JPH0466307B2 - - Google Patents

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JPH0466307B2
JPH0466307B2 JP62037229A JP3722987A JPH0466307B2 JP H0466307 B2 JPH0466307 B2 JP H0466307B2 JP 62037229 A JP62037229 A JP 62037229A JP 3722987 A JP3722987 A JP 3722987A JP H0466307 B2 JPH0466307 B2 JP H0466307B2
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JP
Japan
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workpiece
air system
internal volume
side air
equivalent internal
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JP62037229A
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JPS6345526A (ja
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Akio Furuse
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Cosmo Instruments Co Ltd
Original Assignee
Cosmo Instruments Co Ltd
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Publication date
Application filed by Cosmo Instruments Co Ltd filed Critical Cosmo Instruments Co Ltd
Publication of JPS6345526A publication Critical patent/JPS6345526A/ja
Publication of JPH0466307B2 publication Critical patent/JPH0466307B2/ja
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/26—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors
    • G01M3/32—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators
    • G01M3/3236—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators by monitoring the interior space of the containers
    • G01M3/3263—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators by monitoring the interior space of the containers using a differential pressure detector

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は各種の容器の洩れを測定し、測定洩
れ量が許容量以内か否かを判定する洩れ検査装置
に関する。
〔従来技術〕
従来気体又は液体の洩れが一定規格以内である
ことが要求される容器の製造ラインの検査工程に
おいて、容器の洩れ検査を行うには例えばダイヤ
フラム形差圧検出器を介して被検査容器（ワーク
と呼ぶ）と洩れの無い基準タンク（マスタータン
クと呼ぶ）を結合し、両方に等しいテスト圧力の
気体を充填して系を閉じた後所定時間経つた時の
差圧を読んでワークの洩れ量に換算して、許容洩
れ量以内であるか否かによつて容器成品の良，不
可を判定している。
このような従来の洩れ検査装置の代表的な構成
は第１図に示され、その装置による各容器のリー
クテストの全１サイクルは動作制御装置２０内の
マイクロコンピユータ２５の制御のもとに第２図
に示す動作工程によつて行われる。圧力計４４の
振れを見ながら圧縮空気源１１からの空気圧を減
圧弁１２によりテスト圧力に設定した後、ステツ
プS1の休止期間でテストすべきワーク（即ち容
器）１６を測定側配管４２に接続する。ステツプ
S2の加圧工程でCPU２５Ａの命令により出力ポ
ート２５Ｅを介して駆動回路３９を動作させ三方
電磁弁１３を測定パイプ系２３に導通させて常時
開の二方電磁弁１４，１５を介してワーク１６マ
スタータンク１７に空気を供給すると同時に
RAM２５Ｃ内に設定した第１タイマ（図示せ
ず）を始動させる。所定時間T1経過後、ステツ
プS3の平衡工程で同一のテスト圧力となつたワー
ク側空気系マスター側空気系を二方電磁弁１４，
１５によりそれぞれ閉じると同時に第２タイマ
（図示せず）を始動させる。従つてもしワーク１
６に洩れがあれば、時間と共にダイアフラム形差
圧検出器１８の両側間の差圧が増加していくこと
になる。この間に比較的大きな洩れが検出されれ
ばワークを不良品と判定し直ちにステツプS1に戻
る。大リークがなく、所定時間T2経過後にステ
ツプS4の検出工程に入りRAM２５Ｃ内に第３タ
イマ（図示せず）を設定し、ワーク１６とマスタ
ータンク１７内の差圧が差圧検出器１８により電
気信号として検出され、増幅器１９により増幅さ
れ、メータリレー形の指示器２１の指示針A1に
表示される。従つてこの表示された差圧はステツ
プS3において二方電磁弁１４，１５が閉じられた
以後のワーク１６の洩れ量に対応しており、この
差圧がメータリレー２１の設定針A2で設定した
許容値を越えるとワーク１６を不良と判定し、メ
ータリレー２１の出力によりアラーム４５を作動
させ、直ちにステツプS1でワーク１６を次のもの
と取替えて同様のテストを繰返す。このテストシ
ークエンスはROM２５Ｂ内に記憶されたプログ
ラムによつてCPU２５Ａが制御実行する。この
ようなリークテスト装置の基本構成は例えば特願
昭56−148440（昭和56年９月18日出願、特開昭58
−50445号公報参照）に示されている。所で第１
図において二方電磁弁１４，１５を閉じた後のワ
ーク１６の洩れ量△VLと差圧△Ｐの関係は次の
ようにして求めることができる。式で使用される
記号を以下のように定義する： Ｐ：検出初期のワーク及びマスタータンク内の圧
力、即ちテスト圧（Kg／cm2Ｇ） PW：検出終期、即ち時間T3経過後のワーク内圧
力（Kg／cm2Ｇ） PM：検出終期のマスタータンク内圧力（Kg／cm2
Ｇ） VW：検出初期のワーク側空気系内容積（c.c.） VM：検出初期のマスタータンク側空気系内容積
（c.c.） KS：差圧センサダイアフラムの圧力変化によつ
て生じるダイアフラムの変位によるダイア
フラムの一方の側の空気系の単位圧力変化
当たりの容積変化率（c.c.／Kg／cm2） KW：ワーク内の圧力変化によつて生じるワーク
の変形によるワークの単位圧力変化当たり
の容積変化率（c.c.／Kg／cm2） KM：マスタータンク内に圧力変化によつて生じ
るタンクの変形によるタンクの単位圧力変
化当たりの容積変化率（c.c.／Kg／cm2） △VL：ワークよりの洩れ量（atm c.c.） T3：検出時間（sec） Ｇ：latm＝1.03Kg／cm2 ワーク側空気系及びマスタータンク側空気系に
対するテスト圧Ｐ印加直後の状態と、その後のワ
ーク洩れにより圧力が変化した状態の関係にボイ
ルの法則により次式 （1.03＋Ｐ）VW＝ （1.03＋PW）〔VW−KS・△Ｐ−KW（Ｐ−ＰＷ）〕
＋1.03△VL …(1) （1.03＋Ｐ）VM＝ （1.03＋PM）〔VM＋KS・△Ｐ−KM（Ｐ−PM）〕
…(2) が成立する。検出終期の差圧△Ｐ＝PM−PWにお
いてPMＰとすれば△ＰＰ−PWとなり、これ
らを使つて式(1)，(2)は次のように変形される。
P.VWPW・VW−（KS＋KW）（1.03＋PW）・△Ｐ
＋1.03・△VL …(3) Ｐ・VMPM・VM＋（1.03＋PM）・KS・△Ｐ …(4) 式(3)，(4)から洩れ量△VLは次のように表わさ
れる。
△VL＝ １／1.03｛VW＋（KS＋KW）（1.03＋Ｐ）｝△Ｐ …(5) 式(5)において次のようにVEとＫを定義する。
VE＝VW＋（KS＋KW）（1.03＋Ｐ） …(6) Ｋ＝KS＋KW …(7) 従つて洩れ量△VLは次のように表わされる。
△VL＝VE／1.03・△Ｐ …(8) VEをワーク側空気系の等価内容積と呼び、Ｋ
をワーク側の圧力変化による容積変化率（c.c.／
Kg／cm2）と呼ぶ。単位洩れ量（atm c.c.）当りの
差圧、即ち△Ｐ／△VLはこのリーク検査装置の
洩れ量検出感度であり、1.03／VE（Kg／cm2／atm
c.c.）で与えられる。
式(6)においてKS，KW，KMはそれぞれ一定とみ
なせるので等価内容積VEは測定圧Ｐとワークの
内容積VWの関数とみなせる。ＰとVWはテストす
べきワークの種類によつて異るので、それぞれの
ワークの種類に応じて等価内容積VEは異る、等
価内容積VEは次のようにして求めることができ
る。第１図においてワーク１６は洩れのないもの
を接続し、更にワーク側空気系４２に容積変化付
加器２４を接続する。容積変化付加器２４はマイ
クロメータ形式のものであり、つまみ３３を回転
することによつてシリンダ内のピストンを移動さ
せ、内容積２７を変化させることができる。又、
つまみ３３の回転数に対応する容積変化量はあら
かじめ判つている。第２図の洩れ検査シークエン
スを実行し、ステツプS4の工程に入るとつまみ３
３を所定回数回してピストンを引き、容積変化△
Ｖ（増加）を生じさせる。この増加容積はワーク
側空気系からみて洩れ量と等価であるので、容積
変化△Ｖをボイルの法則により次式によつて大気
圧における体積、即等価洩れ量△VLに換算でき
る。
△Ｖ（1.03＋Ｐ）△VL×1.03 …(6) 式(9)式(10)に代入すると次式が得られる。
VE＝△Ｖ／△Ｐ×（1.03＋Ｐ） …(10) 従つて容積変化△Ｖを与えた後に差圧△Ｐを測
定しかつテスト圧Ｐがわかつていれば、式(10)によ
り接続したワークに対応する等価内容積VEを計
算することができる。
「発明が解決しようとする問題点」 従来はそれぞれのワークに対する等価内容積
VEを式(10)によりあらかじめ計算しておき、各種
類のワークについての許容洩れ量△VL′に対応す
る許容差圧△P′を式(8)から計算し、ワークのリー
クテストにおいてはテストされるワークの種類が
変るごとに対応する前記許容差圧△P′をメータリ
レー形指示器２１に設定し直す必要があつた。
必要に応じて洩れ検査装置の洩れ検出感度
（1.03／VE）のチエツクは、上述の等価内容積を
測定する場合と同様に容積変化付加器２４により
所定の容積変化を与え、その時の差圧指示が所定
値範囲内となるかどうかでチエツクした。もし所
定値範囲内とならなかつた場合は誤差が大と判断
し、そのワークについての等価内容積VEを式(10)
により計算し、その値を式(8)に代入し、許容洩れ
量△VL′に対する許容差圧△P′を計算する。他の
種類のワークについても同様にチエツクし、必要
なら許容差圧△P′を計算する。ワークのリークテ
スト時に各ワークの種類に対応して、エラーが大
と判定されたものは新しく計算した許容差圧を、
そうでないものは前回計算してあつた許容差圧を
それぞれのワークのテスト時にメータリレー２１
に設定することにより較正を行つた。このように
洩れ検出感度のチエツクと較正を行うには各ワー
クの種類について前記ステツプS4の検出工程で容
積変化付加器２４のマイクロメータを所定回数手
で回す必要があり非常に煩雑なものであつた。
前述のようにリークテストによるワークの良，
不可の判定は許容洩れ量を基準にしているが、洩
れ量の測定は差圧を検出して行つているため、式
(8)により許容洩れ量を対応する許容差圧に換算し
てメータリレー２１の設定針A2で設定していた。
ところが式(8)から判るようにワークの種類が異る
と対応する等価内容積VEが変るので各ワークの
種類毎にメータリレー２１への許容差圧の設定を
行わなければならず、従つて異つた種類のワーク
が異るチヤンネルを通つてリーク検査装置に供給
されてくるような場合、チヤンネル選択を変更す
る毎に許容差圧の設定を手で行う必要があり、非
常に面倒であつた。
この発明の目的は洩れ量を直続できる表示を
し、かつワークの良，否の判定を直接許容洩れ量
と比較して行い、従つて許容差圧に換算する必要
のない洩れ検査装置を提供することである。
この発明の他の目的は各種のワークに対し洩れ
検出感度のチエツクと較正を簡単に行うことがで
きる洩れ検査装置を提供することである。
「問題点を解決するための手段」 この発明による洩れ検査装置はテスト圧力発生
手段と、第１及び第２の電磁弁を介して測定圧力
発生手段にそれぞれ接続されたマスター側空気系
及びワーク側空気系と、ワーク側空気系とマスタ
ー側空気系の間に接続された差圧検出手段と、第
１及び第２の電磁弁及び駆動手段を制御する制御
手段と、各ワーク種類について対応する等価内容
積を記憶した不揮発生RAMと、演算手段とを含
む。リークテストモードにおいては差圧検出手段
で検出した差圧と不揮発性RAMから読出した対
応する等価内容積から演算手段により洩れ量を計
算し、計算した洩れ量と許容洩れ量を比較してワ
ークの良、不良を判定する。必要に応じてワーク
側空気系に接続された容積変化付加器とその容積
変化付加器を駆動するための駆動手段が更に設け
られ、チエツク較正モードにおいては洩れ検査シ
ークエンスの検出工程において制御手段からの指
令により駆動手段が容積変化付加器を駆動して所
定容積変化を与え、検出した差圧と容積変化から
演算手段により等価内容積を計算し、その新しい
等価内容積で不揮発性RAM中の対応する等価内
容積を書き換える。
「実施例」 第３図はこ発明による洩れ検査装置の一実施例
を示す。この実施例においては圧縮空気源１１か
らの圧縮空気は減圧弁１２を通り、更に三方電磁
弁１３を経てから二つの分岐され、それぞれ常時
開の二方電磁弁１４，１５を介してワーク側空気
系４２とマスター側空気系４３に供給される。ワ
ーク側空気系４２にはワーク（リークテストをす
べき容器）１６が接続され、マスター側空気系４
３にはマスタータンク（基準タンク）１７が接続
されている。更にワーク側空気系４２には半導体
圧力センサのような圧力検出器４６と容積変化付
加器２４が接続されており、又ワーク側空気系４
２とマスター側空気系４３との間にダイアフラム
形差圧検出器１８が接続されている。
この実施例においては容積変化付加器２４を駆
動する駆動手段として圧縮空気を使つた場合であ
り、容積変化付加器２４は円筒シリンダ３２Ａ内
にピストン３１が中心軸が一致して摺動可能に入
れられた構造となつている。シリンダ３２Ａの開
口を閉じるように円筒状ベース３２Ｂがシリンダ
３２Ａにネジで止められている。シリンダ３２Ａ
の底には容積変化を作る円筒室２７が中心軸Ox
に沿つて形成され、ベース３２Ｂにも中心軸Ox
に沿つて円筒室３０が形成されている。ピストン
３１の両側のロツド部３１Ａ，３１Ｂはそれぞれ
シリンダ３２Ａ及びベース３２Ｂの円筒室２７，
３０にほぼぴつたりと摺動可能に挿入されてい
る。ピストン３１はフランジ３１Ｃを有し、シリ
ンダ３２Ａ内を二つの空間２８，２９に分割して
いる。空間２８内にはコイルバネ３７が設けら
れ、円筒室２７を小さくする方向にピストン３１
に偏倚力を与えている。円筒室２７は配管により
ワーク側空気系４２に接続されており、シリンダ
３２Ａ内の空間２９は三方電磁バルブ２６を介し
て圧縮空気源１１に接続されている。更に必要に
応じて円筒室３０は管２３に接続されており、そ
れによつてテスト圧の空気をワーク１６及びマス
タ１７に導入する時に円筒室２７に与えられる圧
力とバランスをとり、ピストンがマイクロメータ
３３側に移動してしまうことを防いでいる。この
バランスをとるため円筒室２７と３０内のロツド
端部３１Ａ，３１Ｂの受圧面積（即ちロツドの断
面積）がほぼ等しく選ばれている。
ピストン３１がコイルバネ３７によりシリンダ
３２Ａ内の最も奥まで偏位されている状態でマイ
クロメータ３３を回転し、その軸３８の端面がピ
ストンロツド３１Ｂの端面にぶつかる所でマイク
ロメータ３３の零位置を合せ、その後ピストン３
１をコイルバネ３７でその位置に保持したままマ
イクロメータ３３を所定数だけ逆回転して軸３８
を後退させることによりピストン３１の移動可能
距離、即ち容積変化付加器２４の所定容積変化△
Ｖがセツトされる。この状態で第２図に示すステ
ツプS4の検出工程において三方電磁弁２６を導通
させると、空間２９に与えられる圧力によりピス
トン３１は軸３８の端面にぶつかるまで移動し、
円筒室２７の所定の容積変化△Ｖをワーク側空気
系４２に与えることができる。
この発明の洩れ検査装置は第３Ｂ図に示すよう
に更に動作制御装置２０を有し、リークテスト及
び較正の工程シークエンスを制御し、電磁弁１
３，１４，１５，２６の制御を行い、差圧検出器
１８と圧力検出器４６からの信号を受け、洩れ量
あるいは等価内容積を計算し、洩れ量を表示し、
あるいはアラームを作動させる等の動作を行う。
動作制御装置２０は互いに共通バス４９で接続さ
れたCPU２５Ａ、ROM２５Ｂ、RAM２５Ｃ、
入力ポート２５Ｄ、出力ポート２５Ｅからなる演
算制御部２５と、マルチプレクサ２２を介して差
圧検出器１８及び圧力検出器４６の出力に選択的
に接続され、それぞれからの信号を増幅する増幅
器１９と、この増幅器の出力である増幅された差
圧信号又は圧力信号をデイジタル信号に変換する
AD変換器３４と、各電磁弁１３，１４，１５，
２６を駆動するための駆動回路３９と、洩れ量や
データ入力フオーマツトを表示する表示器３６
と、操作者に各種の判断をリクエストする指示器
４７とそのリクエストに応じて指示を与えるプツ
シユボタンのセツト４１と、各種データを入力す
るためのテンキー３５Ａと、表示器３６上の所望
の位置にカーソルを移動させるためのカーソルシ
フトキー３５Ｂと、メモリ内の表示すべき領域
（頁）をシフトするページシフトキー３５Ｃ等を
備えている。AD変換器３４、テンキー３５Ａ、
カーソルシフトキー３５Ｂ、ページシフトキー３
５Ｃ等の出力は、入力ポート２５Ｄを介してバス
４９に供給され、又バス４９から出力ポート２５
Ｅを介して表示器３６、ドライバ３９等に信号が
供給される。これらに加えてこの発明では共通バ
ス４９に接続された不揮発性RAM４８が設けら
れていることが特に重要である。この不揮発性
RAM４８には各ワークの種類に対して種々のデ
ータが記憶されている。
第４図は不揮発性RAM４８に記憶されるデー
タの例を示す。各ワークの種類はチヤンネルナン
バーCH１，CH２，…で表わし、例えばアドレ
ス０００〜００９にはチヤンネル１（CH１）の
データ、アドレス００１０〜００１９にはチヤン
ネル２（CH２）のデータ、のように記憶されて
いる。例えばチヤンネルCH１の時間に関するデ
ータとしては第２図におけるステツプS2の加圧期
間（CHG）T1、ステツプS3の平衡時間（BAL）
T2、ステツプS4の検出時間（DET）T3がそれぞ
れアドレス００００，０００１，０００２に記憶
されている。洩れ量に関するデータとしてはステ
ツプS3において検出する大リークの判定基準
LMT L1とステツプS4において検出する小リー
クの許容洩れ量LMT L2がそれぞれアドレス０
００３，０００４に記されている。圧力に関する
データとしてはアドレス０００５と０００６それ
ぞれ設定するテスト圧力の下限PLと上限PMが記
憶されている。更にアドレス０００７には洩れ量
の平均をとる場合のサンプル数SMP Ｘが、アド
レス０００８には等価内容積VEがそれぞれ記憶
されている。以下チヤンネルCH２，CH３等も
同様である。リークテスト時又は較正時にワーク
の種類に応じて対応するチヤンネル領域内の必要
なデータを読出して使用する。
第５図は第３図における動作制御装置２０の正
面外観を示し、この実施例では容積変化付加器２
４はそのマイクロメータヘツド３３が外側に出る
ように装置２０の正面パネル２０Ａに取付けられ
ている。正面パネル２０Ａには更にテンキー３５
Ａ、カーソルシフトキー３５Ｂ，頁シフトキー３
５Ｃ、表示器３６、プツシユボタン４１（４１Ａ
〜４１Ｅ）、指示器４７（４７Ａ〜４７Ｄ）が取
付けられている。
第３Ａ，３Ｂ図に示すこの発明の洩れ検査装置
のリークテストモードにおけるシークエンスは基
本的に第２図に示す従来のものとほぼ同じである
が、この発明では第６図にフローチヤートで示す
ようにROM２５Ｂに書込まれている動作プログ
ラムの命令を順次読出してCPU２５Ａがその命
令を実行するようにされている。即ちステツプ
S1-1でまず操作者は押ボタン４１Ａを押すことに
よりテストモードであることを入力し、テストす
べきワーク１６をワーク側空気系４２に接続し、
圧力計４４を見ながら減圧弁１２を調節してほぼ
測定圧力に設定する。通常一連のリークテストに
おいて異つたワークの種類に対しても同じ測定圧
力を使う場合が多いので、一旦測定圧の設定を行
えば以後の各リークテストでは行う必要がない。
ワークがセツトされるとセツトされたワークの種
類に対応するチヤンネル番号データCH＃が入力
ポート２５Ｄを介してCPU２５Ａに取込まれる。
チヤンネル番号データCH＃は普通ワークの製造
ラインにおける自動リーク検査工程を制御するシ
ステム（図示せず）から与えられるが、操作者が
テンキー３５Ａにより入力してもよい。
次に加圧工程に入りステツプS2-1でそのチヤン
ネルの加圧時間データCHG T1を不揮発性RAM
４８から読出しRAM２５Ｃの所定のアドレス位
置に設定し、一定時間毎に設定値から減算してい
くタイマを形成する。ステツプS2-2でCPU２５
Ａは三方電磁弁１３を導通させるようコマンドデ
ータをバス４９、出力ポート２５Ｅを介してドラ
イ３９に与える。この時常時開の二方電磁弁１
４，１５は導通しているので圧縮空気のワーク側
及びマスター側空気系に対する加圧が開始され
る。ステツプS2-3で設定時間T1が経過したか判
定される。
T1が経過すると平衡工程に入りステツプS3-1
で対応チヤンネルの平衡時間データBAL T2を不
揮発性RAM４８から読出し、RAM２５Ｃの所
定のアドレス位置に設定してT2タイマを形成す
る。ステツプS3-2で二方電磁弁１４，１５を閉じ
るようCPU２５Ａからドライバ３９にコマンド
データを与える。ステツプS3-3でCPU２５Ａは
マルチプレクサ２２に選択命令を与え差圧検出器
１８からの検出差圧△ＰをAD変換器３４からデ
イジタル値として取込む。ステツプS3-4でCPU
２５Ａは不揮発性RAM４８の対応チヤンネルか
ら等価内容積VEを読出し、洩れ量△VLを式(8)に
より計算する。ステツプS3-5で計算した洩れ量△
VLを不揮発性RAM４８の対応チヤンネルから読
出した許容大リークL1と比較し、許容大リーク
値L1を越えていればステツプS4-8に移り、リーク
有を示す警告ランプ４７Ａを点灯するよう指示器
４７に信号を与える。許容大リーク値以下であれ
ばステツプS3-6でT2タイマの設定時間T2が経過
したか判定される。T2が経過してなければステ
ツプS3-3に戻り再び差圧△Ｐを読み、同様に大リ
ーク検出を繰返す。
△VLが許容大リーク以下で時間T2が経過する
と検出工程に入り、ステツプS4-1で対応チヤンネ
ルの検出時間データDET T3を不揮発性RAM４
８から読出し、RAM２５Ｃの所定アドレス位置
に設定してT3タイマを形成する。ステツプS4-2
でCPU２５Ａの指令により増幅器１９の利得を
大に切換えるとともに増幅器の出力を零にリセツ
トする。ステツプS4-3で差圧検出器１８からの差
圧△ＰをAD変換器３４を介して取込む。ステツ
プS4-4で不揮発性RAM４８の対応チヤンネルか
ら等価内容積VEを読出し、洩れ量△VLを式(8)に
より計算する。ステツプS4-5で計算した洩れ量△
VLを不揮発性RAM４８の対応チヤンネルから読
出した許容小リークL2と比較し、L2を越えてい
ればステツプS4-8に移り、リーク有りの警告ラン
プ４７Ａを点灯する。L2以下であればステツプ
S4−6でT3タイマの設定時間T3が経過したか判定
する。T3が経過していなければステツプS4-3に
戻り、再び差圧△Ｐを読み同様の小リーク検出を
繰返す。計算した洩れ量△VLが許容小リーク以
下でかつ時間T3が経過するとステツプS4-7でテ
ストしたワークの洩れは許容洩れ量L2以下であ
り、良品と判定しその表示ランプ４７Ｂを点灯す
る。その後ステツプS4-9で二方電磁弁１４，１５
を閉じていた駆動信号を解除し、かつ三方電磁弁
１３を排気（ベント）するようドライバ３９にコ
マンドを与える。ステツプS4-10ですべてのワー
クについてリークテストを完了したか判定し、完
了してない場合はステツプS1-1に戻り次のワーク
を設定し、同様のテストを繰返す。
次にチエツク較正モードについて第７Ａ，７Ｂ
図を参照して説明する。前述のように較正とは等
価内容積VEを新たに測定し、古いVEのデータと
書換えることである。チエツク又は較正を行うた
めのシークエンスは第２図のリークテストシーク
エンスと同様に加圧工程、平衡工程、検出工程を
基本的に含む。まずステツプS1-1でチエツク又は
較正すべきワークの種類の洩れのないものをワー
ク側空気系４２に接続する。又押ボタン４１Ｂが
４１Ｃを押し、較正かチエツクかを指定する。ス
テツS1-2で与えるべき容積変化（増加）△Ｖをマ
イクロメータヘツド３３を回転することにより設
定し、そ△Ｖの値をテンキー３５Ａにより入力
し、RAM２５Ｃの所定のアドレス位置に記憶す
る。
次に加圧工程に入りステツプS2-1でワークの種
類に対応するチヤンネルの加圧時間データCHG
T1を不揮発性RAM４８から読出し、RAM２５
Ｃの所定アドレス位置に設定してT1タイマを形
成する。ステツプS2-2で三方電磁弁１３を導通さ
せるようドライバ３９に命令を与え、圧力Ｐに設
定された圧縮空気をワーク側及びマスター側空気
系４２，４３に導入する。ステツプS2-3で時間
T1が経過したと判定されると次の平衡工程に入
る。
平衡工程のステツプS3-1で対応するチヤンネル
の平衡時間データBAL T2を不揮発性RAM４８
から読出し、RAM２５Ｃの所定のアドレス位置
に設定してT2タイマを形成する。ステツプS3-2
で二方電磁弁１４，１５を閉じるようドライバ３
９に命令を与える。ステツプS3-3で時間T2が経
過したと判定されるとステツプS3-4でCPU２５
Ａはマルチプレクサ２２に選択命令を与え圧力検
出器４６が示すテスト圧力Ｐを増幅器１９、AD
変換器３４、入力ポート２５Ｄを介して取込む。
検出工程のステツプS4-1で対応するチヤンネル
の検出時間データDET T3を不揮発性RAM４８
から読出し、RAM２５Ｃの所定アドレス位置に
設定してT3タイマを形成する。ステツプS4-2で
三方電磁弁２６を導通させるようドライバ３９に
命令を与える。その結果容積変化付加器２４のピ
ストンがマイクロメータヘツド３３の方向に移動
し、円筒室２７に設定した容積△Ｖの増加を与
え、即ちワーク側空気系４２に容積変化＋△Ｖを
与える。ステツプS4-3で時間T3が経過したと判
定されるとステツプS4-4で差圧検出器１８から差
圧△Ｐを取込む。ステツプS4-5で先に得たテスト
圧力Ｐ、容積変化△Ｖ、差圧△Ｐから式(10)を使つ
て等価内容積VEを計算する。ステツプS4-6で操
作者が指定したのが較正であるか否か判定し、そ
の結果YESであればステツプS4-7で計算結果VE
はテスト圧力Ｐ、差圧△Ｐ、容積変化△Ｖととも
に表示器３６に表示される。それと同時に計算結
果VEで不揮発性RAM４８の対応チヤンネルに記
憶されていた等価内容積データVEを書換える。
ステツプS4-8で二方電磁弁１４，１５（V2，V3）
を導通し、三方電磁弁１３，２６（V1，V4）を
ベント（大気開放）する。ステツプS4-7で必要な
ワークの種類について較正が終了したか判定し、
NOであればステツプS1-1に戻り、洩れのない次
の種類のワークをセツトする。YESであればリ
ークテストモードに入る。ステツプS4-6でNOと
判定されると操作者はチエツクを指定したと判断
し、ステツプS4-10で計算したVE（NEW VE）と
不揮発性RAM４８の対応チヤンネルから読出し
たVE（0LD VE）との間のエラーＥ（％）を計算
し、NEW VE，0LD VEとともに表示器３６に表
示する。ステツプS4-11でエラーＥが所定値EMよ
り小さいと判定されるとステツプS4-16でGOラン
プ４７Ｃを点灯し、第６図に示したリークテスト
モードに入つてよいことを示す。又エラーＥが所
定値EMより大と判定された場合はステツプS4-12
でERRORランプ４７Ｄを点灯する。この場合は
操作者はERRORランプ４７Ｄの点灯が１回目で
あればまずリーク検査装置の異常があるかを点検
すべきであると判断し、CHECKの押しボタン４
１Ｃを押す。従つてステツプS4-13での較正モー
ドか？の判定はNOであるとCPU ２５Ａによて
判定され、ステツプS4-14進み、三方電磁弁１３，
２６（V1，V4）をベントし、二方電磁弁１４，
１５（V2，V3）を開にする。操作者は差圧検出
器１８やその他の装置に異常がないか、又空気系
４２，４３のそれぞれの接続部に異常がないかを
点検し、異常を発見したら適切な処置をして異常
を除き、再びチエツクモードを行う用意ができる
チエツクの押しボタン４１Ｃを押す。ステツプ
S4-15でチエツクボタンが押されたことを検出す
るとステツプS2-1に戻り、再びチエツクモードを
同様に実行し、ステツプS4-11で再びエラーＥが
所定値EMより大と判定され、ステツプS4-12でエ
ラーランプ４７Ｄが点灯されると、このERROR
ランプの点灯は２回目であるのですでに装置の点
検は行つており、装置には異常がないと判断し、
従つて較正を行うべきだと判断し、操作者は
CALBボタン４１Ｂを押す。ステツプS4-13で較
正ボタンが押されたことを検出しステツプS1-1に
戻り較正モードに入る。各ワークの種類について
較正が終了するまで較正モードを繰返し実行す
る。
上述のようにして洩れ検査装置のワークの種類
に対する感度チエツク又は較正を行うが、通常は
これら感度チエツク又は較正の前、詳しくは第７
Ａ図のステツプS2-1に入る前に破線で示すように
洩れ検査装置のドリフト量を差圧ドリフトPdと
して測定し、ステツプS4-4の次に破線で示すよう
に検出差圧△Ｐに対しドリフト補正を行う。この
ドリフト補正については例えば特願昭56−148440
（昭和56年９月18日出願）及び実願昭58−171441
（昭和58年11月４日出願）に詳しく述べられてい
るので説明を省略する。
更に前述の説明から明らかなようにこの発明の
洩れ検査装置ではリークテストモードとチエツ
ク・較正モードのいずれかにおいても不揮発性
RAM４８内の接続するワークの種類に対応した
チヤンネルに属する各種データを読み出して使用
することが特徴となつている。従つてこれらのデ
ータはあらかじめ不揮発性RAM４８内に書込ん
でおかなければならない。この発明の装置の実施
例では画面上設定方式４（スクリーンエデイツ
ト）で次のようにしてデータ入力を行う。第５図
に示す動作制御装置２０の正面パネルの押ボタン
スイツチ４１Ｄ（SET）を押してCPU２５Ａにデ
ータ入力を行うことを示す信号を与える。この信
号に応答してCPU２５ＡはROM２５Ｂ内のデー
タ設定プログラムの実行を開始する。まず表示器
３６に例えば入力するデータの種類を表わす
TIME，LIMIT，CONDITION等の文字が表示
される。操作者はカーソルシフトキー３５Ｂ操作
して画面上のカーソル３６Ａを移動し、入力しよ
うとするデータの種類を指定する文字の例えば
TIMEの上に設定するとそのTIMEの表示が点滅
する。次にテンキー３５Ａの入力キーENを押
し、ワークの種類に対応するチヤンネル番号例え
ば１をテンキー３５Ａで入力した後入力キーEN
を押すと表示器３６に指定したチヤンネル１の各
種データのうち指定したTIMEデータが入るべき
第１頁のデータ表を例えば図示のように表示す
る。このデータ表は第４図に示す不揮発性RAM
内の時間データCHG，BAL，DETを入力するた
めのものである。再びカーソルシフトキー３５Ｂ
によりカーソルを移動させて例えばCHGを指定
して表示を点滅させ、加圧時間T1をテンキー３
５Ａにより入力し、入力キーENを押すと入力し
たT1の値がCHGの行に表示される。以下同様に
平衡時間T2、検出時間T3を入力する。
TIMEデータの入力が終り、次に許容洩れ量や
測定圧力等の限界範囲に関するLIMITデータを
入力する場合は頁シフトキー３５Ｃにより頁を歩
進するとチヤンネル１の第２頁のデータ表が表示
され前述と同様の操作によりデータを入力するこ
とができる。更にすでに書込んであるデータの更
新あるいは訂正も同じ手法によつて行うことがで
きる。
第３図の実施例において測定圧力Ｐが比較的に
小さく、容積変化付加器２４の円筒室３０にバラ
ンスをとるための圧力をワーク側空気系４２から
与えないでも、コイルバネ３７によるバネ力で円
筒室２７に与えられる測定圧力に抗してピストン
３１をマイクロメータ軸３８から最も遠い最小容
積位置に保持できる場合は、空気配管２３から円
筒室３０への接続配管を無くしてもよい。その場
合、圧縮空気隙１１から電磁弁２６を介して空間
２９に与えることができる圧力はコイルバネ３７
に十分打ち勝つ大きさであればよい。
第３図の実施例においては容積変化付加器２４
の駆動力手段として圧縮空気を用いたが、次に駆
動力としてステツピングモータ（パルスモータ）
を使つた例を第８図に示す。容積変化付加器２４
は動作制御装置２０（第５図）の筐体内の垂直板
５０に取付けられ、円筒シリンダ３２と、シリン
ダ３２内に挿入されたピストン３１を含む。ピス
トン３１にはその中心軸と平行に延びる鍵５７が
ピストン外周面から突出するように設けられ、ピ
ストン３１の移動とともにシリンダ内面に軸方向
に切られた溝５８に案内され、それによつてピス
トン３１が回転しないようにされている。垂直板
５０に取付けられたステツピングモータ５１の回
転軸に取付けられたギヤ５２は駆動ギヤ５３と噛
み合い、駆動ギヤ５３の軸穴内面に切られたネジ
にピストン３１に一体のネジ棒５４Ａが係合挿通
されている。駆動ギヤ５３はシリンダ３２に対し
軸方向位置が固定されている。ネジ棒５４Ａから
更に一体に軸方向に棒５４Ｂが延長され、この棒
５４Ｂにリミツトマグネツト５５Ａ，５５Ｂが取
付けられている。リミツトマグネツト５５Ａ，５
５Ｂの移動通路と対向して固定された位置にリー
ドスイツチ５６Ａ，５６Ｂが設けられ、それぞれ
与えることができる最大容積位置と最小容積位置
を検出することができる。
第８図の実施例でチエツク・較正を行う場合、
第７Ａ図に示すフローチヤートのステツプS1-2に
おいてテンキー３５Ａにより入力した付加すべき
容積変化△ＶからCPU２５Ａは対応するパルス
数Ｎを計算する。ステツプS4-2においてCPU２
５Ａはモータ駆動回路（図示せず）に計算した数
Ｎのパルスを発生させ、そのパルスをステツピン
グモータ５１に与えＮステツプ歩進回転させる。
これによつてピストン３１は抜ける方向に移動
し、設定した容積変化△Ｖを円筒室２７に与える
ことができる。その他のステツプにおける動作は
第３図の実施例の場合（即ち第７Ａ，７Ｂ図に示
す動作）と同じである。
第７Ａ，７Ｂ図に示すフローチヤートにおいて
チエツクモードは等価内容積VEを測定し、既に
不揮発性RAMに記憶してある古いVEと比較する
ことによつて行つたが、等価容積変化△VEを測
定し、与えた既知の容積変化△Ｖと比較して行つ
てもよい。これは次の原理による。容積変化付加
器２４によりワーク測空気系に与える容積変化△
Ｖ（圧力Ｐ）は洩れと等価であり、従つて逆に式
(8)に示される大気圧へ洩れ量△VLを式(9)により
テスト圧力Ｐにおける体積△Ｖ、即ち等価容積変
化△VEに換算することができる。式(9)の△Ｖを
△VEとおき、式(8)の△VLを式(9)に代入すると次
式が得られる。
△VE＝△Ｐ・VE／1.03＋Ｐ …(11) 従つてリーク検査装置のリーク検出感度
（1.03／VE）が正しければ、即ちVEが正しければ
式(11)により計算した等価容積変化△VEは与えた
容積変化△Ｖとほぼ等しくなる筈である。以上に
もとづいて△Ｖと△VEを比較することによりリ
ーク検査装置の感度チエツクを行うことができ
る。この原理による感度チエツクの工程と第９図
に示すが、ステツププS1-1からS4-3までは第７
Ａ，７Ｂ図におけるチエツク工程のステツプS1-1
からS4-3までと同じなので説明を省略し、ステツ
プS4-4以下を説明する。
ステツプS4-4で容積変化によつて生じた差圧△
Ｐを差圧検出器１８から入力ポート２５Ｄを介し
てCPU２５Ａに取込み、ステツプS4-5で不揮発
性RAM４８内の対応するチヤンネルの等価内容
積VEを読出す。ステツプS4-6でCPU２５Ａは等
価容積変化△VEを計算し、ステツプS4-7で設定
された容積変化△Ｖと等価容積変化△VEとの誤
差Ｅ（％）を計算する。ステツプS4-8で誤差Ｅが
許容誤差EMの範囲内かを判定し、以下は第７Ｂ
図におけるステツプS4-11以後と同様である。
上述のこの発明の実施例の説明において各種指
示器４７Ａ〜４７Ｄはランプの場合を示したが、
それらのいずれも指示又は警告を表わす音を発生
する手段であつてもよいし、又ランプと音発声手
段を併用してもよいことは明らかである。
第７Ａ，７Ｂ図に示すフローチヤートにおいて
チエツクモードは較正モードとは独立した動作プ
ログラムに従つて実行するようにしてもよい。
尚第６図に示すリークテストモードのフローチ
ヤートにおけるステツプS3-4及びS4-4において洩
れ量△VLの代りに洩れ速度QL＝△VL／T3（atm
c.c.／sec）を計算してもよい。この場合は許容
洩れ速度QM及びQnを第４図に示す不揮発性
RAM４８内の各チヤンネルのL1及びL2の位置に
それらの替りに記憶しておき、ステツプS3-5及び
S4-5において対応チヤンネルのQM及びQnを読出
して判定基準として使えばよい。もちろん洩れ速
度を毎分で表わしてもよい。
更に差圧検出器の差圧△ＰをmmAqで表わせば
１Kg／cm2Ｇ＝104mmAqなので例えば式(8)は △VL＝VE／1.03×104・△Ｐ …（8′） となる。同様に第６，７Ａ，７Ｂ，９図の各フロ
ーチヤートにおいても△Ｐを△Ｐ／104と置換え
ればよい。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来のリーク検査装置を示す図。第２
図は従来のリーク検査装置における動作を示す流
れ図。第３Ａ図はこの発明のリーク検査装置の実
施例における空気系を示す図。第３Ｂ図はこの発
明のリーク検査装置の実施例における動作制御装
置２０の電気系ブロツク図。第４図はこの発明に
おける不揮発性RAM４８に書込まれているデー
タの内容例を示す図。第５図は第３Ｂ図に示す動
作制御装置２０の正面外観を示す図。第６図はこ
の発明のリーク検査装置によるリークテストモー
ドの動作流れ図。第７Ａ，７Ｂ図はこの発明のリ
ーク検査装置のチエツク／較正モードのための動
作流れ図。第８図はこの発明のリーク検査装置に
おける容積変化付加器の他の実施例を示す図、及
び第９図はこの発明のリーク検査装置のチエツク
モードの他の例を示す動作流れ図。 １１…圧縮空気源、１３…三方電磁弁、１４，
１５…二方電磁弁、１６…ワーク、１７…マスタ
ータンク、１８…差圧検出器、１９…増幅器、２
０…動作制御装置、２４…容積変化付加器、２５
…マイクロコンピユータ、２７…円筒室、３１…
ピストン、３２Ａ…シリンダ、３２Ｂ…ベース、
３６…表示器、３９…駆動回路、４６…圧力検出
器、４７…指示器、４８…不揮発性RAM、５１
…ステツピングモータ、５５Ａ，５５Ｂ…リミツ
トマグネツト、５６Ａ，５６Ｂ…リードスイツ
チ。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ Ａ 基準タンクとワークとのそれぞれに同一
    の空気圧Ｐを与える手段と、 Ｂ 基準タンクとワーク内の圧力差を計測するダ
    イアフラム形差圧検出器と、 Ｃ ワーク側の内容積を既知の量だけ変化させる
    容積変化付加器と、 Ｄ 被検査ワークと同形の洩れないワークに対し
    上記容積変化付加器によつて与えられた容積変
    化△Ｖにより発生し、上記差圧検出器により検
    出された基準タンク及び上記洩れのないワーク
    内の圧力差△Ｐから上記ワーク側の等価内容積
    VE＝（△Ｖ／△Ｐ）×（大気圧値＋Ｐ）を算出す
    る等価内容積算出手段と、 Ｅ 上記洩れのないワークについて上記等価内容
    積算出手段であらかじめ算出した等価内容積
    VEを記憶しておく記憶手段と、 Ｆ 新たに上記洩れのないワークに対し上記容積
    変化付加器によつて付加した容積変化△Ｖと、
    その容積変化によつて発生し、上記差圧検出器
    によつて検出される圧力差△Ｐから最新の等価
    内容積VEを求め、上記記憶手段から読み出し
    た古い上記等価内容積と比較し、その差があら
    かじめ決めた値以上の場合は上記記憶手段内の
    上記等価内容積を上記最新の等価内容積で更新
    することにより洩れ検査装置を較正する較正手
    段と、 Ｇ 検査時に上記記憶手段に記憶してある等価内
    容積の値VEと基準タンク及び被検査ワーク内
    との圧力差△Ｐからワークの洩れ量△VLを△
    VL＝VE・△Ｐ／（大気圧値）により算出する
    演算手段と、 Ｈ この演算手段で算出した洩れ量△VLを表示
    する表示器とから成る洩れ検査装置。 ２ Ａ 基準タンクが接続されたマスター側空気
    系と、 Ｂ ワークが取換え可能に接続されたワーク側空
    気系と、 Ｃ 前記マスター側空気系と前記ワーク側空気系
    に等しいテスト圧力Ｐの空気を充填するための
    圧縮空気供給手段と、 Ｄ 前記マスター側空気系と前記ワーク側空気系
    との間に接続され、それら間の圧力差△Ｐを検
    出するためのダイアフラム形差圧検出手段と、 Ｅ 洩れのない各種類のワークに対し容積変化△
    Ｖを与えた時に生じる上記差圧検出手段によつ
    て検出される圧力差△Ｐにより規定される上記
    ワーク側空気系の等価内容積VE＝（大気圧値＋
    Ｐ）・△Ｖ／△Ｐの値がそれぞれ記憶された不
    揮発性書込み消去メモリ手段と、 Ｆ 前記不揮発性書込み消去メモリ手段に接続さ
    れ、前記マスター側及びワーク側空気系に対す
    る加圧工程、平衡工程、検出工程を含むシーク
    エンスを制御し、リークテストモード時には前
    記不揮発性書込み消去メモリ手段から読出した
    対応する等価内容積VEと前記検出工程におい
    て前記差圧検出手段から供給されたワークの洩
    れにより生じた圧力差△Ｐとからテストされて
    いるワークの洩れ量△VLを△VL＝VE・△Ｐ／
    大気圧値により計算し、その洩れ量が許容洩れ
    量を越えるか否かを判定し、その判定結果を出
    力する制御演算手段と、及び Ｇ 前記制御演算手段から出力された前記判定結
    果によりワークの検査結果を示す指示手段とを
    含む洩れ検査装置。 ３ Ａ 基準タンクが接続されたマスター側空気
    系とワークが接続されたワーク側空気系に同一
    テスト圧力Ｐの圧縮空気を充填する手段と、 Ｂ 前記マスター側空気系とワーク側空気系の圧
    力差△Ｐを測定するダイアフラム形差圧検出手
    段と、 Ｃ 前記ワーク側空気系に接続されその内容積を
    既知の量だけ変化させる容積変化付加手段と、 Ｄ 被検査ワークと同形の洩れのないワークに対
    し前記容積変化付加手段によつて与えられた容
    積変化△Ｖにより生じ、前記差圧検出手段によ
    つて測定された前記ワーク側空気系と前記マス
    ター側空気系の圧力差△Ｐと、前記容積変化△
    Ｖと前記テスト圧力Ｐとから前記ワーク側空気
    系の等価内容積VEをVE＝（△Ｖ／△Ｐ）（大気
    圧値＋Ｐ）によつて算出する等価内容積算出手
    段と、 Ｅ ワークの種類ごとに算出した各前記等価内容
    積VEを記憶する不揮発性RAMと、 Ｆ チエツク時に被検査ワークと同形の洩れのな
    いワークについて前記等価内容積手段により算
    出した新しい等価内容積と前記不揮発性RAM
    に記憶してある対応する古い等価内容積とを比
    較し誤差が所定値以内かどうかであるか否かに
    より上記等価内容積VEの値が有効であるか否
    かを判定するチエツク手段と、 Ｇ リークテスト時に前記不揮発性RAMから読
    出した対応する有効な上記等価内容積VEと上
    記被検査ワークについて前記差圧検出手段で測
    定した圧力差△Ｐとからワークの洩れ量△VL
    を△VL＝VE・△Ｐ／（大気圧値）により算出
    する洩れ量算出手段と、 Ｈ 前記洩れ量算出手段により算出した洩れ量△
    VLがあらかじめ許容洩れ量以内か否かを判定
    する判定手段と、 Ｉ 前記判定手段により判定した結果を知らせる
    指示手段と、 とを含む洩れ検査装置。 ４ Ａ 基準タンクが接続されたマスター側空気
    系とワークが接続されたワーク側空気系に同一
    テスト圧力Ｐの圧縮空気を充填する手段と、 Ｂ 前記マスター側空気系とワーク側空気系の圧
    力差△Ｐを測定するダイアフラム形差圧検出手
    段と、 Ｃ 前記ワーク側空気系に接続されその内容積を
    既知の量だけ変化させる容積変化付加手段と、 Ｄ 被検査ワークと同形の洩れのないワークに対
    し前記容積変化付加手段によつて与えられた容
    積変化△Ｖにより生じ前記差圧検出手段によつ
    て測定された前記ワーク側空気系と前記マスタ
    ー側空気系の圧力差△Ｐと、前記容積変化△Ｖ
    と前記テスト圧力Ｐとから前記ワーク側空気系
    の等価内容積VEをVE＝（△Ｖ／△Ｐ）（大気圧
    値＋Ｐ）によつて算出する等価内容積算出手段
    と、 Ｅ ワークの種類ごとに算出した各前記等価内容
    積を記憶する不揮発性RAMと、 Ｆ チエツク時に前記不揮発性RAMから読出し
    た対応する等価内容積VEと被検査ワークと同
    形の洩れのないワークについて前記差圧検出手
    段により測定した前記容積変化△Ｖにより生じ
    た圧力差△Ｐから等価容積変化△VEを△VE＝
    △Ｐ・VE／（Ｐ＋大気圧値）により算出し、
    その値と与えた前記容積変化△Ｖとを比較し誤
    差が所定値以内かどうかを判定するチエツク手
    段と、 Ｇ リークテスト時に前記不揮発性RAMから読
    出した対応する等価内容積VEと上記被検査ワ
    ークについて前記差圧検出手段で測定した圧力
    差△Ｐとからワークの洩れ量△VLを△VL＝
    VE・△Ｐ／（大気圧値）により算出する洩れ
    量算出手段、 Ｈ 前記洩れ量算出手段により算出した洩れ量が
    あらかじめ決めた許容洩れ量以内か否かを判定
    する判定手段と、 Ｉ 前記判定手段により判定した結果を知らせる
    指示手段と、 を含む洩れ検査装置。
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