JP2016223918A - 降塵異物評価方法および降塵異物評価装置 - Google Patents
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Abstract
Description
容器の開口が床面と対向する向きで、当該容器を床面上に設置する工程と、
前記容器の壁面に形成された第1貫通孔にパーティクルカウンタのプローブを挿入するとともに、前記容器の壁面に形成された第2貫通孔にポンプの吹出部を挿入する工程と、
前記容器の開口から露出する床面に向けて前記ポンプの前記吹出部から空気を吹き出させて前記床面上の降塵異物を舞い上がらせるとともに、前記パーティクルカウンタを用いて前記容器の内部空間の浮遊異物量を計測する工程と、
を備える。
前記容器は、前記容器の開口に近づくにつれて徐々に広がる形状を有してもよい。
前記容器は、バケツ状または椀状の形状を有してもよい。
前記第2貫通孔にポンプの吹出部を挿入する工程では、前記吹出部は、前記容器の開口の中心を向くように方向付けられていてもよい。
壁面に第1貫通孔および第2貫通孔が形成された容器と、
前記容器の前記第1貫通孔に挿入可能なプローブを有し、前記容器の内部空間の浮遊異物量を計測するパーティクルカウンタと、
前記容器の前記第2貫通孔に挿入可能な吹出部を有し、前記容器の開口に向けて空気を吹き出すポンプと、
を備える。
前記容器は、前記容器の開口に近づくにつれて徐々に広がる形状を有してもよい。
前記容器は、バケツ状または椀状の形状を有してもよい。
前記吹出部は、前記容器の開口の中心を向くように方向付けられていてもよい。
11 容器
11a 第1貫通孔
11b 第2貫通孔
11c 壁面
11d 縁部
12 パーティクルカウンタ
12a プローブ
12b 本体
13 ポンプ
13a 吹出部
13b 本体
14 床面
15 塵埃粒子
16 ポンプから吹き出された空気
Claims (8)
- 容器の開口が床面と対向する向きで、当該容器を床面上に設置する工程と、
前記容器の壁面に形成された第1貫通孔にパーティクルカウンタのプローブを挿入するとともに、前記容器の壁面に形成された第2貫通孔にポンプの吹出部を挿入する工程と、
前記容器の開口から露出する床面に向けて前記ポンプの前記吹出部から空気を吹き出させて前記床面上の降塵異物を舞い上がらせるとともに、前記パーティクルカウンタを用いて前記容器の内部空間の浮遊異物量を計測する工程と、
を備えたことを特徴とする降塵異物評価方法。 - 前記容器は、前記容器の開口に近づくにつれて徐々に広がる形状を有する
ことを特徴とする請求項1に記載の降塵異物評価方法。 - 前記容器は、バケツ状または椀状の形状を有する
ことを特徴とする請求項2に記載の降塵異物評価方法。 - 前記第2貫通孔にポンプの吹出部を挿入する工程では、前記吹出部は、前記容器の開口の中心を向くように方向付けられる
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の降塵異物評価方法。 - 壁面に第1貫通孔および第2貫通孔が形成された容器と、
前記容器の前記第1貫通孔に挿入可能なプローブを有し、前記容器の内部空間の浮遊異物量を計測するパーティクルカウンタと、
前記容器の前記第2貫通孔に挿入可能な吹出部を有し、前記容器の開口に向けて空気を吹き出すポンプと、
を備えたことを特徴とする降塵異物評価装置。 - 前記容器は、前記容器の開口に近づくにつれて徐々に広がる形状を有する
ことを特徴とする請求項5に記載の降塵異物評価装置。 - 前記容器は、バケツ状または椀状の形状を有する
ことを特徴とする請求項6に記載の降塵異物評価装置。 - 前記吹出部は、前記容器の開口の中心を向くように方向付けられている
ことを特徴とする請求項5〜7のいずれかに記載の降塵異物評価装置。
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JP2015110636A JP6648416B2 (ja) | 2015-05-29 | 2015-05-29 | 降塵異物評価方法および降塵異物評価装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2015
- 2015-05-29 JP JP2015110636A patent/JP6648416B2/ja active Active
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US10478868B2 (en) * | 2015-12-04 | 2019-11-19 | Applied Matierials, Inc. | Method and apparatus for surface nanoparticle measurement |
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