JP2001172029A

JP2001172029A - 肉薄板状ガラス、肉薄板状ガラスの製造方法および肉薄板状ガラス用成形型

Info

Publication number: JP2001172029A
Application number: JP35628099A
Authority: JP
Inventors: Kazufumi Nakano; 和史中野; Haruyuki Suzuki; 晴之鈴木; Tsutomu Yamagiwa; 勉山極
Original assignee: Asahi Techno Glass Corp
Current assignee: AGC Techno Glass Co Ltd
Priority date: 1999-12-15
Filing date: 1999-12-15
Publication date: 2001-06-26

Abstract

(57)【要約】【課題】肉薄板状ガラスをダイレクトプレスによって
製造する際に、成形後の肉薄板状ガラスと成形型との離
型性が良好で、しかも板状ガラスの反りが防止された肉
薄板状ガラスの製造方法、およびそれに用いる成形型を
提供する。【解決手段】溶融ガラスを加圧成形して肉薄板状ガラ
スを製造する際に、成形型として、上型および下型がそ
れぞれ算術平均粗さＲａが５０μｍを超え１００μｍ以
下の成形面を有し、該成形面に耐熱性離型材粉末を含有
する離型材層をあらかじめ形成したものを用い、成形型
を加熱昇温し、溶融ガラス塊を前記成形型に供給し加圧
して薄板状ガラスに成形し、加圧成形後の前記肉薄板状
ガラスと成形型とを冷却し、薄板状ガラスを成形型から
取り出す。冷却の段階では、超音波を印加することが好
ましく、また、冷媒を用いて成形型を冷却することが好
ましい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、肉薄板状ガラスと
その製造方法、および肉薄板状ガラスの製造成形に用い
る成形型に関する。

【０００２】

【従来の技術】磁気ディスクなどの記録媒体に用いられ
るガラス基板の製造には、溶融ガラスを適当なサイズに
切断して溶融ガラス塊として成形型に供給し、これを成
形型にて直接プレス成形する方法、即ち、ダイレクトプ
レス法が用いられている。最近では、成形後の研磨工程
での研磨量をできるだけ少なくして工程の短縮を図るた
めに、できるだけ板厚が薄く、しかも反りのない板状ガ
ラス成形体が要求されるようになった。

【０００３】ガラス塊を肉薄板状にプレス成形して、３
ｍｍ以下、例えば２ｍｍ、１ｍｍといった肉薄にするた
めには、溶融ガラスの温度や成形型の温度を比較的に高
温にしたり、成形圧力を高めたりして、ガラスを外周方
向までよく引き延ばす必要がある。ところがガラスをよ
く引き伸ばすために、溶融ガラス塊や成形型の温度を高
めたり、成形圧力を高めたりすると、板状に成形された
ガラスが成形型に密着してしまって型から離すことがで
きず、板状ガラスの取り出しが困難になるという問題が
あった。また、板状に成形するガラスの肉厚が薄くなる
と、製造工程におけるガラスの上下面の間に加わる応力
の差や温度の差によって、反りが生じるという問題があ
った。

【０００４】肉薄板状ガラスの製造におけるこのような
問題のうち、板状ガラスの離型性に関しては、特開平10
- 194756号公報に、離型材を気体とともに噴射して成形
型に付着させることによって、離型性を向上させる方法
が記載されている。この発明により、離型材を成形型に
付着させれば離型性がよくなるものの、離型材を均一に
付けることが難しいという問題点があり、また離型性を
十分に得ようとして離型材を成形型に多く付着させる
と、離型材の肉薄板状ガラスへの付着が多くなり、後の
研磨工程に悪影響を及ぼすという問題があった。しかも
板状ガラスが薄い場合には、工程中での反り発生を防ぐ
ことが離型性の問題と合わせて重要な問題であるが、こ
の公知文献にはその解決について、何ら示唆が見出され
ない。このため、この公知文献の方法は、肉薄板状ガラ
スの製造において当面する問題点に解決を与えるもので
はない。

【０００５】ダイレクトプレス法によって製造する板状
ガラスにおける、工程中での反りの発生の防止について
は、特開平10-194763 号公報に記載があり、成形型の成
形面の表面粗さをO.５〜５O μｍにすることが有効であ
ることが示されている。ところが、この方法は肉薄板状
ガラスの場合に離型性を得るという課題に対して何ら解
決を与えていない。そして実際にこの公知文献に記載の
表面粗さと上記特開平10- 194756号公報の記載の離型材
付着とを組み合わせても、安定して満足な離型性を得る
ことができないことがわかった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、こうした課
題を解決するためになされたもので、肉薄板状ガラスの
製造の際に、板状ガラスと成形型の成形面との離型性が
良好であり、しかも板状ガラスの反り発生が防止された
肉薄板状ガラスの製造方法、およびそれに用いる肉薄板
状ガラス成形用成形型を提供するものである。

【０００７】

【発明を解決するための手段】本発明の肉薄板状ガラス
は、上型と下型とを備え、算術平均粗さＲａが５０μｍ
を超え１００μｍ以下の成形面を有する成形型により成
形され、主表面の算術平均粗さが１５μｍ以上、８０μ
ｍ以下であって、成形型からの離型性を有することを特
徴とするものである。

【０００８】本発明により、算術平均粗さＲａが５０μ
ｍを超え１００μｍ以下の成形面を有する上型および下
型の成形型により、肉薄板状ガラスを成形して、その主
表面の算術平均粗さＲａを１５μｍ以上、８０μｍ以下
にすることによって、成形型からの離型性の良好な肉薄
板状ガラスを得ることが可能である。ここで成形型の成
形面の算術平均粗さＲａは５０μｍを超え８０μｍ以下
であることがさらに好ましく、また成形される肉薄板状
ガラス主表面のＲａは２０μｍ以上、６０μｍ以下であ
ることがさらに好ましい。

【０００９】また、本発明の肉薄板状ガラスの製造方法
は、溶融ガラスを加圧成形して肉薄板状ガラスを製造す
る方法において、上型と下型とを備え、算術平均粗さＲ
ａが５０μｍを超え１００μｍ以下の成形面を有する成
形型の前記成形面に耐熱離型材を含む離型材層を形成す
る工程と、前記成形型に溶融ガラス塊を供給する工程
と、前記成形型により、前記溶融ガラス塊を加圧成形し
て肉薄板状ガラスにする工程と、加圧成形された前記肉
薄板状ガラスと成形型とを冷却する工程と、前記薄板状
ガラスを成形型から取り出す工程とを備えたことを特徴
とするものである。

【００１０】成形型の成形面の算術平均粗さＲａを５０
μｍを超え１００μｍ以下とし、この成形面に耐熱性離
型材粉末を含有する離型材層を形成する本発明の肉薄板
状ガラスの製造方法によれば、離型材がよく成形面に付
着して、離型材層を成形面に均一に付着形成することが
可能であり、これによって肉薄板状ガラスの離型性を良
好にするともに、加圧成形工程で生じる板状ガラスの反
りの発生を防ぐことが可能である。ここで成形型の成形
面の算術平均粗さＲａは５０μｍを超え８０μｍ以下で
あることがさらに好ましい。

【００１１】本発明において、成形型の成形面の離型材
塗布は、加圧成形の工程を開始する前に、あらかじめ十
分に行っておくことが好ましく、また製造工程中に離型
材を塗布する工程を設けてもよい。加圧成形の工程を開
始する前に、十分に離型材塗布を行った上で、製造工程
中に失われる分を補う形で離型材を塗布する工程を設け
ることによって、離型材層を長期間維持することができ
る。

【００１２】本発明の肉薄板状ガラスの製造方法におい
て、前記離型材層の耐熱性離型材粉末は、平均粒径５μ
ｍ未満で比表面積が１０ｍ²／ｇ以上の粉末とすること
が好ましい。このような耐熱性離型材粉末を用いること
により、離型材層を均一形成して十分な離型性を得ると
共に、研磨工程において傷が発生するなどの付着離型材
粒子によるトラブルを未然に回避することができる。こ
こで離型材層の耐熱性離型材粉末は、平均粒径３μｍ未
満で比表面積が２５ｍ²／ｇ以上の粉末とすることがさ
らに好ましい。

【００１３】本発明の肉薄板状ガラスの製造方法におい
ては、前記加圧成形後の前記薄板状ガラスと前記成形型
とを冷却する際に、前記成形型に超音波振動の印加を行
うことが好ましい。こうすることによって離型性をさら
に改善することができる。

【００１４】また本願発明の肉薄板状ガラスの製造方法
は、上記の方法により、板状ガラスの表面の算術平均粗
さＲａを１５μｍ以上８０μｍ以下にすることを特徴と
するものである。成形型の成形面のＲａを上記のように
することにより、成形圧と成形温度を調整してガラス面
のＲａを上記の範囲にすることが可能となる。こうする
ことにより、例えば磁気ディスク用ガラス基板に用いる
場合の研磨工程に好適な薄板状ガラス提供することがで
きる。

【００１５】また本発明の肉薄板状ガラスの製造方法
は、溶融ガラスを加圧成形して肉薄板状ガラスを製造す
る方法において、上型と下型とを備え成形面を有する成
形型に溶融ガラス塊を供給する工程と、前記成形型によ
り、前記溶融ガラス塊を加圧成形して肉薄板状ガラスに
する工程と、加圧成形された前記肉薄板状ガラスと成形
型とを冷却する工程と、前記成形型に超音波振動の印加
を行う工程と、前記薄板状ガラスを成形型から取り出す
工程とを備えたことを特徴とするものである。本発明の
肉薄板状ガラスの製造方法においては、超音波振動のエ
ネルギーによって、ガラスと成形型との離型性を促進す
ることができる。

【００１６】本発明の肉薄板状ガラスの製造方法におい
ては、冷却に際し、成形型を冷媒によって冷却すること
がさらに好ましい。そして冷媒としては、水素、ヘリウ
ム、窒素、酸素、空気、メタンなどを液化した液化ガ
ス、またはこれら液化ガスから得られる低温気体または
高圧で圧縮された気体を膨張させて得られる低温気体を
好ましく用いることができる。このような冷却手段を用
いて適度な冷却速度で均一な冷却を行うことによって、
板状ガラスの反りや損傷を防ぎ、しかも離型性を一層向
上させることができる。

【００１７】液化ガスを冷媒として用いる場合には、液
化ガスと他の気体とを熱的に接触させて、液化ガスの蒸
発熱によって冷却された気体、あるいはこれと液化ガス
の気化により生じた気体との混合物の気体によって成形
型を冷却してもよい。なお、上記において、水素、メタ
ンや酸素など、反応性の気体となる冷媒を用いる場合に
は、冷媒の供給から回収までの冷媒の通路を整えて、反
応性の気体が途中で漏れないようにすればよい。

【００１８】また本発明の肉薄板状ガラス成形用成形型
は、上型および下型がそれぞれ算術平均粗さＲａが５０
μｍを超え１００μｍ以下の成形面を有し、該成形面に
耐熱性離型材粉末を含有する離型材層を形成してなるこ
とを特徴とするものである。成形面の表面性をこのよう
にすることによって、離型材層を成形面に均一に付着形
成することが可能になり、肉薄板状ガラスの離型性を良
好にすると共に、工程で生じる板状ガラスの反りの発生
を防ぐことが可能になった。ここで成形型の成形面の算
術平均粗さＲａは５０μｍを超え８０μｍ以下であるこ
とがさらに好ましい。

【００１９】本発明の肉薄板状ガラス成形用成形型にお
いては、前記成形面に形成された離型材層の耐熱性離型
材粉末が、平均粒径５μｍ未満で比表面積が１０ｍ²／
ｇ以上の粉末であることが好ましい。そして離型材層の
耐熱性離型材粉末は、平均粒径３μｍ未満で比表面積が
２５ｍ²／ｇ以上の粉末であることがさらに好ましい。
また本発明の肉薄板状ガラス成形用成形型は、下型に超
音波振動機構を備えることが好ましい。さらに、これら
の本発明の肉薄板状ガラス成形用成形型は、冷媒によっ
て冷却する冷却機構を有することが好ましい。

【００２０】

【発明の実施の形態】次に本発明を、発明の実施の形態
に基づいて具体的に説明する。

【００２１】本発明に用いる成形型は、例えば図１に模
式的断面図で示したように、受け成形型即ち下型１と、
対向成形型即ち上型２とを有している。図１において、
３は下型の成形面、４は上型の成形面である。これらの
成形型は金属で構成されたもの、即ち金型を好ましく用
いることができる。

【００２２】本発明の成形型においては、溶融ガラス塊
（ゴブ）を直接加圧成形する成形面の部分の表面粗さを
算術平均粗さＲａで５０μｍを超え１００μｍ以下とな
るように加工処理されている。成形面の表面粗さが５０
μｍ未満では、次に述べる離型材の付着面積が不足する
などして、成形された肉薄板状ガラスを取り出す際の離
形性が不足してしまう。また１００μｍより粗いと、溶
融ガラスを薄く延ばし肉薄板状に成形する際に十分に延
ばせないという問題が生じる。そして成形面の表面粗さ
はＲａで５０μｍを超え８０μｍ以下であることがさら
に好ましい。

【００２３】上記成形型の成形面には、あらかじめ図２
に模式的断面図で示したように、耐熱性の離型材粉末の
離型材層５を設けておく。離型材層５は、離型材を分散
した液を吹き付けなどの塗布をすることによって形成す
ることができる。このときの成形面は、成形型が成形さ
れた板状ガラスを取り出した後の余熱を有する状態の程
度に、加熱をしておくことが好ましい。こうすることに
よって、離型材を成形面によく付着させることができ
る。吹き付け塗布は少しずつ行っては乾燥させることを
繰り返すことが好ましく、例えばこれを１２０回程度繰
り返しておくことが好ましい。成形面は上記のように表
面を粗く加工仕上げしているため、離型材層をむらな
く、かつ安定に形成することができる。離型材層の厚さ
は、平均値で１０μm 以下であることが好ましく、離型
材層１０μｍの範囲で、離型性が得られる範囲の厚さを
適宜選択することができる。成形型の成形面への離型材
塗布を、製造工程のサイクルにおいて行う場合は、工程
で損失した分を補う程度に、少量の塗布を行うだけでよ
い。

【００２４】ここで用いる離型材としては、高温で変質
したりせず、離型作用を有する材料を選んで用いること
ができ、例えば窒化ホウ素（ＢＮ）を用いることができ
る。また、離型材の粒度としては、長さ平均した平均粒
子径が５μｍ未満で比表面積が１０ｍ²／ｇ以上のもの
を好ましく用いることができる。離型材の平均粒子径が
これより大きいものを用いる場合には、その径はラップ
研磨剤より大きくなるので、ガラスに付着した場合にこ
れを除かずに研磨工程に入ると、キズ発生の原因になる
ため、あらかじめ除かなければならない。

【００２５】本発明において、溶融ガラス塊を加圧成形
する際には、成形型の成形面が加熱される。この場合の
加熱は、溶融ガラスを成形型の成形面に受け入れた際に
溶融ガラスから得た熱によっても加熱されるが、成形面
を前もって加熱しておくことが好ましい。また、溶融ガ
ラスを受け取った後に、ガラス塊を加圧成形に適した温
度になるよう加熱することによって、より良好な加圧成
形を行うことができる。加熱方法については、特に制限
がなく、例えばバーナーの炎による加熱、電気ヒーター
加熱や誘導加熱などを好適に用いることができる。

【００２６】本発明において、溶融ガラス塊は、多量に
溶融したガラスからシャーカッターで適正な大きさに切
断して作ったものを用いることができる。

【００２７】肉薄板状ガラスの加圧成形は、例えば図３
の模式的断面図に示したように、このような溶融ガラス
塊６を下型の成形面３に受け、次いで上型の成形面との
間に挟んで例えば図４の模式的断面図のように加圧して
行う。この加圧を行って肉薄板状ガラスに成形する工程
では、目標とする厚さに成形されるよう、温度と圧力を
調整する。このときの溶融ガラス塊の温度としては、例
えば溶融ガラスの粘度が１０〜１００Pa・s の範囲ので
きるだけ一定の値となるように調整することが好まし
い。

【００２８】加圧成形を行った肉薄板状ガラスは、冷却
した後に成形型から取り出す。ここで肉薄板状ガラスの
冷却の場合には、ガラス両面の温度ができるだけ等し
く、しかもガラス面全体に亘って温度の均一性を保ちな
がら冷却を行うことが要求される。こうすることによっ
て、肉薄板状ガラスの反りや変形を防止することができ
る。本発明においては、成形型に超音波振動を与える
こと、特に下型に超音波振動を与えることによって、さ
らに離型性の改善を得ることができる。超音波振動を与
えるには、図５の模式的断面図に示すように、成形型の
下型１に加振器７の加振端８を取りつけて、これを励振
源９によって励振することによって行うことができる。

【００２９】本発明において、成形型の冷却は自然冷却
であってもよいが、冷媒を用いて冷却を制御することに
よって、離型性を改善することができる。この場合に冷
媒の供給量を調整することにより、冷却プログラムのよ
く制御された成形型の成形面冷却を行うことができ、そ
れによって反りの発生についても防止をすることができ
る。冷却を制御するには、図６に示したように、例えば
成形型の内部に冷媒を通す冷媒空間１０を設け、ここに
冷媒供給手段（図示せず）から供給される冷媒１１を通
すことによって冷却することができる。ここで用いる冷
媒１１としては、空気などの気体や水（噴霧）などを用
いることもできるが、例えば熱交換器を通したり、液化
ガスまたは高圧ガスを供給源とするなどして得られる低
温気体、液化ガスを用いると、適度の冷却が得られて制
御性がよくなることから、本発明において特に好まし
い。

【００３０】このようにして離型性が改善されれば、従
来は離型性が得られず困難であった、より高い温度での
加圧成形が可能になり、肉薄板状ガラスの成形が容易に
なる。また、より高い温度での成形は、反りを防ぐ観点
からも有利となる。

【００３１】さらに、このような製造方法によって肉薄
板状ガラスを製造して、製造されたガラスの表面をＲａ
を１５μｍ以上８０μｍ以下にすることが好ましい。ガ
ラスの表面のＲａが１５μｍ未満では、表面粗さが小さ
すぎてプランジャーとリング部、または、成形型にもぐ
り込んだガラスのバリと製造されたガラスの表面との接
触面が多くなるので、一旦ガラス表面に付着したバリは
取れにくくなるために、後工程でガラスのチッピング発
生の原因になり易く、このチッピングがラッピング工程
でキズの発生原因となる。またガラスの表面粗さが８０
μｍを超えると、凸起の部分が大きくなり、ガラスを重
ねた場合に輪送中の振動や取り扱い作業時に欠けたりし
て、これもラッピング工程での不良原因となる。製造さ
れた肉薄板状ガラスの表面のＲａは、２０μｍ以上６０
μｍ以下であることがさらに好ましい。このような肉
薄板状ガラスの表面性は、上記Ｒａの成形面を用いて加
圧成形を行い、成形圧力と溶融温度を調整することによ
って得ることができる。ここに溶融したガラスは成形面
の凹凸に対して凹部の奥まで到達せず、製造されたガラ
スの表面のＲａは、成形型の成形面のＲａよりも小さく
なり、成形圧力と温度の調整によって、成形されたガラ
スの表面のＲａを上記の値の範囲に制御することができ
る。

【００３２】次に本発明の実施例を述べる。

【００３３】（実施例１〜３、比較例）図７は、離型材
を成形型の成形面に噴霧状に噴射して塗布する塗布装置
について示した模式的断面図である。この噴射装置１２
では、離型材分散液１３として、４０質量％の窒化ホウ
素（ＢＮ）を耐熱油（耐熱性シリコーン油）に分散させ
たものを用いた。噴射装置１２の本体には空気の流入パ
イプ１３と攪拌羽根１４をタンク１５内に挿入し、タン
ク１５内を常時５kg /ｃｍ²にしておき、シーケンサ
（図示せず）によって一定時間間隔で弁が開閉し、装置
のスプレーチップ１６から溶液が噴霧状に噴出するしく
みとした。こうすることによって、Ｒａが７０μｍの粗
さに加工された成形型（金型）に離型材を付着させ、離
型材層を形成することができた。なお、離型材の付着量
については、溶融ガラス塊に合わせて調整して適正量を
定めた。

【００３４】ここで離型材としては信越化学株式会社製
の窒化ホウ素粉末、平均粒径４μmで比表面積１５ｍ²/
gのもの、平均粒径３μm で比表面積２０ｍ²/gのも
の、および平均粒径２μm で比表面積２７ｍ²/gのもの
を使用した。また、比較例として平均粒径７μm で比表
面積６ｍ²/gのものを試みた。

【００３５】このようにして、離型材を付着させた成形
型を用いて、溶融ガラス塊の加圧成形を行った結果を表
１に示した。なお、ここで使用はしたガラスは、ＳｉＯ
₂、Ａｌ₂Ｏ₃、Ｌｉ₂Ｏ、Ｎａ₂ＯおよびＺｒＯ₂を
主成分とするアルミノシリケートガラスである。

【００３６】表１からわかるように、平均粒径５μm 以
下で比表面積１０ｍ²/g以上の離型材を塗布したもの
は、繰り返しの加圧成形を行っても冷却後のガラスの成
形型からの離型性が良好であり、しかも成形したガラス
はラッピング後のキズ発生がないことがわかった。これ
に対し、比較例の場合は、離型性を保つことのできる加
圧成形回数が大幅に小さくなるとともに、ラッピング後
にキズの発生が見出された。これは比較例の場合には、
離型材粒子の成形面への付着力が小さくて外れやすく、
また外れてガラスに付着した離型材粒子は径がラッピン
グ用粒子よりも大きく、しかもラッピング工程で除去が
困難であったためと考えられる。

【００３７】

【表１】

【００３８】また、成形型の成形面の粗さをＲａで４０
μｍにしたものでは、離型材を安定して十分に付着させ
て離型性を得ることが困難であった。また、成形型の成
形面の粗さをＲａで１２０μｍにしたものでは、離型材
を付着させることはできたが、溶融ガラス塊を加圧成形
して十分に薄くすることが困難であった。

【００３９】（実施例４）図８は、成形型の下型と上型
の成形面を対向させ、この二つの成形面の間で加圧成形
して、肉薄板状ガラスを得る加圧成形機２０を模式的に
示した平面図である。図８において、ターンテーブル２
１上に、図１に示した下型１が１０個、同一円周上に等
間隔に配置されており、その上部には図１の上型２が配
置され、ターンテーブルが１ピッチずつ回転するごと
に、図に示すNo.1からNo.10 までの位置を順に通過して
各工程を経るようになっている。

【００４０】図８において、加圧成形機２０のNo.1位置
でゴブ２を供給し、No.2位置で加熱し、No.3位置で先に
図１で示した上型と下型とを有する成形型で加圧し、肉
薄板状ガラスに成形した。その後No.4，No.5，およびN
o.6位置で自然冷却して、No.7位置で下側成形型４から
分離し、加圧成形機２０から取り出した。この加圧成形
機では、成形型の成形面をＲａが６０μｍとなるように
加工し、あらかじめ平均粒径３μｍ、比表面積２０ｍ²
/gの離型材を有する離型材層を設けたものを用いた。こ
の方式によって、継続的にゴブを供給し、成形された肉
薄板状ガラスを継続的に製造することができた。

【００４１】（実施例５）実施例４に示した加圧成形機
２０において、No.1の位置でのゴブ供給に先立って、N
o.8〜No.10 の位置で、成形型の成形面に離型材を追加
的に塗布する工程を加えたほかは、実施例４と同様の方
法で継続的にゴブを供給し、肉薄板状ガラスを製造し
た。この結果、連続して製造する個数を大幅に伸ばすこ
とができた。

【００４２】（実施例６）実施例４に示した加圧成形機
２０において、図５の模式的断面図に示すように、成形
型の下型１に超音波加振器７を設け、励振源９で励振
し、加振端８によって、図８のNo.6の位置にて加振を行
った。

【００４３】こうすることにより、成形型の成形面の温
度をより高温にしても、成形型の成形面と成形された肉
薄板状ガラスとの分離が容易になったため、ゴブの温度
を上げ、成形型の温度を上げる、あるいは成形圧力を上
げることが可能になり、より薄い板状ガラスを得ること
ができるようになった。

【００４４】（実施例７）実施例４に示した加圧成形機
２０において、先に図６の模式的断面図に示すように、
成形型の下型１の内部に冷却空間１０を設け、冷媒１１
を図６に矢印で示したように流した。ここでは冷媒とし
て液体窒素を蒸発させた低温窒素ガスを用いた冷却を行
った。このようにして成形型を冷却することにより、離
型性がさらに良好になった。これは成形面に適度な収縮
が生じて、その際に発生する微小なせん断力により、成
形型の成形面とブレスされた肉薄板状ガラスとの分離が
助長されているものと考えられる。

【００４５】また、冷媒による冷却を行わない自然冷却
の場合は、成形型の成形面の中心部と中心から３０ｍｍ
の位置での温度差は２O ℃ないし２５℃であったが、加
圧後、成形型の内部の中心部を多く冷却することによ
り、温度差が少なくなり、成形された肉薄板状ガラスの
反りがを小さく抑えられることがわかった。

【００４６】なお、これらの実施例は本発明を例示した
ものに過ぎず、例えば製造する肉薄板状ガラスの組成に
ついても、上記実施例で示したガラス組成はその一例を
示したに過ぎない。上記実施例だけでなく、本発明の請
求項に含まれる各変形例はいずれも本発明に含まれるも
のである。

【００４７】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、製造時
の肉薄板状ガラスの成形型からの離型性が良好であり、
また製造した肉薄板状ガラスの反りを小さくすることが
できる。このため、本発明によれば、磁気ディスク用ガ
ラス基板として好適な肉薄板状ガラスを得ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態における成形型を示す模
式的断面図である。

【図２】本発明の一実施形態における成形型の成形面
を示す模式的断面図である。

【図３】本発明の一実施形態における成形型の下型と
溶融ガラス塊とを示す模式的断面図である。

【図４】本発明の一実施形態における成形型と成形さ
れた肉薄板状ガラスを示す模式的断面図である。

【図５】本発明の一実施形態における超音波励振の機
構を下型に設けた成形型を示す模式的断面図である。

【図６】本発明の一実施形態における冷媒を通す冷媒
空間を下型に設けた成形型を示す模式的断面図である。

【図７】本発明の一実施形態における離型材を成形型
の成形面に噴霧状に噴射して塗布する塗布装置を示す模
式的断面図である。

【図８】本発明の一実施形態におけるターンテーブル
型加圧成形機を示す模式的平面図である。

【符号の説明】

１……受け成形型（下型）、２……対向成形型（上
型）、３……下型の成形面、４……上型の成形
面、５……離型材、６……溶融ガラス塊、７…
…加振器、８……加振端、９……励振源、
１０……冷媒空間、１１……冷媒、１２……離型材
分散液、１３……加圧空気流入パイプ、１４……攪
拌羽根、１５……タンク、１６……スプレーチ
ップ、２０……ターンテーブル型加圧成形機、６０
……肉薄板状ガラス。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者山極勉静岡県榛原郡吉田町川尻3583番地の５旭テクノグラス株式会社内Ｆターム(参考） 5D006 CB04 CB07 DA03 EA00 FA00 5D112 AA02 AA24 BA03 BA10 GB01 GB04

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】上型と下型とを備え、算術平均粗さＲａ
が５０μｍを超え１００μｍ以下の成形面を有する成形
型により成形され、主表面の算術平均粗さが１５μｍ以
上、８０μｍ以下であって、成形型からの離型性を有す
ることを特徴とする肉薄板状ガラス。
【請求項２】溶融ガラスを加圧成形して肉薄板状ガラ
スを製造する方法において、上型と下型とを備え、算術平均粗さＲａが５０μｍを超
え１００μｍ以下の成形面を有する成形型の前記成形面
に耐熱離型材粉末を含む離型材層を形成する工程と、前記成形型に溶融ガラス塊を供給する工程と、前記成形型により、前記溶融ガラス塊を加圧成形して肉
薄板状ガラスにする工程と、加圧成形された前記肉薄板状ガラスと成形型とを冷却す
る工程と、前記薄板状ガラスを成形型から取り出す工程とを備えた
ことを特徴とする肉薄板状ガラスの製造方法。
【請求項３】請求項２記載の肉薄板状ガラスの製造方
法において、前記耐熱性離型材粉末が、平均粒径５μｍ
未満で比表面積が１０ｍ²／ｇ以上の粉末であることを
特徴とする肉薄板状ガラスの製造方法。
【請求項４】請求項２または３記載の肉薄板状ガラス
の製造方法において、前記成形型に超音波振動の印加を
行う工程を有することを特徴とする肉薄板状ガラスの製
造方法。
【請求項５】請求項２ないし４のいずれか１項記載の
肉薄板状ガラスの製造方法を用いて、板状ガラス表面の
算術平均粗さＲａを１５μｍ以上８０μｍ以下にするこ
とを特徴とする肉薄板状ガラスの製造方法。
【請求項６】溶融ガラスを加圧成形して肉薄板状ガラ
スを製造する方法において、上型と下型とを備え成形面を有する成形型に溶融ガラス
塊を供給する工程と、前記成形型により、前記溶融ガラス塊を加圧成形して肉
薄板状ガラスにする工程と、加圧成形された前記肉薄板状ガラスと成形型とを冷却す
る工程と、前記成形型に超音波振動の印加を行う工程と前記薄板状
ガラスを成形型から取り出す工程とを備えたことを特徴
とする肉薄板状ガラスの製造方法。
【請求項７】請求項２ないし６のいずれか１項記載の
肉薄板状ガラスの製造方法において、加圧成形後の前記
薄板状ガラスと前記成形型とを冷却する際に、前記成形
型を冷媒によって冷却することを特徴とする肉薄板状ガ
ラスの製造方法。
【請求項８】請求項７記載の肉薄板状ガラスの製造方
法において、前記冷媒として低温気体または液化ガスを
用いることを特徴とする肉薄板状ガラスの製造方法。
【請求項９】上型および下型とを備え、算術平均粗さ
Ｒａが５０μｍを超え１００μｍ以下の成形面を有し、
該成形面に耐熱性離型材粉末を含有する離型材層を形成
してなることを特徴とする肉薄板状ガラス成形用成形
型。
【請求項１０】請求項９記載の肉薄板状ガラス成形用
成形型の前記成形面に形成された前記離型材層の前記耐
熱性離型材粉末が、平均粒径５μｍ未満で比表面積が１
０ｍ²／ｇ以上の粉末であることを特徴とする肉薄板状
ガラス成形用成形型。
【請求項１１】前記下型に超音波振動機構を備えたこ
とを特徴とする請求項９または１０記載の肉薄板状ガラ
ス成形用成形型。
【請求項１２】冷媒によって冷却する冷却機構を有す
ることを特徴とする請求項９ないし１１のいずれか１項
記載の肉薄状ガラス成形用成形型。
【請求項１３】前記冷媒として低温気体または液化ガ
スを用いることを特徴とする請求項１２記載の肉薄状ガ
ラス成形用成形型。