JP3270171B2 - フルイディック流量計 - Google Patents
フルイディック流量計Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、気体や液体等の流体の
流量計測に用いられるフルイディック流量計に関する。
流量計測に用いられるフルイディック流量計に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、ガス等の流体の流量を計測する流
量計としては、流体のフルイディック振動を利用するフ
ルイディック流量計が開発されており、例えば、特開昭
６０−１８８８１７号公報や特開昭６３−１３９２１３
号公報等に開示されたものがある。これらのフルイディ
ック流量計は、ジェットノズルからの噴流が流入する流
路拡大部内に誘振子や帰還流路を形成することによりフ
ルイディック振動を発生させ、フルイディック振動の周
波数を計測する手段として圧力センサを用い、圧力セン
サの圧力取出口を流路拡大部内に形成している。なお、
ジェットノズルからの噴流の速度はジェットノズルの出
口に近い部分が最も早く、かつ、ジェットノズルの出口
に近い部分がフルイディック振動による圧力変動が最も
大きい。このため、この部分に圧力取出口を形成するこ
とが一般的であり、また、圧力取出口の形状を丸い小孔
とすることが一般的である。
量計としては、流体のフルイディック振動を利用するフ
ルイディック流量計が開発されており、例えば、特開昭
６０−１８８８１７号公報や特開昭６３−１３９２１３
号公報等に開示されたものがある。これらのフルイディ
ック流量計は、ジェットノズルからの噴流が流入する流
路拡大部内に誘振子や帰還流路を形成することによりフ
ルイディック振動を発生させ、フルイディック振動の周
波数を計測する手段として圧力センサを用い、圧力セン
サの圧力取出口を流路拡大部内に形成している。なお、
ジェットノズルからの噴流の速度はジェットノズルの出
口に近い部分が最も早く、かつ、ジェットノズルの出口
に近い部分がフルイディック振動による圧力変動が最も
大きい。このため、この部分に圧力取出口を形成するこ
とが一般的であり、また、圧力取出口の形状を丸い小孔
とすることが一般的である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、丸い小孔の形
状に形成した圧力取出口の場合、ジェットノズルからの
噴流の変動や、帰還流路にそって帰還した帰還流が噴流
とぶつかる際の渦の発生に基づく圧力変動まで感知して
しまい、このような圧力変動がノイズとして作用するこ
とによりフルイディック振動による圧力変化の計測精度
が低下し、ひいては流体の流量計測の精度が低下すると
いう欠点がある。
状に形成した圧力取出口の場合、ジェットノズルからの
噴流の変動や、帰還流路にそって帰還した帰還流が噴流
とぶつかる際の渦の発生に基づく圧力変動まで感知して
しまい、このような圧力変動がノイズとして作用するこ
とによりフルイディック振動による圧力変化の計測精度
が低下し、ひいては流体の流量計測の精度が低下すると
いう欠点がある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
流路縮小部とジェットノズルと流路拡大部とを同一線上
に順に設け、前記ジェットノズルから前記流路拡大部内
へ流入する流体の噴流を交互に偏流させてフルイディッ
ク振動を発生させるための誘振子と帰還流路とを前記流
路拡大部内に形成し、前記フルイディック振動による圧
力変化を計測することにより前記流体の流量を計測する
フルイディック流量計において、圧力変化を計測する圧
力センサの圧力取出口を前記ジェットノズルの出口に近
接させて前記流路拡大部内に形成すると共にこの圧力取
出口を前記噴流の流れ方向にそって長い略長方形に形成
した。
流路縮小部とジェットノズルと流路拡大部とを同一線上
に順に設け、前記ジェットノズルから前記流路拡大部内
へ流入する流体の噴流を交互に偏流させてフルイディッ
ク振動を発生させるための誘振子と帰還流路とを前記流
路拡大部内に形成し、前記フルイディック振動による圧
力変化を計測することにより前記流体の流量を計測する
フルイディック流量計において、圧力変化を計測する圧
力センサの圧力取出口を前記ジェットノズルの出口に近
接させて前記流路拡大部内に形成すると共にこの圧力取
出口を前記噴流の流れ方向にそって長い略長方形に形成
した。
【０００５】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、ジェットノズルの壁面にそって延長させた
延長線に対して前記ジェットノズルの開口幅寸法の１０
〜１５％内側に寄せた位置を圧力取出口の中心線とし、
前記圧力取出口における前記ジェットノズルからの噴流
の流れ方向にそった長さ寸法を前記ジェットノズルの開
口幅寸法の１〜３倍に形成すると共に前記圧力取出口に
おける前記噴流の流れ方向と略直交する向きの幅寸法を
前記ジェットノズルの開口幅寸法の３０〜４０％に形成
した。
明において、ジェットノズルの壁面にそって延長させた
延長線に対して前記ジェットノズルの開口幅寸法の１０
〜１５％内側に寄せた位置を圧力取出口の中心線とし、
前記圧力取出口における前記ジェットノズルからの噴流
の流れ方向にそった長さ寸法を前記ジェットノズルの開
口幅寸法の１〜３倍に形成すると共に前記圧力取出口に
おける前記噴流の流れ方向と略直交する向きの幅寸法を
前記ジェットノズルの開口幅寸法の３０〜４０％に形成
した。
【０００６】請求項３記載の発明は、請求項１記載の発
明において、圧力取出口をジェットノズルからの噴流の
偏流方向に対応した傾きをもって形成した。
明において、圧力取出口をジェットノズルからの噴流の
偏流方向に対応した傾きをもって形成した。
【０００７】請求項４記載の発明は、請求項３記載の発
明において、圧力取出口をジェットノズルの壁面にそっ
て延長させた延長線に対して５〜１０゜の傾きをもって
形成した。
明において、圧力取出口をジェットノズルの壁面にそっ
て延長させた延長線に対して５〜１０゜の傾きをもって
形成した。
【０００８】
【作用】請求項１記載の発明では、ジェットノズルの出
口に近接して形成した圧力取出口がジェットノズルから
の噴流の流れ方向にそって長い略長方形であるため、圧
力センサは特定の狭い範囲の圧力を計測するのではなく
広い範囲の圧力の平均値を計測することになり、ジェッ
トノズルからの噴流の変動や帰還流路にそって帰還した
帰還流と噴流とがぶつかる際の渦の発生に基づく圧力変
動が相殺され、フルイディック振動による圧力変化の計
測精度が高くなり、ひいては、流体の流量計測精度が高
くなると共に流量の計測可能な範囲が広くなる。
口に近接して形成した圧力取出口がジェットノズルから
の噴流の流れ方向にそって長い略長方形であるため、圧
力センサは特定の狭い範囲の圧力を計測するのではなく
広い範囲の圧力の平均値を計測することになり、ジェッ
トノズルからの噴流の変動や帰還流路にそって帰還した
帰還流と噴流とがぶつかる際の渦の発生に基づく圧力変
動が相殺され、フルイディック振動による圧力変化の計
測精度が高くなり、ひいては、流体の流量計測精度が高
くなると共に流量の計測可能な範囲が広くなる。
【０００９】請求項２記載の発明では、圧力取出口の形
成位置をジェットノズルの壁面にそって延長させた延長
線に対してジェットノズルの開口幅寸法の１０〜１５％
内側に寄せた位置が圧力取出口の中心線となるように
し、さらに、圧力取出口に関して、圧力取出口における
ジェットノズルからの噴流の流れ方向にそった長さ寸法
をジェットノズルの開口幅寸法の１〜３倍に形成すると
共に圧力取出口における噴流の流れ方向と略直交する向
きの幅寸法をジェットノズルの開口幅寸法の３０〜４０
％に形成することにより、ジェットノズルからの噴流の
変動や帰還流路にそって帰還した帰還流と噴流とがぶつ
かる際の渦の発生に基づく圧力変動の相殺が確実に行な
われる。
成位置をジェットノズルの壁面にそって延長させた延長
線に対してジェットノズルの開口幅寸法の１０〜１５％
内側に寄せた位置が圧力取出口の中心線となるように
し、さらに、圧力取出口に関して、圧力取出口における
ジェットノズルからの噴流の流れ方向にそった長さ寸法
をジェットノズルの開口幅寸法の１〜３倍に形成すると
共に圧力取出口における噴流の流れ方向と略直交する向
きの幅寸法をジェットノズルの開口幅寸法の３０〜４０
％に形成することにより、ジェットノズルからの噴流の
変動や帰還流路にそって帰還した帰還流と噴流とがぶつ
かる際の渦の発生に基づく圧力変動の相殺が確実に行な
われる。
【００１０】請求項３記載の発明では、圧力取出口をジ
ェットノズルからの噴流の偏流方向に対応した傾きをも
って形成することにより、フルイディック振動による圧
力変化の計測精度がより一層高くなる。
ェットノズルからの噴流の偏流方向に対応した傾きをも
って形成することにより、フルイディック振動による圧
力変化の計測精度がより一層高くなる。
【００１１】請求項４記載の発明では、圧力取出口をジ
ェットノズルの壁面にそって延長させた延長線に対して
５〜１０゜の傾きをもって形成することにより、圧力取
出口がジェットノズルからの噴流の偏流方向に対応した
傾きをもつことになり、フルイディック振動による圧力
変化の計測精度がより一層高くなる。
ェットノズルの壁面にそって延長させた延長線に対して
５〜１０゜の傾きをもって形成することにより、圧力取
出口がジェットノズルからの噴流の偏流方向に対応した
傾きをもつことになり、フルイディック振動による圧力
変化の計測精度がより一層高くなる。
【００１２】
【実施例】本発明の第一の実施例を図１乃至図４に基づ
いて説明する。まず、図１は本発明に係るフルイディッ
ク流量計の全体構造を示したもので、流体の一つである
ガスが流入する流入管１とそのガスが排出される排出管
２との間には、流入管１から流入したガスを２次元的な
流れに整流するセットリングスペース３と、セットリン
グスペース３において整流されたガスをさらに整流する
流路縮小部４と、セットリングスペース３と流路縮小部
４とにおいて整流されたガスが流れると共にこのガスを
さらに整流するジェットノズル５と、ジェットノズル５
内を通過したガスが噴流となって流入する流路拡大部６
とが同一線上に順に形成されている。
いて説明する。まず、図１は本発明に係るフルイディッ
ク流量計の全体構造を示したもので、流体の一つである
ガスが流入する流入管１とそのガスが排出される排出管
２との間には、流入管１から流入したガスを２次元的な
流れに整流するセットリングスペース３と、セットリン
グスペース３において整流されたガスをさらに整流する
流路縮小部４と、セットリングスペース３と流路縮小部
４とにおいて整流されたガスが流れると共にこのガスを
さらに整流するジェットノズル５と、ジェットノズル５
内を通過したガスが噴流となって流入する流路拡大部６
とが同一線上に順に形成されている。
【００１３】前記流路拡大部６内には、前記ジェットノ
ズル５に対向する位置に誘振子７が形成され、さらに、
この誘振子７の背後にエンドブロック８が形成されてい
る。そして、これらのエンドブロック８と流路拡大部６
の前方側内周壁９とによって、前記ジェットノズル５か
らのガスの噴流をジェットノズル５の出口の部分に向け
て帰還させる帰還流路１０ａ，１０ｂが形成されてい
る。なお、これらの誘振子７と帰還流路１０ａ，１０ｂ
とを流路拡大部６内に形成することにより、前記ジェッ
トノズル５からの噴流が交互に偏流するフルイディック
振動が発生する。
ズル５に対向する位置に誘振子７が形成され、さらに、
この誘振子７の背後にエンドブロック８が形成されてい
る。そして、これらのエンドブロック８と流路拡大部６
の前方側内周壁９とによって、前記ジェットノズル５か
らのガスの噴流をジェットノズル５の出口の部分に向け
て帰還させる帰還流路１０ａ，１０ｂが形成されてい
る。なお、これらの誘振子７と帰還流路１０ａ，１０ｂ
とを流路拡大部６内に形成することにより、前記ジェッ
トノズル５からの噴流が交互に偏流するフルイディック
振動が発生する。
【００１４】つぎに、フルイディック流量計には、フル
イディック振動による圧力変化を計測する圧力センサ
（図示せず）と、この圧力センサからの計測結果に基づ
いてガスの流量を計測する流量測定器（図示せず）とが
設けられている。そして、前記流路拡大部６内における
前記ジェットノズル５の出口に近接した位置に前記圧力
センサに接続される一対の圧力取出口１１が形成されて
おり、また、この圧力取出口１１は前記ジェットノズル
５からの噴流の流れ方向にそって長い長方形に形成され
ている。
イディック振動による圧力変化を計測する圧力センサ
（図示せず）と、この圧力センサからの計測結果に基づ
いてガスの流量を計測する流量測定器（図示せず）とが
設けられている。そして、前記流路拡大部６内における
前記ジェットノズル５の出口に近接した位置に前記圧力
センサに接続される一対の圧力取出口１１が形成されて
おり、また、この圧力取出口１１は前記ジェットノズル
５からの噴流の流れ方向にそって長い長方形に形成され
ている。
【００１５】ここで、前記圧力取出口１１の具体的な形
成位置に関しては、前記ジェットノズル５の壁面にそっ
て延長させた延長線に対してジェットノズル５の開口幅
寸法Ｗ（Ｗ＝３ｍｍ）の１０％内側に寄せた位置が中心
線となり、かつ、圧力取出口１１の先端部がジェットノ
ズル５の出口からジェットノズル５の開口幅寸法分離反
して形成されている。また、圧力取出口１１の具体的な
サイズに関しては、ジェットノズル５からの噴流の流れ
方向にそった長さ寸法がジェットノズル５の開口幅寸法
の３倍に形成され、噴流の流れ方向と略直交する向きの
幅寸法がジェットノズル５の開口幅寸法の３０％に形成
されている。
成位置に関しては、前記ジェットノズル５の壁面にそっ
て延長させた延長線に対してジェットノズル５の開口幅
寸法Ｗ（Ｗ＝３ｍｍ）の１０％内側に寄せた位置が中心
線となり、かつ、圧力取出口１１の先端部がジェットノ
ズル５の出口からジェットノズル５の開口幅寸法分離反
して形成されている。また、圧力取出口１１の具体的な
サイズに関しては、ジェットノズル５からの噴流の流れ
方向にそった長さ寸法がジェットノズル５の開口幅寸法
の３倍に形成され、噴流の流れ方向と略直交する向きの
幅寸法がジェットノズル５の開口幅寸法の３０％に形成
されている。
【００１６】このような構成において、まず、フルイデ
ィック振動の発生原理について説明する。ジェットノズ
ル５から流路拡大部６内に噴流が流入すると、この噴流
は誘振子７に当たることにより左右に分かれ、誘振子７
からエンドブロック８に至るまでの空間において渦が発
生する。そして、噴流がある流量を越えると、この渦の
不安定性によって噴流が左又は右に偏った流れとなる。
この偏った流れはエンドブロック８にぶつかると共にエ
ンドブロック８の前面にそって流れ、さらに、前方側内
周壁９に沿って流れ、ジェットノズル５からの噴流に対
して略直交する向きにぶつかる。すると、ジェットノズ
ル５からの噴流は最初の偏流方向と反対側へ偏流するこ
とになり、これが繰り返されることによってジェットノ
ズル５からの噴流が交互に左右方向へ偏流するフルイデ
ィック振動が発生する。
ィック振動の発生原理について説明する。ジェットノズ
ル５から流路拡大部６内に噴流が流入すると、この噴流
は誘振子７に当たることにより左右に分かれ、誘振子７
からエンドブロック８に至るまでの空間において渦が発
生する。そして、噴流がある流量を越えると、この渦の
不安定性によって噴流が左又は右に偏った流れとなる。
この偏った流れはエンドブロック８にぶつかると共にエ
ンドブロック８の前面にそって流れ、さらに、前方側内
周壁９に沿って流れ、ジェットノズル５からの噴流に対
して略直交する向きにぶつかる。すると、ジェットノズ
ル５からの噴流は最初の偏流方向と反対側へ偏流するこ
とになり、これが繰り返されることによってジェットノ
ズル５からの噴流が交互に左右方向へ偏流するフルイデ
ィック振動が発生する。
【００１７】ここで、このようにして発生するフルイデ
ィック振動の周波数はガスの流量の増加に対して直線的
に増加する。このため、フルイディック振動による圧力
変化を圧力センサで計測することによりフルイディック
振動の周波数を計測することができ、その計測結果に基
づいて流量測定器によりガスの流量を求めることができ
る。
ィック振動の周波数はガスの流量の増加に対して直線的
に増加する。このため、フルイディック振動による圧力
変化を圧力センサで計測することによりフルイディック
振動の周波数を計測することができ、その計測結果に基
づいて流量測定器によりガスの流量を求めることができ
る。
【００１８】つぎに、図４はジェットノズル５からの噴
流の平均速度と速度変動幅とをジェットノズル５の出口
からの距離を変えた３個所で計測した結果を示したグラ
フであり、図３は計測個所（ａ，ｂ，ｃ点）を示したも
のである。なお、この計測には熱線流速計を使用し、各
計測個所において噴流の流れる方向と直交する向きに
０．２ｍｍ間隔で計測したものである。また、図３にお
けるａ，ｂ，ｃ各点の計測結果が図４の（ａ），
（ｂ），（ｃ）に対応する。この計測結果からわかるよ
うに、ジェットノズル５の出口に近い部分では急峻な速
度分布をもち、フルイディック振動が発生していること
を示す速度変動幅が大きい部分もジェットノズル５の出
口に近い部分に現われる。そして、ジェットノズル５の
出口から下流側へ離反するにつれて、平均速度は低下し
て横に拡がり、速度変動幅のピーク点も拡がる。
流の平均速度と速度変動幅とをジェットノズル５の出口
からの距離を変えた３個所で計測した結果を示したグラ
フであり、図３は計測個所（ａ，ｂ，ｃ点）を示したも
のである。なお、この計測には熱線流速計を使用し、各
計測個所において噴流の流れる方向と直交する向きに
０．２ｍｍ間隔で計測したものである。また、図３にお
けるａ，ｂ，ｃ各点の計測結果が図４の（ａ），
（ｂ），（ｃ）に対応する。この計測結果からわかるよ
うに、ジェットノズル５の出口に近い部分では急峻な速
度分布をもち、フルイディック振動が発生していること
を示す速度変動幅が大きい部分もジェットノズル５の出
口に近い部分に現われる。そして、ジェットノズル５の
出口から下流側へ離反するにつれて、平均速度は低下し
て横に拡がり、速度変動幅のピーク点も拡がる。
【００１９】ここで、圧力取出口１１をジェットノズル
５からの噴流の流れ方向にそって長方形に形成すること
により、圧力センサは特定の狭い範囲の圧力を計測する
のではなく広い範囲の圧力の平均値を計測することにな
るため、ジェットノズル５からの噴流の変動や、帰還流
路１０ａ，１０ｂにそってジェットノズル５の出口へ帰
還した帰還流と噴流とがぶつかる際の渦の発生に基づい
て起こる圧力変動（ノイズ）が相殺されて平均化され
る。このため、Ｓ／Ｎ比が高くなると共にフルイディッ
ク振動による圧力変化の計測精度が高くなり、ひいて
は、ガスの流量計測精度が高くなると共に流量の計測可
能な範囲が広くなる。
５からの噴流の流れ方向にそって長方形に形成すること
により、圧力センサは特定の狭い範囲の圧力を計測する
のではなく広い範囲の圧力の平均値を計測することにな
るため、ジェットノズル５からの噴流の変動や、帰還流
路１０ａ，１０ｂにそってジェットノズル５の出口へ帰
還した帰還流と噴流とがぶつかる際の渦の発生に基づい
て起こる圧力変動（ノイズ）が相殺されて平均化され
る。このため、Ｓ／Ｎ比が高くなると共にフルイディッ
ク振動による圧力変化の計測精度が高くなり、ひいて
は、ガスの流量計測精度が高くなると共に流量の計測可
能な範囲が広くなる。
【００２０】なお、本実施例においては長方形の圧力取
出口１１を例に挙げて説明したが、図５に示したように
両端を円形とした小判形の圧力取出口１１ａや、図６に
示したように噴流の流れ方向下流側に向かうにつれて幅
寸法が次第に大きくなる台形の圧力取出口１１ｂや、楕
円形の圧力取出口であってもよい。
出口１１を例に挙げて説明したが、図５に示したように
両端を円形とした小判形の圧力取出口１１ａや、図６に
示したように噴流の流れ方向下流側に向かうにつれて幅
寸法が次第に大きくなる台形の圧力取出口１１ｂや、楕
円形の圧力取出口であってもよい。
【００２１】また、本実施例においては、図１に示した
ように左右対称形の一般的な形状のフルイディック流量
計に本発明を適用した場合を例に挙げて説明したが、本
出願人が特願平３−２０９１１０号において提案した左
右非対称形のフルイディック流量計においても本発明を
適用することができる。
ように左右対称形の一般的な形状のフルイディック流量
計に本発明を適用した場合を例に挙げて説明したが、本
出願人が特願平３−２０９１１０号において提案した左
右非対称形のフルイディック流量計においても本発明を
適用することができる。
【００２２】ついで、本発明の第二の実施例を図７に基
づいて説明する。なお、図１乃至図図４において説明し
た部分と同一部分は同一符号で示し、説明も省略する。
本実施例は、両端を円形とした小判形の圧力取出口１１
ｃを噴流がフルイディック振動する際の偏流方向に対応
した傾き、具体的にはジェットノズル５の壁面にそって
延長させた延長線に対して１０゜の傾きをもって形成し
たものである。
づいて説明する。なお、図１乃至図図４において説明し
た部分と同一部分は同一符号で示し、説明も省略する。
本実施例は、両端を円形とした小判形の圧力取出口１１
ｃを噴流がフルイディック振動する際の偏流方向に対応
した傾き、具体的にはジェットノズル５の壁面にそって
延長させた延長線に対して１０゜の傾きをもって形成し
たものである。
【００２３】このように圧力取出口１１ｃを傾けて形成
することにより、圧力取出口１１ｃが図３及び図４にお
いて説明した速度変動幅のピーク点を通るようになるた
め、フルイディック振動による圧力変化の計測精度が高
くなり、ひいては、ガスの流量計測精度がより一層高く
なると共に流量の計測可能な範囲がより一層広くなる。
することにより、圧力取出口１１ｃが図３及び図４にお
いて説明した速度変動幅のピーク点を通るようになるた
め、フルイディック振動による圧力変化の計測精度が高
くなり、ひいては、ガスの流量計測精度がより一層高く
なると共に流量の計測可能な範囲がより一層広くなる。
【００２４】
【発明の効果】請求項１記載の発明は上述のように、フ
ルイディック振動による圧力変化を計測する圧力センサ
の圧力取出口をジェットノズルの出口に近接させて流路
拡大部内に形成すると共にこの圧力取出口をジェットノ
ズルからの噴流の流れ方向にそって長い略長方形に形成
したので、圧力センサは特定の狭い範囲の圧力を計測す
るのではなく広い範囲の圧力の平均値を計測することに
なるため、ジェットノズルからの噴流の変動や帰還流路
にそって帰還した帰還流と噴流とがぶつかる際の渦の発
生に基づく圧力変動を相殺することができ、これによっ
て、フルイディック振動による圧力変化の計測精度を高
くすることができ、ひいては、流体の流量計測精度を高
くすることができると共に流量の計測可能な範囲を広く
することができる等の効果を有する。
ルイディック振動による圧力変化を計測する圧力センサ
の圧力取出口をジェットノズルの出口に近接させて流路
拡大部内に形成すると共にこの圧力取出口をジェットノ
ズルからの噴流の流れ方向にそって長い略長方形に形成
したので、圧力センサは特定の狭い範囲の圧力を計測す
るのではなく広い範囲の圧力の平均値を計測することに
なるため、ジェットノズルからの噴流の変動や帰還流路
にそって帰還した帰還流と噴流とがぶつかる際の渦の発
生に基づく圧力変動を相殺することができ、これによっ
て、フルイディック振動による圧力変化の計測精度を高
くすることができ、ひいては、流体の流量計測精度を高
くすることができると共に流量の計測可能な範囲を広く
することができる等の効果を有する。
【００２５】請求項２記載の発明は上述のように、請求
項１記載の発明において、ジェットノズルの壁面にそっ
て延長させた延長線に対して前記ジェットノズルの開口
幅寸法の１０〜１５％内側に寄せた位置を圧力取出口の
中心線とし、前記圧力取出口における前記ジェットノズ
ルからの噴流の流れ方向にそった長さ寸法を前記ジェッ
トノズルの開口幅寸法の１〜３倍に形成すると共に前記
圧力取出口における前記噴流の流れ方向と略直交する向
きの幅寸法を前記ジェットノズルの開口幅寸法の３０〜
４０％に形成したので、圧力取出口をこのような位置及
びサイズに形成することによりジェットノズルからの噴
流の変動や帰還流路にそって帰還した帰還流と噴流とが
ぶつかる際の渦の発生に基づく圧力変動の相殺を確実に
行なうことができ、これによって、フルイディック振動
による圧力変化の計測精度を確実に高くすることがで
き、ひいては、流体の流量計測精度を確実に高くするこ
とができると共に流量の計測可能な範囲を確実に広くす
ることができる等の効果を有する。
項１記載の発明において、ジェットノズルの壁面にそっ
て延長させた延長線に対して前記ジェットノズルの開口
幅寸法の１０〜１５％内側に寄せた位置を圧力取出口の
中心線とし、前記圧力取出口における前記ジェットノズ
ルからの噴流の流れ方向にそった長さ寸法を前記ジェッ
トノズルの開口幅寸法の１〜３倍に形成すると共に前記
圧力取出口における前記噴流の流れ方向と略直交する向
きの幅寸法を前記ジェットノズルの開口幅寸法の３０〜
４０％に形成したので、圧力取出口をこのような位置及
びサイズに形成することによりジェットノズルからの噴
流の変動や帰還流路にそって帰還した帰還流と噴流とが
ぶつかる際の渦の発生に基づく圧力変動の相殺を確実に
行なうことができ、これによって、フルイディック振動
による圧力変化の計測精度を確実に高くすることがで
き、ひいては、流体の流量計測精度を確実に高くするこ
とができると共に流量の計測可能な範囲を確実に広くす
ることができる等の効果を有する。
【００２６】請求項３記載の発明は上述のように、請求
項１記載の発明において、圧力取出口をジェットノズル
からの噴流の偏流方向に対応した傾きをもって形成した
ので、フルイディック振動による圧力変化の計測精度を
高くすることができ、ひいては、流体の流量計測精度を
より一層高くすることができると共に流量の計測可能な
範囲をより一層広くすることができる等の効果を有す
る。
項１記載の発明において、圧力取出口をジェットノズル
からの噴流の偏流方向に対応した傾きをもって形成した
ので、フルイディック振動による圧力変化の計測精度を
高くすることができ、ひいては、流体の流量計測精度を
より一層高くすることができると共に流量の計測可能な
範囲をより一層広くすることができる等の効果を有す
る。
【００２７】請求項４記載の発明は上述のように、請求
項３記載の発明において、圧力取出口をジェットノズル
の壁面にそって延長させた延長線に対して５〜１０゜の
傾きをもって形成したので、圧力取出口がジェットノズ
ルからの噴流の偏流方向に対応した傾きをもつことにな
り、フルイディック振動による圧力変化の計測精度をよ
り一層高くすることができ、ひいては、流体の流量計測
精度をより一層高くすることができると共に流量の計測
可能な範囲をより一層広くすることができる等の効果を
有する。
項３記載の発明において、圧力取出口をジェットノズル
の壁面にそって延長させた延長線に対して５〜１０゜の
傾きをもって形成したので、圧力取出口がジェットノズ
ルからの噴流の偏流方向に対応した傾きをもつことにな
り、フルイディック振動による圧力変化の計測精度をよ
り一層高くすることができ、ひいては、流体の流量計測
精度をより一層高くすることができると共に流量の計測
可能な範囲をより一層広くすることができる等の効果を
有する。
【図１】本発明の第一の実施例を示した平面図である。
【図２】圧力取出口及びその周囲を拡大して示した平面
図である。
図である。
【図３】ジェットノズルからの噴流の平均速度と速度変
動幅との計測個所を示した平面図である。
動幅との計測個所を示した平面図である。
【図４】ジェットノズルからの噴流の平均速度と速度変
動幅との計測結果を示したグラフである。
動幅との計測結果を示したグラフである。
【図５】第一の変形例の圧力取出口及びその周囲を拡大
して示した平面図である。
して示した平面図である。
【図６】第二の変形例の圧力取出口及びその周囲を拡大
して示した平面図である。
して示した平面図である。
【図７】本発明の第二の実施例における圧力取出口及び
その周囲を拡大して示した平面図である。
その周囲を拡大して示した平面図である。
４ 流路縮小部 ５ ジェットノズル ６ 流路拡大部 ７ 誘振子 １０ａ，１０ｂ 帰還流路 １１，１１ａ，１１ｂ，１１ｃ 圧力取出口
フロントページの続き (72)発明者 伊藤 茂行 愛知県名古屋市東区泉二丁目28番24号 リコーエレメックス株式会社内 (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01F 1/20
Claims (4)
- 【請求項１】 流路縮小部とジェットノズルと流路拡大
部とを同一線上に順に設け、前記ジェットノズルから前
記流路拡大部内へ流入する流体の噴流を交互に偏流させ
てフルイディック振動を発生させるための誘振子と帰還
流路とを前記流路拡大部内に形成し、前記フルイディッ
ク振動による圧力変化を計測することにより前記流体の
流量を計測するフルイディック流量計において、圧力変
化を計測する圧力センサの圧力取出口を前記ジェットノ
ズルの出口に近接させて前記流路拡大部内に形成すると
共にこの圧力取出口を前記噴流の流れ方向にそって長い
略長方形に形成したことを特徴とするフルイディック流
量計。 - 【請求項２】 ジェットノズルの壁面にそって延長させ
た延長線に対して前記ジェットノズルの開口幅寸法の１
０〜１５％内側に寄せた位置を圧力取出口の中心線と
し、前記圧力取出口における前記ジェットノズルからの
噴流の流れ方向にそった長さ寸法を前記ジェットノズル
の開口幅寸法の１〜３倍に形成すると共に前記圧力取出
口における前記噴流の流れ方向と略直交する向きの幅寸
法を前記ジェットノズルの開口幅寸法の３０〜４０％に
形成したことを特徴とする請求項１記載のフルイディッ
ク流量計。 - 【請求項３】 圧力取出口をジェットノズルからの噴流
の偏流方向に対応した傾きをもって形成したことを特徴
とする請求項１記載のフルイディック流量計。 - 【請求項４】 圧力取出口をジェットノズルの壁面にそ
って延長させた延長線に対して５〜１０゜の傾きをもっ
て形成したことを特徴とする請求項３記載のフルイディ
ック流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03918693A JP3270171B2 (ja) | 1993-03-01 | 1993-03-01 | フルイディック流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03918693A JP3270171B2 (ja) | 1993-03-01 | 1993-03-01 | フルイディック流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06249683A JPH06249683A (ja) | 1994-09-09 |
| JP3270171B2 true JP3270171B2 (ja) | 2002-04-02 |
Family
ID=12546083
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03918693A Expired - Fee Related JP3270171B2 (ja) | 1993-03-01 | 1993-03-01 | フルイディック流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3270171B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3364115B2 (ja) * | 1997-07-03 | 2003-01-08 | 三菱電機株式会社 | 感熱式流量検出素子 |
| CN109701769A (zh) * | 2019-02-21 | 2019-05-03 | 孙国杰 | 音速喷嘴 |
-
1993
- 1993-03-01 JP JP03918693A patent/JP3270171B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06249683A (ja) | 1994-09-09 |
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