JP2001205546A - 超音波加工用工具製造方法および超音波加工装置 - Google Patents
超音波加工用工具製造方法および超音波加工装置Info
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- JP2001205546A JP2001205546A JP2000019342A JP2000019342A JP2001205546A JP 2001205546 A JP2001205546 A JP 2001205546A JP 2000019342 A JP2000019342 A JP 2000019342A JP 2000019342 A JP2000019342 A JP 2000019342A JP 2001205546 A JP2001205546 A JP 2001205546A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 超音波加工における工具の芯合わせ作業を省
略化するとともに正確な芯合わせをすることができる超
音波加工具製造技術を提供する。 【解決手段】 超音波加工具製造装置１０は、未完成の
微小径ドリル２０を装着可能な超音波スピンドル１４
と、超音波スピンドル１４と異なる方向に配置され微小
径ドリル２０を芯合わせしながら研削加工するためのダ
イアモンドホイール２２が装着された超音波スピンドル
１７と、超音波スピンドル１４に装着された状態にある
完成した微小径ドリル２１で研削加工可能な位置に配置
された被削材保持具１９とを備えている。
略化するとともに正確な芯合わせをすることができる超
音波加工具製造技術を提供する。 【解決手段】 超音波加工具製造装置１０は、未完成の
微小径ドリル２０を装着可能な超音波スピンドル１４
と、超音波スピンドル１４と異なる方向に配置され微小
径ドリル２０を芯合わせしながら研削加工するためのダ
イアモンドホイール２２が装着された超音波スピンドル
１７と、超音波スピンドル１４に装着された状態にある
完成した微小径ドリル２１で研削加工可能な位置に配置
された被削材保持具１９とを備えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、微小径の穴あけや
穴加工に適した超音波加工用工具の製造方法およびこれ
を実施するための装置に関する。
穴加工に適した超音波加工用工具の製造方法およびこれ
を実施するための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】工業製品の高集積化、小型化、高性能化
に伴い、これらの工業製品を構成する各種部品に対する
直径２００μｍ程度以下の微小径の穴あけや穴加工が増
大しているが、このような加工には超音波加工が適して
いることは広く知られ、従来より、様々な超音波加工技
術が開発されている。
に伴い、これらの工業製品を構成する各種部品に対する
直径２００μｍ程度以下の微小径の穴あけや穴加工が増
大しているが、このような加工には超音波加工が適して
いることは広く知られ、従来より、様々な超音波加工技
術が開発されている。
【０００３】これらの超音波加工に使用する工具は微小
径であるため、製作の際に高い寸法精度および形状精度
を要求されるだけでなく、加工装置の回転軸に装着され
る際の芯合わせが極めて重要であるとともに、この芯合
わせ作業は非常に困難を極める作業である。
径であるため、製作の際に高い寸法精度および形状精度
を要求されるだけでなく、加工装置の回転軸に装着され
る際の芯合わせが極めて重要であるとともに、この芯合
わせ作業は非常に困難を極める作業である。
【０００４】直径２００μｍ程度以下の微小径、特に、
直径５０μｍ以下の微小径の超音波加工用工具の場合、
中心が数μｍでもずれたり、加工用工具自体が回転軸に
対して斜めに装着されていると、回転させたときにブレ
が生じて、切削抵抗が軸直角方向に作用するので、工具
が折損しやすくなり、正確な穴加工を行うことが不可能
となる。
直径５０μｍ以下の微小径の超音波加工用工具の場合、
中心が数μｍでもずれたり、加工用工具自体が回転軸に
対して斜めに装着されていると、回転させたときにブレ
が生じて、切削抵抗が軸直角方向に作用するので、工具
が折損しやすくなり、正確な穴加工を行うことが不可能
となる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このような状況に対処
するため、製作された超音波加工用工具の中から加工精
度および形状精度の良好なものを選択し、超音波加工用
工具を加工装置の回転軸に装着する際には顕微鏡を用い
て監視しながら芯合わせを行っている。
するため、製作された超音波加工用工具の中から加工精
度および形状精度の良好なものを選択し、超音波加工用
工具を加工装置の回転軸に装着する際には顕微鏡を用い
て監視しながら芯合わせを行っている。
【０００６】しかしながら、このような作業には熟練し
た技術と、多大な手間と時間を要するので、作業工程合
理化の阻害および加工コスト上昇の要因となっている。
また、顕微鏡を用いて監視しながら芯合わせを行って
も、完全な芯合わせをすることは現実的には不可能に近
い。
た技術と、多大な手間と時間を要するので、作業工程合
理化の阻害および加工コスト上昇の要因となっている。
また、顕微鏡を用いて監視しながら芯合わせを行って
も、完全な芯合わせをすることは現実的には不可能に近
い。
【０００７】本発明が解決しようとする課題は、超音波
加工における微小径工具の芯合わせ作業を省略化すると
もに、正確な芯合わせをすることができる超音波加工用
工具製造技術を提供することにある。
加工における微小径工具の芯合わせ作業を省略化すると
もに、正確な芯合わせをすることができる超音波加工用
工具製造技術を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明者は試験研究を繰
り返した結果、超音波加工用工具が装着されている加工
装置においてはミクロン単位の高精度加工が可能であ
り、これを利用することによって前記課題を解決できる
ことに着目し、本発明を完成させるに至ったものであ
る。
り返した結果、超音波加工用工具が装着されている加工
装置においてはミクロン単位の高精度加工が可能であ
り、これを利用することによって前記課題を解決できる
ことに着目し、本発明を完成させるに至ったものであ
る。
【０００９】本発明は、超音波加工装置の回転軸に装着
し超音波振動を付与しながら被加工材を加工する超音波
加工用工具の製造方法であって、未完成の超音波加工用
工具を前記回転軸に装着した後、前記回転軸と異なる方
向に配置された研削加工手段を用いて前記超音波加工用
工具を芯合わせしながら研削加工して、完成品とするこ
とを特徴とする。
し超音波振動を付与しながら被加工材を加工する超音波
加工用工具の製造方法であって、未完成の超音波加工用
工具を前記回転軸に装着した後、前記回転軸と異なる方
向に配置された研削加工手段を用いて前記超音波加工用
工具を芯合わせしながら研削加工して、完成品とするこ
とを特徴とする。
【００１０】いかに高精度に加工された超音波加工用工
具であっても、それを超音波加工装置の回転軸に装着す
る際の芯合わせ作業は非常に困難であることから、本発
明は、実際に超音波加工を行う装置の回転軸に装着した
状態で超音波加工用工具の成形加工を行うことにより、
装着の際の芯合わせ作業を省略化したものである。
具であっても、それを超音波加工装置の回転軸に装着す
る際の芯合わせ作業は非常に困難であることから、本発
明は、実際に超音波加工を行う装置の回転軸に装着した
状態で超音波加工用工具の成形加工を行うことにより、
装着の際の芯合わせ作業を省略化したものである。
【００１１】このような超音波加工用工具製造方法によ
り、概略の寸法、形状に製作された未完成の超音波加工
用工具を普通の精度で超音波加工装置の回転軸に装着
し、研削加工手段を用いて超音波加工用工具の成形加工
を行うだけで、回転軸との芯合わせがなされた状態で超
音波加工用工具が完成する。これにより、この状態で直
ちに前記超音波加工用工具を使用した超音波加工作業を
行うことが可能となり、超音波加工用工具の芯合わせ作
業を省略するとともに、正確な芯合わせをすることがで
きる。
り、概略の寸法、形状に製作された未完成の超音波加工
用工具を普通の精度で超音波加工装置の回転軸に装着
し、研削加工手段を用いて超音波加工用工具の成形加工
を行うだけで、回転軸との芯合わせがなされた状態で超
音波加工用工具が完成する。これにより、この状態で直
ちに前記超音波加工用工具を使用した超音波加工作業を
行うことが可能となり、超音波加工用工具の芯合わせ作
業を省略するとともに、正確な芯合わせをすることがで
きる。
【００１２】この超音波加工用工具製造方法は一般の超
音波加工用工具に適用可能であるが、回転軸への装着お
よび芯合わせが特に困難である、直径５０μｍ以下の微
小径のドリルの製造に好適である。なお、微小径ドリル
の製造工程において、外周研削加工だけでなく、ドリル
溝および先端角と逃げ面の成形研削加工などにも適用す
ることができる。
音波加工用工具に適用可能であるが、回転軸への装着お
よび芯合わせが特に困難である、直径５０μｍ以下の微
小径のドリルの製造に好適である。なお、微小径ドリル
の製造工程において、外周研削加工だけでなく、ドリル
溝および先端角と逃げ面の成形研削加工などにも適用す
ることができる。
【００１３】微小径の未完成超音波加工用工具を水平状
態に保持して加工を施した場合、供給される研削液の重
さで加工中の超音波加工用工具が僅かに撓むことがあ
り、これによって寸法精度や形状精度が低下し、正確な
芯合わせができないことがあるが、前記超音波加工用工
具を鉛直状態に保持して加工することにより、研削液の
重さで超音波加工用工具が撓むことがなくなるので、寸
法精度および形状精度がさらに向上し、より正確な芯合
わせを行うことができるようになる。
態に保持して加工を施した場合、供給される研削液の重
さで加工中の超音波加工用工具が僅かに撓むことがあ
り、これによって寸法精度や形状精度が低下し、正確な
芯合わせができないことがあるが、前記超音波加工用工
具を鉛直状態に保持して加工することにより、研削液の
重さで超音波加工用工具が撓むことがなくなるので、寸
法精度および形状精度がさらに向上し、より正確な芯合
わせを行うことができるようになる。
【００１４】前記研削加工手段として、超音波加工機を
用いることにより、未完成の超音波加工用工具に対して
高精度、高効率の加工を施すことが可能となる。この場
合、ダイヤモンド砥石などに超音波微振動と回転運動と
を与えながら超音波加工用工具の研削加工を行う固定砥
粒加工方式が好適である。
用いることにより、未完成の超音波加工用工具に対して
高精度、高効率の加工を施すことが可能となる。この場
合、ダイヤモンド砥石などに超音波微振動と回転運動と
を与えながら超音波加工用工具の研削加工を行う固定砥
粒加工方式が好適である。
【００１５】上記の超音波加工用工具製造方法は、超音
波加工用工具を装着可能な回転軸と、前記回転軸と異な
る方向に配置され前記回転軸に装着された未完成の超音
波加工用工具を芯合わせしながら加工する研削加工手段
と、前記回転軸に装着された状態にある完成した超音波
加工用工具に超音波振動を付与する超音波伝達手段およ
び被加工材保持手段とを備えた超音波加工装置を用いて
実施することができる。
波加工用工具を装着可能な回転軸と、前記回転軸と異な
る方向に配置され前記回転軸に装着された未完成の超音
波加工用工具を芯合わせしながら加工する研削加工手段
と、前記回転軸に装着された状態にある完成した超音波
加工用工具に超音波振動を付与する超音波伝達手段およ
び被加工材保持手段とを備えた超音波加工装置を用いて
実施することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】図１は本発明の実施の形態である
超音波加工装置を示す正面図、図２は図１の超音波加工
装置の側面図である。
超音波加工装置を示す正面図、図２は図１の超音波加工
装置の側面図である。
【００１７】超音波加工装置１０においては、台座１１
の後方に立設された支柱１２上に主軸上下送りモータ１
３が配置され、支柱１２の前方には支柱１２に沿って昇
降可能な主軸１５に超音波スピンドル１４が取り付けら
れ、台座１１上に前後左右に水平移動可能なＸＹ軸テー
ブル１６が設けられ、ＸＹ軸テーブル１６上には、超音
波スピンドル１７と、被加工材１８を保持するための被
加工材保持具１９とが配置されている。
の後方に立設された支柱１２上に主軸上下送りモータ１
３が配置され、支柱１２の前方には支柱１２に沿って昇
降可能な主軸１５に超音波スピンドル１４が取り付けら
れ、台座１１上に前後左右に水平移動可能なＸＹ軸テー
ブル１６が設けられ、ＸＹ軸テーブル１６上には、超音
波スピンドル１７と、被加工材１８を保持するための被
加工材保持具１９とが配置されている。
【００１８】主軸１５の超音波スピンドル１４には、未
完成の超音波加工用工具である微小径のドリル２０が装
着され、ＸＹ軸テーブル１６上の超音波スピンドル１７
には研削加工用工具であるダイヤモンドホイール２２が
装着されている。
完成の超音波加工用工具である微小径のドリル２０が装
着され、ＸＹ軸テーブル１６上の超音波スピンドル１７
には研削加工用工具であるダイヤモンドホイール２２が
装着されている。
【００１９】図３および図４に示すように、主軸１５の
超音波スピンドル１４に装着された未完成のドリル２０
を回転させながら、ＸＹ軸テーブル１６上の超音波スピ
ンドル１７に装着されたダイヤモンドホイール２２に超
音波振動および回転運動を付与しながら固定砥粒加工方
式による研削加工を施す。この場合、ドリル２０の回転
方向は図４に矢印Ａで示す方向に、ダイヤモンドホイー
ル２２の回転方向は図４に矢印Ｂで示す方向にすること
が望ましい。工具鋼製ドリルの場合、両者の回転方向を
このようにすることにより、ドリル２０の加工精度（加
工形状および加工寸法）が良好となる。
超音波スピンドル１４に装着された未完成のドリル２０
を回転させながら、ＸＹ軸テーブル１６上の超音波スピ
ンドル１７に装着されたダイヤモンドホイール２２に超
音波振動および回転運動を付与しながら固定砥粒加工方
式による研削加工を施す。この場合、ドリル２０の回転
方向は図４に矢印Ａで示す方向に、ダイヤモンドホイー
ル２２の回転方向は図４に矢印Ｂで示す方向にすること
が望ましい。工具鋼製ドリルの場合、両者の回転方向を
このようにすることにより、ドリル２０の加工精度（加
工形状および加工寸法）が良好となる。
【００２０】なお、ドリル２０が超硬合金製である場合
は、ダイヤモンドホイール２２の回転方向は矢印Ｂと逆
方向とする。その理由は、超硬合金製ドリルは材質が脆
く、引張方向に研削力が作用すると折れ易いので、これ
を防止するためである。
は、ダイヤモンドホイール２２の回転方向は矢印Ｂと逆
方向とする。その理由は、超硬合金製ドリルは材質が脆
く、引張方向に研削力が作用すると折れ易いので、これ
を防止するためである。
【００２１】このように、超音波スピンドル１４に装着
した状態でドリル２０の外周研削加工を行うことによ
り、ドリル２０は芯が合った状態で、正確な寸法、形状
に仕上げることができる。このような工程をとることに
より、未完成のドリル２０は、完成品であるドリル２１
となる。
した状態でドリル２０の外周研削加工を行うことによ
り、ドリル２０は芯が合った状態で、正確な寸法、形状
に仕上げることができる。このような工程をとることに
より、未完成のドリル２０は、完成品であるドリル２１
となる。
【００２２】なお、超音波加工装置１０は、ドリル２０
の外周研削加工だけでなく、ドリル溝２０ａの成形加
工、ドリル２０の先端角と逃げ面の成形加工など、ドリ
ル２０を完成させるまでに必要な種々の成形加工を行う
ことができる。例えば、ドリル２０の先端角および逃げ
面を所定角度をもつ平面に成形加工する場合、図５およ
び図６に示すように、ＸＹ軸テーブル１６上の超音波ス
ピンドル１７を所定角度に傾斜させ、工具軸と未完成の
ドリル２０の軸とをオフセットさせた状態で保持し、こ
の状態でダイヤモンドホイール２２に超音波振動および
回転運動を付与しながらドリル２０の先端部分を成形加
工することにより、所定の先端角および逃げ面に仕上げ
ることができる。
の外周研削加工だけでなく、ドリル溝２０ａの成形加
工、ドリル２０の先端角と逃げ面の成形加工など、ドリ
ル２０を完成させるまでに必要な種々の成形加工を行う
ことができる。例えば、ドリル２０の先端角および逃げ
面を所定角度をもつ平面に成形加工する場合、図５およ
び図６に示すように、ＸＹ軸テーブル１６上の超音波ス
ピンドル１７を所定角度に傾斜させ、工具軸と未完成の
ドリル２０の軸とをオフセットさせた状態で保持し、こ
の状態でダイヤモンドホイール２２に超音波振動および
回転運動を付与しながらドリル２０の先端部分を成形加
工することにより、所定の先端角および逃げ面に仕上げ
ることができる。
【００２３】以上のような工程により、ドリル２１が完
成したら、図７および図８に示すように、ＸＹ軸テーブ
ル１６を移動させて、超音波スピンドル１７およびダイ
ヤモンドホイール２２をドリル２１から離した後、ドリ
ル２１の直下位置まで被加工材１８を移動させ、超音波
スピンドル１４でドリル２１に超音波振動および回転運
動を付与しながら被加工材１８の加工を行う。
成したら、図７および図８に示すように、ＸＹ軸テーブ
ル１６を移動させて、超音波スピンドル１７およびダイ
ヤモンドホイール２２をドリル２１から離した後、ドリ
ル２１の直下位置まで被加工材１８を移動させ、超音波
スピンドル１４でドリル２１に超音波振動および回転運
動を付与しながら被加工材１８の加工を行う。
【００２４】このように、実際に被加工材１８の超音波
加工を行う場合、超音波加工装置１０の超音波スピンド
ル１４に未完成のドリル２０を予め装着し、超音波スピ
ンドル１７およびダイヤモンドホイール２２を用いてこ
のドリル２０の研削加工を行って完成品であるドリル２
１に仕上げた後、ドリル２１を超音波スピンドル１４に
装着したままの状態で被加工材１８の加工を行うことに
より、ドリル２１の芯合わせ作業を省略化するととも
に、正確な芯合わせをすることができるので、加工精度
および作業効率が大幅に向上する。
加工を行う場合、超音波加工装置１０の超音波スピンド
ル１４に未完成のドリル２０を予め装着し、超音波スピ
ンドル１７およびダイヤモンドホイール２２を用いてこ
のドリル２０の研削加工を行って完成品であるドリル２
１に仕上げた後、ドリル２１を超音波スピンドル１４に
装着したままの状態で被加工材１８の加工を行うことに
より、ドリル２１の芯合わせ作業を省略化するととも
に、正確な芯合わせをすることができるので、加工精度
および作業効率が大幅に向上する。
【００２５】本実施形態において、完成品のドリル２１
は直径２０μｍであるが、上記の方法で未完成のドリル
２０の研削加工を行うことによって、正確な寸法、形状
に仕上げるとともに正確な芯合わせを行うことができる
ため、被加工材１８を正確かつ効率的に超音波加工する
ことができる。
は直径２０μｍであるが、上記の方法で未完成のドリル
２０の研削加工を行うことによって、正確な寸法、形状
に仕上げるとともに正確な芯合わせを行うことができる
ため、被加工材１８を正確かつ効率的に超音波加工する
ことができる。
【００２６】この超音波加工装置１０では、未完成のド
リル２０を鉛直状態に保持して研削加工するので、研削
液の重さで加工中のドリル２０が撓むことがなく、寸法
精度および形状精度が大幅に向上し、より正確な芯合わ
せを行うことができる。また、ドリル２０に対する研削
加工手段として、超音波スピンドル１７を用いた固定砥
粒加工方式を採用し、ダイヤモンドホイール２２に超音
波微振動と回転運動を与えながら超音波加工を行うの
で、ドリル２０に対して高精度、高効率の研削加工を施
すことができる。
リル２０を鉛直状態に保持して研削加工するので、研削
液の重さで加工中のドリル２０が撓むことがなく、寸法
精度および形状精度が大幅に向上し、より正確な芯合わ
せを行うことができる。また、ドリル２０に対する研削
加工手段として、超音波スピンドル１７を用いた固定砥
粒加工方式を採用し、ダイヤモンドホイール２２に超音
波微振動と回転運動を与えながら超音波加工を行うの
で、ドリル２０に対して高精度、高効率の研削加工を施
すことができる。
【００２７】なお、本発明はこの実施形態に限定するも
のではないので、固定砥粒加工方式における超音波加工
用工具やその他の加工用工具の製造技術として広く採用
することができる。
のではないので、固定砥粒加工方式における超音波加工
用工具やその他の加工用工具の製造技術として広く採用
することができる。
【００２８】
【発明の効果】本発明により、以下に示す効果を奏す
る。
る。
【００２９】（１）超音波加工装置の回転軸に装着し超
音波振動を付与しながら被加工材を加工する超音波加工
用工具の製造において、未完成の超音波加工用工具を回
転軸に装着した後、回転軸と異なる方向に配置された研
削加工手段を用いて超音波加工用工具を芯合わせしなが
ら加工して完成品とすることにより、未完成の超音波加
工用工具を普通の精度で回転軸に装着し、研削加工手段
を用いて超音波加工用工具の研削加工を行うだけで、回
転軸と芯合わせされた状態で超音波加工用工具が完成す
る。これにより、この状態で直ちに超音波加工用工具を
使用した超音波加工作業を行うことが可能となるので、
超音波加工用工具の芯合わせ作業を省略するとともに、
正確な芯合わせを実現することができる。
音波振動を付与しながら被加工材を加工する超音波加工
用工具の製造において、未完成の超音波加工用工具を回
転軸に装着した後、回転軸と異なる方向に配置された研
削加工手段を用いて超音波加工用工具を芯合わせしなが
ら加工して完成品とすることにより、未完成の超音波加
工用工具を普通の精度で回転軸に装着し、研削加工手段
を用いて超音波加工用工具の研削加工を行うだけで、回
転軸と芯合わせされた状態で超音波加工用工具が完成す
る。これにより、この状態で直ちに超音波加工用工具を
使用した超音波加工作業を行うことが可能となるので、
超音波加工用工具の芯合わせ作業を省略するとともに、
正確な芯合わせを実現することができる。
【００３０】（２）未完成の超音波加工用工具を鉛直状
態に保持して加工することにより、加工中の超音波加工
用工具が研削液の重さで撓むことがなくなるので、寸法
精度および形状精度がさらに向上し、より正確な芯合わ
せを行うことができるようになる。
態に保持して加工することにより、加工中の超音波加工
用工具が研削液の重さで撓むことがなくなるので、寸法
精度および形状精度がさらに向上し、より正確な芯合わ
せを行うことができるようになる。
【００３１】（３）前記研削加工手段として、超音波加
工機を用いることにより、未完成の超音波加工用工具に
対して高精度、高効率の加工を施すことが可能となる。
工機を用いることにより、未完成の超音波加工用工具に
対して高精度、高効率の加工を施すことが可能となる。
【図１】 実施の形態である超音波加工装置を示す正面
図である。
図である。
【図２】 図１の超音波加工装置の側面図である。
【図３】 図１の超音波加工装置を用いて超音波加工用
工具を製造する工程を示す正面図である。
工具を製造する工程を示す正面図である。
【図４】 図１の超音波加工装置を用いて超音波加工用
工具を製造する工程を示す側面図である。
工具を製造する工程を示す側面図である。
【図５】 図１の超音波加工装置を用いて超音波加工用
工具を製造する工程を示す正面図である。
工具を製造する工程を示す正面図である。
【図６】 図１の超音波加工装置を用いて超音波加工用
工具を製造する工程を示す側面図である。
工具を製造する工程を示す側面図である。
【図７】 図１の超音波加工装置を用いて被加工材を加
工する工程を示す正面図である。
工する工程を示す正面図である。
【図８】 図１の超音波加工装置を用いて被加工材を加
工する工程を示す側面図である。
工する工程を示す側面図である。
１０ 超音波加工装置 １１ 台座 １２ 支柱 １３ 主軸上下送りモータ １４ 超音波スピンドル １５ 主軸 １６ ＸＹ軸テーブル １７ 超音波スピンドル １８ 被加工材 １９ 被加工材保持具 ２０ 未完成のドリル ２０ａ ドリル溝 ２１ 完成品のドリル ２２ ダイヤモンドホイール
フロントページの続き (72)発明者 大西 修 福岡県福岡市東区箱崎６丁目10番１号 九 州大学内 Ｆターム(参考） 3C036 AA15 3C049 AA04 AA19 AB01 AC01 CA01 CB03
Claims (4)
- 【請求項１】 超音波加工装置の回転軸に装着し超音波
振動を付与しながら被加工材を加工する超音波加工用工
具の製造方法であって、未完成の超音波加工用工具を前
記回転軸に装着した後、前記回転軸と異なる方向に配置
された研削加工手段を用いて前記超音波加工用工具を芯
合わせしながら研削加工して完成品とすることを特徴と
する超音波加工用工具製造方法。 - 【請求項２】 前記超音波加工用工具を鉛直状態に保持
して加工する請求項１記載の超音波加工用工具製造方
法。 - 【請求項３】 前記研削加工手段として、超音波加工機
を用いた請求項１または２記載の超音波加工用工具製造
方法。 - 【請求項４】 請求項１ないし３に記載の超音波加工用
工具製造方法を実施するための装置であって、超音波加
工用工具を装着可能な回転軸と、前記回転軸と異なる方
向に配置され前記回転軸に装着された未完成の超音波加
工用工具を芯合わせしながら加工する研削加工手段と、
前記回転軸に装着された状態にある完成した超音波加工
用工具に超音波振動を付与する超音波伝達手段および被
加工材保持手段とを備えたことを特徴とする超音波加工
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000019342A JP2001205546A (ja) | 2000-01-27 | 2000-01-27 | 超音波加工用工具製造方法および超音波加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000019342A JP2001205546A (ja) | 2000-01-27 | 2000-01-27 | 超音波加工用工具製造方法および超音波加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100527459B1 (ko) * | 2002-11-22 | 2005-11-09 | 한국생산기술연구원 | 초음파 진동을 이용한 마이크로 복합 가공기 |
| JP2011194546A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | 超音波加工装置 |
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| CN110434686A (zh) * | 2019-08-22 | 2019-11-12 | 张隆弟 | 一种金属材料超声波加工装置 |
-
2000
- 2000-01-27 JP JP2000019342A patent/JP2001205546A/ja active Pending
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