JP2001281483A

JP2001281483A - 導波路型可変グレーティング

Info

Publication number: JP2001281483A
Application number: JP2000100982A
Authority: JP
Inventors: Toshisada Sekiguchi; 利貞関口; Takeshi Sakuma; 健佐久間; Hideyuki Hosoya; 英行細谷; Daigo Fujita; 大吾藤田
Original assignee: Fujikura Ltd
Current assignee: Fujikura Ltd
Priority date: 2000-04-03
Filing date: 2000-04-03
Publication date: 2001-10-10
Anticipated expiration: 2020-04-03
Also published as: JP4498530B2

Abstract

(57)【要約】【課題】簡単な構成で、所望の波長の反射あるいは減
衰光が得られる素子を提供する。【解決手段】光を導波するコア３ｂと、該コア３ｂの
外周上に設けられたクラッド層３ａとを有し、該コア３
ｂを、その長さ方向において、所定の周期で加熱する櫛
型ヒータ１０が設けられていることを特徴とする導波路
型可変グレーティングを構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は導波路型可変グレー
ティングに関し、特に装置構成を簡単にしたものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】光通信などにおいては特定の波長の光が
反射する素子や減衰する素子が種々の用途で用いられて
いる。例えば利得等価器は、光増幅器などの利得の波長
依存性を改善するため、利得の大きい波長の光を減衰さ
せることにより、利得の平坦化を図るものである。一
方、半導体レーザの外部共振器においては、かかる素子
にレーザ光を入射し、特定波長の光を反射させることに
より、半導体レーザの発振波長を決定する。

【０００３】このような利得等価器としては、例えば光
ファイバグレーティングなどが用いられる。光ファイバ
グレーティングは、光を導波する高屈折率のコアの外周
上に、低屈折率のクラッド層が形成された光ファイバに
おいて、このコアの長さ方向にそって、周期的な屈折率
の変化が形成されたものである。光ファイバグレーティ
ングはこの屈折率の変化の周期によって短周期型と長周
期型に分類される。短周期型は特定波長の光を反射する
素子である。一方、長周期型は導波路（コア）を伝搬す
る光のうち特定の波長のものが、クラッドを伝搬するい
わゆるクラッドモードと結合し、導波路外を伝搬するこ
とにより、減衰するものである。短周期型は主に波長選
択性を備えた反射素子として、波長多重伝送などにおい
て波長合分波素子として用いられている。長周期型は主
に波長選択的な減衰素子として、上述のような利得等価
器に用いられている。なお、短周期型、長周期型のいず
れの場合においても、光ファイバグレーティングの透過
光の波長スペクトルでは反射もしくは減衰した光が損失
ピークとして現れる。すなわち、透過光のうち特定波長
の光が損失する作用は共通である。

【０００４】前記屈折率の変化は、例えばゲルマニウム
を添加した石英ガラスに特定波長の紫外光を照射する
と、その屈折率が上昇する作用を利用して形成する。す
なわち、コアをゲルマニウム添加石英ガラスから形成
し、その長さ方向において、周期的に紫外光を照射する
と、この照射部分の屈折率が上昇し、屈折率の高い部分
と低い部分とが交互に配置されたグレーティング部が形
成される。グレーティング部においては、コアに入射し
た光のうち、特定波長の光が反射あるいは減衰する特性
が得られる。

【０００５】反射あるいは減衰する光の波長は、光ファ
イバグレーティングに張力を加えて屈折率変化の周期を
変化させたり、屈折率を変化させたりすることによって
変更することができる。グレーティング部が両端部に向
かって引っ張られると（張力が大きくなると）、屈折率
変化の周期が大きくなり、逆に張力が小さくなると屈折
率変化の周期が小さくなる。また、屈折率は温度を変化
させると変化するため、光ファイバグレーティングを加
熱あるいは冷却することによっても反射あるいは減衰す
る光の波長を変化させることができる。

【０００６】一方、半導体レーザの外部共振器として
は、例えば上述の光ファイバグレーティングの他、回折
格子、光学フィルタなどが用いられる。これらの素子の
反射光の波長は、素子自体を機械的に回転させ、入射す
るレーザ光の角度を変化させることによって選択するこ
とができる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、通常、
光ファイバグレーティングは、グレーティング部を保護
するため、グレーティング部を２層構造の補強部材内に
収め、この補強部材からグレーティング部の両端の光フ
ァイバが引き出された状態で用いられる。通常補強部材
の第１層は石英ガラスから形成され、第２層はセラミッ
クス、金属などから形成されている。したがって、グレ
ーティング部にかかる張力を変化させる場合は補強部材
全体に外力を加えなければならない。また、温度を変化
させて屈折率を変化させる場合は、補強部材全体を加熱
しなければならない。よって、本来必要とされるグレー
ティング部以外の部分に対しても外力を印加したり、温
度変化を生じさせなければならないため、装置が大がか
りとなるという問題があった。また、回折格子や光学フ
ィルタなどにおいても、これらを回転させる装置が大が
かりとなるという問題があった。

【０００８】本発明は前記事情に鑑みてなされたもの
で、できるだけ簡単な構成で、所望の波長の光を反射も
しくは減衰させることができる素子を提供することを課
題とする。具体的には、グレーティング部以外の部分に
外力や温度変化などの作用を生じさせずに、光学特性を
変更することができる導波路型可変グレーティングを提
供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明の導波路型可変グレーティングは、光を導波
するコアと、該コアの外周上に設けられたクラッド層と
を有し、該コアを、その長さ方向において、所定の周期
で加熱する櫛型ヒータが設けられていることを特徴とす
る。また、櫛型ヒータが設けられている範囲のコア全体
を加熱する補助ヒータを設けることもできる。さらに、
例えばコアの長さ方向において、コアの幅方向と平行方
向の長さ（幅）が変化している補助ヒータを用いること
により、前記長さ方向においてコアの加熱温度を変化さ
せて温度分布を形成し、チャープトグレーティングとす
ることができる。

【００１０】

【発明の実施の形態】図１は本発明の導波路型可変グレ
ーティングの一例を示したものであって、図１（ａ）は
斜視図、図１（ｂ）はコアと櫛型ヒータとの関係を示し
た説明図である。この導波路型可変グレーティング１に
おいては、長方形板状の基板２の上にクラッド層３ａが
形成され、その内部に断面長方形の柱状のコア３ｂが設
けられている。光はコア３ｂを導波するため、コア３ｂ
の屈折率はその外周上のクラッド層３ａよりも高くなっ
ている。一方、基板２とクラッド層３ａとの間には櫛型
ヒータ１０が設けられている。この櫛型ヒータ１０は、
コア３ｂを挟んで対向配置された長方形状の薄膜からな
る電力パッド部１１、１１と、これら電力パッド部１
１、１１の間に掛け渡されるように設けられた複数の直
線状のヒータ部１２、１２…から構成されている。これ
らのヒータ部１２…はコア３ｂの長さ方向と直交方向に
対して平行に、かつ所定の周期で配列されている。

【００１１】基板２としては例えば表面を酸化処理した
シリコン基板などが用いられる。クラッド層３ａは例え
ばシリカ（シリコン酸化物）から形成されている。コア
３ｂはゲルマニウムを添加したシリカから形成された石
英系導波路であり、クラッド層３ａと比較して屈折率が
わずかに低くなっている。この屈折率の差は通常は０．
３％程度である。櫛型ヒータ１０は金属製の薄膜からな
り、例えばチタン、金、アルミニウムなどが用いられ
る。

【００１２】この導波路型可変グレーティング１は、例
えば以下のようにして製造することができる。基板２の
上に、蒸着法などによってチタン、金、アルミニウムな
どからなる導電体薄膜を形成する。そしてこの導電体薄
膜を加工してパターンを形成し、櫛型ヒータ１０を完成
させる。この加工方法は、ヒータ部１２…の周期が比較
的長周期、すなわち光が減衰する長周期型の場合はフォ
トリソグラフィーなどが用いられる。比較的短周期、す
なわち光が反射する短周期型の場合は位相マスク法、干
渉露光法などによって形成することができる。

【００１３】そして、櫛型ヒータ１０と、その周囲に露
出した基板２の上に、スピンコート法などにより、コア
３ｂの下のクラッド層３ａの厚さに相当する下部クラッ
ド層を形成し、その上面全体にコア３ｂの厚さに相当す
るコア層を形成する。そして、このコア層をコア３ｂの
パターンに沿ってイオンエッチング法などによって加工
し、コア３ｂを形成するとともに、コア３ｂの周囲に下
部クラッド層を露出させる。そして、さらにスピンコー
ト法などにより、これら下部クラッド層とコア３ｂの上
に上部クラッド層を形成し、下部クラッド層と上部クラ
ッド層とが一体化したクラッド層３ａを完成させる。

【００１４】この導波路型可変グレーティング１におい
ては、櫛型ヒータ１０を作動させると、図２（ａ）に示
した側断面図、図２（ｂ）に示した屈折率の変化のグラ
フからわかるように、ヒータ部１２、１２…の温度が上
昇し、その下に位置するコア３ｂの屈折率が熱光学効果
によってヒータ部１２、１２…の周期に対応して周期的
に変化し、グレーティング特性が得られる。そして、櫛
型ヒータ１０の加熱温度によってコア３ｂの屈折率変化
量を変化させることができるため、このグレーティング
において反射する光（短周期型）あるいは減衰する光
（長周期型）の波長を変更することができる。このコア
３ｂにおける屈折率の変化の周期Λをグレーティングピ
ッチという。なお、短周期型の場合は通常グレーティン
グピッチが０．５μｍ以下であり、光の波長オーダであ
る。この場合はブラッグ回折によって特定の波長（ブラ
ッグ波長）の光のみを反射する。ブラッグ波長λ_Bの光
は、伝搬モードの実効屈折率ｎ_effとグレーティングピ
ッチΛにより、以下の式（１）で表される。

【００１５】

【数１】

【００１６】また、このときの反射率（透過光と反射光
の強度比）Ｒ_Bはグレーティング長Ｌ、すなわち櫛型ヒ
ータ１０のコア３ｂの長さ方向にそう長さＬとコア３ｂ
における屈折率の変化量Δｎによって以下の式（２）の
ように表される。

【００１７】

【数２】

【００１８】一方、長周期の場合は通常グレーティング
ピッチが数百μｍと長い。そして、コア３ｂを伝搬する
光のうち、クラッド層３ａを伝搬するクラッドモードと
の結合条件を満たす波長帯の光のみを減衰させる波長フ
ィルタとしての作用を奏する。クラッドモードとの結合
効率が最大になる条件を満たす波長をλ_pとすると、コ
ア３ｂの伝搬光の実効屈折率ｎ_core とクラッドモード
の実効屈折率ｎ_cladから、グレーティングピッチΛにつ
いて、以下の式（３）が成り立つ。

【００１９】

【数３】

【００２０】なお、ｎ_coreとｎ_cladは、それぞれ以下の
式（４）、式（５）で表される。

【００２１】

【数４】

【数５】

【００２２】また、λ_p における透過率（入射光強度
に対する出射する光の強度比）Ｔ_pは以下の式（６）で
表される。

【００２３】

【数６】ここで、ｋ_Gは結合定数であり、コア３ｂの屈折率変調
の振幅に比例した量である。式（６）中のδは以下の式
（７）で表される。

【数７】

【００２４】したがって、短周期型の場合は式（１）お
よび式（２）の関係から、所望のブラッグ波長と反射率
が得られるようにグレーティングピッチとグレーティン
グ長を決定すると好ましい。また、長周期型の場合は式
（３）および式（６）の関係から、所望の減衰光の波長
と透過率が得られるようにグレーティングピッチとグレ
ーティング長を決定すると好ましい。また、ヒータ部１
２の幅ｗはグレーティングピッチΛの半分以下とすると
好ましい。また、櫛型ヒータ１０の幅（コア３ｂの長さ
方向に直交する方向の長さ）は、櫛型ヒータ１０のヒー
タ部１２…の熱伝導を考慮して、コア３ｂの幅の２倍以
上とすると好ましい。

【００２５】また、図１（ｃ）に示したように、櫛型ヒ
ータ１０をクラッド層３ａの上に形成し、コア３ｂより
も上に配置することもできる。この場合は、上述の方法
と同様にして、基板２の上にクラッド層３ａとコア３ｂ
を形成した後、クラッド層３ａの上に櫛型ヒータ１０を
形成して製造することができる。そして、図３（ａ）、
図３（ｂ）に示したように、櫛型ヒータ１０を作動させ
ると、ヒータ部１２、１２…の温度が上昇し、その上に
位置するコア３ｂの屈折率が、熱光学効果によってヒー
タ部１２、１２…の周期に対応して周期的に変化し、グ
レーティング特性が得られる。そして、櫛型ヒータ１０
の加熱温度によってコア３ｂの屈折率変化量を変化させ
て、このグレーティングにおいて反射する光あるいは減
衰する光の波長を変更することができる。

【００２６】図４は、図１（ａ）、図１（ｂ）あるいは
図１（ｃ）に示した導波路型可変グレーティングの透過
光の波長スペクトル（波長と透過率との関係）を示した
もので、加熱温度を高くするにしたがって損失ピークが
大きくなっていく様子を示している。このように加熱温
度によって透過率が変化し、これと同時に反射する光あ
るいは減衰する光の波長帯幅（ピークの波長幅）も変化
している。

【００２７】例えば、図１（ａ）、図１（ｂ）に示した
導波路型可変グレーティングにおいて、厚さ１ｍｍの基
板２の上に、厚さ２０μｍのクラッド層３ａを形成し、
その内部の中央付近に断面のサイズが７μｍ×７μｍの
コア３ｂを設け、グレーティングピッチΛ６００μｍ、
ヒータ部１２の幅ｗ２０μｍ、櫛型ヒータ１０の長さ
（グレーティング長）２０ｍｍのものを製造したとこ
ろ、反射光による損失ピークの大きさを０ｄＢから２ｄ
Ｂの範囲で変化させることができた。

【００２８】図５は発明の第２の例の導波路型可変グレ
ーティングを示した斜視図である。この導波路型可変グ
レーティングにおいては、クラッド層３ａの上に櫛型ヒ
ータ１０が設けられ、図６（ａ）、図６（ｂ）に示した
ように、基板２とクラッド層３ａとの間に薄膜状の補助
ヒータ１５が設けられている。補助ヒータ１５は、櫛型
ヒータ１０と同様の材料からなり、櫛型ヒータ１０と同
様にして形成することができる。

【００２９】この補助ヒータ１５は、コア３ｂの下に平
行に設けられた直線状のヒータ部１６と、その両端部に
設けられた長方形状の電極パッド部１７、１７とから構
成されている。ヒータ部１６のコア３ｂの長さ方向と平
行な長さは、櫛型ヒータ１０よりも長いサイズに設計さ
れている。そのため、この補助ヒータ１５により、櫛型
ヒータ１０が設けられている範囲のコア３ｂの温度を一
律に上昇させることができる。したがって、補助ヒータ
１５の幅は、コア３ｂの幅と同程度以上であれば特に制
限はない。

【００３０】この例においては、図７（ａ）、図７
（ｂ）に示したように、櫛型ヒータ１０と補助ヒータ１
５の配置位置を逆にして、コア３ｂの下方の基板２とク
ラッド層３ａとの間に櫛型ヒータ１０を配置し、コア３
ｂの上方のクラッド層３ａと基板２との間に補助ヒータ
１５を配置することもできる。また、図８（ａ）、図８
（ｂ）に示したように、基板２とクラッド層３ａの間に
補助ヒータ１５を配置し、コア３ｂの下方のクラッド層
３ａ内に、櫛型ヒータ１０を配置することもできる。さ
らに図９（ａ）、図９（ｂ）に示したように、クラッド
層３ａの上に補助ヒータ１５を配置し、コア３ｂの上方
のクラッド層３ａ内に、櫛型ヒータ１０を配置すること
もできる。

【００３１】そして、補助ヒータ１５を作動させた状態
で、櫛型ヒータ１０による加熱温度を変化させると、図
１０に示したように透過率と反射あるいは減衰する光の
波長幅を一定に維持した状態で損失ピークがシフトし、
反射あるいは減衰する光の波長帯のみを変化させること
ができる。

【００３２】例えば、図５、図６（ａ）に示した導波路
型可変グレーティングにおいて、厚さ１ｍｍの基板２の
上に、厚さ２０μｍのクラッド層３ａを形成し、その内
部の中央付近に断面のサイズが７μｍ×７μｍのコア３
ｂを設け、グレーティングピッチΛ６００μｍ、ヒータ
部１２の幅ｗ２０μｍ、櫛型ヒータ１０の長さ（グレー
ティング長）２０ｍｍ、補助ヒータ１５の幅２０μｍの
ものを製造したところ、損失波長帯の中心波長を０．５
ｎｍの範囲で変化させることができた。

【００３３】また、本発明の第３の例として、グレーテ
ィングをチャープトグレーティングにすることもでき
る。チャープトグレーティングとは、コア３ｂの屈折率
の変化量や屈折率の変化の周期（グレーティングピッ
チ）が、コア３ｂの長さ方向において徐々に変化してい
るものをいう。チャープトグレーティングにすることに
よって、反射あるいは減衰する光の波長帯の幅（損失波
長幅）を広くすることができる。ヒータ部１２…の周期
（グレーティングピッチ）Λを徐々に短く、あるいは長
くすることによって、チャープトグレーティングとする
こともできるが、図１１に示したように、ヒータ部１２
…を一定周期とし、補助ヒータ１５のヒータ部１６の形
状を、コア３ｂの長さ方向において徐々に変化させてチ
ャープトグレーティングとすることもできる。この例に
おいては、ヒータ部１６の幅を徐々に変化させている。
すなわち、コア３ｂの長さ方向において、コア３ｂの幅
方向における櫛型ヒータ１０による加熱範囲を変化させ
ている。その結果、この長さ方向におけるコア３ｂの加
熱温度を変化させてこのコア３ｂに温度分布を形成し、
コア３ｂの長さ方向において屈折率の変化量が変化し、
チャープトグレーティングを実現することができる。

【００３４】図１２は図１１に示した構成の導波路型可
変グレーティングの波長と透過率の関係を示したグラフ
であって、このグラフに示すように、コア３ｂの長さに
対するヒータ部１６の加熱温度を変更することにより、
反射あるいは減衰する光の波長幅を変化させることがで
きる。

【００３５】例えば、図１１に示した導波路型可変グレ
ーティングにおいて、厚さ１ｍｍの基板２の上に、厚さ
２０μｍのクラッド層３ａを形成し、その内部の中央付
近に断面のサイズが７μｍ×７μｍのコア３ｂを設け、
グレーティングピッチΛ６００μｍ、ヒータ部１２の幅
ｗ２０μｍ、櫛型ヒータ１０の長さ（グレーティング
長）２０ｍｍ、補助ヒータ１５の幅が１０〜４０μｍに
変化しているものを製造したところ、損失波長幅を２０
〜２５ｎｍの範囲で変化させることができた。

【００３６】図１３は、ひとつのコア３ｂの長さ方向
に、３つの導波路型可変グレーティングＡ、Ｂ、Ｃを形
成したものである。導波路型可変グレーティングＡ、
Ｂ、Ｃはいずれも一対の櫛型ヒータ１０と補助ヒータ１
５を備えている。これらの櫛型ヒータ１０…は全て同じ
形状のものである。上述のように、本発明の導波路型可
変グレーティングにおいては、櫛型ヒータ１０と補助ヒ
ータ１５による加熱温度を変化させることにより、透過
率、反射あるいは減衰する光の波長幅、反射もしくは減
衰する光の波長などを任意に変化させることができる。
したがって、これら導波路型可変グレーティングＡ、
Ｂ、Ｃは、同じ櫛型ヒータ１０と補助ヒータ１５とから
なるが、それぞれの加熱条件によって、異なる反射ある
いは減衰特性を実現させることができる。

【００３７】図１４に示したグラフ中のピークＡ、Ｂ、
Ｃのように、導波路型可変グレーティングＡ、Ｂ、Ｃに
おいてそれぞえ異なる反射あるいは減衰特性を実現さ
せ、これらを合成することにより、ピークＲのように複
雑な反射あるいは減衰特性を備えた反射あるいが減衰素
子を提供することができる。

【００３８】なお、石英系導波路の屈折率変化は０．１
％（１×１０^-5／℃×１００℃）であり、グレーティン
グにおける反射あるいは減衰光の大きさの制御を行うに
は十分である。しかし、反射あるいは減衰光の波長帯を
大きく変調するためには、コア３ｂを熱光学効果が大き
いプラスチックから形成すると好ましい。例えば、シリ
コーン樹脂、フッ化ポリイミドなどのポリイミド系樹
脂、フッ化メタクリレートなどのメタクリル系樹脂など
が用いられるが、ポリイミド系樹脂が好ましい。この場
合、クラッド層３ａも、好ましくはコア３ｂの材料とし
て例示したものと同様のプラスチックなどから形成され
る。

【００３９】例えば特開平９−２１９２０号公報に開示
されている、複屈折の大きさが同程度の２種類のポリイ
ミドの共重合体などを用いる。この２種類のポリイミド
の例としては、例えば２，２−ビス（３，４−ジカルボ
キシフェニル）ヘキサフルオロプロパン二無水物（６Ｆ
ＤＢ）と２，２’−ビス（トリフルオロメチル）−４，
４’−ジアミノビフェニル（ＴＦＤＢ）から合成される
ポリイミド（６ＦＤＡ／ＴＦＤＢ）と、６ＦＤＡと４，
４’−オキシジアニリン（４，４’−ＯＤＡ）から合成
されるポリイミド（６ＦＤＡ／４，４’−ＯＤＡ）など
を挙げることができる。そして、これらのポリイミドの
共重合比を変更することによって、コア３ｂとクラッド
層３ａとの屈折率差を変化させることができる。

【００４０】

【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
コアを、その長さ方向において、所定の周期で加熱する
ヒータを設けることによってグレーティング特性を実現
し、このヒータの加熱温度を変化させることによって、
グレーティング特性を変化させるため、実質的に光を導
波させるコアのみを加熱するヒータを設ければよく、ま
た、機械的に駆動する部分もないため、簡単で、かつコ
ンパクトな構成とすることができる。また、さらに櫛型
ヒータが設けられている範囲のコア全体を加熱する補助
ヒータを設けたり、この補助ヒータによる加熱温度を変
化させることにより、種々のグレーティング特性を実現
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の導波路型可変グレーティングの一例
を示したものであって、図１（ａ）は斜視図、図１
（ｂ）はコアと櫛型ヒータとの関係を示した説明図、図
１（ｃ）はコアと櫛型ヒータの配置の変更例を示した説
明図である。

【図２】図１（ａ）、図１（ｂ）に示した導波路型可
変グレーティングを櫛型ヒータによって加熱したときの
説明図であって、図２（ａ）は側断面図、図２（ｂ）は
屈折率の変化のグラフである。

【図３】図１（ａ）、図１（ｃ）に示した導波路型可
変グレーティングを櫛型ヒータによって加熱したときの
説明図であって、図３（ａ）は側断面図、図３（ｂ）は
屈折率の変化のグラフである。

【図４】本発明の第１の例の導波路型可変グレーティ
ングの波長と透過率との関係を示したグラフである。

【図５】本発明の第２の例の導波路型可変グレーティ
ングを示した斜視図である。

【図６】図６（ａ）は図５に示した導波路型可変グレ
ーティングのコアと櫛型ヒータとの関係を示した説明
図、図６（ｂ）は側断面図である。

【図７】図７（ａ）、図７（ｂ）は、それぞれ、図６
に示した導波路型可変グレーティングにおいて、コアと
櫛型ヒータと補助ヒータの配置の変更例を示した説明図
と側断面図である。

【図８】図８（ａ）、図８（ｂ）は、それぞれ、図６
に示した導波路型可変グレーティングにおいて、コアと
櫛型ヒータと補助ヒータの配置の変更例を示した説明図
と側断面図である。

【図９】図９（ａ）、図９（ｂ）は、それぞれ、図６
に示した導波路型可変グレーティングにおいて、コアと
櫛型ヒータと補助ヒータの配置の変更例を示した説明図
と側断面図である。

【図１０】本発明の第２の例の導波路型可変グレーテ
ィングの波長と透過率との関係を示したグラフである。

【図１１】本発明の第３の例の導波路型可変グレーテ
ィングのコアと櫛型ヒータと補助ヒータを示した説明図
である。

【図１２】図１１に示した構成の導波路型可変グレー
ティングの波長と透過率の関係を示したグラフである。

【図１３】コアの長さ方向に、３つの導波路型可変グ
レーティングを形成したものを示した斜視図である。

【図１４】図１３に示したグレーティングの特性を示
したグラフである。

【符号の説明】

１、Ａ、Ｂ、Ｃ…導波路型可変グレーティング、３ａ…
クラッド層、３ｂ…コア、１０…櫛型ヒータ、１２…ヒ
ータ部、１５…補助ヒータ、１６…ヒータ部。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者細谷英行千葉県佐倉市六崎1440番地株式会社フジクラ佐倉事業所内 (72)発明者藤田大吾千葉県佐倉市六崎1440番地株式会社フジクラ佐倉事業所内Ｆターム(参考） 2H047 LA02 NA05 TA01 2H079 AA06 AA12 BA01 DA17 EA03 EB14 EB27 GA01 HA11

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光を導波するコアと、該コアの外周上に
設けられたクラッド層とを有し、該コアを、その長さ方
向において、所定の周期で加熱する櫛型ヒータが設けら
れていることを特徴とする導波路型可変グレーティン
グ。
【請求項２】請求項１に記載の導波路型可変グレーテ
ィングにおいて、櫛型ヒータが設けられている範囲のコ
ア全体を加熱する補助ヒータが設けられていることを特
徴とする導波路型可変グレーティング。
【請求項３】請求項２に記載の導波路型可変グレーテ
ィングにおいて、コアの長さ方向において、補助ヒータ
による該コアの加熱温度が変化していることを特徴とす
る導波路型可変グレーティング。