JPH04278421A - 流体振動形流量計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ガスメータを始め各種
流体（気体、液体）の流量を計測する流体振動形流量計
に関し、さらに詳細には、流路に直交するノズル噴出面
を有するノズルを流路内に配設し、このノズルの噴出側
に前記ノズルの軸に対して対称な拡大流路内壁面を有す
る流路拡大部を設けるとともに、前記流路拡大部におけ
る流路中央部に前記ノズルより噴出する噴流の直進を阻
害するターゲットを設け、さらに、前記流路拡大部の下
流側に前記流路拡大部より狭い流路幅を有する絞り流路
部を設けた流体振動形流量計に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の流体振動形流量計として
は、図１０に示すような構成のものが提案されている。 この流体振動形流量計の作動原理を簡単に説明すると、
ノズル噴出面１１より噴出した噴流は、ターゲット２０
の側部を迂回して絞り流路部から流出する噴流主流Ｌ１
と、この噴流主流Ｌ１から分岐し、流路拡大部における
後部側の部位もしくは前記絞り流路部を形成する縮小断
面部に衝突して、流路を逆流する帰還流Ｌ２とから構成
される。ここで、この型の流量計においては、ノズルか
ら流体が噴出されると、コアンダ効果によって噴流は流
れ方向に沿った一方の側壁部５０，５１に引き寄せられ
て流れることとなる。即ち、噴流は直進することなく、
いずれかの側壁部５０，５１側に歪められることとなる
のである。このとき、前述のような帰還流Ｌ２を生むこ
ととなり、この流れによりノズル噴出面近傍において噴
流の直進方向に対して、直行する方向に流体エネルギー
が付与され、引き続くステップで、噴流は反対側の側壁
部５０，５１に沿って流れるものとなるのである。即ち
この帰還流Ｌ２は、ノズル噴出口付近において、噴流主
流に対する制御流としての役割を果たすこととなり、ノ
ズルから噴出される噴流がターゲットの両側面を交互に
流れる現象が起こる（ターゲットの存在は、低流量側に
おける、振動を有効に誘起することとなる。）。さらに
、流路拡大部にターゲットのみを配置した構成の流量計
においては、ターゲットより下流側に形成される後流に
形成される渦の状態もこの振動現象に影響する。この振
動周期は流量計に流れる流体流量に概して比例している
。そこでこの現象を利用して、この流路に流れる流体の
流量を測定しようとするのである。即ち、図１０に示す
流路拡大部が、ほぼ箱型に形成される流量計においては
、ノズル噴出面の下流側近傍で、噴流を挟む一対の計測
位置５５，５５に圧力もしくは流量を検出する機構を設
けておき、前述の噴流がターゲットの両側面を交互に流
れる現象により生じる圧力、もしくは流量の変化を検出
し、この振動数を計測することにより流量を検出するの
である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】さて、一般に例えばガ
スメータの場合について説明すれば、許容される計測許
容誤差（実際の流量と、計測器が検出値として検出する
値の誤差）は、流量０．１５〜０．６ｍ３／ｈの範囲で
±２．５％であり、流量０．６〜３ｍ３／ｈの範囲で±
１．５％である（図１１破線で示す。）。ここで、図１
０に示す流路拡大部が、ほぼ箱型に形成される流量計を
使用して測定をおこなうと、誤差は図１１の実線に示す
ようになる。図１１は、流量を変化（０．１〜５ｍ３／
ｈ）させた場合の、適正検出値からの計測値の誤差（％
）を示したもの（以後流量−器差特性と呼ぶ。）であり
、この測定においては微小流量域（０．１５〜０．４ｍ
３／ｈ）における誤差が、測定許容基準をはるかに越え
て±４．４％の値を取るとともに、０．４から２．１ｍ
３／ｈの範囲内でのみ測定許容基準内に収まる計測値し
か得られていない。図中ΔＥに示す数値は、流量ー器差
特性におけるＥｍａｘ（プラス側の極大値）−Ｅｍｉｎ
（マイナス側最大値）を示す値であり、測定の安定性を
判断できる数値である。（以下に示す実施例・実験例に
おいては、全て流量計の流量−器差特性の試験にあたっ
て上記の例で示した場合と同様ガスとしては、空気を対
象とし、５ｍ３／ｈの流量域まで試験を行う。この理由
は、許容基準の上限流量値である３ｍ３／ｈに対し、メ
タン等の別種のガスを計測する場合のレイノルズ数の変
化を考慮したためである。）さて、許容基準によれば、
この数値は、小流量域で５％、大流量域で３％となって
いる。即ち、こういった従来の構造を計測用の機器に採
用することはできず、上記従来技術には、計測精度に関
して改良の余地があった。さらに、上記の課題に対して
許容基準を満足する流体振動形流量計の形状は様々考え
られるが、これを製作する場合に流量計の主要関係寸法
ができるだけ、幾何学的に規格化されているほうが望ま
しい。そこで本発明の目的は、その測定対象となる流量
範囲が十分に広く、しかも全測定領域に渡って誤差の小
さな流体振動形流量計を得ることであるとともに、この
ような流体振動形流量計として、その形状が出来るだけ
シンプルであり、主要寸法関係が明確、簡単な流体振動
形流量計を得ることである。

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
の本発明による流体振動形流量計の特徴構成は、拡大流
路内壁面を、ノズル噴出面に接する第一半径Ｒの主円弧
部と、主円弧部に滑らかに接続する直線拡大壁部と、さ
らに上流側で前記直線拡大壁部に滑らかに接続し、且つ
、下流側で前記絞り流路部に接続する第二半径ｒの副円
弧部とで構成し、直線拡大壁部が前記主円弧部と前記副
円弧部との共通接線として構成され、第一半径Ｒ、前記
第二半径ｒ、流路方向における前記副円弧部の中心の前
記ノズル噴出面からの第一離間距離Ｌ、流路横断方向に
おける前記副円弧部の中心の流路の軸心からの第二離間
距離ｘとが、 ｒ／Ｒ＝０．５ Ｌ／Ｒ＝１．５ ｘ／Ｒ＝（√３）／２ の関係にあるものとすることにあり、その作用・効果は
次の通りである。

【０００４】

【作用】つまり本願の流体振動形流量計においては、流
路拡大部が主円弧部、これに連なる直線拡大壁部、及び
副円弧部を備えて構成され、この副円弧部の下流側の絞
り流路部が接続されることとなる。ここで、ノズルから
噴出した流れは、流路拡大部において無理なく噴流主流
及びこの噴流主流から分岐する帰還流となり、結果流体
振動が良好に励起されるとともに、その流量ー器差特性
も許容基準内に収まる。さらにこの形状を有する流体振
動形流量計においては、図３に示すようにノズル噴出面
位置でのノズル中央と各副円弧部の中心位置が、正三角
形の頂点の位置関係となり、しかも、主円弧の中心はこ
の正三角形の重心と一致している。したがって、この副
円弧部の中心位置割り出しにあたっては、主円弧部を決
定する円弧を下流側に延ばしておき、この中心の流路方
向の位置限定となるＬ＝１．５Ｒなる位置をとれば、こ
の位置が決定される。しかも、直線拡大壁部は流路の軸
に対して３０°傾いた（流路下流側に開く）面となり、
これも普通の三角定規を利用して容易に作図、規格でき
る。従って、主円弧部と副円弧部との半径関係のシンプ
ルさと相まって、測定対象域が変化した場合に対応する
ためのスケールアップ、スケールダウン等の作業を非常
に簡単な操作で、おこなうことが可能となる。

【０００５】

【発明の効果】したがって本願の構成を採用すると、そ
の測定対象となる流量範囲が十分に広く、しかも全測定
領域に渡って誤差の小さな流体振動形流量計が得られな
がら、主要寸法関係が明確且つ簡単な組み合わせで、そ
の形状が非常にシンプルな流体振動形流量計を得ること
ができた。

【０００６】

【実施例】本願の流体振動形流量計を組み込んだ流量測
定装置１について、図１、図２に基づいて説明する。図
１には流量測定装置１の平面図が、図２にはこの流量測
定装置１に組み込まれている流体振動形流量計２の主要
部の詳細が示されている。先ず、この流量測定装置１の
概略構成について説明する。この装置１においては、測
定対象の流体ｆの流入方向Ａが流出方向Ｂに対して１８
０度逆になるように構成されている。即ち、装置流入口
３から流入する流体は、遮断弁部５を介して貯留部６に
流入する。そしてこの貯留部６に配設されている整流器
７によって整流作用を受けた後、ノズルに流入する。そ
してこのノズルの噴出面１１より流れ出す噴流は、流体
振動形流量計２の流路拡大部１２において、振動流とな
りその下流側に設けられている絞り流路部１３より流出
する。以下にさらに詳細に各作用部の構成、作用を説明
する。先ずノズル８に至るまでの流れについて説明する
と、装置流入口３から流入するガス、水といった流体ｆ
は、略Ｌ字形の第一屈曲路４を通って遮断弁部５に送ら
れる。そしてこの遮断弁部５を通過した後、貯留部６に
流入する。この貯留部６には整流器７が配設されている
。この整流器７は半円弧形の形状を有しており、前述の
流体振動形流量計２のノズルの入口８ｉに対向して配設
されているのである。ここで、このノズルの入口８ｉは
、一対の突出部９により形成されており、これが、前述
の貯留部６内に突出している。そして、整流器７と一対
の突出部９の配置関係から、整流器７の一対の端縁部１
０が突出部９の一対の入口側端部９ｔに対して、流路方
向で下流側に位置するようになっている。したがって、
この一対の端縁部１０と一対の入口側端部９ｔ間に、一
対の迂回路Ｆ１が形成されることとなっている。 さらに、この一対の迂回路Ｆ１には、それぞれ流体が相
対向して流入し、ノズル内に形成されるノズル内流路Ｆ
２に接続する中央流路Ｆ３上部部位で合流するように形
成されている。ここで、一対の迂回流路Ｆ１と前述の一
対の入口側端部９ｔに挟まれて一対の渦領域ｖが形成さ
れる。そしてさらにこの流体はノズル１０から流体振動
形流量計２内に流入する。この流体ｆは、流体振動形流
量計２のノズル噴出面１１よりも下流側に設けられてい
る流路拡大部１２、絞り流路部１３を経て装置流出口１
４から流出する構成とされているのである。ここで、整
流器７と突出部９の位置関係を実際の数値について説明
すると、各迂回路を規定する幅ａ，及びｂと、入口側端
部９ｔと整流器７の最大離間距離ｃは、ｗｏをノズル噴
出部の幅として以下のようになっている。 ａ／（ａ＋ｂ）＝０．３６〜０．５４（図５〜図９に示
す場合は、０．４７） ｃ／ｗｏ　　　　　　＝３．０〜４．５　　　　（図５
〜図９に示す場合は、３．７） 次にノズル８の構成について説明する。ノズル８は、そ
の吸引部の幅ｗｉ，噴出部の幅ｗｏを有し、それらの端
縁部間が直線形状の一対の直線状内壁８ｗにより構成さ
れるとともに、一定の整流長さＮｌを有して構成されて
いる。そして、この整流長さＮｌを得るために、前述の
ように貯留部６に対して一対の突出部９が突出して形成
されている。この一対の突出部９は突出部幅ＮＷ、突出
部長さ（これは前述の整流長さにほぼ等しい。）Ｎｌを
有した方形の部材から形成されており、その両側部に左
右側部貯留域６Ｌ，６Ｒが形成され、この左右側部貯留
域６Ｌ，６Ｒの幅が、ほぼ前述の整流長さＮｌ以上に形
成されている。そして、前記突出部９におけるノズル８
の吸引側端部９Ｒは、円弧型形状が採用され、この円弧
の半径としてノズル入口円弧径ｒｎが採用されているの
である。実際の数値について述べると、ｗｏ＝３．２ｍ
ｍ ｗｉ／ｗｏ＝０．９〜１．２（図５〜図９に示す場合は
、１．０） ｒｎ／ｗｏ＝０．２５〜０．６２（図５〜図９に示す場
合は、０．３１） Ｎｌ／ｗｏ＝５．０〜６．８８（図５〜図９に示す場合
は、６．２５） ＮＷ／ｗｏ＝２．３０〜２．９４（図５〜図９に示す場
合は、２．６３） である。引き続いて以下に、図２に基づいて流体振動形
流量計２の構成について説明する。この流体振動形流量
計２は、前述のノズル８、流路拡大部１２と、この流路
拡大部１２に滑らかに接続する絞り流路部１３を有して
構成されている。ここで、このノズル８において、その
ノズル噴出面１１は流路方向に対して直交する状態とさ
れている。次に、流路拡大部１２について説明すると、
この流路拡大部１２は流路方向に一致する流路の軸に対
して対称な拡大流路内壁面１５を備えており、この内壁
面１５はノズル噴出面１１に接する主円弧部１６と、こ
れに接続する直線拡大壁部１７と、さらにこの直線拡大
壁部１７に接続する副円弧部１８から構成されている。 そして、この副円弧部１８の後端部が前述の絞り流路部
１３に同様に円弧状の排出円弧部１９により接続されて
いるのである。さらにこの流路拡大部１２における流路
中央部には、噴出面より噴出する噴流の直進を阻害する
ターゲット２０が設けられている。図４にこのターゲッ
トの詳細構造が示されている。図示するように、このタ
ーゲット２０は、流路の軸に対象に形成され、左右の上
流側円弧部２０ａ間に上流側凹部２０ｂを備えるととも
に、さらに下流側に凸の張出部２０ｃを有している。こ
の張出部２０ｃは、上流側凹部２０ｂ上に中心を有する
第一円弧部２０ｄと、前述の上流側円弧部２０ａと流路
横断方向で中心位置を同じくした第二円弧部２０ｅを備
えている。このターゲット２０は、微小流量域において
、噴流の流動方向の切り換えを安定して起こさせる効果
を有する。ここで、主円弧部１６の第一半径をＲ、流路
方向における副円弧部１８の中心の噴出面からの第一離
間距離をＬ、流路横断方向における副円弧部１８の中心
の流路の軸心からの第二離間距離をｘ、副円弧部１８の
第二半径をｒ、ターゲット２０の幅をＴｗ，流路方向に
おけるターゲット２０の先端位置の噴出面からの離間距
離をＴｌ、絞り流路部１３の幅をＰとすると、前記ｗｏ
、Ｒ、Ｌ、ｘ、ｒ、Ｔｗ、Ｔｌ、Ｐが、Ｒ／ｗｏ＝３．
０〜４．７（図５〜図９に示す場合は３．９） Ｌ／Ｒ＝１．５、 ｘ／Ｒ＝（√３）／２ ｒ／Ｒ＝０．５ Ｔｗ／ｗｏ＝１．５６〜２．００（図５〜図９に示す場
合は、１．７５） Ｔｌ／Ｒ＝０．９４〜１．１ Ｐ／Ｒ＝１．２４〜１．６２（図５〜図９に示す場合は
、１．３６） の関係にある。また、前述の排出円弧部１９の半径ｒ１
は第二半径ｒ（即ちＲ／２）に等しく、流路拡大部１２
の横断最大寸法は２（ｘ＋ｒ）／Ｒ＝２．７３となる。 さらに、前述の流路方向におけるターゲット２０の先端
位置のノズル噴出面からの離間距離Ｔｌと、ターゲット
２０と前述の排出円弧部１９との離間距離Ｐｌとは、Ｔ
ｌ／Ｐｌ＝１の関係が保たれている。そして、前記排出
円弧部１９の中心と流体振動形流量計２の後端部との距
離をΔＬとするとΔＬ／Ｒが、０．１５〜０．７（図示
するものは０．３）に設定されており、前述のノズル噴
出面１１から流体振動形流量計２の後端部の距離Ｚは、
Ｚ＝２．５９〜３．１４Ｒである。ここで、Ｒの実際の
寸法は１３．０ｍｍである。またこの流体振動形流量計
の高さ（図２における紙面直角方向の幅）は、２３ｍｍ
であるが，これに限定されるものではない。さらにここ
で、流量計関連寸法Ｒ，Ｌ，ｘ，ｒ，Ｔｌ，Ｐの無次元
化にあたり、Ｌ，ｘ，ｒ，Ｔｌ，Ｐに関してＲを基準に
選定している理由は、図１における噴流主流の折れ曲が
り部の角度（θ）と帰環流のうちの主帰環部の角度（θ
’）がほぼ平行となるような構成とされていることによ
る。以下に、この流体振動形流量計２の計測結果につい
て説明する。図５（ｄ）に流量−器差特性が示されてい
る。この図からも判るように、０．６ｍ３／ｈ以上の大
流量で誤差±０．８％以下の高精度であり、０．１〜０
．６の低流量でも＋０．５〜−１．５％以下の誤差で計
量法で定められた許容公差内（±２．５％以下）に十分
収まっており、高精度で十分に実用に耐えうる流体振動
形流量計が得られている。ここで、発信下限流量は、６
５リットル／ｈ程度であり、レイノルズ数で５０程度ま
で発振可能となっており、極めて良好な成績である。

【０００７】〔実験例〕以下に本願について発明者らが
行った実験結果について説明する。 実験例　　１ この実験は、前記の実施例と同様な寸法関係を保ちなが
ら主円弧部の第一半径Ｒを変化させた（Ｒは９．０ｍｍ
から１５．０ｍｍまで変化させた。）相似形の流体振動
形流量形において、その流量ー器差特性の変化を調べた
ものである。実験例１の結果を図５（ａ）〜（ｅ）、図
６に示す。図５（ａ）〜（ｅ）にはＲ各寸法の流量計に
おける流量ー器差特性及びΔＥが、図６には横軸に第一
半径Ｒを、縦軸にΔＥを取って、ΔＥの変化が示されて
いる。結果、この寸法関係を満足する限りにおいて、Ｒ
が９．５以上の範囲にある限り前述の計測許容誤差内に
収まっている。Ｒがこれ以上の範囲においては低流量側
の流量ー器差特性が悪化することはないため、Ｒ＝９．
５以上の範囲について本願の構成の流体振動形流量計は
良好に働くこととなる。 実験例　　２ この実験は、前記の実施例と同様な寸法関係を保ちなが
ら主円弧部の第一半径Ｒを変化させた（Ｒは９．０ｍｍ
から１５．０ｍｍまで変化させた。）相似形の流体振動
形流量形において、その計測可能下限流量（この流量は
、一般にダイナミックレンジアビリテイと呼ばれ、実際
の計測可能下限を規定する。）、発信下限流量（この流
量は、一般にレンジアビリテイと呼ばれ、流体の発信下
限である。）の変化を調べた。実験例２の結果を図７に
示す。図７にはＲ各寸法の流量計における計測可能下限
流量（実線で示す）、発信下限流量（破線で示す。）が
示されている。結果、計測可能下限流量について、図示
するように、計測可能下限流量はＲが９〜１１ｍｍ程度
の領域において、ほぼ横軸に平行な特性を示し、この場
合の下限流量は１３０リットル／ｈ程度である。この値
よりＲが増加すると次第にこの下限流量が増加すること
となる。ただし、例えば３号メータに対する法定計測下
限流量は図７一点鎖線で示すように１５０リットル／ｈ
であるため、第一半径Ｒが１５ｍｍ以下にある限り、充
分にこの条件を満たしている。発信下限流量について、
この発信下限流量は、計測可能下限流量よりかなり低い
位置にあり、発信下限流量はＲの増加に従って順次減少
した後、Ｒが１４〜１５ｍｍの域を越えるとほぼ横軸と
平行な特性を示す。以上より流体振動形流量計の主要形
状（主円弧部の半径、副円弧部の半径、及び副円弧部の
中心位置）については、実施例と同様な設定に従えばよ
く、そのサイズは例えば３号メータを例にとると、実験
例１、２で確認したＲ＝９．５〜１５．０の範囲、従っ
てノズル噴出部の幅ｗｏに対する比率で示せば、Ｒ／ｗ
ｏ＝３．０〜４．７の範囲であればよい。 実験例　　３ この実験は、前記の実施例と同様な流量計における寸法
関係を保ちながら主円弧部の第一半径Ｒに対する絞り流
路部における排出円弧部の中心から絞り流路部の後端ま
での距離ΔＬの比を変化させた場合のΔＥの変化を調べ
た。実験例３の結果を図８、図９に示す。図８は、横軸
にΔＬ／Ｒを示し、縦軸にΔＥが示されている。また、
図９には、ΔＬ／Ｒ＝０に設定した場合の流量−器差特
性が示されている。また図８においてΔＬ／Ｒ＝０．５
の状態における流量−器差特性が前掲の図５（ｄ）に示
されている。結果、ΔＬの増加に従って、ΔＬ／Ｒの値
が０〜０．３の範囲にある状態でΔＥは単調に減少し、
さらに長くなるとΔＥは２％以下の値に落ち着く。一般
にΔＥの値としては３％以下の値が許容されており、Δ
Ｌの範囲としては０．１５以上が適当である。この値の
限界は小さくおさえておけば、流体振動形流量計の流路
方向の長さを短くするのに有効に働く。

【０００８】尚、特許請求の範囲の項に図面との対照を
便利にするために符号を記すが、該記入により本発明は
添付図面の構成に限定されるものではない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願の流体振動形流量計を組み込んだ流量測定
装置の平面図

【図２】本願の流体振動形流量計の平面図

【図３】本願
の流体振動形流量計の幾何学的特徴の説明図

【図４】ターゲットの構造を示す図

【図５】（ａ）〜（ｅ）は、主円弧部の第一半径の変化
に伴う流量−器差特性の変化を示す図

【図６】主円弧部の第一半径の変化に伴うΔＥの変化を
示す図

【図７】主円弧部の第一半径の変化に伴う計測及び発信
下限流量の状態を示す図

【図８】ΔＬ／Ｒの変化に伴うΔＥの変化を示す図

【図
９】ΔＬ／Ｒが０の場合の流量−器差特性の状態を示す
図

【図１０】従来の流体振動形流量計の構造を示す図

【図
１１】従来の流体振動形流量計の流量ー器差特性を示す
図

【符号の説明】

６　　　　貯留部 ８　　　　ノズル ８ｗ　　直線状内壁 ９ｔ　　ノズル入口端面 １１　　ノズル噴出面 １２　　流路拡大部 １３　　絞り流路部 １５　　拡大流路内壁面 １６　　主円弧部 １７　　拡大壁部 １８　　副円弧部 １９　　排出円弧部 ２０　　ターゲット

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　流路に直交するノズル噴出面（１１）
   を有するノズル（８）を流路内に配設し、このノズル（
   ８）の噴出側に前記ノズルの軸に対して対称な拡大流路
   内壁面（１５）を有する流路拡大部（１２）を設けると
   ともに、前記流路拡大部（１２）における流路中央部に
   前記ノズル（８）より噴出する噴流の直進を阻害するタ
   ーゲット（２０）を設け、さらに、前記流路拡大部（１
   ２）の下流側に前記流路拡大部（１２）の後端部より狭
   い流路幅を有する絞り流路部（１３）を設けた流体振動
   形流量計であって、前記拡大流路内壁面（１５）を、前
   記ノズル噴出面に接する第一半径Ｒの主円弧部（１６）
   と、前記主円弧部（１６）に滑らかに接続する直線拡大
   壁部（１７）と、さらに上流側で前記直線拡大壁部（１
   ７）に滑らかに接続し、且つ、下流側で前記絞り流路部
   （１３）に接続する第二半径ｒの副円弧部（１８）とで
   構成し、前記直線拡大壁部（１７）が前記主円弧部（１
   ６）と前記副円弧部（１８）との共通接線として構成さ
   れるとともに、前記第一半径Ｒ、前記第二半径ｒ、流路
   方向における前記副円弧部（１８）の中心の前記ノズル
   噴出面（１１）からの第一離間距離Ｌ、流路横断方向に
   おける前記副円弧部（１８）の中心の流路の軸心からの
   第二離間距離ｘとが、 ｒ／Ｒ＝０．５ Ｌ／Ｒ＝１．５ ｘ／Ｒ＝（√３）／２ の関係にある流体振動形流量計。
2. 【請求項２】　　　　前記主円弧部（１６）の第一半径
   Ｒと前記ノズルの噴出部の幅ｗｏとの関係が、Ｒ／ｗｏ
   ＝３．０〜４．７ であることを特徴とする請求項１記載の流体振動形流量
   計。
3. 【請求項３】　　　　前記絞り流路部（１３）が、流路
   側に張り出した円弧形状の排出円弧部（１９）により前
   記副円弧部（１８）に接続され、流路の軸心に平行な平
   行流路として構成されるとともに、この平行流路の幅を
   Ｐ、流路方向における前記絞り流路部の後端面のノズル
   噴出面（１１）からの距離をＺ、流路方向における前記
   排出円弧部（１３）の中心から前記絞り流路部の後端面
   までの距離をΔＬとした場合に、 Ｐ／Ｒ＝１．２４〜１．６２ Ｚ／Ｒ＝２．５９〜３．１４ ΔＬ／Ｒ＝０．１５〜０．７ の関係にある請求項２記載の流体振動形流量計。