JP4646730B2 - プラズマ処理装置の表面異物検出装置および検出方法 - Google Patents
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Description
前記所定圧力のガスの供給時間を1秒未満、供給時間の周期を2ないし6秒で前記所定圧力のガスの前記吹き出し口への供給を断続させる制御信号を送る制御装置と、
前記制御装置から送られた前記制御信号に従って前記吹き出し口に前記所定圧力のガスを断続して供給する圧力調整ユニットと、
前記複数のガスの吸引口から一定量のガスを連続して吸引する吸引ポンプと、
該吸引ポンプで吸引したガスに含まれる異物の数を計数するパーティクルカウンタと、
前記吹き出し口に供給するガスをイオン化するイオナイザおよび前記測定対象表面を加熱する加熱手段とを備え、
前記ガスの吹き出し口は、前記測定子の前記測定対象表面に対向する面のスキャン方向前方側に配置され、
前記複数のガスの吸引口は、前記測定子の前記測定対象表面に対向する面のスキャン方向後方側に配置され、
異物の検出に際して、前記吹き出し口にイオン化したガスをフィルタを介して供給するとともに前記測定対象表面を加熱して異物の放出を促進させる。
また、前述のように、ガスの吹き出し口に供給するガス供給路にイオナイザを設け、供給ガスをイオン化することができる。この場合には、イオン化したガスにより測定対象表面に静電吸着している異物の電荷を中和して、異物の放出を促進することができる。
2 吹き出し口
3 吸引口
4 圧力調整ユニット
5 制御装置
6 パーティクルカウンタ
7 圧力調整器
8 空気駆動弁
9 電磁弁
10 イオナイザ
11 インラインフィルタ
12,13 可撓性配管
14 接続配管
15 配管
Claims (2)
- 所定圧力のガスを測定対象物表面に断続して吹き付けるガスの吹き出し口、および該ガスの吹き出し口の外周部に配置され前記吹き出し口から吹き出されたガスにより前記測定対象物表面から放出された異物を吸引する複数のガスの吸引口を備えた測定子と、
前記所定圧力のガスの供給時間を1秒未満、供給時間の周期を2ないし6秒で前記所定圧力のガスの前記吹き出し口への供給を断続させる制御信号を送る制御装置と、
前記制御装置から送られた前記制御信号に従って前記吹き出し口に前記所定圧力のガスを断続して供給する圧力調整ユニットと、
前記複数のガスの吸引口から一定量のガスを連続して吸引する吸引ポンプと、
該吸引ポンプで吸引したガスに含まれる異物の数を計数するパーティクルカウンタと、
前記吹き出し口に供給するガスをイオン化するイオナイザおよび前記測定対象表面を加熱する加熱手段とを備え、
前記ガスの吹き出し口は、前記測定子の前記測定対象表面に対向する面のスキャン方向前方側に配置され、
前記複数のガスの吸引口は、前記測定子の前記測定対象表面に対向する面のスキャン方向後方側に配置され、
異物の検出に際して、前記吹き出し口にイオン化したガスをフィルタを介して供給するとともに前記測定対象表面を加熱して異物の放出を促進させることを特徴とするプラズマ処理装置の表面異物検出装置。 - 所定圧力のガスを測定対象物表面に断続して吹き付けるガスの吹き出し口、および該ガスの吹き出し口の外周部に配置され前記吹き出し口から吹き出されたガスにより前記測定対象物表面から放出された異物を吸引する複数のガスの吸引口を備えた測定子と、
前記所定圧力のガスの前記吹き出し口への供給を断続させる制御信号を送る制御装置と、
前記制御装置から送られた前記制御信号に従って前記吹き出し口に前記所定圧力のガスを断続して供給する圧力調整ユニットと、
前記複数のガスの吸引口から一定量のガスを連続して吸引する吸引ポンプと、
該吸引ポンプで吸引したガスに含まれる異物の数を計数するパーティクルカウンタと、
前記吹き出し口に供給するガスをイオン化するイオナイザおよび前記測定対象表面を加熱する加熱手段と、を備えた表面異物検出装置を用いて測定対象に含まれる異物を検出するプラズマ処理装置の表面異物検出方法において、
異物の検出に際して、前記制御装置により前記制御信号を送出して、所定圧力のガスを、その供給時間を1秒未満、供給時間の周期を2ないし6秒で断続して前記吹き出し口に供給するとともに、
前記ガスの吹き出し口を前記測定子の前記測定対象表面に対向する面のスキャン方向前方側に配置し、前記複数のガスの吸引口を前記測定子の前記測定対象表面に対向する面のスキャン方向後方側に配置し、
前記吹き出し口にイオン化したガスをフィルタを介して供給しつつ前記測定対象表面を加熱して異物の放出を促進させることを特徴とするプラズマ処理装置の表面異物検出方法。
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