JP2001267543A - 固体撮像素子およびこれを用いたカメラシステム - Google Patents
固体撮像素子およびこれを用いたカメラシステムInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 画素単位で感度に違いを持たせるために、Ｎ
Ｄフィルタが有る画素と無い画素とを形成した場合、Ｎ
Ｄフィルタが有る画素と無い画素との間にＮＤフィルタ
の厚さ分の段差が生じるため、その上にオンチップにて
配するカラーフィルタやマイクロレンズの形成が難しく
なる。 【解決手段】 センサ部１２の各々に画素単位で感度に
違いを持たせ、入射光量の差に対応した撮像信号を例え
ばライン単位で交互に得る構成のＣＣＤ撮像素子におい
て、入射光量を落とす第２の光学フィルタ２６を画素単
位で配するだけでなく、当該光学フィルタ２６が配され
ない画素に対しては入射光をほぼ１００％の透過率で通
過させる第1の光学フィルタ２５を配し、これら光学フ
ィルタ層の上面の平坦化を図る。
Ｄフィルタが有る画素と無い画素とを形成した場合、Ｎ
Ｄフィルタが有る画素と無い画素との間にＮＤフィルタ
の厚さ分の段差が生じるため、その上にオンチップにて
配するカラーフィルタやマイクロレンズの形成が難しく
なる。 【解決手段】 センサ部１２の各々に画素単位で感度に
違いを持たせ、入射光量の差に対応した撮像信号を例え
ばライン単位で交互に得る構成のＣＣＤ撮像素子におい
て、入射光量を落とす第２の光学フィルタ２６を画素単
位で配するだけでなく、当該光学フィルタ２６が配され
ない画素に対しては入射光をほぼ１００％の透過率で通
過させる第1の光学フィルタ２５を配し、これら光学フ
ィルタ層の上面の平坦化を図る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、固体撮像素子およ
びこれを用いたカメラシステムに関し、特に広ダイナミ
ックレンジの固体撮像素子およびこれを撮像デバイスと
して用いたカメラシステムに関する。
びこれを用いたカメラシステムに関し、特に広ダイナミ
ックレンジの固体撮像素子およびこれを撮像デバイスと
して用いたカメラシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】固体撮像素子、例えばＣＣＤ（Charge C
oupled Device）を用いた撮像素子（以下、単にＣＣＤ
撮像素子と称す）では、行列状に配置された複数個の受
光部（画素）の各々において光電変換されかつ蓄積され
た信号電荷がその蓄積部から溢れた後は、この信号電荷
に基づく信号出力が一定となることから、受光部の飽和
レベル以上の入射光量に対応する信号出力が得られなく
なるため、光入力に対するダイナミックレンジがあまり
広くない。
oupled Device）を用いた撮像素子（以下、単にＣＣＤ
撮像素子と称す）では、行列状に配置された複数個の受
光部（画素）の各々において光電変換されかつ蓄積され
た信号電荷がその蓄積部から溢れた後は、この信号電荷
に基づく信号出力が一定となることから、受光部の飽和
レベル以上の入射光量に対応する信号出力が得られなく
なるため、光入力に対するダイナミックレンジがあまり
広くない。
【０００３】このダイナミックレンジを拡大するため
に、感度の異なる２種類の受光部、例えば高感度受光部
と低感度受光部とを垂直方向に隣接して交互に配置し、
高感度受光部の信号電荷については受光部内でリミッタ
をかけてから垂直転送部に読み出し、当該垂直転送部内
で高感度受光部の信号電荷と低感度受光部の信号電荷と
を混合した後垂直転送し、さらに水平転送部で水平転送
して出力するようにした構成の固体撮像装置がある（例
えば、特開平３−１１７２８１号公報参照）。
に、感度の異なる２種類の受光部、例えば高感度受光部
と低感度受光部とを垂直方向に隣接して交互に配置し、
高感度受光部の信号電荷については受光部内でリミッタ
をかけてから垂直転送部に読み出し、当該垂直転送部内
で高感度受光部の信号電荷と低感度受光部の信号電荷と
を混合した後垂直転送し、さらに水平転送部で水平転送
して出力するようにした構成の固体撮像装置がある（例
えば、特開平３−１１７２８１号公報参照）。
【０００４】上記構成の固体撮像装置では、受光部の面
積を異ならせることによって高感度受光部と低感度受光
部とを形成するようにしている。これに対して、各受光
部上に画素単位でＮＤ(neutral density)フィルタをオ
ンチップにて形成し、ＮＤフィルタが有る画素と無い画
素とを設けることによって、画素単位で感度に違いを持
たせることで広ダイナミックレンジ化を図った構成の電
子内視鏡装置も知られている（特開平１１−３３１７１
０号公報参照）。
積を異ならせることによって高感度受光部と低感度受光
部とを形成するようにしている。これに対して、各受光
部上に画素単位でＮＤ(neutral density)フィルタをオ
ンチップにて形成し、ＮＤフィルタが有る画素と無い画
素とを設けることによって、画素単位で感度に違いを持
たせることで広ダイナミックレンジ化を図った構成の電
子内視鏡装置も知られている（特開平１１−３３１７１
０号公報参照）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、画素単
位で感度に違いを持たせるために、ＮＤフィルタが有る
画素と無い画素とを形成した構造を採った後者の従来技
術の場合には、ＮＤフィルタが有る画素と無い画素との
間にＮＤフィルタの厚さ分の段差が生じるため、その上
にオンチップにて配するカラーフィルタやマイクロレン
ズの形成が難しくなるという問題点があった。しかも、
ＮＤフィルタとして、ある１種類の透過率を持つ光学フ
ィルタを用いる構成となっているため、その透過率によ
ってダイナミックレンジを拡大できる範囲もある程度制
約されてしまう。
位で感度に違いを持たせるために、ＮＤフィルタが有る
画素と無い画素とを形成した構造を採った後者の従来技
術の場合には、ＮＤフィルタが有る画素と無い画素との
間にＮＤフィルタの厚さ分の段差が生じるため、その上
にオンチップにて配するカラーフィルタやマイクロレン
ズの形成が難しくなるという問題点があった。しかも、
ＮＤフィルタとして、ある１種類の透過率を持つ光学フ
ィルタを用いる構成となっているため、その透過率によ
ってダイナミックレンジを拡大できる範囲もある程度制
約されてしまう。
【０００６】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
であり、その目的とするところは、ＮＤフィルタを画素
単位で形成した際のカラーフィルタやマイクロレンズの
オンチップでの形成を容易にした固体撮像素子およびこ
れを用いたカメラシステムを提供することにある。
であり、その目的とするところは、ＮＤフィルタを画素
単位で形成した際のカラーフィルタやマイクロレンズの
オンチップでの形成を容易にした固体撮像素子およびこ
れを用いたカメラシステムを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明による固体撮像素
子は、基体の表層部に形成されて光電変換をなす複数個
のセンサ部と、これらセンサ部のうちの所定のセンサ部
上に形成され、入射光をほぼ１００％の透過率で通過さ
せる第１の光学フィルタと、所定のセンサ部以外のセン
サ部上に形成され、入射光を第１の光学フィルタよりも
低い透過率で通過させる第２の光学フィルタとを備えた
構成となっている。そして、この固体撮像素子は、カメ
ラシステムにおいて、その撮像デバイスとして用いられ
る。
子は、基体の表層部に形成されて光電変換をなす複数個
のセンサ部と、これらセンサ部のうちの所定のセンサ部
上に形成され、入射光をほぼ１００％の透過率で通過さ
せる第１の光学フィルタと、所定のセンサ部以外のセン
サ部上に形成され、入射光を第１の光学フィルタよりも
低い透過率で通過させる第２の光学フィルタとを備えた
構成となっている。そして、この固体撮像素子は、カメ
ラシステムにおいて、その撮像デバイスとして用いられ
る。
【０００８】上記構成の固体撮像素子およびこれを用い
たカメラシステムにおいて、第２の光学フィルタは、セ
ンサ部への入射光の光量を落とす作用をなす。したがっ
て、第１の光学フィルタが配されたセンサ部を高感度画
素とすると、この高感度画素に対して、第２の光学フィ
ルタが配されたセンサ部は低感度画素となる。その結
果、固体撮像素子からは高感度画素の信号電荷に基づく
撮像信号と低感度画素の信号電荷に基づく撮像信号とが
それぞれ導出されることになる。また、センサ部の全て
に対して第１，第２の光学フィルタのいずかが必ず配さ
れることから、これら光学フィルタ層の上面が平坦とな
る。
たカメラシステムにおいて、第２の光学フィルタは、セ
ンサ部への入射光の光量を落とす作用をなす。したがっ
て、第１の光学フィルタが配されたセンサ部を高感度画
素とすると、この高感度画素に対して、第２の光学フィ
ルタが配されたセンサ部は低感度画素となる。その結
果、固体撮像素子からは高感度画素の信号電荷に基づく
撮像信号と低感度画素の信号電荷に基づく撮像信号とが
それぞれ導出されることになる。また、センサ部の全て
に対して第１，第２の光学フィルタのいずかが必ず配さ
れることから、これら光学フィルタ層の上面が平坦とな
る。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。図１は、本発明の一
実施形態に係るＣＣＤ撮像素子の構成を示す概略構成図
である。
て図面を参照して詳細に説明する。図１は、本発明の一
実施形態に係るＣＣＤ撮像素子の構成を示す概略構成図
である。
【００１０】図１において、撮像部(撮像エリア）１１
は、基体（例えば、シリコン基板）上に行列状に配置さ
れて形成された複数個のセンサ部（画素）１２と、これ
らセンサ部１２の垂直列ごとに画素の配列方向に沿って
設けられた複数本の垂直ＣＣＤ１３と、センサ部１２の
各々と垂直ＣＣＤ１３との間に設けられ、センサ部１２
から垂直ＣＣＤ１３へ信号電荷を読み出す読み出しゲー
ト部１４とを有する構成となっている。
は、基体（例えば、シリコン基板）上に行列状に配置さ
れて形成された複数個のセンサ部（画素）１２と、これ
らセンサ部１２の垂直列ごとに画素の配列方向に沿って
設けられた複数本の垂直ＣＣＤ１３と、センサ部１２の
各々と垂直ＣＣＤ１３との間に設けられ、センサ部１２
から垂直ＣＣＤ１３へ信号電荷を読み出す読み出しゲー
ト部１４とを有する構成となっている。
【００１１】この撮像部１１において、センサ部１２は
例えばＰＮ接合のフォトダイオードからなり、入射光を
その光量に応じた電荷量の信号電荷に変換して蓄積す
る。垂直ＣＣＤ１３は、例えば４相の垂直転送パルスφ
Ｖ１〜φＶ４によって転送駆動され、読み出しゲート部
１４を通して各センサ部１２から読み出された信号電荷
をライン（行）単位で順に垂直方向に転送する。
例えばＰＮ接合のフォトダイオードからなり、入射光を
その光量に応じた電荷量の信号電荷に変換して蓄積す
る。垂直ＣＣＤ１３は、例えば４相の垂直転送パルスφ
Ｖ１〜φＶ４によって転送駆動され、読み出しゲート部
１４を通して各センサ部１２から読み出された信号電荷
をライン（行）単位で順に垂直方向に転送する。
【００１２】撮像部１１の下側、即ち垂直ＣＣＤ１３に
よる信号電荷の転送先側には、垂直ＣＣＤ１３から順に
垂直転送される信号電荷を水平方向に転送する水平ＣＣ
Ｄ１５が配置されている。水平ＣＣＤ１５は、例えば２
相の水平転送パルスφＨ１，φＨ２によって転送駆動さ
れる。水平ＣＣＤ１５の転送先側の端部には、例えばフ
ローティング・ディフュージョン・アンプからなる電荷
電圧変換部１６が配されている。
よる信号電荷の転送先側には、垂直ＣＣＤ１３から順に
垂直転送される信号電荷を水平方向に転送する水平ＣＣ
Ｄ１５が配置されている。水平ＣＣＤ１５は、例えば２
相の水平転送パルスφＨ１，φＨ２によって転送駆動さ
れる。水平ＣＣＤ１５の転送先側の端部には、例えばフ
ローティング・ディフュージョン・アンプからなる電荷
電圧変換部１６が配されている。
【００１３】以上により、エリアセンサタイプのＣＣＤ
撮像素子１０が構成されている。このＣＣＤ撮像素子１
０を駆動するための駆動信号、即ち先述した垂直ＣＣＤ
１３を転送駆動する４相の垂直転送パルスφＶ１〜φＶ
４や、水平ＣＣＤ１５を転送駆動する２相の水平転送パ
ルスφＨ１，φＨ２を含む各種の駆動パルスは、タイミ
ングジェネレータ（ＴＧ）１７で生成される。
撮像素子１０が構成されている。このＣＣＤ撮像素子１
０を駆動するための駆動信号、即ち先述した垂直ＣＣＤ
１３を転送駆動する４相の垂直転送パルスφＶ１〜φＶ
４や、水平ＣＣＤ１５を転送駆動する２相の水平転送パ
ルスφＨ１，φＨ２を含む各種の駆動パルスは、タイミ
ングジェネレータ（ＴＧ）１７で生成される。
【００１４】上記構成のＣＣＤ撮像素子１０において、
センサ部１２の各々には、入射光をほぼ１００％の透過
率で通過させる第１の光学フィルタとこの第１の光学フ
ィルタよりも低い透過率で入射光を通過させる第２の光
学フィルタとが、例えば１ライン（１行）おきに画素単
位で配されている。なお、図１において、白抜きの画素
（センサ部）が第１の光学フィルタが配された画素を、
ハッチングを付した画素が第２の光学フィルタが配され
た画素をそれぞれ示している。第１，第２の光学フィル
タについては、後で詳細に説明する。
センサ部１２の各々には、入射光をほぼ１００％の透過
率で通過させる第１の光学フィルタとこの第１の光学フ
ィルタよりも低い透過率で入射光を通過させる第２の光
学フィルタとが、例えば１ライン（１行）おきに画素単
位で配されている。なお、図１において、白抜きの画素
（センサ部）が第１の光学フィルタが配された画素を、
ハッチングを付した画素が第２の光学フィルタが配され
た画素をそれぞれ示している。第１，第２の光学フィル
タについては、後で詳細に説明する。
【００１５】図２は、センサ部１２の構造の一例を示す
断面図であり、図１のＸ−Ｘ´矢視断面を示している。
断面図であり、図１のＸ−Ｘ´矢視断面を示している。
【００１６】図２において、シリコン基板（基体）２１
の表層部には、ＰＮ接合のフォトダイオードからなるセ
ンサ部１２が形成されている。また、シリコン基板２１
の表面には、熱酸化法やＣＶＤ法によって形成されたＳ
ｉＯ2からなる絶縁膜２２が設けられている。この絶縁
膜２２上には、アルミニウムなどからなる遮光膜２３
が、センサ部１２の直上部の一部を開口した状態で形成
されている。
の表層部には、ＰＮ接合のフォトダイオードからなるセ
ンサ部１２が形成されている。また、シリコン基板２１
の表面には、熱酸化法やＣＶＤ法によって形成されたＳ
ｉＯ2からなる絶縁膜２２が設けられている。この絶縁
膜２２上には、アルミニウムなどからなる遮光膜２３
が、センサ部１２の直上部の一部を開口した状態で形成
されている。
【００１７】絶縁膜２２上および遮光膜２３上にはさら
に平坦化膜２４が形成されている。この平坦化膜２４
は、ＣＶＤ法などによりＮＳＧ（シリケートガラス）、
ＰＳＧ（リンシリケートガラス）、ＢＰＳＧ（ホウ素リ
ンシリケートガラス）が堆積されることによって形成さ
れ、層間絶縁膜として機能するとともに、絶縁膜２２上
の凹凸をなくして平坦化する作用をなす。
に平坦化膜２４が形成されている。この平坦化膜２４
は、ＣＶＤ法などによりＮＳＧ（シリケートガラス）、
ＰＳＧ（リンシリケートガラス）、ＢＰＳＧ（ホウ素リ
ンシリケートガラス）が堆積されることによって形成さ
れ、層間絶縁膜として機能するとともに、絶縁膜２２上
の凹凸をなくして平坦化する作用をなす。
【００１８】この平坦化膜２４上には、第１，第２の光
学フィルタ２５，２６が形成されている。これら光学フ
ィルタ２５，２６は、先述したように、例えば１ライン
おきに画素単位で形成される。第１のフィルタ２５は、
入射光をほぼ１００％の透過率で通過させるためのフィ
ルタである。この第１のフィルタ２５のフィルタ材料と
しては例えばフォトレジストが用いられる。
学フィルタ２５，２６が形成されている。これら光学フ
ィルタ２５，２６は、先述したように、例えば１ライン
おきに画素単位で形成される。第１のフィルタ２５は、
入射光をほぼ１００％の透過率で通過させるためのフィ
ルタである。この第１のフィルタ２５のフィルタ材料と
しては例えばフォトレジストが用いられる。
【００１９】一方、第２の光学フィルタ２６は、入射光
を第１の光学フィルタ２５よりも低い透過率で通過させ
るためのフィルタである。この第２の光学フィルタ２６
のフィルタ材料としては黒色系のカラーレジストが用い
られる。このカラーレジストは、例えば、赤色と青色と
の顔料を配合した色素をレジストに分散（含有）させる
ことによって当該レジストを黒色系に着色したものであ
る。
を第１の光学フィルタ２５よりも低い透過率で通過させ
るためのフィルタである。この第２の光学フィルタ２６
のフィルタ材料としては黒色系のカラーレジストが用い
られる。このカラーレジストは、例えば、赤色と青色と
の顔料を配合した色素をレジストに分散（含有）させる
ことによって当該レジストを黒色系に着色したものであ
る。
【００２０】上記レジストと顔料との混合に際しては、
第２の光学フィルタ２６のフィルタ材料となる黒色系の
カラーレジストの分光特性が、４００ｎｍ〜７００ｎｍ
の波長範囲の光に対する平均透過率が５％〜４０％とる
特性になるように、その混合比を決定する。その分光特
性を図３に示す。
第２の光学フィルタ２６のフィルタ材料となる黒色系の
カラーレジストの分光特性が、４００ｎｍ〜７００ｎｍ
の波長範囲の光に対する平均透過率が５％〜４０％とる
特性になるように、その混合比を決定する。その分光特
性を図３に示す。
【００２１】なお、黒色系のカラーレジストは、上記の
ものに限られるものではなく、例えば、カーボンブラッ
クをレジスト中に分散させることによって当該レジスト
を黒色系に着色したものであっても良い。また、着色す
る色素として、カーボンブラックを主成分として他の顔
料系あるいは染料系を配合したものを用いるようにして
も良い。
ものに限られるものではなく、例えば、カーボンブラッ
クをレジスト中に分散させることによって当該レジスト
を黒色系に着色したものであっても良い。また、着色す
る色素として、カーボンブラックを主成分として他の顔
料系あるいは染料系を配合したものを用いるようにして
も良い。
【００２２】上記のように、フォトレジストをフィルタ
材料として用いた第１のフィルタ２５と、レジストに例
えば赤色と青色との顔料を配合した色素を混ぜ合わせた
ものをフィルタ材料として用いた第２のフィルタ２６と
は、リソグラフィー法によってパターニングされること
により、行列状に配置されたセンサ部１２，１２，…の
各々に対して、例えば１ラインおきに画素単位で形成さ
れる。
材料として用いた第１のフィルタ２５と、レジストに例
えば赤色と青色との顔料を配合した色素を混ぜ合わせた
ものをフィルタ材料として用いた第２のフィルタ２６と
は、リソグラフィー法によってパターニングされること
により、行列状に配置されたセンサ部１２，１２，…の
各々に対して、例えば１ラインおきに画素単位で形成さ
れる。
【００２３】１ラインおきに画素単位で形成された第
１，第２の光学フィルタ２５，２６の上には、センサ部
１２，１２，…のそれぞれの直上位置にオンチップにて
マイクロレンズ（以下、オンチップレンズ（ＯＣＬ;on
chip lens)と称す）２７が形成される。オンチップレン
ズ２７は、略半球状に形成された凸レンズであり、１つ
のセンサ部１２に対して１つずつ形成され、外部からの
入射光をセンサ部１２の受光面上に集光する作用をな
す。
１，第２の光学フィルタ２５，２６の上には、センサ部
１２，１２，…のそれぞれの直上位置にオンチップにて
マイクロレンズ（以下、オンチップレンズ（ＯＣＬ;on
chip lens)と称す）２７が形成される。オンチップレン
ズ２７は、略半球状に形成された凸レンズであり、１つ
のセンサ部１２に対して１つずつ形成され、外部からの
入射光をセンサ部１２の受光面上に集光する作用をな
す。
【００２４】上述したように、図１に示すＣＣＤ撮像素
子１０において、入射光の光量を落とす第２の光学フィ
ルタ２６を例えば１ラインおきに各センサ部１２に配す
ることにより、第２の光学フィルタ２６が配されたセン
サ部１２の感度が低下するため、高感度の画素行と低感
度の画素行とが１行（１ライン）おきに交互に配される
ことになる。
子１０において、入射光の光量を落とす第２の光学フィ
ルタ２６を例えば１ラインおきに各センサ部１２に配す
ることにより、第２の光学フィルタ２６が配されたセン
サ部１２の感度が低下するため、高感度の画素行と低感
度の画素行とが１行（１ライン）おきに交互に配される
ことになる。
【００２５】これにより、センサ部１２の各々の信号電
荷を垂直ＣＣＤ１３に読み出し、当該垂直ＣＣＤ１３で
垂直転送し、さらに水平ＣＣＤ１５で水平転送した後、
電荷電圧変換部１６で信号電荷を信号電圧に変換して得
られるＣＣＤ出力として、通常の入射光量に基づく撮像
信号と第２の光学フィルタ２６を通過した低い入射光量
に基づく撮像信号とがライン単位で交互に導出される。
荷を垂直ＣＣＤ１３に読み出し、当該垂直ＣＣＤ１３で
垂直転送し、さらに水平ＣＣＤ１５で水平転送した後、
電荷電圧変換部１６で信号電荷を信号電圧に変換して得
られるＣＣＤ出力として、通常の入射光量に基づく撮像
信号と第２の光学フィルタ２６を通過した低い入射光量
に基づく撮像信号とがライン単位で交互に導出される。
【００２６】このように、センサ部１２の各々に画素単
位で感度に違いを持たせ、入射光量の差に対応した撮像
信号を例えばライン単位で交互に得る構成のＣＣＤ撮像
素子１０によれば、これらの撮像信号に対して後段の信
号処理系で合成処理などの信号処理を施すことにより、
光入力に対する広ダイナミックレンジ化を図ることがで
きる。
位で感度に違いを持たせ、入射光量の差に対応した撮像
信号を例えばライン単位で交互に得る構成のＣＣＤ撮像
素子１０によれば、これらの撮像信号に対して後段の信
号処理系で合成処理などの信号処理を施すことにより、
光入力に対する広ダイナミックレンジ化を図ることがで
きる。
【００２７】特に、本実施形態に係るＣＣＤ撮像素子１
０では、第２の光学フィルタ２６を画素単位で配するだ
けでなく、当該光学フィルタ２６が配されない画素に対
しては入射光をほぼ１００％の透過率で通過させる第1
の光学フィルタ２５を配するようにしたことにより、図
２の断面図から明らかなように、これら光学フィルタ層
の上面を平坦化できるため、その上に配するオンチップ
レンズ２７を容易に形成できることになる。
０では、第２の光学フィルタ２６を画素単位で配するだ
けでなく、当該光学フィルタ２６が配されない画素に対
しては入射光をほぼ１００％の透過率で通過させる第1
の光学フィルタ２５を配するようにしたことにより、図
２の断面図から明らかなように、これら光学フィルタ層
の上面を平坦化できるため、その上に配するオンチップ
レンズ２７を容易に形成できることになる。
【００２８】ところで、第２の光学フィルタ２６の分光
特性は、図４（Ａ）に示すように、透過率が波長依存性
を持っている。なお、図４（Ａ）の分光特性は、図３の
分光特性を簡略化して示したものである。これに対し
て、第２の光学フィルタ２６のフィルタ材料に、レッド
（Ｒ）、グリーン（Ｇ）、ブルー（Ｂ）等の原色系カラ
ーフィルタや、イエロー（Ｙｅ）、グリーン（Ｇ）、シ
アン（Ｃｙ）等の補色系カラーフィルタの色素を混ぜ合
わせることにより、図４（Ｂ）に示すように、透過率が
波長依存性のない、フラットな分光特性とすることがで
きる。
特性は、図４（Ａ）に示すように、透過率が波長依存性
を持っている。なお、図４（Ａ）の分光特性は、図３の
分光特性を簡略化して示したものである。これに対し
て、第２の光学フィルタ２６のフィルタ材料に、レッド
（Ｒ）、グリーン（Ｇ）、ブルー（Ｂ）等の原色系カラ
ーフィルタや、イエロー（Ｙｅ）、グリーン（Ｇ）、シ
アン（Ｃｙ）等の補色系カラーフィルタの色素を混ぜ合
わせることにより、図４（Ｂ）に示すように、透過率が
波長依存性のない、フラットな分光特性とすることがで
きる。
【００２９】また、カラーフィルタの色素を混ぜ合わせ
なくても、図４（Ａ）の分光特性を持つ第２の光学フィ
ルタ２６のフィルタ材料からなるフィルタ層に、原色系
または補色系のカラーフィルタのフィルタ材料からなる
フィルタ層を積層することによっても、図４（Ｂ）に示
すように、透過率が波長依存性のない、フラットな分光
特性を得ることができる。このように、第２の光学フィ
ルタ２６の分光特性を透過率が波長依存性のない、フラ
ットなものとすることにより、色再現性を向上できる。
なくても、図４（Ａ）の分光特性を持つ第２の光学フィ
ルタ２６のフィルタ材料からなるフィルタ層に、原色系
または補色系のカラーフィルタのフィルタ材料からなる
フィルタ層を積層することによっても、図４（Ｂ）に示
すように、透過率が波長依存性のない、フラットな分光
特性を得ることができる。このように、第２の光学フィ
ルタ２６の分光特性を透過率が波長依存性のない、フラ
ットなものとすることにより、色再現性を向上できる。
【００３０】なお、上記実施形態では、第１，第２の光
学フィルタ２５，２６を、センサ部１２の各々に対して
１行おきに形成するとしたが、これに限定されるもので
はなく、図５（Ａ）に示すように１列おきに形成する構
成や、図５（Ｂ）に示すように行および列の両方向にお
いて１画素おきに形成する構成とすることも可能であ
る。いずれの場合にも、センサ部１２の各々に対して、
隣接する画素間で感度に差を持たせることができる。
学フィルタ２５，２６を、センサ部１２の各々に対して
１行おきに形成するとしたが、これに限定されるもので
はなく、図５（Ａ）に示すように１列おきに形成する構
成や、図５（Ｂ）に示すように行および列の両方向にお
いて１画素おきに形成する構成とすることも可能であ
る。いずれの場合にも、センサ部１２の各々に対して、
隣接する画素間で感度に差を持たせることができる。
【００３１】また、上記実施形態においては、第２の光
学フィルタ２６の透過率を１種類に設定した場合を例に
とって説明したが、互いに隣接する複数個のセンサ部１
２を組にし、この組内の複数個のセンサ部１２の各々に
対して透過率が異なる第２の光学フィルタ２６を配する
ようにすることも可能である。
学フィルタ２６の透過率を１種類に設定した場合を例に
とって説明したが、互いに隣接する複数個のセンサ部１
２を組にし、この組内の複数個のセンサ部１２の各々に
対して透過率が異なる第２の光学フィルタ２６を配する
ようにすることも可能である。
【００３２】一例として、図６に示すように、行方向に
２画素、列方向に２画素の計４（２×２）画素を組に
し、この（２×２）画素を単位とする。そして、（２×
２）画素において、一方の対角線上に位置する２画素に
は第１の光学フィルタ２５を、他方の対角線上に位置す
る２画素には透過率が異なる第２の光学フィルタ２６を
それぞれ配するようにする。
２画素、列方向に２画素の計４（２×２）画素を組に
し、この（２×２）画素を単位とする。そして、（２×
２）画素において、一方の対角線上に位置する２画素に
は第１の光学フィルタ２５を、他方の対角線上に位置す
る２画素には透過率が異なる第２の光学フィルタ２６を
それぞれ配するようにする。
【００３３】第２の光学フィルタ２６の透過率を２種類
に設定するには、例えば図７に示すように、２種類の光
学フィルタ２６，２６´の厚みをｔ１，ｔ２とした場合
に、ｔ１＞ｔ２の関係になるように２種類の光学フィル
タ２６，２６´の厚みｔ１，ｔ２を設定するようにす
る。すなわち、第２の光学フィルタ２６の透過率は、当
該光学フィルタの材質や厚みなどによって変化すること
から、２種類の光学フィルタ２６，２６´の厚みｔ１，
ｔ２を異ならせることにより、２種類の透過率を簡単に
設定できることになる。
に設定するには、例えば図７に示すように、２種類の光
学フィルタ２６，２６´の厚みをｔ１，ｔ２とした場合
に、ｔ１＞ｔ２の関係になるように２種類の光学フィル
タ２６，２６´の厚みｔ１，ｔ２を設定するようにす
る。すなわち、第２の光学フィルタ２６の透過率は、当
該光学フィルタの材質や厚みなどによって変化すること
から、２種類の光学フィルタ２６，２６´の厚みｔ１，
ｔ２を異ならせることにより、２種類の透過率を簡単に
設定できることになる。
【００３４】このように、第２の光学フィルタ２６，２
６´の厚みに違いを持たせて異なる透過率を設定する場
合には、厚みの薄い方の光学フィルタ２６´上に、図７
から明らかなように、第１の光学フィルタ２５のフィル
タ材料からなるフィルタ層２５´をｔ１−ｔ２の厚み分
だけ積層するようにする。これにより、光学フィルタ層
の上面を平坦化できるため、先の実施形態の場合と同様
に、その上に配するオンチップレンズ２７の形成が容易
になる。なお、図７は、図６のＹ−Ｙ´矢視断面図であ
る。
６´の厚みに違いを持たせて異なる透過率を設定する場
合には、厚みの薄い方の光学フィルタ２６´上に、図７
から明らかなように、第１の光学フィルタ２５のフィル
タ材料からなるフィルタ層２５´をｔ１−ｔ２の厚み分
だけ積層するようにする。これにより、光学フィルタ層
の上面を平坦化できるため、先の実施形態の場合と同様
に、その上に配するオンチップレンズ２７の形成が容易
になる。なお、図７は、図６のＹ−Ｙ´矢視断面図であ
る。
【００３５】また、透過率をさらに多段階に設定する場
合の例としては、例えば図８に示すように、行方向に２
画素、列方向に２画素の計４（２×２）画素を組にし、
そのうちの１画素に透過率がほぼ１００％の第１の光学
フィルタ２５を配し、残りの３画素に透過率が異なる第
２の光学フィルタ２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｃを配する構成
が考えられる。このとき、光学フィルタ２５，２６Ａ，
２６Ｂ，２６Ｃの各透過率Ｔ１（≒１００％），Ｔ２，
Ｔ３，Ｔ４の大小関係は、Ｔ１＞Ｔ２＞Ｔ３＞Ｔ４とな
る。
合の例としては、例えば図８に示すように、行方向に２
画素、列方向に２画素の計４（２×２）画素を組にし、
そのうちの１画素に透過率がほぼ１００％の第１の光学
フィルタ２５を配し、残りの３画素に透過率が異なる第
２の光学フィルタ２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｃを配する構成
が考えられる。このとき、光学フィルタ２５，２６Ａ，
２６Ｂ，２６Ｃの各透過率Ｔ１（≒１００％），Ｔ２，
Ｔ３，Ｔ４の大小関係は、Ｔ１＞Ｔ２＞Ｔ３＞Ｔ４とな
る。
【００３６】なお、図８に示した４画素の組において、
透過率が異なる光学フィルタ２５，２６Ａ，２６Ｂ，２
６Ｃの配置関係は一例に過ぎず、任意に設定可能であ
る。また、第２の光学フィルタ２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｃ
については、例えば各フィルタの厚みを異ならせること
で透過率を任意に設定できる。この場合にも、先述した
場合と同様に、第１の光学フィルタ２５に対して厚みが
薄い分だけ当該光学フィルタ２５のフィルタ材料からな
るフィルタ層を積層することで、光学フィルタ層の上面
の平坦化を図るようにすれば良い。
透過率が異なる光学フィルタ２５，２６Ａ，２６Ｂ，２
６Ｃの配置関係は一例に過ぎず、任意に設定可能であ
る。また、第２の光学フィルタ２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｃ
については、例えば各フィルタの厚みを異ならせること
で透過率を任意に設定できる。この場合にも、先述した
場合と同様に、第１の光学フィルタ２５に対して厚みが
薄い分だけ当該光学フィルタ２５のフィルタ材料からな
るフィルタ層を積層することで、光学フィルタ層の上面
の平坦化を図るようにすれば良い。
【００３７】このように、第２の光学フィルタ２６とし
て、互いに透過率が異なる複数種類のフィルタを設ける
ことにより、光入力に対するＣＣＤ撮像素子１０のダイ
ナミックレンジを単に拡大できるだけでなく、そのダイ
ナミックレンジの拡大率を大きく設定できる利点があ
る。
て、互いに透過率が異なる複数種類のフィルタを設ける
ことにより、光入力に対するＣＣＤ撮像素子１０のダイ
ナミックレンジを単に拡大できるだけでなく、そのダイ
ナミックレンジの拡大率を大きく設定できる利点があ
る。
【００３８】なお、上記実施形態では、モノクロ対応の
ＣＣＤ撮像素子１０に適用した場合を例にとって説明し
たが、図９に示すように、第１，第２の光学フィルタ２
５，２６からなる光学フィルタ層上にカラーフィルタ２
８を積層し、その上にオンチップレンズ２７を形成する
ことにより、カラー対応のＣＣＤ撮像素子とすることも
できる。
ＣＣＤ撮像素子１０に適用した場合を例にとって説明し
たが、図９に示すように、第１，第２の光学フィルタ２
５，２６からなる光学フィルタ層上にカラーフィルタ２
８を積層し、その上にオンチップレンズ２７を形成する
ことにより、カラー対応のＣＣＤ撮像素子とすることも
できる。
【００３９】カラー対応のＣＣＤ撮像素子の場合にも、
センサ部１２の各々に対して画素単位で第１，第２の光
学フィルタ２５，２６を形成し、その光学フィルタ層の
上面を平坦化することにより、その上に配するカラーフ
ィルタ２８およびオンチップレンズ２７の形成が容易に
なる。
センサ部１２の各々に対して画素単位で第１，第２の光
学フィルタ２５，２６を形成し、その光学フィルタ層の
上面を平坦化することにより、その上に配するカラーフ
ィルタ２８およびオンチップレンズ２７の形成が容易に
なる。
【００４０】図１０（Ａ），（Ｂ）にＲ，Ｂ，Ｇ等の原
色系カラーフィルタの配列例を、図１１（Ａ），（Ｂ）
に、Ｙｅ，Ｇ，Ｃｙ等の補色系カラーフィルタの配列例
をそれぞれ示す。また、図１０および図１１において、
（Ａ）は横ストライプのカラーコーディングの場合を、
（Ｂ）は縦ストライプのカラーコーディングの場合をそ
れぞれ示している。
色系カラーフィルタの配列例を、図１１（Ａ），（Ｂ）
に、Ｙｅ，Ｇ，Ｃｙ等の補色系カラーフィルタの配列例
をそれぞれ示す。また、図１０および図１１において、
（Ａ）は横ストライプのカラーコーディングの場合を、
（Ｂ）は縦ストライプのカラーコーディングの場合をそ
れぞれ示している。
【００４１】図１０（Ａ）および図１１（Ａ）に示す横
ストライプのカラーフィルタ配列の場合には、センサ部
の各々に対して第１，第２の光学フィルタ２５，２６が
１列おきに形成される。また、図１０（Ｂ）および図１
１（Ｂ）に示す縦ストライプのカラーフィルタ配列の場
合には、センサ部の各々に対して第１，第２の光学フィ
ルタ２５，２６が１行おきに形成される。これらの図に
おいて、白抜きの画素が第１の光学フィルタ２５が形成
される画素を、ハッチングを付した画素が第２の光学フ
ィルタ２６が形成される画素をそれぞれ示している。
ストライプのカラーフィルタ配列の場合には、センサ部
の各々に対して第１，第２の光学フィルタ２５，２６が
１列おきに形成される。また、図１０（Ｂ）および図１
１（Ｂ）に示す縦ストライプのカラーフィルタ配列の場
合には、センサ部の各々に対して第１，第２の光学フィ
ルタ２５，２６が１行おきに形成される。これらの図に
おいて、白抜きの画素が第１の光学フィルタ２５が形成
される画素を、ハッチングを付した画素が第２の光学フ
ィルタ２６が形成される画素をそれぞれ示している。
【００４２】図１０および図１１から明らかなように、
同じ色のカラーフィルタに対してその配列方向において
第１，第２の光学フィルタ２５，２６が１画素おきに交
互に形成されることになる。この場合のＣＣＤ撮像素子
は、センサ部の各々から読み出した信号電荷を垂直ＣＣ
Ｄ１３中で加算することなく、独立に転送して読み出す
全画素読み出し方式のデバイスとなる。
同じ色のカラーフィルタに対してその配列方向において
第１，第２の光学フィルタ２５，２６が１画素おきに交
互に形成されることになる。この場合のＣＣＤ撮像素子
は、センサ部の各々から読み出した信号電荷を垂直ＣＣ
Ｄ１３中で加算することなく、独立に転送して読み出す
全画素読み出し方式のデバイスとなる。
【００４３】図１２は、本発明に係るカメラシステムの
一例を示す概略構成図である。本カメラシステムは、撮
像デバイスであるＣＣＤ撮像素子３１、光学系の一部を
構成するレンズ３２、ＣＣＤ撮像素子３１を駆動するＣ
ＣＤ駆動回路３３およびＣＣＤ撮像素子３１の撮像信号
に対して各種の信号処理をなす信号処理回路３４を有
し、ＣＣＤ撮像素子３１として先の実施形態に係るＣＣ
Ｄ撮像素子１０を用いた構成となっている。
一例を示す概略構成図である。本カメラシステムは、撮
像デバイスであるＣＣＤ撮像素子３１、光学系の一部を
構成するレンズ３２、ＣＣＤ撮像素子３１を駆動するＣ
ＣＤ駆動回路３３およびＣＣＤ撮像素子３１の撮像信号
に対して各種の信号処理をなす信号処理回路３４を有
し、ＣＣＤ撮像素子３１として先の実施形態に係るＣＣ
Ｄ撮像素子１０を用いた構成となっている。
【００４４】かかる構成のカメラシステムにおいて、被
写体（図示せず）からの入射光（像光）は、光学系のレ
ンズ３２によってＣＣＤ撮像素子３１の撮像面上に結像
される。ＣＣＤ撮像素子３１は、先述したように、各画
素の入射光量を異ならせることによって高感度の画素と
低感度の画素を有する構成となっている。そして、この
ＣＣＤ撮像素子３１からは、高感度画素の信号電荷に基
づく撮像信号と低感度画素の信号電荷に基づく撮像信号
とが出力される。
写体（図示せず）からの入射光（像光）は、光学系のレ
ンズ３２によってＣＣＤ撮像素子３１の撮像面上に結像
される。ＣＣＤ撮像素子３１は、先述したように、各画
素の入射光量を異ならせることによって高感度の画素と
低感度の画素を有する構成となっている。そして、この
ＣＣＤ撮像素子３１からは、高感度画素の信号電荷に基
づく撮像信号と低感度画素の信号電荷に基づく撮像信号
とが出力される。
【００４５】ＣＣＤ駆動回路３３は、図１に示すタイミ
ングジェネレータ１７などを含み、ＣＣＤ撮像素子３１
の駆動、即ち各画素からの信号電荷の読み出し、垂直転
送、水平転送などの駆動を行う。信号処理回路３４は、
ＣＣＤ撮像素子３１から出力される撮像信号に対して相
関二重サンプリング（ＣＤＳ）処理などの信号処理を行
う外、高感度画素の信号電荷に基づく撮像信号と低感度
画素の信号電荷に基づく撮像信号とを合成する処理を行
う。
ングジェネレータ１７などを含み、ＣＣＤ撮像素子３１
の駆動、即ち各画素からの信号電荷の読み出し、垂直転
送、水平転送などの駆動を行う。信号処理回路３４は、
ＣＣＤ撮像素子３１から出力される撮像信号に対して相
関二重サンプリング（ＣＤＳ）処理などの信号処理を行
う外、高感度画素の信号電荷に基づく撮像信号と低感度
画素の信号電荷に基づく撮像信号とを合成する処理を行
う。
【００４６】このように、撮像デバイスとして先の実施
形態に係るＣＣＤ撮像素子１０を用いるとともに、この
ＣＣＤ撮像素子から出力される高感度画素の信号電荷に
基づく撮像信号と低感度画素の信号電荷に基づく撮像信
号とを合成処理することにより、ＣＣＤ撮像素子の各画
素での信号電荷の蓄積量に制約されることなく、広ダイ
ナミックレンジのカメラシステムを実現できる。
形態に係るＣＣＤ撮像素子１０を用いるとともに、この
ＣＣＤ撮像素子から出力される高感度画素の信号電荷に
基づく撮像信号と低感度画素の信号電荷に基づく撮像信
号とを合成処理することにより、ＣＣＤ撮像素子の各画
素での信号電荷の蓄積量に制約されることなく、広ダイ
ナミックレンジのカメラシステムを実現できる。
【００４７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
入射光の光量を落とす第２の光学フィルタを画素単位で
配するだけでなく、当該光学フィルタが配されない画素
に対しては入射光をほぼ１００％の透過率で通過させる
第1の光学フィルタを配するようにしたことにより、こ
れら光学フィルタ層の上面を平坦化できるため、その上
に配されるカラーフィルタやオンチップレンズを容易に
形成できることになる。
入射光の光量を落とす第２の光学フィルタを画素単位で
配するだけでなく、当該光学フィルタが配されない画素
に対しては入射光をほぼ１００％の透過率で通過させる
第1の光学フィルタを配するようにしたことにより、こ
れら光学フィルタ層の上面を平坦化できるため、その上
に配されるカラーフィルタやオンチップレンズを容易に
形成できることになる。
【図１】本発明が適用されるＣＣＤ撮像素子の一例を示
す概略構成図である。
す概略構成図である。
【図２】センサ部の構造の一例を示す断面図であり、図
１のＸ−Ｘ´矢視断面を示している。
１のＸ−Ｘ´矢視断面を示している。
【図３】第２の光学フィルタの分光特性の一例を示す図
である。
である。
【図４】透過率の波長依存性が有る場合（Ａ）と無い場
合（Ｂ）の分光特性を示す図である。
合（Ｂ）の分光特性を示す図である。
【図５】第１，第２の光学フィルタの他の配置例を示す
図である。
図である。
【図６】第２の光学フィルタの透過率を異ならせる例を
示す図である。
示す図である。
【図７】透過率を異ならせる場合のセンサ部の構造の一
例を示す断面図であり、図６のＹ−Ｙ´矢視断面を示し
ている。
例を示す断面図であり、図６のＹ−Ｙ´矢視断面を示し
ている。
【図８】透過率を異ならせる場合の各フィルタの配置例
を示す図である。
を示す図である。
【図９】カラー対応のＣＣＤ撮像素子におけるセンサ部
の構造を示す断面図である。
の構造を示す断面図である。
【図１０】原色系カラーフィルタの配置例を示す図であ
る。
る。
【図１１】補色系カラーフィルタの配置例を示す図であ
る。
る。
【図１２】本発明に係るカメラシステムの一例を示す概
略構成図である。
略構成図である。
１０，３１…ＣＣＤ撮像素子、１２…センサ部、１３…
垂直ＣＣＤ、１５…水平ＣＣＤ、２５…第１の光学フィ
ルタ、２６，２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｃ…第２の光学フィ
ルタ、２７…オンチップレンズ（ＯＣＬ）、２８…カラ
ーフィルタ、３３…ＣＣＤ駆動回路、３４…信号処理回
路
垂直ＣＣＤ、１５…水平ＣＣＤ、２５…第１の光学フィ
ルタ、２６，２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｃ…第２の光学フィ
ルタ、２７…オンチップレンズ（ＯＣＬ）、２８…カラ
ーフィルタ、３３…ＣＣＤ駆動回路、３４…信号処理回
路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０４Ｎ 9/07 Ｈ０１Ｌ 31/02 Ｄ Ｆターム(参考） 4M118 AA02 AB01 BA13 CA03 CA40 DB06 DB08 FA06 GB11 GC08 GC09 GC15 GC17 GC20 GD04 5C024 AX01 CX43 EX43 EX51 GX02 GY01 5C065 AA04 BB42 CC01 DD02 EE03 EE08 EE09 5F088 BB03 BB10 JA11 JA13
Claims (13)
- 【請求項１】 基体の表層部に形成されて光電変換をな
す複数個のセンサ部と、 前記複数個のセンサ部のうちの所定のセンサ部上に形成
され、入射光をほぼ１００％の透過率で通過させる第１
の光学フィルタと、 前記所定のセンサ部以外のセンサ部上に形成され、入射
光を前記第１の光学フィルタよりも低い透過率で通過さ
せる第２の光学フィルタとを備えたことを特徴とする固
体撮像素子。 - 【請求項２】 前記第２の光学フィルタは、前記第１の
光学フィルタのフィルタ材料にカラーフィルタの色素を
混ぜ合わせた材料で形成されていることを特徴とする請
求項１記載の固体撮像素子。 - 【請求項３】 前記カラーフィルタが原色系または補色
系であることを特徴とする請求項２記載の固体撮像素
子。 - 【請求項４】 前記カラーフィルタの色素が顔料系また
は染料系であることを特徴とする請求項２記載の固体撮
像素子。 - 【請求項５】 前記第２の光学フィルタは、前記第１の
光学フィルタのフィルタ材料からなるフィルタ層とカラ
ーフィルタのフィルタ材料からなるフィルタ層との積層
構造であることを特徴とする請求項１記載の固体撮像素
子。 - 【請求項６】 前記カラーフィルタが原色系または補色
系であることを特徴とする請求項５記載の固体撮像素
子。 - 【請求項７】 前記第２の光学フィルタは、互いに透過
率が異なる複数種類の光学フィルタからなることを特徴
とする請求項１記載の固体撮像素子。 - 【請求項８】 互いに隣接する複数個のセンサ部を組に
し、この組内の複数個のセンサ部の各々に対して前記複
数種類の光学フィルタがそれぞれ配されることを特徴と
する請求項７記載の固体撮像素子。 - 【請求項９】 前記第２の光学フィルタは、前記第１の
光学フィルタのフィルタ材料からなるフィルタ層と前記
第２の光学フィルタのフィルタ材料からなるフィルタ層
との積層構造であることを特徴とする請求項８記載の固
体撮像素子。 - 【請求項１０】 基体の表層部に形成されて光電変換を
なす複数個のセンサ部、これら複数個のセンサ部のうち
の所定のセンサ部上に形成され、入射光をほぼ１００％
の透過率で通過させる第１の光学フィルタおよび前記所
定のセンサ部以外のセンサ部上に形成され、入射光を前
記第１の光学フィルタよりも低い透過率で通過させる第
２の光学フィルタを有する固体撮像素子と、 前記固体撮像素子の撮像面上に被写体からの像光を結像
させる光学系と、 前記固体撮像素子から出力される前記第１の光学フィル
タが配されたセンサ部の信号電荷に基づく信号と前記第
２の光学フィルタが配されたセンサ部の信号電荷に基づ
く信号とを合成処理する信号処理回路とを具備すること
を特徴とするカメラシステム。 - 【請求項１１】 前記第２の光学フィルタは、前記第１
の光学フィルタのフィルタ材料にカラーフィルタの色素
を混ぜ合わせた材料で生成されていることを特徴とする
請求項１０記載のカメラシステム。 - 【請求項１２】 前記第２の光学フィルタは、前記第１
の光学フィルタのフィルタ材料からなるフィルタ層とカ
ラーフィルタのフィルタ材料からなるフィルタ層との積
層構造であることを特徴とする請求項１０記載のカメラ
システム。 - 【請求項１３】 前記第２の光学フィルタは、互いに透
過率が異なる複数種類の光学フィルタからなることを特
徴とする請求項１０記載のカメラシステム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000077376A JP4556273B2 (ja) | 2000-03-21 | 2000-03-21 | 固体撮像素子およびこれを用いたカメラシステム |
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|---|---|---|---|
| JP2000077376A JP4556273B2 (ja) | 2000-03-21 | 2000-03-21 | 固体撮像素子およびこれを用いたカメラシステム |
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|---|---|
| JP2001267543A true JP2001267543A (ja) | 2001-09-28 |
| JP2001267543A5 JP2001267543A5 (ja) | 2007-03-15 |
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|---|---|---|---|
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|---|---|
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Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2010028697A (ja) * | 2008-07-24 | 2010-02-04 | Ricoh Co Ltd | 撮像装置、撮影レンズ鏡胴、デジタルカメラおよび携帯情報端末 |
| JP2010232274A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Sony Corp | 固体撮像装置、電子機器、固体撮像装置の製造方法 |
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