KR101585620B1 - 처리 장치의 작동 감시 시스템 - Google Patents

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Abstract

처리 대상물에 대하여 소정의 처리를 수행하는 처리실 내에서 소정의 처리 환경을 형성하기 위해 설치되어 있는 가동 부품과, 각 가동 부품의 작동을 제어하는 제어 수단(5)을 구비한 처리 장치에 있어서, 간단하게 처리 장치를 구성하는 가동 부품의 시간경과 변화를 포함하는 이상을 파단할 수 있도록 한다. 상기 가동 부품의 작동에 수반하여 발생하는 진동의 파형을 검출하는 진동 검지 수단(7)을 설치한다. 가동 부품의 어느 하나를 작동하기 위해 제어 수단(5)으로부터의 제어가 행해졌을 경우, 제어에 따른 이벤트 데이터와, 그때에 작동하고 있는 전체 가동 부품의 진동 파형을 취득한다. 이벤트 데이터에 따른 제어가 선택될 때마다, 또는 상기 이벤트 데이터와 동종의 다른 이벤트 데이터에 따른 진동의 파형이 취득되고 있을 경우에, 상기 파형의 변화를 감시하고, 이 파형이 소정의 범위를 초과하여 변화하고 있으면, 처리 장치의 이상을 판단한다.

Description

처리 장치의 작동 감시 시스템{ACTION MONITORING SYSTEM FOR TREATING DEVICE}
본 발명은 처리 장치를 구성하는 가동 부품이 작동할 때의 진동으로부터 이 가동 부품의 작동을 감시할 수 있도록 한 처리 장치의 작동 감시 시스템에 관한 것이다.
종래, 기판에 성막 처리나 에칭 처리 등의 각종의 처리를 연속해서 수행하는 장치로서, 도 1에 도시한 바와 같이, 반송 로봇(A)을 배치한 중앙의 반송실(B)을 둘러싸도록 하여 기판(S)의 로드락실(load lock chamber)(C)과 복수의 처리실(D1~D3)을 게이트 밸브(E1~E4)를 통해 배치하고, 반송 로봇(A)에 의해 로드락실(C)에 투입한 기판(S)을 각 처리실(D)에 또는 각 처리실(D)의 상호 간에 기판(S)을 반송하도록 구성한 처리 장치(소위, 클러스터 툴(cluster tool) 장치)가 알려져 있다.
이러한 처리 장치에서는, 반송 로봇(A) 뿐만 아니라, 각 처리실(D)과 반송실(B)을 격리하는 구동 수단을 구비한 게이트 밸브(E), 냉매 순환식의 콜드 트랩(cold trap)(도시하지 않음)이나 진공 펌프(P) 등 많은 가동 부품이 설치되고, 이러한 가동 부품에 의해, 기판의 반송을 포함하는 처리 대상물에 대한 소정의 처리를 수행하기 위한 처리 환경이 형성된다. 그때, 상기 소정의 처리를 양호하게 행하기 위해서는, 항상 이들 가동 부품이 정상적으로 동작하는 것이 필요하게 된다. 이것으로부터, 개개의 가동 부품마다 광학식 센서 등 검지 수단을 설치하고, 그 작동을 감시할 수 있지만, 이것으로는 장치의 구성부품이 많아지고, 또한, 관리해야 할 데이터가 방대하게 되어 고성능인 제어 수단이 필요하게 되며, 결과적으로, 고비용을 초래한다.
그런데, 종래, 가속도 센서나 AE 센서 등 장치의 진동을 검지하는 진동 검지 수단을 이용하여 처리 장치의 이상을 검지하는 것이 제안되고 있다. 예를 들어, 특허 문헌 1에는, 장치 내부나 장치 외부에 가속도 센서를 설치하고, 이 검지 수단의 출력에 기초하여 장치를 정지시켜야 한다는 취지의 정지 신호를 출력하는 정지 제어 수단을 설치하는 것이 개시되어 있다.
그러나, 종래의 진동 측정에 의한 이상 검지에 있어서는, 처리 장치의 구성 부품 중에서, 이상 검지를 하고자 하는 측정 대상물의 이상 시의 진동의 파형을 미리 취득하여 두고, 그것에 기초하여 이상 검지를 행하고 있다. 이 때문에, 측정 대상물이 특정되어 있다고 하는 문제가 있다. 또한, 미리 정해진 임계값을 초과하였을 때에만 이상이라고 판단하기 때문에, 사용 빈도에 따라 열화되는 가동 부품의 열화 상황 등을 관리하는 것에는 적합하지 않다.
특허 문헌 1 : 일본 특개평9-237757호 공보
따라서, 본 발명은 이상의 점을 고려하여, 간단하게 처리 장치를 구성하는 가동 부품의 시간경과 변화를 포함하는 이상을 판단할 수 있는 저비용의 처리 장치의 작동 감시 시스템을 제공하는 것을 그 과제로 한다.
상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 처리 장치의 작동 감시 시스템은 처리 대상물에 대해 소정의 처리를 수행하는 처리실 내에서 소정의 처리 환경을 형성하기 위해 설치되어 있는 가동 부품과, 각 가동 부품의 작동을 제어하는 제어 수단을 구비한 처리 장치의 작동 감시 시스템으로서, 상기 가동 부재의 작동에 수반하여 발생하는 진동의 파형을 검출하는 진동 검지 수단을 가지고, 상기 가동 부품의 어느 하나를 작동하기 위해 제어 수단으로부터의 제어가 행해진 경우, 상기 제어에 따른 이벤트 데이터와, 상기 진동 검지 수단에 의해 검지되어 그때에 작동하고 있는 전체 가동 부품의 진동의 파형을 취득하고, 상기 이벤트 데이터에 따른 제어가 선택될 때마다, 또는 상기 이벤트 데이터와 동종의 다른 이벤트 데이터에 따른 진동의 파형이 취득되고 있는 경우에, 상기 파형의 변화를 감시하고, 이 파형이 소정의 범위를 초과하여 변화하고 있으면, 처리 장치의 이상을 판단하도록 구성한 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 제어 수단으로부터의 제어에 의해 어느 하나의 가동 부품을 작동시켰을 때, 그 가동 부품을 포함하는 작동 중인 모든 가동 부품의 작동에 의해 발생하는 진동의 파형이어서 진동이 전해지는 범위인 것을 진동 검지 수단에 의해 각각 측정하고, 그 제어 내용인 이벤트 데이터와 함께 취득한다. 그리고, 예를 들어, 동일한 작동 환경 하에서 제어 수단에 의해 동종의 제어가 행해졌을(이벤트 데이터가 대략 일치할) 때, 진동 검지 수단에 의해 진동의 파형을 다시 각각 검지하고, 그 이벤트 데이터에 대응한 전회의 진동 데이터와 비교한다. 그리고, 이 진동 데이터의 어느 하나가 소정의 범위를 초과하여 변화하고 있으면, 처리 장치의 이상 또는 열화에 의한 메인티넌스(maintenance)의 필요성을 판단한다. 또한, 본 발명에서 이벤트 데이터란, 제어 수단으로부터의 제어로 어느 하나의 가동 부품을 작동시킬 때, 제어 수단으로부터 출력되는 제어(명령) 내용에 관한 데이터이며, "게이트 밸브 열기", "콜드 트랩 작동"이나 "진공 펌프 작동" 등의 명령 데이터를 지시한다.
상기와 같이 본 발명에서는, 어느 하나의 가동 부품의 이상 시의 진동의 파형을 미리 측정하여 두는 것뿐만 아니라, 가동 부품의 어느 하나가 작동할 때마다, 특정 이벤트 데이터에 따른 진동 파형의 변화로부터, 간단하게 가동 부품의 건상성(soundness)이 판단된다. 따라서, 이 진동의 파형이 시간을 따라 변화하고 있는 것과 같은 경우에는, 가동 부품의 열화 상황까지 감시하는 것이 가능하게 된다. 또한, 진동이 전해지는 범위에서 작동하고 있는 가동 부품 전체의 진동을 검지하여 처리하도록 하였기 때문에, 개개의 가동 부품마다 진동 검지 수단은 필요하지 않고, 저비용화를 꾀할 수 있다. 게다가, 처리 장치 각부의 상태를 나타내는 정보를 일정한 주기로 취득하여 처리함으로써 작동 감시하는 것과 같은 경우와 비교하여, 관리해야 할 데이터의 양도 적어지게 할 수 있고, 클러스터 툴과 같은 가동 부품이 비교적 많은 처리 장치용의 작동 감시 시스템으로서 최적이다.
또한, 본 발명에서는, 상기 이벤트 데이터에 따른 제어가 선택되었을 경우에, 전회의 진동의 파형에 포함되지 않는 진동의 파형이 새롭게 검지되었을 경우, 이 진동의 발생 원인을 특정하여 상기 발생 원인에 기초하는 다른 파형을 기억하고, 상기 가동 부품의 어느 하나의 작동 중에, 상기 진동 검지 수단에 의해 상기 다른 파형이 검지되면, 처리 장치의 이상을 판단하도록 구성하여도 좋다. 이것에 의해, 예를 들어, 성막실의 내벽에 설치한 방착판에 부착한 막이 박리하거나, 반송 중인 기판이 파손하는 등, 이벤트 데이터로는 관리할 수 없는 원인에 기인한 진동이 발생하였을 경우에 처리 장치의 이상을 판단할 수 있다.
상기 취득된 진동의 파형은 소정의 특징 파라미터로 변환된 후, 제어 수단에 설치한 메모리나 다른 공지의 기억 장치에 기억되도록 하여 두면, 취득된 진동 파형의 데이터를 그대로 보존하는 경우와 비교하여, 그 지속 시간, 진동의 상승 및 하강 시간, 최대 진폭값, 진동 에너지나 피크 주파수 등을 파라미터로 변환하여 기억시킴으로써 대량의 데이터를 보존하여 둘 필요가 없어지고, 또한, 이상의 판단도 용이해진다.
이 경우, 상기 특징 파라미터를 표시하는 표시 수단을 준비하여 두면, 가동 부품의 시간경과 변화가 가시화할 수 있고, 그 열화 등을 분석, 판단하는데 유리하다.
또한, 작동 중인 모든 가동 부품의 진동을 포착할 수 있도록, 상기 진동 검지 수단은 측정 가능한 진동의 주파수대역이 상이한 복수의 센서를 조합하여 구성된 것이라는 점이 바람직하다.
도 1의 (a) 및 (b)는 반송 로봇을 구비하는 처리 장치를 개략적으로 도시하는 평면도 및 단면도이다.
도 2는 진동 검지 수단에 의해 검지한 진동 파형의 특징 파라미터로의 변환을 설명하는 도면이다.
도 3은 표시 수단에서의 특징 파라미터의 표시 예를 도시하는 도면이다.
도 4의 (a) 내지 (d)는 본 발명의 처리 장치의 작동 감시 시스템에 의한 이상 검지의 예를 설명하는 도면이다.
도 5의 (a) 내지 (d)는 본 발명의 처리 장치의 작동 감시 시스템에 의한 이상 검지의 다른 예를 설명하는 도면이다.
이하, 도 1에 도시하는 처리 장치에서 본 발명을 적용한 실시 형태에 대해 설명한다. 즉, 반송실(B)에는, 반송 로봇(A)이 설치되어 있다. 반송 로봇(A)은 도시를 생략한 구동 수단인 2개의 모터를 가지고, 동심에 배치된 각 모터의 회전축(1a, 1b)에는 로봇 암(2)이 링크 기구를 이루어 연결되고, 그 선단에 로봇 핸드(3)가 장착되어 있다. 이것에 의해, 각 모터의 회전축(1a, 1b)의 회전각을 적절하게 제어함으로써, 로봇 암(2)이 신축 및 선회 가능하게 되어, 로봇 핸드(3)로 기판(S)을 지지하여 소정의 위치까지 이송 가능하게 된다. 또한, 반송실(B)과, 로드락실(C) 및 처리실(D1~D3)이란, 에어 실린더 등의 구동 수단(4)을 구비한 게이트 밸브(E1~E4)를 통해 연결되어 각 실이 서로 격리될 수 있도록 되어 있다.
반송실(B), 로드락실(C) 및 각 처리실(D1~D3)에는, 로터리 펌프, 크라이오 펌프(cryo-pump)나 터보 분자 펌프로 구성되는 진공 배기 수단(P)이 접속되어 있다. 이 경우, 각 처리실(D1~D3)에서 행해지는 처리에 따라, 각 처리실(D1~D3)로의 접속 개소에서 도시를 생략한 공지의 구조의 콜드 트랩이 적절하게 설치된다. 또한, 처리실(D1~D3) 등에는, 특히 도시하지 않지만, 피라니(Pirani) 진공계나 이온 게이지 등의 진공압 측정 수단과 소정의 가스를 도입하는 가스 도입 수단이 설치되고, 또한, 소정의 처리에 따라 처리실(D1~D3) 내에 방전 플라즈마를 형성하기 위한 전극이나 전원이 적절하게 설치되어 있다.
반도체 웨이퍼 등의 처리 대상물인 기판(S)에 대해 소정의 처리를 실시하기 위하여, 예를 들어, 이 기판(S)의 로드락실(C)로부터 각 처리실(D1~D3)로의 이송이나 진공(플라즈마) 분위기의 형성 등의 소정의 처리 환경을 형성하기 위하여 반송실(B), 로드락실(C) 및 각 처리실(D)에 적절하게 장비된 상기 각 부품이 본 실시 형태의 가동 부품을 구성한다. 이 가동 부품의 작동은 제어 수단(5)에 의해 제어된다. 제어 수단(5)은 공지의 구조를 가지는 것이며, 예를 들어, 마이크로 컴퓨터를 구비하여, 이 마이크로 컴퓨터에 퍼스널 컴퓨터 등을 통해 제어(명령) 내용을 미리 프로그램할 수 있고, 이것을 순차 실행하는 것에 의해 시퀀스 제어를 행하는 것이다. 또한, 제어 수단(5)에는, 액정 디스플레이 등의 표시 수단(6)이 연결되어, 제어 내용을 적절하게 표시할 수 있게 되어 있다.
처리 장치에는, 각 가동 부품이 작동하였을 때, 그것에 수반하여 발생하는 진동의 파형을 검지하기 위한 진동 검지 수단(7)이 설치되어 있다. 진동 검지 수단(7)으로서는, 공지의 구조를 가지는 가속도 센서, 진동/충격 센서, AE(acoustic emission) 센서나 마이크로폰(microphone) 등이 이용된다. 진동 검지 수단(7)은 후술하는 진동 파라미터 변환 수단(7a)을 통해 제어 수단(5)에 접속되고, 또한, 각 가동 부품이 작동하였을 때에 발생한 진동의 파형을 효율적으로 검지하기 위하여, 예를 들어, 반송실(B)의 저면 외측에 장착된다.
여기서, 모터나 게이트 밸브(E1~E4)의 작동 시의 진동과 같은 500 Hz 이하의 저주파 영역의 진동으로부터, 상기 콜드 트랩 작동 시에 피스톤이 실린더 벽면을 스침으로써 발생하는 진동과 같은 100 kHz의 고주파 대역의 것까지 광대역에서 진동 측정이 가능해지도록(즉, 처리 장치를 구성하는 전체 부품에 대해 작동 감시가 가능해지도록), 상기 센서를 복수 조합하여 사용된다.
또한, 저주파 대역의 진동은 전달되기 쉽고, 가동 부품이 수지제 등이어도 감쇠하기 어려운 한편, 고주파 영역의 진동은 수지제 부품 등이 개재하는 것만으로 감쇠하기 때문에, 이 진동의 특성을 고려하여, 목적으로 하는 진동을 측정하기 위해 상기 각 센서의 설치 위치는 적절하게 선택된다.
다음으로, 본 실시 형태에 관한 처리 장치의 작동 감시에 대하여, 예를 들어, 진공 배기 수단의 작동에 의해 반송실(B), 로드락실(C) 및 각 처리실(D1~D3)이 소정의 진공도로 유지된 상태에서 로드락실(C)에 설치된 기판(S)을 어느 하나의 처리실(D1~D3)에 이송하는 경우를 예로 들어 설명한다. 먼저, 제어 수단(5)으로부터의 제어에 의해, 로드락실(C)이 소정의 진공도에 도달해 있는 것을 확인한 후, 반송실(B)과, 로드락실(C) 및 처리실(D1~D3)과의 사이에 있는 2개의 게이트 밸브(E1~E4)를 연다. 이때, 진동 검지 수단(7)에 의해, 게이트 밸브(E1~E4)의 작동에 수반하는 진동의 파형이나 진공 펌프(P)의 작동에 수반하는 진동 등 현재 작동하고 있는 가동 부품의 진동의 파형이 검지된다.
측정된 진동의 파형은 진동 파라미터화 수단(7a)에 의해 특징 파라미터로 각각 변환된다. AE 센서에 의해 게이트 밸브(E1)의 진동을 검지하였을 경우를 예로 들어 설명하면, 진동 파라미터화 수단(7a)에서는, 검지된 게이트 밸브(E1)의 작동에 수반하는 진동 파형의 지속 시간, 진동의 상승 및 하강 시간, 최대 진폭값, 진동 에너지나 피크 주파수가 히트(hit) 처리된다. 즉, AE 파형을 포락선 검파하여 가능한 파형의 덩어리(lump)를 한 개의 신호(히트)라고 정의하고, 특징 파라미터로 된다(도 2 참조).
이 특징 파라미터는 제어 수단(5)에 출력되고, "게이트 밸브(E1) 열기"라는 제어 수단(5)에 의한 제어(명령) 내용인 이벤트 데이터와 함께 제어 수단(5)에 설치된 메모리 등의 기억 수단에 기억시킨다(실제의 처리에서는, 제어 수단(5)으로부터의 제어에 의해 어느 하나의 가동 부품이 작동하였을 경우, 그 가동 부품을 포함하는 현재 작동 중에 진동하고 있는 전체 가동 부품의 진동 파형이 검지되고, 이것들이 히트 처리되어 특징 파라미터에 각각 변환되어 기억된다). 이것에 의해, 이벤트 데이터와 진동 파형의 특징 파라미터와의 동기가 용이하게 되고, 또한, 파라미터화하는 것과, 어느 하나의 가동 부품이 작동할 때에만 데이터(이벤트 데이터 및 특징 파라미터에 관한 데이터)를 취득하는 것이 서로 작용하여, 대량의 데이터를 보존할 필요를 없앨 수 있다.
또한, 얻어진 특징 파라미터는 표시 수단(6)에 표시시킬 수 있다. 이 경우, 예를 들어, X축으로 진동 파형의 제1 피크값, Y축으로 진동 파형의 최대 진폭을 취하고, 진동 에너지를 원의 크기로 나타내는 것과 같은 버블 차트(산포도)로서 표시하는 것이 바람직하다(도 3 참조). 이것에 의해, 이벤트 데이터에 따른 각 가동 부품의 진동이 가시화될 수 있다. 또한, 버블 차트는 X-Y축 상에 도시하는 원의 크기, 원의 색, 원의 높이 등에 의해 다수의 특징 파라미터를 가지는 파형 데이터의 특징을 가시화하는데 적합하다.
여기서, 얻어진 특징 파라미터를 일정한 기간에 걸쳐 축적해 가면, 통상 발생하는 진동은 버블 차트 상에서 특정한 영역에 모여 온다. 이 때문에, 도 4에 도시한 바와 같이, 특징 파라미터를 축적하고, 그 발생 횟수를 포함해서 표시 수단(6)에 표시시켜 가면, 가동 부품의 작동 이외의 이유로 다른 진동이 발생하였을 경우, 상기 영역 이외의 영역에 진동의 발생이 나타남으로써 즉시 분별할 수 있게 된다(이벤트 데이터와 그것에 따른 특징 파라미터의 데이터를 소거하면, 더욱 현저하게 나타낼 수 있다).
이러한 경우에는, 예를 들어, 처리 장치의 작동을 정지하고, 이 진동의 발생 원인을 특정한다. 그리고, 이 발생 원인에 기초한 다른 진동 데이터를 기억 수단에 기억시켜 두고, 상기 가동 부품의 어느 하나의 작동 중에, 진동 검지 수단(7)에 의해 다른 진동 데이터가 검지되면, 처리 장치의 이상을 판단하도록 구성하여 둔다. 이것에 의해, 예를 들어, 처리실(D1~D3) 내벽에 설치한 방착판에 부착한 막이 박리하였을 경우에 발생하는 AE 파(200 kHz 부근) 등, 이벤트 데이터로는 관리할 수 없는 원인에 기인한 진동이 발생하였을 경우에, 메인티넌스의 필요성을 포함하는 처리 장치의 이상을 판단할 수 있게 된다.
다음으로, 예를 들어, 로드락실(C) 및 각 처리실(D1~D3)이 소정의 진공도로 유지된 상태 등, 동일한 작동 환경 하에서 제어 수단(5)에 의해 동일한 제어, 즉, "게이트 밸브(E1) 열기"라는 명령이 행해졌을 때, 또는, 어느 하나의 처리실로부터 다른 처리실로의 기판(S)의 이송과 같은 동종의 제어가 행해졌을(예를 들어, "게이트 밸브(E2) 열기" : 이벤트 데이터가 대략 일치한다) 경우, 진동 검지 수단(7)으로 그때에 발생하고 있는 진동의 파형을 다시 각각 검지하여 특징 파라미터로 변환하고, 그 이벤트 데이터에 대응한 전회의 진동의 특징 파라미터와 비교한다. 그리고, 특징 파라미터의 시간 축에 대한 편차나 AE 에너지 면적의 변화로부터 처리 장치의 이상 또는 열화에 의한 메인티넌스의 필요성을 판단한다. 이것에 의해, 모터, 게이트 밸브나 콜드 트랩의 작동의 감시뿐만 아니라, 예를 들어, 처리실 내에서 플라즈마 처리를 실시하고 있는 경우에 있어서의 이상 방전(아크 방전)의 발생, 또는, 반송 로봇(A)에 의한 반송 중인 로봇 핸드로부터의 기판(S)의 탈락 등까지 감시할 수 있게 된다.
다음으로, 본 실시 형태에서 처리 장치의 작동 감시에 의해 가동 부품의 이상을 검지한 예를 설명한다. 제어 수단(5)에 의해 반송실(B), 로드락실(C) 및 각 처리실(D1~D3)이 소정의 진공도로 유지된 상태에서 게이트 밸브(E1~E3)를 각각 작동시켰을 경우(이벤트 데이터가 동종인 경우)에, 진동 검지 수단(7)에 의해 진동의 파형을 측정하고, 특징 파라미터로 변환하고, 그것에 따라 각각의 산포도를 작성한다(도 4의 (a) 내지 도 4의 (c) 참조). 그리고, 이 산포도를 중첩함으로써(도 4의 (d) 참조), 게이트 밸브(E2)를 작동시켰을 때에만, 진동 검지 수단(7)에 의해 이상한 진동(부호 R1로 도시하는 영역)이 검지되는 것을 알 수 있다. 이것에 의해, 게이트 밸브(E2)에 이상이 발생하고 있는 것을 알 수 있다. 이러한 경우에는, 게이트 밸브(E2) 자체를 교환한다.
다른 한편으로, 제어 수단(5)에 의해 반송실(B), 로드락실(C) 및 각 처리실(D1~D3)이 소정의 진공도로 유지된 상태에서 게이트 밸브(E1)를 작동시켰을 경우에, 진동 검지 수단(7)에 의해 진동의 파형을 측정하고, 특징 파라미터로 변환하였을 때의 산포도를 작성한다(도 5의 (a) 참조). 그리고, 동일한 환경 하에서 제어 수단(5)에 의해 상기 제어가 선택되었을 경우(이벤트 데이터가 동일한 경우), 그때마다, 진동의 파형을 측정하고, 특징 파라미터로 변환하여 산포도를 작성하고, 전회 작성한 산포도와 중첩하여 표시해 간다.
이와 같이 각 산포도를 중첩함으로써(도 5의 (d) 참조), 게이트 밸브(E1)의 사용시간이 길어지면, 진동 검지 수단(7)에 의해 측정되는 진동이 변화하고 있는 것을 알 수 있다(도 5에서는, 부호 R2로 도시하는 영역이 우측으로 시프트(shift)하고 있다). 이것에 의해, 게이트 밸브(E1)에 이상이 발생 또는 발생할 가능성이 있는 것을 알 수 있다. 이러한 경우에는, 게이트 밸브(E1) 자체를 교환한다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명의 실시 형태에서는, 가동 부품의 어느 하나가 작동할 때마다, 특정한 이벤트 데이터에 따른 진동 파형의 변화로부터, 간단하게 가동 부품의 건상성이 판단될 수 있고, 특히, 이 진동의 파형이 시간을 따라 변화하고 있는 것과 같은 경우에는, 가동 부품의 열화 상황을 알 수 있다. 또한, 진동이 전해지는 범위이면, 작동하고 있는 가동 부품 전체의 진동을 검지하여 처리하기 때문에, 개개의 가동 부품마다 진동 검지 수단은 필요하지 않고, 저비용화를 꾀할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에서는, 일정한 환경 하에서의 게이트 밸브의 작동을 예로 들어 설명하였지만, 이것으로 한정되는 것은 아니고, 작동에 수반하여 진동을 발생하는 가동 부품이면, 본 발명을 적용하여 그 작동을 관리할 수 있다. 또한, 진동의 파형을 특징 파라미터로 변환하고, 밸브 차트에 의해 표시하는 것을 예로 들어 설명하였지만, 취득한 특징 파라미터를 중첩하여 표시할 수 있는 것이면, 꺾은선 그래프 등, 그 형태는 묻지 않는다.
5 : 제어 수단 6 : 표시 수단
7 : 진동 검지 수단 B : 반송실
C : 로드락실 D1~D3 : 처리실
E1~E4 : 게이트 밸브 P : 진공 배기 수단
S : 기판

Claims (5)

  1. 처리 대상물에 대하여 소정의 처리를 수행하는 처리실 내에서 소정의 처리 환경을 형성하기 위해 설치되어 있는 가동 부품과, 각 가동 부품의 작동을 제어하는 제어 수단을 구비한 처리 장치의 작동 감시 시스템으로서,
    상기 가동 부품의 작동에 수반하여 발생하는 진동의 파형을 검출하는 진동 검지 수단을 가지고,
    상기 가동 부품의 어느 하나를 작동하기 위해 제어 수단으로부터의 제어가 행해졌을 경우, 상기 제어에 따른 이벤트 데이터와, 상기 진동 검지 수단에 의해 검지되어 그때에 작동하고 있는 전체 가동 부품의 진동의 파형을 취득하고,
    상기 이벤트 데이터에 따른 제어가 선택될 때마다, 또는 상기 이벤트 데이터와 동종의 다른 이벤트 데이터에 따른 진동의 파형이 취득되고 있는 경우에, 그 이벤트 데이터에 대응하는 전회의 진동 데이터와 비교하여, 전회의 진동 파형에 포함되지 않은 진동 파형이 검지되면, 처리 장치의 이상을 판단하도록 구성한 것을 특징으로 하는 처리 장치의 작동 감시 시스템.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 이벤트 데이터에 따른 제어가 선택되었을 경우에, 전회의 진동 파형에 포함되지 않은 진동의 파형이 새롭게 검지되었을 경우, 이 진동의 발생 원인을 특정하여 상기 발생 원인에 기초하는 다른 파형을 기억하고,
    상기 가동 부품의 어느 하나의 작동 중에, 상기 진동 검지 수단에 의해 상기 다른 파형이 검지되면, 처리 장치의 이상을 판단하도록 구성한 것을 특징으로 하는 처리 장치의 작동 감시 시스템.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 취득된 진동의 파형은 소정의 특징 파라미터로 변환된 후에 기억되는 것을 특징으로 하는 처리 장치의 작동 감시 시스템.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 특징 파라미터를 표시하는 표시 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 처리 장치의 작동 감시 시스템.
  5. 청구항 1 내지 청구항 4 중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 진동 검지 수단은 측정 가능한 진동의 주파수대역이 상이한 복수의 센서를 조합하여 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 처리 장치의 작동 감시 시스템.
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