JP3205045B2 - 流体振動式流量計 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は流体振動式流量計に係
り、特に広い測定範囲にわたり高精度の流量計測が可能
な流体振動式流量計に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、流量計本体内に、順次下流に向っ
て、噴出ノズル、柱状ターゲット及び絞り部が形成され
てなる流体振動式の流量計が知られている。この種の流
量計は噴出ノズルから噴出した噴流の向きが、流体の物
性によらず、流量に比例した振動数で柱状ターゲットの
両側に交互に偏向する現象（流体振動）を利用し、圧力
変化等から検知したこの流体振動の振動数により流量を
演算してこれを表示するものである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記流量計は、機械的
可動部がなく、流体の物性に依存しないという優れたも
のであるが、改善すべき問題点を有していた。すなわ
ち、流量の小さな範囲では性能が安定せず測定誤差が非
常に大きくなるという問題があった。これは、従来の流
量計が、前記噴流の一部が噴出ノズル側に戻る流れ、す
なわち帰還流と呼ばれるものにより前記流体振動を発生
させる構成をとっていたことに起因することが大きかっ
た。

【０００４】そこで、本出願人は、特願平２−２４９５
４１号により、横断面が四角形状とされた柱状ターゲッ
トの後方に発生させた渦により前記流体振動を発生させ
る新方式の流体振動式流量計を提案した。この方式で
は、従来の帰還流によるものに比べ、同じ流量であって
も流体の振動数が高くなり、又流体振動が安定的に生じ
易くなるので、測定精度が向上するという効果があっ
た。

【０００５】しかしながら、この流体振動式流量計では
大流量計測時噴出ノズルからの噴流の流速が大きくなる
につれて流体の慣性力が大きくなり、柱状ターゲットの
作用により一度偏向した噴流の流れが反対側へ偏向しに
くくなる。

【０００６】図１３は上記提案の流体振動式流量計にお
ける流量を変化させたときの器差の変化を示すグラフで
あり、同図より流量が増加すると器差がプラス側あるい
はマイナス側へ増大することがわかる。

【０００７】従って、上記提案の流量計においては、噴
出ノズルからの噴流の流速が大きくなると噴流が進路を
変えにくくなり、図１３に示すように器差が大きくなっ
てしまうといった課題がある。

【０００８】そこで、本発明は上記課題を解決した流体
振動式流量計を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、噴出
ノズルと横断面が四角形状とされた柱状ターゲットと絞
り部とが流量計本体の内部中心線上に順次形成された流
体振動式流量計であって、前記噴出ノズルに対向するよ
うに設けられた前記柱状ターゲットのノズル対向面を円
弧状の凹面に形成すると共に、該凹面の両端を曲面に形
成し、 前記柱状ターゲットのノズル対向面に設けられた
前記円弧の半径Ｒ _１ と前記ノズル対向面の幅ａとが、
０．７≦Ｒ _１ ／ａ≦１．２を満足するように設定され、
前記柱状ターゲットのノズル対向面の両端の曲面の半径
Ｒ _２ と、前記ノズル対向面の幅ａとが、Ｒ _２ ／ａ≦０．
１を満足するように設定されていることを特徴とする。

【００１０】又、請求項２の発明は、噴出ノズルと横断
面が四角形状とされた柱状ターゲットと絞り部とが流量
計本体の内部中心線上に順次形成された流体振動式流量
計であって、前記噴出ノズルに対向するように設けられ
た前記柱状ターゲットのノズル対向面を矩形状の凹面に
形成したことを特徴とする。

【００１１】又、請求項３の発明は、前記矩形の幅ｅと
前記柱状ターゲットのノズル対向面の幅ａとが、０．５
≦ｅ／ａ＜１．０を満足するように設定されていること
を特徴とする。

【００１２】又、請求項４の発明は、前記柱状ターゲッ
トのノズル対向面の両端を面取りしてなることを特徴と
する。

【００１３】又、請求項５の発明は、前記柱状ターゲッ
トのノズル対向面の両端の面取りされた部分ｃと、前記
ノズル対向面の幅ａとが、ｃ／ａ≦０．１を満足するよ
うに設定されていることを特徴とする。

【００１４】

【作用】本発明は、噴出ノズルに対向するように設けら
れた柱状ターゲットのノズル対向面を円弧状または矩形
状の凹面に形成すると共に、凹面の両端を曲面または面
取りに形成し、さらに柱状ターゲットのノズル対向面に
設けられた円弧の半径Ｒ _１ とノズル対向面の幅ａとが、
０．７≦Ｒ _１ ／ａ≦１．２を満足するように設定され、
柱状ターゲットのノズル対向面の両端の曲面の半径Ｒ _２
と、ノズル対向面の幅ａとが、Ｒ _２ ／ａ≦０．１を満足
するように設定されているため、柱状ターゲットの前面
において渦が発生し、この渦発生により噴流の流れを反
対側へ偏向させる力が増大し、流体の慣性力が大きくな
る高流量域においても流量に比例した噴流の偏向動作
（発振）が安定する。さらに柱状ターゲットの前面両端
の角部に曲面又は面取り部を設けることにより柱状ター
ゲットの下流側での渦発生が安定し、小流量域における
流量計測精度が向上する。

【００１５】

【実施例】図１乃至図３に本発明になる流体振動式流量
計の第１実施例を示す。

【００１６】各図中、流体振動式流量計は流量計本体１
の内部に下流に向って噴出ノズル２，流路拡大部４及び
流路絞り部５が順次形成され、さらに前記流路拡大部４
内の中心線Ｊ上に柱状ターゲット３が設けられている。

【００１７】なお、噴出ノズル２，流路拡大部４及び流
路絞り部５の軸直角断面（中心線Ｊに対しての直交断
面）形状はすべて矩形とされている。さらに、図１にお
いて紙面と平行な方向にはどの位置でも同一形状であ
る。

【００１８】柱状ターゲット３は図３に拡大して示すよ
うに横断面形状が略長方形状に形成されており、噴出ノ
ズル２に対向するノズル対向面としての前面３ａの幅寸
法ａと、前面３ａの両端より後方に延在する側面３ｂ，
３ｃの厚さ寸法ｂとがａ＞ｂとなるように設定されてい
る。柱状ターゲット３の前面３ａの中央には上下方向に
延在する凹面１３が形成されている。この凹面１３は半
径Ｒ₁ の円弧状凹部であり、比較的ゆるやかな曲面状の
へこみである。そして、柱状ターゲット３の前面３ａの
両端には半径Ｒ₂ の円弧状の曲面３ｄ，３ｅが形成され
ている。従って、前面３ａの両端と側面３ｂ，３ｃとは
曲面３ｄ，３ｅを介して連続する。

【００１９】流量計本体１の中心線Ｊを含み柱状ターゲ
ット３に直交する平面（図１においては紙面）上におい
て、噴出ノズル２の中心線Ｊより一側の出口内面の端部
２ａから接線状に延び中心線Ｊと交差して柱状ターゲッ
ト３の中心線Ｊより他側の角部の曲面３ｄと接する円弧
６ａの延長線、あるいは、噴出ノズル２出口内面の端部
２ｂから接線状に延び中心線Ｊと交差して柱状ターゲッ
ト３の両端の曲面３ｅと接する円弧６ｂの延長線が、そ
れぞれ流量計本体１内の絞り部５を形成する壁面５ｂ，
５ａに達するように各部の寸法が設定されている。

【００２０】即ち、上記構成になる流体振動式流量計の
各部分は以下のような特徴的な構成となっている。ま
ず、第一に、柱状ターゲット３は前面３ａが前述した凹
面１３，即ち、円弧状の凹形曲面とされている。第二
に、柱状ターゲット３の前面３ａの凹面１３の半径Ｒ₁
と柱状ターゲット３の幅ａとが次式(1) を満足するよう
に設定されている。

【００２１】 0.7 ≦Ｒ₁ ／ａ≦1.2 …（１） 第三に、柱状ターゲット３の前面３ａと側面３ｂ，３ｃ
とからなる角部の曲面３ｄ，３ｅの半径Ｒ₂ と柱状ター
ゲット３の幅ａとが次式(2) を満足するように設定され
ている。

【００２２】 Ｒ₂ ／ａ≦0.1 …（２） 第四に、噴出ノズル２の幅ｔと柱状ターゲットの幅ａと
が次式(3) を満足するように設定されている。

【００２３】 1.0 ≦ａ／ｔ≦1.4 …（３） 第五に、柱状ターゲット３の前面３ａの幅ａと柱状ター
ゲット３の側面３ｂ，３ｃの厚さｂとが次式(4) を満足
するように設定されている。

【００２４】 ｂ／ａ≦0.6 …（４） 第六に、柱状ターゲット３に直交する平面上において、
図１に示す如く、噴出ノズル２の出口内面の一方の端部
２ａより接線方向に出て、軸線Ｊに対して前記端部２ａ
と反対側に位置する柱状ターゲット３の端部３ｂに接す
る円弧６ａの延長線が、流路拡大部４の内側面４ｂに達
する手前で、絞り部５から延びる壁面５ｂに達し、また
円弧６ｂについても同様の条件が満足されるように、噴
出ノズル２の幅ｔ，噴出ノズル２からは柱状ターゲット
３までの距離Ｈ，噴出ノズル２から絞り部５までの距離
Ｌ，絞り部５の幅Ｔ，流路拡大部４の幅Ｗが設定されて
いる。

【００２５】第七に、前記壁面５ａ，５ｂと流路拡大部
４の内側面４ａ，４ｂとはそれぞれ明らかに分離した形
状とされている。すなわち、なだらかな曲面で接続され
ておらず、噴出ノズル２からの噴流が前記壁面５ａ，５
ｂに当たっても噴出ノズル２側に戻る帰還流が生じにく
い形状とされている。

【００２６】第八に、噴出ノズル２の出口から絞り部５
までの距離Ｌと、噴出ノズル２の出口から柱状ターゲッ
ト３までの距離Ｈとが、次式(5) を満足するように設定
されている。

【００２７】 Ｈ／Ｌ≧0.5 …（５） 第九に、柱状ターゲット３の幅ａ及び絞り部５の幅Ｔと
が、次式(6) を満足するように設定されている。

【００２８】 ａ≦Ｔ …（６） なお、図１において８は、流路拡大部４内の圧力変化あ
るいは流速の変化を検出するセンサであり、９はこのセ
ンサ８から出力される信号を積算して流量を求め表示す
る流量測定器である。

【００２９】今、上記流量計本体１を被測流体が流れる
流路に接続すると、まず、噴出ノズル２から噴出した噴
流は、柱状ターゲット３のどちらかに偏向し、例えば壁
面５ａに向かう流れとなる。すると、柱状ターゲット３
の下流側に図２に示すような渦１０が発生し、この渦１
０によって柱状ターゲット３の廻りに循環流１１が発生
する。この循環流１１は、噴流１２を反対側へ偏向させ
る向きに発生するので、これによって噴流１２は流れ方
向が壁面５ｂに向かうように切換わる。そして、この切
換えが交互に発生し、流量に比例した周波数の流体振動
となる。

【００３０】従って、噴流２の流れ方向の切換に伴う流
路拡大部４内の圧力変化あるいは流速の変化を検出する
センサ８から出力される信号を流量測定器９で演算処理
することによって、流量を知ることができる。

【００３１】さらに、上記構成になる流体振動式流量計
では、柱状ターゲット３の前面３ａに円弧状の凹面１３
が形成され、且つ前記式(1) ，(2) を満足するように設
定されているので、図２に示すように柱状ターゲット３
の上流側に渦１４が発生する。

【００３２】この渦１４は柱状ターゲット３の円弧状の
凹面１３に沿うように発生し、循環流１１と同様に噴流
１２の流れを反対側へ偏向させる向きの旋回流として作
用する。従って、渦１４の発生により反対側へ偏向させ
る力が増大し、噴流１２は上記旋回流１１と渦１４との
作用により流体の慣性力が増大する高流量域においても
流れ方向の切換えが安定し、流量に比例した周波数で振
動する。これにより、高流量域での流量計測精度が高ま
り、計測可能な最大流量Ｑmax が大となり、流量計測範
囲がより広範囲に設定できる。

【００３３】図４は、流量を高流量域の一定値に保ち、
Ｒ₁ ／ａを変化させた場合の最大器差の値を示すグラフ
であり、同図中、0.7 ≦Ｒ₁ ／ａ≦1.2 の範囲で器差が
小さいことがわかる。

【００３４】よって、柱状ターゲット３の円弧状の凹面
１３が前記式(1) を満足するように形成されていると
き、上記渦１４の発生による効果が得られることがわか
る。

【００３５】又、本実施例では、柱状ターゲット３の前
面３ａの幅ａと、柱状ターゲット３の前面３ａと側面３
ｂ，３ｃとの曲面３ｄ，３ｅの半径Ｒ₂ とが前記(2) 式
を満足するように設定されているため、小流量域でも渦
１４及び循環流１１が安定的に発生する。従って、測定
可能な最小流量をより一層下げることができ、その結果
広範囲な流量計測が可能となる。

【００３６】図５は柱状ターゲット３の前面３ａの幅ａ
と柱状ターゲット３の前面両端に形成された曲面３ｄ，
３ｅの半径Ｒ₂ との比Ｒ₂ ／ａを変化させた場合の測定
可能な発振下限流量（最小流量）Ｑmin の値を示すグラ
フである。

【００３７】図５中、測定可能な流量Ｑmin が最小とな
る点はＲ₂ ／ａ＝０（Ｒ₂ ＝０）のときであって、即ち
柱状ターゲット３の曲面３ｄ，３ｅを直角とした場合で
ある。そして、Ｒ₂ ／ａの比を次第に大きくしてゆきＲ
₂ ／ａ≦0.1 の範囲から外れるとＱmin が急激に増大す
ることがわかる。

【００３８】これは、Ｒ₂ ／ａの比が0.1 以上に大きく
なると、小流量域の柱状ターゲット３の下流側における
渦１０の発生が不安定になるからである。従って、測定
可能な流量をできるだけ小さくして流量計測範囲を拡大
するには柱状ターゲット３の前面両端部の曲面３ｄ，３
ｅの半径Ｒ₂ がＲ₂ ／ａ≦0.1 の条件を満足するように
設定されていれば良いことがわかる。

【００３９】そして、図６は上記式(1) ，(2) を満足す
る本実施例の流量計の器差特性を示すグラフである。

【００４０】同図より柱状ターゲット３の前面３ａに円
弧状の凹面１３と前面両端部に曲面３ｄ，３ｅとを形成
することにより、小流量域から高流量域まで全域にわた
って極めて器差が小さく、フラットであることがわか
る。

【００４１】従って、上記構成とされた本発明の流体振
動式流量計によれば、計測可能な流量範囲を高流量側及
び低流量側に拡大し、広範囲にわたって極めて高精度な
流量計測が可能になる。

【００４２】図７に本発明の第２実施例を示す。

【００４３】同図中、柱状ターゲット１５の前面には幅
ｅ、深さｆを有する矩形とされた矩形状凹部１６が形成
されている。この矩形状凹部１６は長手方向に延在する
長方形状の溝として柱状ターゲット１５の前面に設けら
れている。又、柱状ターゲット１５の前面両端には前面
及び側面に対して４５度傾斜するよう面取りされた面取
り部分１５ａ，１５ｂが設けられている。

【００４４】矩形状凹部１６は上記円弧状の凹面１３と
同様な効果が得られるように、渦１４を発生させる作用
を有する。又、面取り部分１５ａ，１５ｂは上記曲面３
ｄ，３ｅと同様小流量域での噴流１２の振動を安定させ
る作用を有する。

【００４５】従って、柱状ターゲット１５の前面に設け
られた矩形状凹部１６により高流量域での噴流１２の発
振動作を安定化するとともに、前面両端の面取り部１５
ａ，１５ｂにより小流量域での噴流１２の発振動作を安
定化して、計測可能な流量範囲を拡大して広範囲な流量
域で高精度な流量計測が可能となる。

【００４６】又、柱状ターゲット１５は上記の効果を得
るため次のような特徴的な構成となっている。

【００４７】第一に、柱状ターゲット１５は前面が矩形
状の凹部１６とされている。

【００４８】第二に、矩形状凹部１６の幅ｅと柱状ター
ゲット１５の幅ａとの比ｅ／ａが次式（７）を満足する
ように設定されている。

【００４９】 ｅ／ａ＜０．５ …（７） 第三に、面取り部分１５ａ，１５ｂの面取りｃと柱状タ
ーゲット１５の幅ａとが次式（８）を満足するように設
定されている。

【００５０】 ｃ／ａ≦０．１ …（８） 尚、上記（７），（８）式以外は上記第１実施例の
（３）〜（６）式を満足するように各部分の寸法が設定
されている。

【００５１】図８は、流量を高流量域の一定値に保ち凹
部１６の幅ｅと柱状ターゲット１５の幅ａとの比ｅ／ａ
を変化させた場合の最大器差の値を示すグラフである。
同図よりｅ／ａ＜０．５であるとき最大器差が小さくな
ることがわかる。

【００５２】又、図９は柱状ターゲット１５の幅ａと柱
状ターゲット１５の前面両端に形成された面取り部分１
５ａ，１５ｂの面取りｃと柱状ターゲット１５の幅ａと
の比ｃ／ａを変化させた場合の測定可能な発振下限量
（最小流量）Ｑmin の値を示すグラフである。

【００５３】同図よりｃ／ａの比が０．１以上になると
Ｑmin が急激に増大することがわかる。

【００５４】従って、上記（７），（８）式を満足する
ように柱状ターゲット１５が形成されていれば、小流量
域での計測可能な最小流量をより小さくして計測範囲を
広げることができる。

【００５５】又、図１０は上記（７），（８）式を満足
する第２実施例の流量計の器差特性を示すグラフであ
る。

【００５６】同図より柱状ターゲット１５に矩形状凹部
１６及び面取り部分１５ａ，１５ｂを形成することによ
り、小流量域から高流量域まで全域にわたって極めて器
差が小さいことがわかる。

【００５７】図１１に本発明の第３実施例を示す。

【００５８】同図中、柱状ターゲット１７は前面に上記
第１実施例で説明した円弧状凹面１３（図３参照）と同
様な凹面１７ａが形成され、前面両端の角部には上記第
２実施例で説明した面取り部１５ａ，１５ｂ（図７参
照）と同様な面取り部１７ｂ，１７ｃが形成されてい
る。

【００５９】又、柱状ターゲット１７の各部の寸法
Ｒ₁ ，ａ，ｂ，ｃは前述した各式（１），（３），
（４），（５），（６），（８）を満足するように設定
されている。従って、図１１に示す柱状ターゲット１７
においても、上記第１，第２実施例と同様な効果が得ら
れる。

【００６０】図１２に本発明の第４実施例を示す。

【００６１】同図中、柱状ターゲット１８は前面に上記
第２実施例で説明した矩形状凹部１６（図７参照）と同
様な矩形状凹部１８ａが形成され、前面両端には上記第
１実施例で説明した曲面３ｄ，３ｅ（図３参照）と同様
な半径Ｒ₂ の曲面が形成されている。

【００６２】又、柱状ターゲット１８の各部の寸法
Ｒ₂ ，ａ，ｂ，ｅは前述した各式（２）〜（７）を満足
するように設定されている。従って、図１２に示す柱状
ターゲット１８においても、上記各実施例と同様な効果
が得られる。

【００６３】

【発明の効果】上述の如く、本発明になる流体振動式流
量計は、噴出ノズルに対向するように設けられた柱状タ
ーゲットのノズル対向面を円弧状または矩形状の凹面に
形成すると共に、凹面の両端を曲面または面取りに形成
し、さらに柱状ターゲットのノズル対向面に設けられた
円弧の半径Ｒ _１ とノズル対向面の幅ａとが、０．７≦Ｒ
_１ ／ａ≦１．２を満足するように設定され、柱状ターゲ
ットのノズル対向面の両端の曲面の半径Ｒ _２ と、ノズル
対向面の幅ａとが、Ｒ _２ ／ａ≦０．１を満足するように
設定されているため、柱状ターゲット上流側に渦を発生
させて噴出ノズルからの噴流の向きを偏向する力を増大
させることができ、そのため流体の慣性力が増大する高
流量域においても噴流の流れを流量に比例した周波数で
発振させることができ、高流量域における計測精度を高
めて計測可能な流量域を広げることができる。

【００６４】さらに、柱状ターゲットのノズル対向面に
凹面を形成するとともにノズル対向面の両端に曲面又は
面取り部分を設けることにより、高流量域から小流量域
まで噴流の発振動作を安定化させることができ、全域に
わたって器差を小さく抑えることができる等の特長を有
する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明になる流体振動式流量計の第１実施例の
横断面図である。

【図２】流量計本体における噴流の流れ及び渦発生状態
を示す図である。

【図３】本発明の第１実施例の要部である柱状ターゲッ
トの形状を示す平面図である。

【図４】柱状ターゲットの幅ａと、凹面の半径Ｒ₁ との
比Ｒ₁ ／ａを変化させたときの最大器差の値を示す線図
である。

【図５】柱状ターゲットの幅ａと、曲面の半径Ｒ₂ との
比Ｒ₂ ／ａと発振下限流量との関係を示す線図である。

【図６】本発明の流体振動式流量計の器差特性を示す線
図である。

【図７】本発明の第２実施例の柱状ターゲットの平面図
である。

【図８】柱状ターゲットの幅ａと矩形状の凹部の幅ｅと
の比ｅ／ａを変化させたときの最大器差の値を示す線図
である。

【図９】柱状ターゲットの幅ａと面取りｃとの比ｃ／ａ
と発振下限流量Ｑmin との関係を示す線図である。

【図１０】本発明の第２実施例の器差特性を示す線図で
ある。

【図１１】本発明の第３実施例の柱状ターゲットの平面
図である。

【図１２】本発明の第４実施例の柱状ターゲットの平面
図である。

【図１３】従来の流体振動式流量計の器差特性を示す線
図である

【符号の説明】

１ 流量計本体 ２ 噴出ノズル ３，１５，１７，１８ 柱状ターゲット ３ａ 前面 ３ｄ，３ｅ，１８ｂ，１８ｃ 曲面 ４ 流路拡大部 ５ 絞り部 ８ センサ ９ 流量測定部 １０，１４ 渦 １１ 循環流 １２ 噴流 １３，１７ａ 凹面 １６，１８ａ 凹部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−128612（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−223313（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−30621（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01F 1/20

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 噴出ノズルと横断面が四角形状とされた
   柱状ターゲットと絞り部とが流量計本体の内部中心線上
   に順次形成された流体振動式流量計であって、 前記噴出ノズルに対向するように設けられた前記柱状タ
   ーゲットのノズル対向面を円弧状の凹面に形成すると共
   に、該凹面の両端を曲面に形成し、 前記柱状ターゲットのノズル対向面に設けられた前記円
   弧の半径Ｒ _１ と前記ノズル対向面の幅ａとが、０．７≦
   Ｒ _１ ／ａ≦１．２を満足するように設定され、 前記柱状ターゲットのノズル対向面の両端の曲面の半径
   Ｒ _２ と、前記ノズル対向面の幅ａとが、Ｒ _２ ／ａ≦０．
   １を満足するように設定されている ことを特徴とする流
   体振動式流量計。
2. 【請求項２】 噴出ノズルと横断面が四角形状とされた
   柱状ターゲットと絞り部とが流量計本体の内部中心線上
   に順次形成された流体振動式流量計であって、 前記噴出ノズルに対向するように設けられた前記柱状タ
   ーゲットのノズル対向面を矩形状の凹面に形成したこと
   を特徴とする流体振動式流量計。
3. 【請求項３】 前記矩形の幅ｅと前記柱状ターゲットの
   ノズル対向面の幅ａとが、０．５≦ｅ／ａ＜１．０を満
   足するように設定されていることを特徴とする請求項２
   の流体振動式流量計。
4. 【請求項４】 前記柱状ターゲットのノズル対向面の両
   端を面取りしてなることを特徴とする請求項１乃至２の
   流体振動式流量計。
5. 【請求項５】 前記柱状ターゲットのノズル対向面の両
   端の面取りされた部分ｃと、前記ノズル対向面の幅ａと
   が、ｃ／ａ≦０．１を満足するように設定されているこ
   とを特徴とする請求項４の流体振動式流量計。