JP2001264134A - フルイディックメータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 被測定流体Ｆの噴流ｆを流路軸Ｚに沿って流
路拡大部４に向けて噴出自在なノズル３と、流路拡大部
４における流路軸Ｚ上に配置されて噴流の直進を阻止す
るターゲット５とを設けて、被測定流体Ｆの噴流ｆにタ
ーゲット５の両側部間に亘る流体振動を誘起するように
構成すると共に、流体振動を検出可能な流体振動検出手
段を設けてあるフルイディックメータにおいて、精度よ
く流体振動を検出する。 【解決手段】 ターゲット５に流体振動検出手段７の検
出端７ａを配置してある。検出端７ａは、従来のもので
もよいが、ターゲット５の背面５ａに、前記ターゲット
５の立設高さ方向に沿って配置した圧電素子膜９を設け
て形成すればよい。また、ターゲット５の背後に検出端
７ａを配置してもよく、ターゲット５自体の振動を検出
する振動検出手段で流体振動検出手段を構成してもよ
い。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガスの流量を測定
するフルイディック素子を備えるガスメータに関し、詳
しくは、被測定流体の噴流を流路軸に沿って流路拡大部
に向けて噴出自在なノズルと、前記流路拡大部における
前記流路軸上に配置されて前記噴流の直進を阻止するタ
ーゲットとを設けて、前記被測定流体に前記ターゲット
の両側部間に亘る流体振動を誘起するように構成すると
共に、前記流体振動を検出可能な流体振動検出手段を設
けてあるフルイディックメータに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、フルイディックメータにおいて
は、図９に示すように、被測定流体Ｆの噴流ｆを流路軸
Ｚに沿って流路拡大部４に向けて噴出自在なノズル３
と、前記流路拡大部４における前記流路軸Ｚ上に配置さ
れて前記噴流ｆの直進を阻止するターゲット５とを設け
て、前記噴流ｆに前記ターゲット５の両側部間に亘る流
体振動を誘起するように構成すると共に、前記流体振動
を検出可能な流体振動検出手段７を設けてある。図示の
フルイディックメータは、入口部Ｉから流入する被測定
流体Ｆは、常時は開かれている遮断弁１を経て、流体導
入部２に至る。前記流体導入部２から前記ノズル３に至
った被測定流体Ｆは、ノズル開口３ａから噴流ｆとして
前記流路拡大部４に噴出される。前記ノズル開口３ａか
ら噴出した噴流ｆは、前記ターゲット５に直進を阻止さ
れて、前記ターゲット５の一側部側に偏った流路を辿る
ことになる。前記流路拡大部４の下流側には、絞り流路
部６が形成されており、前記噴流ｆの主流ｆ１は前記絞
り流路部６から出口部Ｏを経て下流側の配管路に流出す
るが、一部は帰還流ｆ２となって、前記流路拡大部４の
前記一側部側の側壁に沿って前記ノズル開口３ａに向け
て還流する。

【０００３】前記帰還流ｆ２の影響で、前記ノズル開口
３ａからの噴流ｆは偏向され、その主流ｆ１が前記ター
ゲット５の他側部側から前記絞り流路部６を経て前記出
口部Ｏから流出するようになる。ここで、一部が帰還流
ｆ２となって、前記流路拡大部４の他側部側の側壁に沿
って前記ノズル開口３ａに向けて逆方向から還流する。
こうして、前記ノズル３からの噴流ｆが再び元の方向に
偏向され、これを繰り返して前記噴流ｆが前記ターゲッ
ト５の両側部に亘って振動を繰り返すようになるのであ
る。この流体振動を検出するために、前記ノズル開口３
ａ近傍の天井壁部Ｃで前記流路軸Ｚを挟む位置に、一対
の導圧路の開口８ａを形成して前記流体振動検出手段７
の検出端７ａを構成してある。前記導圧路は、図示しな
いが、前記流体振動検出手段７の検出部である差圧検出
手段（図外）に接続してある。尚、図９は、底蓋部を取
り外した平面図を示しており、フルイディックメータ
は、アルミニウム鋳物で入口部Ｉ、出口部Ｏと共に一体
に形成してあり、遮断弁１と、前記ターゲット５を一体
に形成した前記天井壁部Ｃとを取り付けて構成してあ
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
構成においては、フルイディックメータにおける検出振
動数が、或る条件下で十分な線型を示さなくなる場合が
ある。これは複合要因によるものと思われるが、流体振
動検出手段７の検出端７ａが、上記のようにフルイディ
ック素子の天井壁に設けられていることで、壁面の影響
を受けることもその一因であると考えられる。また、上
述のように、流体振動検出手段７の検出端７ａを配置し
てある位置が、ノズル開口３ａの近傍であり、噴流ｆの
振幅が小さい点もその一因として考えられる。つまり、
前記流体振動検出手段７として、流体振動に伴う静圧の
変化を検出する微差圧計を用いているのであるが、その
検出端７ａである導圧路の開口８ａで検出する静圧の精
度に疑問が生じたのである。

【０００５】そこで、本発明に係るフルイディックメー
タの目的は、精度よく流体振動を検出する手段を提供す
る点にある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

【０００７】〔本発明の特徴構成〕本発明に係るフルイ
ディックメータは、ターゲットの位置において流体振動
を検出する点に特徴を有するものであり、夫々に以下の
ような特徴を備えるものである。

【０００８】本発明に係るフルイディックメータの第１
特徴構成は、被測定流体の噴流を流路軸に沿って流路拡
大部に向けて噴出自在なノズルと、前記流路拡大部にお
ける前記流路軸上に配置されて前記噴流の直進を阻止す
るターゲットとを設けて、前記被測定流体に前記ターゲ
ットの両側部間に亘る流体振動を誘起するように構成す
ると共に、前記流体振動を検出可能な流体振動検出手段
を設けてあるフルイディックメータにおいて、前記ター
ゲットに前記流体振動検出手段の検出端を配置してある
点にある。

【０００９】本発明に係るフルイディックメータの第２
特徴構成は、上記第１特徴構成における検出端を、ター
ゲットの背面に、そのターゲットの高さ方向、即ち、流
体振動検出手段の天板及び底板に垂直な方向に沿って配
置した圧電素子膜を設けて形成してある点にある。

【００１０】本発明に係るフルイディックメータの第３
特徴構成は、上記第１特徴構成における検出端を、ター
ゲットの背面で前記流路軸に関して対称の位置に配置し
た、中空路からなる一対の導圧路の一端側の開口で形成
し、前記導圧路夫々の他端側を、流体振動検出手段を構
成する差圧検出膜で仕切られた差圧検出室の両側に接続
してある点にある。

【００１１】本発明に係るフルイディックメータの第４
特徴構成は、被測定流体の噴流を流路軸に沿って流路拡
大部に向けて噴出自在なノズルと、前記流路拡大部にお
ける前記流路軸上に配置されて前記噴流の直進を阻止す
るターゲットとを設けて、前記被測定流体に前記ターゲ
ットの両側部間に亘る流体振動を誘起するように構成す
ると共に、前記流体振動を検出可能な流体振動検出手段
を設けてあるフルイディックメータにおいて、前記ター
ゲットの背後に前記流体振動検出手段の検出端を配置し
てある点にある。

【００１２】本発明に係るフルイディックメータの第５
特徴構成は、被測定流体の噴流を流路軸に沿って流路拡
大部に向けて噴出自在なノズルと、前記流路拡大部にお
ける前記流路軸上に配置されて前記噴流の直進を阻止す
るターゲットとを設けて、前記被測定流体に前記ターゲ
ットの両側部間に亘る流体振動を誘起するように構成す
ると共に、前記流体振動を検出可能な流体振動検出手段
を設けてあるフルイディックメータにおいて、前記ター
ゲットの振動を検出する振動検出手段を設けて前記流体
振動検出手段を構成してある点にある。

【００１３】〔特徴構成の作用及び効果〕上記本発明に
係るフルイディックメータによれば、ターゲットの位置
で流体振動を検出することにより、確実な振動検出がで
きるようになり、夫々に、以下のような独特の作用効果
を奏する。

【００１４】上記本発明に係るフルイディックメータの
第１特徴構成によれば、精度よく流体振動を検出できる
ようになる。つまり、フルイディック素子がターゲット
の両側部間に亘ってノズルからの噴流に流体振動を誘起
するものであるから、例えば従来と同様に差圧検出手段
を流体振動検出手段として用いる場合においても、前記
ターゲットの両側部においては噴流の存否が明確であ
り、前記ターゲットの両側部間における静圧の差を検出
すれば、ターゲットの何れの側を噴流が通過しているか
を検出することが可能になる。

【００１５】上記本発明に係るフルイディックメータの
第２特徴構成によれば、上記第１特徴構成の作用効果奏
する中で、検出手段における外乱要因を除去できる。つ
まり、噴流がターゲットに対して、即ち流路軸に対して
対称に振動するから、ターゲットの背面に配置した圧電
素子膜の表面には、前記圧電素子膜が前記流路軸付近に
設けられている場合には、前記噴流が前記ターゲットの
側方を通過する時期と、前記噴流が前記ターゲットに衝
突する時期とで異なる大きさの静圧が作用するようにな
る。従って、前記噴流が起こす流体振動の周期の半分の
周期で静圧変化が検出されるようになり、精度を維持し
ながら流体振動を検出できるようになるのである。ま
た、前記圧電素子膜を前記ターゲットの側方に一対設け
てある場合には、前記一対の圧電素子膜の表面における
静圧変化の挙動は、両側の圧電素子膜の間で逆位相にな
る。従って、その差圧は相互に減殺することなく、両圧
電素子膜で検出する電圧の差をとれば、倍加された電圧
を検出できるから、前記流体振動を確実に検出できるの
である。しかも、ターゲットの背面における静圧を直接
電圧に変換できるから、一対の圧電素子膜をブリッジに
組み込めば、正確に静圧差の変化を検出することが可能
になる。殊に、前記圧電素子膜を前記ターゲットの全高
に亘って設ければ、静圧変化の検出感度を高めることが
でき、また、前記ターゲットの高さ方向である流路拡大
部の天板と底板との間における静圧のむらが生じても、
平均圧力として検出することになるから、前記ターゲッ
トの側部を通過する噴流による静圧場の乱れの影響を受
けることも回避できる。

【００１６】上記本発明に係るフルイディックメータの
第３特徴構成によれば、上記第１特徴構成の作用効果を
奏する中で、流体振動の検出精度を高く維持できるよう
になる。つまり、流体振動検出手段の検出端としての一
対の導圧路の開口を、ターゲットの背面で、流路軸に関
して対称の位置に設けたことで、前記一対の導圧路に
は、逆位相の変化をする静圧が導かれるようになる。従
って、それら導圧路の他端側が接続された差圧検出室に
は、前記開口における静圧変動が倍加された差圧が導入
されて差圧検出膜で検出されるのである。従って、噴流
の通過領域と不通過領域との間で大きく差の生ずる静圧
変化を検出感度を高く検出することが出来るのである。

【００１７】上記本発明に係るフルイディックメータの
第４特徴構成によっても精度よく流体振動を検出でき
る。つまり、ターゲットの背後は、噴流がターゲットの
何れの側を通過しても、常に停滞領域となっている。そ
こで、ターゲットの一側部側を噴流が通過する場合に
は、前記ターゲットの一側部側の静圧は低下し、他側部
側の静圧は、流路拡大部内の雰囲気圧に維持されてい
る。従って、この場合には確実に両側部側におけるター
ゲット背後の静圧には差が生ずるのである。ここで、前
記噴流は、前記ターゲットの一側部側と他側部側との間
に亘って振動するのであるから、前記ターゲットの背後
で両側部に流体振動検出手段の検出端を一対配置してお
けば、両検出端の間で検出する静圧の差は、前記噴流の
振動に同期して変化するのである。この静圧の差を検出
することで流体振動を正確に検出することが可能になる
のである。尚、両検出端の間に、静圧が均圧化されるこ
とを阻害する障壁を設けておけば、両検出端の間におけ
る差圧はより確実に検出できる。

【００１８】上記本発明に係るフルイディックメータの
第５特徴構成によれば、簡単な手段で、正確に、かつ安
定して流体振動を検出できるようになる。つまり、噴流
がターゲットの両側部側の間に亘って振動すれば、前記
噴流が一側部側から他側部側に振動する間には、必ず前
記噴流が前記ターゲットに衝突する瞬間がある。この衝
突が繰り返されることで、前記ターゲットには、流路軸
方向の振動が励起される。そこで、この衝突と同期する
ターゲットの振動を検出すれば、前記噴流の振動の２倍
の周波数の振動を検出することが可能になる。このター
ゲットの固有振動数を前記噴流の振動周波数の範囲から
外れた点に設定しておき、その固有振動数を濾波して前
記ターゲットの振動を検出すれば、機械的振動の検出で
あるから容易に、正確に、かつ流体の状態の影響を受け
ることなく安定して流体振動を検出できるのである。

【００１９】その結果、上記何れの特徴構成によって
も、精度よく流体振動を検出できるようになる。

【００２０】

【発明の実施の形態】上記本発明のフルイディックメー
タの実施の形態の一例について、以下に、図面を参照し
ながら説明する。尚、前記従来の技術において説明した
要素と同じ要素並びに同等の機能を有する要素に関して
は、先の図９に付したと同一の符号を付し、詳細の説明
の一部は省略する。

【００２１】〔第一の実施の形態〕フルイディックメー
タを構成する流体素子は、例えば図１に示すように、被
測定流体Ｆの噴流ｆを流路軸Ｚに沿って流路拡大部４に
向けて噴出自在なノズル３と、前記流路拡大部４におけ
る前記流路軸Ｚ上に配置されて前記噴流ｆの直進を阻止
するターゲット５とを設けて、前記噴流ｆに前記ターゲ
ット５の両側部間に亘る流体振動を誘起するように構成
する。そして、その流体振動を検出可能な流体振動検出
手段７の検出端７ａを、前記ターゲット５に配置する。
この流体振動検出手段７は、前記ターゲット５の背面５
ａで前記流路軸Ｚに関して対称の位置に、例えば図２に
示すように、前記ターゲット５の立設高さ方向に沿って
配置した一対の圧電素子膜９を設けて、前記検出端７ａ
を形成する。前記ターゲット５は天井壁部Ｃと一体成形
されたアルミニウム製ダイキャスト鋳物で形成し、前記
両圧電素子膜９の一方を、夫々前記ターゲット５の背面
５ａに導電性接着剤で接着すれば、前記ターゲット５が
前記両圧電素子膜９の共通電極を構成する。前記圧電素
子膜９夫々の他方の電極は夫々の圧電素子膜９の表面に
貼付された導電性膜電極である。夫々の導電性膜電極か
らのリード線を引き出して振動検出回路１０に接続し、
前記流体振動検出手段７を構成することが出来る。図示
の例においては、前記振動検出回路１０をブリッジ回路
とするために、前記共通電極としてのターゲット５と一
体の天井壁部Ｃからのリード線も前記振動検出回路１０
に接続してある。尚、前記圧電素子膜９の極性を逆にし
て前記ターゲット５に貼り付けてあれば、前記両リード
線で検出される電位差は、前記ターゲット５の背面にお
ける両側部の静圧差を増幅して示すようになる。

【００２２】以上説明したように、ターゲット５の背面
５ａにおける両側部の全高に亘って圧電素子膜９を流体
振動検出手段７の検出端７ａとして配置することで、前
記ターゲット５の背後における静圧を敏感に検出でき
る。しかも、前記ターゲット５の何れか一側部側におい
ては噴流ｆがその圧電素子膜９の近傍を通過し、他側部
側はこれと離隔して前記噴流ｆの影響を受けない領域に
位置するから、流体振動に伴う前記噴流ｆの移動を確実
に検出できる。殊に、上記構成においては、ターゲット
５が、両圧電素子膜９の共通電極を構成しているから、
検出端７ａの構造を安定したものに出来る。

【００２３】〔第二の実施の形態〕フルイディックメー
タを構成する流体素子は、例えば図３に示すように、被
測定流体Ｆの噴流ｆを流路軸Ｚに沿って流路拡大部４に
向けて噴出自在なノズル３と、前記流路拡大部４におけ
る前記流路軸Ｚ上に配置されて前記噴流ｆの直進を阻止
するターゲット５とを設けて、前記噴流ｆに前記ターゲ
ット５の両側部間に亘る流体振動を誘起するように、上
記第一の実施の形態におけると同様に構成する。そし
て、その流体振動を検出可能な流体振動検出手段７の検
出端７ａを、前記ターゲット５の背後に配置する。つま
り、例えば図４に示すように、先に従来の技術を説明し
た、天井壁部Ｃに、前記流路軸Ｚに関して対称の位置に
開口させた一対の導圧路８の開口８ａで形成する検出端
７ａの位置を、前記ノズル開口３ａの近傍から前記ター
ゲット５の背後に移したのである。前記一対の導圧路８
は、前記天井壁部Ｃを貫通して外側に引き出し、夫々の
他端側を、前記流体振動検出手段７の検出部を構成する
差圧検出膜１２で仕切られた差圧検出室１１の両側に接
続する。

【００２４】以上の構成により、検出すべき噴流ｆの振
動の幅が従来よりも大きく、帰還流ｆ２の影響を受けな
いターゲット５の背後に導圧路８の開口８ａで構成した
検出端７ａを配置したので、静圧を確実に検出できる。
また、前記ターゲット５の何れか一側部側においては噴
流ｆがその近傍を通過し、他側部側はこれと離隔して前
記噴流ｆの影響を受けない領域に位置するから、流体振
動に伴う前記噴流ｆの移動を確実に検出できる。尚、図
４においては、構成を解りやすくするために差圧検出室
１１を天井壁部Ｃとは別に配置して示したが、前記差圧
検出室１１を前記天井壁部Ｃの裏側に設けて、前記導圧
路８を前記天井壁部Ｃの貫通孔で形成すれば、構成が簡
単になり、前記導圧路８の圧力伝播抵抗も小さくできる
ので、流体振動の検出感度を増すことが出来る。

【００２５】〔第三の実施の形態〕フルイディックメー
タを構成する流体素子は、例えば図５に示すように、被
測定流体Ｆの噴流ｆを流路軸Ｚに沿って流路拡大部４に
向けて噴出自在なノズル３と、前記流路拡大部４におけ
る前記流路軸Ｚ上に配置されて前記噴流ｆの直進を阻止
するターゲット５とを設けて、前記噴流ｆに前記ターゲ
ット５の両側部間に亘る流体振動を誘起するように、上
記第一の実施の形態におけると同様に構成する。そし
て、その流体振動を検出可能な流体振動検出手段７の検
出端７ａを、前記ターゲット５に配置する。この流体振
動検出手段７は、例えば図６に示すように、前記ターゲ
ット５の背面５ａで前記流路軸Ｚ上に配置する。この流
体振動検出手段７は、そのターゲット５自身の振動を検
出するものである。この検出端７ａは、例えば歪みゲー
ジ１５で形成する。そして、その検出部は、動歪み計１
４で構成する。前記歪みゲージ１５は、２ゲージ法によ
るものであってもよく、４ゲージ法によるものであって
もよい。

【００２６】以上の構成により、噴流ｆの振動により励
起されるターゲット５自体の機械的振動を検出すれば、
流体振動の２倍の周波数の振動が検出されることにな
る。従って、前記ターゲット５を、前記流体振動に共振
しないように形成しておけば、前記流体振動を高精度で
検出できる。

【００２７】〔別実施形態〕上記実施の形態において説
明しなかった本発明に係るフルイディックメータの他の
実施の形態について以下に説明する。

【００２８】〈１〉上記第一の実施の形態においては、
ターゲット５の背面５ａで流路軸Ｚに関して対称の位置
に、前記ターゲット５の立設高さ方向に沿って配置した
一対の圧電素子膜９を設けて、流体振動検出手段７の検
出端７ａを形成する例について説明したが、前記ターゲ
ット５の背面５ａで流路軸Ｚの位置に、前記ターゲット
５の立設高さ方向に沿って配置した単一の圧電素子膜９
を設けて、前記検出端７ａを形成してもよい。つまり、
噴流ｆは、前記ターゲット５に衝突する状態と、前記タ
ーゲット５の何れか一方側の近傍を通過する状態とを繰
り返しており、この両者の状態においては、前記ターゲ
ット５の背後の静圧が異なるから、前記圧電素子膜９で
検出する静圧の変化は、前記流体振動の２倍の周波数の
変化を示すようになる。従って、流体振動の検出精度を
高めることが出来る。

【００２９】〈２〉上記第一の実施の形態においては、
ターゲット５の背面５ａで流路軸Ｚに関して対称の位置
に、前記ターゲット５の立設高さ方向に沿って配置した
一対の圧電素子膜９を設けて、流体振動検出手段７の検
出端７ａを形成する例について説明したが、前記圧電素
子膜９に代えて、例えば図７に示すように、前記検出端
７ａを、前記ターゲット５の背面５ａで前記流路軸Ｚに
関して対称の位置に配置した、中空路からなる一対の導
圧路８の一端側の開口８ａで形成し、前記導圧路８夫々
の他端側を、前記流体振動検出手段７を構成する差圧検
出膜１２で仕切られた差圧検出室１１の両側に接続し
て、前記差圧検出室１１で前記流体振動検出手段７の検
出部を構成してもよい。図示のように構成すれば、前記
ターゲット５の両側部間の静圧の差を前記差圧検出室１
１で検出するから、噴流ｆが前記ターゲット５の一側部
側を通過する場合には、その一側部側の静圧は低下し、
他側部側の静圧は、噴流ｆの影響を受けないから、流路
拡大部４内の雰囲気圧を示し、確実に差圧を検出でき
る。前記検出端７ａとしての開口８ａを、前記噴流ｆの
最大流速位置に対応する高さ位置に設けておけば、さら
に感度を増すことが出来て、流体振動の検出精度を高め
ることが可能になる。

【００３０】〈３〉上記第三の実施の形態においては、
流体振動検出手段７は、前記ターゲット５の背面５ａで
前記流路軸Ｚ上に配置し、そのターゲット５自身の振動
を検出するように構成した例として、前記検出端７ａ
を、歪みゲージ１５で形成する例を示して説明したが、
前記流体振動検出手段７を、例えば図８に示すように、
前記ターゲット５の立設端部５ｂにおいて、前記ターゲ
ット５自身の振動を検出する振動検出手段１３として構
成してあってもよい。図示の例には、アルミニウム製の
ターゲット５に対して、底蓋部Ｂの側に励磁コイルと検
出コイルとを備えて、前記ターゲット５の立設端部５ｂ
の移動を検出する振動検出手段１３を設けた例を示した
が、前記立設端部５ｂの変位を検出する変位センサを前
記振動検出手段１３の検出端７ａとして設けてもよい。

【００３１】〈４〉上記実施の形態においては、ターゲ
ット５を天井壁部Ｃと一体に形成した例について説明し
たが、前記ターゲット５は、前記天井壁部Ｃとは別体に
形成され、流路拡大部４に立設されてあってもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るフルイディックメータの一例を示
す要部の平断面図

【図２】図１に示した流体振動検出手段における検出端
の概念を示す要部斜視図

【図３】本発明に係るフルイディックメータの他の例を
示す要部の平断面図

【図４】図３に示した流体振動検出手段における検出端
の概念を示す要部斜視図

【図５】本発明に係るフルイディックメータの他の例を
示す要部の平断面図

【図６】図３に示した流体振動検出手段における検出端
の例を示す要部斜視図

【図７】本発明に係る流体振動検出手段の他の例を示す
要部平断面図

【図８】本発明に係る流体振動検出手段の他の例を示す
要部縦断面図

【図９】従来のフルイディックメータの一例を示す要部
の平面図

【符号の説明】

３ ノズル ４ 流路拡大部 ５ ターゲット ５ａ ターゲットの背面 ７ 流体振動検出手段 ７ａ 流体振動検出手段の検出端 ８ 導圧路 ８ａ 導圧路の開口 ９ 圧電素子膜 １１ 差圧検出室 １２ 差圧検出膜 １３ 振動検出手段 Ｆ 被測定流体 ｆ 噴流 Ｚ 流路軸

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡田 修一 大阪府大阪市中央区平野町四丁目１番２号 大阪瓦斯株式会社内 Ｆターム(参考） 2F030 CA04 CC13

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測定流体の噴流を流路軸に沿って流路
   拡大部に向けて噴出自在なノズルと、前記流路拡大部に
   おける前記流路軸上に配置されて前記噴流の直進を阻止
   するターゲットとを設けて、前記被測定流体に前記ター
   ゲットの両側部間に亘る流体振動を誘起するように構成
   すると共に、前記流体振動を検出可能な流体振動検出手
   段を設けてあるフルイディックメータであって、 前記ターゲットに前記流体振動検出手段の検出端を配置
   してあるフルイディックメータ。
2. 【請求項２】 前記ターゲットの背面に、前記ターゲッ
   トの高さ方向に沿って配置した圧電素子膜を設けて、前
   記検出端を形成してある請求項１記載のフルイディック
   メータ。
3. 【請求項３】 前記検出端を、前記ターゲットの背面で
   前記流路軸に関して対称の位置に配置した、中空路から
   なる一対の導圧路の一端側の開口で形成し、前記導圧路
   夫々の他端側を、前記流体振動検出手段を構成する差圧
   検出膜で仕切られた差圧検出室の両側に接続してある請
   求項１記載のフルイディックメータ。
4. 【請求項４】 被測定流体の噴流を流路軸に沿って流路
   拡大部に向けて噴出自在なノズルと、前記流路拡大部に
   おける前記流路軸上に配置されて前記噴流の直進を阻止
   するターゲットとを設けて、前記被測定流体に前記ター
   ゲットの両側部間に亘る流体振動を誘起するように構成
   すると共に、前記流体振動を検出可能な流体振動検出手
   段を設けてあるフルイディックメータであって、 前記ターゲットの背後に前記流体振動検出手段の検出端
   を配置してあるフルイディックメータ。
5. 【請求項５】 被測定流体の噴流を流路軸に沿って流路
   拡大部に向けて噴出自在なノズルと、前記流路拡大部に
   おける前記流路軸上に配置されて前記噴流の直進を阻止
   するターゲットとを設けて、前記被測定流体に前記ター
   ゲットの両側部間に亘る流体振動を誘起するように構成
   すると共に、前記流体振動を検出可能な流体振動検出手
   段を設けてあるフルイディックメータであって、 前記ターゲットの振動を検出する振動検出手段を設けて
   前記流体振動検出手段を構成してあるフルイディックメ
   ータ。