JP3140860B2 - フルイディック流量計 - Google Patents
フルイディック流量計Info
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- JP3140860B2 JP3140860B2 JP04259531A JP25953192A JP3140860B2 JP 3140860 B2 JP3140860 B2 JP 3140860B2 JP 04259531 A JP04259531 A JP 04259531A JP 25953192 A JP25953192 A JP 25953192A JP 3140860 B2 JP3140860 B2 JP 3140860B2
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- fluidic
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、気体や液体の流量の計
測に用いられるフルイディック流量計に関する。
測に用いられるフルイディック流量計に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の膜式ガスメータに代るものとして
開発されている、フルイディック発振を利用したフルイ
ディック流量計は、小型で可動部がないので、耐久性に
優れていることから、各方面でその研究・改良が進めら
れている。さらに、従来からのガス流量計は、取付けに
関して立上り面積を要することや都市美観の上からも小
型にして取付けに際して方向性を問わないものが望まれ
る。このような観点から、フルイディック流量計におい
てその特徴を活かした小型で性能のよいものが望まれて
いる。
開発されている、フルイディック発振を利用したフルイ
ディック流量計は、小型で可動部がないので、耐久性に
優れていることから、各方面でその研究・改良が進めら
れている。さらに、従来からのガス流量計は、取付けに
関して立上り面積を要することや都市美観の上からも小
型にして取付けに際して方向性を問わないものが望まれ
る。このような観点から、フルイディック流量計におい
てその特徴を活かした小型で性能のよいものが望まれて
いる。
【０００３】フルイディック流量計は、一般の教科書に
も説明されているように、流れが自己を制御するように
働くことで振動を起こすことに着目し、その振動数が流
量に比例することを利用したものである。このようなフ
ルイディック流量計は、例えば特開昭６３−１３９２１
３号公報、特開昭６３−１３９２１４号公報などにも示
されているが、その基本的構成及び作用を図７を参照し
て説明する。
も説明されているように、流れが自己を制御するように
働くことで振動を起こすことに着目し、その振動数が流
量に比例することを利用したものである。このようなフ
ルイディック流量計は、例えば特開昭６３−１３９２１
３号公報、特開昭６３−１３９２１４号公報などにも示
されているが、その基本的構成及び作用を図７を参照し
て説明する。
【０００４】流入管１から排出管２を結ぶ経路上に、セ
ットリングスペース３、流路縮小部４、ジェットノズル
５、流路拡大部６を順に設け、かつ、流路拡大部６中に
誘振子７とエンドブロック８とを備えて構成されてい
る。ここに、このようなフルイディック流量計は、ジェ
ットノズル５と誘振子７とを結ぶ直線に対して線対称な
形状とされている。エンドブロック８には誘振子７を覆
うような状態で流路上流側に向かって延ばした壁８ａ，
８ｂを両側に有する。また、このエンドブロック８の背
後は、排出空間９とされている。
ットリングスペース３、流路縮小部４、ジェットノズル
５、流路拡大部６を順に設け、かつ、流路拡大部６中に
誘振子７とエンドブロック８とを備えて構成されてい
る。ここに、このようなフルイディック流量計は、ジェ
ットノズル５と誘振子７とを結ぶ直線に対して線対称な
形状とされている。エンドブロック８には誘振子７を覆
うような状態で流路上流側に向かって延ばした壁８ａ，
８ｂを両側に有する。また、このエンドブロック８の背
後は、排出空間９とされている。
【０００５】まず、流路上流側からの管状の流れはセッ
トリングスペース３で２次元的な流れに整流され、流路
縮小部４によりさらに整流されて円滑にジェットノズル
５に向かう。そして、ジェットノズル５で整流されたジ
ェット流は、誘振子７に当たることにより左右に分れる
が、エンドブロック８に至るまでの流路拡大部６の空間
において、ある流量を越えると誘振子７の背後にできる
渦の不安定性によって、左又は右に偏った流れを形成す
る。そのため、エンドブロック８にぶつかった流れは、
その壁８ａ，８ｂ内面に沿い、ジェットノズル５の出口
に達し、ジェット流に直角的にぶつかる。このため、そ
の脇から帰還した流れによってジェット流の方向を最初
の偏流とは反対方向に偏らせる。これにより、反対側で
は再び同様のことが起こり、結果としてジェットノズル
５を出る流れは規則的に交互に流れの方向を変化させ
る。この規則的に方向を変化させる振動の周波数は、流
量の増加に対して直線的に増加する。
トリングスペース３で２次元的な流れに整流され、流路
縮小部４によりさらに整流されて円滑にジェットノズル
５に向かう。そして、ジェットノズル５で整流されたジ
ェット流は、誘振子７に当たることにより左右に分れる
が、エンドブロック８に至るまでの流路拡大部６の空間
において、ある流量を越えると誘振子７の背後にできる
渦の不安定性によって、左又は右に偏った流れを形成す
る。そのため、エンドブロック８にぶつかった流れは、
その壁８ａ，８ｂ内面に沿い、ジェットノズル５の出口
に達し、ジェット流に直角的にぶつかる。このため、そ
の脇から帰還した流れによってジェット流の方向を最初
の偏流とは反対方向に偏らせる。これにより、反対側で
は再び同様のことが起こり、結果としてジェットノズル
５を出る流れは規則的に交互に流れの方向を変化させ
る。この規則的に方向を変化させる振動の周波数は、流
量の増加に対して直線的に増加する。
【０００６】このようなフルイディック流量計に関し
て、例えば、特開平１−３０８９２１号公報、特開平４
−１２８６１１号公報、特開平４−１３４２１９号公報
等によれば、ジェットノズルに向かうにつれて縮小する
導入通路を形成し、フローセンサを、フルイディック振
動を起させる場所のすぐ上流の絞り流路内（ジェットノ
ズル内等）の２次元的に振動するフルイディック振動面
に平行な上板、或いは底板に接して配置させることが示
されている。
て、例えば、特開平１−３０８９２１号公報、特開平４
−１２８６１１号公報、特開平４−１３４２１９号公報
等によれば、ジェットノズルに向かうにつれて縮小する
導入通路を形成し、フローセンサを、フルイディック振
動を起させる場所のすぐ上流の絞り流路内（ジェットノ
ズル内等）の２次元的に振動するフルイディック振動面
に平行な上板、或いは底板に接して配置させることが示
されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、フルイディ
ック振動を起させる場所のすぐ上流の絞り流路内にフロ
ーセンサを配設することは、噴出する流体の流れを乱
し、安定したフルイディック振動が起らない、という問
題がある。さらに、絞り流路内の上板又は底板という個
所は、境界層が発達しており、その境界層内にフローセ
ンサを配設することは、感度が悪く、また、境界層内の
速度分布は一様流の速度の影響を受けるので、正確な流
量を計測できない、という問題がある。
ック振動を起させる場所のすぐ上流の絞り流路内にフロ
ーセンサを配設することは、噴出する流体の流れを乱
し、安定したフルイディック振動が起らない、という問
題がある。さらに、絞り流路内の上板又は底板という個
所は、境界層が発達しており、その境界層内にフローセ
ンサを配設することは、感度が悪く、また、境界層内の
速度分布は一様流の速度の影響を受けるので、正確な流
量を計測できない、という問題がある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】流入管から流入する流れ
を２次元的な流れに整流するセットリングスペースと、
整流用の流路縮小部と、ジェットノズルと、流路拡大部
とを同一線上に順に設け、前記流路拡大部中のジェット
ノズル対向位置に偏流を起こさせる誘振子を設け、この
流路拡大部中の前記誘振子の背後で排出管に至るまでの
位置に帰還用のエンドブロックを設けたフルイディック
流量計において、請求項１記載の発明では、前記セット
リングスペースの幅を前記ジェットノズルの幅以上に設
定するとともに、前記セットリングスペースの流路中央
に２次元的に振動するフルイディック振動面に対して平
行又は垂直にフローセンサを配設した。
を２次元的な流れに整流するセットリングスペースと、
整流用の流路縮小部と、ジェットノズルと、流路拡大部
とを同一線上に順に設け、前記流路拡大部中のジェット
ノズル対向位置に偏流を起こさせる誘振子を設け、この
流路拡大部中の前記誘振子の背後で排出管に至るまでの
位置に帰還用のエンドブロックを設けたフルイディック
流量計において、請求項１記載の発明では、前記セット
リングスペースの幅を前記ジェットノズルの幅以上に設
定するとともに、前記セットリングスペースの流路中央
に２次元的に振動するフルイディック振動面に対して平
行又は垂直にフローセンサを配設した。
【０００９】一方、請求項２記載の発明では、セットリ
ングスペースの幅を前記ジェットノズルの幅以上に設定
するとともに、前記セットリングスペースの流路中央に
２次元的に振動するフルイディック振動面に対して平行
でその流路を２分割する分割板を配設し、前記セットリ
ングスペース内で前記フルイディック振動面に平行な上
板、底板又は前記分割板の上面或いは下面にフローセン
サを配設した。
ングスペースの幅を前記ジェットノズルの幅以上に設定
するとともに、前記セットリングスペースの流路中央に
２次元的に振動するフルイディック振動面に対して平行
でその流路を２分割する分割板を配設し、前記セットリ
ングスペース内で前記フルイディック振動面に平行な上
板、底板又は前記分割板の上面或いは下面にフローセン
サを配設した。
【００１０】
【作用】請求項１記載の発明においては、セットリング
スペースの流路中央にフルイディック振動面に対して平
行又は垂直に配設したフローセンサが、流体の流れの一
様な流速を検知するものとなり、高感度にして正確に流
量を計測し得るものとなる。また、フローセンサ設置に
より圧力損失を増大させることがないため、流量測定範
囲として低流量域から高流量域まで幅広くとれるものと
なる。
スペースの流路中央にフルイディック振動面に対して平
行又は垂直に配設したフローセンサが、流体の流れの一
様な流速を検知するものとなり、高感度にして正確に流
量を計測し得るものとなる。また、フローセンサ設置に
より圧力損失を増大させることがないため、流量測定範
囲として低流量域から高流量域まで幅広くとれるものと
なる。
【００１１】請求項２記載の発明においては、請求項１
記載の発明の作用に加え、上板、底板又は分割板の上面
或いは下面にフローセンサを配設するので、センサ配設
作業性に優れたものとなり、かつ、高流量の流れに対し
ても耐久性のよいものとなり、流量計としての使用期間
を充分満足し得るものとなる。さらには、分割板により
セットリングスペース内の流路を２分割するので、分割
板が流体の偏流に対して整流作用を示すとともに、分割
板の厚さの工夫により流速を速くしてフローセンサの感
度を上げることもできる。
記載の発明の作用に加え、上板、底板又は分割板の上面
或いは下面にフローセンサを配設するので、センサ配設
作業性に優れたものとなり、かつ、高流量の流れに対し
ても耐久性のよいものとなり、流量計としての使用期間
を充分満足し得るものとなる。さらには、分割板により
セットリングスペース内の流路を２分割するので、分割
板が流体の偏流に対して整流作用を示すとともに、分割
板の厚さの工夫により流速を速くしてフローセンサの感
度を上げることもできる。
【００１２】
【実施例】請求項１記載の発明の第一の実施例を図１な
いし図３に基づいて説明する。図７で示した部分と同一
部分は同一符号を用いて示す（以下の実施例でも同様と
する）。まず、本実施例のセットリングスペース１０は
流入管１より１段階流路を狭くする形状に形成され、さ
らに、このセットリングスペース１０には流路縮小部４
を介して流路をさらに１段階を狭くしたジェットノズル
５が連続している。即ち、図３に示すように、セットリ
ングスペース１０の幅（流路幅）をｂ、ジェットノズル
５の幅（流路幅）をａとしたとき、ｂ≧ａとなるように
設定されている。
いし図３に基づいて説明する。図７で示した部分と同一
部分は同一符号を用いて示す（以下の実施例でも同様と
する）。まず、本実施例のセットリングスペース１０は
流入管１より１段階流路を狭くする形状に形成され、さ
らに、このセットリングスペース１０には流路縮小部４
を介して流路をさらに１段階を狭くしたジェットノズル
５が連続している。即ち、図３に示すように、セットリ
ングスペース１０の幅（流路幅）をｂ、ジェットノズル
５の幅（流路幅）をａとしたとき、ｂ≧ａとなるように
設定されている。
【００１３】これにより、流入管１から導かれた流体の
流れは、まず、セットリングスペース１０を通過するこ
とにより、３次元の流れが２次元の流れに整流される。
ついで、さらに幅狭の流路縮小部４を経てジェットノズ
ル５中に流入することにより、速度分布が安定した流れ
となって、このジェットノズル５から流路拡大部６中に
噴出されることになる。この後は、図７で説明したよう
な動作をする。
流れは、まず、セットリングスペース１０を通過するこ
とにより、３次元の流れが２次元の流れに整流される。
ついで、さらに幅狭の流路縮小部４を経てジェットノズ
ル５中に流入することにより、速度分布が安定した流れ
となって、このジェットノズル５から流路拡大部６中に
噴出されることになる。この後は、図７で説明したよう
な動作をする。
【００１４】従って、本実施例ではフローセンサ１１を
前記セットリングスペース１０中に配設するが、図１に
示すように、上板１２と底板１３とによる厚さ（上下）
方向の中央位置であって、かつ、２次元的に振動するフ
ルイディック振動面に対して平行に配設させたものであ
る。
前記セットリングスペース１０中に配設するが、図１に
示すように、上板１２と底板１３とによる厚さ（上下）
方向の中央位置であって、かつ、２次元的に振動するフ
ルイディック振動面に対して平行に配設させたものであ
る。
【００１５】このような構成によれば、セットリングス
ペース１０から流路縮小部４に向かう流体の流れの一様
な流速をフローセンサ１１が検知するため、非常に感度
よく、かつ、正確に流量を計測できるものとなる。ま
た、フローセンサ１１設置によりジェットノズル５から
噴出する流体の流れを乱すことがなく、圧力損失の増大
を伴わないため、流量測定範囲が低流量から高流量まで
広範囲となる。
ペース１０から流路縮小部４に向かう流体の流れの一様
な流速をフローセンサ１１が検知するため、非常に感度
よく、かつ、正確に流量を計測できるものとなる。ま
た、フローセンサ１１設置によりジェットノズル５から
噴出する流体の流れを乱すことがなく、圧力損失の増大
を伴わないため、流量測定範囲が低流量から高流量まで
広範囲となる。
【００１６】つづいて、請求項１記載の発明の第二の実
施例を図４により説明する。本実施例は、フローセンサ
１１をやはりセットリングスペース１０中に配設する
が、その流路幅方向の中央位置であって、かつ、２次元
的に振動するフルイディック振動面に対して垂直（従っ
て、上板１２・底板１３間に渡って）に配設したもので
ある。
施例を図４により説明する。本実施例は、フローセンサ
１１をやはりセットリングスペース１０中に配設する
が、その流路幅方向の中央位置であって、かつ、２次元
的に振動するフルイディック振動面に対して垂直（従っ
て、上板１２・底板１３間に渡って）に配設したもので
ある。
【００１７】本実施例構成による場合も、前記実施例と
同様な効果が得られる。
同様な効果が得られる。
【００１８】さらに、請求項２記載の発明の一実施例を
図５及び図６により説明する。本実施例では、まず、セ
ットリングスペース１０中に分割板１４が設けられてい
る。この分割板１４はセットリングスペース１０の流路
幅及び厚さの中央位置（フルイディック振動面に対して
垂直方向の中央位置）であって、２次元的に振動するフ
ルイディック振動面に対して平行に配設され、セットリ
ングスペース１０内の流路を上下２分割するものであ
り、形状的には断面流線形とされている。このような分
割板１４に対応する上板１２位置にはフローセンサ１５
が埋込配設されている。
図５及び図６により説明する。本実施例では、まず、セ
ットリングスペース１０中に分割板１４が設けられてい
る。この分割板１４はセットリングスペース１０の流路
幅及び厚さの中央位置（フルイディック振動面に対して
垂直方向の中央位置）であって、２次元的に振動するフ
ルイディック振動面に対して平行に配設され、セットリ
ングスペース１０内の流路を上下２分割するものであ
り、形状的には断面流線形とされている。このような分
割板１４に対応する上板１２位置にはフローセンサ１５
が埋込配設されている。
【００１９】本実施例構成による場合も、フローセンサ
１５は流体の流れの一様な流速を検知することになり、
正確に流量を計測できる。特に、分割板１４自体が流体
の偏流を整流するだけでなく、その板厚を変化させるこ
とにより、フローセンサ１５部分を流れる流体の流速を
より速くすることができるので、フローセンサ１５の感
度を上げることも容易となる。さらに、フローセンサ１
５を上板１２中に配設することは配設作業性に優れたも
のとなり、かつ、高流量の流れに対しても耐久性のよい
ものとなり、流量計としての使用期間を充分に満足し得
るものとなる。
１５は流体の流れの一様な流速を検知することになり、
正確に流量を計測できる。特に、分割板１４自体が流体
の偏流を整流するだけでなく、その板厚を変化させるこ
とにより、フローセンサ１５部分を流れる流体の流速を
より速くすることができるので、フローセンサ１５の感
度を上げることも容易となる。さらに、フローセンサ１
５を上板１２中に配設することは配設作業性に優れたも
のとなり、かつ、高流量の流れに対しても耐久性のよい
ものとなり、流量計としての使用期間を充分に満足し得
るものとなる。
【００２０】なお、図６中に示すように、フローセンサ
１６を底板１３側に設けてもよく、又は、分割板１４の
上面或いは下面に配設するようにしてもよい。
１６を底板１３側に設けてもよく、又は、分割板１４の
上面或いは下面に配設するようにしてもよい。
【００２１】また、これらの実施例では流入管１より流
入させた流体をジェットノズル５から噴出させるまでの
過程で、流路を、セットリングスペース１０、流路縮小
部４により２段階に縮小させるようにしたが、これに限
らず、より多段階的に流路を幅狭とさせるようにしても
よい。
入させた流体をジェットノズル５から噴出させるまでの
過程で、流路を、セットリングスペース１０、流路縮小
部４により２段階に縮小させるようにしたが、これに限
らず、より多段階的に流路を幅狭とさせるようにしても
よい。
【００２２】
【発明の効果】本発明は、上述したように構成したの
で、請求項１記載の発明によれば、セットリングスペー
スの幅をジェットノズルの幅以上に設定するとともに、
セットリングスペースの流路中央に２次元的に振動する
フルイディック振動面に対して平行又は垂直にフローセ
ンサを配設したので、フローセンサが流体の流れの一様
な流速を検知できることになり、よって、高感度にして
正確に流量を計測でき、かつ、フローセンサ設置によっ
て圧力損失を増大させることがないため、流量測定範囲
として低流量域から高流量域まで幅広くとれるものとな
る。
で、請求項１記載の発明によれば、セットリングスペー
スの幅をジェットノズルの幅以上に設定するとともに、
セットリングスペースの流路中央に２次元的に振動する
フルイディック振動面に対して平行又は垂直にフローセ
ンサを配設したので、フローセンサが流体の流れの一様
な流速を検知できることになり、よって、高感度にして
正確に流量を計測でき、かつ、フローセンサ設置によっ
て圧力損失を増大させることがないため、流量測定範囲
として低流量域から高流量域まで幅広くとれるものとな
る。
【００２３】請求項２記載の発明によれば、請求項１記
載の発明の効果に加え、上板、底板又は分割板の上面或
いは下面にフローセンサを配設するようにしたので、セ
ンサ配設作業性に優れたものとなり、かつ、高流量の流
れに対しても耐久性のよいものとなり、流量計としての
使用期間を充分満足できるものとなり、さらには、分割
板によりセットリングスペース内の流路を２分割するの
で、分割板が流体の偏流に対して整流作用を示すととも
に、分割板の厚さの工夫により流速を速くしてフローセ
ンサの感度を上げることもできる。
載の発明の効果に加え、上板、底板又は分割板の上面或
いは下面にフローセンサを配設するようにしたので、セ
ンサ配設作業性に優れたものとなり、かつ、高流量の流
れに対しても耐久性のよいものとなり、流量計としての
使用期間を充分満足できるものとなり、さらには、分割
板によりセットリングスペース内の流路を２分割するの
で、分割板が流体の偏流に対して整流作用を示すととも
に、分割板の厚さの工夫により流速を速くしてフローセ
ンサの感度を上げることもできる。
【図１】請求項１記載の発明の第一の実施例を示す要部
の縦断正面図である。
の縦断正面図である。
【図２】フルイディック流量計の全体構造を示す水平断
面図である。
面図である。
【図３】要部の水平断面図である。
【図４】請求項１記載の発明の第二の実施例を示す縦断
正面図である。
正面図である。
【図５】請求項２記載の発明の一実施例を示す水平断面
図である。
図である。
【図６】その縦断正面図である。
【図７】一般的なフルイディック流量計構造を示す水平
断面図である。
断面図である。
１ 流入管 ２ 排出管 ４ 流路縮小部 ５ ジェットノズル ６ 流路拡大部 ７ 誘振子 ８ エンドブロック １０ セットリングスペース １１ フローセンサ １２ 上板 １３ 底板 １４ 分割板 １５，１６ フローセンサ
フロントページの続き (72)発明者 堀口 浩幸 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株 式会社リコー内 (72)発明者 秋山 善一 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株 式会社リコー内 (72)発明者 田辺 誠 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株 式会社リコー内 (72)発明者 石井 良夫 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株 式会社リコー内 (72)発明者 宮地 達生 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株 式会社リコー内 (72)発明者 高宮 敏行 東京都品川区南大井６−16−10 リコー 精器株式会社内 (72)発明者 恩田 浩 愛知県名古屋市東区泉二丁目28番24号 リコーエレメックス株式会社内 (56)参考文献 特開 平４−175612（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−262210（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−262209（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−128611（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01F 1/20
Claims (2)
- 【請求項１】 流入管から流入する流れを２次元的な流
れに整流するセットリングスペースと、整流用の流路縮
小部と、ジェットノズルと、流路拡大部とを同一線上に
順に設け、前記流路拡大部中のジェットノズル対向位置
に偏流を起こさせる誘振子を設け、この流路拡大部中の
前記誘振子の背後で排出管に至るまでの位置に帰還用の
エンドブロックを設けたフルイディック流量計におい
て、前記セットリングスペースの幅を前記ジェットノズ
ルの幅以上に設定するとともに、前記セットリングスペ
ースの流路中央に２次元的に振動するフルイディック振
動面に対して平行又は垂直にフローセンサを配設したこ
とを特徴とするフルイディック流量計。 - 【請求項２】 流入管から流入する流れを２次元的な流
れに整流するセットリングスペースと、整流用の流路縮
小部と、ジェットノズルと、流路拡大部とを同一線上に
順に設け、前記流路拡大部中のジェットノズル対向位置
に偏流を起こさせる誘振子を設け、この流路拡大部中の
前記誘振子の背後で排出管に至るまでの位置に帰還用の
エンドブロックを設けたフルイディック流量計におい
て、前記セットリングスペースの幅を前記ジェットノズ
ルの幅以上に設定するとともに、前記セットリングスペ
ースの流路中央に２次元的に振動するフルイディック振
動面に対して平行でその流路を２分割する分割板を配設
し、前記セットリングスペース内で前記フルイディック
振動面に平行な上板、底板又は前記分割板の上面或いは
下面にフローセンサを配設したことを特徴とするフルイ
ディック流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04259531A JP3140860B2 (ja) | 1992-09-29 | 1992-09-29 | フルイディック流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04259531A JP3140860B2 (ja) | 1992-09-29 | 1992-09-29 | フルイディック流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06109499A JPH06109499A (ja) | 1994-04-19 |
| JP3140860B2 true JP3140860B2 (ja) | 2001-03-05 |
Family
ID=17335404
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04259531A Expired - Fee Related JP3140860B2 (ja) | 1992-09-29 | 1992-09-29 | フルイディック流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3140860B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR3078156B1 (fr) * | 2018-02-16 | 2020-09-18 | Air Liquide | Debitmetre a oscillation fluidique a element stabilisateur de flux ameliore |
-
1992
- 1992-09-29 JP JP04259531A patent/JP3140860B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| JPH06109499A (ja) | 1994-04-19 |
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