JP2001211467A - 固体撮像素子のカラーフィルタ検査方法 - Google Patents
固体撮像素子のカラーフィルタ検査方法Info
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 固体撮像素子のライン出力信号をサンプリン
グして出力差を検出する場合に、隣接する画素間の信号
出力レベル差による問題を解消する。 【解決手段】 ＣＤＳ回路１００に入力する前に、固体
撮像素子のリセットゲート部のＤレンジを駆動電圧で制
御することにより、Ｒ画素とＧｒ画素の出力差を無く
し、Ｒ画素とＧｒ画素の出力をほぼ同じレベルにする。
また、同様に、Ｂ画素とＧｂ画素の出力差を無くし、Ｂ
画素とＧｂ画素の出力をほぼ同じレベルにする。これに
より、ＣＤＳ回路１００の入力時には、Ｒ画素とＧｒ画
素の出力差がないため、サンプルホールド回路１１０、
１２０、１３０におけるサンプリング時間がＲ画素及び
Ｇｒ画素とともにほぼ等しくなり、なまりのない出力波
形を得ることが可能となる。
グして出力差を検出する場合に、隣接する画素間の信号
出力レベル差による問題を解消する。 【解決手段】 ＣＤＳ回路１００に入力する前に、固体
撮像素子のリセットゲート部のＤレンジを駆動電圧で制
御することにより、Ｒ画素とＧｒ画素の出力差を無く
し、Ｒ画素とＧｒ画素の出力をほぼ同じレベルにする。
また、同様に、Ｂ画素とＧｂ画素の出力差を無くし、Ｂ
画素とＧｂ画素の出力をほぼ同じレベルにする。これに
より、ＣＤＳ回路１００の入力時には、Ｒ画素とＧｒ画
素の出力差がないため、サンプルホールド回路１１０、
１２０、１３０におけるサンプリング時間がＲ画素及び
Ｇｒ画素とともにほぼ等しくなり、なまりのない出力波
形を得ることが可能となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、固体撮像素子のラ
イン間の出力差を検出することにより、カラーフィルタ
の特性を検査する検査方法に関する。
イン間の出力差を検出することにより、カラーフィルタ
の特性を検査する検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、固体撮像素子における各ライ
ン間の出力差を検出する方法として、例えば特開平１１
−１１３０１３号公報に開示されるものが知られてい
る。この従来技術では、各撮像画素に対応して赤（Ｒ）
と緑（Ｇｒ）の色フィルタが交互に配置されたラインの
出力信号、または、各撮像画素に対応して青（Ｂ）と緑
（Ｇｂ）の色フィルタが交互に配置されたラインの出力
信号を、相関二重サンプリング回路（ＣＳＤ回路）に供
給してサンプリングし、このＣＳＤ回路からの出力を用
いて各ライン間の出力差を検出するようになっている。
また、このような検出方法において、赤または青の検査
光に対して緑フィルタによる小信号のレベルをサンプリ
ングすることにより、この小信号に現れる誤差を用いて
有効に各ライン間の出力差を検出することができる。
ン間の出力差を検出する方法として、例えば特開平１１
−１１３０１３号公報に開示されるものが知られてい
る。この従来技術では、各撮像画素に対応して赤（Ｒ）
と緑（Ｇｒ）の色フィルタが交互に配置されたラインの
出力信号、または、各撮像画素に対応して青（Ｂ）と緑
（Ｇｂ）の色フィルタが交互に配置されたラインの出力
信号を、相関二重サンプリング回路（ＣＳＤ回路）に供
給してサンプリングし、このＣＳＤ回路からの出力を用
いて各ライン間の出力差を検出するようになっている。
また、このような検出方法において、赤または青の検査
光に対して緑フィルタによる小信号のレベルをサンプリ
ングすることにより、この小信号に現れる誤差を用いて
有効に各ライン間の出力差を検出することができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ような従来の検出方法では、赤または青の検査光を用い
て緑フィルタによる小信号の検出を行う場合、赤（Ｒ）
と緑（Ｇｒ）、または、青（Ｂ）と緑（Ｇｂ）の色フィ
ルタが配列された隣接する画素間で信号電荷の蓄積量が
大きく異なるため、各画素毎に出力レベルが大きく振れ
ることになる。したがって、このような振幅の大きいラ
イン出力信号をＣＳＤ回路に入力して小信号出力（Ｇｒ
もしくはＧｂの画素出力）のレベルをサンプリングする
場合、サンプリング時間が長くなり、ホールド後の出力
波形がなまってしまう。そのため、このＣＳＤ回路の出
力をＡ／Ｄ変換する際のパルスが、小信号出力のなまっ
てしまった部分をサンプリングすることになり、検査精
度の低下を招くという問題がある。また、駆動周波数が
高くなればなるだけ、サンプリング期間が減少するた
め、さらに有効な検査が困難となる問題がある。
ような従来の検出方法では、赤または青の検査光を用い
て緑フィルタによる小信号の検出を行う場合、赤（Ｒ）
と緑（Ｇｒ）、または、青（Ｂ）と緑（Ｇｂ）の色フィ
ルタが配列された隣接する画素間で信号電荷の蓄積量が
大きく異なるため、各画素毎に出力レベルが大きく振れ
ることになる。したがって、このような振幅の大きいラ
イン出力信号をＣＳＤ回路に入力して小信号出力（Ｇｒ
もしくはＧｂの画素出力）のレベルをサンプリングする
場合、サンプリング時間が長くなり、ホールド後の出力
波形がなまってしまう。そのため、このＣＳＤ回路の出
力をＡ／Ｄ変換する際のパルスが、小信号出力のなまっ
てしまった部分をサンプリングすることになり、検査精
度の低下を招くという問題がある。また、駆動周波数が
高くなればなるだけ、サンプリング期間が減少するた
め、さらに有効な検査が困難となる問題がある。
【０００４】そこで本発明の目的は、固体撮像素子のラ
イン出力信号をサンプリングして出力差を検出する場合
に、隣接する画素間の信号出力レベル差による問題を解
消し、有効な検査精度を得ることができ、駆動周波数の
高速化にも対応できる固体撮像素子のカラーフィルタ検
査方法を提供することにある。
イン出力信号をサンプリングして出力差を検出する場合
に、隣接する画素間の信号出力レベル差による問題を解
消し、有効な検査精度を得ることができ、駆動周波数の
高速化にも対応できる固体撮像素子のカラーフィルタ検
査方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するため、撮像領域の各ラインを構成する各画素に対応
して第１色フィルタ部と第２色フィルタ部とを交互に配
置したカラーフィルタを有する固体撮像素子に対し、前
記撮像領域に前記第１色フィルタ部に対応する検査光を
照射することによって前記各ラインから出力される信号
をサンプリングし、各ラインのサンプリング信号を比較
することにより、前記各ラインの欠陥を検査する固体撮
像素子のカラーフィルタの検査方法において、前記固体
撮像素子の駆動電圧を制御することにより、前記各ライ
ンから出力される信号のうち、前記第２色フィルタ部を
設けた画素からの信号レベルと、前記第１色フィルタ部
を設けた画素からの信号レベルとを、ほぼ等しいレベル
に制御してサンプリング用の回路に供給するようにした
ことを特徴とする。
するため、撮像領域の各ラインを構成する各画素に対応
して第１色フィルタ部と第２色フィルタ部とを交互に配
置したカラーフィルタを有する固体撮像素子に対し、前
記撮像領域に前記第１色フィルタ部に対応する検査光を
照射することによって前記各ラインから出力される信号
をサンプリングし、各ラインのサンプリング信号を比較
することにより、前記各ラインの欠陥を検査する固体撮
像素子のカラーフィルタの検査方法において、前記固体
撮像素子の駆動電圧を制御することにより、前記各ライ
ンから出力される信号のうち、前記第２色フィルタ部を
設けた画素からの信号レベルと、前記第１色フィルタ部
を設けた画素からの信号レベルとを、ほぼ等しいレベル
に制御してサンプリング用の回路に供給するようにした
ことを特徴とする。
【０００６】本発明の固体撮像素子のカラーフィルタ検
査方法では、固体撮像素子の撮像領域に対し、第１色フ
ィルタ部に対応する検査光を照射することによって各ラ
インから出力される信号をサンプリングし、各ラインの
サンプリング信号を比較することにより、前記各ライン
の欠陥を検査する。ここで、固体撮像素子の駆動電圧を
制御することにより、各ラインから出力される信号のう
ち、第２色フィルタ部を設けた画素からの信号レベル
と、第１色フィルタ部を設けた画素からの信号レベルと
を、ほぼ等しいレベルに制御してサンプリング用の回路
に供給する。これにより、サンプリング用の回路に供給
する信号レベルの振れを小さくすることができ、サンプ
リングを短時間で行うことが可能となる。したがって、
ホールド後の出力波形がなまることもなく、有効な検査
精度を得ることができ、駆動周波数の高速化にも対応で
きる。
査方法では、固体撮像素子の撮像領域に対し、第１色フ
ィルタ部に対応する検査光を照射することによって各ラ
インから出力される信号をサンプリングし、各ラインの
サンプリング信号を比較することにより、前記各ライン
の欠陥を検査する。ここで、固体撮像素子の駆動電圧を
制御することにより、各ラインから出力される信号のう
ち、第２色フィルタ部を設けた画素からの信号レベル
と、第１色フィルタ部を設けた画素からの信号レベルと
を、ほぼ等しいレベルに制御してサンプリング用の回路
に供給する。これにより、サンプリング用の回路に供給
する信号レベルの振れを小さくすることができ、サンプ
リングを短時間で行うことが可能となる。したがって、
ホールド後の出力波形がなまることもなく、有効な検査
精度を得ることができ、駆動周波数の高速化にも対応で
きる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明による固体撮像素子
のカラーフィルタ検査方法の実施の形態例について説明
する。図１は、本実施の形態の検査方法の対象となる固
体撮像素子の画素配置を示す説明図であり、図２は、本
実施の形態の検査方法で用いる検査回路を示すブロック
図である。また、図３は、図２に示す検査回路の各部の
動作を示すタイミングチャートであり、図４は、図１に
示す固体撮像素子におけるリセットゲートＲＧ部の駆動
制御を示す説明図である。
のカラーフィルタ検査方法の実施の形態例について説明
する。図１は、本実施の形態の検査方法の対象となる固
体撮像素子の画素配置を示す説明図であり、図２は、本
実施の形態の検査方法で用いる検査回路を示すブロック
図である。また、図３は、図２に示す検査回路の各部の
動作を示すタイミングチャートであり、図４は、図１に
示す固体撮像素子におけるリセットゲートＲＧ部の駆動
制御を示す説明図である。
【０００８】本実施の形態による検査方法では、固体撮
像素子のＲ／Ｇ／Ｂ原色系のカラーフィルタ特性、特に
ライン間の出力差を検出する方法において、Ｒ光照射時
には、互いに隣接して配置されるＲ画素の出力レベルと
Ｇｒ画素の出力レベルとほぼ等しくなるように、固体撮
像素子のリセットゲート駆動電圧を制御し、Ｂ光照射時
には、互いに隣接して配置されるＢ画素の出力レベルと
Ｇｂ画素の出力レベルが等しくなるように、固体撮像素
子のリセットゲート駆動電圧を制御することにより、各
ライン出力における画素間の出力差をなくすようにす
る。そして、この固体撮像素子のライン出力をサンプリ
ングするＣＤＳ回路に供給することにより、ＣＤＳ回路
の出力波形のなまりを抑え、その後、Ｇ画素の出力値の
みを検出するようにしたものである。
像素子のＲ／Ｇ／Ｂ原色系のカラーフィルタ特性、特に
ライン間の出力差を検出する方法において、Ｒ光照射時
には、互いに隣接して配置されるＲ画素の出力レベルと
Ｇｒ画素の出力レベルとほぼ等しくなるように、固体撮
像素子のリセットゲート駆動電圧を制御し、Ｂ光照射時
には、互いに隣接して配置されるＢ画素の出力レベルと
Ｇｂ画素の出力レベルが等しくなるように、固体撮像素
子のリセットゲート駆動電圧を制御することにより、各
ライン出力における画素間の出力差をなくすようにす
る。そして、この固体撮像素子のライン出力をサンプリ
ングするＣＤＳ回路に供給することにより、ＣＤＳ回路
の出力波形のなまりを抑え、その後、Ｇ画素の出力値の
みを検出するようにしたものである。
【０００９】図１において、奇数ライン１には、Ｒ画素
（Ｒフィルタを配置した画素）と、Ｇｒ画素（Ｒライン
でＧフィルタを配置した画素）とが交互に配置されてお
り、偶数ライン２には、Ｇｂ画素（ＢラインでＧフィル
タを配置した画素）とＢ画素（Ｂフィルタを配置した画
素）とが交互に配置されている。そして、本形態の検査
方法では、Ｒの単色光とＢの単色光を、それぞれ照射し
た場合のライン１のＧｒ画素とライン２のＧｂ画素の出
力差を検出する。このライン間出力差ｄは、以下のよう
な式で表される。 ｄ＝｛（ｇｒ−ｇｂ）／｛（ｇｒ＋ｇｂ）／２｝×１０
０（％） ただし、ｇｒはライン１のＧｒ画素の出力の平均値を示
し、ｇｂはライン２のＧｂ画素の出力の平均値を示して
いる。このように、本形態の検査では、Ｒ光を照射した
場合の出力とＢ光を照射した場合の出力とを検出し、そ
の出力値を演算処理するものであるが、各出力の検出動
作自体はＲ光を照射した場合とＢ光を照射した場合とで
共通であるので、以下の説明では、具体例としてＲ光を
照射した場合の動作について説明する。
（Ｒフィルタを配置した画素）と、Ｇｒ画素（Ｒライン
でＧフィルタを配置した画素）とが交互に配置されてお
り、偶数ライン２には、Ｇｂ画素（ＢラインでＧフィル
タを配置した画素）とＢ画素（Ｂフィルタを配置した画
素）とが交互に配置されている。そして、本形態の検査
方法では、Ｒの単色光とＢの単色光を、それぞれ照射し
た場合のライン１のＧｒ画素とライン２のＧｂ画素の出
力差を検出する。このライン間出力差ｄは、以下のよう
な式で表される。 ｄ＝｛（ｇｒ−ｇｂ）／｛（ｇｒ＋ｇｂ）／２｝×１０
０（％） ただし、ｇｒはライン１のＧｒ画素の出力の平均値を示
し、ｇｂはライン２のＧｂ画素の出力の平均値を示して
いる。このように、本形態の検査では、Ｒ光を照射した
場合の出力とＢ光を照射した場合の出力とを検出し、そ
の出力値を演算処理するものであるが、各出力の検出動
作自体はＲ光を照射した場合とＢ光を照射した場合とで
共通であるので、以下の説明では、具体例としてＲ光を
照射した場合の動作について説明する。
【００１０】通常、固体撮像素子の出力は、図３（１）
に示すように、各画素の境界部に対応するリセット部
と、各画素に対応するデータ部とからなる。すなわち、
図３（１）で示すリセットレベルより高い波形部分がリ
セット部であり、低い波形部分がＧｒ画素またはＲ画素
のデータ部である。そして、Ｇｒ画素とＲ画素のデータ
部では、Ｒ照射によりＲ画素の出力振幅レベルが大とな
り、Ｇｒ画素の出力振幅レベルが小となる。そこで、こ
のような出力を図２に示す検査回路によって検出する。
この検査回路は、固体撮像素子からの出力をサンプリン
グするＣＤＳ回路１００と、このＣＤＳ回路１００の出
力を増幅する増幅器２００と、この増幅器２００の出力
をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換回路３００と、Ａ／Ｄ変換
回路３００からのデジタルデータを記憶するフレームメ
モリ４００とを有する。
に示すように、各画素の境界部に対応するリセット部
と、各画素に対応するデータ部とからなる。すなわち、
図３（１）で示すリセットレベルより高い波形部分がリ
セット部であり、低い波形部分がＧｒ画素またはＲ画素
のデータ部である。そして、Ｇｒ画素とＲ画素のデータ
部では、Ｒ照射によりＲ画素の出力振幅レベルが大とな
り、Ｇｒ画素の出力振幅レベルが小となる。そこで、こ
のような出力を図２に示す検査回路によって検出する。
この検査回路は、固体撮像素子からの出力をサンプリン
グするＣＤＳ回路１００と、このＣＤＳ回路１００の出
力を増幅する増幅器２００と、この増幅器２００の出力
をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換回路３００と、Ａ／Ｄ変換
回路３００からのデジタルデータを記憶するフレームメ
モリ４００とを有する。
【００１１】ＣＤＳ回路１００は、３つのサンプルホー
ルド（Ｓ／Ｈ）回路１１０、１２０、１３０と、差動ア
ンプ１４０とを有する。なお、図２及び図３において、
ＣＤＳ回路１００の各サンプルホールド回路１１０、１
２０、１３０の出力信号をＡ、Ｂ、Ｃとし、差動アンプ
１４０の出力をＤとして示している。そして、このＣＤ
Ｓ回路１００は、図３（２）、（３）に示す２つのクロ
ックφＳＨＰ、φＳＨＤを用いることにより、上述した
リセット部とデータ部のサンプリングを行い、各サンプ
リングデータのタイミングを一致させて各データの差を
差動アンプ１４０で減算するという構成になっている。
ルド（Ｓ／Ｈ）回路１１０、１２０、１３０と、差動ア
ンプ１４０とを有する。なお、図２及び図３において、
ＣＤＳ回路１００の各サンプルホールド回路１１０、１
２０、１３０の出力信号をＡ、Ｂ、Ｃとし、差動アンプ
１４０の出力をＤとして示している。そして、このＣＤ
Ｓ回路１００は、図３（２）、（３）に示す２つのクロ
ックφＳＨＰ、φＳＨＤを用いることにより、上述した
リセット部とデータ部のサンプリングを行い、各サンプ
リングデータのタイミングを一致させて各データの差を
差動アンプ１４０で減算するという構成になっている。
【００１２】すなわち、このＣＤＳ回路１００におい
て、図３（１）に示す出力信号のリセット部のレベルは
クロックφＳＨＰでサンプリングし、データ部のレベル
はクロックφＳＨＤでサンプリングしている。また、リ
セット部のレベルを再度クロックφＳＨＰでサンプリン
グしているのは、リセット部とデータ部との時間のずれ
を合わせるためである（図３（４）〜（６））。この
後、差動アンプ１４０を介することにより、ＣＤＳ回路
１００から常にリセット部とデータ部の出力差が現れる
（図３（７））。そして、このＣＤＳ回路１００の出力
信号を図３（８）に示すようなＡ／Ｄ変換パルスによっ
てＡ／Ｄ変換回路３００によりＡ／Ｄ変換し、この変換
後のデータを順次フレームメモリ４００に書き込んでい
く。
て、図３（１）に示す出力信号のリセット部のレベルは
クロックφＳＨＰでサンプリングし、データ部のレベル
はクロックφＳＨＤでサンプリングしている。また、リ
セット部のレベルを再度クロックφＳＨＰでサンプリン
グしているのは、リセット部とデータ部との時間のずれ
を合わせるためである（図３（４）〜（６））。この
後、差動アンプ１４０を介することにより、ＣＤＳ回路
１００から常にリセット部とデータ部の出力差が現れる
（図３（７））。そして、このＣＤＳ回路１００の出力
信号を図３（８）に示すようなＡ／Ｄ変換パルスによっ
てＡ／Ｄ変換回路３００によりＡ／Ｄ変換し、この変換
後のデータを順次フレームメモリ４００に書き込んでい
く。
【００１３】また、本形態では、ＣＤＳ回路１００に入
力する前に、固体撮像素子のリセットゲート部のＤレン
ジを駆動電圧で制御することにより、Ｒ画素とＧｒ画素
の出力差を無くし、Ｒ画素とＧｒ画素の出力をほぼ同じ
レベルにするものである。すなわち、図４に示すよう
に、各画素の信号電荷は、Ｖ（垂直）レジスタのＲＤ
（リセットドレイン）部、ＲＧ（リセットゲート）部、
ＦＤ（フローティングディフュージョン）部を介してＨ
ＯＧ（Ｈ（水平）レジスタアウトゲート）部に送られ
る。そこで、このＲＧ部における駆動電圧を制御するこ
とにより、もともと図４（１）に示すようなポテンシャ
ルレベルにあるＲ画素のレベルを、図４（２）に示すよ
うなレベルに変えることにより、Ｇｒ画素の出力レベル
とほぼ等しいレベルに制御するものである。
力する前に、固体撮像素子のリセットゲート部のＤレン
ジを駆動電圧で制御することにより、Ｒ画素とＧｒ画素
の出力差を無くし、Ｒ画素とＧｒ画素の出力をほぼ同じ
レベルにするものである。すなわち、図４に示すよう
に、各画素の信号電荷は、Ｖ（垂直）レジスタのＲＤ
（リセットドレイン）部、ＲＧ（リセットゲート）部、
ＦＤ（フローティングディフュージョン）部を介してＨ
ＯＧ（Ｈ（水平）レジスタアウトゲート）部に送られ
る。そこで、このＲＧ部における駆動電圧を制御するこ
とにより、もともと図４（１）に示すようなポテンシャ
ルレベルにあるＲ画素のレベルを、図４（２）に示すよ
うなレベルに変えることにより、Ｇｒ画素の出力レベル
とほぼ等しいレベルに制御するものである。
【００１４】これにより、ＣＤＳ回路１００の入力時に
は、Ｒ画素とＧｒ画素の出力差がないため、サンプルホ
ールド回路１１０、１２０、１３０におけるサンプリン
グ時間がＲ画素及びＧｒ画素とともにほぼ等しくなり、
なまりのない出力波形を得ることが可能となる。この結
果、通常は、Ａ／Ｄ変換パルスを１画素のほぼ中央に高
精度に合わせる必要があるが、図３（８）に示すよう
に、多少左右にずれたとしても問題なくサンプリングを
することができる。なお、以上の説明では、具体例とし
てＲ光を照射した場合の動作について説明したが、Ｂ光
を照射した場合にも同様の方法を用いるものである。
は、Ｒ画素とＧｒ画素の出力差がないため、サンプルホ
ールド回路１１０、１２０、１３０におけるサンプリン
グ時間がＲ画素及びＧｒ画素とともにほぼ等しくなり、
なまりのない出力波形を得ることが可能となる。この結
果、通常は、Ａ／Ｄ変換パルスを１画素のほぼ中央に高
精度に合わせる必要があるが、図３（８）に示すよう
に、多少左右にずれたとしても問題なくサンプリングを
することができる。なお、以上の説明では、具体例とし
てＲ光を照射した場合の動作について説明したが、Ｂ光
を照射した場合にも同様の方法を用いるものである。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように本発明の固体撮像素
子のカラーフィルタ検査方法では、固体撮像素子の駆動
電圧を制御することにより、固体撮像素子の各ラインか
ら出力される信号のうち、第２色フィルタ部を設けた画
素からの信号レベルと、第１色フィルタ部を設けた画素
からの信号レベルとをほぼ等しいレベルに制御してサン
プリング用の回路に供給するようにした。このため、サ
ンプリング用の回路に供給する信号レベルの振れを小さ
くすることができ、サンプリングを短時間で行うことが
可能となる。したがって、ホールド後の出力波形がなま
ることもなく、有効な検査精度を得ることができ、駆動
周波数の高速化にも対応できるという効果がある。
子のカラーフィルタ検査方法では、固体撮像素子の駆動
電圧を制御することにより、固体撮像素子の各ラインか
ら出力される信号のうち、第２色フィルタ部を設けた画
素からの信号レベルと、第１色フィルタ部を設けた画素
からの信号レベルとをほぼ等しいレベルに制御してサン
プリング用の回路に供給するようにした。このため、サ
ンプリング用の回路に供給する信号レベルの振れを小さ
くすることができ、サンプリングを短時間で行うことが
可能となる。したがって、ホールド後の出力波形がなま
ることもなく、有効な検査精度を得ることができ、駆動
周波数の高速化にも対応できるという効果がある。
【図１】本発明の実施の形態による検査方法の対象とな
る固体撮像素子の画素配置を示す説明図である。
る固体撮像素子の画素配置を示す説明図である。
【図２】本発明の実施の形態の検査方法で用いる検査回
路を示すブロック図である。
路を示すブロック図である。
【図３】図２に示す検査回路の各部の動作を示すタイミ
ングチャートである。
ングチャートである。
【図４】図１に示す固体撮像素子におけるリセットゲー
トＲＧ部の駆動制御を示す説明図である。
トＲＧ部の駆動制御を示す説明図である。
１００……ＣＤＳ回路、１１０、１２０、１３０……サ
ンプルホールド（Ｓ／Ｈ）回路、２００……増幅器、３
００……Ａ／Ｄ変換回路、４００……フレームメモリ。
ンプルホールド（Ｓ／Ｈ）回路、２００……増幅器、３
００……Ａ／Ｄ変換回路、４００……フレームメモリ。
Claims (6)
- 【請求項１】 撮像領域の各ラインを構成する各画素に
対応して第１色フィルタ部と第２色フィルタ部とを交互
に配置したカラーフィルタを有する固体撮像素子に対
し、前記撮像領域に前記第１色フィルタ部に対応する検
査光を照射することによって前記各ラインから出力され
る信号をサンプリングし、各ラインのサンプリング信号
を比較することにより、前記各ラインの欠陥を検査する
固体撮像素子のカラーフィルタの検査方法において、 前記固体撮像素子の駆動電圧を制御することにより、前
記各ラインから出力される信号のうち、前記第２色フィ
ルタ部を設けた画素からの信号レベルと、前記第１色フ
ィルタ部を設けた画素からの信号レベルとを、ほぼ等し
いレベルに制御してサンプリング用の回路に供給するよ
うにした、 ことを特徴とする固体撮像素子のカラーフィルタ検査方
法。 - 【請求項２】 前記第２色フィルタ部を設けた画素から
の信号を用いてサンプリングを行うようにしたことを特
徴とする請求項１記載の固体撮像素子のカラーフィルタ
検査方法。 - 【請求項３】 前記第１色フィルタ部を設けた画素から
の信号レベルを切り換えることにより、第２色フィルタ
部を設けた画素からの信号レベルとほぼ等しいレベルに
制御することを特徴とする請求項２記載の固体撮像素子
のカラーフィルタ検査方法。 - 【請求項４】 前記第１色は、赤、緑、青の３原色系の
うちの赤または青であり、前記第２色は、緑であること
を特徴とする請求項１記載の固体撮像素子のカラーフィ
ルタ検査方法。 - 【請求項５】 前記サンプリングは、相関二重サンプリ
ング回路によって行うことを特徴とする請求項１記載の
固体撮像素子のカラーフィルタ検査方法。 - 【請求項６】 前記固体撮像素子のリセットゲートの駆
動電圧を制御することにより、前記第２色フィルタ部を
設けた画素からの信号レベルと、前記第１色フィルタ部
を設けた画素からの信号レベルとを、ほぼ等しいレベル
に制御するようにしたことを特徴とする請求項１記載の
固体撮像素子のカラーフィルタ検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000016811A JP2001211467A (ja) | 2000-01-26 | 2000-01-26 | 固体撮像素子のカラーフィルタ検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000016811A JP2001211467A (ja) | 2000-01-26 | 2000-01-26 | 固体撮像素子のカラーフィルタ検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001211467A true JP2001211467A (ja) | 2001-08-03 |
Family
ID=18543894
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000016811A Pending JP2001211467A (ja) | 2000-01-26 | 2000-01-26 | 固体撮像素子のカラーフィルタ検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001211467A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006253789A (ja) * | 2005-03-08 | 2006-09-21 | Fuji Photo Film Co Ltd | 信号検出装置 |
-
2000
- 2000-01-26 JP JP2000016811A patent/JP2001211467A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006253789A (ja) * | 2005-03-08 | 2006-09-21 | Fuji Photo Film Co Ltd | 信号検出装置 |
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