JP2001267636A - 発光素子アレイ用検査装置 - Google Patents
発光素子アレイ用検査装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 発光素子アレイの動作，光量分布を短時間で
測定することのできる発光素子アレイ用検査装置を提供
する。 【解決手段】 発光素子アレイ用検査装置は、受光ヘッ
ド２００を備えている。この受光ヘッド内には、発光素
子アレイ８０に対向する側に設けられた結像光学系２０
２と、ハーフミラー２０３と、ハーフミラー２０３を透
過した光が結像する部分に設けられた受光素子アレイ２
０４と、ハーフミラー２０３で反射された光が結像する
部分に設けられた光出力モニタ用の受光素子２０１とが
設けられている。
測定することのできる発光素子アレイ用検査装置を提供
する。 【解決手段】 発光素子アレイ用検査装置は、受光ヘッ
ド２００を備えている。この受光ヘッド内には、発光素
子アレイ８０に対向する側に設けられた結像光学系２０
２と、ハーフミラー２０３と、ハーフミラー２０３を透
過した光が結像する部分に設けられた受光素子アレイ２
０４と、ハーフミラー２０３で反射された光が結像する
部分に設けられた光出力モニタ用の受光素子２０１とが
設けられている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、全発光点が一斉に
点灯するのではなく、順次点灯する発光素子アレイの動
作および光量分布を測定する発光素子アレイ用検査装置
に関する。
点灯するのではなく、順次点灯する発光素子アレイの動
作および光量分布を測定する発光素子アレイ用検査装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】光プリンタの書込みヘッド（光書込みヘ
ッド）は、感光ドラムに光を露光させるための光源であ
り、発光素子アレイを有している。光書込みヘッドを備
える光プリンタの原理図を図１に示す。円筒形の感光ド
ラム２の表面に、アモルファスＳｉ等の光導電性を持つ
材料（感光体）が作られている。このドラムはプリント
の速度で回転している。回転しているドラムの感光体表
面を、帯電器４で一様に帯電させる。そして、光書込み
ヘッド６で、印字するドットイメージの光を感光体上に
照射し、光の当たったところの帯電を中和する。続い
て、現像器８で感光体上の帯電状態にしたがって、トナ
ーを感光体上につける。そして、転写器１０でカセット
１２中から送られてきた用紙１４上に、トナーを転写す
る。用紙は、定着器１６にて熱等を加えられ定着され、
スタッカ１８に送られる。一方、転写の終了したドラム
は、消去ランプ２０で帯電が全面にわたって中和され、
清掃器２２で残ったトナーが除去される。
ッド）は、感光ドラムに光を露光させるための光源であ
り、発光素子アレイを有している。光書込みヘッドを備
える光プリンタの原理図を図１に示す。円筒形の感光ド
ラム２の表面に、アモルファスＳｉ等の光導電性を持つ
材料（感光体）が作られている。このドラムはプリント
の速度で回転している。回転しているドラムの感光体表
面を、帯電器４で一様に帯電させる。そして、光書込み
ヘッド６で、印字するドットイメージの光を感光体上に
照射し、光の当たったところの帯電を中和する。続い
て、現像器８で感光体上の帯電状態にしたがって、トナ
ーを感光体上につける。そして、転写器１０でカセット
１２中から送られてきた用紙１４上に、トナーを転写す
る。用紙は、定着器１６にて熱等を加えられ定着され、
スタッカ１８に送られる。一方、転写の終了したドラム
は、消去ランプ２０で帯電が全面にわたって中和され、
清掃器２２で残ったトナーが除去される。
【０００３】光書込みヘッド６の構造を図２に示す。光
書込みヘッドは発光素子アレイ２４とロッドレンズアレ
イ２６で構成され、レンズの焦点が感光ドラム２上に結
ぶようになっている。
書込みヘッドは発光素子アレイ２４とロッドレンズアレ
イ２６で構成され、レンズの焦点が感光ドラム２上に結
ぶようになっている。
【０００４】光書込みヘッドにおいて、発光素子アレイ
の発光点が配列されている方向（感光ドラムの回転軸に
平行）が主走査方向であり、主走査方向に直交する方向
が副走査方向である。
の発光点が配列されている方向（感光ドラムの回転軸に
平行）が主走査方向であり、主走査方向に直交する方向
が副走査方向である。
【０００５】このような光書込みヘッドに用いられる発
光素子アレイは、順次点灯させるために、順次点灯機能
を持つドライバ回路に接続するか、あるいは順次点灯機
能を持つドライバを内蔵している。
光素子アレイは、順次点灯させるために、順次点灯機能
を持つドライバ回路に接続するか、あるいは順次点灯機
能を持つドライバを内蔵している。
【０００６】このような発光素子アレイは、ウェハ上に
作製され、チップに切断されて、書込みヘッドに組込ま
れる。いずれの段階で検査されるにせよ、発光素子アレ
イの動作および光量分布を測定して品質の良否を評価す
るための検査が行われる。
作製され、チップに切断されて、書込みヘッドに組込ま
れる。いずれの段階で検査されるにせよ、発光素子アレ
イの動作および光量分布を測定して品質の良否を評価す
るための検査が行われる。
【０００７】図３は、従来の発光素子アレイ用検査装置
を示す。この従来の装置では、発光素子アレイ８０の発
光量を測定するには、発光点の真上に結像光学系１０２
と受光素子１０１らなる受光ヘッド１００を配置し、受
光素子１０１の出力信号を測定する。図中、１０３は受
光素子からの信号線である。
を示す。この従来の装置では、発光素子アレイ８０の発
光量を測定するには、発光点の真上に結像光学系１０２
と受光素子１０１らなる受光ヘッド１００を配置し、受
光素子１０１の出力信号を測定する。図中、１０３は受
光素子からの信号線である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】結像光学系１０２は、
開口数が比較的大きいため、視野が狭く、発光素子アレ
イの発光点の位置が変わるたびに、受光ヘッド１００の
位置を調整している。この場合、発光素子アレイ８０の
方を移動させても、あるいは受光ヘッド１００の方を移
動させてもよいが、検査装置をウエファ状態でのプロー
バー検査で使う場合は、ウエファ側を動かすのが難しい
ため、受光ヘッド側を移動することになる。このよう
に、受光ヘッドを機械的に移動させる必要があるため、
発光素子アレイの光量分布の測定は時間がかかった。
開口数が比較的大きいため、視野が狭く、発光素子アレ
イの発光点の位置が変わるたびに、受光ヘッド１００の
位置を調整している。この場合、発光素子アレイ８０の
方を移動させても、あるいは受光ヘッド１００の方を移
動させてもよいが、検査装置をウエファ状態でのプロー
バー検査で使う場合は、ウエファ側を動かすのが難しい
ため、受光ヘッド側を移動することになる。このよう
に、受光ヘッドを機械的に移動させる必要があるため、
発光素子アレイの光量分布の測定は時間がかかった。
【０００９】また、ドライバを内蔵した発光素子アレ
イ、または、ドライバ回路を接続した発光素子アレイの
場合、すべての発光点が正常に発光しているかを確認す
るには、実際に使用する条件で、正しい位置の発光点が
発光しているかを調べる必要がある。
イ、または、ドライバ回路を接続した発光素子アレイの
場合、すべての発光点が正常に発光しているかを確認す
るには、実際に使用する条件で、正しい位置の発光点が
発光しているかを調べる必要がある。
【００１０】従来の発光素子アレイ用検査装置で、発光
点の位置情報をも取ろうとすると、実動作条件で全点灯
した状態の発光点列の１発光点のみを視野に入れるよう
な受光ヘッドが必要となる。このように狭い視野の受光
ヘッドでは、わずかな位置ずれも感度に影響するため、
高精度な送り機構が必要である。また、発光点の数だけ
の送り動作が発生し、測定に時間がかかる。
点の位置情報をも取ろうとすると、実動作条件で全点灯
した状態の発光点列の１発光点のみを視野に入れるよう
な受光ヘッドが必要となる。このように狭い視野の受光
ヘッドでは、わずかな位置ずれも感度に影響するため、
高精度な送り機構が必要である。また、発光点の数だけ
の送り動作が発生し、測定に時間がかかる。
【００１１】本発明の目的は、発光素子アレイの動作，
光量分布を短時間で測定することのできる発光素子アレ
イ用検査装置を提供することにある。
光量分布を短時間で測定することのできる発光素子アレ
イ用検査装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】ドライバを内蔵した発光
素子アレイ、順次点灯機能を持つドライバ回路を接続し
た発光素子アレイ、または、発光素子アレイを有して構
成された光書き込みヘッドにおいて、すべての発光点が
正常に発光しているかを確認するためには、空間的な光
量を調べ、そのピークの数と位置を調べればよい。これ
は、「少なくとも１次元」に配列された受光素子アレイ
と結像系の組み合わせで実現できる。しかし、１次元Ｃ
ＣＤなどの受光素子アレイでは、感度のばらつきや、ノ
イズが多く、この出力から正確な光出力を求めることは
難しい。また、発光素子アレイの１個の発光点に対し、
十分多数の受光素子で受光しないと、発光素子と受光素
子のピッチのビート成分によって、正確な光量値が得ら
れない。
素子アレイ、順次点灯機能を持つドライバ回路を接続し
た発光素子アレイ、または、発光素子アレイを有して構
成された光書き込みヘッドにおいて、すべての発光点が
正常に発光しているかを確認するためには、空間的な光
量を調べ、そのピークの数と位置を調べればよい。これ
は、「少なくとも１次元」に配列された受光素子アレイ
と結像系の組み合わせで実現できる。しかし、１次元Ｃ
ＣＤなどの受光素子アレイでは、感度のばらつきや、ノ
イズが多く、この出力から正確な光出力を求めることは
難しい。また、発光素子アレイの１個の発光点に対し、
十分多数の受光素子で受光しないと、発光素子と受光素
子のピッチのビート成分によって、正確な光量値が得ら
れない。
【００１３】そこで、本発明では、発光素子アレイより
も離れた位置に、ＣＣＤ受光素子とは別の第２の受光素
子を置き、発光素子アレイの発光点を１点ずつ順に点灯
させながら、第２の受光素子の出力信号を測定すること
によって、正確な光量測定ができるようにした。
も離れた位置に、ＣＣＤ受光素子とは別の第２の受光素
子を置き、発光素子アレイの発光点を１点ずつ順に点灯
させながら、第２の受光素子の出力信号を測定すること
によって、正確な光量測定ができるようにした。
【００１４】したがって、本発明の発光素子アレイ用検
査装置は、発光素子アレイの光量分布の測定は時間分割
で、発光素子アレイに発光していない点があるかどうか
は空間的に判定することを特徴としている。
査装置は、発光素子アレイの光量分布の測定は時間分割
で、発光素子アレイに発光していない点があるかどうか
は空間的に判定することを特徴としている。
【００１５】本発明の第１の態様によれば、順次点灯す
る発光素子アレイの動作，光量分布を測定する発光素子
アレイ用検査装置において、前記発光素子アレイの発光
点から出た光を結像させる結像光学系と、前記結像光学
系を通った光を２方向に分けるハーフミラーと、分けら
れた一方の光を受光する受光素子アレイと、分けられた
他方の光を受光する受光素子とを備え、前記受光素子ア
レイの出力により前記発光素子アレイの動作を評価し、
前記受光素子の出力により光量分布を測定する、ことを
特徴とする。
る発光素子アレイの動作，光量分布を測定する発光素子
アレイ用検査装置において、前記発光素子アレイの発光
点から出た光を結像させる結像光学系と、前記結像光学
系を通った光を２方向に分けるハーフミラーと、分けら
れた一方の光を受光する受光素子アレイと、分けられた
他方の光を受光する受光素子とを備え、前記受光素子ア
レイの出力により前記発光素子アレイの動作を評価し、
前記受光素子の出力により光量分布を測定する、ことを
特徴とする。
【００１６】本発明の第２の態様によれば、順次点灯す
る発光素子アレイの動作，光量分布を測定する発光素子
アレイ用検査装置において、前記発光素子アレイの発光
点から出た光を結像させる結像光学系と、前記結像光学
系を通った光を受光する受光素子アレイと、前記発光素
子アレイの発光点から出た光を受光する受光素子とを備
え、前記受光素子アレイの出力により前記発光素子アレ
イの動作を評価し、前記受光素子の出力により光量分布
を測定する、ことを特徴とする。
る発光素子アレイの動作，光量分布を測定する発光素子
アレイ用検査装置において、前記発光素子アレイの発光
点から出た光を結像させる結像光学系と、前記結像光学
系を通った光を受光する受光素子アレイと、前記発光素
子アレイの発光点から出た光を受光する受光素子とを備
え、前記受光素子アレイの出力により前記発光素子アレ
イの動作を評価し、前記受光素子の出力により光量分布
を測定する、ことを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を実施
例に基づいて説明する。
例に基づいて説明する。
【００１８】
【実施例１】図４に、第１の実施例の発光素子アレイ用
検査装置を示す。この装置は、受光ヘッド２００を備え
ている。この受光ヘッド内には、発光素子アレイ８０に
対向する側に設けられた結像光学系２０２と、ハーフミ
ラー２０３と、ハーフミラー２０３を透過した光が結像
する部分に設けられた受光素子アレイ２０４と、ハーフ
ミラー２０３で反射された光が結像する部分に設けられ
た光出力モニタ用の受光素子２０１とが設けられてい
る。
検査装置を示す。この装置は、受光ヘッド２００を備え
ている。この受光ヘッド内には、発光素子アレイ８０に
対向する側に設けられた結像光学系２０２と、ハーフミ
ラー２０３と、ハーフミラー２０３を透過した光が結像
する部分に設けられた受光素子アレイ２０４と、ハーフ
ミラー２０３で反射された光が結像する部分に設けられ
た光出力モニタ用の受光素子２０１とが設けられてい
る。
【００１９】図中、２０５は、受光素子２０１の信号
線、２０６は受光素子アレイ２０４の信号線であるであ
る。
線、２０６は受光素子アレイ２０４の信号線であるであ
る。
【００２０】発光素子アレイ８０のある発光点から出た
光は、結合光学系２０２を通り、ハーフミラー２０３に
よって、２つの経路に分けられ、一方の光は、受光素子
２０１に、他方の光は受光素子アレイ２０４上に結像す
る。これらの発光点像は、発光素子アレイの発光点の位
置が動くにつれて、受光素子２０１および受光素子アレ
イ２０４上を移動する。したがって、受光素子２０１お
よび受光素子アレイ２０４の受光範囲は、移動する発光
素子アレイの発光点像が収まる面積が必要である。
光は、結合光学系２０２を通り、ハーフミラー２０３に
よって、２つの経路に分けられ、一方の光は、受光素子
２０１に、他方の光は受光素子アレイ２０４上に結像す
る。これらの発光点像は、発光素子アレイの発光点の位
置が動くにつれて、受光素子２０１および受光素子アレ
イ２０４上を移動する。したがって、受光素子２０１お
よび受光素子アレイ２０４の受光範囲は、移動する発光
素子アレイの発光点像が収まる面積が必要である。
【００２１】具体的には、受光素子アレイ２０４は、画
素ピッチが６ミクロン、画素数が１０２４ビットの１次
元ＣＣＤセンサを用いた。ＣＣＤのリフレッシュレート
は、５０Ｈｚとした。一方、受光素子２０１は、１０ｍ
ｍ×１０ｍｍの受光部分を持つＳｉフォトダイオードを
用い、その短絡電流を１０8 Ｖ／Ａの電流−電圧変換し
て、電圧信号として取り出した。また、結像光学系２０
２は、１倍のものを用いた。ハーフミラー２０３の分配
率は、５０：５０のものを使った。このため、発光素子
アレイの６００ｄｐｉの発光点のピッチは、おおよそＣ
ＣＤ上では７画素分に対応することになる。
素ピッチが６ミクロン、画素数が１０２４ビットの１次
元ＣＣＤセンサを用いた。ＣＣＤのリフレッシュレート
は、５０Ｈｚとした。一方、受光素子２０１は、１０ｍ
ｍ×１０ｍｍの受光部分を持つＳｉフォトダイオードを
用い、その短絡電流を１０8 Ｖ／Ａの電流−電圧変換し
て、電圧信号として取り出した。また、結像光学系２０
２は、１倍のものを用いた。ハーフミラー２０３の分配
率は、５０：５０のものを使った。このため、発光素子
アレイの６００ｄｐｉの発光点のピッチは、おおよそＣ
ＣＤ上では７画素分に対応することになる。
【００２２】次に、以上のような構成の発光素子アレイ
用検査装置の動作を説明する。
用検査装置の動作を説明する。
【００２３】測定対象の発光素子アレイ８０は、６００
ｄｐｉ，１２８発光素子のドライバ内蔵型の発光素子ア
レイとする。
ｄｐｉ，１２８発光素子のドライバ内蔵型の発光素子ア
レイとする。
【００２４】まず、発光素子アレイ８０を実際に使用す
る上限速度で点灯すると、発光点の転送動作に異常がな
いか確かめる。ここでは、２Ｍｄｏｔ／ｓの転送速度
で、全点点灯した。２Ｍｄｏｔ／ｓで１２８画素を描く
ので、発光素子アレイが１ラインを描くのに必要な時間
は６４μｓとなる。ＣＣＤのフレーム周波数は５０Ｈｚ
であるので、約３００回分の発光の平均光量分布が受光
素子アレイ２０４に得られる。この光量分布に対してあ
るしきい値を設け、このしきい値を越えたピークの数を
数え、発光素子の発光点の数である１２８個になったと
きに、正常な転送動作が行われたと判断する。なお、光
学系固有の空間的感度分布が存在するため、出力信号は
空間感度分布関数の逆関数を数値的に乗じて補正した。
評価結果信号の例を図５に示す。図では、先頭の７発光
点分、ＣＣＤ画素番号（１〜１０２４番）のうち、３０
〜９０番の部分を示した。縦軸は、受光素子アレイの出
力であり、２５５がフルスケールとなるＡＤコンバータ
の出力である。
る上限速度で点灯すると、発光点の転送動作に異常がな
いか確かめる。ここでは、２Ｍｄｏｔ／ｓの転送速度
で、全点点灯した。２Ｍｄｏｔ／ｓで１２８画素を描く
ので、発光素子アレイが１ラインを描くのに必要な時間
は６４μｓとなる。ＣＣＤのフレーム周波数は５０Ｈｚ
であるので、約３００回分の発光の平均光量分布が受光
素子アレイ２０４に得られる。この光量分布に対してあ
るしきい値を設け、このしきい値を越えたピークの数を
数え、発光素子の発光点の数である１２８個になったと
きに、正常な転送動作が行われたと判断する。なお、光
学系固有の空間的感度分布が存在するため、出力信号は
空間感度分布関数の逆関数を数値的に乗じて補正した。
評価結果信号の例を図５に示す。図では、先頭の７発光
点分、ＣＣＤ画素番号（１〜１０２４番）のうち、３０
〜９０番の部分を示した。縦軸は、受光素子アレイの出
力であり、２５５がフルスケールとなるＡＤコンバータ
の出力である。
【００２５】次に、転送速度を１ｋｄｏｔ／ｓにし、受
光素子２０１の出力信号を測定し、各発光点の光出力分
布を求めた。光出力の測定は、目的の発光点が発光を始
めてから、１００μｓ後に測定を開始した。ここで、発
光点の転送速度を１ｋｄｏｔ／ｓと遅くしたのは、電流
−電圧変換の速度はあまり速くないのと、測定精度を上
げるために、繰り返し測定を行うためである。なお、光
学系固有の空間的感度分布が存在するため、出力信号は
空間感度分布関数の逆関数を数値的に乗じて補正した。
評価結果信号の例を図６に示す。縦軸は、ある補正係数
を乗じて、出力電力に換算したものである。図６から、
１２８個の発光点のすべてについて、光出力が検出さ
れ、正常に転送動作が行われていることがわかる。
光素子２０１の出力信号を測定し、各発光点の光出力分
布を求めた。光出力の測定は、目的の発光点が発光を始
めてから、１００μｓ後に測定を開始した。ここで、発
光点の転送速度を１ｋｄｏｔ／ｓと遅くしたのは、電流
−電圧変換の速度はあまり速くないのと、測定精度を上
げるために、繰り返し測定を行うためである。なお、光
学系固有の空間的感度分布が存在するため、出力信号は
空間感度分布関数の逆関数を数値的に乗じて補正した。
評価結果信号の例を図６に示す。縦軸は、ある補正係数
を乗じて、出力電力に換算したものである。図６から、
１２８個の発光点のすべてについて、光出力が検出さ
れ、正常に転送動作が行われていることがわかる。
【００２６】
【実施例２】図７に、第２の実施例の発光素子アレイ用
検査装置を示す。この装置は、図４の第１の実施例の装
置とは、ハーフミラーを用いず、受光素子２０１を測定
ヘッド３００の外に設けた点で異なっている。図４と同
一の構成要素には、同一の参照番号を付して示してい
る。
検査装置を示す。この装置は、図４の第１の実施例の装
置とは、ハーフミラーを用いず、受光素子２０１を測定
ヘッド３００の外に設けた点で異なっている。図４と同
一の構成要素には、同一の参照番号を付して示してい
る。
【００２７】この発光素子アレイ用検査装置によれば、
ハーフミラーの角度依存性等の影響を排除できる。な
お、動作は図４の発光素子アレイ用検出装置と同じであ
る。
ハーフミラーの角度依存性等の影響を排除できる。な
お、動作は図４の発光素子アレイ用検出装置と同じであ
る。
【００２８】
【実施例３】受光素子アレイ２０４での評価時に全部の
発光点を発光させるのではなく、例えば１個おきに点灯
させて評価することもできる。この方法には、図４ある
いは図７の発光素子アレイ用検査装置のいずれも用いる
ことができる。
発光点を発光させるのではなく、例えば１個おきに点灯
させて評価することもできる。この方法には、図４ある
いは図７の発光素子アレイ用検査装置のいずれも用いる
ことができる。
【００２９】１２００ｄｐｉ／２５６発光素子アレイを
全点灯させたときの受光素子アレイ２０４の出力信号例
を図８に示す。１２００ｄｐｉの発光点ピッチはＣＣＤ
上では、約３．５画素に相当し、図８からわかるように
各発光点に対応する光量分布の極大値と極小値の差があ
まり取れない。このため、判定のしきい値を高めに設定
する必要があり、判定を誤る可能性がある。
全点灯させたときの受光素子アレイ２０４の出力信号例
を図８に示す。１２００ｄｐｉの発光点ピッチはＣＣＤ
上では、約３．５画素に相当し、図８からわかるように
各発光点に対応する光量分布の極大値と極小値の差があ
まり取れない。このため、判定のしきい値を高めに設定
する必要があり、判定を誤る可能性がある。
【００３０】そこで本実施例によれば、まず、奇数番目
の発光点のみを全部点灯させ、受光素子アレイ２０４の
光出力分布（図８参照）を取り、ピーク数を数え、次に
偶数番目の発光点のみを全部点灯させピーク数を数える
ことで、正常な転送動作が行われていることを確認する
こととした。なお、受光素子２０１による光出力の測定
は実施例１と同様である。
の発光点のみを全部点灯させ、受光素子アレイ２０４の
光出力分布（図８参照）を取り、ピーク数を数え、次に
偶数番目の発光点のみを全部点灯させピーク数を数える
ことで、正常な転送動作が行われていることを確認する
こととした。なお、受光素子２０１による光出力の測定
は実施例１と同様である。
【００３１】この評価方法は、発光素子アレイの発光点
のピッチの割に非発光部分の幅（主走査方向の距離）が
狭い場合に、極大値と極小値の差があまり取れないとき
も使える。
のピッチの割に非発光部分の幅（主走査方向の距離）が
狭い場合に、極大値と極小値の差があまり取れないとき
も使える。
【００３２】また、この評価方法は、光書き込みヘッド
を評価する場合、ロッドレンズなどの影響で発光点像
（発光スポット）が広がってしまい、隣接する２発光点
の区別が難しくなったときにも使える。
を評価する場合、ロッドレンズなどの影響で発光点像
（発光スポット）が広がってしまい、隣接する２発光点
の区別が難しくなったときにも使える。
【００３３】本実施例では、奇数番／偶数番と、１個お
きに点灯させたが、これに限られるものではなく、必要
に応じて何個おきでもよい。
きに点灯させたが、これに限られるものではなく、必要
に応じて何個おきでもよい。
【００３４】
【実施例４】第１および第２の実施例では、発光素子ア
レイ２０４は１次元発光素子アレイを用いたが、本実施
例では、１次元受光素子アレイではなく２次元受光素子
アレイを用いた。
レイ２０４は１次元発光素子アレイを用いたが、本実施
例では、１次元受光素子アレイではなく２次元受光素子
アレイを用いた。
【００３５】光書き込みヘッドを評価する場合、ロッド
レンズなどの影響で発光スポットの位置が副走査方向に
ずれることがある。２次元受光素子アレイを使うこと
で、発光スポットの重心を同時に評価することができ
る。このデータを用いて、発光のタイミングを調整し、
発光スポットの副走査方向へのずれを補償することがで
きる。
レンズなどの影響で発光スポットの位置が副走査方向に
ずれることがある。２次元受光素子アレイを使うこと
で、発光スポットの重心を同時に評価することができ
る。このデータを用いて、発光のタイミングを調整し、
発光スポットの副走査方向へのずれを補償することがで
きる。
【００３６】また、光書き込みヘッドを評価する場合、
ロッドレンズなどの影響で発光スポットのサイズが変動
することがある。２次元受光素子アレイを使い、発光ス
ポットのサイズを同時に測定することができる。このデ
ータを用い、発光点の光量を調整することで、発光スポ
ットの変動の影響を補償することができる。
ロッドレンズなどの影響で発光スポットのサイズが変動
することがある。２次元受光素子アレイを使い、発光ス
ポットのサイズを同時に測定することができる。このデ
ータを用い、発光点の光量を調整することで、発光スポ
ットの変動の影響を補償することができる。
【００３７】
【発明の効果】本発明によれば、順次点灯する発光素子
アレイ、および、発光素子アレイを組み合わせた光書込
みヘッドを評価するのに、光量分布の測定は時間分割
で、発光していない点があるかどうかは空間的に判定す
るようにしたので、光量分布測定および発光点の正常発
光の確認を同時に、短時間で行うことが可能となった。
アレイ、および、発光素子アレイを組み合わせた光書込
みヘッドを評価するのに、光量分布の測定は時間分割
で、発光していない点があるかどうかは空間的に判定す
るようにしたので、光量分布測定および発光点の正常発
光の確認を同時に、短時間で行うことが可能となった。
【図１】光書込みヘッドを備える光プリンタの原理図を
示す図である。
示す図である。
【図２】光書込みヘッドの構造を示す図である。
【図３】従来の発光素子アレイ用検査装置を示す図であ
る。
る。
【図４】第１の実施例の発光素子アレイ用検査装置を示
す図である。
す図である。
【図５】評価結果信号の例を示す図である。
【図６】評価結果信号の例を示す図である。
【図７】第２の実施例の発光素子アレイ用検査装置を示
す図である。
す図である。
【図８】受光素子アレイの出力信号例を示す図である。
８０ 発光素子アレイ ２００ 受光ヘッド ２０１ 受光素子 ２０２ 結像光学系 ２０３ ハーフミラー ２０４ 受光素子アレイ ２０５ 受光素子２０１の信号線 ２０６ 受光素子アレイ２０４の信号線 ３００ 受光ヘッド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2C162 AF21 AF84 FA04 FA17 FA45 FA49 FA50 2G065 AA04 AA11 AB28 BA04 BA09 BB03 BB14 BC28 CA01 CA27 DA05 DA20 5F041 AA46 CB22 EE11 EE25
Claims (6)
- 【請求項１】順次点灯する発光素子アレイの動作，光量
分布を測定する発光素子アレイ用検査装置において、 前記発光素子アレイの発光点から出た光を結像させる結
像光学系と、 前記結像光学系を通った光を２方向に分けるハーフミラ
ーと、 分けられた一方の光を受光する受光素子アレイと、 分けられた他方の光を受光する受光素子とを備え、 前記受光素子アレイの出力により前記発光素子アレイの
動作を評価し、 前記受光素子の出力により光量分布を測定する、ことを
特徴とする発光素子アレイ用検査装置。 - 【請求項２】順次点灯する発光素子アレイの動作，光量
分布を測定する発光素子アレイ用検査装置において、 前記発光素子アレイの発光点から出た光を結像させる結
像光学系と、 前記結像光学系を通った光を受光する受光素子アレイ
と、 前記発光素子アレイの発光点から出た光を受光する受光
素子とを備え、 前記受光素子アレイの出力により前記発光素子アレイの
動作を評価し、 前記受光素子の出力により光量分布を測定する、ことを
特徴とする発光素子アレイ用検査装置。 - 【請求項３】前記受光素子アレイは、１次元受光素子ア
レイであることを特徴とする請求項１または２記載の発
光素子アレイ用検査装置。 - 【請求項４】前記受光素子アレイは、２次元受光素子ア
レイであることを特徴とする請求項１または２記載の発
光素子アレイ用検査装置。 - 【請求項５】前記発光素子アレイの発光点を、連続して
順次点灯することを特徴とする請求項１〜４のいずれか
に記載の発光素子アレイ用検査装置。 - 【請求項６】前記発光素子アレイの発光点を、少なくと
も１個おきに順次点灯することを特徴とする請求項１〜
４のいずれかに記載の発光素子アレイ用検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000073419A JP4449145B2 (ja) | 2000-03-16 | 2000-03-16 | 発光素子アレイ用検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000073419A JP4449145B2 (ja) | 2000-03-16 | 2000-03-16 | 発光素子アレイ用検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001267636A true JP2001267636A (ja) | 2001-09-28 |
| JP4449145B2 JP4449145B2 (ja) | 2010-04-14 |
Family
ID=18591662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000073419A Expired - Fee Related JP4449145B2 (ja) | 2000-03-16 | 2000-03-16 | 発光素子アレイ用検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4449145B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004033216A1 (ja) * | 2002-10-10 | 2004-04-22 | Citizen Watch Co., Ltd. | 露光装置及び露光装置の製造方法 |
| JP2005106672A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Koito Mfg Co Ltd | 配光検査装置 |
-
2000
- 2000-03-16 JP JP2000073419A patent/JP4449145B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004033216A1 (ja) * | 2002-10-10 | 2004-04-22 | Citizen Watch Co., Ltd. | 露光装置及び露光装置の製造方法 |
| US7349003B2 (en) | 2002-10-10 | 2008-03-25 | Citizen Holdings Co., Ltd. | Method for determining a correction value for light-emitting parts in exposure apparatus |
| CN100398327C (zh) * | 2002-10-10 | 2008-07-02 | 西铁城控股株式会社 | 曝光装置和用于制造曝光装置的方法 |
| JP2005106672A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Koito Mfg Co Ltd | 配光検査装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4449145B2 (ja) | 2010-04-14 |
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