JPH06265378A - 流体振動式流量計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は低流量域での器差を下げるとともに
低流量域から高流量域における計測精度を向上させて、
流量計測範囲を拡大できるよう構成した流体振動式流量
計を提供することを目的とする。 【構成】 流体振動式流量計は流量計本体１内に下流に
向かって噴出ノズル２，柱状ターゲット３，絞り部５を
順次設けてなる。柱状ターゲット３は後面３ｆの両端に
面取り３ｇ，３ｈを有し、柱状ターゲット３の側面３
ｂ，３ｃの厚さｂと側面３ｂ，３ｃの面取り幅ｃとが0.
25 ≦ｃ／ｂ≦0.75を満足するように設定され、側面３
ｂ，３ｃの延長線と面取り３ｇ，３ｈとのなす角度θが
３０°≦θ≦６０°を満足するように設定される。又、
噴出ノズル２を形成する側壁２ａ，２ｂの表面粗さＲma
x がＲmax ／ｔ≦３×１０^-3となるように設定されてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は流体振動式流量計に係
り、特に広い測定範囲にわたり高精度の流量計測が可能
な流体振動式流量計に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、流量計本体内に、順次下流に向っ
て、噴出ノズル、柱状ターゲット及び絞り部が形成され
てなる流体振動式の流量計が知られている。この種の流
量計は噴出ノズルから噴出した噴流の向きが、流体の物
性によらず、流量に比例した振動数で柱状ターゲットの
両側に交互に偏向する現象（流体振動）を利用し、圧力
変化等から検知したこの流体振動の振動数により流量を
演算してこれを表示するものである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記流量計は、機械的
可動部がなく、流体の物性に依存しないという優れたも
のであるが、改善すべき問題点を有していた。すなわ
ち、流量の小さな範囲では性能が安定せず測定誤差が非
常に大きくなるという問題があった。これは、従来の流
量計が、前記噴流の一部が噴出ノズル側に戻る流れ、す
なわち帰還流と呼ばれるものにより前記流体振動を発生
させる構成をとっていたことに起因することが大きかっ
た。

【０００４】そこで、本出願人は、特開平４−１２８６
１２号により、横断面が四角形状とされた柱状ターゲッ
トの後方に発生させた渦により前記流体振動を発生させ
る新方式の流体振動式流量計を提案した。この方式で
は、従来の帰還流によるものに比べ、同じ流量であって
も流体の振動数が高くなり、又流体振動が安定的に生じ
易くなるので、測定精度が向上するという効果があっ
た。

【０００５】しかしながら、この流体振動式流量計で
は、低流量域の流量を計測する場合、噴出ノズルからの
噴流の流速が小さくなり、上記流体振動を発生させるた
めの渦が弱くなるといった課題がある。その結果、渦発
生による流体振動が不安定になり、低流量域における流
量計測精度が低下することになる。

【０００６】又、上記のような流体振動式流量計におい
ては、低流量域から高流量域まで広い範囲にわたって安
定的に流量計測精度を維持するためには、噴出ノズルか
らの噴流が柱状ターゲットに向かって真っ直ぐに、且つ
均一な流速分布を持った（ピーク流速と平均流速との差
が小さい）噴流が噴出することが必要である。

【０００７】しかし、噴流の流速分布は、図１３に示す
ように壁面に対する流体の粘性により噴出ノズルの側壁
近傍を流れる流速が小さくなり、噴出ノズルの中心線上
付近で流速がピークとなるように尖った形、即ち下流側
に向かって放物線を描くような形となる。

【０００８】特に、流速が小さいと壁面に対する粘性抵
抗の影響が大きくなり、流速が小さくなるにしたがって
ピーク流速と平均流速との差が大きくなってしまう。こ
のため図１４に示すように、噴流のピーク流速Ｖp と流
量Ｑとの比Ｖp ／Ｑは一定でなくなり、流量とピーク流
速とが比例しなくなる。

【０００９】従って、上記流体振動式流量計では、噴流
の振動数が噴流のピーク流速に比例するため、流量が小
さくなると噴流の振動数が流量と比例しなくなり、図１
５に示すように、低流量域での器差特性が変化して低流
量域における流量計測精度が低下するといった課題があ
る。

【００１０】そこで、本発明は上記課題を解決した流体
振動式流量計を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、噴出
ノズルと柱状ターゲットとが流量計本体の内部中心線上
に順次形成された流体振動式流量計において、前記柱状
ターゲットの後面の両端に面取りを形成したことを特徴
とする。又、請求項２の発明は、前記面取りの側面の幅
ｃと前記柱状ターゲットの側面の幅ｂとが、0.25 ≦ｃ
／ｂ≦0.75を満足するように設定されていることを特徴
とする。

【００１２】又、請求項３の発明は、前記柱状ターゲッ
トの側面の延長線と前記面取りのなす角度θが、３０°
≦θ≦６０°を満足するように設定されていることを特
徴とする。

【００１３】又、請求項４の発明は、噴出ノズルと柱状
ターゲットとが流量計本体の内部中心線上に順次形成さ
れた流体振動式流量計において、前記噴出ノズルの幅ｔ
と前記噴出ノズルを形成する側壁との表面粗さＲmax と
が、Ｒmax ／ｔ≦３×１０^-3を満足するように設定され
ていることを特徴とする。

【００１４】

【作用】柱状ターゲットの後面に面取りを設けることに
より、噴流ノズルからの噴流が柱状ターゲットの後方に
流れやすくなり、これにより柱状ターゲットの後方に流
体を振動させる渦が発生しやすくなり、比較的渦が発生
しにくい低流量域においても噴流の偏向動作（発振）が
安定する。

【００１５】又、噴流ノズルの側壁の表面粗さを噴流が
粘性の影響を受けにくい値に設定することにより、流速
が小さくなってもピーク流速と平均流速との差が大きく
ならず流量とピーク流速とが比例するようになる。この
ため、流量と噴流の振動数が比例し、低流量域から高流
量域まで広い範囲にわたって高精度な流量計測が可能と
なる。

【００１６】

【実施例】図１乃至図３に本発明になる流体振動式流量
計の一実施例を示す。

【００１７】各図中、流体振動式流量計は流量計本体１
の内部に下流に向って噴出ノズル２，流路拡大部４及び
流路絞り部５が順次形成され、さらに前記流路拡大部４
内の中心線Ｊ上に柱状ターゲット３が設けられている。

【００１８】なお、噴出ノズル２，流路拡大部４及び流
路絞り部５の軸直角断面（中心線Ｊに対しての直交断
面）形状はすべて矩形とされている。さらに、図１にお
いて紙面と平行な方向にはどの位置でも同一形状であ
る。

【００１９】柱状ターゲット３は図３に拡大して示すよ
うに、噴出ノズル２に対向するノズル対向面としての前
面３ａの幅寸法ａと、前面３ａの両端より後方に延在す
る側面３ｂ，３ｃの厚さ寸法ｂとがａ＞ｂとなるように
設定されている。柱状ターゲット３の前面３ａの中央に
は上下方向に延在する凹面１３が形成されている。この
凹面１３は半径Ｒ₁ の円弧状凹部であり、比較的ゆるや
かな曲面状のへこみである。そして、柱状ターゲット３
の前面３ａの両端には半径Ｒ₂ の円弧状の曲面３ｄ，３
ｅが形成されている。従って、前面３ａの両端と側面３
ｂ，３ｃとは曲面３ｄ，３ｅを介して連続する。

【００２０】又、柱状ターゲット３は後面３ｆの両端に
面取り３ｇ，３ｈが形成されている。この面取り３ｇ，
３ｈは、後述するように噴出ノズル２からの噴流が柱状
ターゲット３の後方（下流側）に流れやすくして噴流を
振動させる渦の発生を容易にしている。

【００２１】流量計本体１の中心線Ｊを含み柱状ターゲ
ット３に直交する平面（図１においては紙面）上におい
て、噴出ノズル２の中心線Ｊより一側の出口内面の側壁
２ａから接線状に延び中心線Ｊと交差して柱状ターゲッ
ト３の中心線Ｊより他側の角部の曲面３ｄと接する円弧
６ａの延長線、あるいは、噴出ノズル２出口内面の側壁
２ｂから接線状に延び中心線Ｊと交差して柱状ターゲッ
ト３の両端の曲面３ｅと接する円弧６ｂの延長線が、そ
れぞれ流量計本体１内の絞り部５を形成する壁面５ｂ，
５ａに達するように各部の寸法が設定されている。

【００２２】即ち、上記構成になる流体振動式流量計の
各部分は以下のような特徴的な構成となっている。ま
ず、第一に、柱状ターゲット３は前面３ａが前述した凹
面１３，即ち、円弧状の凹形曲面とされている。第二
に、柱状ターゲット３の前面３ａの凹面１３の半径Ｒ₁
と柱状ターゲット３の幅ａとが次式(1) を満足するよう
に設定されている。

【００２３】 0.7 ≦Ｒ₁ ／ａ≦1.2 …（１） 第三に、柱状ターゲット３の前面３ａと側面３ｂ，３ｃ
とからなる角部の曲面３ｄ，３ｅの半径Ｒ₂ と柱状ター
ゲット３の幅ａとが次式(2) を満足するように設定され
ている。

【００２４】 Ｒ₂ ／ａ≦0.1 …（２） 第四に、噴出ノズル２の幅ｔと柱状ターゲットの幅ａと
が次式(3) を満足するように設定されている。

【００２５】 1.0 ≦ａ／ｔ≦1.4 …（３） 第五に、柱状ターゲット３の前面３ａの幅ａと柱状ター
ゲット３の側面３ｂ，３ｃの厚さｂとが次式(4) を満足
するように設定されている。

【００２６】 ｂ／ａ≦0.6 …（４） 第六に、柱状ターゲット３に直交する平面上において、
図１に示す如く、噴出ノズル２の出口内面の一方の側壁
２ａより接線方向に出て、軸線Ｊに対して前記側壁２ａ
と反対側に位置する柱状ターゲット３の端部３ｂに接す
る円弧６ａの延長線が、流路拡大部４の内側面４ｂに達
する手前で、絞り部５から延びる壁面５ｂに達し、また
円弧６ｂについても同様の条件が満足されるように、噴
出ノズル２の幅ｔ，噴出ノズル２からは柱状ターゲット
３までの距離Ｈ，噴出ノズル２から絞り部５までの距離
Ｌ，絞り部５の幅Ｔ，流路拡大部４の幅Ｗが設定されて
いる。

【００２７】第七に、前記壁面５ａ，５ｂと流路拡大部
４の内側面４ａ，４ｂとはそれぞれ明らかに分離した形
状とされている。すなわち、なだらかな曲面で接続され
ておらず、噴出ノズル２からの噴流が前記壁面５ａ，５
ｂに当たっても噴出ノズル２側に戻る帰還流が生じにく
い形状とされている。

【００２８】第八に、噴出ノズル２の出口から絞り部５
までの距離Ｌと、噴出ノズル２の出口から柱状ターゲッ
ト３までの距離Ｈとが、次式(5) を満足するように設定
されている。

【００２９】Ｈ／Ｌ≧0.5 …（５） 第九に、柱状ターゲット３の幅ａ及び絞り部５の幅Ｔと
が、次式(6) を満足するように設定されている。

【００３０】 ａ≦Ｔ …（６） 第十に、柱状ターゲット３の側面３ｂ，３ｃの厚さｂと
側面３ｂ，３ｃの面取り幅ｃとが、次式(7) を満足する
ように設定されている。

【００３１】 0.25 ≦ｃ／ｂ≦0.75 …（7 ） 第十一に、柱状ターゲット３の側面３ｂ，３ｃの延長線
と面取り３ｇ，３ｈとのなす角度θが、次式(8) を満足
するように設定されている。

【００３２】 ３０°≦θ≦６０° …（８） 第十二に、図４に示すように、噴出ノズル２の幅ｔと噴
出ノズル２を形成する側壁２ａ，２ｂの表面粗さＲmax
とが、次式(9) を満足するように設定されている。

【００３３】 Ｒmax ／ｔ≦３×１０^-3 …（９） なお、図１において８は、流路拡大部４内の圧力変化あ
るいは流速の変化を検出するセンサであり、９はこのセ
ンサ８から出力される信号を積算して流量を求め表示す
る流量測定器である。

【００３４】今、上記流量計本体１を被測流体が流れる
流路に接続すると、図２に示すように、噴出ノズル２か
ら噴出した噴流１２は、柱状ターゲット３のどちらかに
偏向し、例えば壁面５ａに向かう流れとなる。柱状ター
ゲット３は、前述したように後面３ｆの両端に面取り３
ｇ，３ｈを有するため、噴出ノズル２からの噴流１２が
柱状ターゲット３の後方（下流側）に流れやすくなり、
噴流１２は流速が低下せずに柱状ターゲット３の後方へ
流れる。

【００３５】柱状ターゲット３の下流側に渦１０が発生
し、この渦１０によって柱状ターゲット３の廻りに循環
流１１が発生する。この循環流１１は、噴流１２を反対
側へ偏向させる向きに発生するので、これによって噴流
１２は流れ方向が壁面５ｂに向かうように切換わる。そ
して、この切換えが交互に発生し、流量に比例した周波
数の流体振動となる。

【００３６】又、柱状ターゲット３の後面３ｆの両端に
面取り３ｇ，３ｈが設けられているため、噴流１２は流
速が低下せずに柱状ターゲット３の後方へ流れ、流速の
小さい低流量域においても、噴流１２を柱状ターゲット
３の後方に入り込む力が発生する。従って、この力の発
生により噴流１２の偏向が小さくなり、又柱状ターゲッ
ト３の後方で発生する渦１０が小さくなる。その結果、
噴流１２の偏向の切り換え動作がスムーズになり、渦１
０の大きさが一定とすることが可能になり、ひいては流
量計測精度を向上する。

【００３７】従って、噴流２の流れ方向の切換に伴う流
路拡大部４内の圧力変化あるいは流速の変化を検出する
センサ８から出力される信号を流量測定器９で演算処理
することによって、流量を知ることができる。

【００３８】さらに、上記構成になる流体振動式流量計
では、柱状ターゲット３の前面３ａに円弧状の凹面１３
が形成され、且つ前記式(1) ，(2) を満足するように設
定されているので、図２に示すように柱状ターゲット３
の上流側に渦１４が発生する。

【００３９】この渦１４は柱状ターゲット３の円弧状の
凹面１３に沿うように発生し、循環流１１と同様に噴流
１２の流れを反対側へ偏向させる向きの旋回流として作
用する。従って、渦１４の発生により反対側へ偏向させ
る力が増大し、噴流１２は上記循環流１１と渦１４との
作用により流体の慣性力が増大する高流量域においても
流れ方向の切換えが安定し、流量に比例した周波数で振
動する。これにより、高流量域での流量計測精度が高ま
り、計測可能な最大流量Ｑmax が大となり、流量計測範
囲がより広範囲に設定できる。

【００４０】図５は、面取り３ｇ，３ｈの角度をθ＝４
５°にして柱状ターゲット３の側面３ｂ，３ｃの厚さｂ
と側面３ｂ，３ｃの面取り幅ｃとの比ｃ／ｂを変化させ
た場合の器差を示した線図である。同図より本実施例の
ように上記比ｃ／ｂの値が０．２５，０．５，０．７５
となるように面取り３ｇ，３ｈを設けた場合、従来（ｃ
／ｂ＝０）の面取り無しに比べて低流量域での器差が向
上しているのが分かる。

【００４１】又、図６は上記ｃ／ｂの値を０．５にして
柱状ターゲット３の側面３ｂ，３ｃの延長線と面取り３
ｇ，３ｈとのなす角度θを変化させた場合の器差を示し
た線図である。同図より本実施例のように角度θを３０
°，４５°，６０°となるように面取り３ｇ，３ｈを設
けた場合、従来（角度θ＝０）の面取り無しに比べて低
流量域での器差が向上しているのが分かる。

【００４２】又、上記のように噴出ノズル２を形成する
側壁２ａ，２ｂの表面粗さＲmax がＲmax ／ｔ≦３×１
０^-3となるように設定されているため、噴流１２が噴出
ノズル２を通過する際に側壁２ａ，２ｂに対する流体の
粘性抵抗が小さくなり、粘性の影響を受けにくい。従っ
て、図７に示すように、噴出ノズル２を通過する噴流１
２の横方向（図１において紙面と平行な水平方向）の速
度分布は、流速が小さくなってもピーク流速と平均流速
との差が大きくならず、中心線Ｊ上の流速と側壁２ａ，
２ｂ近傍の流速との差が小さくなっている。

【００４３】従って、図８に示すように、噴流１２のピ
ーク流速Ｖp と流量Ｑとの比Ｖp ／Ｑはほぼ一定とな
り、流量とピーク流速とが比例することになる。そのた
め、流量と噴流１２の振動数とが比例し、図９に示すよ
うに、低流量域から高流量域まで広い範囲にわたって高
精度な流量計測が可能となる。

【００４４】図１０は、噴出ノズル２の幅ｔと噴出ノズ
ル２の側壁２ａ，２ｂの表面粗さＲmax との比Ｒmax ／
ｔと、ある流量範囲における器差の幅との関係を示した
線図である。同図より、Ｒmax ／ｔが３×１０^-3以上に
なると器差が急激に大きくなることが分かる。従って、
側壁２ａ，２ｂの表面粗さＲmax ／ｔ≦３×１０^-3とな
るように設定することにより器差をできるだけ小さくす
ることができる。

【００４５】図１１は縦方向（図１において紙面に垂直
方向）の噴流１２の流速分布を示した線図である。尚、
図１１（Ａ）〜（Ｄ）は、上記側壁２ａ，２ｂの場合と
条件を合わせるため、噴出ノズル２の高さＨ₁ と表面粗
さＲmax との比Ｒmax ／Ｈ₁を変化させた場合の実験結
果である。同図より、噴出ノズル２の上壁２ｃ，下壁２
ｄの表面粗さを変えても噴流１２の流速分布が変化しな
いことが分かる。

【００４６】これは、側壁２ａ，２ｂの場合に比べて上
壁２ｃ，下壁２ｄ間の距離が充分に大きいため、上壁２
ｃ，下壁２ｄの表面粗さを変えても流速分布に影響しな
いからである。

【００４７】上記のように、噴出ノズル２の側壁２ａ，
２ｂの表面粗さＲmax がＲmax ／ｔ≦３×１０^-3となる
ように設定することにより、噴流１２が粘性の影響を受
けにくく、流速が小さくなってもピーク流速と平均流速
との差が大きくならず、流量とピーク流速とがほぼ比例
することになる。そのため、流量と噴流１２の振動数が
比例し、広範囲にわたって高精度な流量計測が可能とな
る。

【００４８】図１２に本発明の変形例を示す。

【００４９】同図中、噴出ノズル２、柱状ターゲット３
は上記実施例と同一である。即ち、噴出ノズル２は前述
したように、噴出ノズル２の幅ｔと噴出ノズル２を形成
する側壁２ａ，２ｂの表面粗さＲmax とが、Ｒmax ／ｔ
≦３×１０^-3の条件を満足するように設定されている。

【００５０】又、柱状ターゲット３は前述したように、
後面３ｆの両端に面取り３ｇ，３ｈが形成されている。

【００５１】ケーシング２１の底板２１ａの上面には、
上記噴出ノズル２、柱状ターゲット３及び、第１〜第４
のガイド部材２４〜２７が設けられ、底板２１ａの下面
には圧電効果を有する高分子膜よりなる圧電膜センサ２
９が取付けられている。

【００５２】噴出ノズル２からの噴流Ａは柱状ターゲッ
ト３の作用及びコアンダ効果により図１２中左方向又は
右方向に偏向され第１のガイド部材２４と第３のガイド
部材２６との間を流れる帰還流Ｂ又は第２のガイド部材
２５と第３のガイド部材２６との間を流れる帰還流Ｃと
なる。この帰還流Ｂにより噴流Ａの向きが右方向に切換
り、そして帰還流Ｃによりこの噴流Ａの向きが左方向に
切換わる。この噴流Ａの振動周波数は流体の物性にかか
わらず、ケーシング２１内を流れる流量に比例する。

【００５３】従って、センサ２９から出力された検出信
号を流量測定器３０で処理することにより流量が算出さ
れる。

【００５４】又、上記のように噴出ノズル２を形成する
側壁２ａ，２ｂの表面粗さＲmax がＲmax ／ｔ≦３×１
０^-3となるように設定されているため、噴流Ａが噴出ノ
ズル２を通過する際に側壁２ａ，２ｂに対する流体の粘
性抵抗が小さくなり、粘性の影響を受けにくい。従っ
て、噴出ノズル２を通過する噴流Ａの横方向（図１２に
おいて紙面と平行な水平方向）の速度分布は、流速が小
さくなってもピーク流速と平均流速との差が大きくなら
ず、中心線Ｊ上の流速と側壁２ａ，２ｂ近傍の流速との
差が小さくなっている。よって、噴流Ａのピーク流速Ｖ
p と流量Ｑとの比Ｖp ／Ｑはほぼ一定となり、流量とピ
ーク流速とが比例することになる。そのため、流量と噴
流Ａの振動数とが比例し、低流量域から高流量域まで広
い範囲にわたって高精度な流量計測が可能となる。

【００５５】又、柱状ターゲット３の後面３ｆの両端に
面取り３ｇ，３ｈが設けられているため、帰還流Ｂ又は
Ｃから分流して柱状ターゲット３と第３のガイド部材２
６との間を流れる帰還流Ｄ，Ｅは、柱状ターゲット３の
後方へ流れやすくなり、流速の小さい低流量域において
も、帰還流Ｄ，Ｅを柱状ターゲット３の後方に入り込む
力が発生する。その結果、噴流Ａは柱状ターゲット３の
前側においては上記帰還流Ｂ又はＣの作用により切り換
わり、柱状ターゲット３の後側においては柱状ターゲッ
ト３と第３のガイド部材２６との間を流れる帰還流Ｄ，
Ｅの作用により帰還流Ｂ又はＣが維持される。従って、
噴流Ａの偏向の切り換え動作がスムーズになり、低流量
域においても帰還流Ｄ，Ｅが流量に比例した周波数で振
動でき、ひいては流量計測範囲が広くなるとともに流量
計測精度が向上する。

【００５６】

【発明の効果】上述の如く、本発明になる流体振動式流
量計は、柱状ターゲットの後面に面取りを設けたため、
噴流ノズルからの噴流が柱状ターゲットの後方に流れや
すくなり、これにより柱状ターゲットの後方に流体を振
動させる渦が発生しやすくなり、比較的渦が発生しにく
い低流量域においても噴流の偏向動作（発振）を安定さ
せることができる。さらに、流速の小さい低流量域にお
いても、噴流の偏向の切り換え動作がスムーズになり、
ひいては計測可能な流量範囲が広く設定できるとともに
流量計測精度を向上させることができる。

【００５７】又、噴流ノズルの側壁の表面粗さを噴流が
粘性の影響を受けにくい値に設定することにより、流速
が小さくなってもピーク流速と平均流速との差が大きく
ならず流量とピーク流速とが比例するようになる。この
ため、流量と噴流の振動数が比例し、低流量域から高流
量域まで広い範囲にわたって高精度な流量計測を行うこ
とができ、且つ低流量域から高流量域まで噴流の発振動
作を安定化させることができるので、全域にわたって器
差を小さく抑えることができる等の特長を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明になる流体振動式流量計の一実施例の横
断面図である。

【図２】流量計本体における噴流の流れ及び渦発生状態
を示す図である。

【図３】柱状ターゲットの形状を示す平面図である。

【図４】噴流ノズルを中心線Ｊ方向からみた図である。

【図５】面取りの角度をθ＝４５°にして柱状ターゲッ
トの側面の厚さｂと側面の面取り幅ｃとの比ｃ／ｂを変
化させた場合の器差を示した線図である。

【図６】柱状ターゲットの側面の厚さｂと側面の面取り
幅ｃとの比ｃ／ｂの値を０．５にして柱状ターゲットの
側面の延長線と面取りとのなす角度θを変化させた場合
の器差を示した線図である。

【図７】本実施例の噴出ノズル内の速度分布を示す線図
である。

【図８】本実施例の噴流のピーク流速Ｖp と流量Ｑとの
関係を示す線図である。

【図９】本実施例の器差と流量との関係を示す線図であ
る。

【図１０】噴出ノズルの幅ｔと噴出ノズル側壁の表面粗
さＲmax との比Ｒmax ／ｔと、ある流量範囲における器
差の幅との関係を示した線図である。

【図１１】縦方向（図１において紙面に垂直方向）の噴
流の流速分布を示した線図である。

【図１２】本発明の変形例を示す横断面図である。

【図１３】従来の噴出ノズル内の速度分布を示す線図で
ある。

【図１４】従来の噴流のピーク流速Ｖp と流量Ｑとの関
係を示す線図である。

【図１５】従来の流体振動式流量計の器差特性を示す線
図である

【符号の説明】

１ 流量計本体 ２ 噴出ノズル ２ａ，２ｂ 側壁 ３ 柱状ターゲット ３ｇ，３ｈ 面取り ４ 流路拡大部 ５ 絞り部 ８ センサ ９ 流量測定部 １０ 渦 １１ 循環流 １２ 噴流

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 黒丸 達郎 神奈川県川崎市川崎区富士見１丁目６番３ 号 トキコ株式会社内 (72)発明者 岡村 繁憲 大阪府大阪市西区千代崎３丁目２番95号 大阪瓦斯株式会社内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 噴出ノズルと柱状ターゲットとが流量計
   本体の内部中心線上に順次形成された流体振動式流量計
   において、 前記柱状ターゲットの後面の両端に面取りを形成したこ
   とを特徴とする流体振動式流量計。
2. 【請求項２】 前記面取りの側面の幅ｃと前記柱状ター
   ゲットの側面の幅ｂとが、0.25 ≦ｃ／ｂ≦0.75を満足
   するように設定されていることを特徴とする請求項１の
   流体振動式流量計。
3. 【請求項３】 前記柱状ターゲットの側面の延長線と前
   記面取りのなす角度θが、３０°≦θ≦６０°を満足す
   るように設定されていることを特徴とする請求項１の流
   体振動式流量計。
4. 【請求項４】 噴出ノズルと柱状ターゲットとが流量計
   本体の内部中心線上に順次形成された流体振動式流量計
   において、 前記噴出ノズルの幅ｔと前記噴出ノズルを形成する側壁
   との表面粗さＲmax とが、Ｒmax ／ｔ≦３×１０^-3を満
   足するように設定されていることを特徴とする流体振動
   式流量計。