JP2001244160A - 機器スキッド - Google Patents

機器スキッド

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JP2001244160A JP2000379906A JP2000379906A JP2001244160A JP 2001244160 A JP2001244160 A JP 2001244160A JP 2000379906 A JP2000379906 A JP 2000379906A JP 2000379906 A JP2000379906 A JP 2000379906A JP 2001244160 A JP2001244160 A JP 2001244160A
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Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】半導体処理ツールを支持するための補助機器等
の配管が簡単に取り付けるられる機器スキッド。 【解決手段】機器スキッド１は、複数の機器区域１４，
１６と、サービス区域１８と、を含む。補助機器は、機
器区域内に取り付けられる。複数の機器区域と、サービ
ス区域とは、インライン関係に互いに連結されて、補助
機器と半導体処理ツールとの間の外部接続を可能として
サービス区域のフットプリントを覆う領域を通過し得る
フレームワークを画定する。機器区域及びサービス区域
は、好ましくは、囲包体によって被覆されて、漏出を抑
制する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体処理ツール
と関連して機能する補助機器を取り付けるための機器ス
キッドに関する。特に、本発明は、補助機器を取り付け
るために用いられる複数の機器区域がサービス区域に連
結されて、補助機器から半導体処理ツールに至る連結が
サービス区域の近くを通過するか又はサービス区域を貫
通できる機器スキッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体処理工場は、２つのレベル上に構
成されることが多い。半導体を製造するために用いられ
るツールは、主レベル（main level）に置かれ、補助機
器はサブファブ（sub-fab）として知られる主レベルの
真下のレベルに置かれる。サブファブに位置づけられて
いる補助機器の各ピースは、操作時に、理想的にはツー
ルの真下にある。たとえば、多くのツールは、真空チャ
ンバを組み込む。特定のチャンバと関連する真空ポンプ
は、サブファブレベルにあるかようなチャンバの真下に
置かれる。
【０００３】機器のツールに関連する配置は、配管の最
短距離を用いている。しかし、実際には、過剰な配管の
ネットワークが、機器のレイアウト及び操作を非常に困
難にし得る。機器の組み込みは、さらに、機器が製造工
場内で組み立てられるだけではなく、かような工場内で
テストされなければならないという問題を有する。機器
の幾つかが故障したことがわかると、他の周囲の機器を
も取り除いて、交換しなければならない可能性もある。
さらに問題なのは、かようなツールが、例えば、種々の
タイプの排除システムで廃棄するために、真空ポンプに
よって吸引除去される有害で危険な化学物質を利用する
ことが多い、ということである。しかし、かようなポン
プをサブファブ内に位置づけることに起因して、ポンプ
及び関連する配管を囲包体内に覆い隠して、リークを抑
制してリーク用口を設けることが困難となる。
【０００４】上述のように、本発明は、上述の問題の多
くを解消するスキッド上への中央取り付け装置を提供す
る。
【０００５】
【発明の概要】本発明は、半導体処理ツールを支持する
ための補助機器を取り付けるための機器スキッドを提供
する。機器スキッドは、複数の機器区域及びサービス区
域を含む。補助機器は機器区域内に取り付けられ、複数
の機器区域及びサービス区域は互いに連結して、補助機
器と半導体処理ツールとの間の外部接続を可能とし、サ
ービス区域のフットポイントを覆う領域内を通過する。
【０００６】したがって、本発明のスキッドは、補助機
器を取り付けるための中央位置を提供する。加えて、サ
ービス区域がツールに対する外部接続のために設けられ
ているので、機器がサブファブに分散されている場合よ
りも、配管の必要性が少ない。この点に関して、サブフ
ァブに対する配管敷設において、ファブ（fab）の主レ
ベルからの配管の経路決め（routing）を可能とするた
め、サービス区域にのみ注意を与えるガイドとして、ス
キッド全体のフットプリント（footprint）を床上にチ
ョークで描くことができる。さらに別のポイントは、機
器及びサービス区域が漏出を阻止する囲包体によって覆
われ得ることである。漏出を検知するために、囲包体内
にセンサーを設けてもよい。
【０００７】好ましくは、機器及びサービス区域は、イ
ンライン（in-line）関係に接続され、さらに、同じ横
断面積を有するものとすることができる。このことは、
配管量をさらに減少させるため、マニフォールドなどを
使用しやすくする。例えば、少なくともある補助機器が
真空ポンプを具備する場合には、少なくとも１個の共通
マニフォールドが真空ポンプと接続し、サービス区域ま
で延び、半導体処理ツールに接続されている少なくとも
１本の導管を接続するような形状である締結具を備え
る。さらに、冷却水用その他のユーティリティマニフォ
ールドが設けられてもよい。かようなユーティリティマ
ニフォールドは、真空ポンプに接続され、外部のユーテ
ィリティ接続のためのサービス区域に延びる。
【０００８】理解されるように、複数の区域からなる本
発明の機器スキッドの使用は、設備への組み込み以前
に、欠陥のある機器を交換し得るように、オフサイト機
器の組立を容易にする。この点に関し、好ましくは、機
器及びサービス区域は、機器スキッドの組立及び分解を
可能とする連結要素によって、互いに接続されている。
本発明のさらなる特徴において、補助機器は、組み込
み、取り外し及びメンテナンスを容易にするために、フ
ォークリフト車のタインを受け入れるための横断方向に
延びる管状部材上の機器区域内に取り付けられ得る。
【０００９】
【詳細な説明】図１を参照すれば、本発明の機器スキッ
ド１が、真空ポンプ１０及び関連するブースタポンプ１
２を取り付けるものとして示されている。図示された実
施形態において、機器スキッド１には、真空ポンプ１０
及びブースタポンプ１２を取り付けるための機器区域１
４及び１６と、真空ポンプ１０及びブースタポンプ１２
を半導体処理ツール及び自家用水（house water）など
のユーティリティに接続するための中央ポイントとして
サービス区域１８を具備する。
【００１０】次に、図２及び図３を参照すれば、各機器
区域１４，１６及びサービス区域１８は、機器区域１
４，１６及びサービス区域１８をそれぞれ支持するた
め、横断方向のベース部材２４に接続されている平行な
対である下部長手方向部材（lengthwise member）２０
及び２２（図４参照）を具備する。各横断方向ベース部
材２４は、足２６を具備する。４対の直立部材２８及び
３０は、横断ベース部材２４に接続されている。上部長
手方向部材（lengthwise member）の対３２及び３４
と、上部横断方向部材の対３６及び３８とは、直立部材
２８及び３０の頂部を長手方向及び横断方向にそれぞれ
接続する。下部及び上部の横断方向に延びる管状箱形状
の部材４０及び４２は、真空ポンプ及びブースタポンプ
の対１０及び１２を取り付けるための各機器区域１４及
び１６を具備する。図示されているように、下部及び上
部の横断方向に延びる部材４０及び４２は、下部及び上
部の長手方向部材２０，２２，３２及び３４をそれぞれ
接続する。部材４０及び４２は、互いに離隔されてい
て、フォークリフト車のタインを受け入れるような形状
とされている。
【００１１】機器区域及びサービス区域１４，１６及び
１８並びに上述の構造体部材は、連結要素によって相互
に接続される。連結要素は、機器区域及びサービス区域
１４，１６及び１８を分離させ得、こうして製造工場内
でオフサイト試験及び再組立の後、分解を容易にする。
特に、補助機器、真空ポンプ及びブースタポンプの対１
０及び１２は、機器区域及びサービス区域１４，１６及
び１８がテスト目的のために一時的に互いに接続されて
いる状態で、機器区域１４及び１６上に別々に取り付け
られ得る。その後、機器区域及びサービス区域１４，１
６及び１８は、分離され得、サイト上に再度取り付けら
れる。このために、直立部材２８及び３０は、Ｌ字形ス
トックから製造されて、かようなＬ字形ストックのフラ
ンジは、ネジ溝付コネクタ４４によるなどの連結要素に
よって互いに接続され得る。
【００１２】一度サイト上に載ると、真空ポンプ及びブ
ースタポンプ対１０及び１２のメンテナンスが必要とな
る場合には、部材４０及び４２に関連する連結要素は、
これらを取りつけることによって関連する機器区域１４
又は１６から取り外すことができ、部材４０及び４２は
真空ポンプ及びブースタポンプの対１０及び１２と一緒
に、１ユニットとして、フォークリフト車から取り除か
れ得る。横断方向ベース部材２４は、外方向に延びて、
機器スキッド１上に載置されているいかなる機器に対す
るアクセスも可能とすることに注意されたい。
【００１３】各機器区域及びサービス区域１４，１６及
び１８は、インライン（in-line）関係に接続されて、
機器区域１４及び１６に取り付けられている機器の半導
体ツールに対する接続を単純に補助し、且つサービス区
域１８のフットプリントを覆う領域を通過するかような
連結要素の通過を容易にする。この点に関して、本願明
細書で用いられているサービス区域１８のフットプリン
トとは、横断方向ベース部材２４に関連する足２６によ
って結合された領域を意味する。こうして、サブファブ
内での配管のネットワークを避けるかような接続用の中
央位置を提供する。
【００１４】さらに、機器区域及びサービス区域１４，
１６及び１８は、好ましくは、各々が同じ横断面積を有
するように、ほぼ同一の構成を用いる。こうして、冷却
目的で自家用水及びドレインを接続するための４６、４
８などのマニフォールドを使用しやくする。この点に関
して、入り口として作用するマニフォールド４６は、水
フィルタ４９と共働する。マニフォールド４６及び４８
は、適切なユーティリティと接続するため、サービス区
域１８で終止する。ポンプ前線（pump foreline）５
０，５２及び５３は、一緒に、半導体ツールへの関連す
る配管を連結するために、サービス区域の位置にて、フ
ランジ連結（flanged connection）を提供する。前線５
０，５２及び５３は、下向きのエルボウにて終止するよ
うに示されているが、かようなエルボウは上向きでも、
ツールに対する連結を促進するいかなる方向に向いてい
るものでもよい。排出ライン５４，５６及び５８は、排
出システムに対する連結のために、サービス区域１８の
上方で終止する。かような配管に対する支持体は、サー
ビス区域１８と連結され得るであろう。図示されていな
いが、機器区域及びサービス区域１４，１６及び１８の
分離を促進するために、マニフォールド４６及び４８
と、前線（foreline）５０，５２及び５３と、排出ライ
ン５４，５６及び５８とは、公知の種々のクイックコネ
クタ（quick connector）を介して真空ポンプ及びブー
スタポンプの対１０及び１２に接続される。かようなコ
ネクタは、機器区域及びサービス区域１４，１６及び１
８の分離を単純化して並びにメンテナンスのために真空
ポンプ及びブースタポンプの対１０及び１２の除去を単
純にすることを目的とする。
【００１５】追加的に図４を参照すれば、機器スキッド
１は、囲包体６０によって包囲されている状態で示され
ている。上述したように、かような装置の利点は、機器
スキッド１上に取り付けられた補助機器から及び関連す
る配管からのすべての漏出を抑制することにある。囲包
体６０は、システムベントに対する連結用のベント開口
部６２を具備する。加えて、開口部６４及び６８には、
それぞれ、前線５０，５２及び５３と、排出ライン５
４，５６及び５８とに対する連結用の配管が設けられ
る。図４には図示していないが、他の開口部も連結を容
易にするために設けられる。アクセスは、取り外し可能
なロールタイプ（roll-type）囲包体７０によって与え
られてもよい。図示されていないが、漏出を検知するた
めに、囲包体６０内にセンサを設けてもよい。
【００１６】加えて、図示されていないが、サービス区
域１８に効果的にセットされてもよい真空ポンプ及びブ
ースタポンプ１０及び１２用の共通の制御ユニットを設
けてもよい。かような制御ユニットの操作用の外部コン
トローラを囲包体６０に設けてもよい。
【００１７】好ましい実施形態を用いて本発明を説明し
てきたが、当業者には本発明の特許請求の範囲を逸脱し
ない限りにおいて、変更及び追加が加えられてもよいこ
とは理解できるであろう。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の機器スキッドの斜視図であ
る。
【図２】図２は、図１の頂面図である。
【図３】図３は、図１の側面立面図である。
【図４】図４は、本発明の機器スキッドを包含するため
に用いられる囲包体の一部破断斜視図であり、機器スキ
ッドの幾つかの構成要素だけを示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 グリーム・ハントリー イギリス国ウエスト・サセックス アール エイチ10・７エルジー，クローリー，メイ デンバウア，ガブリエル・ロード ９ (72)発明者 ケイト・ウィルソン アメリカ合衆国カリフォルニア州94041, マウンテン・ビュー，ハイ・スクール・ウ ェイ 950，ナンバー3309

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 半導体処理ツールを支持するための補助
    機器を取り付けるための機器スキッドであって、 複数の機器区域と、 サービス区域と、を備え、 上記機器区域内に補助機器を取り付け、 複数の機器区域とサービス区域とを互いに接続して、補
    助機器と半導体処理ツールとの間の外部接続を可能とし
    て、サービス区域のフットプリントを覆う領域内に通過
    可能とする、ことを特徴とする機器スキッド。
  2. 【請求項２】 請求項１のスキッドであって、前記機器
    区域及びサービス区域は、互いに、インライン関係に接
    続されていることを特徴とする機器スキッド。
  3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２の機器スキッドで
    あって、前記機器区域及びサービス区域は、漏出を抑制
    する囲包体によって被覆されていることを特徴とする機
    器スキッド。
  4. 【請求項４】 請求項１又は請求項２の機器スキッドで
    あって、前記機器区域及びサービス区域は、同じ断面積
    を有することを特徴とする機器スキッド。
  5. 【請求項５】 請求項１又は請求項２の機器スキッドで
    あって、前記補助機器は、前記機器区域内で、横断方向
    に延びる管状部材上に取り付けられて、フォークリフト
    車両のタインを受け入れるようになされていることを特
    徴とする機器スキッド。
  6. 【請求項６】 請求項４の機器スキッドであって、 少なくともある補助機器は、真空ポンプを含み、 少なくとも１個の共通マニフォールドが、上記真空ポン
    プを連結し且つ前記サービス区域内に延び、前記半導体
    処理ツールに接続された少なくとも１本の導管と連結す
    る形状の締結具を有し、 冷却水用ユーティリティマニフォールドが上記真空ポン
    プを連結し且つ外部ユーティリティ接続のため前記サー
    ビス区域内に延びる、ことを特徴とする機器スキッド。
  7. 【請求項７】 請求項１又は請求項２の機器スキッドで
    あって、前記機器区域及びサービス区域は、連結要素に
    よって互いに接続されていて、機器スキッドの組立及び
    分解を可能とすることを特徴とする機器スキッド。
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