JP2001272614A - 走査光学系 - Google Patents

走査光学系

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JP2001272614A
JP2001272614A JP2000083833A JP2000083833A JP2001272614A JP 2001272614 A JP2001272614 A JP 2001272614A JP 2000083833 A JP2000083833 A JP 2000083833A JP 2000083833 A JP2000083833 A JP 2000083833A JP 2001272614 A JP2001272614 A JP 2001272614A
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light
waveguide
optical system
laser
light source
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JP2000083833A
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English (en)
Inventor
Kenichi Saito
賢一 斉藤
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Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 一次モード伝搬特性を持つ導波路型SHGレ
ーザを適用した場合に、光強度の充分な確保並びに適正
な階調表現、省スペースの確立、画質の維持等を相互に
最適化する。 【解決手段】 光源として導波路型SHGを用い、その
導波路から出力される楕円ビームにおける長軸方向を主
走査方向とすることで、走査光学系の光路長を短くし、
また、全ての光源の偏光方向を揃え、かつAOMの回折
効率を確保する垂直偏光とするべく、必要に応じて、λ
/2板300を集光レンズ212の下流側に配設した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、各々波長の異なる
光を射出する複数の光源を備え、前記複数の光源から射
出された複数の射出光を光学系によって記録材料上に集
光させ、走査する走査光学系に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、写真フィルムに記録された画像を
印画紙に記録するディジタルラボシステム等における像
の書込みには、レーザ光を発生する光源を用いて印画紙
を走査露光する画像露光装置が広く用いられている。
【0003】このような画像露光装置は、R(赤)、G
(緑)、B(青)の各色のレーザ光を発生する光源を備
えており、カラー画像データに基づいてR、G、B各色
毎にレーザ光を変調し、該レーザ光をビームエキスパン
ダ、シリンドリカルレンズ等の光学系を通過させ、偏向
器により主走査方向に偏向すると共に印画紙を副走査方
向に搬送し、fθレンズ、シリンドリカルレンズ等の走
査レンズ系を通過させて印画紙上を走査露光し、カラー
画像を記録していた。
【0004】ここで、光源の一部には、導波路型SHG
レーザが適用されている。導波路型SHGレーザでは、
外部変調器を必要とし、この外部変調器に集光させるこ
とで、強度を調整し、画像露光時の濃度を制御するよう
になっている。
【0005】ここで、導波路の屈折率分布が光軸に対し
て非対称である場合、一次モード伝搬特性を持つ導波路
の方が、0次モード伝搬特性を持つ導波路よりも必要光
量を確保できるため、一次モード伝搬特性を持つ導波路
型SHGレーザを適用することが考えられている(一例
として、特開平5−273624号公報参照)。これに
より、ピークのずれにより第二高調波発生の効率が上が
り、光量を確保することができる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、一次モ
ード伝搬特性を持つ導波路型SHGレーザでは、導波路
の出力端面が楕円ビームとなり、上記のようなカラー画
像露光装置の光源として適用する場合、ビームの軸回り
の向きを一致させることが好ましい。このとき、楕円ビ
ームの短軸方向をビーム走査方向とした場合と、長軸方
向をビーム走査方向とした場合とでは、例えば集光レン
ズによる結像点までの距離が大きく異なる。
【0007】また、各色の光源によって、偏光方向が異
なると、走査光学系(ポリゴンミラー〜fθレンズ)の
反射・透過率を走査画角に対して一様にするための設計
が困難になるため、各波長の偏光方向を一致させる必要
がある。
【0008】一方、導波路型SHGレーザでは、階調を
表現(濃度の調整)するために外部変調器(例えば、A
OM(音響光学素子))が必須であり、導波路型SHG
レーザから出力された光をこの外部変調器で一旦集光さ
せるようにしている。このとき、外部変調器の回折効率
確保のため、光は外部変調器へ入射するときに垂直偏光
入射が好ましい。
【0009】上記の如く、一次モード伝搬特性を持つ導
波路型SHGレーザを光源として適用し、カラー(特に
フルカラー)画像露光装置を構成する場合には、走査光
学系の配置スペースを含め、様々な整合をとる必要があ
る。
【0010】本発明は上記事実を考慮し、一次モード伝
搬特性を持つ導波路型SHGレーザを適用した場合に、
光強度の充分な確保並びに適正な階調表現、省スペース
の確立、画質の維持等を相互に最適化することができる
走査光学系を得ることが目的である。
【0011】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、各々波長の異なる光を射出する複数の光源を備え、
前記複数の光源から射出された複数の射出光を光学系に
よって記録材料上に集光させ、走査する走査光学系であ
って、前記光源の出力端面での発光点プロファイルが楕
円である場合に、当該楕円の長軸が前記走査方向に沿う
ように、光源の軸周り位置を設定した、ことを特徴とし
ている。
【0012】請求項1に記載の発明によれば、光源の出
力端面での発光点プロファイルが楕円である場合、この
楕円ビームを集光させる場合に、必要な解像度を得るた
めには、前記走査方向に直交する方向のビーム径を、上
記必要な解像度に合わせる必要がある。このとき、長軸
方向を走査方向とすることで、走査方向を直交するビー
ム径を小さくすることができ、その分、同一の集光レン
ズにおける必要ビーム径に結像するまでの距離を短くす
ることができ、走査光学系の省スペース化を図ることが
できる。
【0013】請求項2に記載の発明は、前記請求項1に
記載の発明において、前記光源の一部が、導波路型SH
Gレーザで構成されており、この導波路型SHGレーザ
における導波路の出力端面での発光点プロファイルが楕
円形状とされている、ことを特徴としている。
【0014】請求項2に記載の発明によれば、走査光学
系の光源として、導波路型SHGレーザが適用されてお
り、この導波路型SHGレーザの導波路の出力端面での
発光点プロファイルは楕円となっている。このため、導
波路型SHGレーザが適用された光源のそれぞれに対し
て、長軸方向が走査方向となるように設置することで、
省スペースの走査光学系を確保することができる。
【0015】請求項3に記載の発明は、前記請求項2に
記載の発明において、前記導波路型SHGレーザの下流
側には、外部変調器が設けられ、当該導波路型SHGレ
ーザから出力される光はこの外部変調器に集光する、こ
とを特徴としている。
【0016】請求項3に記載の発明によれば、導波路型
SHGレーザでは、光の強度の調整が困難であるため、
外部変調器を用いるのが一般的である。このため、導波
路から出力する光(発散光)を外部変調器に一旦集光さ
せる必要があり、この場合、上記の如く、長軸方向を走
査方向とすることで、所定のビーム径(例えば80μ
m)に集光するときの光源(導波路型SHGレーザ)、
集光レンズ、外部変調器の間の距離を短くすることがで
きる。
【0017】請求項4に記載の発明は、前記請求項3に
記載の発明において、前記外部変調器に入射する光の偏
光方向を各波長の光源間で一致させる偏光手段を備え
た、ことを特徴としている。
【0018】請求項4に記載の発明によれば、例えば、
外部変調器として音響光学素子を用いた場合、媒体結晶
の種類によって回折効率確保のために、垂直偏光入射を
指示される場合がある。ここで、長軸方向を走査方向と
すると、この指示にそむくことになるため、偏光方向を
90°回転させるための偏光手段を設ける。例えば、集
光レンズの下流側にλ/2板を配設することで、偏光方
向を90°回転させることができ、長軸方向を走査方向
とした状態で上記指示に従うことができる。
【0019】請求項5に記載の発明は、請求項2乃至請
求項4の何れか1項記載の発明において、前記導波路の
出力端面での発光点プロファイルが楕円である光源にお
いて、当該楕円の短軸方向の強度プロファイルが一次モ
ード特性を持ち、かつ、楕円ビームの短軸方向の導波路
の屈折率分布が光軸に対して非対称であり、前記出力端
面での光ビームの短軸方向の強度プロファイルが強度の
異なる2つのピークを持つ、ことを特徴としている。
【0020】請求項5に記載の発明によれば、導波路型
SHGレーザを適用した場合、伝搬モードを一次モード
としている。
【0021】設定波長変換効率ηは、基本波長光の電界
{Ef(z)}2と、2倍波の電界Es(z)の重なり
に比例し、以下の(1)式で表される。
【0022】
【数1】
【0023】Ef(z)、Es(z)は導波路コア層の
屈折率分布で決まり、その分布が光軸に対して対称な場
合は、{Ef(z)}2と、Es(z)のピークが一致
するので、0次伝搬モードの方がηが高くなる。しか
し、屈折率分布が非対称の場合には、0次モードではピ
ークのずれが生じ、一次伝搬モードの方がピークに一致
してηが高くなる。
【0024】従って、導波路の光軸に対する屈折率分布
が非対称である場合には、一次伝搬モードを適用するこ
とで、必要な光強度を確保することができる。
【0025】なお、この場合、前記出力端面での光ビー
ムの短軸方向の強度プロファイルが強度の異なる2つの
ピークを持つことになる。
【0026】請求項6に記載の発明は、前記請求項2乃
至請求項5の何れか1項記載の発明において、前記外部
変調器へ集光させるためのレンズの開口数(NA)を、
前記導波路の出力端面における楕円ビームの短軸方向で
発散するビームの有効NAよりも小さくすることで、前
記外部変調器近傍の強度プロファイルの一方のピーク値
が他方のピーク値の10%以下とすることを特徴として
いる。
【0027】請求項6に記載の発明によれば、外部変調
器へ集光させるためのレンズの開口数(NA)を、前記
導波路の出力端面における楕円ビームの短軸方向で発散
するビームの有効NAよりも小さくすることで、前記外
部変調器近傍の強度プロファイルの一方のピーク値が他
方のピーク値の10%以下としている。これにより、双
峰の強度プロファイル(2つのピークを持つ強度プロフ
ァイル)に対して、一方の強度を小さくすることができ
るため、ビーム形状を改善することができる。
【0028】なお、上記10%の根拠は、人間の目で記
録された画像を見た場合、グレー階調において、ほとん
ど影響がない程度の強度であり、10%を超えると主走
査奉公に縞状に濃度むらが発生し、画質低下を招く。
【0029】
【発明の実施の形態】図1に示すように、このラボシス
テム10は、ラインCCDスキャナ14、画像処理部1
6、レーザプリンタ部18、及びプロセッサ部20を含
んで構成されており、ラインCCDスキャナ14と画像
処理部16は、図2に示す入力部26に設けられてお
り、レーザプリンタ部18及びプロセッサ部20は、図
2に示す出力部28に設けられている。
【0030】ラインCCDスキャナ14は、ネガフィル
ムやリバーサルフィルム等の写真フィルムに記録されて
いるフィルム画像を読み取るためのものである。
【0031】ラインCCDスキャナ14は、上記フィル
ム画像をラインCCDで読み取り、画像データを出力す
る。なお、上記のラインCCDスキャナ14に代えて、
エリアCCDによってフィルム画像を読み取るエリアC
CDスキャナを設けてもよい。
【0032】画像処理部16は、ラインCCDスキャナ
14から出力された画像データ(スキャン画像データ)
が入力されると共に、デジタルカメラでの撮影によって
得られた画像データ、フィルム画像以外の原稿(例えば
反射原稿等)をスキャナで読み取ることで得られた画像
データ、コンピュータで生成された画像データ等(以
下、これらをファイル画像データと総称する)を外部か
ら入力する(例えば、メモリカード等の記憶媒体を介し
て入力したり、通信回線を介して他の情報処理機器から
入力する等)ことも可能なように構成されている。
【0033】画像処理部16は、入力された画像データ
に対して各種の補正等の画像処理を行って、記録用画像
データとしてレーザプリンタ部18へ出力する。また、
画像処理部16は、画像処理を行った画像データを画像
ファイルとして外部へ出力する(例えばメモリカード等
の記憶媒体に出力したり、通信回線を介して他の情報処
理機器へ送信する等)ことも可能である。
【0034】レーザプリンタ部18はR、G、Bのレー
ザ光を発振するレーザ光源210G、210Bを備えて
おり、画像処理部16から入力された記録用画像データ
に応じて変調したレーザ光を印画紙に照射して、走査露
光によって印画紙に画像を記録する。また、プロセッサ
部20は、レーザプリンタ部18で走査露光によって画
像が記録された印画紙に対し、発色現像、漂白定着、水
洗、乾燥の各処理を施す。これにより、印画紙上に画像
が形成される。
【0035】図3には、レーザプリンタ部18の光学系
の構成が示されている。レーザプリンタ部18は、本発
明の光源としての3個のレーザ光源210R、210
G、210Bを備えている。
【0036】レーザ光源210RはRの波長(例えば、
680nm)のレーザ光(以下、Rレーザ光と称する)
を射出する半導体レーザ(LD)で構成されている。
【0037】また、レーザ光源210Gは、LDと、該
LDから射出されたレーザ光を1/2の波長のレーザ光
に変換する波長変換素子(SHG)から構成されてお
り、導波路を備えている(導波路型SHGレーザ)。レ
ーザ光源210Gは、SHGからGの波長(例えば、5
32nm)のレーザ光(以下、Gレーザ光と称する)が
射出されるようにLDの発振波長が定められている。
【0038】同様に、レーザ光源210BもLDとSH
Gから構成されており、導波路を備えている。このレー
ザ光源210Bでは、SHGからBの波長(例えば、4
75nm)のレーザ光(以下、Bレーザ光と称する)が
射出されるようにLDの発振波長が定められている。
【0039】レーザ光源210R、210G、210B
のレーザ光射出側には、各々集光レンズ212、音響光
学変調素子(AOM)214が順に配置されている。A
OM214は、各々入射されたレーザ光が音響光学媒質
を透過するように配置されていると共に、各々図示しな
いAOMドライバに接続されており、AOMドライバか
ら高周波信号が入力されると、音響光学媒質内を前記高
周波信号に応じた超音波が伝搬し、音響光学媒質を透過
するレーザ光に音響光学効果が作用して回折が生じ、前
記高周波信号の振幅に応じた強度のレーザ光がAOM2
14から回折光として射出される。
【0040】AOM214の各々の回折光射出側には、
平面ミラー215が配置されており、平面ミラー215
の各レーザ光射出側には、入射されたレーザ光を平行光
とする第1の光学系としてのビームエキスパンダ21
6、ビームエキスパンダ216から入射された平行光を
線状に結像するシリンドリカルレンズ217、及び主走
査手段としてのポリゴンミラー218が順に配置されて
おり、AOM214の各々から回折光として射出された
Rレーザ光、Gレーザ光、及びBレーザ光は、平面ミラ
ー215によって反射された後、ビームエキスパンダ2
16及びシリンドリカルレンズ217を介してポリゴン
ミラー218の偏向反射面上の略同一の位置に照射さ
れ、ポリゴンミラー218で反射される。
【0041】ポリゴンミラー218のレーザ光射出側に
は露光面上の走査速度を補正するfθレンズ220、副
走査方向にレンズパワーを持つ面倒れ補正用のシリンド
リカルレンズ221、シリンドリカルミラー222が順
に配置されており、さらにシリンドリカルミラー222
のレーザ光射出側には折り返しミラー223が配置され
ている。
【0042】ポリゴンミラー218で反射された3本の
レーザ光はfθレンズ220、シリンドリカルレンズ2
21を順に透過し、シリンドリカルミラー222によっ
て反射された後、折り返しミラー223によって略鉛直
下方向に反射されて開孔部226を介して印画紙224
に照射される。
【0043】上記構成の走査光学系において、レーザ光
源210G、210Bの伝搬モードとして、一次伝搬モ
ードが適用されている。通常は、基本モード(0次伝搬
モード)の方が光強度が高いが、レーザ光源210G、
210Bにおいては、導波路の出力端面が楕円となって
おり、言い換えると、光軸に対する導波路の光屈折率分
布が非対称となっている。
【0044】このため、(1)式における電界{Ef
(z)}2と、2倍波の電界Es(z)のピークがず
れ、波長変換効率が小さくなり、結果として一次伝搬モ
ードの方が、0次伝搬モードよりも光強度が大きくな
る。このため、一次伝搬モードPを適用することで、充
分な光強度を確保することができる。
【0045】ところで、0次伝搬モードの光ビームと一
次伝搬モードの光ビームは、強度プロファイルを比べる
と、0次伝搬モードの光ビームは図4(A)に示される
如く、ガウス分布となるが、一次伝搬モードの光ビーム
は、図4(B)に示される如く、左右対称な双峰の分布
となる。
【0046】なお、図4おいて、Eは電界強度、λは波
長、λP (0)、λP (1)は伝搬する光の波長、n0は導波路
のクラッドの屈折率、n1は導波路のコアの屈折率、
0、k1は真空中の波数、β0、β1は伝搬定数、φ0
φ1は光軸と光線伝搬方向のなす角度、kn0、kn1
クラッド層内の波数、コア層内の波数であり、0は0次
伝搬モード、1は一次伝搬モードを示す。
【0047】さらに、一次伝搬モードにおいて、屈折率
分布が非対称の場合には、2つのピークを持つ強度プロ
ファイルとなり(図5参照)、図5の右側の小さいピー
ク(サブピーク)は、その大きさによっては、例えば主
走査方向の縞(横縞)となって画質に影響を及ぼす。
【0048】そこで、本実施の形態では、サブピークが
画質を低下させない程度に抑えるべく、集光レンズ21
2のNA(開口数)を所定値に設定し、サブピークが図
5の中央の大きいピーク(メインピーク)の1/10以
下となるようにしている。
【0049】図5及び図6に基づいて、上記サブピーク
がメインピークの1/10以下とした根拠について説明
する。
【0050】図5に示される如く、サブピーク比(サブ
ピーク/メインピーク)が5%、10%、15%の場合
の強度プロファイルを示しており、図6は、それぞれの
サブピークにおけるMTF特性である。なお、このとき
のビーム径は80μmである。
【0051】この図6から分かるように、300dpi
描画時のNyquist周波数が5.9c/mmでMTFは
0.5を確保できる。このMTF0.5近傍をしきい値
とした場合、サブピーク比15%は許容範囲から逸脱す
ることから、サブピーク比を10%0以内(すなわち、
上記1/10以内)とした。
【0052】図7(A)は、集光レンズ212のNAが
0.5の場合の強度プロファイルであり、メインピー
ク:サブピークが10:4となっており、これでは、サ
ブピークが画質に悪影響を及ぼす。そこで、集光レンズ
212のNAを0.2とすると、図7(B)に示される
如く、メインピーク:サブピークが10:1となり、画
質への影響を解消することができる。
【0053】図8には、レーザ光源210G(又は21
0B)からAOM214までの光学系のみを示してい
る。この光学系において、レーザ光源の光軸回りの配置
形態として、図9(A)のように楕円ビームの短軸方向
が主走査方向となる形態と、図9(B)のように楕円ビ
ームの長軸方向が主走査方向となる形態と、がある(9
0°単位で考える)。
【0054】ここで、導波路の出力端面での長軸方向の
ビーム径が4.0μm、短軸方向のビーム径が2.0μ
m、集光レンズ212が焦点距離5mmとし、AOM2
14に光ビームを80μmで集光させる場合、導波路の
端面−集光レンズ212間距離L1と、集光レンズ21
2−AOM214間距離L2は、以下の表1の如くな
る。
【0055】
【表1】 表1から分かるように、楕円ビームの長軸方向を主走査
方向に沿う、すなわち平行とすることにより、短軸方向
を主走査方向と平行とするのによう比べ約1/2の光路
長とすることができ、走査光学系の省スペース化を図る
ことができる。
【0056】次に、レーザ光源210G、210Bとし
て、導波路型SHGレーザを用いる場合、光の強度調整
(濃度制御)のためにAOM214を適用している。
【0057】ここで、上記の如く、楕円ビームの長軸方
向を主走査方向とすると、複数の異なるタイプの光源を
用いた走査光学系の場合、波長によって偏光方向が異な
ることがある。
【0058】波長(色)によって、光ビームの偏光方向
が異なると、ポリゴンミラー218、シリンドリカルレ
ンズ221、シリンドリカルミラー222、折り返しミ
ラー223及びfθレンズ220の各光学系において、
反射・透過率を画角に対して一様にするための設計が困
難になるため、各波長の偏光方向を同一にすることが好
ましい。従って、上記複数の波長の偏光方向を何れかに
揃える必要がある。
【0059】一方、本実施の形態に適用したAOM21
4では、媒体結晶によっては回折効率確保のため、垂直
偏光入射が指定されている。そこで、図10に示される
如く、AOM214に集光させる集光レンズ212の下
流側にλ/2板300を配設し、長軸方向を主走査方向
と平行にしたことで偏光方向が主走査方向となった光ビ
ームを、偏光方向が副走査方向となるように90°偏光
する。これにより、光路長の省スペース化を確保しつ
つ、光ビームをAOM214に適合した偏光方向とする
ことができる。
【0060】このように本実施の形態によれば、光源と
して導波路型SHGを用い、その導波路から出力される
楕円ビームにおける長軸方向を主走査方向とすること
で、走査光学系の光路長を短くし、また、全ての光源の
偏光方向を揃え、かつAOMの回折効率を確保する垂直
偏光とするべく、必要に応じて、λ/2板300を集光
レンズ212の下流側に配設した。
【0061】さらに、導波路での屈折率分布が非対称で
あるため、一次伝搬モードを適用することで、必要の強
度プロファイルを得ることができる。また、一次伝搬モ
ードの適用によって発生するサブピクークのメインピー
クに対する強度比(サブピーク比)を10%以内とする
ことで(ビーム径80μmでの集光レンズ212のNA
を0.2とした)、300dpi描画におけるNyquist
周波数が5.9c/mmでのMTFを0.5以上確保す
ることができる。
【0062】なお、本実施の形態では、レーザ光源21
0G、210Bとして導波路型SHGレーザを適用した
が、出力される光ビームが楕円形状の全ての光源に適用
可能である。
【0063】
【発明の効果】以上説明した如く本発明に係る走査光学
系は、一次モード伝搬特性を持つ導波路型SHGレーザ
を適用した場合に、光強度の充分な確保並びに適正な階
調表現、省スペースの確立、画質の維持等を相互に最適
化することができるという優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施形態に係るディジタルラボシステムの概
略ブロック図である。
【図2】ディジタルラボシステムの外観図である。
【図3】レーザプリンタ部の光学系の概略構成図であ
る。
【図4】導波路型SHGレーザにおける導波路から出力
されるビーム強度ファイルを示す特性図であり、(A)
は0次伝播モード、(B)は一次伝搬モードである。
【図5】本実施の形態に係る導波路型SHGレーザの一
次伝搬モードにおけるスポットプロファイルである。
【図6】図5のスポットプロファイルにおける、空間周
波数−MTF特性図である。
【図7】集光レンズのNAに基づく強度プロファイルで
あり、(A)はNA=0.5、(B)はNA=0.2の
場合の特性図である。
【図8】レーザ光源、集光レンズ、AOMまでの光学系
を簡易的に示した側面図である。
【図9】レーザ光源(導波路型SHGレーザ)の導波路
出射端面(図8のIX−IX線位置)を示す正面図であ
り、(A)は楕円ビームの長軸が主走査方向に向けられ
た場合、(B)は楕円ビームの長軸が副走査方向に向け
られた場合を示す。
【図10】図8の走査光学系において、集光レンズの下
流側にλ/2板を配置した場合の走査光学系側面図であ
る。
【符号の説明】
18 レーザプリンタ部 210R、210G、210B レーザ光源(光
源) 216 ビームエキスパンダ 217 シリンドリカルレンズ 218 ポリゴンミラー 220 fθレンズ 221 シリンドリカルレンズ 224 印画紙 300 λ/2板
フロントページの続き Fターム(参考) 2C362 AA04 AA10 AA38 AA42 AA45 AA47 BA52 BA63 BA67 BA86 CA18 CA22 CA40 DA06 2H045 AA01 BA24 BA32 BA43 2H079 AA04 BA01 CA21 KA18 5C072 AA03 BA19 DA02 HA02 HA06 HA13 HB10 XA01 XA05

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 各々波長の異なる光を射出する複数の光
    源を備え、前記複数の光源から射出された複数の射出光
    を光学系によって記録材料上に集光させ、走査する走査
    光学系であって、 前記光源の出力端面での発光点プロファイルが楕円であ
    る場合に、当該楕円の長軸が前記走査方向に沿うよう
    に、光源の軸周り位置を設定した、ことを特徴とする走
    査光学系。
  2. 【請求項2】 前記光源の一部が、導波路型SHGレー
    ザで構成されており、この導波路型SHGレーザにおけ
    る導波路の出力端面での発光点プロファイルが楕円形状
    とされている、ことを特徴とする請求項1記載の走査光
    学系。
  3. 【請求項3】 前記導波路型SHGレーザの下流側に
    は、外部変調器が設けられ、当該導波路型SHGレーザ
    から出力される光はこの外部変調器に集光する、ことを
    特徴とする請求項2記載の光走査装置。
  4. 【請求項4】 前記外部変調器に入射する光の偏光方向
    を各波長の光源間で一致させる偏光手段を備えた、こと
    を特徴とする請求項3記載の走査光学系。
  5. 【請求項5】 前記導波路の出力端面での発光点プロフ
    ァイルが楕円である光源において、当該楕円の短軸方向
    の強度プロファイルが一次モード特性を持ち、かつ、楕
    円ビームの短軸方向の導波路の屈折率分布が光軸に対し
    て非対称であり、前記出力端面での光ビームの短軸方向
    の強度プロファイルが強度の異なる2つのピークを持
    つ、ことを特徴とする請求項2乃至請求項4の何れか1
    項記載の走査光学系。
  6. 【請求項6】 前記外部変調器へ集光させるためのレン
    ズの開口数(NA)を、前記導波路の出力端面における
    楕円ビームの短軸方向で発散するビームの有効NAより
    も小さくすることで、前記外部変調器近傍の強度プロフ
    ァイルの一方のピーク値が他方のピーク値の10%以下
    とすることを特徴とする請求項2乃至は請求項5の何れ
    か1項記載の走査光学系。
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