JP2001185745A - 太陽電池及びその作製方法 - Google Patents
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Abstract
おける安定性及び、静電気破壊に係わる信頼性を向上さ
せた太陽電池及びその作製方法を提供する。 【解決手段】 裏面電極を、カーボンを主成分とする材
料で形成する。裏面電極の形成には、熱硬化型導電性カ
ーボンペーストを用い印刷法により形成する。また透明
電極層と裏面電極層との抵抗値を同レベルなものとして
バランスをとることにより、静電破壊に対する耐性を飛
躍的に向上させることができる。
Description
消費電力の電子機器の電源として利用するのに好適な太
陽電池の構造及びその作製方法に関する。
システムとして利用する他に、電卓、ラジオ、時計等の
消費電力の小さい電子機器の電源としても普及してい
る。このような民生用途において、例えば、腕時計のよ
うに機能性だけでなく外観上のデザインなども重視する
場合には、太陽電池の実装方法にも工夫がなされ、時計
の文字盤としてそのまま利用したり、或いは半透光性の
文字盤の下に設置して目立たなくしたりする等の処理が
なされている。
ラス、ステンレス、または有機樹脂材料などを基板とし
て、その上に非晶質半導体や微結晶半導体、またはカル
コパライド系(或いはII−VI族)化合物半導体の薄
膜で光電変換層を形成したものである。特に基板に有機
樹脂材料を用いた太陽電池は、薄くて軽量であり、落と
しても割れないといった耐衝撃性に優れることから、カ
ード型電卓や腕時計などの携帯型の製品や、テレビなど
室内用電気機器のリモコンに搭載するのに適している。
池において、非晶質シリコンや微結晶シリコン等、プラ
ズマCVD法で作製される非単結晶半導体材料で光電変
換層を形成する技術は最も良く知られている。そして、
このような太陽電池の生産性を高め、製造の低コスト化
を図る手段として、ロール状に巻かれた長尺の有機樹脂
フィルム基板やステンレス合金などの金属フィルム基板
を、プラズマCVD装置やスパッタ装置、或いはその他
の製造装置に設けられた基板保持手段の一方の側から送
り出し、被膜形成などの処理空間を連続的に(或いはス
テップ的に)移動させて、他方の側に設けられた基板保
持手段で巻き取るといったいわゆるロールツーロール法
が知られている。
電極に対向する裏面電極を、スパッタ法や真空蒸着法等
の金属膜に代えて有機樹脂材料をバインダーとし導電性
材料の粉体を含有させたペーストを印刷して形成する方
法が知られている。特許第2698401号公報には、
太陽電池の裏面電極としてフェーノール系樹脂をバイン
ダーとして導電性材料にモリブデン粉体を含む導電性ペ
ーストを用いて印刷法で作製する技術が開示されてい
る。
気機器のリモコン等の回路基板と太陽電池の出力端子を
接続する方法には、半田付けやフレキシブルプリント基
板を異方性導電性接着剤で熱圧着させる方法の他に、ス
プリング端子を用いた加圧接触方式が採用されている。
この方式は熱により太陽電池にダメージを与えてしまう
ことを防げるが、出力端子を裏面電極と同様に金属材料
で形成すると表面の酸化等による接触抵抗の経時変化が
問題となっていた。そのために、この部分にはわざとカ
ーボン電極を設ける等の工夫がなされていた。
させて硬化して得た導電性カーボン電極膜は、酸化しな
いのでスプリング端子との接触抵抗の経時変化が少ない
ことから適した材料と考えられる。しかし、半導体層と
の接触抵抗が高く、また剥離や基板の反りなどが生じて
しまう問題点があった。
のように、主として屋内などの低照度下での光電変換特
性を重視する場合には、静電気破壊によって透明電極と
裏面電極間で微少な短絡領域が形成され、出力電圧の低
下をもたらして製品の信頼性を著しく低下させていた。
であり、電子機器の回路基板と裏面電極との接続部にお
ける安定性及び、静電気破壊に係わる信頼性を向上させ
た太陽電池及びその作製方法を提供することを目的とす
る。
に本発明は、有機樹脂材料を基板とする太陽電池におい
て、裏面電極を、カーボンを主成分とする材料で形成す
る。裏面電極の形成には、熱硬化型導電性カーボンペー
ストを用い印刷法により形成する。
を、有機熱可塑性樹脂をバインダーと混合分散して形成
する導電膜は、有機溶剤に弱く、その上に形成する絶縁
性封止樹脂層の形成時において、その溶剤による樹脂成
分の膨張や溶解が発生してしまい使用することができな
かった。また、導電膜そのものの耐環境試験において、
温度、湿度の変化に対し樹脂マトリックス成分がその影
響を容易に受け易く、軟質化した樹脂が接触している導
電性微粉体の間に介在し易く、その結果直列抵抗の増大
を招いた。結果として耐環境試験に耐えることができな
かった。
ボンペーストによる導電膜は、以下の点を考慮した樹脂
バインダーを使用した。先ず、導電性微粒子を高充填
し、膜の導電性を高めると同時に、膜のマトリックス樹
脂成分の分子構造と架橋剤の最適化により耐熱耐湿性が
高くマトリックス樹脂の架橋強度が十分に高い導電性電
極膜を得た。この電極膜上部を、例えば絶縁性インキ膜
で覆ってもその含有溶剤に十分耐える耐溶剤性を有す
る。また導電性微粒子と透明薄膜導電膜界面での導電性
コンタクトも、樹脂マトリックッスが膨潤溶解せずしっ
かりと固着することができる。更に温度、湿度の上昇に
対しても樹脂マトリックスの耐熱性耐湿性が向上してい
るため力学的性質の変化が少ない。このような樹脂マト
リックスを有する導電性塗膜を得る方策の一例として
は、飽和ポリエステル樹脂中の残存水酸基含有率が極力
高いものを使用し、この管能基と反応性の高い硬化剤、
つまり、導電性インキのポットライフはスクリーン印刷
時も含めより安定に保つために、特に低温でイソシアナ
ートを解離しやすい、ブロック剤にて常温下では不活性
化した多管能性ブロックイソシアナート化合物や、メラ
ミン樹脂類等の硬化剤により、高密度に熱架橋し、ガラ
ス転移温度(Tg)は少なくとも70℃以上となるよう
な樹脂配合組成に設計する。より具体的には導電性カー
ボン微粒子等を高充填できる分散性、印刷性、その後の
導電塗膜形成能の優れた、ジカルボン酸とジオールの縮
重合時のモノマー配合を十分考慮し、OH価含率が高く
樹脂のTgよりも高い飽和ポリエステル樹脂に代表され
る導電塗膜マトリックス樹脂を本成分とし、低温加熱で
容易に反応性の高いイソシアナート基を遊離するブロッ
クイソシアナートとの組み合わせの樹脂バインダーと
し、熱硬化性導電ペーストとした。
径0.1から数10μmの人造グラファイトを、重量比
でカーボン粒子に対し1/3〜3/1の混合比で混合
し、ボールミル等で更に微粒子化して用いることも、カ
ーボン系導電性塗膜の電気抵抗値低下に有効であった。
上に形成した太陽電池の静電耐圧は悪くなる。端子間の
静電耐圧を向上させるためには、むしろ透明電極や裏面
電極の抵抗を高くして素子部に電界が集中しないように
する。熱硬化型導電性カーボンペーストを用い印刷法で
形成した導電膜のシート抵抗は30〜80Ω/□であ
り、ITOで形成する透明電極の値と丁度よく一致させ
ることができる。
発明の実施形態を説明する。有機樹脂材料を基板として
同一基板上で複数のユニットセルを直列接続する集積型
太陽電池を作製する方法は、特開平5−183177号
公報に開示されており、本実施形態においても同公報の
方法を用いて太陽電池を作製した。
エチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフ
タレート(PEN)、ポリエーテルサルフォン(PE
S)などの透光性を有する有機樹脂材料を用いる。勿
論、その他市販のソーダ石灰ガラスや無アルカリガラス
を適用することもできる。
いても良いし、前述のようにロールツーロール法で工程
を実施することを前提として、ロール状に巻かれた基板
を用いても良い。ロールツーロール法を適用する場合に
は、厚さ60〜100μmの有機樹脂フィルム基板を用
いると良い。
の光電変換層が形成される面とは反対側の面で光を受光
する構造であり、まず、基板101上に透明電極層10
2を作製する。透明電極層102は酸化インジウム・ス
ズ合金(ITO)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化スズ(S
nO2)、ITO−ZnO合金などで40〜200nm
(好適には50〜100nm)の厚さで形成する。しか
し、前述の有機樹脂材料は連続使用可能な最高温度が2
00℃以下であるので、透明電極層102の作製はスパ
ッタ法や真空蒸着法等を用い、成膜時の基板温度も室温
から150℃程度にとどめて被膜の形成を行う。詳細な
作製条件は実施者が適宣決定すれば良く、上記膜厚にお
いて20〜200Ω/□のシート抵抗が得られるように
する。
TO膜が適しているが、この上に半導体層を形成するに
当たり、水素を含むプラズマ雰囲気に晒すと還元され失
透してしまう。これを防ぐために、ITO膜上にSnO
2膜やZnO膜を形成すると良い。ガリウム(Ga)を
1〜10wt%含むZnO(ZnO:Ga)膜は透過率
が高くITO膜上に積層させるには好適な材料である。
その組み合わせの一例として、ITO膜を50〜60n
mの厚さに形成し、その上にZnO:Ga膜を25nm
形成すると失透を防止することが可能であり、良好な光
透過特性を得ることができる。この積層膜においてシー
ト抵抗は120〜150Ω/□が得られる。
用いて作製される非単結晶半導体膜を適用する。代表的
には、SiH4ガスを原料として作製される水素化非晶
質シリコン(a−Si:H)膜であり、その他に水素化
非晶質シリコン・ゲルマニウム(a−SiGe:H)膜
や水素化非晶質シリコン・炭素(a−SiC:H)膜、
或いは水素化微結晶シリコン(μc−Si:H)膜など
で形成する。光電変換層はpin接合により構成される
ものとするが、価電子制御されたp型およびn型の層
は、a−Si:Hまたはμc−Si:Hにボロンやリン
などの不純物元素を添加したものを用いれば良い。特
に、光吸収損失の低減や、透明電極或いは裏面電極と良
好なオーム接触を形成する目的においてはμc−Si:
Hが適している。
極層102側からp型層103a、i型層103b、n
型層103cが積層された状態を示し、それぞれの層の
厚さは、p型層で10〜20nm、i型層で200〜1
000nm、n型層を20〜60nmとする。このよう
な非単結晶シリコン材料でpin接合を形成すると0.
4〜1V程度の開放電圧を得ることができ、このpin
接合を一つの単位として複数個積層させたスタック型の
構造とすると開放電圧を高めることもできる。
上に複数のユニットセルを形成するために、レーザー加
工法により光電変換層103から透明電極層102に達
する開孔M0〜MnとC1〜Cnを形成する。開孔M0〜Mn
は絶縁分離用の開孔でありユニットセルを形成するため
に設け、開孔C1〜Cnは透明電極と裏面電極との接続を
形成するための開孔である。レーザー加工法で用いるレ
ーザーの種類は限定されるものではないが、Nd−YA
Gレーザーやエキシマレーザーなどを用いる。いずれに
しても、透明電極層102と光電変換層103が積層さ
れた状態でレーザー加工を行うことにより、加工時にお
ける透明電極層の基板からの剥離を防ぐことができる。
〜Tnに、光電変換層をK1〜Knに分割する。そして、
図1(C)に示すように開孔M0〜Mnを充填し、さらに
その上端部を覆う絶縁樹脂層Z0〜Znを形成する。
より形成するため、絶縁樹脂原料として下記の物を用意
した。
ヘキサノン/イソホロンの混合溶剤に完全に溶解し、カ
ーボンブラック、アエロジル、分散剤と共にジルコニア
製ボールミルにより48時間分散した。次いで、消泡
剤、レベリング剤を添加し更に2時間混合した。次に下
記の熱架橋反応性成分樹脂を添加した。
ベーション膜用絶縁性樹脂組成物を得た。
絶縁膜を、スクリーン印刷法を用いて形成した。塗布
後、160℃オーブン中にて20分間熱硬化させ、絶縁
樹脂層Z0〜Znを得た。
Enをスクリーン印刷法により形成するため、使用する
インキとして下記の物を用意した。
砕し、より微粒子化した。次にこの中に、下記内容の飽
和ポリエステル樹脂のγ―ブチロラクトンラッカー20
wt%75重量部を投入した。
添加し、
られたペーストを、三本ロールミルで更によく分散し導
電性カーボンペーストを得た。
ートであるヘキサメチレンジイソシアナート系ポリイソ
シアナートのイソシアナート基をアセト酢酸エチルによ
りブロックし、酢酸セロソルブで、キシレン1体1の溶
剤で希釈したアセト酢酸エチルブロック体(固形分80
wt%、NCO含率10wt%)コロネート2513(日
本ポリウレタン工業社製)を5重量部添加しデイスパー
によりよく混合し十分脱泡して導電性カーボンペースト
を得た。
スクリーン印刷法により所定のパターンに印刷し、レベ
リング、乾燥後150℃30分で強固に硬化し、図2で
示すような裏面電極層E0〜Enを形成した。
層103cと接触するが、この接触をオーム接触とし、
さらに接触抵抗を下げるためにはn型層103cをμc
−Si:Hで形成し、かつ、その厚さを30〜80nm
で形成する必要がある。
Cnにおいて透明電極層T1〜Tnと接続するように形成
する。開孔C1〜Cnには裏面電極と同一材料を充填し、
このようにして裏面電極En-1は透明電極Tnとそれぞれ
電気的な接続状態が形成される。
るため、封止樹脂原料として下記の物を用意した。
ロラクトン/イソホロンの混合溶剤に完全に溶解し、ジ
ルコニア製ボールミルにより48時間分散した。次い
で、消泡剤、レベリング剤を添加し更に2時間混合し、
下記の熱架橋反応成分を添加した。
を有する絶縁性表面保護封止膜用組成物を得た。
ンキを使用し、封止樹脂層104nを、スクリーン印刷
法を用いて形成し、150℃30分熱硬化した。封止樹
脂層104は裏面電極E0とEn上に開孔部105、10
6を形成し、この部分で外部の回路基板と接続した。
極Tnと光電変換層Knと裏面電極層Enから成る単位セ
ルが形成され、隣接する裏面電極En-1は透明電極Tnと
を開孔Cnで接続することによりn個の直列接続する太
陽電池を作製することができる。裏面電極E0は、単位
セルU1における透明電極T1の取り出し電極となる。
極層のシート抵抗が120〜150Ω/□であり、裏面
電極層は30〜80Ω/□である。太陽電池の裏面電極
材料として好適に用いられるアルミニウム膜では1Ω/
□以下であるので、これに比較して高い値である。しか
し、このように透明電極層と裏面電極層との抵抗値を同
レベルなものとしてバランスをとることにより、静電破
壊に対する耐性を飛躍的に向上させることができる。
3〜4を用いて説明する。図3(A)において、基板3
01、透明電極302、光電変換層303は実施形態1
と同様にして作製する。そして、光電変換層303上に
スクリーン印刷法により実施形態1と同様に裏面電極X
EM0〜XEMnを形成する。
加工法により光電変換層303から透明電極層302に
達する開孔XM0〜XMnとXC1〜XCnを形成する。開
孔M 0〜Mnはユニットセルを形成するための絶縁分離用
の開孔であり、開孔XC1〜XCnは透明電極と裏面電極
との接続を形成するためのものである。
渣が残る場合がある。この残渣は被加工物の飛沫であ
り、レーザー光により高温に加熱された飛沫は光電変換
層303の表面に付着することにより膜にダメージを与
えるので本来好ましくない。これを防ぐため、開孔のパ
ターンに合わせて裏面電極を形成し、その後レーザー加
工することにより、少なくとも光電変換層303へのダ
メージを防ぐことができる。
変換層303をXK1〜XKnに分割した後、図3(C)
に示すように開孔XM0〜XMnを充填し、さらにその上
端部を覆う絶縁樹脂層XZ0〜XZnをスクリーン印刷法
により形成する。
を充填して、透明電極XT1〜XTnに接続する配線XB
0〜XBn-1をスクリーン印刷法で形成する。配線XB0
〜XBn-1は裏面電極と同じ材料で形成するものであり
熱硬化型のカーボンペーストを用いる。こうして、裏面
電極En-1は透明電極Tnとそれぞれ電気的に接続をされ
る。
る。封止樹脂層304は裏面電極E 0とEn上に開孔部3
05、306がそれぞれ形成され、この部分で外部回路
と接続をする。このようにして、基板301上に透明電
極XTnと光電変換層XKnと裏面電極層XEnから成る
単位セルが形成され、隣接する裏面電極XEn-1は透明
電極XTnとを開孔XCnで接続することによりn個の直
列接続する太陽電池を作製することができる。裏面電極
XB0は単位セルXU1の透明電極XT1の取り出し電極
である。
を裏面電極側から見た場合の上面図を示す。図5で示す
のは腕時計において、半光透過性の文字盤の下側(腕時
計のムーブメントが組み込まれる部分)に配置される太
陽電池の一例を示している。基板501は厚さ70μm
の有機樹脂フィルムであり、実施形態1で述べた有機樹
脂材料であればいずれも適用可能であるが、代表的には
PEN基板用いる。基板501の形状は円形に限定され
るものではないが、その中心には指針軸の挿通口507
が設けられている。
光電変換層、裏面電極層、封止樹脂層を積層するもの
で、これらは実施形態1または実施形態2と同様にして
形成する。基板501上には4つのユニットセルが同心
円状に配置されているが、太陽電池の直列接続の構造は
基本的に実施形態1と同様であり、或いは実施形態2の
ような構成をとることもできる。
れる開孔YM0により、また開孔YM0の内側では開孔Y
M1〜YM4によって、ユニットセルYU1〜YU4を形成
している。開孔YM0〜YM4は絶縁樹脂層YZ0〜YZ1
によって充填され、該絶縁樹脂層は開孔YM0〜YM4の
上端部が覆われるように形成している。
ーボンペーストを用いてスクリーン印刷法で光電変換層
上に形成するものであり、開孔YC2〜YC4で隣接する
ユニットセルの透明電極YT2〜YT4とそれぞれ接続し
ている。裏面電極上には封止樹脂層504が腕時計の回
路基板との接続部505、506を除いて全面に形成し
ている。回路基板との接続部505は透明電極側の出力
電極YE0が形成され、開孔YC1で透明電極と接続して
いる。また、図で示すように裏面電極YE1とは分離し
て形成されている。一方の接続部506は裏面電極YE
4と兼ねて形成している。
周辺のA−A'断面を図6(A)に示す。基板501上
に透明電極層、光電変換層、裏面電極層が形成されてい
る。透明電極層と光電変換層にはレーザー加工法で開孔
YM0、YC1を形成し、開孔YM0上には絶縁層YZ0が
形成され、開孔を充填しさらにその上端部を覆ってい
る。透明電極側の出力電極YE0は開孔YC1で単位セル
YU1の透明電極YT1と接続している。単位セルYU1
の裏面電極YE1上には封止樹脂層504が形成されて
いる。
B−B'断面を図6(B)に示し、基板501上に透明
電極YT4、光電変換層YK4、裏面電極層YE4が形成
されている。透明電極YT4は開孔YM0によって端部の
内側に形成され、絶縁層YZ 0が開孔を充填しさらにそ
の上端部を覆っている。封止樹脂層は裏面電極層YE4
上に形成されているが、接続部506上には形成されて
いない。
C−C'断面を図6(C)に示す。基板501上には透
明電極YT3、YT4が形成され、開孔YM0と該開孔と
その上端部を覆って形成される絶縁層YZ0によって絶
縁分離されている。同様に光電変換層YK3、YK4も分
離されている。単位セルYU3とYU4との接続は開孔Y
C4に導電材料が充填され、裏面電極YE3が透明電極Y
T4と接続している。
YU4の4つを直列に接続した太陽電池を形成すること
ができる。電卓や時計をはじめ各種の電子機器に組み込
まれる太陽電池は、当該電子機器内の回路との接続にお
いて、半田付けや熱硬化型の接着剤で接続する他に、直
接コイルバネや板バネで接続する方法がとられている。
図7はそのような接続方法の一例を説明する図であり、
光電変換装置と回路基板との接続を接続スプリングを介
して行う様子を示す。光電変換装置の構成は簡略化して
示し、基板702a上に裏面電極702b、絶縁樹脂7
02c、封止樹脂702dが形成されている様子を示し
ている。その他、ステンレス構造体703や支持体70
1などから成っている。接続スプリング704は封止樹
脂702dの開孔部で裏面電極と接触していて、回路基
板706と端子部705を介して電気的な接続が形成さ
れている。このような機械的な力を利用した加圧接触式
の接続構造は、半田付けやヒートシールなどの接続方法
と比較して太陽電池へのダメージが少なく、製造工程に
おいても歩留まりを低下させる要因とならない。しか
し、裏面電極を金属材料で形成すると経時変化により表
面が酸化して接触抵抗の増大を招く。しかし、カーボン
ペーストを用いた場合にはそのような問題点が発生しな
い。
組み込む太陽電池と電子機器の回路基板との接続部にお
ける信頼性を向上させることができる。また、静電耐圧
を向上させることができ、製造工程の歩留まりを向上さ
せることができる。
の接続を説明する図。
Claims (6)
- 【請求項1】透光性を有する基板上に、透明電極層と、
光電変換層と、裏面電極層とを有する太陽電池におい
て、前記裏面電極層は、微粒子カーボンブラック、グラ
ファイト化カーボンブラックを、全てかまたはその一部
にITO、SnO2、ZnO、Ag、Cu、Ni、Mo
等の導電性微粒子を含有したものを主成分とし、これと
バインダー樹脂、溶剤、インキ添加剤よりなるペースト
を乾燥、硬化して得られた導電性塗膜を含有するカーボ
ン電極であることを特徴とする太陽電池。 - 【請求項2】請求項1において、前記透明電極層のシー
ト抵抗は120〜150Ω/□であり、前記裏面電極層
のシート抵抗は30〜80Ω/□であることを特徴とす
る太陽電池。 - 【請求項3】透光性を有する基板上に、透明電極層と、
光電変換層と、裏面電極層と、出力端子とを備えた太陽
電池において、前記裏面電極層は微粒子カーボンブラッ
ク、グラファイト化カーボンブラックを、全てかまたは
その一部にITO、SnO2、ZnO、Ag、Cu、N
i、Mo等の導電性微粒子を含有したものを主成分と
し、これとバインダー樹脂、溶剤、インキ添加剤よりな
るペーストを乾燥、硬化して得られた導電性塗膜を含有
するカーボン電極であり、前記出力端子部は前記裏面電
極層と同じ材料で形成されていることを特徴とする太陽
電池。 - 【請求項4】請求項1乃至請求項3のいずれか一項にお
いて、前記裏面電極層は、前記光電変換層のn型微結晶
半導体層と接触し、該n型微結晶半導体層は30〜80
nmの厚さを有していることを特徴とする太陽電池。 - 【請求項5】透光性を有する基板上に透明電極層を形成
する第1の工程と、 前記透明電極層上に光電変換層を形成する第2の工程
と、 前記透明電極層と前記光電変換層とに、前記基板に達す
る第1の開孔と第2の開孔を形成する第3の工程と、 前記第1の開孔及び該開孔の上端部を覆って絶縁層を形
成する第4の工程と、 前記光電変換層上と、前記絶縁層上と、前記第2の開孔
及び該開孔の上端部を覆って導電層を形成する第5の工
程と、 前記光電変換層および前記導電層上に絶縁性封止樹脂層
を形成する第6の工程とを有し、 前記導電層は微粒子カーボンブラック、グラファイト化
カーボンブラックを、全てかまたはその一部にITO、
SnO2、ZnO、Ag、Cu、Ni、Mo等の導電性
微粒子を含有したものを主成分とし、これとバインダー
樹脂、溶剤、インキ添加剤よりなるペーストを乾燥、硬
化して得られた導電性塗膜を含有するカーボン電極であ
ることを特徴とする太陽電池の作製方法。 - 【請求項6】透光性を有する基板上に透明電極層を形成
する第1の工程と、 前記透明電極層上に光電変換層を形成する第2の工程
と、 前記光電変換層上に所定のパターンを用いた第1の導電
層を形成する第3の工程と、 前記透明電極層と前記光電変換層とに、前記基板に達す
る第1の開孔と第2の開孔を形成する第4の工程と、 前記第1の開孔及び該開孔の上端部を覆って絶縁層を形
成する第5の工程と、 前記光電変換層上と、前記絶縁層上と、前記第2の開孔
及び該開孔の上端部を覆って第2の導電層を形成する第
6の工程と、 前記光電変換層および前記導電層上に封止樹脂層を形成
する第7の工程とを有し、 前記導電層は微粒子カーボンブラック、グラファイト化
カーボンブラックを、全てかまたはその一部にITO、
SnO2、ZnO、Ag、Cu、Ni、Mo等の導電性
微粒子を含有したものを主成分とし、これとバインダー
樹脂、溶剤、インキ添加剤よりなるペーストを乾燥、硬
化して得られた導電性塗膜を含有するカーボン電極であ
ることを特徴とする太陽電池の作製方法。
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