JP2001194215A - 積算体積計検査システム - Google Patents

積算体積計検査システム

Info

Publication number
JP2001194215A
JP2001194215A JP2000004869A JP2000004869A JP2001194215A JP 2001194215 A JP2001194215 A JP 2001194215A JP 2000004869 A JP2000004869 A JP 2000004869A JP 2000004869 A JP2000004869 A JP 2000004869A JP 2001194215 A JP2001194215 A JP 2001194215A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
fluid
inspection
flow path
volume meter
integrating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2000004869A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4628513B2 (ja
Inventor
Yoshikazu Ogawa
芳和 小川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Elemex Corp
Original Assignee
Ricoh Elemex Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Elemex Corp filed Critical Ricoh Elemex Corp
Priority to JP2000004869A priority Critical patent/JP4628513B2/ja
Publication of JP2001194215A publication Critical patent/JP2001194215A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4628513B2 publication Critical patent/JP4628513B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Volume Flow (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 積算体積計の器差検査において迅速で効率的
な検査が可能となる検査システムを提供する。 【解決手段】 検査用流体流路系が並列に2系統設け
られ、体積基準器5からそれら並列な複数系統の流路系
の一方に選択的に液体を流通させて稼働流路系としてい
る。他方に液体を流通させないで休止流路系としてい
る。このように、稼働流路系と休止流路系とを切り換え
て使用することにより、稼働流路系で検査を実行してい
る間に休止流路系で被検査対象のセッティングを行うこ
とができ検査時間が大幅に短縮できることとなる。ま
た、センサー群42はスライダー53とともに移動され
て、稼働流路系を選択して検査することで、各流路系が
センサー群を共有でき、装置構成を簡素にするとともに
効果的に検査が行えるシステムとなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する分野】本発明は、積算体積計の器差を検
査する積算体積計検査システムに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、水道メータ等の積算体積計におい
てその指示量が正確か否かを検査する器差試験が行われ
ている。その器差試験においては、体積基準器によって
一定量を積算体積計に送るとともに、その送り量と積算
体積計が示す指示量が一致しているか否かを検査し、送
り量から一定範囲外の指示量を示す場合にはその積算体
積計が不良品である蓋然性が高いものとして除去するこ
ととなる。このような器差検査は、大量の積算体積計を
迅速かつ容易に検査することが求められ、その点におい
て、被検査体としての積算体積計を交換し、新たな積算
体積計をセッティングする時間を短縮することが望まれ
ている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明の解決すべき課
題は、積算体積計の器差検査において迅速で効率的な検
査が可能となる検査システムを提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段及び発明の効果】上記のよ
うな課題を解決するために、流体の通過体積を測定する
積算体積計を被検査対象とし、前記積算体積計において
一定量の流体を供給して通過させる定量流体供給手段
と、前記被検査対象を介在させて前記定量流体供給手段
による流体を流通させる検査液体流路系と、前記積算体
積計に備えられて通過流体の量に対応した表示変化を示
す流体通過量表示手段と、その表示変化を検知して前記
積算体積計を通過した流量に関する情報を生成する表示
変化検知センサーとを有し、その表示変化検知センサー
からの流量情報を受けて通過流体量を算出する通過流量
算出手段と、を備え、前記定量流体供給手段による前記
積算体積計への供給流量と、前記通過流量算出手段によ
って算出された前記通過流量との差を比較することによ
り積算体積計の精度を検査する積算体積計検査システム
であって、前記検査用流体流路系は並列に複数系統設け
られ、前記定量流体供給手段からそれら並列な複数系統
の前記流路系の一部のものに選択的に液体を流通させて
稼働流路系とし、かつ、前記並列な複数系統の前記流路
系の他のものに選択的に液体を流通させないで休止流路
系とし、かつ稼働流路系と休止流路系とを切り換えて使
用することにより、稼働流路系で検査を実行している間
に休止流路系で被検査対象のセッティングを行うことを
特徴とする。
【0005】このように、稼働流路系と休止流路系とを
切り換えて使用し、稼働流路系で検査を実行している間
に休止流路系で被検査対象のセッティングを行うこと
で、被検査対象のセッティングをしている間にも検査を
続行でき、検査時間の大幅な短縮となる。
【0006】さらに、前記積算体積群を構成する各積算
体積計ごと個々にそれぞれ前記表示変化検知センサーが
備えられてセンサー群を構成してもよく、そのセンサー
群を移動可能とするセンサー群移動手段によっていずれ
か一つの検査用流体流路系が検知可能となるように前記
センサー群が位置し、その選択される検査用流体流路系
において各積算体積計の器差をそれぞれ検査するように
してもよい。センサー群が移動されて検査用流体流路系
を選択可能とされることで、多数の検査用流体流路系が
対象とされても少数の(例えば1つの)センサー群のみ
で検査を行うことができ、装置構成を簡素にしつつも効
果的に検査を行えるシステムとなる。 〔発明の詳細な説明〕
【0007】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に示す実施例を参照しつつ説明する。図1は本発明の積
算体積計検査システム(以下、単に検査システムともい
う)装置構成について説明し、図2は本発明の要部につ
いて模式的に説明している。本発明の概要を述べると、
流体の通過体積を測定する積算体積計2を被検査対象と
し、直列に複数備えられる積算体積計2において一定量
の流体を供給して通過させる定量流体供給手段としての
体積基準器5と、被検査対象を介在させて前記定量流体
供給手段による流体を流通させる複数の検査液体流路系
45a,45bが備えられる。そして、定量流体供給手
段としての体積基準器5からの積算体積計2への供給流
量と、後述する通過流量算出手段によって算出された各
積算体積計が示す通過流量(以下指示流量とも言う)と
の差を比較することにより、積算体積計の精度を検査す
る積算体積計検査システムが構成される。
【0008】図2に示されるように、検査用流体流路系
は並列に複数系統設けられ(図2においては検査用流体
流路計45a,45bの2系統)、定量流体供給手段と
しての体積基準器5からそれら並列な複数系統の流路系
の一部のものに選択的に液体を流通させて稼働流路系と
している。一方、並列な複数系統の流路系の稼働流路系
以外のものを選択的に液体を流通させないで休止流路系
とし、かつ稼働流路系と休止流路系とを切り換えて使用
することにより、稼働流路系で検査を実行している間に
休止流路系で被検査対象のセッティングを行うこととな
る。
【0009】複数(本実施例においては2つ)備えられ
る各検査用流体流路系45a,45bは、定量流体供給
手段としての体積基準器5に接続される共通管路51に
それぞれ接続されるとともに共通管路51から分岐して
各検査用流体流路系ごと流路が構成される。そして、接
続される2つの検査用流体流路系45a,45bにおい
て、いずれか一つの検査用流体流路系に流体を供給する
ように、検査用流体流路系選択手段として各流体供給口
においてそれぞれ流量調節部としてのバルブ50a,5
0bが備えられる。さらに、そのバルブを制御するバル
ブ制御手段によっていずれか一つの検査用流体流路系に
体積基準器5より定量流体が供給されるように制御する
こととなる。
【0010】なお、バルブ制御手段としては、バルブ5
0a,50bを電磁弁として構成し、これらバルブに制
御信号を送ることにより自動的に開閉制御するようにし
てもよく、手動弁として手操作によって切り替えるよう
にしてもよい。なお、バルブ52a,52bをそれらと
同様に構成して制御してもよい。いずれにしても、一方
の被検査体側(検査側)に流体を供給して(バルブをオ
ープンさせ)、他方の被検査体側(積算体積計を交換す
る側)に流体を供給させず(バルブをクローズし)休止
流路系とすることとなる。そして、バルブがオープンさ
れて流体が供給される検査用流体流路系側には定量流体
供給手段としての体積基準器5にによって一定量の流体
が共通管路51を介して供給される。この時、供給され
る流体は各積算体積計2をそれぞれ通過し、各積算体積
計2に備えられ流体の量に対応した表示変化を示す流体
通過量表示手段としての回転指標(図示せず)が通過し
た流量に応じて回転することとなる。
【0011】この回転指標は流量に対応した回転数にて
回転するため、その回転指標を光センサ等の回転検知手
段によってセンシングし回転数を算出することになる。
この回転指標は積算体積計を通過する流体の流量に対応
して回転数が設定される八角錐形の回転体であり、この
回転指標の斜面に光を照射し、その反射光を受光素子で
受け、回転指標の回転に応じて発生する受光素子の出力
変動パルスを計数し、その値を基に流量を換算すること
で通過流量を求め、この通過流量を体積基準器による吐
出量と比較して積算体積計の器差検査が行われる。な
お、積算体積計における流体通過表示手段としての回転
指標は立体的な回転体のものを対象とせず、液晶ディス
プレイ等に表示変化され、通過流量に応じて回転数が設
定される回転表示部でもよく、この回転表示部をCCD
カメラ等の光学センサによってセンシングするとともに
画像処理により回転を算出する手法を用いてもよい。
【0012】なお、このような回転指標を用いた積算体
積計を通過する流量の測定方法は一般的に行われる器差
検査に用いられ、公知であるので詳細は省略する。な
お、このように回転指標をセンシングし、回転数をピッ
クアップするセンサ(以下、ピックアップセンサ41と
もいう)が各積算体積計2ごとに個々に備えられてセン
サー群42を構成している。本発明においてはセンサー
群42は検査用流体流路系を構成する積算体積計と同配
列(本実施例では8列2行)にて構成され、各センサー
位置は各積算体積計における回転指標を検知可能な位置
に設定される。
【0013】そしてセンサー群42には、そのセンサー
群42を移動可能とするセンサー群移動手段が備えられ
る。このセンサー群移動手段は、エアシリンダやサーボ
モータ等の駆動手段と、その駆動手段によって移動され
て各センサー41が固定されるスライダー53を備えて
構成される。そして、センサー群移動手段によって移動
されて少なくともいずれか一つの検査用流体流路系が検
知可能となるようにセンサー群42が位置し、その選択
される検査用流体流路系において各積算体積計2におけ
るそれぞれの回転指標をセンシングすることとなる。セ
ンサー群が移動されて検査用流体流路系を選択可能とさ
れることで、多数の検査用流体流路系が対象とされても
少数の(本実施例においては1つの)センサー群のみで
検査を行うことができ、装置構成を簡素にしつつも効果
的に検査を行えるシステムとなる。
【0014】本実施例において示される検査用流体流路
系は、第1の検査用流体流路系と、第2の検査用流体流
路系を有して2つの流路系からなり、一方の流路系を稼
働流路系として当該稼働流路系の積算体積計を検査し、
その検査中において他方の流路系を休止流路系として積
算体積計のセッティング(交換、準備等)を行う。この
場合において、センサー群42は稼働流路系を選択する
ようにセンサー群移動手段によって移動される。そし
て、スライダー53がフレームにおいて移動することで
センサー群42をスライドさせ、センサー群42を稼働
流路系側に移動させる。このように2つの検査用流体流
路系を備え、一方を稼働流路系とし、他方を休止流路系
とすることで最少の流路数で効果的に検査時間短縮がで
き、装置構成も簡素になる。
【0015】また、複数備えられる(図2においては2
系統)各検査用流体流路系における配列は、積算体積計
2が直線的に複数備えられる往路と、その往路に直列に
接続されて往路に対し流路方向を反転するとともに、積
算体積計2が直線的に複数備えられる復路とを有してそ
れぞれ2列に構成されるようにしてもよい。なお、図2
に示す例においては、2列としているが、これに限定さ
れず、さらに反転して3列、4列と多数の列に構成する
ことができる。また、1列のみで直線的に構成してもよ
い。いずれにしても各検査用流体流路系におけるそれぞ
れの配列は全て同配列とされ、さらにセンサー群42も
それらと同配列にセンサー41が配置される。このよう
に、センサー群42の各センサー41が選択した検査用
流体流路系における全ての積算体積計を網羅するように
設けられることとなる。
【0016】本発明の積算体積計検査システムは、積算
体積計に備えられて通過流体の量に対応した表示変化を
示す流体通過量表示手段としての回転指標を検知して、
被検査対象としての積算体積計を通過した流量に関する
情報を生成する表示変化検知センサーとしてのセンサー
41と、その表示変化検知センサーからの流量情報を受
けて通過流体量を算出する通過流量算出手段とを備える
こととなる。
【0017】図1に戻り、このようにセンシングされ
た、各センサー41からの回転数情報はマイコン113
a、113b及び拡張ユニット109等を介して情報処
理装置としてのパソコン107に格納され、それら回転
数情報はこれら情報処理装置にて各積算体積計ごとの流
量情報に変換され、通過流体量が算出される。そして、
体積基準器5からの吐出量情報として予めこれら情報処
理装置に格納される値とその通過流体量を比較し、異常
値を示す積算体積計に関する情報を表示可能とする異常
部表示手段としての表示ボックス111において、異常
を示す積算体積計に対応した表示部を点灯等することに
より異常の積算体積計を検査管理者等に知らせることと
なる。
【0018】また、図2に示されるように、定量流体供
給手段としての体積基準器5はその体積基準器5を駆動
するリニアスケール6及びサーボモータ8が備えられて
いる。サーボモータ8及びリニアスケール6によってピ
ストン16の移動量が決定され、その移動量によって体
積基準器5からの吐出量が決定する。なお、この吐出量
は操作BOX119によって設定されて、その吐出量情
報がシーケンサ117及びサーボモータドライバ115
を介してリニアスケール6及びサーボモータ8に伝達さ
れるようにすることができる。そして、吐出量情報は拡
張ユニット109を介して情報処理装置としてのパソコ
ン107に入力されて記憶装置としてのRAM等に記憶
され、さらに、その吐出量情報が前述したように各積算
体積計ごとの流量情報と比較され、異常値を示す積算体
積計を検知することとなる。
【0019】このように一連の検査工程において検査対
象となる稼働流路系の検査が終了すると、流路系選択手
段としてのバルブを閉じて休止流路系とし、他の(図1
に示されるように2流路系であれば他方の)流路系のバ
ルブを開いて稼働流路系とすることになる。そして休止
流路系の積算体積計を交換して新しい積算体積計をセッ
ティングし、一方の稼働流路系とされた側では上記した
積算体積計の検査がなされることとなる。このように、
稼働流路系の検査中において、休止流路系における積算
体積計の交換が行えるため、検査工程において最も所要
時間を必要とする被検査対象の交換作業時間を大幅に削
減できる。
【0020】また、図4は流路構成の例について簡易的
に説明している。図4(a)は図2等に示される流路構
成を簡易的に示し、バルブ50a又は50bのいずれか
のバルブを開くことで稼働流路系をなし(図4(a)に
おいては検査用流体流路系45a側)、バルブ50bを
閉じることで休止流路系(検査用流体流路系45b側)
としている。そして、前述したようにセンサー群42
(図2)によって稼働流路系における積算体積計を検査
することとなる。
【0021】一方、図4(b)に示されるように、流体
供給源となる定量流体供給手段としての体積基準器5を
複数設け(図においては2つ)、各体積基準器5ごとに
検査用流体流路系が備えられるようにしてもよい。そし
て、少なくともいずれか一つ(図においては一方の検査
用流体流路系45a)を稼働流路系として検査し、それ
以外の流路系(図においては他方の検査用流体流路系4
5b)を休止流路系とし、その休止流路系にて新たな積
算体積計のセッティングを行うこととなる。この時にお
いても、センサー群は上記したセンサー群移動手段によ
って稼働流路系側に移動され検査することになる。
【0022】また、図4(c)に示されるように多系統
(図においては4系統)の検査用流体流路系を構成して
もよい。このように構成される多系統の検査用流体流路
系においても、検査用流体流路系選択手段としてのバル
ブを開くことにより流路を選択し、前述と同様の検査工
程を行うこととなる。図4(c)においてはバルブ50
aを開くことにより検査用流体流路系45aを稼働流路
系としている。いずれにしても、複数備えられる検査用
流体流路系のうち一部の流路系を稼働流路系とし、稼働
流路系以外の流路系を休止流路系とすることで、稼働流
路系における検査中に休止流路系において被検査対象の
積算体積計を交換することができ、総検査時間の大幅な
短縮となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の積算体積計検査システムの装置構成例
を示す説明図。
【図2】図1の要部を説明する説明図。
【図3】図1を簡易的に説明する回路図。
【図4】流路構成の例を簡易的に示す説明図。
【符号の説明】
2 積算体積計 4 ピックアップセンサ (流量検出手段、 5 積算体積計 (定量流体供給手段) 6 リニアスケール (定量流体供給手段) 8 サーボモータ (定量流体供給手段) 41 ピックアップセンサ 42 センサー群 45a,45b 検査用流体流路系 50a,50b バルブ (検査用流体流路系選択手
段) 53 スライダー

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 流体の通過体積を測定する積算体積計を
    被検査対象とし、 前記積算体積計において一定量の流体を供給して通過さ
    せる定量流体供給手段と、 前記被検査対象を介在させて前記定量流体供給手段によ
    る流体を流通させる検査液体流路系と、 前記積算体積計に備えられて通過流体の量に対応した表
    示変化を示す流体通過量表示手段と、その表示変化を検
    知して前記積算体積計を通過した流量に関する情報を生
    成する表示変化検知センサーとを有し、その表示変化検
    知センサーからの流量情報を受けて通過流体量を算出す
    る通過流量算出手段と、 を備え、 前記定量流体供給手段による前記積算体積計への供給流
    量と、前記通過流量算出手段によって算出された前記通
    過流量との差を比較することにより積算体積計の精度を
    検査する積算体積計検査システムであって、 前記検査用流体流路系は並列に複数系統設けられ、前記
    定量流体供給手段からそれら並列な複数系統の前記流路
    系の一部のものに選択的に液体を流通させて稼働流路系
    とし、かつ、前記並列な複数系統の前記流路系の他のも
    のに選択的に液体を流通させないで休止流路系とし、か
    つ稼働流路系と休止流路系とを切り換えて使用すること
    により、稼働流路系で検査を実行している間に休止流路
    系で被検査対象のセッティングを行うことを特徴とする
    積算体積計検査システム。
  2. 【請求項2】 複数備えられる各検査用流体流路系は、
    前記定量流体供給手段に接続される共通管路にそれぞれ
    接続されて共通の供給源となる前記定量流体供給手段を
    共有し、該共通管路から分岐して各検査用流体流路系ご
    と流路が構成され、 その接続される複数の前記検査用流体流路系において、
    いずれか一つの検査用流体流路系に流体を送る検査用流
    体流路系選択手段が備えられ、 該検査用流体流路系選択手段によって選択された検査用
    流体流路系に、前記定量流体供給手段によって一定量の
    流体が流されることを特徴とする請求項1に記載の積算
    体積計検査システム。
  3. 【請求項3】 前記検査用流体流路系選択手段は、各検
    査用流体流路系ごとそれぞれ備えられる各流体供給口に
    おいてそれぞれバルブが備えられ、そのバルブを制御す
    るバルブ制御手段によっていずれか一つの検査用流体流
    路系に前記体積基準器より定量流体が供給されるように
    制御することを特徴とする請求項2に記載の積算体積計
    検査システム。
  4. 【請求項4】 前記積算体積群を構成する各積算体積計
    ごと個々にそれぞれ前記表示変化検知センサーが備えら
    れてセンサー群が構成され、 前記センサー群には、該センサー群を移動可能とするセ
    ンサー群移動手段が備えられ、該センサー群移動手段に
    よって移動されて少なくともいずれか一つの検査用流体
    流路系が検知可能となるように前記センサー群が位置
    し、その選択される検査用流体流路系において各積算体
    積計の器差をそれぞれ検査することを特徴とする請求項
    1ないし3のいずれかに記載の積算体積計検査システ
    ム。
  5. 【請求項5】 複数備えられる各検査用流体流路系は、
    前記積算体積計が直線的に複数備えられる往路と、その
    往路に直列に接続されて往路に対し流路方向を反転する
    とともに、前記積算体積計が直線的に複数備えられる復
    路とを有してそれぞれ2列に構成されることを特徴とす
    る請求項1ないし4のいずれかに記載の積算体積計検査
    システム。
JP2000004869A 2000-01-13 2000-01-13 積算体積計検査システム Expired - Fee Related JP4628513B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000004869A JP4628513B2 (ja) 2000-01-13 2000-01-13 積算体積計検査システム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000004869A JP4628513B2 (ja) 2000-01-13 2000-01-13 積算体積計検査システム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001194215A true JP2001194215A (ja) 2001-07-19
JP4628513B2 JP4628513B2 (ja) 2011-02-09

Family

ID=18533602

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000004869A Expired - Fee Related JP4628513B2 (ja) 2000-01-13 2000-01-13 積算体積計検査システム

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4628513B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012037457A (ja) * 2010-08-10 2012-02-23 Ace:Kk 流量標準器及びこれを用いる流量校正方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5551742A (en) * 1978-10-12 1980-04-15 Tamotsu Nishi Sandwich glass and production thereof
JPS63150631A (ja) * 1986-12-16 1988-06-23 Chiyoda Seisakusho:Kk 流量計自動検定装置
JPS63237429A (ja) * 1987-03-25 1988-10-03 Nec Corp ウエハプロ−バ
JPH0735776A (ja) * 1993-07-23 1995-02-07 Fuji Xerox Co Ltd プローブボードを用いた電気回路の測定方法
JPH07113677A (ja) * 1993-10-18 1995-05-02 Tokyo Ryosuiki Kogyosho:Kk 積算体積計の自動検査方法及び装置
JPH09126869A (ja) * 1995-11-06 1997-05-16 Aichi Tokei Denki Co Ltd 流量計の検査装置
JPH11211615A (ja) * 1998-01-21 1999-08-06 Micronics Japan Co Ltd 表示パネル用基板の検査装置
JPH11326451A (ja) * 1998-05-22 1999-11-26 Matsushita Electron Corp 電子部品の測定装置及びそれを用いた測定方法及び電子部品の搬送方法

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5824760Y2 (ja) * 1978-10-04 1983-05-27 株式会社金門製作所 水道メ−タ用自動検定装置における電子センサの自在保持機構

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5551742A (en) * 1978-10-12 1980-04-15 Tamotsu Nishi Sandwich glass and production thereof
JPS63150631A (ja) * 1986-12-16 1988-06-23 Chiyoda Seisakusho:Kk 流量計自動検定装置
JPS63237429A (ja) * 1987-03-25 1988-10-03 Nec Corp ウエハプロ−バ
JPH0735776A (ja) * 1993-07-23 1995-02-07 Fuji Xerox Co Ltd プローブボードを用いた電気回路の測定方法
JPH07113677A (ja) * 1993-10-18 1995-05-02 Tokyo Ryosuiki Kogyosho:Kk 積算体積計の自動検査方法及び装置
JPH09126869A (ja) * 1995-11-06 1997-05-16 Aichi Tokei Denki Co Ltd 流量計の検査装置
JPH11211615A (ja) * 1998-01-21 1999-08-06 Micronics Japan Co Ltd 表示パネル用基板の検査装置
JPH11326451A (ja) * 1998-05-22 1999-11-26 Matsushita Electron Corp 電子部品の測定装置及びそれを用いた測定方法及び電子部品の搬送方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012037457A (ja) * 2010-08-10 2012-02-23 Ace:Kk 流量標準器及びこれを用いる流量校正方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP4628513B2 (ja) 2011-02-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20070135957A1 (en) Model generating apparatus, model generating system, and fault detecting apparatus
JP5982144B2 (ja) 落射照明画像用のエッジ位置測定値補正
JPH0466307B2 (ja)
KR100907875B1 (ko) 가스미터기 검사장치 및 이를 이용한 검사방법
CN108020606A (zh) 分析仪部件的监测
CN113394141B (zh) 一种芯片结构缺陷的质量评估系统及方法
CN108519479A (zh) 一种生物芯片反应过程在线自诊断装置
CN108956834A (zh) 分析测定装置系统
JP2001194215A (ja) 積算体積計検査システム
CN100535641C (zh) 高通量多参数图像表面等离子体谐振测试仪
JPH07113677A (ja) 積算体積計の自動検査方法及び装置
JP3032876B2 (ja) 給油装置
JP3650446B2 (ja) 流量計の検査装置
JPH05253797A (ja) ライン異常判定方式
TW201827803A (zh) 壓力及洩漏測試方法
CN101231250B (zh) 金相全面测量法
TW202134621A (zh) 鏡片檢測方法及設備
JP2018072262A (ja) リークテスタ、リーク係数算出方法、プログラム
KR100275861B1 (ko) 자동식 가스계량기 성능 검사 장치
KR100455309B1 (ko) 솔레노이드 밸브 유량 측정 장치 및 방법
RU17988U1 (ru) Установка для неразрушающего контроля труб
JPH11304632A (ja) 洩れ検査用ドリフト補正値算出装置及びこれを用いた洩れ検査装置
EP3689495B1 (en) Method and apparatus for inspecting internal cavities in cast components
JP2002350198A (ja) 検出器の健全性判定方法および健全性判定システム
JPH09246360A (ja) 位置合わせ装置および方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20061225

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100513

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100701

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100825

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20101021

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20101109

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20101110

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131119

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees