JPH07103863A

JPH07103863A - 付着物検査装置および付着物検査方法

Info

Publication number: JPH07103863A
Application number: JP5244844A
Authority: JP
Inventors: Seiji Maeda; 清司前田; Hiroshi Tanaka; 博司田中
Original assignee: Renesas Semiconductor Engineering Corp; Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Renesas Semiconductor Engineering Corp; Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1993-09-30
Filing date: 1993-09-30
Publication date: 1995-04-21

Abstract

(57)【要約】【目的】部品表面評価を容易に短時間でかつ定量的に
行なう。【構成】この発明に基づく付着物検査装置は、部品１
が載置されるステージ２と、部品１の表面にガスを吹付
けるための吹付けノズル４と、この吹付けノズル４を通
して部品１の表面に吹付けられたガスを捕集するための
捕集吸引管３と、この捕集吸引管３に接続され、捕集吸
引管３内に送込まれた付着物を含むガスに含まれる付着
物の検査を行なうためのダストカウンタ５などの検査手
段とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、部品表面に付着した
付着物を評価するための付着物検査（評価）装置および
付着物検査（評価）方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】以下、従来の一般的な部品表面の評価方
法について説明する。たとえば、半導体製造などに用い
られる製造装置に組込まれている部品は、一定の期間経
過後に、新しい部品あるいは洗浄した部品に交換するこ
とが一般的である。製造装置において処理されるプロセ
スは様々なものがある。そのため、製造装置において使
用されている部品の表面においても、膜状あるいはパー
ティクル状の生成物の付着、表面反応による変質などの
変化が起こっている。これらの変化の蓄積によって、部
品表面の形状や特性が変化する。そのため、製造装置と
しての性能が維持できなくなる寸前までの期間を定め
て、部品の交換を行なう必要がある。

【０００３】一方、部品を交換した直後においても、そ
の交換された部品の表面状態によっては、装置本来の性
能が発揮されない場合もある。これは、部品の表面状態
が、製造装置の性能に大きく影響していることによるも
のである。したがって、部品の表面の評価を正確に行な
うことは、製造装置の性能を十分に発揮させる上で非常
に重要なことであるといえる。

【０００４】たとえば、半導体製造装置においては、プ
ロセス技術の革新によって微細化が進み、０．１μｍ以
下のパーティクルが問題視されている。したがって、ウ
エハ表面検査装置によって、本来はすべての工程におい
て、０．１μｍ以下のパーティクルを管理すべきであ
る。

【０００５】しかし、工程によっては、検出限界が異な
っているのが現状である。すなわち、工程によって、
０．１μｍ〜数μｍの様々なパーティクルサイズで管理
規格が設けられてある。そして、パーティクルサイズが
この管理規格を外れた場合に、装置本来の性能が発揮さ
れないと判断され、部品交換のメンテナンス作業が行な
われる。

【０００６】そこで、従来は、部品表面の状態を見るた
めに、光学顕微鏡を使用していた。そして、この光学顕
微鏡によって、部品の所定部分を目視し、色や表面のざ
らつき、付着物、疵などから感覚的に汚れ具合を判断し
ていた。したがって、上記のような半導体製造装置にお
ける微小のパーティクルは、光学顕微鏡で観察できるも
のではないが、従来は、光学顕微鏡でとらえられる範囲
で定性的に部品表面の汚れを判断していた。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような光学顕微鏡を用いた部品の表面評価では、次に説
明するような４つの問題点があった。

【０００８】まず第１の問題点について説明する。上述
のように、光学顕微鏡による観察によっては、０．１μ
ｍ程度の大きさの微小なパーティクルの観察を行なうこ
とはほぼ不可能に近い。したがって、光学顕微鏡を用い
た部品の表面評価では、ある程度以上の大きさを有する
付着物や、部品表面の色やざらつきなどから汚れ具合を
判断しているだけであった。

【０００９】したがって、このような判断では、部品洗
浄工程の後に、部品表面を光学顕微鏡で観察したとして
も、部品表面に残余する微小サイズのパーティクルを発
見することはほぼ不可能である。このような微小なパー
ティクルが部品表面に残存することによって、半導体装
置の性能に悪影響を与えるという問題が生じる。

【００１０】次に、第２の問題点について説明する。上
記のように、光学顕微鏡を用いて部品表面を観察した場
合には、観察する人によって判断結果に大きな差をもた
らすことが考えられる。すなわち、一定の判断基準のも
とで、部品表面の評価が行なわれないことになる。それ
により、部品の表面の汚れ具合の良し悪しの判断と、部
品表面の洗浄方法との対応関係をとりにくくなる。その
結果、適切な部品表面の洗浄方法を選択するのが困難と
なるといった問題点も生じる。

【００１１】次に、第３の問題点について説明する。上
記のような光学顕微鏡を用いた観察によれば、観察すべ
き箇所が広いほど時間がかかる。そのため、作業性、作
業効率が悪くなるという問題点が生じる。

【００１２】この問題点を解消するためには、画像処理
技術を用いて無人化を行なうことも考えられなくはな
い。しかし、様々な部品を対象に考えた場合には、高度
な技術力が必要になる。それにより、部品表面の評価の
ために多額の費用が必要となり好ましくないといえる。

【００１３】また、上記のような３つの大きな問題点を
有することによって、従来の部品表面の評価が、製造装
置の稼働率を低下させるオーバーホールなどのメンテナ
ンスのやり直しに対して何ら防護策にはなり得ていない
といった第４の問題点もあった。

【００１４】この発明は上記のような課題を解決するた
めなれたものである。この発明の目的は、短時間で容易
に定量的な判断が行なえ、かつ多種部品に対応可能な付
着物検査装置および付着物検査方法を提供することにあ
る。

【００１５】

【課題を解決するための手段】この発明に基づく付着物
検査装置は、部品が載置される主表面を有するステージ
と、このステージの主表面上に載置された部品表面にガ
スを吹付けるためのノズルと、ノズルを通して部品に吹
付けられることによって部品表面の付着物を含んだガス
を捕集するための捕集管路と、捕集管路に接続され捕集
管路に送込まれたガスに含まれる付着物の検査を行なう
検査手段とを備えている。

【００１６】この発明に基づく付着物検査方法よれば、
まず、部品表面にガスを吹付けることによって部品表面
の付着物を剥離させる。そして、付着物を含むガスを捕
集する。この付着物を含むガスを検査手段に送込むこと
によって付着物の検査を行なう。

【００１７】

【作用】この発明に基づく付着物検査装置によれば、ノ
ズルを通して部品表面に吹付けられたガスによって部品
表面の付着物を剥離させ、その付着物を捕集管路で捕集
している。それにより、部品表面に付着した付着物の大
きさに関わりなくその付着物を捕集することが可能とな
る。

【００１８】そして、このように捕集された付着物を含
むガスが、捕集管路を通って検査手段に送込まれる。そ
れにより、従来行なえなかった微小な付着物の検査をも
行なうことが可能となる。また、ノズルを通して部品表
面にガスを吹付け、それを捕集するだけで部品表面に付
着した付着物の捕集を行なうことが可能となるため、従
来のように目視による観察に比べて作業性は飛躍的に向
上する。

【００１９】さらに、ステージを駆動させる手段あるい
はノズルと捕集管路とを移動させる手段を備えた場合に
は、部品の表面のいたる所の付着物の検査を行なうこと
も可能となる。さらに、検査手段を適切に選択すること
によって、従来のように人による目視観察に比べて、一
定の判断基準の下で定量的な部品表面の検査を行うこと
が可能となる。

【００２０】この発明に基づく付着物検査方法によれ
ば、部品表面にガスを吹付けることによって部品表面の
付着物を剥離させた後、その付着物を捕集している。し
たがって、微小なレベルの付着物の検査をも容易にかつ
再現性良く行なうことが可能となる。

【００２１】

【実施例】以下、この発明の実施例について図１〜図１
４を用いて説明する。

【００２２】（第１実施例）まず、この発明に基づく第
１の実施例について説明する。図１は、この発明に基づ
く第１の実施例における付着物検査装置の概略構成を示
す模式図である。

【００２３】図１を参照して、本実施例における付着物
検査装置は、ステージ台６に設けられその主表面上に検
査対象となる部品が載置されるステージ２と、このステ
ージ２上に載置される部品１表面にガスを吹付けるため
の吹付けノズル４と、この吹付けノズル４に接続され、
吹付けノズル４を通して部品１の表面にガスを供給する
ためのガス供給源７と、ノズル４を通して部品１表面に
吹付けられることによって部品１の表面の付着物を含ん
だガスを捕集するための捕集吸引管３と、この捕集吸引
管３に接続された検査手段としてのダストカウンタ５
と、ダストカウンタ５内および捕集吸引管３内に付着物
を含むガスを吸引するためのガス吸引手段８とを備えて
いる。

【００２４】上記の部品１の一例としては、ＣＶＤ装置
などで用いられる拡散板などを挙げることができる。ま
た、ガス吸引手段８としては、ポンプなどを挙げること
ができる。また、部品１の表面に吹付けられるガスとし
ては、乾燥空気あるいは不活性ガスなどを挙げることが
できる。

【００２５】次に、図１に示される付着物検査装置の動
作について説明する。まず、ガス供給源７から、吹付け
ノズル４を通して部品１表面にガスが吹付けられる。こ
のガスによって部品１表面に付着した付着物が剥離され
る。この付着物を含むガスを、捕集吸引管３によって捕
集する。それにより、微小なサイズの付着物を容易に捕
集することが可能となる。

【００２６】そして、この捕集吸引管３を通して、ダス
トカウンタ５内に付着物を含むガスが送込まれる。この
ダストカウンタ５内で、付着物の大きさと数などを測定
する。現在のダストカウンタ５は、０．１μｍ程度の微
小なパーティクルの検出が可能である。それにより、部
品表面の清浄度がより正確に判断できる。

【００２７】このようにして、部品表面の評価が行なわ
れるため、短時間でかつ定量的な判断が行なえ、微小な
大きさの付着物の測定をも行なうことが可能となる。そ
の結果、製造装置の性能に悪影響を及ぼす微小な異物の
管理が可能となる。

【００２８】（第２実施例）次に、この発明に基づく第
２の実施例について図２を用いて説明する。図２は、こ
の発明に基づく第２の実施例における特徴部分を拡大し
た斜視図である。

【００２９】本実施例においては、吹付けノズル４およ
び捕集吸引管３の一方端を覆うように、捕集カバー９が
設けられている。この捕集カバー９は、ガスが吹付けら
れる部品表面上の領域を取囲むように、付着物検査装置
に設けられることが好ましい。それにより、吹付けノズ
ル４を通して部品１表面に吹付けられたガスを、効率よ
く捕集吸引管３によって捕集することが可能となる。そ
の結果、より正確な部品表面の評価が効率的に行なえ
る。

【００３０】なお、図２に示される態様においては、捕
集カバー９は吹付けノズル４および捕集吸引管３に取付
けられている。しかし、この捕集カバー９は、吹付けノ
ズル４を通してガスが吹付けられる部品１表面を覆うよ
うに配置されればよい。また、吹付けノズル４における
ガスの吹出し口と、捕集吸引管３におけるガスの吸引口
は、捕集カバー９と部品１表面との間の領域に配置され
ればよい。

【００３１】（第３実施例）次に、図３を用いて、この
発明に基づく第３の実施例について説明する。図３
（ａ）は、この発明に基づく第３の実施例において、付
着物検査装置に設けられる補助台１０を示す断面図であ
る。図３（ｂ）は、本実施例における補助台１０をステ
ージ２上に配置した状態を示す断面図である。

【００３２】検査対象となる部品１には、種々の形状を
したものがある。部品１は、略平坦な主表面を有するス
テージ２上に配置される。しかし、部品１によっては、
その底面が凹凸段差の大きい形状を有するものがある。
その場合には、ステージ２上で部品１を安定して配置す
ることは困難となる。それにより、再現性よくその部品
１の所定箇所を検査することが困難となる。

【００３３】このような場合に、本実施例は適用され
る。すなわち、本実施例における補助台１０の上面に
は、検査対象となる部品１の底面の形状に対応した凹凸
段差形状が設けられている。そして、補助台１０の底面
は、ほぼ平坦な形状を有している。

【００３４】そのため、どのような形状の部品１に対し
ても、ステージ２上で再現性よくその部品１を所定位置
に固定することが可能となる。それにより、どのような
形状の部品１に対しても、再現性よくその部品１の所定
箇所の表面評価を行うことが可能となる。

【００３５】（第４実施例）次に、この発明に基づく第
４の実施例について説明する。図４は、この発明に基づ
く第４の実施例の特徴部分を示す模式図である。

【００３６】図４を参照して、本実施例においては、捕
集吸引管３に、評価用フィルタ１１がフィルタホルダな
どを介して接続されている。この評価用フィルタ１１
は、所定の大きさ以上の大きさを有する付着物を捕集す
るものである。

【００３７】このように評価用フィルタ１１を設けるこ
とによって、所定以上の大きさの付着物とそれ以下の大
きさの付着物とを分けて捕集できる。それにより、付着
物の大きさ、形状あるいは成分などの検査を容易に行な
うことが可能となる。また、特定の大きさの付着物のみ
を捕集してその形状、成分などを検査できる。それによ
り、より正確な部品表面の評価が容易に行なえる。

【００３８】なお、評価用フィルタ１１で捕集された付
着物の大きさ、形状に関しては、ＳＥＭによって観察で
きる。また、この評価用フィルタ１１によって捕集され
た付着物の成分に関しては、ＥＰＭＡ（Ｅｌｅｃｔｒｏ
ｎＰｒｏｂｅＭｉｃｒｏＡｎａｌｙｓｉｓ）分析に
よって知ることができる。

【００３９】（第５実施例）次に、図５を用いて、この
発明に基づく第５の実施例について説明する。図５は、
この発明に基づく第５の実施例における特徴部分を示す
模式図である。

【００４０】図５を参照して、本実施例における付着物
検査装置は、溶媒収容容器１２ａを有しており、この溶
媒収容容器１２ａ内には、所定の溶媒１２が入れられて
いる。捕集吸引管３の端部は、この溶媒１２内に配置さ
れる。

【００４１】それにより、捕集吸引管３を通して捕集さ
れたガスを、溶媒１２内に送込むことが可能となる。ま
た、溶媒収納容器１２ａには、管路１２ｂが接続されて
いる。ガス吸引手段８によって捕集されたガスは捕集吸
引管３を通って溶媒１２内に送込まれ、溶媒１２によっ
て所定の成分が吸収された後の残りのガスが、管路１２
ｂを通って溶媒収納容器１２ａ内から放出される。

【００４２】以上のような構成を有することによって、
本発明に基づく付着物検査装置内で、付着物の成分の検
査を行なうことが可能となる。

【００４３】（第６実施例）次に、図６を用いて、この
発明に基づく第６の実施例における付着物検査装置につ
いて説明する。図６は、この発明に基づく第６の実施例
における付着物検査装置の概略機構を示す模式図であ
る。

【００４４】図６を参照して、本実施例においては、ス
テージ２の主表面を含む空間を、周囲の空間から気密に
仕切る装置カバー１４が設けられている。このように装
置カバー１４を設けることによって、どのような環境下
においても毎回同じ条件で部品に付着している付着物の
評価を行なうことが可能となる。

【００４５】なお、本実施例においては、好ましくは、
装置カバー１４の上面あるいは側面に、空気清浄器１３
を設ける。この空気清浄器１３を設けることによって、
装置カバー１４内の空気を常に清浄な状態に保持するこ
とが可能となる。それにより、別々の部品１を連続して
検査する際に、前の部品の付着物が、装置カバー１４内
に残存する可能性を著しく低減させることが可能とな
る。その結果、より正確な部品表面の付着物の検査を行
なうことが可能となる。

【００４６】なお、その他の構成に関しては、図１に示
される第１の実施例における付着物検査装置と同様であ
るため説明は省略する。

【００４７】（第７実施例）次に、図７〜図１０を用い
て、この発明に基づく第７の実施例について説明する。
図７は、この発明に基づく第７の実施例における付着物
検査装置の部品固定機構を示す断面図である。図８
（ａ）は、図７に示されるステージ２の平面図である。
図８（ｂ）は、図７に示される部品固定機構において、
ステージ２の裏面側から見た構造を示す図である。図９
は、図７に示される部品固定機構におけるアームを示す
斜視図である。図１０は、図７に示される部品固定機構
の動作を段階的に示す模式図である。

【００４８】まず図７を参照して、本実施例における部
品固定機構の構造について説明する。図７を参照して、
ステージ２には、接続部材２ａを介してモータ２４が接
続されている。このモータ２４によって、ステージ２は
回転駆動する。また、ステージ２には、アーム軸支持リ
ング１６が嵌合されている。

【００４９】このアーム軸支持リング１６内に、アーム
軸１５ｂが配置される。このアーム軸１５ｂの一方端と
部品固定アーム１５の一方端とは固着されている。そし
て、部品固定アーム１５の他方端には、部品支持部１５
ａが設けられている。この部品支持部１５ａおよび部品
固定アーム１５が、ステージ２の主表面上で回動する。

【００５０】ステージ２下には、ベース部２２および円
板１７が設けられている。このベース部２２および円板
１７内には、接続部材２ａの外周部の所定位置にベアリ
ング２５が設けられている。それにより、モータ２４の
回転に従ってベース部２２に対してステージ２および円
板１７を回動させることが可能となる。

【００５１】ステージ２の裏面には、ステージストッパ
２０が固定されている。上記の円板１７の周縁部には、
係止爪２３が設けられており、この係止爪２３と上記の
ステージストッパ２０とが係合することによって、ステ
ージ２あるいは円板１７の回転動作が制御される。

【００５２】また、ベース部２２には、ベース部ストッ
パ２１が設けられている。このベース部ストッパ２１
は、上下動作が可能にベース部２２に設けられている。
それにより、このベース部ストッパ２１は、ベース部２
２内に入り込んだり、ベース部２２から突出したりす
る。そして、このベース部ストッパ２１がベース部２２
から突出したときに、ベース部ストッパ２１と上記の係
止爪２３とが係合する。

【００５３】次に、図８（ａ）および（ｂ）を用いて、
ステージ２の平面および裏面構造について説明する。ま
ずステージ２の平面構造について説明する。図８（ａ）
を参照して、ステージ２の上面においては、上述のよう
に、部品支持部１５ａを有する部品固定アーム１５が、
ステージ２の主表面上で回動可能にステージ２に取付け
られている。

【００５４】この部品固定アーム１５は、ステージ２の
回転に従って、ステージ２の主表面上で回動する。それ
により、どのような形状の部品１をも、ステージ２上の
所定位置において、固定することが可能となる。また、
同種類の部品をステージ２の主表面における所定位置に
再現性よく固定することが可能となる。その結果、同種
類の部品において、所定の部分の定量的な表面評価を行
なうことが可能となる。

【００５５】なお、部品固定アーム１５の数は、図８
（ａ）に示されるように３本であることが好ましい。そ
れにより、図８に示されるように、ステージ２の主表面
上で部品１を容易に所定位置に固定できる。しかし、部
品固定アーム１５の数は３本以上のものであってもよい
し、２本であってもよい。さらに、本実施例は、前述の
第３の実施例における補助台１０をステージ２上に固定
する手段としても使用できる。

【００５６】次に、図８（ｂ）を参照して、円板１７の
周縁部には、上述のように、係止爪２３が設けられてい
る。また、円板１７の周縁部には、ロッド１５ｄが回動
可能に取付けられている。このロッド１５ｄの一方端
は、クランク１５ｃに回動可能に取付けられている。そ
して、このクランク１５ｃは、アーム軸（図示せず）を
介して上記の部品固定アーム１５に固着されている。

【００５７】次に、図９を参照して、部品固定アーム１
５の構造についてより詳しく説明する。部品固定アーム
１５の一方端には、上述のように、ステージ２主表面で
部品１を所定位置に固定するための部品支持部１５ａが
設けられている。部品固定アーム１５の他方端は、アー
ム軸１５ｂの一方端に固着されている。

【００５８】アーム軸１５ｂは、ステージ２に設けられ
ているアーム軸支持リング１６内を貫通するように設け
られている。そして、このアーム軸１５ｂの他方端は、
クランク１５ｃの一方端に固着されている。

【００５９】クランク１５ｃの他方端は、ロッド１５ｄ
の一方端に回動可能に取付けられている。ロッド１５ｄ
の他方端は、上述のように、円板１７の周縁部に回動可
能に取付けられている。このような構造を有することに
よって、円板１７およびステージ２の回動によって、ス
テージ２の主表面上で部品固定アーム１５および部品支
持部１５ａを回動させることが可能となる。

【００６０】次に、図１０を用いて、上記の構造を有す
る部品固定機構の動作について説明する。なお、図１０
に示される各図は、ステージ２の裏面側から見た図が示
されている。また、説明の便宜上、部品固定アーム１５
は１つだけ示すこととする。

【００６１】まず図１０（ａ）を参照して、この図に示
される状態が、部品固定アーム１５が最も閉じた状態で
ある。このとき、円板１７は、ばね１９およびステージ
ストッパ２０によって固定されている。また、このと
き、ロッド１５ｄとクランク１５ｃとのなす角は最小の
値となる。

【００６２】次に図１０（ｂ）を参照して、ベース部２
２からベース部ストッパ２１を突出させ、このベース部
ストッパ２１と円板１７の係止爪２３とを係合させる。
そして、ステージ２を左回転方向（図中矢印の方向）に
回転させる。このとき、円板１７は、ベース部ストッパ
２１によって回動が制限されている。

【００６３】そのため、ステージ２の回動によって、ば
ね１９は少し伸びた状態となる。また、ステージ２の回
動に伴って、アーム軸支持リング１６の位置も移動す
る。それにより、クランク１５ｃとロッド１５ｄとのな
す角が、上記の（ａ）の場合よりも大きくなる。それに
より、部品固定アーム１５は、ステージ２の主表面上
で、ステージ２の周縁部の方向に回動することとなる。

【００６４】次に図１０（ｃ）を参照して、上記の
（ｂ）の状態からさらにステージ２を左回転方向に回転
させる。それにより、クランク１５ｃとロッド１５ｄと
のなす角度は、上記の（ｂ）の場合よりもさらに大きく
なる。そして、この図１０（ｃ）に示される状態が、ス
テージ２の主表面上で最も部品固定アーム１５がステー
ジ２の周縁部方向に移動した状態（部品固定アーム１５
が最も開いた状態）である。

【００６５】ここで図１０（ｃ）の状態からステージ２
を右方向に回転させ、図１０（ｂ）の状態にもどす。こ
の図１０（ｂ）に示す状態で部品１をステージ２に載置
したとする。次に、図１０（ｄ）を参照して、図１０
（ｂ）に示す状態からさらにステージ２を右方向に回転
させ部品固定アーム１５が部品をはさみ込んだ状態に
し、ベース部ストッパ２１をベース部２２内に埋没させ
る。このとき、伸びた状態のばね１９によって、円板１
７が引っぱられ右回転方向（図中矢印の方向）に回転す
る力が加わる。それにより、クランク１５ｃとロッド１
５ｄとのなす角度が小さくなる。以上のような動作が繰
返されることによって、部品の載置や部品の挟持が部品
の大きさによらず自由に行なえる。

【００６６】すなわち、ステージ２および円板１７を所
定方向に回動させることによって、ステージ２の主表面
上で、部品固定アーム１５に、図１０（ａ）に示される
位置と、図１０（ｃ）に示される位置との間で往復運動
させることになる。それにより、ステージ２の主表面上
の所定位置で、種々の形態の部品を固定することが可能
となる。

【００６７】（第８実施例）次に、図１１を用いて、こ
の発明に基づく第８の実施例について説明する。図１１
は、この発明に基づく第８の実施例における部品表面検
査（評価）装置３３を有する部品洗浄評価システムを示
す概念図である。

【００６８】図１１を参照して、本実施例においては、
部品洗浄装置３４に、本実施例における部品表面評価装
置３３が一体化されたものを示す。図１１を参照して、
部品洗浄装置３４は、洗浄室２６、水洗室２７および乾
燥室３２を有している。洗浄・水洗後にこの乾燥室３２
で乾燥された直後の部品１の表面評価を、本発明に基づ
く部品表面評価装置３３によって行なう。それにより、
部品１の洗浄具合を正確に把握することが可能となる。
その結果、その部品１に適した洗浄方法を選定すること
も可能となる。

【００６９】（第９実施例）次に、図１２を用いて、こ
の発明に基づく第９の実施例における付着物検査装置に
ついて説明する。図１２は、この発明に基づく第９の実
施例における付着物検査装置の概略構成を示す構成図で
ある。

【００７０】図１２を参照して、本実施例においては、
ステージ２に、ステージ２の主表面に対して垂直方向
（上下方向）にのびるＹ方向軸２８が取付けられてい
る。このＹ方向軸２８には、このＹ方向軸２８に沿って
上下方向に移動するＹブロック３０が取付けられる。こ
のＹブロック３０は、Ｙ方向軸２８上を、モータなどに
よって上下方向に移動する。

【００７１】そして、このＹブロック３０には、ステー
ジ２の主表面方向に延びるＸ方向軸２９が取付けられ
る。このＸ方向軸２９には、このＸ方向軸２９に沿って
ステージ２の主表面方向に移動するＸブロック３１が取
付けられる。このＸブロック３１も、上記のＹブロック
３０と同様に、モータなどによってＸ方向軸２９上を移
動する。

【００７２】そして、このＸブロック３１に、吹付けノ
ズル４および捕集吸引管３が取付けられることになる。
このとき、吹付けノズル４および捕集吸引管３は、柔軟
性を有するように設けられることが好ましい。それによ
り、吹付けノズル４および捕集吸引管３をステージ２主
表面上で自由に移動させることが可能となる。その結
果、部品形状に関わらず、その部品表面の付着物を容易
に捕集することが可能となる。それ以外の構造に関して
は、図１に示される第１の実施例における付着物検査装
置とほぼ同様である。

【００７３】（第１０実施例）次に、図１３を用いて、
この発明に基づく第１０の実施例について説明する。図
１３（ａ）は、この発明に基づく第１０の実施例におけ
る付着物検査装置を示す平面図である。図１３（ｂ）
は、（ａ）に示される付着物検査装置の部分断面図であ
る。

【００７４】図１３（ａ）および（ｂ）を参照して、本
実施例においては、ステージ２にこのステージ２を回動
させるためのステージ駆動手段３５が取付けられてい
る。このステージ駆動手段３５は、ステージ２に固定さ
れているステージ回転軸３６と、このステージ回転軸３
６を介してステージ２に取付けられるモータ３７とを有
している。

【００７５】それにより、ステージ２を回転させること
が可能となる。このようにステージ２を回転させること
によって、部品１表面のあらゆる部分の検査を行なうこ
とが可能となる。特に、図１３（ａ）に示されるよう
に、部品１が円板形状をしていた場合には、容易にその
部品１の全表面にわたって評価を行なうことが可能とな
る。

【００７６】なお、図１３（ａ）に示される図において
は、説明の便宜上、吹付けノズル４および捕集吸引管３
は図示を省略している。また、吹付けノズル４および捕
集吸引管３は、図１３（ａ）に示されるＸブロック３１
に取付けられることになる。このとき、ノズル４および
捕集吸引管３は、柔軟性のある材質からなることが好ま
しい。それにより、容易に吹付けノズル４および捕集吸
引管３をステージ２の主表面上で移動させることが可能
となる。それ以外の構造は、図１２に示される第９の実
施例における付着物検査装置とほぼ同様である。

【００７７】（第１１実施例）次に、図１４を用いて、
この発明に基づく第１１の実施例について説明する。図
１４は、この発明に基づく第１１の実施例における付着
物検査装置の概略構成を示す構成図である。なお、本実
施例における付着物検査装置は、上記の第９の実施例に
おける付着物検査装置の使用方法の一例を示すものであ
る。そのため本実施例における付着物検査装置の構造
は、第９の実施例における付着物検査装置と同様であ
る。

【００７８】図１４を参照して、本実施例においては、
凹凸段差の大きい表面形状を有する部品１が、ステージ
２上に載置されている。より具体的には、部品１は、相
対的に低い上面を有するア部と、相対的に高い上面を有
するウ部と、このウ部とア部とを結ぶイ部とを有してい
る。

【００７９】この場合であっても、図１４に示されるよ
うに、Ｙブロック３０およびＸブロック３１を、適切に
動作させることによって、ア部上面、イ部上面およびウ
部上面をそれぞれ容易に検査することが可能となる。以
上のような考え方を利用して、どのような表面形状を有
する部品１に対しても、ほぼ全表面にわたってその部品
表面の評価を容易に行なうことが可能となる。

【００８０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ノズルを通してガスを部品表面に吹付け、その吹付けら
れたガスを捕集することによって部品表面の評価を行な
うことが可能となる。それにより、短時間で容易に部品
表面の評価を行なうことが可能となる。その結果、作業
性を向上させることが可能となる。

【００８１】また、従来よりも、微小なサイズの付着物
をも捕集することが可能となる。さらに、その微小な付
着物の量を定量的に把握することも可能となる。それに
より、部品交換の適／不適の判断が容易にかつ正確に行
なえる。その結果、確実に１回のオーバーホールで製造
装置のメンテナンス作業を終わらせることも可能とな
る。それにより、製造装置の稼働率の低下を効果的に抑
制することも可能となる。

【００８２】さらに、部品表面に付着した付着物の分析
を正確に行なうことが可能となるため、それぞれの部品
に対応した洗浄方法の判断も明確かつ正確に行なうこと
も可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に基づく第１の実施例における付着物
検査装置の概略構成を示す構成図である。

【図２】この発明に基づく第２の実施例における付着物
検査装置の特徴部分を示す斜視図である。

【図３】（ａ）は、この発明に基づく第３の実施例で使
用される補助台を示す断面図である。（ｂ）は、この発
明に基づく第３の実施例における補助台を用いてステー
ジ上に部品を載置した状態を示す断面図である。

【図４】この発明に基づく第４の実施例における付着物
検査装置の特徴部分を示す構成図である。

【図５】この発明に基づく第５の実施例における付着物
検査装置の特徴部分を示す構成図である。

【図６】この発明に基づく第６の実施例における付着物
検査装置の概略構成を示す構成図である。

【図７】この発明に基づく第７の実施例における付着物
検査装置の部品固定機構を示す概略構成図である。

【図８】（ａ）は、図７に示される部品固定機構の平面
図である。（ｂ）は、図７に示される部品固定機構の裏
面図である。

【図９】図７に示される部品固定機構に組込まれるアー
ム部の形状を示す斜視図である。

【図１０】（ａ）はステージ上で部品を固定する位置に
部品固定アームが移動した状態を示す図である。（ｂ）
は（ａ）の状態から部品固定アームをステージの外周部
方向へ移動させた状態を示す図である。（ｃ）は（ｂ）
よりもさらに部品固定アームをステージの外周部方向へ
移動させた状態を示す図である。（ｄ）は（ｃ）の状態
から部品固定アームをステージの中央方向へ向けて移動
させた状態を示す図である。

【図１１】この発明に基づく第８の実施例における部品
検査装置を含む部品評価システムを示す概念図である。

【図１２】この発明に基づく第９の実施例における付着
物検査装置の概略構成を示す構成図である。

【図１３】（ａ）はこの発明に基づく第１０の実施例に
おける付着物検査装置の概略構成を示す平面図である。
（ｂ）は、（ａ）における部分断面図である。

【図１４】この発明に基づく第１１の実施例における付
着物検査装置の概略構成を示す構成図である。

【符号の説明】

１部品２ステージ３捕集吸引管４吹付けノズル５ダストカウンタ７ガス供給源８ガス吸引手段９捕集カバー１０補助台１１評価用フィルタ１２溶媒１３空気清浄器１４装置カバー１５部品固定アーム３０Ｙブロック３１Ｘブロック３５ステージ駆動手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者田中博司兵庫県伊丹市瑞原４丁目１番地三菱電機株式会社北伊丹製作所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】部品表面の付着物の検査を行なう付着物
検査装置であって、部品が載置される主表面を有するステージと、前記ステージの主表面上に載置された前記部品表面にガ
スを吹付けるためのノズルと、前記ノズルを通して前記部品に吹付けられることによっ
て前記部品表面の付着物を含んだ前記ガスを捕集するた
めの捕集管路と、前記捕集管路に接続され、前記捕集管路に送込まれたガ
スに含まれる前記付着物の検査を行なう検査手段と、を備えた付着物検査装置。
【請求項２】前記ノズルには、前記部品表面にガスを
吹付けるためのガス供給源が接続され、前記捕集管路には、前記部品表面に吹付けられることに
よって前記部品表面の付着物を含んだガスを前記捕集管
路内に吸引するための吸引手段が接続された、請求項１
に記載の付着物検査装置。
【請求項３】前記ガスが吹付けられる部品表面上の領
域を取囲むカバーをさらに備え、前記ノズルにおける前記ガスが放出されるガス出口およ
び前記捕集管路における前記付着物を含むガスの送込み
口は、前記カバーで取囲まれた領域内に配置される、請
求項１に記載の付着物検査装置。
【請求項４】前記検査手段は前記捕集管路に設けられ
前記捕集管路内に送込まれたガスに含まれる付着物の個
数を計数する機能を有する、請求項１に記載の付着物検
査装置。
【請求項５】前記検査手段は、前記捕集管路に設けら
れ前記捕集管路内に送込まれたガスに含まれる所定の大
きさ以上の大きさの付着物を捕えるフィルタを含む、請
求項１に記載の付着物検査装置。
【請求項６】前記検査手段は、前記捕集管路内に送込
まれたガスに含まれる付着物の成分を検査するための溶
媒が収容される容器と、前記容器内に収容される溶媒
と、前記捕集管路に接続され前記溶媒中に前記付着物を
含むガスを送込むための管路とを有する、請求項１に記
載の付着物検査装置。
【請求項７】前記ステージの主表面を含む空間を周囲
の空間から気密に仕切る壁をさらに備える、請求項１に
記載の付着物検査装置。
【請求項８】前記ステージ主表面上で移動可能に前記
ステージに取付けられ、前記ステージの主表面上の所定
位置に前記部品を固定するための複数の可動アームと、前記可動アームを前記ステージ主表面上で移動させるた
めのアーム駆動手段と、をさらに備える請求項１に記載の付着物検査装置。
【請求項９】前記ステージには、前記ステージを回転
させるための駆動手段が取付けられる、請求項１に記載
の付着物検査装置。
【請求項１０】前記ノズルおよび前記捕集管路を、前
記ステージ主表面上で移動可能に保持する保持手段をさ
らに含む、請求項１に記載の付着物検査装置。
【請求項１１】前記部品の形状に対応する表面形状を
有する補助台をさらに設け、前記補助台上に前記部品を
載置した状態で前記ステージ上に前記部品および前記補
助台を載置する、請求項１に記載の付着物検査装置。
【請求項１２】前記付着物検査装置は、前記部品を洗
浄する洗浄室と洗浄された前記部品を水洗する水洗室と
水洗された前記部品を乾燥する乾燥室とを有する部品洗
浄装置と、一体化されることによって部品洗浄評価シス
テムを構成する、請求項１に記載の付着物検査装置。
【請求項１３】部品表面に付着した付着物の検査方法
であって、前記部品表面にガスを吹付けることによって前記部品表
面の付着物を剥離させる工程と、前記付着物を含むガスを捕集する工程と、前記付着物を含むガスを検査手段に送込むことによっ
て、前記付着物の検査を行なう工程と、を備えた付着物検査方法。