JP2001185599A - 保守管理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 同一指令により機械的動作が繰り返し行われ
る動作部における動作所要時間の経年変化を検出し、保
守点検の適正なタイミングを取得して保守点検のコスト
低減と信頼性向上とを図る。 【解決手段】 動作所要時間を検出して記憶し、初期の
適正な動作状態を示す初期データに基づいてしきい値を
設定して、上記検出された動作所要時間と該しきい値と
を比較することにより保守点検時期を検出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、保守管理装置に
関し、特に、同一条件下で繰り返し機械的動作を行う装
置の動作部を保守管理対象とした保守管理装置に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】直線運動や回転運動などの機械的動作を
繰り返し行う部分（動作部）を備えた処理装置では、経
年変化により、同一条件下で繰り返し行う動作の所要時
間が、初期の動作所要時間のレベルを保てなくなる。図
６は、上記のような動作部となる従来のエアシリンダの
構成ユニットの概略構成図である。図において、１はエ
アシリンダ、２はピストン部である主軸２ａとその先端
部２ｂ、３は主軸２ａに取り付けられた可動部、４ａ、
４ｂはエアシリンダ１の両端に設けられた空気孔、５
ａ、５ｂは圧縮空気流入量調整用バルブであるスピード
コントローラ、６は圧縮空気の流入出を制御する電磁
弁、７ａ、７ｂは電磁弁６に設けられた給排気管、８は
電磁弁６を電気制御する制御部であり、９はエアシリン
ダ１、ピストン部２および可動部３で構成される機構
部、１０は空気孔４（４ａ、４ｂ）、スピードコントロ
ーラ５（５ａ、５ｂ）、電磁弁６および給排気管７（７
ａ、７ｂ）を備え、互いに接続する配管部、１１は制御
部８を備えた電気系統部である。

【０００３】このように構成されるエアシリンダの構成
ユニットの動作について説明する。電気系統部１１が電
磁弁６に電気を送ると電磁弁６の中で弁開閉が行われ圧
縮空気が流れる。例えば、スピードコントローラ５ａか
ら空気孔４ａ側のエアシリンダ１内に圧縮空気が流入す
ると、同時に他方のスピードコントローラ５ｂ、空気孔
４ｂからエアシリンダ１内部の空気が排出され、ピスト
ン部２がエアシリンダ１内に入る方向に移動し、それに
より可動部３はエアシリンダ１に引き寄せられる。上記
動作では、可動部３はエアシリンダ１の遠方から引き寄
せられる方向に動作するが、この引き寄せられた状態
で、電磁弁６の制御により圧縮空気を空気孔４ｂ側から
エアシリンダ１内に流入させると、可動部３は反対に、
エアシリンダ１から離れる方向に動作する。

【０００４】上記のように可動部３の動作は、ピストン
先端部２ｂのエアシリンダ１の一端から他端への移動に
伴って移動し、互いに逆方向の往復動作をするものであ
るが、このような動作部を備えた処理装置では、スピー
ドコントローラ５で調整することによって、動作開始か
ら動作終了までの動作所要時間を調整して設定し、同一
条件下で繰り返し動作をさせる。このようなエアシリン
ダの構成ユニットを用いる際、動作所要時間を初期設定
して用いるが、経年変化により、例えば、可動部３の劣
化、配管部１０でのエア漏れの発生などにより動作速度
が徐々に遅くなる、あるいは徐々に早くなって、動作所
要時間が徐々に変化する。このため、従来では、エアシ
リンダの構成ユニットを用いる際、定期的に動作所要時
間を点検して、動作所要時間が正常な範囲を超えて変化
していれば、スピードコントローラ５を再調整して、適
正な動作所要時間を保っていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、エア
シリンダの構成ユニット等、同一条件下で繰り返し機械
的動作を行う動作部を用いる際、従来では動作所要時間
を適正に保つように定期的に保守点検を行っていた。し
かしながら、動作所要時間が充分適正である期間に定期
点検を行うと、点検回数が多くなり保守コストの増大に
つながる、逆に、動作所要時間が正常範囲を超えてから
定期点検を行うと、動作部が正常動作をしない。このた
め、動作部に安価で信頼性の高い保守管理を行うことは
困難であった。

【０００６】この発明は、上記のような問題点を解消す
るために成されたものであって、上記のような動作部に
対し、適正な保守点検のタイミングを取得することによ
り、保守管理のコストの低減と、信頼性の高い保守管理
を可能にすることを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
る保守管理装置は、保守管理対象となる装置動作部の同
一指令により繰り返し行われる機械的動作における動作
開始から動作終了までの動作所要時間を検出する手段
と、該検出された動作所要時間の実績データを記憶する
手段と、該実績データのうち所定の期間の初期データを
初期基準データとし、該初期基準データに基づいてしき
い値を演算して設定する手段と、上記検出された動作所
要時間と上記しきい値とを比較する手段と、該比較結果
を出力して上記装置動作部の保守点検を促す手段とを備
えたものである。

【０００８】この発明の請求項２に係る保守管理装置
は、請求項１において、しきい値を演算して設定する手
段が、初期基準データにより算出した平均値に所定の第
１のマージンを加味して上記しきい値を設定するもので
ある。

【０００９】この発明の請求項３に係る保守管理装置
は、請求項１または２において、繰り返し動作回数が初
回から予め設定された回数までの初期の実績データを初
期基準データとするものである。

【００１０】この発明の請求項４に係る保守管理装置
は、請求項１または２において、繰り返し動作回数がＮ
−１回までの実績データが全て初期基準データである
時、動作部の動作所要時間を検出して取得したＮ回目の
実績データが、実績データ群から所定の演算で求められ
る基準データ範囲内であれば、該Ｎ回目実績データを上
記初期基準データに採用し、上記基準データ範囲外であ
れば、該Ｎ回目以後の実績データは上記初期基準データ
に採用しないものである。

【００１１】この発明の請求項５に係る保守管理装置
は、請求項４において、基準データ範囲が、Ｎ−１回ま
での実績データの平均値に、第２のマージンを加味して
算出するものである。

【００１２】この発明の請求項６に係る保守管理装置
は、請求項４において、基準データ範囲が、Ｎ回目の実
績データとそれ以前の所定の回の実績データとから、動
作所要時間Ｔと回数Ｎとの関係式 Ｔ＝ａ×ｅ^BN （ａは定数） を求め、パラメータＢが所定の範囲内に入る条件範囲と
するものである。

【００１３】この発明の請求項７に係る保守管理装置
は、請求項４〜６のいずれかにおいて、繰り返し動作回
数が初回から予め設定された回数までの初期の実績デー
タを、基準データ範囲との判定なしに初期基準データと
して採用するものである。

【００１４】この発明の請求項８に係る保守管理装置
は、保守管理対象となる装置動作部の同一指令により繰
り返し行われる機械的動作における動作開始から動作終
了までの動作所要時間を検出する手段と、該検出された
動作所要時間の実績データを記憶する手段と、上記動作
所要時間を検出して取得した繰り返し動作回数がＮ回目
の実績データとそれ以前の所定の回の実績データとか
ら、動作所要時間Ｔと回数Ｎとの関係式 Ｔ＝ａ×ｅ^BN （ａは定数） を求める演算手段と、求められた上記関係式のパラメー
タＢが所定の範囲内に入るかどうかを判定する比較判定
手段と、該比較判定結果を出力して上記装置動作部の保
守点検を促す手段とを備えたものである。

【００１５】

【発明の実施の形態】実施の形態１．以下、この発明の
実施の形態１を図について説明する。図１は、この発明
の実施の形態１による保守管理装置を備えた、エアシリ
ンダの構成ユニットの概略構成図である。図において、
１はエアシリンダ、２はピストン部である主軸２ａとそ
の先端部２ｂ、３は主軸２ａに取り付けられた可動部、
４ａ、４ｂはエアシリンダ１の両端に設けられた空気
孔、５ａ、５ｂは圧縮空気流入量調整用バルブであるス
ピードコントローラ、６は圧縮空気の流入出を制御する
電磁弁、７ａ、７ｂは電磁弁６に設けられた給排気管、
８は電磁弁６の電気制御をはじめ、種々の演算および制
御を行う制御部であり、９はエアシリンダ１、ピストン
部２および可動部３で構成される機構部、１０は空気孔
４（４ａ、４ｂ）、スピードコントローラ５（５ａ、５
ｂ）、電磁弁６および給排気管７（７ａ、７ｂ）を備
え、互いに接続する配管部、１１は制御部８を備えた電
気系統部である。また、１２ａ、１２ｂはエアシリンダ
１の両端に設けられ、ピストン先端部２ｂが到着したこ
とで、動作開始と動作終了とを検出する検出器、１３は
電気系統部１１内に設けられ、制御部８での演算結果な
どを出力する出力部である。

【００１６】このように構成されるエアシリンダの構成
ユニットの動作について説明する。電気系統部１１が電
磁弁６に電気を送ると電磁弁６の中で弁開閉が行われ圧
縮空気が流れる。例えば、スピードコントローラ５ａか
ら空気孔４ａ側のエアシリンダ１内に圧縮空気が流入す
ると、同時に他方のスピードコントローラ５ｂ、空気孔
４ｂからエアシリンダ１内部の空気が排出され、ピスト
ン部である主軸２がエアシリンダ１内に入る方向に移動
し、それにより可動部３はエアシリンダ１に引き寄せら
れる。上記動作では、可動部３はエアシリンダ１の遠方
から引き寄せられる方向に動作するが、この引き寄せら
れた状態で、電磁弁６の制御により圧縮空気を空気孔４
ｂ側からエアシリンダ１内に流入させると、可動部３は
反対に、エアシリンダ１から離れる方向に動作する。

【００１７】上記のように可動部３の動作は、ピストン
部先端２ｂのエアシリンダ１の一端から他端への移動に
伴って移動し、互いに逆方向の往復動作をするものであ
り、スピードコントローラ５で調整することによって、
動作開始から動作終了までの動作所要時間を調整して初
期設定し、同一条件下で繰り返し動作をさせる。ここ
で、動作所要時間は往復動作の２方向について各々初期
設定可能なものである。このようなエアシリンダの構成
ユニットを用いる際、動作所要時間を初期設定して用い
るが、経年変化により動作所要時間が徐々に変化するた
め、保守点検を行って、スピードコントローラ５で再調
整する。この実施の形態では、動作所要時間を計測して
制御部８での演算処理により、動作部であるエアシリン
ダの構成ユニットの保守点検が適正なタイミングで実施
できるように保守管理を行うものであり、この適正なタ
イミングの取得方法を以下に示す。

【００１８】図２は、この発明の実施の形態１による保
守管理装置を用いた、保守点検時期取得方法を示すフロ
ーチャートである。予め、ピストン部先端２ｂのエアシ
リンダ１の一端から他端への移動と、その逆方向の移動
との２種の動作所要時間が各々初期設定され、制御部８
はエアシリンダ１に動作を促す電気信号を電磁弁６に送
ると同時に、時間計測を開始する。この時間計測開始の
タイミングは、電源投入時とするか、あるいはそのため
の入力スイッチを設けても良い。なお、以後の処理は便
宜上１種の動作所要時間のみの説明とするが、同様の処
理を２種類のデータについて行えば２種の動作所要時間
に対応できる（Ｓ１）。繰り返し動作回数Ｎを初期値１
に設定し（Ｓ２）、続いて、動作開始と動作終了を検出
器１２（１２ａ、１２ｂ）で検出して動作所要時間を計
測し、検出された動作所要時間をＮ回目実績データとし
て記憶する（Ｓ３）。

【００１９】次に、Ｎを１と比較し、Ｎ＞１でないと
き、即ち検出された実績データが１回目のデータ（Ｎ＝
１）であるとき（Ｓ４）、後述する初期基準データとな
るかどうかの判別記号Ｋを０に設定する。ここでＫ＝０
の時は検出された実績データが初期基準データであり、
Ｋ＝１の時は初期基準データでないものとする（Ｓ
５）。次に、繰り返し動作回数が次回のデータのために
初期基準データの判定に用いる基準データ範囲を算出し
て設定する。このとき、既に設定されている場合は、新
たに算出した範囲を再設定する。算出は、１回目からＮ
回目までの実績データの平均値に例えば、プラスマイナ
ス０．２秒の範囲を算出する。Ｎ＝１のときは１回目の
データ値プラスマイナス０．２秒の範囲が算出される
（Ｓ６）。次に、次回のデータのためにしきい値を設定
する。１回目からＮ回目までの実績データの平均値に例
えば、プラスマイナス０．７秒の範囲を算出し、しきい
値となる範囲（以下、しきい値範囲と称す）とする。Ｎ
＝１のときは１回目のデータ値プラスマイナス０．７秒
の範囲が算出される（Ｓ７）。次に、Ｎ＝Ｎ＋１（Ｓ
８）として、Ｓ３に戻り、次回の動作所要時間データを
検出して記憶する。

【００２０】Ｓ４において、Ｎ＞１のとき、検出された
Ｎ回目実績データを、Ｓ７で既に設定されたしきい値範
囲と比較し（Ｓ９）、Ｎ回目実績データがしきい値範囲
外の時、出力部１３から警報を出力する（Ｓ１０）。Ｓ
９において、Ｎ回目実績データがしきい値範囲内の時、
Ｋを０と比較し、即ち、前回（Ｎ−１回目）の実績デー
タが初期基準データであるかどうかを判定し（Ｓ１
１）、Ｋ＝０で前回の実績データが初期基準データであ
る時、Ｎ回目実績データと基準データ範囲とを比較す
る。なお、前回の実績データが初期基準データである時
は、それ以前のデータは全て初期基準データになってい
る（Ｓ１２）。Ｓ１１において、Ｋ＝０ではなく前回の
実績データが初期基準データでない時、Ｓ８に移り、次
回のデータ処理を開始する。Ｓ１２において、Ｎ回目実
績データが基準データ範囲内である時、Ｓ５に移り、Ｋ
＝０に再設定、即ち、Ｎ回目実績データを初期基準デー
タとして採用する。Ｓ１２で、Ｎ回目実績データが基準
データ範囲外である時、Ｋ＝１に再設定、即ち、Ｎ回目
実績データは初期基準データに採用しない（Ｓ１３）。
次いでＳ８に移り、次回のデータ処理を開始する。

【００２１】上述したように、この実施の形態では、初
期の良好な実績データを初期基準データとして採用し、
それを基準としてしきい値を設定して、検出される動作
所要時間データ（Ｎ回目実績データ）をしきい値と比較
して、しきい値を外れた時、警報出力する。この警報出
力は、保守点検を促すためのもので、出力部１３により
ランプ点滅等の表示をする、あるいは警告音や振動を発
生させても良い。また、出力部１３からしきい値との比
較結果とその時の動作所要時間データを表示させても良
い。初期基準データとなるのは、初回からある範囲で連
続して得られる良好なデータで、前回（Ｎ−１回）まで
のデータが全て初期基準データであるとき、それらのデ
ータから平均値を求め、所定のマージンを加味して基準
データ範囲とそれより広い範囲のしきい値範囲を算出す
る。この基準データ範囲によりＮ回目の実績データが初
期基準データに採用されるか判別し、しきい値範囲によ
りＮ回目の実績データのＮＧ判定を行う。実績データが
一旦基準データ範囲を外れると、それ以降は初期基準デ
ータの採用はなく、基準データ範囲およびしきい値範囲
を新たに算出することもない。なお、動作部は初期不良
などが起こらないよう充分調整されてから用いられるも
のであり、初回の動作所要時間データは、極めて良好な
状態であるものとする。

【００２２】図３は、動作部の動作所要時間の経年変化
とこの実施の形態による保守管理との関係を示すもの
で、図に示すように、初回からＡ回目までのデータが初
期基準データであり、Ａ＋１回目に基準データ範囲を外
れる。これ以降、Ａ回目までのデータにより算出された
しきい値範囲を用いてＮＧ判定を行い、該しきい値範囲
を外れたとき、保守点検要求の警報出力をする。この図
では、経年変化の度合いを示すために、便宜上、警報出
力後も調整を行っていない動作所要時間の様子を示して
いる。このように警報出力後もすぐに保守点検を行わず
継続して動作させる場合、それ以降継続して警報出力さ
せる。

【００２３】この実施の形態では、エアシリンダの構成
ユニットが初期の最も適正に動作している状態で測定さ
れた動作所要時間の実績データ（初期の適正データ）を
初期基準データとして、高い信頼性で得ることができ
る。さらに、この初期基準データにより、初期の適正な
動作状態をしきい値範囲として記憶しておき、後の経年
変化により動作所要時間が変化して適正値を保てなくな
った時に、記憶していた適正な動作状態と比較して保守
点検要求を出力する。このため、適正な保守点検のタイ
ミングを取得でき、良好な動作所要時間が信頼性良く保
つことができると共に、動作所要時間の再調整を必要最
小限の回数にできて、保守管理のコストの低減と、信頼
性の高い保守管理を可能にする。また、例えば、変化の
緩急等、経験的に判っている動作所要時間の経年変化の
状態に合わせて、基準データ範囲としきい値範囲とをそ
れぞれ別々に設定することができ、自由度が高く信頼性
の高い保守管理が実現できる。

【００２４】実施の形態２．上記実施の形態１では、初
回の動作所要時間データは無条件に初期基準データと
し、それ以降の実績データは、基準データ範囲内である
かどうかで初期基準データへの採用の可否を判定した
が、無条件に初期基準データに採用するデータの範囲
は、経験的に求められる回数を予め設定しても良く、信
頼性の高い初期基準データが効率よく得られる。また、
基準データ範囲を算出しないで、予め設定された回数ま
での実績データのみを初期基準データとして採用して、
それを基にしきい値範囲を算出しても良く、制御が簡略
になり、初期の適正な動作状態の継続期間が信頼性良く
予想できる場合に効果的な保守管理が行える。

【００２５】実施の形態３．なお、上記実施の形態１お
よび２では、基準データ範囲およびしきい値範囲は初期
基準データの平均値にマージンを加味した範囲とした
が、それに限るものではなく、それぞれ、初期基準デー
タに基づいて他の演算式により算出しても良い。この実
施の形態３は、初期基準データの採用範囲である基準デ
ータ範囲の算出に別の方法を用いたものである。Ｎ−１
回目までの実績データが全て初期基準データであると
き、Ｎ回目の実績データとそれ以前の所定の回の実績デ
ータとから、動作所要時間Ｔと回数Ｎとの関係式 Ｔ＝ａ×ｅ^BN （ａは定数） を求める。この時、求められたパラメータＢが予め設定
された所定の範囲、例えば０．０１を超えない範囲、に
入る時、Ｎ回目の実績データを初期基準データに採用す
る。

【００２６】図４は、動作部の動作所要時間の経年変化
とこの実施の形態による保守管理との関係を示すもの
で、図に示すように、Ｎ回目の実績データ検出時に、該
データと、それ以前の所定の回、この場合、所定の回数
Ｃだけ過去の実績データとから、動作所要時間Ｔの曲線
の式 Ｔ＝ａ×ｅ^BN （ａは定数） を算出する。この時の変化の度合いを示すパラメータＢ
が、例えば０．０１を越えて大きくなると、初期基準デ
ータに採用しない。この実施の形態でも、しきい値範囲
は、上記実施の形態１と同様に初期基準データの平均値
に所定のマージンを加味して算出し、実績データが一旦
基準データ範囲を外れると、それ以降は初期基準データ
の採用はない。

【００２７】この実施の形態３においても、上記実施の
形態１と同様に、動作部が初期の最も適正に動作してい
る状態で測定された動作所要時間の実績データを初期基
準データとすることができ、後の経年変化により動作所
要時間が変化して適正値を保てなくなった時に、記憶し
ていた適正な動作状態と比較して保守点検要求を出力す
る。このため、適正な保守点検のタイミングを取得で
き、良好な動作所要時間が信頼性良く保つことができる
と共に、動作所要時間の再調整を必要最小限の回数にで
きて、保守管理のコストの低減と、信頼性の高い保守管
理を可能にする。また、動作所要時間の経年変化の状態
に合わせて、基準データ範囲としきい値範囲とをそれぞ
れ別々に設定することができ、自由度が高く信頼性の高
い保守管理が実現できる。さらに、動作所要時間の実績
データが比較的ばらつき、個々のデータよりも、範囲を
設けて変化の傾向を観測する方が適切な場合に、初期の
適正な動作状態を示す初期基準データを信頼性良く得る
ことができ、効果的である。

【００２８】なお、この実施の形態で用いたパラメータ
Ｂを用いる判定基準で、判定基準を初期基準データを判
定する場合より比較的緩くすることで、保守点検要求の
警報出力のための判定をすることもできる。この場合、
初期基準データを設ける必要はない。

【００２９】実施の形態４．上記実施の形態１〜３で
は、動作部としてエアシリンダの構成ユニットを用いた
が、このようなエアシリンダの構成ユニットを組み込ん
だ処理装置を以下に示す。図５は、エアシリンダの構成
ユニットを組み込んだウエハカセット搬送ロボットの概
略構成図である。図に示すように、上下機構部１４は、
ステージ１５（１５ａ、１５ｂ）上のウエハカセット１
６を把持するためのハンド機構部１７と、このハンド機
構部１７を回転させる回転機構部１８とを上下動作させ
る。これにより、例えば、位置Ｄに下降して一方のステ
ージ１５ａ上のウエハカセット１６を把持し、その後位
置Ｕに上昇して回転し、再び位置Ｄに下降することによ
りウエハカセット１６を他方のステージ１５ｂ上で開放
する。

【００３０】このようなウエハカセット搬送ロボットの
上下機構部１４には上記実施の形態１で示した制御部８
および出力部１３を備えたエアシリンダの構成ユニット
が組み込まれている。この上下機構部１４は、ハンド機
構部１７および回転機構部１８を支えて上下動作を繰り
返し行うことにより、経年変化によってエアシリンダの
圧縮空気漏れが発生して、動作が徐々に速くなる傾向が
あるが、上記実施の形態１〜３と同様に、制御部８によ
り動作所要時間を計測して所定の演算処理を行うことに
より出力部１３により保守点検要求の警報を出力する。
このため、適正な保守点検のタイミングを取得でき、良
好な動作所要時間が信頼性良く保つことができてウエハ
カセット搬送ロボットによる搬送処理の信頼性が向上す
ると共に、動作所要時間の再調整を必要最小限の回数に
できて、保守管理のコストの低減と、信頼性の高い保守
管理を可能にできる。

【００３１】なお、上記実施の形態１〜４に示した保守
管理装置は、保守管理の対象がエアシリンダの構成ユニ
ットであるものを示したが、同一指令により機械的動作
を繰り返し行う動作部で、経年変化により徐々に動作所
要時間が変化するものであれば良い。

【００３２】

【発明の効果】以上のように、この発明の請求項１に係
る保守管理装置は、保守管理対象となる装置動作部の同
一指令により繰り返し行われる機械的動作における動作
開始から動作終了までの動作所要時間を検出する手段
と、該検出された動作所要時間の実績データを記憶する
手段と、該実績データのうち所定の期間の初期データを
初期基準データとし、該初期基準データに基づいてしき
い値を演算して設定する手段と、上記検出された動作所
要時間と上記しきい値とを比較する手段と、該比較結果
を出力して上記装置動作部の保守点検を促す手段とを備
えたため、適正な保守点検のタイミングを取得でき、良
好な動作所要時間が信頼性良く保つことができると共
に、動作所要時間の再調整を必要最小限の回数にでき
て、保守管理のコストの低減と、信頼性の高い保守管理
を可能にする。

【００３３】またこの発明の請求項２に係る保守管理装
置は、請求項１において、しきい値を演算して設定する
手段が、初期基準データにより算出した平均値に所定の
第１のマージンを加味して上記しきい値を設定するた
め、動作所要時間が適正かどうかの信頼性の高い判定基
準が、初期の適正データである初期基準データにより容
易に算出できる。

【００３４】またこの発明の請求項３に係る保守管理装
置は、請求項１または２において、繰り返し動作回数が
初回から予め設定された回数までの初期の実績データを
初期基準データとするため、初期の適正データで構成さ
れて、信頼性の高いしきい値設定のための基準となる初
期基準データが、容易に得られる。

【００３５】この発明の請求項４に係る保守管理装置
は、請求項１または２において、繰り返し動作回数がＮ
−１回までの実績データが全て初期基準データである
時、動作部の動作所要時間を検出して取得したＮ回目の
実績データが、実績データ群から所定の演算で求められ
る基準データ範囲内であれば、該Ｎ回目実績データを上
記初期基準データに採用し、上記基準データ範囲外であ
れば、該Ｎ回目以後の実績データは上記初期基準データ
に採用しないため、初期の適正データである初期基準デ
ータを信頼性良く得ることができると共に、基準データ
範囲としきい値とをそれぞれ別々に設定することがで
き、自由度が高く信頼性の高い保守管理が行える。

【００３６】またこの発明の請求項５に係る保守管理装
置は、請求項４において、基準データ範囲が、Ｎ−１回
までの実績データの平均値に、第２のマージンを加味し
て算出するため、初期の適正データで構成されて、信頼
性の高いしきい値設定のための基準となる初期基準デー
タが、容易に得られる。

【００３７】またこの発明の請求項６に係る保守管理装
置は、請求項４において、基準データ範囲が、Ｎ回目の
実績データとそれ以前の所定の回の実績データとから、
動作所要時間Ｔと回数Ｎとの関係式 Ｔ＝ａ×ｅ^BN （ａは定数） を求め、パラメータＢが所定の範囲内に入る条件範囲と
するため、初期の適正データで構成されて、信頼性の高
いしきい値設定のための基準となる初期基準データが、
容易に得られる。

【００３８】またこの発明の請求項７に係る保守管理装
置は、請求項４〜６のいずれかにおいて、繰り返し動作
回数が初回から予め設定された回数までの初期の実績デ
ータを、基準データ範囲との判定なしに初期基準データ
として採用するため、信頼性の高いしきい値設定のため
の基準となる初期基準データが、容易で効率よく得られ
る。

【００３９】またこの発明の請求項８に係る保守管理装
置は、保守管理対象となる装置動作部の同一指令により
繰り返し行われる機械的動作における動作開始から動作
終了までの動作所要時間を検出する手段と、該検出され
た動作所要時間の実績データを記憶する手段と、上記動
作所要時間を検出して取得した繰り返し動作回数がＮ回
目の実績データとそれ以前の所定の回の実績データとか
ら、動作所要時間Ｔと回数Ｎとの関係式 Ｔ＝ａ×ｅ^BN （ａは定数） を求める演算手段と、求められた上記関係式のパラメー
タＢが所定の範囲内に入るかどうかを判定する比較判定
手段と、該比較判定結果を出力して上記装置動作部の保
守点検を促す手段とを備えたため、適正な保守点検のタ
イミングを取得でき、良好な動作所要時間が信頼性良く
保つことができ、保守管理のコストの低減と、信頼性の
高い保守管理を可能にする。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の実施の形態１による保守管理装置
を備えたエアシリンダの構成ユニットの概略構成図であ
る。

【図２】 この発明の実施の形態１による保守管理装置
を用いた、保守点検時期取得方法を示すフローチャート
である。

【図３】 この発明の実施の形態１による動作所要時間
の経年変化と保守管理との関係を示す図である。

【図４】 この発明の実施の形態３による動作所要時間
の経年変化と保守管理との関係を示す図である。

【図５】 この発明の実施の形態４による保守管理装置
を備えたウエハカセット搬送ロボットの概略構成図であ
る。

【図６】 従来のエアシリンダの構成ユニットの概略構
成図である。

【符号の説明】

８ 制御部、１２ａ，１２ｂ 検出器、１３ 出力部。

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 保守管理対象となる装置動作部の同一指
   令により繰り返し行われる機械的動作における動作開始
   から動作終了までの動作所要時間を検出する手段と、該
   検出された動作所要時間の実績データを記憶する手段
   と、該実績データのうち所定の期間の初期データを初期
   基準データとし、該初期基準データに基づいてしきい値
   を演算して設定する手段と、上記検出された動作所要時
   間と上記しきい値とを比較する手段と、該比較結果を出
   力して上記装置動作部の保守点検を促す手段とを備えた
   ことを特徴とする保守管理装置。
2. 【請求項２】 しきい値を演算して設定する手段が、初
   期基準データにより算出した平均値に所定の第１のマー
   ジンを加味して上記しきい値を設定することを特徴とす
   る請求項１記載の保守管理装置。
3. 【請求項３】 繰り返し動作回数が初回から予め設定さ
   れた回数までの初期の実績データを初期基準データとす
   ることを特徴とする請求項１または２記載の保守管理装
   置。
4. 【請求項４】 繰り返し動作回数がＮ−１回までの実績
   データが全て初期基準データである時、動作部の動作所
   要時間を検出して取得したＮ回目の実績データが、実績
   データ群から所定の演算で求められる基準データ範囲内
   であれば、該Ｎ回目実績データを上記初期基準データに
   採用し、上記基準データ範囲外であれば、該Ｎ回目以後
   の実績データは上記初期基準データに採用しないことを
   特徴とする請求項１または２記載の保守管理装置。
5. 【請求項５】 基準データ範囲が、Ｎ−１回までの実績
   データの平均値に、第２のマージンを加味して算出する
   ものであることを特徴とする請求項４記載の保守管理装
   置。
6. 【請求項６】 基準データ範囲が、Ｎ回目の実績データ
   とそれ以前の所定の回の実績データとから、動作所要時
   間Ｔと回数Ｎとの関係式 Ｔ＝ａ×ｅ^BN （ａは定数） を求め、パラメータＢが所定の範囲内に入る条件範囲と
   することを特徴とする請求項４記載の保守管理装置。
7. 【請求項７】 繰り返し動作回数が初回から予め設定さ
   れた回数までの初期の実績データを、基準データ範囲と
   の判定なしに初期基準データとして採用することを特徴
   とする請求項４〜６のいずれかに記載の保守管理装置。
8. 【請求項８】 保守管理対象となる装置動作部の同一指
   令により繰り返し行われる機械的動作における動作開始
   から動作終了までの動作所要時間を検出する手段と、該
   検出された動作所要時間の実績データを記憶する手段
   と、上記動作所要時間を検出して取得した繰り返し動作
   回数がＮ回目の実績データとそれ以前の所定の回の実績
   データとから、動作所要時間Ｔと回数Ｎとの関係式 Ｔ＝ａ×ｅ^BN （ａは定数） を求める演算手段と、求められた上記関係式のパラメー
   タＢが所定の範囲内に入るかどうかを判定する比較判定
   手段と、該比較判定結果を出力して上記装置動作部の保
   守点検を促す手段とを備えたことを特徴とする保守管理
   装置。