定を可能にした、ドライ方式の集塵／カウント
装置を実現することが出来る。
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】図１の要部詳細図である。
【図４】図３のノズルの詳細図である。
【図５】図４の底面図である。
【図６】図１の要部詳細図である。
【図７】図１の動作説明図である。
【図８】図１の動作説明図である。
【図９】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図１０】図９の要部詳細図である。
【図１１】図１０の要部Ａ−Ａ矢視図でノズル３１と集
塵対象物Ａとの配置関係を示した図である。
塵対象物Ａとの配置関係を示した図である。
【図１２】ノズル３１の詳細である。
【図１３】従来より一般に使用されている集塵／カウン
ト装置の説明図である。
ト装置の説明図である。
１１ チャンバー １２ 空気流入口 １３ ウルパフィルタ １４ 空気流出口 １５ サイクロン式の大流量パーティクル集塵／カウ
ント装置 １６ ターンテーブル １７ ノズル １７１ ノズル筒体 １７２ ノズル孔 ２１ 回転軸 ３１ ノズル ３１１ ノズル孔 ３２ 第２のモニタ器 ３３ 第1と第２の電荷増幅器 ３４ 第1と第２の電荷増幅器 ３５ 演算器 ３６ 演算器 A 集塵対象物 E 吸引 F 回転 G 空気の吹き付け
ント装置 １６ ターンテーブル １７ ノズル １７１ ノズル筒体 １７２ ノズル孔 ２１ 回転軸 ３１ ノズル ３１１ ノズル孔 ３２ 第２のモニタ器 ３３ 第1と第２の電荷増幅器 ３４ 第1と第２の電荷増幅器 ３５ 演算器 ３６ 演算器 A 集塵対象物 E 吸引 F 回転 G 空気の吹き付け
Claims (5)
- 【請求項１】密閉構造のチャンバーと、 このチャンバーに設けられた空気流入口と、 この気体流入口に設けられたウルパフィルタと、 前記チャンバーに設けられた空気流出口と、 この空気流出口に接続されたサイクロン式の大流量パー
ティクル集塵／カウント装置と、 前記チャンバー内に設けられ集塵対象物が取付けられる
ターンテーブルと、 前記集塵対象物に空気を吹き付けるノズルとを具備した
事を特徴とする集塵／カウント装置。 - 【請求項２】前記ノズルあるいは前記ターンテーブルの
何れかが回転されるようにされたことを特徴とする請求
項１記載の集塵／カウント装置。集塵／カウント装置。 - 【請求項３】前記ターンテーブルを回転する回転軸と前
記チャンバーとの隙間に設けられこの隙間を通って前記
チャンバー内に侵入しようとする塵を吸引して外部に排
出する吸引装置を具備した事を特徴とする請求項１又は
請求項２記載の集塵／カウント装置。 - 【請求項４】前記ノズルとして、前記ターンテーブルの
テーブル面に平行に中心軸が配置されたノズル筒体と、 この筒体の周面に設けられ前記集塵対象物に前記テーブ
ル面に直交した方向に空気を吹き付ける少なくとも1個
のノズル孔とを具備した事を特徴とする請求項1乃至請
求項3の何れかに記載の集塵／カウント装置。 - 【請求項５】前記ターンテーブルのテーブル面に直交し
た方向に中心軸が配置され一端に設けられたノズル孔よ
りそれぞれ前記集塵対象物の所定個所の内の1個所を個
別に所定個所を重複することなく空気を吹き付ける所定
個の筒状のノズルとを具備した事を特徴とする請求項1
乃至請求項3の何れかに記載の集塵／カウント装置。
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|---|---|---|---|
| JP2000109582A JP3757414B2 (ja) | 2000-04-11 | 2000-04-11 | 集塵／カウント装置 |
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