JP2001278608A - 熱放射体の製造方法 - Google Patents
熱放射体の製造方法Info
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- JP2001278608A JP2001278608A JP2000097332A JP2000097332A JP2001278608A JP 2001278608 A JP2001278608 A JP 2001278608A JP 2000097332 A JP2000097332 A JP 2000097332A JP 2000097332 A JP2000097332 A JP 2000097332A JP 2001278608 A JP2001278608 A JP 2001278608A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明の目的は、効率の良い熱放射体を簡単
に製造する製造方法を提供することにある。 【解決手段】 レーザを用いてポリイミドフィルムに穴
あけ加工することにより微細な空孔の多いグラファイト
シートが得られ、効率のよい熱放射体が得られる。
に製造する製造方法を提供することにある。 【解決手段】 レーザを用いてポリイミドフィルムに穴
あけ加工することにより微細な空孔の多いグラファイト
シートが得られ、効率のよい熱放射体が得られる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、グラファイトシー
トからなる熱放射体の製造方法に関するものである。
トからなる熱放射体の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】グラファイトシートは熱伝導性と電気伝
導性に優れたもので、近年、携帯機器用の放熱素子、電
池などの電極材料などに応用されている。グラファイト
シートとして、高分子フィルムを焼成して作製されるも
のと膨張グラファイト粉末をバインダー樹脂などと混合
して圧延などによりシート状に作製されるものがある。
グラファイト粉末を用いたシートは、表面の凹凸が大き
く、内部も不規則な空隙が存在しており微細な穴などを
均一に加工するのはむずかしい。
導性に優れたもので、近年、携帯機器用の放熱素子、電
池などの電極材料などに応用されている。グラファイト
シートとして、高分子フィルムを焼成して作製されるも
のと膨張グラファイト粉末をバインダー樹脂などと混合
して圧延などによりシート状に作製されるものがある。
グラファイト粉末を用いたシートは、表面の凹凸が大き
く、内部も不規則な空隙が存在しており微細な穴などを
均一に加工するのはむずかしい。
【０００３】また、シートの柔軟性がなく折れ曲げなど
の機械的強度に弱い。電気的素子として用いる場合もシ
ートの面内での粉末間の接触性により電気抵抗のばらつ
きが大きいものになる。金属に微細孔を設けた熱放射体
は、特開平６−２１６７号公報などに示されている。ポ
リマーフィルムを加工して、穴加工されたグラファイト
シートの熱放射体への応用は、特開平１０−３１２７７
８号公報に開示されている。しかしながら、微細な穴を
多数有するグラファイトシートの作製のための製造方法
は確立されていない。
の機械的強度に弱い。電気的素子として用いる場合もシ
ートの面内での粉末間の接触性により電気抵抗のばらつ
きが大きいものになる。金属に微細孔を設けた熱放射体
は、特開平６−２１６７号公報などに示されている。ポ
リマーフィルムを加工して、穴加工されたグラファイト
シートの熱放射体への応用は、特開平１０−３１２７７
８号公報に開示されている。しかしながら、微細な穴を
多数有するグラファイトシートの作製のための製造方法
は確立されていない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】以上で述べた微細な穴
を多数有するグラファイトシートの加工法を具体的に提
供することと優れた熱放射体として応用が可能であるこ
とを提供することが本特許の目的である。
を多数有するグラファイトシートの加工法を具体的に提
供することと優れた熱放射体として応用が可能であるこ
とを提供することが本特許の目的である。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、ポリイミドフ
ィルムを焼成することから作製されるグラファイトシー
トで多数個の穴を有するのが特徴である。ポリイミドフ
ィルム状で穴加工後、焼成を行って、穴形状を規則的に
つくる方法とポリイミドフィルムに多量のフィラーを混
入させておき焼成過程で蒸発をさせることにより、穴を
多数個つくる方法がある。ただし、この後者の場合は規
則性のある穴を形成するのは困難である。
ィルムを焼成することから作製されるグラファイトシー
トで多数個の穴を有するのが特徴である。ポリイミドフ
ィルム状で穴加工後、焼成を行って、穴形状を規則的に
つくる方法とポリイミドフィルムに多量のフィラーを混
入させておき焼成過程で蒸発をさせることにより、穴を
多数個つくる方法がある。ただし、この後者の場合は規
則性のある穴を形成するのは困難である。
【０００６】ポリイミドフィルムの状態で規則的な穴を
加工するのに、機械的装置を用いる方法などがあるが、
径が１０μｍ以下になると困難が増してくる。半導体加
工プロセスを利用することも考えられるが、量産、コス
ト性から割が合わない。
加工するのに、機械的装置を用いる方法などがあるが、
径が１０μｍ以下になると困難が増してくる。半導体加
工プロセスを利用することも考えられるが、量産、コス
ト性から割が合わない。
【０００７】そこで、エキシマレーザーを用いた加工を
試みた。ポリイミドフィルムはエキシマレーザーで加工
できることは、すでに知られているが、微細な穴加工
後、焼成してグラファイト化しても穴の形状を保持する
には、最適な焼成条件が必要である。
試みた。ポリイミドフィルムはエキシマレーザーで加工
できることは、すでに知られているが、微細な穴加工
後、焼成してグラファイト化しても穴の形状を保持する
には、最適な焼成条件が必要である。
【０００８】また、ポリイミドフィルム時の加工寸法よ
り、焼成によるグラファイト化により寸法は２０から４
０％程度小さくなる。エキシマレーザーによる加工する
場合も微細な穴加工するには、レンズを用いて縮小投影
法を用いるなど工夫が必要である。穴の形状も照射条件
によっては、深さ方向に対して円錐状に加工される。深
さ方向に平行穴の加工をしたい場合は、ポリイミドフィ
ルムの厚さを薄いものを用いたり、照射量や焦点を変化
させて最適化が必要となる。形状が一定ではない微細な
穴を含有したグラファイトシートの作製法の一つに焼成
過程での発泡の利用がある。ポリイミドフィルムのみの
焼成においても焼成条件によっては、グラファイト化時
のガス脱離の影響などにより、発泡状態のグラファイト
シートが得られる。
り、焼成によるグラファイト化により寸法は２０から４
０％程度小さくなる。エキシマレーザーによる加工する
場合も微細な穴加工するには、レンズを用いて縮小投影
法を用いるなど工夫が必要である。穴の形状も照射条件
によっては、深さ方向に対して円錐状に加工される。深
さ方向に平行穴の加工をしたい場合は、ポリイミドフィ
ルムの厚さを薄いものを用いたり、照射量や焦点を変化
させて最適化が必要となる。形状が一定ではない微細な
穴を含有したグラファイトシートの作製法の一つに焼成
過程での発泡の利用がある。ポリイミドフィルムのみの
焼成においても焼成条件によっては、グラファイト化時
のガス脱離の影響などにより、発泡状態のグラファイト
シートが得られる。
【０００９】これをさらに有効に発泡による穴を形成す
るために予めポリイミドフィルムに焼成時に焼失するよ
うなフィラーを多量に含有させておく。フィラーとして
はＡｌ2Ｏ3、ＳｉＯ2などが最適で、粉末として３０体
積％以上にも混入すると効果的である。。これを焼成す
ると空孔の非常に多いグラファイトシートが得られる。
発泡したグラファイトシートの密度は０．８g/cm3から
１．５g/cm3程度になる。
るために予めポリイミドフィルムに焼成時に焼失するよ
うなフィラーを多量に含有させておく。フィラーとして
はＡｌ2Ｏ3、ＳｉＯ2などが最適で、粉末として３０体
積％以上にも混入すると効果的である。。これを焼成す
ると空孔の非常に多いグラファイトシートが得られる。
発泡したグラファイトシートの密度は０．８g/cm3から
１．５g/cm3程度になる。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、ポリイミドフィルムに穴又は凹部を形成する加工工
程と、前記加工工程で加工された前記ポリイミドフィル
ムを不活性ガス雰囲気中で室温から温度を上昇させた
後、１０００℃以上１５００℃以下の範囲で所定の時間
焼成する第一焼成工程と、前記第一焼成工程で焼成され
た前記ポリイミドフィルムを不活性ガス雰囲気中で室温
から温度を上昇させた後、２６００℃以上の温度で所定
の時間焼成する第二焼成工程を有する熱放射体の製造方
法であり、効率の良い熱放射体が簡単な方法で製造でき
るという作用を有する。
は、ポリイミドフィルムに穴又は凹部を形成する加工工
程と、前記加工工程で加工された前記ポリイミドフィル
ムを不活性ガス雰囲気中で室温から温度を上昇させた
後、１０００℃以上１５００℃以下の範囲で所定の時間
焼成する第一焼成工程と、前記第一焼成工程で焼成され
た前記ポリイミドフィルムを不活性ガス雰囲気中で室温
から温度を上昇させた後、２６００℃以上の温度で所定
の時間焼成する第二焼成工程を有する熱放射体の製造方
法であり、効率の良い熱放射体が簡単な方法で製造でき
るという作用を有する。
【００１１】本発明の請求項２に記載の発明は、加工工
程の前に、ポリイミドフィルムを延伸して５μｍ以上７
５μｍ以下の厚さに加工する延伸工程を有する請求項１
記載の熱放射体の製造方法であり、効率の良い熱放射体
が簡単な方法で製造できるという作用を有する。
程の前に、ポリイミドフィルムを延伸して５μｍ以上７
５μｍ以下の厚さに加工する延伸工程を有する請求項１
記載の熱放射体の製造方法であり、効率の良い熱放射体
が簡単な方法で製造できるという作用を有する。
【００１２】本発明の請求項３に記載の発明は、加工工
程において、ポリイミドフィルムの表面積の５０％以上
の部分に穴又は凹部を形成する請求項１又は２記載の熱
放射体の製造方法であり、効率の良い熱放射体が簡単な
方法で製造できるという作用を有する。
程において、ポリイミドフィルムの表面積の５０％以上
の部分に穴又は凹部を形成する請求項１又は２記載の熱
放射体の製造方法であり、効率の良い熱放射体が簡単な
方法で製造できるという作用を有する。
【００１３】本発明の請求項４に記載の発明は、加工工
程において、エキシマレーザを用いてポリイミドフィル
ムに穴又は凹部を形成する請求項１、２、又は３記載の
熱放射体の製造方法であり、効率の良い熱放射体が簡単
な方法で製造できるという作用を有する。
程において、エキシマレーザを用いてポリイミドフィル
ムに穴又は凹部を形成する請求項１、２、又は３記載の
熱放射体の製造方法であり、効率の良い熱放射体が簡単
な方法で製造できるという作用を有する。
【００１４】本発明の請求項５に記載の発明は、粒状の
無機物フィラーが体積割合で３０％以上含有されている
ポリイミドフィルムを不活性ガス雰囲気中で室温から温
度を上昇させた後、１０００℃以上１５００℃以下の範
囲で所定の時間焼成する第一焼成工程と、前記第一焼成
工程で焼成された前記ポリイミドフィルムを不活性ガス
雰囲気中で室温から温度を上昇させた後、２６００℃以
上の温度で所定の時間焼成する第二焼成工程を有する熱
放射体の製造方法であり、効率の良い熱放射体が簡単な
方法で製造できるという作用を有する。
無機物フィラーが体積割合で３０％以上含有されている
ポリイミドフィルムを不活性ガス雰囲気中で室温から温
度を上昇させた後、１０００℃以上１５００℃以下の範
囲で所定の時間焼成する第一焼成工程と、前記第一焼成
工程で焼成された前記ポリイミドフィルムを不活性ガス
雰囲気中で室温から温度を上昇させた後、２６００℃以
上の温度で所定の時間焼成する第二焼成工程を有する熱
放射体の製造方法であり、効率の良い熱放射体が簡単な
方法で製造できるという作用を有する。
【００１５】本発明の請求項６に記載の発明は、無機物
フィラーがＡｌ2Ｏ3又はＳｉＯ2である請求項５記載の
熱放射体の製造方法であり、効率の良い熱放射体が簡単
な方法で製造できるという作用を有する。
フィラーがＡｌ2Ｏ3又はＳｉＯ2である請求項５記載の
熱放射体の製造方法であり、効率の良い熱放射体が簡単
な方法で製造できるという作用を有する。
【００１６】本発明の請求項７に記載の発明は、ポリイ
ミドフィルムの厚さが７５μｍ以上である請求項５又は
６記載の熱放射体の製造方法であり、効率の良い熱放射
体が簡単な方法で製造できるという作用を有する。
ミドフィルムの厚さが７５μｍ以上である請求項５又は
６記載の熱放射体の製造方法であり、効率の良い熱放射
体が簡単な方法で製造できるという作用を有する。
【００１７】本発明の請求項８に記載の発明は、第一焼
成工程及び第二焼成工程において、室温から温度を上昇
させる際の昇温速度が５℃／ｍｉｎ以上２０℃／ｍｉｎ
以下である請求項１ないし７のいずれか記載の熱放射体
の製造方法であり、効率の良い熱放射体が簡単な方法で
製造できるという作用を有する。
成工程及び第二焼成工程において、室温から温度を上昇
させる際の昇温速度が５℃／ｍｉｎ以上２０℃／ｍｉｎ
以下である請求項１ないし７のいずれか記載の熱放射体
の製造方法であり、効率の良い熱放射体が簡単な方法で
製造できるという作用を有する。
【００１８】本発明の請求項９に記載の発明は、第二焼
成工程において、ポリイミドフィルムに３ｋｇ／ｃｍ2
以上５０ｋｇ／ｃｍ2以下の圧力を印加することを特徴
とする請求項１ないし８のいずれか記載の熱放射体の製
造方法であり、効率の良い熱放射体が簡単な方法で製造
できるという作用を有する。
成工程において、ポリイミドフィルムに３ｋｇ／ｃｍ2
以上５０ｋｇ／ｃｍ2以下の圧力を印加することを特徴
とする請求項１ないし８のいずれか記載の熱放射体の製
造方法であり、効率の良い熱放射体が簡単な方法で製造
できるという作用を有する。
【００１９】本発明の請求項１０に記載の発明は、第二
焼成工程において室温から２６００度以上まで温度を上
昇させる際に、２１５０℃以上２２５０℃以下の所定の
温度で所定の時間温度を保持する過程を有する請求項１
ないし９のいずれか記載の熱放射体の製造方法であり、
効率の良い熱放射体が簡単な方法で製造できるという作
用を有する。
焼成工程において室温から２６００度以上まで温度を上
昇させる際に、２１５０℃以上２２５０℃以下の所定の
温度で所定の時間温度を保持する過程を有する請求項１
ないし９のいずれか記載の熱放射体の製造方法であり、
効率の良い熱放射体が簡単な方法で製造できるという作
用を有する。
【００２０】本発明の請求項１１に記載の発明は、請求
項１ないし１０のいずれか記載の熱放射体の製造方法に
より製造された熱放射体を光源とする熱放射光源であ
り、可視光の発光効率が改善された熱放射光源が簡単に
製造できるという作用を有する。
項１ないし１０のいずれか記載の熱放射体の製造方法に
より製造された熱放射体を光源とする熱放射光源であ
り、可視光の発光効率が改善された熱放射光源が簡単に
製造できるという作用を有する。
【００２１】
【実施例】次に、本発明の実施例を以下に説明する。
【００２２】なお、以下の説明では、本発明を実験結果
に基づいて説明するが、本発明は下記実施例により限定
されるものではなく、主旨を変更しない範囲で適宜変更
して実施できるものである。
に基づいて説明するが、本発明は下記実施例により限定
されるものではなく、主旨を変更しない範囲で適宜変更
して実施できるものである。
【００２３】（実施例１）膜厚２５μｍのポリイミドフ
ィルムにエキシマーレーザを用いて穴径が５μｍから３
０μｍほどの穴を多数設けた。穴の存在比率は面積比率
で３０％以上であった。次に焼成を行ったが、比較のた
めに穴加工をしていないポリイミドフィルムの焼成も同
時に行った。焼成をまず、窒素ガス雰囲気中で、昇温速
度を１０℃／ｍｉｎで温度１２００℃で２時間行った
後、室温まで冷却した。さらに同じ昇温速度で、２６５
０℃まで上げ１時間の処理を行った。この場合は穴加工
がされているいないにかかわらず、シート状のグラファ
イトが得られた。穴の形状も１０から２０％ほど径の寸
法が収縮するが、形状は良好に保持できていた。
ィルムにエキシマーレーザを用いて穴径が５μｍから３
０μｍほどの穴を多数設けた。穴の存在比率は面積比率
で３０％以上であった。次に焼成を行ったが、比較のた
めに穴加工をしていないポリイミドフィルムの焼成も同
時に行った。焼成をまず、窒素ガス雰囲気中で、昇温速
度を１０℃／ｍｉｎで温度１２００℃で２時間行った
後、室温まで冷却した。さらに同じ昇温速度で、２６５
０℃まで上げ１時間の処理を行った。この場合は穴加工
がされているいないにかかわらず、シート状のグラファ
イトが得られた。穴の形状も１０から２０％ほど径の寸
法が収縮するが、形状は良好に保持できていた。
【００２４】（実施例２）膜厚２５μｍのポリイミドフ
ィルムにエキシマレーザを用いて穴径が１０μｍ程度の
穴を面積比率６０％程度の部分に形成した。そのフィル
ムについて、焼成条件を制御することにより、収縮の制
御を試みた。焼成条件としては、第１の実施例と同様で
あるが、２６５０℃まで上げる２度目の焼成の際、２２
００℃で一定温度での処理により穴の収縮率が異なっ
た。この場合、時間を１時間から１０時間まで１時間ご
とにかえてみたが、収縮率は時間が短い方が大きかっ
た。大きいもので２０％を越えて、小さいものでは５％
程度であった。
ィルムにエキシマレーザを用いて穴径が１０μｍ程度の
穴を面積比率６０％程度の部分に形成した。そのフィル
ムについて、焼成条件を制御することにより、収縮の制
御を試みた。焼成条件としては、第１の実施例と同様で
あるが、２６５０℃まで上げる２度目の焼成の際、２２
００℃で一定温度での処理により穴の収縮率が異なっ
た。この場合、時間を１時間から１０時間まで１時間ご
とにかえてみたが、収縮率は時間が短い方が大きかっ
た。大きいもので２０％を越えて、小さいものでは５％
程度であった。
【００２５】（実施例３）ポリイミドフィルムにあらか
じめＳｉＯ2のフィラーを体積比率で４０％以上を含有
したものを同様に焼成して、グラファイトシートを作製
した。フイラー含有のフィルムは発泡性が強くなり、不
規則な穴ではあるが見かけ上ふやすことになる。密度も
発泡性により異なるが０.５g/cm3から０.８g/cm3程度は
焼成条件でかわる。ローラで圧延することで密度は１.
０ g/cm3まではできた。
じめＳｉＯ2のフィラーを体積比率で４０％以上を含有
したものを同様に焼成して、グラファイトシートを作製
した。フイラー含有のフィルムは発泡性が強くなり、不
規則な穴ではあるが見かけ上ふやすことになる。密度も
発泡性により異なるが０.５g/cm3から０.８g/cm3程度は
焼成条件でかわる。ローラで圧延することで密度は１.
０ g/cm3まではできた。
【００２６】（実施例４）上記の第１、２及び３の実施
例で作製されたグラファイトシートを短冊状に切って、
直接電流を流して熱放射の状況を調べた。グラファイト
シートは他の無機物を用いた熱放射物と比較して、電流
を印加してからの熱放射の立ち上がりが早く、かつ熱効
率がよいことがわかった。グラファイトシートの中でも
フィラー含有より作製したもので微細な穴が多い方が熱
効率がよかった。
例で作製されたグラファイトシートを短冊状に切って、
直接電流を流して熱放射の状況を調べた。グラファイト
シートは他の無機物を用いた熱放射物と比較して、電流
を印加してからの熱放射の立ち上がりが早く、かつ熱効
率がよいことがわかった。グラファイトシートの中でも
フィラー含有より作製したもので微細な穴が多い方が熱
効率がよかった。
【００２７】なお、上記の実施例では膜厚２５μｍのポ
リイミドフィルムを用いたが、予め延伸加工された厚さ
５μｍから７５μｍのものを用いても同様の結果を得
た。
リイミドフィルムを用いたが、予め延伸加工された厚さ
５μｍから７５μｍのものを用いても同様の結果を得
た。
【００２８】また、上記の実施例では焼成時の昇温速度
を１０℃／ｍｉｎで行ったが、５℃／ｍｉｎから２０℃
／ｍｉｎで行っても同様の結果を得た。また、第二の焼
成工程において、ポリイミドフィルムに３ｋｇ／ｃｍ2
以上５０ｋｇ／ｃｍ2以下の圧力を印加しても同様の結
果を得た。また、上記第３の実施例においてフィラーと
してＳｉＯ2である場合について記載したが、Ａｌ2Ｏ3
でも同様の結果を得た。
を１０℃／ｍｉｎで行ったが、５℃／ｍｉｎから２０℃
／ｍｉｎで行っても同様の結果を得た。また、第二の焼
成工程において、ポリイミドフィルムに３ｋｇ／ｃｍ2
以上５０ｋｇ／ｃｍ2以下の圧力を印加しても同様の結
果を得た。また、上記第３の実施例においてフィラーと
してＳｉＯ2である場合について記載したが、Ａｌ2Ｏ3
でも同様の結果を得た。
【００２９】（実施例５）短冊状のグラファイトシート
に真空中で電流を流して発光状況を調べた。可視波長域
から赤外波長域までの発光効率を調べた。第１の実施例
で作製した標準的グラファイトシートと比較して微細な
穴の数が多い方が可視波長域の発光が強かった。穴の大
きさも２μｍから５μｍ程度の孔径より２μｍ以下の小
さい穴が大きい方が可視波長域の発光が赤外波長域と比
較して強かった。ポリイミドフィルムとしてはエキシマ
レーザでより微細な穴を多く加工した方が、大きい発泡
を押さえた圧力を印加しながらの焼成法の方、フィラー
を適当に多く含有したもの方が可視波長域の発光が赤外
波長域と比較して強かった。
に真空中で電流を流して発光状況を調べた。可視波長域
から赤外波長域までの発光効率を調べた。第１の実施例
で作製した標準的グラファイトシートと比較して微細な
穴の数が多い方が可視波長域の発光が強かった。穴の大
きさも２μｍから５μｍ程度の孔径より２μｍ以下の小
さい穴が大きい方が可視波長域の発光が赤外波長域と比
較して強かった。ポリイミドフィルムとしてはエキシマ
レーザでより微細な穴を多く加工した方が、大きい発泡
を押さえた圧力を印加しながらの焼成法の方、フィラー
を適当に多く含有したもの方が可視波長域の発光が赤外
波長域と比較して強かった。
【００３０】なお、上記の実施例では膜厚２５μｍのポ
リイミドフィルムを用いたが、予め延伸加工された厚さ
５μｍから７５μｍのものを用いても同様の結果を得
た。
リイミドフィルムを用いたが、予め延伸加工された厚さ
５μｍから７５μｍのものを用いても同様の結果を得
た。
【００３１】また、上記の実施例では焼成時の昇温速度
を１０℃／ｍｉｎで行ったが、５℃／ｍｉｎから２０℃
／ｍｉｎで行っても同様の結果を得た。また、第二の焼
成工程において、ポリイミドフィルムに３ｋｇ／ｃｍ2
以上５０ｋｇ／ｃｍ2以下の圧力を印加しても同様の結
果を得た。また、上記第３の実施例においてフィラーと
してＳｉＯ2である場合について記載したが、Ａｌ2Ｏ3
でも同様の結果を得た。
を１０℃／ｍｉｎで行ったが、５℃／ｍｉｎから２０℃
／ｍｉｎで行っても同様の結果を得た。また、第二の焼
成工程において、ポリイミドフィルムに３ｋｇ／ｃｍ2
以上５０ｋｇ／ｃｍ2以下の圧力を印加しても同様の結
果を得た。また、上記第３の実施例においてフィラーと
してＳｉＯ2である場合について記載したが、Ａｌ2Ｏ3
でも同様の結果を得た。
【００３２】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、微細な
空孔を有するグラファイトシートが効率よく製造が実施
できる。また、このようなグラファイトシーを熱放射体
として用いると効率のよい熱放射体、高温おいては発光
効率の高い熱放射光源が提供できる。
空孔を有するグラファイトシートが効率よく製造が実施
できる。また、このようなグラファイトシーを熱放射体
として用いると効率のよい熱放射体、高温おいては発光
効率の高い熱放射光源が提供できる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田尾本 昭 神奈川県川崎市多摩区東三田３丁目10番１ 号 松下技研株式会社内 (72)発明者 大木 芳正 神奈川県川崎市多摩区東三田３丁目10番１ 号 松下技研株式会社内 (72)発明者 橋立 雄二 神奈川県川崎市多摩区東三田３丁目10番１ 号 松下技研株式会社内 Ｆターム(参考） 4G032 AA15 AA23 AA26 BA04 GA11 GA12 4G046 EA03 EB02 EB04 EC01 EC03 EC05 EC06
Claims (11)
- 【請求項１】 ポリイミドフィルムに穴又は凹部を形成
する加工工程と、前記加工工程で加工された前記ポリイ
ミドフィルムを不活性ガス雰囲気中で室温から温度を上
昇させた後、１０００℃以上１５００℃以下の範囲で所
定の時間焼成する第一焼成工程と、前記第一焼成工程で
焼成された前記ポリイミドフィルムを不活性ガス雰囲気
中で室温から温度を上昇させた後、２６００℃以上の温
度で所定の時間焼成する第二焼成工程を有する熱放射体
の製造方法。 - 【請求項２】 加工工程の前に、ポリイミドフィルムを
延伸して５μｍ以上７５μｍ以下の厚さに加工する延伸
工程を有する請求項１記載の熱放射体の製造方法。 - 【請求項３】 加工工程において、ポリイミドフィルム
の表面積の５０％以上の部分に穴又は凹部を形成する請
求項１又は２記載の熱放射体の製造方法。 - 【請求項４】 加工工程において、エキシマレーザを用
いてポリイミドフィルムに穴又は凹部を形成する請求項
１、２、又は３記載の熱放射体の製造方法。 - 【請求項５】 粒状の無機物フィラーが体積割合で３０
％以上含有されているポリイミドフィルムを不活性ガス
雰囲気中で室温から温度を上昇させた後、１０００℃以
上１５００℃以下の範囲で所定の時間焼成する第一焼成
工程と、前記第一焼成工程で焼成された前記ポリイミド
フィルムを不活性ガス雰囲気中で室温から温度を上昇さ
せた後、２６００℃以上の温度で所定の時間焼成する第
二焼成工程を有する熱放射体の製造方法。 - 【請求項６】 無機物フィラーがＡｌ2Ｏ3又はＳｉＯ2
である請求項５記載の熱放射体の製造方法。 - 【請求項７】 ポリイミドフィルムの厚さが７５μｍ以
上である請求項５又は６記載の熱放射体の製造方法。 - 【請求項８】 第一焼成工程及び第二焼成工程におい
て、室温から温度を上昇させる際の昇温速度が５℃／ｍ
ｉｎ以上２０℃／ｍｉｎ以下である請求項１ないし７の
いずれか記載の熱放射体の製造方法。 - 【請求項９】 第二焼成工程において、ポリイミドフィ
ルムに３ｋｇ／ｃｍ2以上５０ｋｇ／ｃｍ2以下の圧力を
印加することを特徴とする請求項１ないし８のいずれか
記載の熱放射体の製造方法。 - 【請求項１０】 第二焼成工程において室温から２６０
０度以上まで温度を上昇させる際に、２１５０℃以上２
２５０℃以下の所定の温度で所定の時間温度を保持する
過程を有する請求項１ないし９のいずれか記載の熱放射
体の製造方法。 - 【請求項１１】 請求項１ないし１０のいずれか記載の
熱放射体の製造方法により製造された熱放射体を光源と
する熱放射光源。
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|---|---|---|---|
| JP2000097332A JP2001278608A (ja) | 2000-03-31 | 2000-03-31 | 熱放射体の製造方法 |
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| JP (1) | JP2001278608A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002284514A (ja) * | 2001-01-18 | 2002-10-03 | Taisei Laminator Co Ltd | グラファイトシートおよびグラファイトシートを用いた放熱装置 |
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-
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- 2000-03-31 JP JP2000097332A patent/JP2001278608A/ja not_active Withdrawn
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