JP2001208635A - 物理量センサ - Google Patents

物理量センサ

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JP2001208635A JP2000023348A JP2000023348A JP2001208635A JP 2001208635 A JP2001208635 A JP 2001208635A JP 2000023348 A JP2000023348 A JP 2000023348A JP 2000023348 A JP2000023348 A JP 2000023348A JP 2001208635 A JP2001208635 A JP 2001208635A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 物理量センサと制御装置との接続部の接触不
良等に起因する故障の検出を確実に行うことのできる物
理量センサを提供する。 【解決手段】 電源ラインP、出力ラインOおよび接地
ラインGを介して制御装置と電気的に接続され、物理量
に応じたセンサ信号を出力する物理量検出回路21を備
えている。電源ラインPと接地ラインGとの間の供給電
圧ΔVが基準電圧値を満たしているか否かを監視する電
源監視回路22が設けられ、供給電圧ΔVが基準電圧値
を超えている場合にはセンサ信号を制御装置に出力し、
供給電圧ΔVが基準電圧値を下回っている場合にはセン
サ信号に代えて故障発生信号を制御装置に出力する。電
源監視回路22は、基準電圧値を出力する定電圧回路2
2cを備え、定電圧回路22cは、基準電圧値が接地ラ
インGの電位を基準とした一定電圧となるように構成さ
れている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば圧力等の物
理量を検出する物理量センサに関し、特に故障検出機能
を有するものに関する。
【0002】
【従来の技術】通常、車両におけるブレーキ圧や燃料圧
等のような物理量を検出する物理量センサは、物理量を
電圧値に変換して物理量に応じたセンサ信号をECU等
の外部の制御装置に出力する。
【0003】電源電圧は、制御装置より電源ラインを介
して物理量センサに供給される。センサ側ではこの供給
電圧を電源として、圧力検出、信号増幅・調整といった
機能を経て、印加圧力のような物理量に比例した電圧変
化(センサ信号)を出力ラインを介して制御装置に出力
する。制御装置では、この出力電圧に基づいて各種制御
を実施する。センサは、供給される電源電圧の微少な変
動に対して、供給電圧の変動と同じ割合で出力電圧を加
減する電源レシオ性を有するように設定されている。
【0004】これらの制御装置と物理量センサとの間に
は、制御装置からセンサに電源を供給する電源ライン
と、センサから制御装置にセンサ信号を出力する出力ラ
インと、接地ラインとを介した電気的接続が不可欠であ
り、通常、制御装置とセンサはコネクタ、はんだ付け、
溶接等の各種手法を用いて電気的接続を得ている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな制御装置とセンサとの接続点において接触不良等に
よる抵抗増加に起因する故障が発生する可能性がある。
例えば、電源ラインにおおいて接触抵抗が付加された場
合には電源ラインにおける電位が下降し、接地ラインに
おいて接触抵抗が付加された場合には接地ラインにおけ
る電位が上昇する。
【0006】この結果、センサに供給される電圧が低下
し、上記物理量センサの電源レシオ性によって、出力ラ
インから実際の圧力に対応した出力信号とは異なる出力
信号が制御装置に出力されることとなる。ところが、制
御装置側ではセンサ側で故障が発生していることを知る
ことができないという問題がある。
【0007】本発明は、上記問題点に鑑み、物理量セン
サと制御装置との接続部の接触不良等に起因する故障の
検出を確実に行うことのできる物理量センサを提供する
ことを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1に記載の発明では、電源ライン(P)およ
び接地ライン(G)を介して制御装置と電気的に接続さ
れ、物理量に応じたセンサ信号を出力する物理量検出回
路(21)を備える物理量センサであって、電源ライン
(P)と接地ライン(G)との間の供給電圧(ΔV)が
規定電圧範囲内であるか否かを監視する電源監視回路
(22)が設けられ、供給電圧(ΔV)が規定電圧範囲
外である場合には故障発生信号を制御装置に出力するこ
とを特徴としている。
【0009】これにより、制御装置とセンサとの接続点
のうち、電源ライン(P)や接地ライン(G)において
接触不良等による抵抗増加に起因する故障が発生してセ
ンサに供給される電圧が低下した場合に、制御装置側で
確実に故障を検出することが可能となる。
【0010】また、請求項2に記載の発明では、物理量
検出回路(21)からのセンサ信号を受けてセンサ信号
を制御装置に出力する出力回路(23)が設けられ、供
給電圧(ΔV)が電源監視回路(22)により規格電圧
範囲外であると検知された場合には、出力回路(23)
は、センサ信号に代えて故障発生信号を制御装置に出力
することを特徴としている。
【0011】また、請求項3に記載の発明では、電源監
視回路(22)は、供給電圧(ΔV)を分圧するための
抵抗(22a、22b)と、基準電圧値を出力する定電
圧回路(22c)とを備え、定電圧回路(22c)は、
基準電圧値が接地ライン(G)あるいは電源ライン
(P)の電位を基準とした一定電圧となるように構成さ
れており、電源監視回路(22)では、供給電圧(Δ
V)を抵抗で分圧して形成した電圧を基準電圧値とを比
較することを特徴としている。
【0012】このように基準電圧を接地ライン(G)あ
るいは電源ライン(P)の電位を基準とした一定電圧と
することにより、電源ライン(P)に抵抗が付加したよ
うな場合においても、電源ライン(P)と接地ライン
(G)との間の電圧(ΔV)の監視を精度よく行うこと
ができる。
【0013】また、上記故障発生信号は、具体的には請
求項4に記載の発明のように、センサ信号の出力範囲外
のレベルの信号とすることができる。
【0014】また、請求項5に記載の発明では、故障発
生信号を出力する出力回路(23)および電源監視回路
(22)は、同一の半導体基板に設けられていることを
特徴としている。
【0015】なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述
する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すも
のである。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、本発明を適用した実施形態
を図1〜図3に基づいて説明する。本実施形態は、物理
量センサを車両ブレーキ装置のブレーキ液圧や燃料噴射
装置の燃料圧等の圧力を測定する圧力センサに適用した
ものである。図1は本実施形態の圧力センサの概略構成
を示している。
【0017】図1に示すように、本実施形態における圧
力センサ20は、センサ20からの出力信号に基づいて
各種制御を実施する外部の制御装置(例えばECU)1
0と接続されている。制御装置10と圧力センサ20と
の間は、電源ラインP、出力ラインO、接地ラインGを
介して電気的接続されている。これらの接続は、例えば
コネクタ、はんだ付け、溶接等の手段によって行われ
る。なお、各電気的接続ラインP、O、Gの制御装置1
0側と圧力センサ20側におけるそれぞれの端子をP
1、P2、O1、O2、G1、G2とする。
【0018】制御装置10には、バッテリー等の電源V
ccからの電源電圧(例えば12V)を所定電圧(例え
ば5V)に変換するためのレギュレータ11が設けられ
ている。電源電圧は、レギュレータ11によって変換さ
れた後、電源ラインPを介して圧力センサ20に供給さ
れる。
【0019】圧力センサ20には、印可圧力を検出する
圧力検出回路(物理量検出回路)21、制御装置10か
ら供給される供給電圧の監視を行う電源監視回路22、
制御装置10にセンサ信号を出力する出力回路23が設
けられている。なお、本実施形態では、これらの圧力検
出回路21、電源監視回路22、出力回路23はすべて
同一の半導体基板に設けられている。
【0020】圧力検出回路21は、印可される圧力を電
圧値に変換し、これを出力回路23に出力する。本実施
形態では、センサ信号の出力電圧範囲は0.5V〜4.
5Vとなるように構成されている。圧力検出回路21
は、4つのゲージ抵抗(拡散抵抗)がブリッジ接続され
たホイートストンブリッジ回路から構成されている。こ
のブリッジ回路は、例えばシリコンからなる半導体基板
の薄肉のダイヤフラム部(図示せず)に形成されてい
る。
【0021】電源監視回路22は、制御装置10から供
給される電圧、すなわち電源側端子P2と接地側端子G
2との間の電圧ΔVの監視を行うものであり、圧力検出
回路21と並列接続されている。電源監視回路22は、
ΔVを分圧するための2つの抵抗22a、22b、ΔV
に依存しない基準電圧Vref(例えば1.2V)を出
力する定電圧回路22c、ΔVを抵抗22a、22bで
分圧した電圧と基準電圧Vrefとを比較するコンパレ
ータ22dを備えている。
【0022】電源監視回路22では、圧力センサ20に
おける電源側端子P2と接地側端子G2との間のP2−
G2間電圧ΔVが規定電圧値を下回ったか否かで故障判
定を行う。本実施形態では、制御装置10から圧力セン
サ20に供給される電圧(P1−G1間電圧)を5Vと
した場合に、P2−G2間電圧ΔVが例えば4.5V以
下となったときに、圧力センサ20に正常に電源供給さ
れていない状態として故障発生と判定する。すなわち、
本実施形態では、ΔVが正常状態の電圧から10%以上
低下した場合に故障発生と判定するように構成してい
る。
【0023】具体的には、電源監視回路22では、ΔV
を抵抗22a、22bで分圧した電圧と、定電圧回路2
2cの基準電圧Vrefとコンパレータ22dで比較す
ることにより、圧力センサ20に正常に電圧が印可され
ているかを判定している。そして、ΔVを分圧した電圧
が、基準電圧Vrefより大きい場合にはコンパレータ
22dはハイレベル出力となり、基準電圧Vref以下
の場合にはコンパレータ22dはローレベル出力となる
ように構成されている。
【0024】図2は、電源監視回路22における定電圧
回路22cの具体例を示している。この定電圧回路22
cは周知のバンドギャップ型定電圧回路である。定電圧
回路22cは、P2−G2間電圧ΔVの基準となる電圧
を出力するように、接地側端子G2に対して常に一定の
電圧Vref(例えば1.2V)を出力するように構成
されている。このため接地ラインGに抵抗が付加したよ
うな場合においても、P2−G2間電圧ΔVの監視を精
度よく行うことができる。
【0025】定電圧回路22cでは、各トランジスタT
11〜T13は、電流増幅率hFEは十分大きくベース電
流を無視できるとともに、特性がよくそろっており、さ
らに、各素子間の温度差は無視することができるものと
する。このとき、定電圧回路22cの回路接続状態によ
り、以下の数式1〜3が成り立つ。
【0026】
【数1】Vref=R11・I11+VBE3
【0027】
【数2】Vref=R12・I12+VBE2
【0028】
【数3】VBE1=VBE2+R13・I12 また、トランジスタの基本特性により、以下の数式4、
5が得られる。なお、Isを飽和電流、qを電子の電荷
量(1.60×10-19C)、kをボルツマン定数
(1.38×10-23J/K)、Tを絶対温度(K)と
する。
【0029】
【数4】 I11=Is・exp(q・VBE1/(kT))
【0030】
【数5】 I12=Is・exp(q・VBE2/(kT)) 上記数式1〜5より、次の数式6が得られる。
【0031】
【数6】 トランジスタT11、T13に同じ大きさの電流を流す
ことでVBE1=VBE3にすると、数式6を変形して次の数
式7が得られる。
【0032】
【数7】 BEの温度係数は−2mV/℃程度なので、基準電圧V
refが常に定電圧になる条件は、数式7の右辺第2項
がほぼ+2mV/℃であることが必要である。従って、
以下の数式8が成り立つ必要がある。
【0033】
【数8】(R12/R13)ln(R12/R11)≒
2×10-3(q/k)≒23 例えば、定電圧回路22cにおけるそれぞれの抵抗R1
1〜R13を、R12≒10×R11≒10×R13と
することで数式8が成り立つ。このとき、数式7より定
電圧出力Vref≒1.2Vを得ることができる。な
お、トランジスタT11〜T13は形状等によって特性
が微妙に異なるので、抵抗R11〜13を最適化するこ
とが望ましい。
【0034】出力回路23は、図1に示すように本実施
形態ではオペアンプ23aで構成したボルテージ・フォ
ロワとしている。出力回路23では、電源側端子P2と
接地側端子G2との間の電圧ΔVが正常であると電源監
視回路22で判定された場合には、圧力検出回路21か
ら出力されるセンサ信号を制御装置10に出力する。ま
た、電源監視回路22において故障判定された場合に
は、出力回路23はセンサ信号の通常出力電圧(0.5
〜4.5V)の範囲外の故障発生信号を制御装置10に
出力する。具体的には、センサ信号の通常出力範囲より
大きいハイレベル故障信号(例えば4.8V以上)、あ
るいは小さいローレベル故障信号(例えば0.2V以
下)のいずれかを出力して、制御装置10に故障発生を
知らせるように構成されている。本実施形態の出力回路
23では、ローレベル故障信号を出力する。
【0035】図3は、本実施形態の圧力センサ20の出
力回路23の具体例を示している。図3に基づいて出力
回路23の作動について説明する。まず、電源側端子P
2と接地側端子G2との間の電圧ΔVが正常であって、
電源監視回路22がハイレベル出力となっている場合に
ついて説明する。この場合には、電源監視回路22の最
終段であるトランジスタT20はオフとなり、電流I2
1は流れず出力回路23のトランジスタT21もオフと
なって、電流I22は流れない。
【0036】一方、圧力検出回路21からセンサ信号が
オペアンプ23aに入力する。ここで例えばセンサ信号
の電圧レベルが上昇した場合を考えてみる。この場合、
トランジスタT24のエミッタ・ベース間電圧が小さく
なることにより電流I24が小さくなる。トランジスタ
T25、26は定電流回路を構成しているため電流I2
5が大きくなる。そして、電流I26が小さくなり、さ
らに電流I27、I28が小さくなる。電流I28が小
さくなることにより抵抗R23における電圧降下が小さ
くなり、結果としてセンサ信号の上昇に比例して出力V
outが大きくなる。同様に圧力検出回路からのセンサ
信号の電圧レベルが下降した場合も、これに比例して出
力Voutが小さくなる。以上のように、P2−G2間
電圧ΔVが正常の場合には、出力回路23は圧力検出回
路からのセンサ出力に比例した出力Voutが得られ
る。
【0037】次に、電源側端子P2と接地側端子G2と
の間の電圧ΔVが降下して、電源監視回路22がローレ
ベル出力となっている場合について説明する。この場合
には、電源監視回路22のトランジスタT20がオン
し、電流I21が流れて出力回路23のトランジスタT
21がオンする。この結果、電流I22が流れ、トラン
ジスタT28、T29がオンする。出力Voutは接地
電位に近くなる。この結果、出力Voutは、ローレベ
ル故障信号を出力する。制御装置10側では、センサ信
号の通常出力電圧の範囲外の信号を受け取ることによ
り、圧力センサ20において故障が発生したことを知る
ことができる。
【0038】以上、本実施形態によれば、制御装置10
と圧力センサ20との接続点のうち、電源ラインPや接
地ラインGにおいて接触不良等による抵抗増加に起因す
る故障が発生して圧力センサ20に供給される電圧が低
下した場合に、制御装置10側で確実に故障を検出する
ことが可能となる。
【0039】(他の実施形態)なお、上記実施形態で
は、電源監視回路22における定電圧回路22cとして
図2に示すものを用いたが、これに限らず種々の構成の
ものを用いることができ、例えば図4に示す構成の定電
圧回路22c′を用いることもできる。この定電圧回路
22c′は図2に示した定電圧回路22cにおけるトラ
ンジスタT13をオペアンプOPに置き換えた点が異な
るものである。
【0040】図2で示した定電圧回路22cでは、2つ
のトランジスタT11、T13に同じ大きさの電流が流
れることで理想とするVBE1=VBE3(=VX)を得る。
しかしながら、このことはある温度では成り立っても温
度変化によってずれる場合があり、結果として定電圧値
が微妙にずれる場合がある。これに対して、図4に示す
定電圧回路22c′では、オペアンプOPで高精度に制
御してVBE1=VXを得るため、高精度の定電圧出力を得
ることが可能である。
【0041】また、上記実施形態では、接地ラインGの
電位を基準としたが、電源ラインPの電位を基準とした
構成でもよい。
【0042】また、同様の回路で供給電圧ΔVが上昇し
た場合を検出すれば、制御装置側電源系の異常も検出可
能である。
【0043】また、上記実施形態の出力回路23は故障
発生時にセンサ信号の通常出力範囲(例えば0.5〜
4.5V)より小さいローレベル故障信号(例えば0.
2V以下)を出力するように構成したが、これに限ら
ず、ハイレベル故障信号(例えば4.8V以上)を出力
するような回路構成とすることもできる。
【0044】また、上記実施形態の圧力センサでは、圧
力検出回路はPN接合を有する拡散抵抗からなるブリッ
ジ回路から構成されるものを用いたが、これに限らず、
拡散抵抗に代えて、例えば絶縁膜上に形成できる多結晶
シリコン等からなる薄膜抵抗を用いれば、高温において
もリーク電流が発生せず、より好適である。さらに、例
えば容量型センサ等のセンサを用いることも可能であ
る。
【0045】また、上記実施形態では、本発明を各種圧
力を測定する圧力センサ装置に適用したが、これに限ら
ず、電源ラインP、出力ラインO、接地ラインGを備え
ていれば、例えば加速度センサ、ヨーレートセンサ等に
おいても適用可能である。
【0046】なお、センサ信号を電流出力とした場合、
出力ラインOは、電源ラインPあるいは接地ラインGと
共用可能であり、ラインを2本にできる。
【0047】また、上記実施形態では、出力ラインOは
1本であったが、複数でもよい。さらに、出力信号はア
ナログ値に限らず、各種デジタル値でもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施形態の圧力センサの概略構成を示す回路
図である。
【図2】図1の圧力センサの電源監視回路における定電
圧回路の構成を示す回路図である。
【図3】図2の出力回路の具体的構成を示す回路図であ
る。
【図4】図2の定電圧回路の変形例の構成を示す回路図
である。
【符号の説明】
10…制御装置、20…圧力センサ(物理量センサ)、
21…圧力検出回路(物理量検出回路)、22…電源監
視回路、22a、22b…抵抗、22c…定電圧回路、
22d…コンパレータ、23…出力回路、23a…オペ
アンプ。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電源ライン(P)および接地ライン
    (G)を介して制御装置と電気的に接続され、物理量に
    応じたセンサ信号を出力する物理量検出回路(21)を
    備える物理量センサであって、 前記電源ライン(P)と前記接地ライン(G)との間の
    供給電圧(ΔV)が規定電圧範囲内であるか否かを監視
    する電源監視回路(22)が設けられ、 前記供給電圧(ΔV)が前記規定電圧範囲外である場合
    には故障発生信号を前記制御装置に出力することを特徴
    とする物理量センサ。
  2. 【請求項2】 前記物理量検出回路(21)からの前記
    センサ信号を受けて前記センサ信号を前記制御装置に出
    力する出力回路(23)が設けられ、 前記供給電圧(ΔV)が前記電源監視回路(22)によ
    り前記規格電圧範囲外であると検知された場合には、前
    記出力回路(23)は、前記センサ信号に代えて前記故
    障発生信号を前記制御装置に出力することを特徴とする
    請求項1に記載の物理量センサ。
  3. 【請求項3】 前記電源監視回路(22)は、前記供給
    電圧(ΔV)を分圧するための抵抗(22a、22b)
    と、基準電圧値を出力する定電圧回路(22c)とを備
    え、 前記定電圧回路(22c)は、前記基準電圧値が前記接
    地ライン(G)あるいは前記電源ライン(P)の電位を
    基準とした一定電圧となるように構成されており、 前記電源監視回路(22)では、前記供給電圧(ΔV)
    を前記抵抗(22a、22b)で分圧した電圧を前記基
    準電圧値とを比較することを特徴とする請求項1または
    2に記載の物理量センサ。
  4. 【請求項4】 前記故障発生信号は、前記センサ信号の
    出力範囲外のレベルの信号であることを特徴とする請求
    項1ないし3のいずれか1つに記載の物理量センサ。
  5. 【請求項5】 前記故障発生信号を出力する出力回路
    (23)および前記電源監視回路(22)は、同一の半
    導体基板に設けられていることを特徴とする請求項2な
    いし4のいずれか1つの記載の物理量センサ。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006064470A (ja) * 2004-08-25 2006-03-09 Denso Corp 電気機器制御装置
JP2006085430A (ja) * 2004-09-16 2006-03-30 Osaka Gas Co Ltd 警報装置
JP2015137924A (ja) * 2014-01-22 2015-07-30 株式会社デンソー チャージアンプ内蔵型燃焼圧センサ

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006064470A (ja) * 2004-08-25 2006-03-09 Denso Corp 電気機器制御装置
JP2006085430A (ja) * 2004-09-16 2006-03-30 Osaka Gas Co Ltd 警報装置
JP4721681B2 (ja) * 2004-09-16 2011-07-13 大阪瓦斯株式会社 警報装置
JP2015137924A (ja) * 2014-01-22 2015-07-30 株式会社デンソー チャージアンプ内蔵型燃焼圧センサ
WO2015111380A1 (ja) * 2014-01-22 2015-07-30 株式会社デンソー チャージアンプ内蔵型燃焼圧センサ
CN106415230A (zh) * 2014-01-22 2017-02-15 株式会社电装 电荷放大器内置型燃烧压传感器
US10247633B2 (en) 2014-01-22 2019-04-02 Denso Corporation Combustion pressure sensor with built-in charge amplifier
DE112015000458B4 (de) 2014-01-22 2022-08-04 Denso Corporation Verbrennungsdrucksensor mit eingebautem Ladungsverstärker

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