JP2001198836A - レジンボンド砥石 - Google Patents
レジンボンド砥石Info
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- JP2001198836A JP2001198836A JP2000010684A JP2000010684A JP2001198836A JP 2001198836 A JP2001198836 A JP 2001198836A JP 2000010684 A JP2000010684 A JP 2000010684A JP 2000010684 A JP2000010684 A JP 2000010684A JP 2001198836 A JP2001198836 A JP 2001198836A
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- phenol
- binder phase
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 樹脂結合相の強度と曲げ強さを高めることが
できる。 【解決手段】 フェノール樹脂からなる樹脂結合相３中
に超砥粒４以外に粒径５〜５０μｍの略球状のフェノー
ル−ホルムアルデヒド樹脂相５を分散配置してレジンボ
ンド砥石１の砥粒層２を製作する。フェノール−ホルム
アルデヒド樹脂は曲げ強さが高く強化相としての役割を
果たす。
できる。 【解決手段】 フェノール樹脂からなる樹脂結合相３中
に超砥粒４以外に粒径５〜５０μｍの略球状のフェノー
ル−ホルムアルデヒド樹脂相５を分散配置してレジンボ
ンド砥石１の砥粒層２を製作する。フェノール−ホルム
アルデヒド樹脂は曲げ強さが高く強化相としての役割を
果たす。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばフェノール
樹脂等の樹脂結合相中に超砥粒等の砥粒を分散配置した
レジンボンド砥石に関するものである。
樹脂等の樹脂結合相中に超砥粒等の砥粒を分散配置した
レジンボンド砥石に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】レジンボンド砥石は超砥粒を保持する樹
脂結合相が比較的軟質で脆いために比較的硬い被削材に
対して研削を行った場合、超砥粒を支える樹脂結合相が
破砕または摩耗して超砥粒が脱落する。そのためレジン
ボンド砥石は摩耗が激しい欠点を有するが、研削面の目
詰まりや超砥粒の摩耗による切れ味低下が起き難く、メ
タルボンド砥石等と比較して研削を効率よく行え、しか
も樹脂結合相で保持された超砥粒に弾性効果があるため
にメタルボンド砥石を用いた場合よりも被削材のダメー
ジが小さく仕上げ面が良好である。そのため、例えば半
導体ウエーハ等の被削材の鏡面研削等、小さい面粗さが
要求される研削に用いられるという利点を有している。
脂結合相が比較的軟質で脆いために比較的硬い被削材に
対して研削を行った場合、超砥粒を支える樹脂結合相が
破砕または摩耗して超砥粒が脱落する。そのためレジン
ボンド砥石は摩耗が激しい欠点を有するが、研削面の目
詰まりや超砥粒の摩耗による切れ味低下が起き難く、メ
タルボンド砥石等と比較して研削を効率よく行え、しか
も樹脂結合相で保持された超砥粒に弾性効果があるため
にメタルボンド砥石を用いた場合よりも被削材のダメー
ジが小さく仕上げ面が良好である。そのため、例えば半
導体ウエーハ等の被削材の鏡面研削等、小さい面粗さが
要求される研削に用いられるという利点を有している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで半導体の微細
化と高集積度化が進むにつれて半導体ウエーハ等にも一
層高度な鏡面仕上げが要求されてきている。これに対し
て従来のレジンボンド砥石では、樹脂結合相に耐熱樹脂
として用いられるポリイミド樹脂、ポリイミドアミド樹
脂、ポリビマレイミド樹脂等はヤング率が小さいために
曲げ強さが比較的小さく被削材のダメージが比較的大き
いために仕上げ面粗さの一層の向上は図れなかった。ま
た樹脂結合相としてフェノール樹脂を用いれば耐熱性能
が高い上に弾性率も比較的高いという利点があるが、フ
ェノール樹脂は樹脂結合相としての強度が十分でなく超
砥粒の保持強度が小さいためにレジンボンド砥石の寿命
向上を図れないという問題があった。
化と高集積度化が進むにつれて半導体ウエーハ等にも一
層高度な鏡面仕上げが要求されてきている。これに対し
て従来のレジンボンド砥石では、樹脂結合相に耐熱樹脂
として用いられるポリイミド樹脂、ポリイミドアミド樹
脂、ポリビマレイミド樹脂等はヤング率が小さいために
曲げ強さが比較的小さく被削材のダメージが比較的大き
いために仕上げ面粗さの一層の向上は図れなかった。ま
た樹脂結合相としてフェノール樹脂を用いれば耐熱性能
が高い上に弾性率も比較的高いという利点があるが、フ
ェノール樹脂は樹脂結合相としての強度が十分でなく超
砥粒の保持強度が小さいためにレジンボンド砥石の寿命
向上を図れないという問題があった。
【０００４】本発明は、このような実情に鑑みて、樹脂
結合相の強度と弾性率を高めることができるレジンボン
ド砥石を提供することを目的とする。
結合相の強度と弾性率を高めることができるレジンボン
ド砥石を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係るレジンボン
ド砥石は、樹脂結合相中に砥粒が分散配置されてなるレ
ジンボンド砥石において、樹脂結合相中に略球状のフェ
ノール−ホルムアルデヒド樹脂相が分散配置されている
ことを特徴とする。フェノール−ホルムアルデヒド樹脂
は曲げ強さや曲げ弾性率が高く樹脂結合相中に分散配置
されて樹脂結合相の強さや剛性や弾性を向上させると共
に、略球状を呈するために研削時に作用する力に対して
耐力を有すると共に応力緩和及び緩衝能力が高く、樹脂
結合相の強化相としての役割を果たすことになり、研削
時に被削材に対して平坦度の高い加工を行うことができ
ると共に砥粒の保持力を強化できて砥石寿命を向上でき
る。
ド砥石は、樹脂結合相中に砥粒が分散配置されてなるレ
ジンボンド砥石において、樹脂結合相中に略球状のフェ
ノール−ホルムアルデヒド樹脂相が分散配置されている
ことを特徴とする。フェノール−ホルムアルデヒド樹脂
は曲げ強さや曲げ弾性率が高く樹脂結合相中に分散配置
されて樹脂結合相の強さや剛性や弾性を向上させると共
に、略球状を呈するために研削時に作用する力に対して
耐力を有すると共に応力緩和及び緩衝能力が高く、樹脂
結合相の強化相としての役割を果たすことになり、研削
時に被削材に対して平坦度の高い加工を行うことができ
ると共に砥粒の保持力を強化できて砥石寿命を向上でき
る。
【０００６】尚、樹脂結合相はフェノール樹脂でもよ
い。樹脂結合相としてフェノール樹脂を用いれば、焼結
時にフェノール樹脂が液状化し、略球状のフェノール−
ホルムアルデヒド樹脂相と高い親和力で結合するために
樹脂結合相を強化できる上に曲げ強さを向上させること
もでき、高い耐熱性と弾性率を発揮できる。またフェノ
ール−ホルムアルデヒド樹脂相の平均粒径を５〜５０μ
ｍとしてもよい。平均粒径が５０μｍを越えるとフェノ
ール−ホルムアルデヒド樹脂相の分散ピッチが延びて隣
り合うフェノール−ホルムアルデヒド樹脂相間の樹脂結
合相３の長さが大きくなって強度、弾性率の向上効果が
低下し、５μｍ未満になると研削時に作用する力に対し
て応力緩和、緩衝能力が低くなり樹脂結合相の曲げ強さ
を向上させ得ない。
い。樹脂結合相としてフェノール樹脂を用いれば、焼結
時にフェノール樹脂が液状化し、略球状のフェノール−
ホルムアルデヒド樹脂相と高い親和力で結合するために
樹脂結合相を強化できる上に曲げ強さを向上させること
もでき、高い耐熱性と弾性率を発揮できる。またフェノ
ール−ホルムアルデヒド樹脂相の平均粒径を５〜５０μ
ｍとしてもよい。平均粒径が５０μｍを越えるとフェノ
ール−ホルムアルデヒド樹脂相の分散ピッチが延びて隣
り合うフェノール−ホルムアルデヒド樹脂相間の樹脂結
合相３の長さが大きくなって強度、弾性率の向上効果が
低下し、５μｍ未満になると研削時に作用する力に対し
て応力緩和、緩衝能力が低くなり樹脂結合相の曲げ強さ
を向上させ得ない。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面により説明する。図１は実施の形態によるレジンボ
ンド砥石の部分縦断面図である。実施の形態によるレジ
ンボンド砥石１は、例えば硬脆材料の鏡面研削用の砥石
であり、砥粒層２はカップ型砥石等の台金の略リング状
先端部に固定されていてもよいし、台金を設けることな
く砥粒層２のみによって砥石が構成されていても良い。
図１に示すように砥粒層２は例えばフェノール樹脂等の
熱硬化性樹脂からなる樹脂結合相３と、この樹脂結合相
３中に分散配置されたダイヤモンドまたはｃＢＮ等の超
砥粒４とを備えている。更に樹脂結合相３中には結合相
を強化するために強化相としてフェノール−ホルムアル
デヒド樹脂からなるフェノール−ホルムアルデヒド樹脂
相５が分散配置されている。
図面により説明する。図１は実施の形態によるレジンボ
ンド砥石の部分縦断面図である。実施の形態によるレジ
ンボンド砥石１は、例えば硬脆材料の鏡面研削用の砥石
であり、砥粒層２はカップ型砥石等の台金の略リング状
先端部に固定されていてもよいし、台金を設けることな
く砥粒層２のみによって砥石が構成されていても良い。
図１に示すように砥粒層２は例えばフェノール樹脂等の
熱硬化性樹脂からなる樹脂結合相３と、この樹脂結合相
３中に分散配置されたダイヤモンドまたはｃＢＮ等の超
砥粒４とを備えている。更に樹脂結合相３中には結合相
を強化するために強化相としてフェノール−ホルムアル
デヒド樹脂からなるフェノール−ホルムアルデヒド樹脂
相５が分散配置されている。
【０００８】このフェノール−ホルムアルデヒド樹脂相
５は略球形をなしていて平均粒径は５０μｍ〜５μｍの
範囲とされている。平均粒径が５０μｍを越えるとフェ
ノール−ホルムアルデヒド樹脂相の分散ピッチが延びて
隣り合うフェノール−ホルムアルデヒド樹脂相間の樹脂
結合相３の長さが大きくなって強度、弾性率の向上効果
が低下し、５μｍ未満になると研削時に作用する力に対
して応力緩和、緩衝能力が低くなり樹脂結合相の曲げ強
さを向上させ得ない。また砥粒層２中のフェノール−ホ
ルムアルデヒド樹脂相５の含有量は超砥粒４を除く砥粒
層２の体積比で例えば５〜６０ｖｏｌ％とされる。ここ
で、フェノール−ホルムアルデヒド樹脂相５の含有量が
５ｖｏｌ％未満であるとフェノール−ホルムアルデヒド
樹脂を含有したことによる効果、例えばフェノール樹脂
等の樹脂結合相３の曲げ強度の向上や強度の向上の効果
が十分でない。また６０ｖｏｌ％を越えると分散状態に
ある強化相の占有体積が大きすぎて砥粒層２中に占める
樹脂結合相３の割合が低下して結合強度と超砥粒４の保
持力が大幅に低下するという不具合を生じる。
５は略球形をなしていて平均粒径は５０μｍ〜５μｍの
範囲とされている。平均粒径が５０μｍを越えるとフェ
ノール−ホルムアルデヒド樹脂相の分散ピッチが延びて
隣り合うフェノール−ホルムアルデヒド樹脂相間の樹脂
結合相３の長さが大きくなって強度、弾性率の向上効果
が低下し、５μｍ未満になると研削時に作用する力に対
して応力緩和、緩衝能力が低くなり樹脂結合相の曲げ強
さを向上させ得ない。また砥粒層２中のフェノール−ホ
ルムアルデヒド樹脂相５の含有量は超砥粒４を除く砥粒
層２の体積比で例えば５〜６０ｖｏｌ％とされる。ここ
で、フェノール−ホルムアルデヒド樹脂相５の含有量が
５ｖｏｌ％未満であるとフェノール−ホルムアルデヒド
樹脂を含有したことによる効果、例えばフェノール樹脂
等の樹脂結合相３の曲げ強度の向上や強度の向上の効果
が十分でない。また６０ｖｏｌ％を越えると分散状態に
ある強化相の占有体積が大きすぎて砥粒層２中に占める
樹脂結合相３の割合が低下して結合強度と超砥粒４の保
持力が大幅に低下するという不具合を生じる。
【０００９】本実施の形態によるレジンボンド砥石１は
上述の構成を備えており、次にその製造方法について説
明する。分子量２０００以上で粒径５０μｍ未満のフェ
ノールホルムアルデヒド樹脂（例えば商品名「ベルパー
ル」または「ユニベックス」）を例えばダイヤモンドの
超砥粒４と共に粉末または液相の熱硬化性フェノール樹
脂に混合して分散配置させ、これを２００℃程度の温度
で焼結する。焼結時にフェノール樹脂が液状化し、略球
状のフェノール−ホルムアルデヒド樹脂相５と高い親和
力で結合するためにフェノール−ホルムアルデヒド樹脂
相５と超砥粒４とが樹脂結合相３に分散配置された砥粒
層１を製作できる。
上述の構成を備えており、次にその製造方法について説
明する。分子量２０００以上で粒径５０μｍ未満のフェ
ノールホルムアルデヒド樹脂（例えば商品名「ベルパー
ル」または「ユニベックス」）を例えばダイヤモンドの
超砥粒４と共に粉末または液相の熱硬化性フェノール樹
脂に混合して分散配置させ、これを２００℃程度の温度
で焼結する。焼結時にフェノール樹脂が液状化し、略球
状のフェノール−ホルムアルデヒド樹脂相５と高い親和
力で結合するためにフェノール−ホルムアルデヒド樹脂
相５と超砥粒４とが樹脂結合相３に分散配置された砥粒
層１を製作できる。
【００１０】上述のように本実施の形態によれば、フェ
ノール−ホルムアルデヒド樹脂相５は曲げ強さや曲げ弾
性率が高く樹脂結合相３中に分散配置されて樹脂結合相
３の強さや剛性を向上させると共に、フェノール−ホル
ムアルデヒド樹脂相５は略球状を呈するために研削時に
作用する力に対して耐力を有すると共に応力緩和及び緩
衝能力が高く、樹脂結合相３の強化相としての役割を果
たすことになり、研削時に被削材に対して平坦度の高い
加工を行うことができると共に超砥粒４の保持力を強化
できて砥石寿命を向上できる。しかも樹脂結合相３とし
てフェノール樹脂を用いれば、焼結時にフェノール樹脂
が液状化し、略球状のフェノール−ホルムアルデヒド樹
脂相５と高い親和力で結合するために樹脂結合相３を強
化できる上に曲げ強さを向上させることもでき、高い耐
熱性と弾性率を発揮できる。また略球状のフェノール−
ホルムアルデヒド樹脂相５の平均粒径を５０〜５μｍの
範囲内としたことで、樹脂結合相３の強化と曲げ強さを
向上できる上に超砥粒５の保持力が高く研削能力を十分
に発揮できる。
ノール−ホルムアルデヒド樹脂相５は曲げ強さや曲げ弾
性率が高く樹脂結合相３中に分散配置されて樹脂結合相
３の強さや剛性を向上させると共に、フェノール−ホル
ムアルデヒド樹脂相５は略球状を呈するために研削時に
作用する力に対して耐力を有すると共に応力緩和及び緩
衝能力が高く、樹脂結合相３の強化相としての役割を果
たすことになり、研削時に被削材に対して平坦度の高い
加工を行うことができると共に超砥粒４の保持力を強化
できて砥石寿命を向上できる。しかも樹脂結合相３とし
てフェノール樹脂を用いれば、焼結時にフェノール樹脂
が液状化し、略球状のフェノール−ホルムアルデヒド樹
脂相５と高い親和力で結合するために樹脂結合相３を強
化できる上に曲げ強さを向上させることもでき、高い耐
熱性と弾性率を発揮できる。また略球状のフェノール−
ホルムアルデヒド樹脂相５の平均粒径を５０〜５μｍの
範囲内としたことで、樹脂結合相３の強化と曲げ強さを
向上できる上に超砥粒５の保持力が高く研削能力を十分
に発揮できる。
【００１１】また樹脂結合相３中にフェノール−ホルム
アルデヒド樹脂以外に、アモルファスカーボン、或いは
／及び従来用いられている例えばＣａＦ2、ｈＢＮ、黒
鉛（結晶質カーボン）等の各種固体潤滑剤を分散配置さ
せてもよい。また本発明によるレジンボンド砥石は鏡面
研削に限定されることなく他の種類の研削にももちろん
採用できる。
アルデヒド樹脂以外に、アモルファスカーボン、或いは
／及び従来用いられている例えばＣａＦ2、ｈＢＮ、黒
鉛（結晶質カーボン）等の各種固体潤滑剤を分散配置さ
せてもよい。また本発明によるレジンボンド砥石は鏡面
研削に限定されることなく他の種類の研削にももちろん
採用できる。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るレジ
ンボンド砥石は、樹脂結合相中に略球状のフェノール−
ホルムアルデヒド樹脂相が分散配置されているから、樹
脂結合相の強さや剛性を向上させると共に、フェノール
−ホルムアルデヒド樹脂相は略球状を呈するために研削
時に作用する力に対して耐力を有すると共に応力緩和及
び緩衝能力が高く、樹脂結合相の強化相としての役割を
果たすことになり、研削時に被削材に対して平坦度の高
い加工を行うことができると共に超砥粒の保持力を強化
できて砥石寿命を向上できる。
ンボンド砥石は、樹脂結合相中に略球状のフェノール−
ホルムアルデヒド樹脂相が分散配置されているから、樹
脂結合相の強さや剛性を向上させると共に、フェノール
−ホルムアルデヒド樹脂相は略球状を呈するために研削
時に作用する力に対して耐力を有すると共に応力緩和及
び緩衝能力が高く、樹脂結合相の強化相としての役割を
果たすことになり、研削時に被削材に対して平坦度の高
い加工を行うことができると共に超砥粒の保持力を強化
できて砥石寿命を向上できる。
【００１３】また樹脂結合相としてフェノール樹脂を用
いたから、焼結時にフェノール樹脂が液状化して略球状
のフェノール−ホルムアルデヒド樹脂相と高い親和力で
結合するために樹脂結合相を強化できる上に曲げ強さを
向上させることもでき、高い耐熱性と弾性率を発揮でき
る。
いたから、焼結時にフェノール樹脂が液状化して略球状
のフェノール−ホルムアルデヒド樹脂相と高い親和力で
結合するために樹脂結合相を強化できる上に曲げ強さを
向上させることもでき、高い耐熱性と弾性率を発揮でき
る。
【図１】 本発明の実施形態によるレジンボンド砥石の
部分断面図である。
部分断面図である。
１ レジンボンド砥石 ２ 砥粒層 ３ 樹脂結合相 ４ 超砥粒 ５ フェノール−ホルムアルデヒド樹脂相
Claims (3)
- 【請求項１】 樹脂結合相中に砥粒が分散配置されてな
るレジンボンド砥石において、前記樹脂結合相中に略球
状のフェノール−ホルムアルデヒド樹脂相が分散配置さ
れていることを特徴とするレジンボンド砥石。 - 【請求項２】 前記樹脂結合相はフェノール樹脂である
ことを特徴とする請求項１に記載のレジンボンド砥石。 - 【請求項３】 前記フェノール−ホルムアルデヒド樹脂
相の平均粒径が５〜５０μｍであることを特徴とする請
求項１または２に記載のレジンボンド砥石。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000010684A JP2001198836A (ja) | 2000-01-19 | 2000-01-19 | レジンボンド砥石 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000010684A JP2001198836A (ja) | 2000-01-19 | 2000-01-19 | レジンボンド砥石 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001198836A true JP2001198836A (ja) | 2001-07-24 |
Family
ID=18538672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000010684A Pending JP2001198836A (ja) | 2000-01-19 | 2000-01-19 | レジンボンド砥石 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001198836A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006121080A1 (ja) * | 2005-05-11 | 2006-11-16 | Kabushiki Kaisha Shofu | 球状樹脂粒子を含有する歯科用研磨材 |
-
2000
- 2000-01-19 JP JP2000010684A patent/JP2001198836A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006121080A1 (ja) * | 2005-05-11 | 2006-11-16 | Kabushiki Kaisha Shofu | 球状樹脂粒子を含有する歯科用研磨材 |
| US8070842B2 (en) | 2005-05-11 | 2011-12-06 | Kabushiki Kaisha Shofu | Dental polishing article which contains spherical resin particles |
| JP5084504B2 (ja) * | 2005-05-11 | 2012-11-28 | 株式会社松風 | 球状樹脂粒子を含有する歯科用研磨材 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040329 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20060907 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061003 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061204 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20070515 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |