JP3678563B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板に所定の処理を行う基板処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用ガラス基板等の基板に種々の処理を行うために、基板処理装置が用いられている。たとえば、半導体デバイスの製造プロセスでは、生産効率を高めるために一連の処理の各々をユニット化し、複数の処理ユニットを統合した基板処理装置が用いられている。
【0003】
図6は従来の基板処理装置の一例を示す横断面図、図7は図6の基板処理装置の側面図である。
【0004】
図6において、基板処理装置の装置本体1aの正面側の処理領域Aには、基板にフォトレジスト等の処理液の塗布処理を行う回転式塗布ユニット(スピンコータ)10および基板に現像処理を行う回転式現像ユニット(スピンデベロッパ)20が並設されている。また、装置本体1aの背面側の処理領域Bには、基板に加熱処理を行う加熱ユニット(ホットプレート)、基板に冷却処理を行う冷却ユニット(クーリングプレート)、基板に密着強化処理を行う密着強化ユニット等の複数の熱処理ユニット30がそれぞれ複数段に配置されている。
【0005】
処理領域A,B間の搬送領域Cには、基板を矢印Yの方向に搬送するとともに回転式塗布ユニット10、回転式現像ユニット20および熱処理ユニット30に対して基板の搬入および搬出を行う搬送ユニット40が設けられている。
【0006】
装置本体1aの一端部側には、基板を収納するとともに基板の搬入および搬出を行う搬入出装置(インデクサ)50が配置されている。搬入出装置50は、基板Wを収納する複数のカセット60が載置されるカセット載置台51、および基板の搬入および搬出を行う搬送ユニット52を備える。搬送ユニット52は、矢印Xの方向に移動し、カセット載置台51上のカセット60から基板Wを取り出して搬送領域Cの搬送ユニット40に渡し、一連の処理を施された基板を搬送領域Cの搬送ユニット40から受け取ってカセット載置台51上のカセット60に戻す。搬入出装置50の上部には、フィルタおよびファンからなる空気調整ユニット90が配置されている。
【0007】
回転式塗布ユニット10、回転式現像ユニット20および熱処理ユニット30の下部には、図7に示すように、内蔵ユニット70が設けられている。内蔵ユニット70は、ポンプ、タンク、瓶類、弁等の流体設備を内蔵し、回転式塗布ユニット10および回転式現像ユニット20に処理液等の流体を供給するとともに回転式塗布ユニット10および回転式現像ユニット20からの廃液を外部に排出し、また液面センサ等の電装設備を内蔵し、ポンプ、タンク、電磁弁等の動作を制御する。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、流体設備、電装設備等の構成ユニット(構成要素)は、装置本体1aの下部に設けられた内蔵ユニット70に収納されている。これにより、基板処理装置の占有床面積(フットプリント)の増加が抑制されている。
【0009】
しかしながら、流体設備、電装設備等の構成ユニットが増加すると、すべての構成ユニットを内蔵ユニット70内に収納することが困難となる。このような場合、図6および図7に示すように、装置本体1aとは別に別置キャビネット2を追加し、流体設備、電装設備等の構成ユニットの一部を別置キャビネット2内に収納する。これにより、クリーンルーム内での基板処理装置の占有床面積が大きくなるという問題が生じる。
【0010】
また、別置キャビネット2内に収納される流体設備、電装設備等の構成ユニットを装置本体1aに接続するために配管3および配線4を設ける必要がある。この場合、別置キャビネット2と装置本体1aとの間の渡り配管や配線の追加により、信頼性が低下するとともにコストが上昇する。
【0011】
本発明の目的は、占有床面積の低減化、信頼性の向上および低コスト化が可能な基板処理装置を提供することである。
【0012】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
第1の発明に係る基板処理装置は、基板に処理を行う処理部を備えかつ下部に空間を有する床材上に設置される装置本体を有する基板処理装置であって、処理部の処理に関連する構成要素の一部が装置本体下部の床材直下に取り付けられ、通気性を有する部材により構成された収納容器内に収納されたものである。
【0013】
本発明に係る基板処理装置においては、処理部の処理に関連する構成要素の一部が装置本体下部の床材直下の空間に配設されるので、装置本体の占有床面積を低減することが可能となる。また、構成要素が増加した場合でも、装置本体の占有床面積の増加を抑制することができる。
【0014】
特に、構成要素の一部が装置本体下部の床材直下に配設されているので、構成要素と装置本体との接続距離が短くなる。それにより、信頼性が向上するとともに低コスト化が図られる。また、床材に開口部等のポートを設けることにより、あるいは床材の一部を取り外すことにより、床材上から床材直下の構成要素の保守作業を容易に行うことができる。さらに、構成要素の一部が床材直下に取り付けられた収納容器内に収納されるので、その構成要素を床材に直接固定することなく床材直下の空間に容易に配設することが可能となる。さらに、収納容器が通気性を有するので、収納容器により装置本体下への排気または下降流(ダウンフロー)が遮られることを防止することができる。
【0015】
第2の発明に係る基板処理装置は、第1の発明に係る基板処理装置の構成において、構成要素の一部が、電装設備、流体設備、給気設備または排気設備であるものである。
【0016】
この場合、電装設備、流体設備、給気設備または排気設備による装置本体の占有床面積の増加を抑制することができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の実施例における基板処理装置の正面図、図2は図1の基板処理装置の側面図、図3は図1の基板処理装置の横断面図である。
【0018】
図3において、基板処理装置の装置本体1の正面側の処理領域Aには、基板にフォトレジスト等の処理液の塗布処理を行う回転式塗布ユニット(スピンコータ)10および基板に現像処理を行う回転式現像ユニット(スピンデベロッパ)20が並設される。また、装置本体1の背面側の処理領域Bには、基板に加熱処理を行う加熱ユニット(ホットプレート)、基板に冷却処理を行う冷却ユニット(クーリングプレート)、基板に密着強化処理を行う密着強化ユニット等の複数の熱処理ユニット30がそれぞれ複数段に配置されている。
【0019】
処理領域A,B間の搬送領域Cには、基板を矢印Yの方向に搬送するとともに回転式塗布ユニット10、回転式現像ユニット20および熱処理ユニット30に対して基板の搬入および搬出を行う搬送ユニット40が設けられている。
【0020】
装置本体1の一端部側には、基板を収納するとともに基板の搬入および搬出を行う搬入出装置(インデクサ)50が配置されている。搬入出装置50は、基板を収納する複数のカセット60が載置されるカセット載置台51、および基板の搬入および搬出を行う搬送ユニット52を備える。搬送ユニット52は、矢印Xの方向に移動し、カセット載置台51上のカセット60から基板Wを取り出して搬送領域Cの搬送ユニット40に渡し、一連の処理を施された基板を搬送領域Cの搬送ユニット40から受け取ってカセット載置台51上のカセット60に戻す。
【0021】
図1および図2に示すように、回転式塗布ユニット10、回転式現像ユニット20および熱処理ユニット30の下部には、内蔵ユニット70が設けられている。内蔵ユニット70は、ポンプ、タンク、瓶類、弁等の流体設備を内蔵し、回転式塗布ユニット10および回転式現像ユニット20に処理液等の流体を供給するとともに、回転式塗布ユニット10および回転式現像ユニット20からの廃液を外部に排出し、また液面センサ等の電装設備を内蔵し、ポンプ、タンク、電磁弁等の動作を制御する。
【0022】
回転式塗布ユニット10、回転式現像ユニット20および熱処理ユニット30の上部には、フィルタおよびファンからなる空気調整ユニット80が配置されている。また、搬入出装置50の上部にも、フィルタおよびファンからなる空気調整ユニット90が配置されている。
【0023】
装置本体1は、グレーチング(格子)からなる床材200上に設置されている。床材200は、コンクリート床210の上方に複数の支持柱220により支持されている。つまり、床材200が階上、階下を隔てている。
【0024】
特に、本実施例では、装置本体1下部の床材200の直下に床下キャビネット100が吊り下げて取り付けられている。この床下キャビネット100は、グレーチング、パンチングメタル等の通気性を有する部材により構成される。
【0025】
床下キャビネット100内には、流体設備、給気設備、排気設備、電装設備等の構成ユニットの一部が収納される。特に、床下キャビネット100には、サーボアンプ、電源ユニット、恒温水ユニット、バッファタンク、HMDS(ヘキサメチルジシラザン)バブリングタンク等の比較的保守または交換の頻度が低い構成ユニットを収納することが好ましい。また、この床下キャビネット100に、トランス、薬液瓶、薬液タンク、空気調整ユニット等の他の構成ユニットを収納してもよい。
【0026】
床下キャビネット100上の床材200には孔201が設けられ、この孔201に装置本体1と床下キャビネット100とを接続する導管(ダクト)101が設けられている。この導管101内には、床下キャビネット100内の流体設備、給気設備、排気設備、電装設備等の構成ユニットを装置本体1に接続する配管および配線が挿入されている。
【0027】
本実施例の基板処理装置においては、構成ユニットの一部が床材200の直下に取り付けられた床下キャビネット100内に収納されるので、装置本体1の占有床面積が低減される。また、構成ユニットが増加した場合でも、装置本体1の占有床面積の増加が抑制される。
【0028】
さらに、床下キャビネット100内に収納された構成ユニットと装置本体1とを接続する配管および配線の距離が短くなるので、信頼性が向上するとともに低コスト化が図られる。また、床材200に開口部等のポート(図示せず)を設けることにより、あるいは床材200の一部を取り外すことにより、階下に降りることなく、床材200の上から床材200直下の床下キャビネット100に収納された構成ユニットの保守作業を容易に行うことができる。
【0029】
特に、床下キャビネット100が通気性を有するので、床下キャビネット100が装置本体1の下方への排気またはダウンフローを妨げることが防止される。
【0030】
本実施例では、回転式塗布ユニット10、回転式現像ユニット20、熱処理ユニット30、搬送ユニット40および搬入出装置50が処理部に相当し、床下キャビネット100が収納容器に相当する。
【0031】
図4は本発明の参考例における基板処理装置の正面図、図5は図4の基板処理装置の側面図である。なお、本参考例の基板処理装置の横断面図は図3に示した横断面図と同様である。
【0032】
図4および図5に示すように、装置本体1下部の床材200の直下に排気マニホールド110が取り付けられている。この排気マニホールド110近傍の床材200には孔202が設けられている。排気マニホールド110の配管111,112は、床材200の孔202を通して装置本体1に接続されている。排気マニホールド110の配管113は、工場内の排気設備に接続されている。
【0033】
本参考例では、排気マニホールド110が構成ユニットの一部に相当する。本参考例の基板処理装置の他の部分の構成は、上記実施例の基板処理装置の構成と同様である。
【0034】
本参考例の基板処理装置においては、排気マニホールド110が装置本体1下部の床材200の直下に配設されているので、装置本体1の占有床面積が増加しない。また、排気マニホールド110と装置本体1とを接続する配管111,112の長さが短くなるので、信頼性が向上するとともに、低コスト化が図られる。
【0035】
さらに、床材200に開口部等のポート(図示せず)を設けることにより、あるいは床材200の一部を取り外すことにより、階下に降りることなく、床材200の上から排気マニホールド110の保守作業を容易に行うことができる。
【0036】
なお、上記実施例では、本発明を複数の処理部を備えた基板処理装置に適用した場合を説明したが、本発明は、塗布処理、現像処理、洗浄処理、熱処理、搬送処理、搬入出処理等の単一の処理部を有する基板処理装置にも同様に適用することができる。
【0037】
また、装置本体下部の床下直下の空間に配設する構成ユニットは、上記実施例に限らず、種々の構成ユニットを配設することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例における基板処理装置の正面図である。
【図2】 図1の基板処理装置の側面図である。
【図3】 図1の基板処理装置の横断面図である。
【図4】 本発明の参考例における基板処理装置の正面図である。
【図5】 図4の基板処理装置の側面図である。
【図6】 従来の基板処理装置の横断面図である。
【図7】 図6の基板処理装置の側面図である。
【符号の説明】
1 装置本体
10 回転式塗布ユニット
20 回転式現像ユニット
30 熱処理ユニット
70 内蔵ユニット
100 床下キャビネット
101 導管
110 排気マニホールド
111,112,113 配管
200 床材
201,202 孔
210 コンクリート床
220 支持柱
Claims (2)
- 基板に処理を行う処理部を備えかつ下部に空間を有する床材上に設置される装置本体を有する基板処理装置であって、前記処理部の処理に関連する構成要素の一部が前記装置本体下部の前記床材直下に取り付けられ、
通気性を有する部材により構成された収納容器内に収納されたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記構成要素の一部が、電装設備、流体設備、給気設備または排気設備であることを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。
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JP31798197A JP3678563B2 (ja) | 1997-11-19 | 1997-11-19 | 基板処理装置 |
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JP31798197A JP3678563B2 (ja) | 1997-11-19 | 1997-11-19 | 基板処理装置 |
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JP31798197A Expired - Fee Related JP3678563B2 (ja) | 1997-11-19 | 1997-11-19 | 基板処理装置 |
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