JP3195682B2 - 流体振動形流量計 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ガスメータを始め各種
流体（気体、液体）の流量を計測する流体振動形流量計
に関し、さらに詳細には、流路に直交するノズル噴出面
を有するノズルを流路内に配設し、このノズルの噴出側
に前記ノズルの軸に対して対称な拡大流路内壁面を有す
る流路拡大部を設けるとともに、流路拡大部における流
路中央部にノズルより噴出する噴流の直進を阻害するタ
ーゲットを設け、さらに、流路拡大部の下流側に流路拡
大部より狭い流路幅を有する絞り流路部を設けたものに
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の流体振動形流量計として
は、図１２に示すような構成のものが知られている。そ
の作動原理を簡単に説明すると、ノズル噴出面１１より
噴出した噴流は、ターゲット２０の側部を迂回して絞り
流路部から流出することとなるが、この噴流主流Ｌ１か
ら分岐し、流路拡大部における後部側の部位もしくは絞
り流路部を形成する縮小断面部に衝突して、流路を逆流
する帰還流Ｌ２を生じる。この帰還流Ｌ２はノズル噴出
面１１近傍部位において噴流主流Ｌ１に対する制御流と
して作用し、噴流主流Ｌ１をターゲットの左右側を交互
に流れる振動流とする。この振動周期は流量計に流れる
流体流量に概して比例する。そこで、この現象を利用し
て流路に流れる流体の流量を測定しようとするのであ
る。

【０００３】図１２に示す流路拡大部がほぼ箱型に形成
される流量計においては、ノズル噴出面の下流側近傍
で、噴流を挟む一対の計測位置５５，５５に圧力もしく
は流量を検出する機構を設けておき、前述の噴流がター
ゲットの両側面を交互に流れる現象により生じる圧力、
もしくは流量の変化を検出し、この振動数を計測するこ
とにより流量を検出する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】さて、一般に例えばガ
スメータの場合について説明すれば、許容される計測許
容誤差（実際の流量と、計測器が検出値として検出する
値の誤差）は、流量０．１５〜０．６ｍ³／ｈの範囲で
±２．５％であり、流量０．６〜３ｍ³／ｈの範で±
１．５％である（図１３破線で示す。）。ここで、図１
２に示す流路拡大部が、ほぼ箱型に形成される流量計を
使用して測定をおこなうと、誤差は図１３の実線に示す
ようになる。図１３は、流量を変化（０．１〜５ｍ³／
ｈ）させた場合の、適正検出値からの計測値の誤差
（％）を示したもの（以後流量−器差特性と呼ぶ。）で
あり、この測定においては微小流量域（０．１５〜０．
４ｍ³／ｈ）における誤差が、測定許容基準をはるかに
越えて±４．４％の値を取るとともに、０．４から２．
１ｍ³／ｈの範囲内でのみ測定許容基準内に収まる計測
値しか得られていない。図中ΔＥに示す数値は、流量−
器差特性におけるＥmax(プラス側の極大値)−Ｅmin(マ
イナス側最大値）を示す値であり、測定の安定性を判断
できる数値である（以下に示す実施例・実験例において
は、全て流量計の流量−器差特性の試験にあたって上記
の例で示した場合と同様ガスとしては、空気を対象と
し、５ｍ³／ｈの流量域まで試験を行う。この理由は、
許容基準の上限流量値である３ｍ³／ｈに対し、メタン
等の別種のガスを計測する場合のレイノルズ数の変化を
考慮したためである）。許容基準によれば、この数値
は、小流量域で５％、大流量域で３％となっている。即
ち、こういった従来の構造を計測用の機器に採用するこ
とはできず、上記従来技術には、計測精度に関して改良
の余地があった。

【０００５】そこで、発明者らが提案する流体振動形流
量計として、拡大流路内壁面を、ノズル噴出面に接する
主円弧部と、主円弧部に滑らかに接続する拡大壁部と、
上流側で拡大壁部に滑らかに接続し、且つ、下流側で絞
り流路部に接続する副円弧部とで構成するとともに、ノ
ズル噴出面の中央位置と一対の副円弧部との中心とが正
三角形をなす構成で、副円弧部と絞り流路部を流路側に
張り出した円弧状の排出円弧部により接続して、ターゲ
ットより下流側でターゲットと排出円弧部間で流路が絞
られる構成のものがある（特開平４−１６０３２１，特
開平４−２７８４２２）。このようなものにおいては、
上記の計測精度に対して、ターゲットの形状と位置が重
要な役割を果たす。従来、このターゲットの形状及び位
置は、振動流を良好に励起する目的から、噴流のターゲ
ット側部への案内を最重要視して決定されてきており、
必ずしもターゲットより下流側にある流れ状態が考慮さ
れてきたわけではない。即ち、従来はターゲットの上流
側の条件は比較的よく満たされているものの、ここで形
成される振動流の排出側の状態には、改良の余地があっ
た。

【０００６】従って、本発明の目的は、上記提案されて
いる流体振動形流量計において、測定対象となる流量範
囲が十分に広く、しかも全測定領域に渡って誤差が小さ
く、ターゲットより後流側で流れを良好なものとするこ
とが可能な流体振動形流量計を得ることにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
の本発明による流体振動形流量計の特徴構成は、ターゲ
ットを、ノズルに対向した上流側凹部と、両側部位が流
路方向に沿い且つ下流側に凸の半円形状で、前記両側部
位に亙って一定の曲率半径の単一半円形状とされる張出
部とを備えて構成し、ターゲットと排出円弧部との最短
離間距離Ｐ１、ノズル噴出面とターゲットの前面までの
離間距離Ｔ１、及び前記第一半径Ｒとをほぼ等しく形成
し、ノズルの噴出部の幅をｗｏ、ターゲットの横幅をＴ
ｗとした場合に、ｗｏ：Ｔｗ：Ｒがほぼ３：５：１０に
設定されていることにあり、その作用・効果は次の通り
である。

【０００８】

【作用】つまり本願の流体振動形流量計においては、拡
大流路内壁面が主円弧部、これに連なる拡大壁部、副円
弧部を備えて構成されるとともに、この副円弧部と絞り
流路部が排出円弧部により接続されるため、流れは、流
路拡大部において無理なく噴出主流及びこれから分岐す
る帰還流として形成され、流量−器差特性の安定化に寄
与する。さらに、ターゲットを下流側に突出した半円弧
状の形状とするとともに、Ｐ１、Ｔ１、Ｒ及びｗｏ、Ｔ
ｗに上述の関係を持たせることにより、ターゲット側部
を流れる流れはターゲットの側部及び下流側で比較的良
く制御されるとともに、Ｐ１、Ｔ１、Ｒの関係によりタ
ーゲット下流側への排出が無理なく行われることとなる
（図５、図６参照）。その結果、図７に示すように、非
常に良好な流量−器差特性を得ることができる。

【０００９】

【発明の効果】従って、本願の流体振動形流量計におい
ては、提案されている流体振動形流量計において、測定
対象となる流量範囲が十分に広く、しかも全測定領域に
渡って誤差が小さく、ターゲットより後流側で流れを良
好なものとすることが可能なものが得られた。

【００１０】

【実施例】本願の流体振動形流量計を組み込んだ流量測
定装置１について、図１、図２に基づいて説明する。図
１には流量測定装置１の平面図が、図２にはこの流量測
定装置１に組み込まれている流体振動形流量計２の主要
部の詳細が示されている。

【００１１】先ず、この流量測定装置１の概略構成につ
いて説明する。この装置１においては、測定対象の流体
ｆの流入方向Ａが流出方向Ｂに対して１８０度逆になる
ように構成されている。即ち、装置流入口３から流入す
る流体は、遮断弁部５を介して貯留部６に流入する。そ
してこの貯留部６に配設されている整流器７によって整
流作用を受けた後、ノズルに流入する。そしてこのノズ
ルの噴出面１１より流れ出す噴流は、流体振動形流量計
２の流路拡大部１２において、振動流となりその下流側
に設けられている絞り流路部１３より流出する。

【００１２】以下にさらに詳細に各作用部の構成、作用
を説明する。先ずノズル８に至るまでの流れについて説
明すると、装置流入口３から流入するガス、水といった
流体ｆは、略Ｌ字形の第一屈曲路４を通って遮断弁部５
に送られる。そしてこの遮断弁部５を通過した後、貯留
部６に流入する。この貯留部６には整流器７が配設され
ている。この整流器７は半円弧形の形状を有しており、
前述の流体振動形流量計２のノズルの入口８ｉに対向し
て配設されているのである。ここで、このノズルの入口
８ｉは、一対の突出部９により形成されており、これ
が、前述の貯留部６内に突出している。

【００１３】そして、整流器７と一対の突出部９の配置
関係から、整流器７の一対の端縁部１０が突出部９の一
対の入口側端部９ｔに対して、流路方向で下流側に位置
するようになっている。したがって、この一対の端縁部
１０と一対の入口側端部９ｔ間に、一対の迂回路Ｆ１が
形成されることとなっている。

【００１４】さらに、この一対の迂回路Ｆ１には、それ
ぞれ流体が相対向して流入し、ノズル内に形成されるノ
ズル内流路Ｆ２に接続する中央流路Ｆ３上部部位で合流
するように形成されている。ここで、一対の迂回流路Ｆ
１と前述の一対の入口側端部９ｔに挟まれて一対の渦領
域ｖが形成される。そしてさらにこの流体はノズル８か
ら流体振動形流量計２内に流入する。

【００１５】この流体ｆは、流体振動形流量計２のノズ
ル噴出面１１よりも下流側に設けられている流路拡大部
１２、絞り流路部１３を経て装置流出口１４から流出す
る構成とされているのである。

【００１６】ここで、整流器７と突出部９の位置関係を
実際の数値について説明すると、各迂回路を規定する幅
ａ，及びｂと、入口側端部９ｔと整流器７の最大離間距
離ｃは、ｗｏをノズル噴出部の幅とすると以下のように
なっている。 ａ／（ａ＋ｂ）＝０．３６〜０．５４（図５〜８に示す
場合は、０．４７） ｃ／ｗｏ ＝３．０〜４．５ （図５〜８に示す
場合は、３．７）

【００１７】次にノズル８の構成について説明する。ノ
ズル８は、その吸引部の幅ｗｉ，噴出部の幅ｗｏを有
し、それらの端縁部間が直線形状の一対の直線状内壁８
ｗにより構成されるとともに、一定の整流長さＮｌを有
して構成されている。そして、この整流長さＮｌを得る
ために、前述のように貯留部６に対して一対の突出部９
が突出して形成されている。この一対の突出部９は突出
部幅ＮＷ、突出部長さ(これは前述の整流長さにほぼ等
しい。）Ｎｌを有した方形の部材から形成されており、
その両側部に左右側部貯留域６Ｌ，６Ｒが形成され、こ
の左右側部貯留域６Ｌ，６Ｒの幅が、ほぼ前述の整流長
さＮｌ以上に形成されている。そして、前記突出部９に
おけるノズル８の吸引側端部９Ｒは、円弧型形状が採用
され、この円弧の半径としてノズル入口円弧径ｒｎが採
用されているのである。実際の数値関係について述べる
と、 ｗｉ／ｗｏ＝０．９〜１．２（図５〜８に示す場合は、
１．０） ｒｎ／ｗｏ＝０．２５〜０．６２（図５〜８に示す場合
は、０．３１） Ｎｌ／ｗｏ＝５．００〜６．８８（図５〜８に示す場合
は、６．２５） ＮＷ／ｗｏ＝２．３０〜２．９４（図５〜８に示す場合
は、２．６３） である。

【００１８】引き続いて以下に、図２に基づいて流体振
動形流量計２の構成について説明する。この流体振動形
流量計２は、前述のノズル８、流路拡大部１２と、この
流路拡大部１２に滑らかに接続する絞り流路部１３を有
して構成されている。ここで、このノズル８において、
そのノズル噴出面１１は流路方向に対して直交する状態
とされている。次に、流路拡大部１２について説明する
と、この流路拡大部１２は流路方向に一致する流路の軸
に対して対称な拡大流路内壁面１５を備えており、この
内壁面１５はノズル噴出面１１に接する主円弧部１６
と、これに接続する直線拡大壁部１７と、さらにこの直
線拡大壁部１７に接続する副円弧部１８から構成されて
いる。そして、この副円弧部１８の後端部が前述の絞り
流路部１３に同様に円弧状の排出円弧部１９により接続
されているのである。さらにこの流路拡大部１２におけ
る流路中央部には、噴出面より噴出する噴流の直進を阻
害するターゲット２０が設けられている。

【００１９】図４にこのターゲットの詳細構造が示され
ている。図示するように、このターゲットは、流路の軸
に対して対象に形成され、左右の上流側円弧部２０ａ間
に上流側凹部２０ｂを備えるとともに、さらに下流側に
凸で、ターゲットの側部を流路方向に沿ったものとする
単一の円弧として形成される張出部２０ｃを備えてい
る。即ち、この張出部２０ｃは、流量計の軸に中心を有
し、流路方向で下流側端部からその両側部（中心相当位
置）まで同一の円によって形成される形状を採ってい
る。詳細寸法については図面に示す。このターゲット２
０は、微小流量域において、噴流の流動方向の切り換え
を安定して起こさせる効果を有するとともに、張出部２
０ｃを単一の円弧部で形成し、流路の下手且つ流路横断
方向で、従来採用されているターゲットに比較して張り
出すこととなっているため、ターゲット側壁部と絞り流
路部との間での流れ制御が確実となり、計測レンジの拡
大にさらに寄与することとなっている。

【００２０】ここで、主円弧部１６の第一半径をＲ、流
路方向における副円弧部１８の中心の噴出面からの離間
距離をＬ、流路横断方向における副円弧部１８の中心の
流路の軸心からの離間距離をｘ１、副円弧部１８の第二
半径をｒ、ターゲット２０の横幅をＴｗ，ターゲットの
縦幅ＴＬ、絞り流路部１３の幅をＰとすると、前記ｗ
ｏ、Ｒ、Ｌ、ｘ１、ｒ、Ｔｗ、ＴＬ、Ｐが、 Ｒ／ｗｏ＝１０／３ Ｌ／Ｒ＝１．５、 ｘ１／Ｒ＝（√３）／２ ｒ／Ｒ＝０．５ Ｔｗ／ｗｏ＝５／３ ＴＬ／ｗｏ＝１．０〜１．５ Ｐ／Ｒ＝１．２４〜１．６２（図５〜８に示す場合は、
１．３６） の関係にある。従って、ノズル噴出面１１の中央位置
と、一対の副円弧部１８の中心とが正三角形をなすこと
となる。図３に前述の主円弧部１６、副円弧部１８、直
線拡大壁１７及び、これに対するターゲット２０の位置
に関する幾何学的形状の説明図が示されている。

【００２１】また、前述の排出円弧部１９の半径ｒ１は
Ｒ／３に等しく、流路拡大部１２の横断最大寸法は（１
＋√３）Ｒとなる。さらに、流路方向におけるターゲッ
ト２０の先端位置のノズル噴出面からの離間距離をＴｌ
と、ターゲット２０と前述の排出円弧部１９との離間距
離Ｐｌは、主円弧部１６の半径である第一半径Ｒと同一
に形成されている。ここで、この流体振動形流量計の高
さ（図２における紙面直角方向の厚さ）は、２３ｍｍで
あるがこれに限定されるものではない。

【００２２】以下に、この流体振動形流量計２の計測結
果について説明する。図７●に、流量−器差特性が示さ
れている。この図からも判るように、０．６ｍ ³／ｈ以
上の大流量で誤差±０．８％以下の高精度であり、０．
１５〜０．６の低流量でも＋０．５〜−１．５％以下の
誤差で計量法で定められた許容公差内（±２．５％以
下）に十分収まっており、高精度で十分に実用に耐えう
る流体振動形流量計が得られている。ここで、発振下限
流量は、６５リットル／ｈ程度であり、レイノルズ数で
５０程度まで発振可能となっており、極めて良好な成績
である。

【００２３】〔実験例〕以下に本願について発明者らが
行った実験結果について説明する。 実験例 １ この実験は、ノズル、流路拡大部、絞り流路部の形状を
固定するとともに、ノズル噴出面とターゲットの前面ま
での離間距離をＴｌ、前記ターゲットと前記排出円弧部
との最短離間距離をＰｌとした場合の、第一半径Ｒに対
するＰｌ／Ｔｌを変化させた場合の流量計の特性変化を
調べたものである。

【００２４】図５にＰｌ／Ｔｌの変化に対する誤差Ｅの
変化を示し、図６に最大誤差ΔＥを示している。

【００２５】先ず図５から説明すると、図からも明らか
なように、Ｐｌ／Ｔｌの単調な増加に伴って誤差Ｅは単
調に減少していくこととなる。さらに同様な条件におけ
る最大誤差ΔＥの変化を図６に示した。図からも判明す
るように最大誤差ΔＥは、Ｐｌ／Ｔｌの減少に伴って一
端減少するとともに、Ｐｌ／Ｔｌが１の位置を境として
増加傾向となる。結果、Ｒ、Ｐｌ、Ｔｌに関しては、こ
れらがほぼ同一に保たれるのがよい。

【００２６】実験例 ２ さらに、ノズル、流路拡大部、絞り流路部の形状を固定
するとともに、ターゲットの位置を実験例１の結果に従
って決定した場合のノズルの噴出部の幅をｗｏ、ターゲ
ットの横幅Ｔｗと第一半径Ｒとの関係について調べた結
果を図７に示した。実験の方法としては、ノズル噴出部
の幅ｗｏを固定した状態で、第一半径Ｒとターゲットの
横幅Ｔｗを変化させた。結果、ｗｏ：Ｔｗ：Ｒがほぼ
３：５：１０に設定されている場合が、小流量域で安定
しており、この比率から離れるにしたがって、この流量
域が不安定になっていくことが判る。さらに、大流量域
は、この条件の変化で不安定になることはない。

【００２７】実験例 ３ さて、流量計を制作する場合は、その対象流体及び流量
が変わる。よって、本流体振動形流量計の相似則の成立
状況について検討した。例えば、ガスメータの場合、２
号、３号、５号、７号メータで対象とされる流量（２０
００、３０００、５０００、７０００リットル／ｈｒ）
に対して、第一半径Ｒは（１０、１２、１４、１６ｍ
ｍ）のように選択される。本流体振動形流量計のにおけ
るストローハル数Ｓｔとレイノズル数Ｒｅとの関係を図
８に示す。 Ｓｔ＝ｆｒ×ｌｅ／ｖｅ Ｒｅ＝ｖｅ×ｗｏ／ν ここで、ｖｅ（ｃｍ／ｓｅｃ） 噴流の速度 ｆｒ（パルス／ｓｅｃ） 発振周波数 ｌｅ（ｃｍ） 代表長さ（第一半径Ｒとする） ｗｏ（ｃｍ） ノズル幅 ν （ｃｍ^２／ｓｅｃ） 動粘度 図中□で２号メータを、△で３号メータを、●で５号メ
ータを、×で７号メータのものを示した。 結果、レイ
ノズル数Ｒｅの変化に対してストローハル数Ｓｔは、
０．１８と一定しており、安定した特性を保っているこ
とが判る。さらに、２号メータのものでも同様にこの特
性は守られる。さらに、５号メータ、７号メータについ
ての流量−器差特性を図９（ａ）（ｂ）に示した。共
に、許容基準内の良好な結果が得られている。

【００２８】〔別実施例〕以下に本願の別実施例につい
て説明する。 （イ）ターゲットを下流側に張り出した形状のものとし
た例としては図１０に示す構成のものも良好な結果を得
ている。この例の場合もターゲット２０の下流側部位は
単一の半円弧から形成される張出部２０ｃを備えてい
る。当然、Ｒ、Ｐ１、Ｔ１、ｗｏ、Ｔｗの関係も守られ
ている。図１１にこの構成の流体振動形振動計の流量−
器差特性を示した。基準内の誤差特性を有する良好な流
量計が得られている。

【００２９】尚、特許請求の範囲の項に図面との対照を
便利にするために符号を記すが、該記入により本発明は
添付図面の構成に限定されるものではない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願の流体振動形流量計を組み込んだ流量測定
装置の平面図

【図２】本願の流体振動形流量計の平面図

【図３】本願の流体振動形流量計の主要寸法の幾何学的
関係を示す説明図

【図４】ターゲットの構成を示す図

【図５】低流量（３００ｌ／ｈｒ）におけるＰ１、Ｔ
１、Ｒと誤差の関係を示す図

【図６】Ｐｌ、Ｔｌ、Ｒと最大誤差の関係を示す図

【図７】ｗｏ、Ｒ、Ｔｗと流量−器差特性の関係を示す
図

【図８】本願の流体振動形流量計におけるレイノズル数
とストローハル数の関係を示す図

【図９】相似形の流体振動形流量計における流量−器差
特性を示す図

【図１０】本願の流体振動形流量計の別実施例を示す図

【図１１】別実施例の流体振動形流量計の流量−器差特
性を示す図

【図１２】従来の流体振動形流量計の構造を示す図

【図１３】従来の流体振動形流量計の流量−器差特性を
示す図

【符号の説明】

６ 貯留部 ８ ノズル ８ｗ 直線状内壁 ９ｔ ノズル入口端面 １１ ノズル噴出面 １２ 流路拡大部 １３ 絞り流路部 １５ 拡大流路内壁面 １６ 主円弧部 １７ 拡大壁部 １８ 副円弧部 １９ 排出円弧部 ２０ ターゲット

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 本多 敏 神奈川県横浜市港北区日吉３丁目14番１ 号 慶応義塾大学内 (72)発明者 岡林 誠 大阪府大阪市中央区平野町四丁目１番２ 号 大阪瓦斯株式会社内 (72)発明者 長沼 徹郎 東京都港区海岸一丁目５番20号 東京瓦 斯株式会社内 (72)発明者 木村 幸雄 愛知県名古屋市熱田区桜田町19番18号 東邦瓦斯株式会社内 (56)参考文献 特開 平４−278421（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−278422（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01F 1/20

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流路に直交するノズル噴出面（１１）を
   有するノズル（８）を流路内に配設し、このノズル
   （８）の噴出側に前記ノズルの軸に対して対称な拡大流
   路内壁面（１５）を有する流路拡大部（１２）を設ける
   とともに、前記流路拡大部（１２）における流路中央部
   に前記ノズル（８）より噴出する噴流の直進を阻害する
   ターゲット（２０）を設け、さらに、前記流路拡大部
   （１２）の下流側に前記流路拡大部（１２）の後端部よ
   り狭い流路幅を有する絞り流路部（１３）を備え、 前記拡大流路内壁面（１５）を、前記ノズル噴出面に接
   する第一半径Ｒの主円弧部（１６）と、前記主円弧部
   （１６）に滑らかに接続する拡大壁部（１７）と、上流
   側で前記拡大壁部（１７）に滑らかに接続し、且つ、下
   流側で前記絞り流路部（１３）に接続する副円弧部（１
   ８）とで構成するとともに、 前記ノズル噴出面（１１）の中央位置と、一対の前記副
   円弧部（１８）の中心とが正三角形をなす構成で、 前記副円弧部（１８）と前記絞り流路部（１３）を流路
   側に張り出した円弧状の排出円弧部（１９）により接続
   して、前記ターゲット（２０）より下流側で前記ターゲ
   ット（２０）と前記排出円弧部（１９）間で流路が絞ら
   れる構成の流体振動形流量計において、 前記ターゲット（２０）を、前記ノズル（８）に対向し
   た上流側凹部（２０ｂ）と、両側部位が流路方向に沿い
   且つ下流側に凸の半円形状で、前記両側部位に亙って一
   定の曲率半径の単一半円形状とされる張出部（２０ｃ）
   とを備えて構成し、 前記ターゲット（２０）と前記排出円弧部（１９）との
   最短離間距離Ｐｌ、前記ノズル噴出面（１１）と前記タ
   ーゲット（２０）の前面までの離間距離Ｔｌ、及び前記
   第一半径Ｒとをほぼ等しく形成し、 前記ノズルの噴出部の幅をｗｏ、前記ターゲット（２
   ０）の横幅をＴｗとした場合に、ｗｏ：Ｔｗ：Ｒがほぼ
   ３：５：１０に設定されている流体振動形流量計。
2. 【請求項２】 前記副円弧部（１８）の第二半径をｒ、
   流路方向における前記副円弧部（１８）の中心の前記ノ
   ズル噴出面（１１）からの距離をＬ、流路横断方向にお
   ける前記副円弧部（１８）の中心の流路の軸心からの距
   離をｘ１、前記排出円弧部（１９）の半径をｒｌ、前記
   絞り流路部（１３）の幅をＰとした場合に、前記ｒ、
   Ｒ、Ｌ、ｘ１、ｒ１、Ｐとの間に、 ｒ／Ｒ＝０．５ Ｌ／Ｒ＝１．５ ｘ１／Ｒ＝（√３）／２ ｒ１／Ｒ＝１／３ Ｐ／Ｒ＝１．２４〜１．６２ の関係がある請求項１記載の流体振動形流量計。