JP2007040928A - プラズマ処理装置の表面異物検出装置および検出方法 - Google Patents
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Abstract
測定対象表面に含まれる異物を正確に吸引抽出して測定することのできるプラズマ処理装置の表面異物検出技術を提供する。
【解決手段】
所定圧力のガスを測定対象物表面に断続して吹き付けるガスの吹き出し口2、および該ガスの吹き出し口から吹き出したガスにより放出された異物を吸引するガスの吸引口3を備えた測定子1と、前記ガスの吸引口から一定量のガスを連続して吸引する吸引ポンプを備え、該吸引ポンプで吸引したガスに含まれる異物の数を計数するパーティクルカウンタ6と、前記ガスの吹き出し口に所定圧力のガスを断続して供給する圧力調整ユニット4を備えた。
【選択図】 図1
Description
また、前述のように、ガスの吹き出し口に供給するガス供給路にイオナイザを設け、供給ガスをイオン化することができる。この場合には、イオン化したガスにより測定対象表面に静電吸着している異物の電荷を中和して、異物の放出を促進することができる。
2 吹き出し口
3 吸引口
4 圧力調整ユニット
5 制御装置
6 パーティクルカウンタ
7 圧力調整器
8 空気駆動弁
9 電磁弁
10 イオナイザ
11 インラインフィルタ
12,13 可撓性配管
14 接続配管
15 配管
Claims (7)
- 所定圧力のガスを測定対象物表面に断続して吹き付けるガスの吹き出し口、および該ガスの吹き出し口から吹き出したガスにより放出された異物を吸引するガスの吸引口を備えた測定子と、
前記ガスの吸引口から一定量のガスを連続して吸引する吸引ポンプを備え、該吸引ポンプで吸引したガスに含まれる異物の数を計数するパーティクルカウンタと、
前記ガスの吹き出し口に所定圧力のガスを断続して供給する圧力調整ユニットを備えたことを特徴とするプラズマ処理装置の表面異物検出装置。 - 請求項1記載のプラズマ処理装置の表面異物検出装置において、
圧力調整ユニットが前記ガスの吹き出し口に断続して供給するガス供給時間は1秒未満であり、該ガスの供給周期は2ないし6秒であることを特徴とするプラズマ処理装置の表面異物検出装置。 - 請求項1記載のプラズマ処理装置の表面異物検出装置において、
前記ガスの吹き出し口は前記測定子の測定対象表面に対向する面の中央部に配置し、前記ガスの吸引口は前記吹き出し口の外周部に配置したことを特徴とするプラズマ処理装置の表面異物検出装置。 - 請求項1記載のプラズマ処理装置の表面異物検出装置において、
前記圧力調整ユニットの前記ガスの吹き出し口に供給するガス供給路には供給ガスをイオン化するイオナイザを備えたことを特徴とするプラズマ処理装置の表面異物検出装置。 - 請求項1記載のプラズマ処理装置の表面異物検出装置において、
前記処理対象を加熱する加熱手段を備えたことを特徴とするプラズマ処理装置の表面異物検出装置。 - 請求項1記載のプラズマ処理装置の表面異物検出装置において、
前記ガスの吹き出し口は前記測定子の測定対象表面に対向する面のスキャン方向前方側に配置し、前記ガスの吸引口は前記測定子の測定対象表面に対向する面のスキャン方向後方側に配置したことを特徴とするプラズマ処理装置の表面異物検出装置。 - 所定圧力のガスを測定対象表面に断続して吹き付けるガスの吹き出し口、および該ガスの吹き出し口から吹き出したガスにより放出された異物を吸引するガスの吸引口を備え、
前記ガスの吹き出し口に所定圧力のガスを断続して供給するとともに前記ガスの吸引口から一定量のガスを連続して吸引し、吸引したガスに含まれる異物の数を計数することを特徴とするプラズマ処理装置の表面異物検出方法。
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