JP2001183295A

JP2001183295A - カソードルミネッセンス分光装置

Info

Publication number: JP2001183295A
Application number: JP36992099A
Authority: JP
Inventors: Takabumi Sakamoto; 元高文坂
Original assignee: Jeol Ltd
Current assignee: Jeol Ltd
Priority date: 1999-12-27
Filing date: 1999-12-27
Publication date: 2001-07-06

Abstract

(57)【要約】【課題】短時間に異なる単色光のカソードルミネッセ
ンス（ＣＬ）像を得ることができるカソードルミネッセ
ンス分光装置を提供すること。【解決手段】赤色光のＣＬ像表示の場合、表示制御手
段３３は、切換スイッチ２６についてはＳＷ₁のみをオ
ンとし、ゲイン切換スイッチ３２についてはＳＷ₅をオ
ンとするための信号をスイッチ制御手段３７に送る。こ
の結果、ダイロイックミラー１２で赤色光、緑色光、青
色光に分離され、それぞれの色信号として取り出された
信号のうち、プリアンプ２３が出力する赤色信号ＣＬ_R
のみが加算アンプ３０を介して表示制御手段３３に送ら
れる。表示制御手段３３は、加算アンプ３０から送られ
てくる信号、すなわち試料から発生した赤色光の強度信
号と、偏向器４に与えられる電子線偏向信号に基づい
て、赤色光のＣＬ像をカラーディスプレイ３５の画面上
に表示させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カソードルミネ
ッセンス分光装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】カソードルミネッセンス分光装置は、
細く絞った電子線を試料に照射し、その電子線により励
起された光を検出して微小領域の発光分析を行う装置で
ある。

【０００３】そして、このカソードルミネッセンス分光
装置は、電子線を試料上の１点に照射し、その電子線照
射点から発生した光をモノクロメータで分解して波長ス
ペクトルを得たり、モノクロメータをある波長に固定し
て電子線を試料上で走査しながら発光の分布の様子を得
たりするものである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このように、従来の
カソードルミネッセンス分光装置においては、たとえば
赤色光の発光分布像（カソードルミネッセンス像）の次
に緑色光の発光分布像を得る場合、モノクロメータが緑
色光を取り出すようにモノクロメータを波長駆動させな
ければならない。

【０００５】このモノクロメータの波長駆動には多少時
間がかかるので、従来においては、単色光のカソードル
ミネッセンス像を得るのに時間がかかっていた。

【０００６】本発明はこのような点に鑑みて成されたも
ので、その目的は、短時間に異なる単色光のカソードル
ミネッセンス像を得ることができるカソードルミネッセ
ンス分光装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この目的を達成する本
発明のカソードルミネッセンス分光装置は、試料に電子
線を照射して、電子線または試料を二次元的に走査し、
その電子線照射により試料から発生した光を検出し、そ
の検出した光に基づいてカソードルミネッセンス像を表
示するようにしたカソードルミネッセンス分光装置にお
いて、電子線照射により試料から発生した光を色別に分
離して色信号として出力する光分離手段と、その光分離
手段が出力する色信号のうち、特定の色信号を選択して
出力する選択手段と、その選択手段の出力に基づいて、
前記選択された色光に関するカソードルミネッセンス像
を表示させる手段を備えたことを特徴とする。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明の実
施の形態について説明する。

【０００９】図１は本発明のカソードルミネッセンス分
光装置の一例を示した図である。

【００１０】図１の装置構成について説明すると、１は
鏡筒であり、鏡筒１の中には上から順に、電子銃２と集
束レンズ３と偏向器４と対物レンズ５が配置されてい
る。

【００１１】６は、鏡筒１に接続された試料室チャンバ
であり、試料室チャンバ６の内部、すなわち試料室７に
は試料ステージ８が配置されている。試料ステージ８
は、ｘ，ｙおよびｚ軸方向に移動可能に構成されてい
る。

【００１２】試料ステージ８の上には試料９がセットさ
れており、試料９の直上の電子線光軸上には、試料から
発生したカソードルミネッセンス（ＣＬ）光を集光する
集光ミラー１０が配置されている。

【００１３】１１は、試料室チャンバ６に設けられたＣ
Ｌ光通過窓であり、前記集光ミラー１０からのＣＬ光は
この通過窓１１を通ってダイクロイックミラー１２に入
射する。ダイクロイックミラー１２は、入射したＣＬ光
を赤色光、緑色光、青色光に分離するものである。

【００１４】このダイクロイックミラー１２について説
明すると、第一のプリズム１３に入射した光は、まず青
色光が青反射フィルタ１４によって反射され、その青色
光は第１プリズム１３の端面で全反射して、青色光の色
分解特性を補正するトリミングフィルタ１５に入射す
る。

【００１５】次いで赤反射フィルタ１６によって赤色光
が反射され、その赤色光は第２プリズム１７の端面で全
反射して、赤色光の色分解特性を補正するトリミングフ
ィルタ１８に入射する。

【００１６】そして、赤反射フィルタ１６を透過した光
が緑色光であり、この緑色光は、第３のプリズム１９’
を介して緑色光の色分解特性を補正するトリミングフィ
ルタ１９に入射する。

【００１７】なお、それぞれのフィルタは、多層膜誘電
体の蒸着によるダイクロイックミラー（干渉フィルタ）
によって形成されている。

【００１８】以上、ダイクロイックミラー１２の構成に
ついて説明したが、このような構成のダイクロイックミ
ラー１２によって、ＣＬ光は、赤色光、緑色光、青色光
に分離される。

【００１９】そして、前記トリミングフィルタ１５を通
過した青色光は光電子増倍管２０に入射し、また、前記
トリミングフィルタ１８を通過した赤色光は光電子増倍
管２１に入射し、また、前記トリミングフィルタ１９を
通過した緑色光は光電子増倍管２２に入射する。

【００２０】前記ダイクロイックミラー１２と光電子増
倍管２０〜２２で、光分離手段が構成されている。

【００２１】前記光電子増倍管２１は、プリアンプ２３
を介して切換スイッチ２６（選択手段）のスイッチＳＷ
₁に接続されている。また、前記光電子増倍管２２は、
プリアンプ２４を介して切換スイッチ２６のスイッチＳ
Ｗ₂に接続されている。また、前記光電子増倍管２０
は、プリアンプ２５を介して切換スイッチ２６のスイッ
チＳＷ₃に接続されている。

【００２２】２７は、前記試料室チャンバ６内に配置さ
れた二次電子検出器であり、この二次電子検出器２７
は、光電子増倍管２８、プリアンプ２９を介して切換ス
イッチ２６のスイッチＳＷ₄に接続されている。

【００２３】これらのスイッチＳＷ₁〜ＳＷ₄は加算アン
プ３０に接続されており、この加算アンプ３０のゲイン
は、ゲイン可変手段３１により変えられるように構成さ
れている。ゲイン可変手段３１は、加算アンプ３０に並
列接続された抵抗Ｒ₁と、この接続をオンオフするゲイ
ン切換スイッチ３２のスイッチＳＷ₅と、加算アンプ３
０に並列接続された抵抗Ｒ₂と、この接続をオンオフす
るゲイン切換スイッチ３２のスイッチＳＷ₆で構成され
ている。

【００２４】そして、加算アンプ３０の出力は、表示制
御手段３３に入力されるように構成されており、この表
示制御手段３３は、複合ＣＬ像表示制御部３４を備えて
いる。また、表示制御手段３３は、カラーディスプレイ
３５と、キーボードやマウスなどから成る指示手段３６
と、スイッチ制御手段３７に接続されている。スイッチ
制御手段３７は、切換スイッチ２６とゲイン切換スイッ
チ３２を制御するものである。

【００２５】なお、前記鏡筒１の内部と試料室７は、図
示しない排気装置により排気されている。

【００２６】以上、図１の装置構成について説明した
が、次に、このような装置の動作説明を行う。

【００２７】まず、赤色光のカソードルミネッセンス像
を、カラーディスプレイ３５の画面上に表示させる場合
について説明する。

【００２８】その場合、オペレータは、赤色光のカソー
ドルミネッセンス像表示の指示を、指示手段３６により
行う。この指示が行われると、表示制御手段３３は、図
２に示すように、切換スイッチ２６についてはＳＷ₁
のみをオンとし、ゲイン切換スイッチ３２についてはＳ
Ｗ₅をオンとするための信号をスイッチ制御手段３７に
送る。この信号を受け取ったスイッチ制御手段３７は、
ＳＷ₁とＳＷ₅をオンし、その他のＳＷをオフする。

【００２９】さらに、表示制御手段３３は、電子光学系
側にカソードルミネッセンス像取得開始の指示を行う。
すると、電子銃２から電子線が射出され、その電子線は
集束レンズ３と対物レンズ５により細く絞られて、試料
ステージ８にセットされた試料９を照射する。そして、
その集束された電子線は偏向器４により偏向されて、電
子線は試料９上を二次元的に走査する。

【００３０】この電子線励起で試料９の各電子線照射点
から発生したＣＬ光は、集光ミラー１０で集光されてＣ
Ｌ光通過窓１１を通ってダイクロイックミラー１２に入
射する。ダイクロイックミラー１２は、上述したよう
に、入射したＣＬ光を赤色光、緑色光、青色光に分離す
る。

【００３１】そして、前記光電子増倍管２１に入射した
赤色光、前記光電子増倍管２２に入射した緑色光、およ
び前記光電子増倍管２０に入射した青色光は、それぞれ
の光電子増倍管において電流に変換されかつ増倍作用を
受ける。

【００３２】その後、光電子増倍管２１からの電流（赤
色の信号）はプリアンプ２３で増幅され、プリアンプ２
３の出力信号ＣＬ_RはＳＷ₁に送られる。また、光電子増
倍管２２からの電流（緑色の信号）はプリアンプ２４で
増幅され、プリアンプ２４の出力信号ＣＬ_GはＳＷ₂に送
られる。また、光電子増倍管２０からの電流（青色の信
号）はプリアンプ２５で増幅され、プリアンプ２５の出
力信号ＣＬ_BはＳＷ₃に送られる。

【００３３】また、電子線励起で試料９の各電子線照射
点から二次電子が発生するが、この二次電子は、二次電
子検出器２７の蛍光面に入射して光に変換される。その
後、この光は、光電子増倍管２８において電流に変換さ
れかつ増倍作用を受ける。そして、光電子増倍管２８か
らの電流はプリアンプ２９で増幅され、プリアンプ２９
の出力信号ＳＥＩはＳＷ₄に送られる。

【００３４】さて、現在、切換スイッチ２６のＳＷ₁だ
けがオンとなっているので、プリアンプ２３が出力する
赤色信号ＣＬ_Rのみが加算アンプ３０に送られる。加算
アンプ３０は、その赤色信号ＣＬ_Rを増幅率γ₁で増幅し
て表示制御手段３３に送る。

【００３５】そして、表示制御手段３３は、加算アンプ
３０から送られてくる信号、すなわち試料から発生した
赤色光の強度信号と、前記偏向器４に与えられる電子線
偏向信号に基づいて、赤色光のカソードルミネッセンス
像をカラーディスプレイ３５の画面上に表示させる。こ
の像は赤で表示され、その像の各画素の輝度は、試料の
各電子線照射点から発生した赤色光の強度に対応してい
る。

【００３６】以上、赤色光のカソードルミネッセンス像
を表示させる場合について説明したが、図２に示す
ように切換スイッチ２６およびゲイン切換スイッチ３２
を制御して装置を動作させれば、緑色光や青色光のカソ
ードルミネッセンス像をカラーディスプレイ３５の画面
上に表示させることができる。この場合にも、緑色光の
カソードルミネッセンス像は緑で表示され、また、青色
光のカソードルミネッセンス像は青で表示され、それら
の像の各画素の輝度は、試料の各電子線照射点から発生
した緑色光または青色光の強度に対応している。

【００３７】このように、図１の装置においては、切換
スイッチ２６の各スイッチを切り換えれば、きわめて短
時間で、それまで表示されていたカソードルミネッセン
ス像とは異なる色光のカソードルミネッセンス像を表示
させることができる。

【００３８】次に、図１の装置において、単色光のカソ
ードルミネッセンス像と二次電子像の複合像を表示させ
る場合について説明する。

【００３９】まず、赤色光のカソードルミネッセンス像
と二次電子像の複合像を、カラーディスプレイ３５の画
面上に表示させる場合について説明する。

【００４０】その場合、オペレータは、その複合像表示
の指示を、指示手段３６により行う。この指示が行われ
ると、表示制御手段３３は、図３に示すように、切換
スイッチ２６についてはＳＷ₁とＳＷ₄をオンとし、ゲイ
ン切換スイッチ３２についてはＳＷ₆をオンとするため
の信号をスイッチ制御手段３７に送る。この信号を受け
取ったスイッチ制御手段３７は、ＳＷ₁とＳＷ₄とＳＷ₆
をオンし、その他のＳＷをオフする。

【００４１】さらに、表示制御手段３３は、前記同様、
電子光学系側にカソードルミネッセンス像取得開始の指
示を行う。この結果、集束された電子線は偏向器４によ
り偏向されて、電子線は試料９上を二次元的に走査す
る。そして、前記同様、各プリアンプの出力信号は各ス
イッチＳＷ₁〜ＳＷ₄に送られる。

【００４２】さて、現在、切換スイッチ２６のＳＷ₁と
ＳＷ₄がオンとなっているので、プリアンプ２３が出力
する赤色信号ＣＬ_Rと、プリアンプ２９が出力する信号
ＳＥＩが加算アンプ３０に送られる。加算アンプ３０
は、それらの信号を加算し、その加算後の信号を増幅率
γ₂で増幅して表示制御手段３３に送る。この増幅率γ₂
は前記増幅率γ₁の１／２に設定されているので、加算
アンプ３０の出力信号レベルは、１つの信号が切換スイ
ッチ２６で選択された時とほぼ同じに保たれる。

【００４３】そして、表示制御手段３３は、加算アンプ
３０から送られてくる信号、すなわち、試料から発生し
た赤色光の強度信号と二次電子信号の加算信号と、前記
偏向器４に与えられる電子線偏向信号に基づいて、赤色
光のカソードルミネッセンス像と二次電子像の複合像を
モノクロでカラーディスプレイ３５の画面上に表示させ
る。

【００４４】以上、赤色光のカソードルミネッセンス像
と二次電子像の複合像を表示させる場合について説明し
たが、図３に示すように切換スイッチ２６およびゲ
イン切換スイッチ３２を制御して装置を動作させれば、
緑色光のカソードルミネッセンス像と二次電子像の複合
像や、青色光のカソードルミネッセンス像と二次電子像
の複合像をカラーディスプレイ３５の画面上に表示させ
ることができる。

【００４５】また、それらの複合像を順に切り換えて表
示させれば、きわめて短時間で、それまで表示されてい
た複合像とは異なる複合像を表示させることができる。

【００４６】次に、図１の装置において、各単色光のカ
ソードルミネッセンス像の複合像を表示させる場合につ
いて説明する。

【００４７】その場合、オペレータは、たとえば、赤色
光のカソードルミネッセンス像と、緑色光のカソードル
ミネッセンス像と、青色光のカソードルミネッセンス像
の複合像表示の指示を、指示手段３６により行う。この
指示が行われると、表示制御手段３３は、まず図２に
示すように、切換スイッチ２６についてはＳＷ₁のみを
オンとし、ゲイン切換スイッチ３２についてはＳＷ₅を
オンとするための信号をスイッチ制御手段３７に送る。
この信号を受け取ったスイッチ制御手段３７は、ＳＷ₁
とＳＷ₅をオンし、その他のＳＷをオフする。

【００４８】さらに、表示制御手段３３は、前記同様、
電子光学系側にカソードルミネッセンス像取得開始の指
示を行う。この結果、集束された電子線は偏向器４によ
り偏向されて、電子線は試料９上を二次元的に走査す
る。そして、前記同様、各プリアンプの出力信号は各ス
イッチＳＷ₁〜ＳＷ₄に送られる。

【００４９】現在、切換スイッチ２６のＳＷ₁のみがオ
ンとなっているので、プリアンプ２３が出力する赤色信
号ＣＬ_Rだけが加算アンプ３０に送られる。加算アンプ
３０は、その信号を前記増幅率γ₁で増幅して表示制御
手段３３に送る。すると、表示制御手段３３の複合ＣＬ
像表示制御部３４は、前記偏向器４に与えられる電子線
偏向信号に基づき、試料上の各電子線照射位置に対応さ
せて、加算アンプ３０から送られてくる赤色光の強度信
号を記憶する。

【００５０】次に、表示制御手段３３は、図２に示す
ように、切換スイッチ２６についてはＳＷ₂のみをオン
とし、ゲイン切換スイッチ３２についてはＳＷ₅をオン
とするための信号をスイッチ制御手段３７に送る。この
信号を受け取ったスイッチ制御手段３７は、ＳＷ₂とＳ
Ｗ₅をオンし、その他のＳＷをオフする。

【００５１】さらに、表示制御手段３３は、前記同様、
電子光学系側にカソードルミネッセンス像取得開始の指
示を行う。この結果、集束された電子線は偏向器４によ
り偏向されて、電子線は試料９上を二次元的に走査す
る。そして、前記同様、各プリアンプの出力信号は各ス
イッチＳＷ₁〜ＳＷ₄に送られる。

【００５２】そして、プリアンプ２４が出力する緑色信
号ＣＬ_Gだけが加算アンプ３０に送られる。加算アンプ
３０は、その信号を前記増幅率γ₁で増幅して表示制御
手段３３に送る。表示制御手段３３の複合ＣＬ像表示制
御部３４は、前記偏向器４に与えられる電子線偏向信号
に基づき、試料上の各電子線照射位置に対応させて、加
算アンプ３０から送られてくる緑色光の強度信号を記憶
する。

【００５３】次に、表示制御手段３３は、図２に示す
ように、切換スイッチ２６についてはＳＷ₃のみをオン
とし、ゲイン切換スイッチ３２についてはＳＷ₅をオン
とするための信号をスイッチ制御手段３７に送る。この
信号を受け取ったスイッチ制御手段３７は、ＳＷ₃とＳ
Ｗ₅をオンし、その他のＳＷをオフする。

【００５４】さらに、表示制御手段３３は、前記同様、
電子光学系側にカソードルミネッセンス像取得開始の指
示を行う。この結果、集束された電子線は偏向器４によ
り偏向されて、電子線は試料９上を二次元的に走査す
る。そして、前記同様、各プリアンプの出力信号は各ス
イッチＳＷ₁〜ＳＷ₄に送られる。

【００５５】そして、プリアンプ２５が出力する青色信
号ＣＬ_Bだけが加算アンプ３０に送られる。加算アンプ
３０は、その信号を前記増幅率γ₁で増幅して表示制御
手段３３に送る。表示制御手段３３の複合ＣＬ像表示制
御部３４は、前記偏向器４に与えられる電子線偏向信号
に基づき、試料上の各電子線照射位置に対応させて、加
算アンプ３０から送られてくる青色光の強度信号を記憶
する。

【００５６】このようにして、複合ＣＬ像表示制御部３
４は各単色光の強度信号を記憶すると、各電子線照射位
置毎に、各単色光の強度信号に基づいてカラーを割り当
てる。そして、複合ＣＬ像表示制御部３４は、そのカラ
ーの割り当ての結果に基づき、各単色光のカソードルミ
ネッセンス像を１つの像としてカラーでカラーディスプ
レイ３５の画面上に合成表示させる。

【００５７】この際、そのＣＬ像の複合像のとなりに二
次電子像を表示させれば、試料の形態と対応させて試料
の発光分布を把握することができる。

【００５８】以上、図１の装置について説明したが、本
発明はこの例に限定されるものではない。

【００５９】たとえば、上記例では、単色光のカソード
ルミネッセンス像がカラーで表示されるが、これをモノ
クロで表示するようにしても良い。

【００６０】また、上記例では、カソードルミネッセン
ス像と二次電子像の複合像が表示されるが、反射電子検
出器の出力信号を前記切換スイッチ２６のＳＷ₄に供給
するようにして、選択されたカソードルミネッセンス像
と反射電子像の複合像を表示させるようにしても良い。

【００６１】また、上記例では、各単色光のカソードル
ミネッセンス像の複合像を表示させる場合、切換スイッ
チ２６を順に切り換えて各単色光の強度信号を複合ＣＬ
像表示制御部３４に順に取り込んでいる。これを、各プ
リアンプ２３〜２５の出力信号を直接表示制御手段３３
に供給するようにして、複合ＣＬ像表示制御部３４がそ
れらの信号を同時に記憶し、その後、表示レベルの調整
をして、１つの複合像を表示するようにしても良い。

【００６２】また、上記例では、加算アンプ３０への入
力信号の数に応じて、加算アンプのゲインを調整するよ
うにしているが、たとえば加算アンプ３０への入力が２
入力のときには、あらかじめそれぞれの信号を１／２倍
とゲイン調整してから加算アンプに供給するようにして
も良い。そのようにすれば、加算アンプのゲインを調整
する必要はない。

【００６３】また、上記例では、電子線を試料上で二次
元的に走査させているが、試料ステージを二次元的に走
査させるようにしても良い。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のカソードルミネッセンス分光装置の
一例を示した図である。

【図２】図１の装置において、各単色光のカソードル
ミネッセンス像を得るときの、切換スイッチ２６および
ゲイン切換スイッチ３２の動作を説明するために示した
図である。

【図３】図１の装置において、各単色光のカソードル
ミネッセンス像と二次電子像の複合像を得るときの、切
換スイッチ２６およびゲイン切換スイッチ３２の動作を
説明するために示した図である。

【符号の説明】

１…鏡筒、２…電子銃、３…集束レンズ、４…偏向器、
５…対物レンズ、６…試料室チャンバ、７…試料室、８
…試料ステージ、９…試料、１０…集光ミラー、１１…
ＣＬ光通過窓、１２…ダイクロイックミラー、１３…第
１プリズム、１４…青反射フィルタ、１５、１８、１９
…トリミングフィルタ、１６…赤反射フィルタ、１７…
第２プリズム、２０、２１、２２、２８…光電子増倍
管、２３、２４、２５、２９…プリアンプ、２６…切換
スイッチ、２７…二次電子検出器、３０…加算アンプ、
３１…ゲイン可変手段、３２…ゲイン切換スイッチ、３
３…表示制御手段、３４…複合ＣＬ像表示制御部、３５
…カラーディスプレイ、３６…指示手段、３７…スイッ
チ制御手段

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】試料に電子線を照射して、電子線または
試料を二次元的に走査し、その電子線照射により試料か
ら発生した光を検出し、その検出した光に基づいてカソ
ードルミネッセンス像を表示するようにしたカソードル
ミネッセンス分光装置において、電子線照射により試料
から発生した光を色別に分離して検出し、色信号として
出力する光分離手段と、その光分離手段が出力する色信
号のうち、特定の色信号を選択して出力する選択手段
と、その選択手段の出力に基づいて、前記選択された色
光に関するカソードルミネッセンス像を表示させる手段
を備えたことを特徴とするカソードルミネッセンス分光
装置。
【請求項２】試料に電子線を照射して、電子線または
試料を二次元的に走査し、その電子線照射により試料か
ら発生した光を検出し、その検出した光に基づいてカソ
ードルミネッセンス像を表示するようにしたカソードル
ミネッセンス分光装置において、電子線照射により試料
から発生した光を色別に分離して検出し、色信号として
出力する光分離手段と、その光分離手段が出力する色信
号のうち、特定の色信号を選択して出力する選択手段
と、前記電子線照射により試料から発生した二次電子を
検出するための二次電子検出手段と、その二次電子検出
手段の出力信号と前記選択手段の出力信号を加算する加
算手段と、その加算手段の出力に基づいて、前記選択さ
れた色光に関するカソードルミネッセンス像と二次電子
像の複合像を表示させる手段を備えたことを特徴とする
カソードルミネッセンス分光装置。
【請求項３】試料に電子線を照射して、電子線または
試料を二次元的に走査し、その電子線照射により試料か
ら発生した光を検出し、その検出した光に基づいてカソ
ードルミネッセンス像を表示するようにしたカソードル
ミネッセンス分光装置において、電子線照射により試料
から発生した光を色別に分離して検出し、色信号として
出力する光分離手段と、その光分離手段が出力する色信
号のうち、特定の色信号を選択して出力する選択手段
と、前記電子線照射により試料から発生した反射電子を
検出するための反射電子検出手段と、その反射電子検出
手段の出力信号と前記選択手段の出力信号を加算する加
算手段と、その加算手段の出力に基づいて、前記選択さ
れた色光に関するカソードルミネッセンス像と反射電子
像の複合像を表示させる手段を備えたことを特徴とする
カソードルミネッセンス分光装置。
【請求項４】試料に電子線を照射して、電子線または
試料を二次元的に走査し、その電子線照射により試料か
ら発生した光を検出し、その検出した光に基づいてカソ
ードルミネッセンス像を表示するようにしたカソードル
ミネッセンス分光装置において、電子線照射により試料
から発生した光を色別に分離して検出し、色信号として
出力する光分離手段と、その光分離手段の出力に基づい
て、各色光のカソードルミネッセンス像の複合像を表示
させる手段を備えたことを特徴とするカソードルミネッ
センス分光装置。
【請求項５】前記光分離手段は、試料から発生した光
を赤色光、緑色光、青色光に分離することを特徴とする
請求項１から４の何れかに記載のカソードルミネッセン
ス分光装置。