JP2001168514A - 半田ボールアタッチ方法および半田ボールアタッチシステム - Google Patents
半田ボールアタッチ方法および半田ボールアタッチシステムInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 半田ボールアタッチ設備の設置面積の最小化
及び作業者の働線の短縮により作業者の疲労を減少させ
る半田ボールアタッチ方法および半田ボールアタッチシ
ステムを提供する。 【解決手段】 半田ボールパッドが形成されたベースフ
レームを収納容器からアンロードし、半田ボールパッド
に溶剤を塗布後、半田ボールパッドの対応位置に半田ボ
ールの存在が確認されると半田ボールを半田ボールパッ
ドに移動し、移動された半田ボールの位置を確認する。
ベースフレームを移送し、アンロードされた収納容器を
指定の位置に移送する。ベースフレームを移送し半田ボ
ールパッドに安着された半田ボールを溶融・冷却後、ベ
ースフレームを移送する。ベースフレームを移送し半田
ボールパッドに塗布された溶剤を除去しベースフレーム
を移送し、判定された品質別にベースフレームを分類
し、指定の位置に移送した収納容器にベースフレームを
納める。
及び作業者の働線の短縮により作業者の疲労を減少させ
る半田ボールアタッチ方法および半田ボールアタッチシ
ステムを提供する。 【解決手段】 半田ボールパッドが形成されたベースフ
レームを収納容器からアンロードし、半田ボールパッド
に溶剤を塗布後、半田ボールパッドの対応位置に半田ボ
ールの存在が確認されると半田ボールを半田ボールパッ
ドに移動し、移動された半田ボールの位置を確認する。
ベースフレームを移送し、アンロードされた収納容器を
指定の位置に移送する。ベースフレームを移送し半田ボ
ールパッドに安着された半田ボールを溶融・冷却後、ベ
ースフレームを移送する。ベースフレームを移送し半田
ボールパッドに塗布された溶剤を除去しベースフレーム
を移送し、判定された品質別にベースフレームを分類
し、指定の位置に移送した収納容器にベースフレームを
納める。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半田ボールアタッ
チ方法及び半田ボールアタッチシステムに関し、特に半
田ボールパッドを含むランドパターングループが複数個
形成されたベース基板を収納容器からアンロードして、
半田ボールパッドへの半田ボール安着、半田ボールリフ
ロー、洗浄、収納容器へのロード作業が単一設備内で連
続的になされるようにした半田ボールアタッチ方法及び
半田ボールアタッチシステムに関する。
チ方法及び半田ボールアタッチシステムに関し、特に半
田ボールパッドを含むランドパターングループが複数個
形成されたベース基板を収納容器からアンロードして、
半田ボールパッドへの半田ボール安着、半田ボールリフ
ロー、洗浄、収納容器へのロード作業が単一設備内で連
続的になされるようにした半田ボールアタッチ方法及び
半田ボールアタッチシステムに関する。
【０００２】また、本発明は、半田ボールパッドを含む
ランドパターングループが複数個形成されたベース基板
を収納容器からアンロードして、半田ボールパッドへの
半田ボール安着、半田ボールリフロー、洗浄、収納容器
へのロードの際に、ベース基板の移送経路がループ（lo
op）形状をなしながら半田ボールアタッチ工程が進まれ
るようにすることで、半田ボールアタッチ工程の開始と
終点の位置が近接しているようにして、半田ボールアタ
ッチ工程開始後ベーステープがアンロードして中空の収
納容器に半田ボールアタッチ工程が終了したベーステー
プをロードできるようにした半田ボールアタッチ方法及
び半田ボールアタッチシステムに関する。
ランドパターングループが複数個形成されたベース基板
を収納容器からアンロードして、半田ボールパッドへの
半田ボール安着、半田ボールリフロー、洗浄、収納容器
へのロードの際に、ベース基板の移送経路がループ（lo
op）形状をなしながら半田ボールアタッチ工程が進まれ
るようにすることで、半田ボールアタッチ工程の開始と
終点の位置が近接しているようにして、半田ボールアタ
ッチ工程開始後ベーステープがアンロードして中空の収
納容器に半田ボールアタッチ工程が終了したベーステー
プをロードできるようにした半田ボールアタッチ方法及
び半田ボールアタッチシステムに関する。
【０００３】
【従来の技術】最近、電気、電子、機械産業及び宇宙航
空産業に至るまで産業発達の主なる役割を果たす半導体
製品の技術開発が進行しつつある。このような半導体製
品を製造するには、半導体チップを製造する半導体チッ
プ製造過程、半導体チップと外部機器の信号入出力及び
脆性の高い半導体チップを保護する半導体チップパッケ
ージ工程及びテスト工程などを経ねばならない。
空産業に至るまで産業発達の主なる役割を果たす半導体
製品の技術開発が進行しつつある。このような半導体製
品を製造するには、半導体チップを製造する半導体チッ
プ製造過程、半導体チップと外部機器の信号入出力及び
脆性の高い半導体チップを保護する半導体チップパッケ
ージ工程及びテスト工程などを経ねばならない。
【０００４】実際、半導体チップ作製工程技術の発達及
び精密な半導体チップ製造用工程設備の性能向上のた
め、高集積度の半導体チップが生産されつつある。ま
た、半導体チップパッケージ工程も半導体製品の全体を
小型・薄型化するための半導体パッケージ方法の開発及
び半導体パッケージ製造用工程設備の性能向上のため、
半導体製品の性能向上は勿論、半導体製品の全体を小型
化できる。
び精密な半導体チップ製造用工程設備の性能向上のた
め、高集積度の半導体チップが生産されつつある。ま
た、半導体チップパッケージ工程も半導体製品の全体を
小型・薄型化するための半導体パッケージ方法の開発及
び半導体パッケージ製造用工程設備の性能向上のため、
半導体製品の性能向上は勿論、半導体製品の全体を小型
化できる。
【０００５】特に、入出力端子数の多い高集積の半導体
製品に主に用いられ、外部機器と半導体チップとの信号
入出力がマトリックス状に配列された入出力ピン（I/O
pin）によって行われるPGA（Pin Grid Array）パッケー
ジより取り扱いやすく、大きさも非常に小さくなり半導
体製品の全体が半導体チップの約１２０％に近接するい
わゆる「チップスケールパッケージ（Chip Scale Packa
ge）」でありながら、信号入出力端子としてピンの代わ
りに半田ボール（solder ball）を用いるボールグリッ
ドアレイパッケージ（Ball Grid Array Package）を挙
げることができる。
製品に主に用いられ、外部機器と半導体チップとの信号
入出力がマトリックス状に配列された入出力ピン（I/O
pin）によって行われるPGA（Pin Grid Array）パッケー
ジより取り扱いやすく、大きさも非常に小さくなり半導
体製品の全体が半導体チップの約１２０％に近接するい
わゆる「チップスケールパッケージ（Chip Scale Packa
ge）」でありながら、信号入出力端子としてピンの代わ
りに半田ボール（solder ball）を用いるボールグリッ
ドアレイパッケージ（Ball Grid Array Package）を挙
げることができる。
【０００６】このボールグリッドアレイパッケージは、
両面に回路パターンが形成された印刷回路基板または一
側面に回路パターンが形成されたフレキシブルな基板の
うち、回路パターンのない面に半導体チップをアタッチ
した状態で回路パターンと半導体チップのボンディング
パッドを多様な方法、例えばビームリードボンディング
（beam lead bonding）、ワイヤボンディング（wire bo
nding）等によって電気的に連結させる。
両面に回路パターンが形成された印刷回路基板または一
側面に回路パターンが形成されたフレキシブルな基板の
うち、回路パターンのない面に半導体チップをアタッチ
した状態で回路パターンと半導体チップのボンディング
パッドを多様な方法、例えばビームリードボンディング
（beam lead bonding）、ワイヤボンディング（wire bo
nding）等によって電気的に連結させる。
【０００７】このとき、回路パターンは、「半田ボール
パッド」と呼ばれる回路パターンの一部と連結して半田
ボールパッドを通して外部機器と電気的信号入出力がな
される。この状態から、半導体チップは成形樹脂によっ
て囲まれ外部の衝撃及び外力より保護され、半田ボール
パッドには外部機器と接続させるために半田ボールアタ
ッチ工程により半田ボールをアタッチする。
パッド」と呼ばれる回路パターンの一部と連結して半田
ボールパッドを通して外部機器と電気的信号入出力がな
される。この状態から、半導体チップは成形樹脂によっ
て囲まれ外部の衝撃及び外力より保護され、半田ボール
パッドには外部機器と接続させるために半田ボールアタ
ッチ工程により半田ボールをアタッチする。
【０００８】このとき、半田ボールアタッチ工程は、半
田ボールパッドに水溶性溶剤（flux）を塗布し、フラッ
クスに半田ボールを仮安着させる半田ボール安着工程、
高温の炉（funace）で半田ボールを半田ボールパッドに
融着させてアタッチするリフロー（reflow）工程、及び
水溶性溶剤を除去する洗浄工程に分けられる。
田ボールパッドに水溶性溶剤（flux）を塗布し、フラッ
クスに半田ボールを仮安着させる半田ボール安着工程、
高温の炉（funace）で半田ボールを半田ボールパッドに
融着させてアタッチするリフロー（reflow）工程、及び
水溶性溶剤を除去する洗浄工程に分けられる。
【０００９】各半田ボール安着工程、リフロー工程及び
洗浄工程は半田ボールアタッチ設備グループによって行
われる。半田ボールアタッチグループには、半田ボール
安着工程を行う半田ボール安着設備、リフロー設備、洗
浄設備及び洗浄済みのボールグリッドアレイパッケージ
が納まるローダ設備からなる。これらの設備らは直列方
式に長く並んで独自に駆動されながら担当工程を行う。
洗浄工程は半田ボールアタッチ設備グループによって行
われる。半田ボールアタッチグループには、半田ボール
安着工程を行う半田ボール安着設備、リフロー設備、洗
浄設備及び洗浄済みのボールグリッドアレイパッケージ
が納まるローダ設備からなる。これらの設備らは直列方
式に長く並んで独自に駆動されながら担当工程を行う。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の半田ボールアタッチ設備グループに含まれた
単位設備は相互関連している設備同士で近接設置されて
いるが、単位設備間の離隔距離があるため、半田ボール
アタッチ設備グループの占有面積が大きくなりすぎると
いう問題点がある。
うな従来の半田ボールアタッチ設備グループに含まれた
単位設備は相互関連している設備同士で近接設置されて
いるが、単位設備間の離隔距離があるため、半田ボール
アタッチ設備グループの占有面積が大きくなりすぎると
いう問題点がある。
【００１１】また、半田ボールアタッチ設備グループに
属する半田ボール安着設備、リフロー設備、洗浄設備及
びローダ設備は、設備固有の工程を行うだけで、前工程
または後工程との連係動作はなされないため、半田ボー
ルアタッチ工程の連係は作業者に依存せざるを得ないと
いう問題点がある。
属する半田ボール安着設備、リフロー設備、洗浄設備及
びローダ設備は、設備固有の工程を行うだけで、前工程
または後工程との連係動作はなされないため、半田ボー
ルアタッチ工程の連係は作業者に依存せざるを得ないと
いう問題点がある。
【００１２】また、先に説明したように、半田ボールア
タッチ設備グループに属する単位設備が長く配列され、
半田ボールアタッチ工程間の連係を作業者に依存する場
合作業者の働線が長くなり作業者の疲労が加重され、ボ
ールグリッドアレイパッケージに半田ボールをアタッチ
するのに必要とする時間が非常に長くなるだけでなく、
工程が連続に進行されないという複合的な問題点があ
る。
タッチ設備グループに属する単位設備が長く配列され、
半田ボールアタッチ工程間の連係を作業者に依存する場
合作業者の働線が長くなり作業者の疲労が加重され、ボ
ールグリッドアレイパッケージに半田ボールをアタッチ
するのに必要とする時間が非常に長くなるだけでなく、
工程が連続に進行されないという複合的な問題点があ
る。
【００１３】また、半田ボールアタッチ設備グループに
属する安着設備に異常が発生してリフロー設備と洗浄設
備へのボールグリッドアレイパッケージの投入が遅延さ
れても、工程と工程の連係がないため、リフロー設備に
おけるヒーティング持続及び洗浄設備における洗浄液の
供給の持続により、設備が古安くなるという問題点があ
る。
属する安着設備に異常が発生してリフロー設備と洗浄設
備へのボールグリッドアレイパッケージの投入が遅延さ
れても、工程と工程の連係がないため、リフロー設備に
おけるヒーティング持続及び洗浄設備における洗浄液の
供給の持続により、設備が古安くなるという問題点があ
る。
【００１４】また、半田ボールアタッチ済みのボールグ
リッドアレイパッケージが納まるための別途のローダ設
備が必要になり、半田ボールアタッチ工程の開始後にボ
ールグリッドアレイパッケージがともアンロードした収
納容器を作業者がローダ設備に受動移送することで、半
田ボールアタッチ工程の自動化が難しいという問題点が
ある。
リッドアレイパッケージが納まるための別途のローダ設
備が必要になり、半田ボールアタッチ工程の開始後にボ
ールグリッドアレイパッケージがともアンロードした収
納容器を作業者がローダ設備に受動移送することで、半
田ボールアタッチ工程の自動化が難しいという問題点が
ある。
【００１５】また、半田ボールアタッチ設備グループの
いずれかで工程を進行後、後工程にボールグリッドアレ
イパッケージを移送するには、ボールグリッドアレイパ
ッケージが単位設備外部に排出されて後設備に投入され
ねばならない。このようにボールグリッドアレイパッケ
ージが設備外部に排出後に後設備に投入される場合、外
部環境によってアタッチされる半田ボールが半田ボール
パッドから離れている等の工程不良が発生するという問
題点があり、このような問題点が持続しても工程不良の
原因を糾明し難しいという問題点がある。また、半田ボ
ールアタッチ設備グループに属する単位設備らは独自に
工程を進行するため、半田ボールアタッチ設備グループ
を全体的に制御し難しく、これにより、工程進行時間が
多くかかり、工程不良がよく発生するという問題点があ
る。
いずれかで工程を進行後、後工程にボールグリッドアレ
イパッケージを移送するには、ボールグリッドアレイパ
ッケージが単位設備外部に排出されて後設備に投入され
ねばならない。このようにボールグリッドアレイパッケ
ージが設備外部に排出後に後設備に投入される場合、外
部環境によってアタッチされる半田ボールが半田ボール
パッドから離れている等の工程不良が発生するという問
題点があり、このような問題点が持続しても工程不良の
原因を糾明し難しいという問題点がある。また、半田ボ
ールアタッチ設備グループに属する単位設備らは独自に
工程を進行するため、半田ボールアタッチ設備グループ
を全体的に制御し難しく、これにより、工程進行時間が
多くかかり、工程不良がよく発生するという問題点があ
る。
【００１６】したがって、本発明は前記問題点に鑑みて
なされたもので、その目的は、半田ボールアタッチ工程
に必要な工程設備らを一つに統合することで、半田ボー
ルアタッチ設備の設置面積の最小化及び作業者の働線の
短縮により作業者の疲労を減少させることにある。本発
明の他の目的は、半田ボールアタッチ工程に必要な工程
設備らを一つに統合して前工程と後工程が連係している
ように、さらに半田ボールアタッチ工程が連続的に進行
されるようにすることで、工程の自動化をなすことにあ
る。
なされたもので、その目的は、半田ボールアタッチ工程
に必要な工程設備らを一つに統合することで、半田ボー
ルアタッチ設備の設置面積の最小化及び作業者の働線の
短縮により作業者の疲労を減少させることにある。本発
明の他の目的は、半田ボールアタッチ工程に必要な工程
設備らを一つに統合して前工程と後工程が連係している
ように、さらに半田ボールアタッチ工程が連続的に進行
されるようにすることで、工程の自動化をなすことにあ
る。
【００１７】本発明のまた他の目的は、半田ボールアタ
ッチ工程に必要な工程設備らを一つに統合して、半田ボ
ールアタッチ工程が進行中のボールグリッドアレイパッ
ケージの移送経路を最短距離にすることで、移送途中に
発生し得る不良を大きく低減させ、かつ所定工程の際
に、工程不良が発生したボールグリッドアレイパッケー
ジは直ぐ選別することで、工程不良が発生しないボール
グリッドアレイパッケージと分離させることにある。
ッチ工程に必要な工程設備らを一つに統合して、半田ボ
ールアタッチ工程が進行中のボールグリッドアレイパッ
ケージの移送経路を最短距離にすることで、移送途中に
発生し得る不良を大きく低減させ、かつ所定工程の際
に、工程不良が発生したボールグリッドアレイパッケー
ジは直ぐ選別することで、工程不良が発生しないボール
グリッドアレイパッケージと分離させることにある。
【００１８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明の半田ボールアタッチシステムは、ベース本
体と、ベースフレームの半田ボールパッドに半田ボール
が安着するように、ベース本体に設けられた収納容器か
ら前記ベースフレームをアンロードするベースフレーム
アンローダと、ベース本体に設けられ、ベースフレーム
アンローダからアンロードしたベースフレームを指定の
位置に固定させて溶剤塗布及び半田ボール安着を行い、
半田ボール安着品質別にベースフレームを揃える半田ボ
ール安着装置と、ベース本体に設けられ、ベースフレー
ムをロードして半田ボールの溶融及び冷却を行うリフロ
ー装置と、ベース本体に設けられ、リフロー装置からベ
ースフレームをロードされて、半田ボールパッドの残留
溶剤を洗浄液で洗浄し、洗浄時に付いている洗浄液を乾
燥させる洗浄装置と、ベース本体に設けられ、洗浄装置
から移送されたベースフレームの半田ボールパッドに取
付けた半田ボールアタッチ品質によってベースフレーム
を揃えるベースフレームローダとを含む。
に、本発明の半田ボールアタッチシステムは、ベース本
体と、ベースフレームの半田ボールパッドに半田ボール
が安着するように、ベース本体に設けられた収納容器か
ら前記ベースフレームをアンロードするベースフレーム
アンローダと、ベース本体に設けられ、ベースフレーム
アンローダからアンロードしたベースフレームを指定の
位置に固定させて溶剤塗布及び半田ボール安着を行い、
半田ボール安着品質別にベースフレームを揃える半田ボ
ール安着装置と、ベース本体に設けられ、ベースフレー
ムをロードして半田ボールの溶融及び冷却を行うリフロ
ー装置と、ベース本体に設けられ、リフロー装置からベ
ースフレームをロードされて、半田ボールパッドの残留
溶剤を洗浄液で洗浄し、洗浄時に付いている洗浄液を乾
燥させる洗浄装置と、ベース本体に設けられ、洗浄装置
から移送されたベースフレームの半田ボールパッドに取
付けた半田ボールアタッチ品質によってベースフレーム
を揃えるベースフレームローダとを含む。
【００１９】また、本発明のベースフレームアンローダ
は、ベース本体の上部からベース本体の内部空間にわた
って形成された収納容器ガイダと、ベース本体の内部空
間に納まった収納容器を収納容器ガイダに沿ってベース
本体の内部から上部に持上げる収納容器エレベーター
と、収納容器ガイダに装着された収納容器からベースフ
レームを排出させるプッシャーとを含む。
は、ベース本体の上部からベース本体の内部空間にわた
って形成された収納容器ガイダと、ベース本体の内部空
間に納まった収納容器を収納容器ガイダに沿ってベース
本体の内部から上部に持上げる収納容器エレベーター
と、収納容器ガイダに装着された収納容器からベースフ
レームを排出させるプッシャーとを含む。
【００２０】本発明の半田ボール安着装置は、ベースフ
レームアンローダからアンロードしたベースフレームの
固定及び移送を行う複合ユニットと、複合ユニットに固
定されたベースフレームの半田ボールパッドに溶剤を塗
布する溶剤塗布ユニットと、溶剤塗布ユニットによって
塗布された半田ボールパッドに半田ボールを安着させる
半田ボール安着ユニットと、溶剤塗布ユニット及び半田
ボール安着ユニットを複合ユニットに固定された半田ボ
ールパッドに移送する移送ユニットと、溶剤塗布及び半
田ボールの安着したベースフレームを半田ボール安着品
質別に揃える選別ユニットと、選別ユニットによって揃
えたベースフレーム中、半田ボール安着良品のベースフ
レームを後工程の前まで待たせる待ちユニットとを含
む。
レームアンローダからアンロードしたベースフレームの
固定及び移送を行う複合ユニットと、複合ユニットに固
定されたベースフレームの半田ボールパッドに溶剤を塗
布する溶剤塗布ユニットと、溶剤塗布ユニットによって
塗布された半田ボールパッドに半田ボールを安着させる
半田ボール安着ユニットと、溶剤塗布ユニット及び半田
ボール安着ユニットを複合ユニットに固定された半田ボ
ールパッドに移送する移送ユニットと、溶剤塗布及び半
田ボールの安着したベースフレームを半田ボール安着品
質別に揃える選別ユニットと、選別ユニットによって揃
えたベースフレーム中、半田ボール安着良品のベースフ
レームを後工程の前まで待たせる待ちユニットとを含
む。
【００２１】本発明のリフローユニットは、半田ボール
安着ユニットによって半田ボールが安着したベースフレ
ームをロードするベースフレームフィーダと、ベースフ
レームを移送するステップ移送装置と、ステップ移送装
置を囲むチャンバと、ステップ移送装置と対向するチャ
ンバの出口内側面に設けられるヒーティング装置と、ヒ
ーティング装置と所定間隔をおいて離隔されたチャンバ
の入口内側面に設けられる冷却ペンとを含む。
安着ユニットによって半田ボールが安着したベースフレ
ームをロードするベースフレームフィーダと、ベースフ
レームを移送するステップ移送装置と、ステップ移送装
置を囲むチャンバと、ステップ移送装置と対向するチャ
ンバの出口内側面に設けられるヒーティング装置と、ヒ
ーティング装置と所定間隔をおいて離隔されたチャンバ
の入口内側面に設けられる冷却ペンとを含む。
【００２２】本発明のトランスファ装置は、チャンバの
出口から洗浄装置まで延長された移送ネジと、移送ネジ
の両端部を支持するブッシングと、移送ネジの両端部の
何れかの端部に設けられて移送ネジを回転させるモータ
と、移送ネジに螺接されてモータの駆動によって移送ネ
ジに沿って動く移送ブロックと、移送ブロックに結合さ
れてチャンバの出口に排出されたベースフレームを洗浄
装置に移送するピックアップモジュールとを含む。
出口から洗浄装置まで延長された移送ネジと、移送ネジ
の両端部を支持するブッシングと、移送ネジの両端部の
何れかの端部に設けられて移送ネジを回転させるモータ
と、移送ネジに螺接されてモータの駆動によって移送ネ
ジに沿って動く移送ブロックと、移送ブロックに結合さ
れてチャンバの出口に排出されたベースフレームを洗浄
装置に移送するピックアップモジュールとを含む。
【００２３】本発明の洗浄装置は、リフロー装置から排
出されたベースフレームを移送する移送装置と、移送装
置を囲む洗浄チャンバと、洗浄チャンバ内に設けられ、
移送装置を基準にして移送装置の上下部に設けられる洗
浄溶液供給装置と、洗浄溶液供給装置から洗浄されたベ
ースフレームを乾燥させる乾燥装置と、乾燥されたベー
スフレームをアンロードする洗浄装置用アンローダとを
含む。
出されたベースフレームを移送する移送装置と、移送装
置を囲む洗浄チャンバと、洗浄チャンバ内に設けられ、
移送装置を基準にして移送装置の上下部に設けられる洗
浄溶液供給装置と、洗浄溶液供給装置から洗浄されたベ
ースフレームを乾燥させる乾燥装置と、乾燥されたベー
スフレームをアンロードする洗浄装置用アンローダとを
含む。
【００２４】また、本発明の半田ボールアタッチ方法
は、半田ボールパッドが形成された、ベーステープ付け
のベースフレームを収納容器からアンロードして、半田
ボールパッドに溶剤を塗布後、半田ボールパッドの対応
位置に半田ボールの存在済みの半田ボールを半田ボール
パッドに転移させ、転移の半田ボールの位置を再立証
後、ベースフレームを移送し、ベースフレームが全部ア
ンロードした中空の収納容器を指定の位置に移送する半
田ボール安着段階と、ベースフレームを供給されて半田
ボールパッドに安着した半田ボールを溶融・冷却後、ベ
ースフレームを移送する半田ボールリフロー段階と、ベ
ースフレームを供給されて半田ボールパッドの塗布溶剤
を除去してベースフレームを移送する洗浄段階と、ベー
スフレームを供給されて判定された品質別にベースフレ
ームを分類して、指定の位置に移送した中空の収納容器
にベースフレームが納まる段階とを含む。
は、半田ボールパッドが形成された、ベーステープ付け
のベースフレームを収納容器からアンロードして、半田
ボールパッドに溶剤を塗布後、半田ボールパッドの対応
位置に半田ボールの存在済みの半田ボールを半田ボール
パッドに転移させ、転移の半田ボールの位置を再立証
後、ベースフレームを移送し、ベースフレームが全部ア
ンロードした中空の収納容器を指定の位置に移送する半
田ボール安着段階と、ベースフレームを供給されて半田
ボールパッドに安着した半田ボールを溶融・冷却後、ベ
ースフレームを移送する半田ボールリフロー段階と、ベ
ースフレームを供給されて半田ボールパッドの塗布溶剤
を除去してベースフレームを移送する洗浄段階と、ベー
スフレームを供給されて判定された品質別にベースフレ
ームを分類して、指定の位置に移送した中空の収納容器
にベースフレームが納まる段階とを含む。
【００２５】半田ボール安着段階終了のベースフレーム
は第１方向に移送され、中空の収納容器は第２方向に沿
って指定の位置に移送され、半田ボールリフロー段階終
了のベースフレームは第３方向に移送され、洗浄段階終
了のベースフレームは第２方向に沿って指定の位置に移
送された中空の収納容器に向かう第４方向に移送され
る。また、望ましくは、第２方向は第１方向に対して反
対方向である。
は第１方向に移送され、中空の収納容器は第２方向に沿
って指定の位置に移送され、半田ボールリフロー段階終
了のベースフレームは第３方向に移送され、洗浄段階終
了のベースフレームは第２方向に沿って指定の位置に移
送された中空の収納容器に向かう第４方向に移送され
る。また、望ましくは、第２方向は第１方向に対して反
対方向である。
【００２６】
【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づき、本発明
の好適実施例を詳細に説明する。まず、図１または図２
を参照して、ボールグリッドアレイパッケージに半田ボ
ールを取付ける前の作製過程を略述する。
の好適実施例を詳細に説明する。まず、図１または図２
を参照して、ボールグリッドアレイパッケージに半田ボ
ールを取付ける前の作製過程を略述する。
【００２７】ボールグリッドアレイパッケージは長矩形
のポリイミド材質のベーステープ１０に形成される。こ
こで、ベーステープ１０の一側面には導電性パターン及
び半田ボールの安着する半田ボールパッド５０からなる
ランドパターングループ２０がエッチング法により複数
形成され、以後各ランドパターングループ２０は一つの
ボールグリッドアレイパッケージとなる。
のポリイミド材質のベーステープ１０に形成される。こ
こで、ベーステープ１０の一側面には導電性パターン及
び半田ボールの安着する半田ボールパッド５０からなる
ランドパターングループ２０がエッチング法により複数
形成され、以後各ランドパターングループ２０は一つの
ボールグリッドアレイパッケージとなる。
【００２８】ベーステープ１０には導電性パターンの端
部を称する「ビームリード（beam lead）」が露出する
ように、「オープンウィンドウ（open window）」と呼
ばれる開口（図示略）が形成される。このように、ラン
ドパターングループ２０の複数形成された長いベーステ
ープ１０はロール（roll）状に巻かれた後、単位個数例
えば３×１０個形成されるように切断される。
部を称する「ビームリード（beam lead）」が露出する
ように、「オープンウィンドウ（open window）」と呼
ばれる開口（図示略）が形成される。このように、ラン
ドパターングループ２０の複数形成された長いベーステ
ープ１０はロール（roll）状に巻かれた後、単位個数例
えば３×１０個形成されるように切断される。
【００２９】切断のベーステープ１０はフレキシブルな
外力によって変形しやすいため、ベーステープ１０に半
導体チップのダイアタッチ工程、ビームリードボンディ
ング工程、半田ボールアタッチ工程の際に形状保持が難
しくなる。これを克服するために、ベーステープ１０は
四角フレーム形状のベースフレーム３０に接着テープ４
０で固定される。
外力によって変形しやすいため、ベーステープ１０に半
導体チップのダイアタッチ工程、ビームリードボンディ
ング工程、半田ボールアタッチ工程の際に形状保持が難
しくなる。これを克服するために、ベーステープ１０は
四角フレーム形状のベースフレーム３０に接着テープ４
０で固定される。
【００３０】以後、ベースフレーム３０に固定されたベ
ーステープ１０のうち、半田ボールパッド５０の形成反
対面にはオープンウィンドウにボンディングパッドが露
出するように半導体チップ（図示略）を取付け、半導体
チップのボンディングパッドとビームリードはビームリ
ードボンダによってビームリードボンディングされ、そ
の後、半導体チップとオープンウィンドウは成形樹脂に
よりカプセル化する。続いて、ベースフレーム３０に形
成された半田ボールパッド５０には半田ボールの安着す
る半田ボールアタッチ工程を行う。尚、図２ａ乃至図２
ｃを参照して、半田ボールアタッチ工程の概要を説明す
る。
ーステープ１０のうち、半田ボールパッド５０の形成反
対面にはオープンウィンドウにボンディングパッドが露
出するように半導体チップ（図示略）を取付け、半導体
チップのボンディングパッドとビームリードはビームリ
ードボンダによってビームリードボンディングされ、そ
の後、半導体チップとオープンウィンドウは成形樹脂に
よりカプセル化する。続いて、ベースフレーム３０に形
成された半田ボールパッド５０には半田ボールの安着す
る半田ボールアタッチ工程を行う。尚、図２ａ乃至図２
ｃを参照して、半田ボールアタッチ工程の概要を説明す
る。
【００３１】図２ａに示すように、ベーステープ１０に
形成された半田ボールパッド５０には水溶性で所定の粘
性を持つ溶剤（flux）５５を塗布後、溶剤５５に数〜数
十μｍの直径を持つ半田ボール６０を安着させる。続い
て、図２ｂに示すように、半田ボール６０付きの半田ボ
ールパッド５０が形成されたベーステープ１０を、高温
の炉（funace）に通過させて半田ボールパッド５０に半
田ボール６０を鎔融付着させた後、図２ｃに示すよう
に、半田ボール６０が付着された半田ボールパッド５０
に残留の水溶性溶剤５５を洗浄液によって除去する。
形成された半田ボールパッド５０には水溶性で所定の粘
性を持つ溶剤（flux）５５を塗布後、溶剤５５に数〜数
十μｍの直径を持つ半田ボール６０を安着させる。続い
て、図２ｂに示すように、半田ボール６０付きの半田ボ
ールパッド５０が形成されたベーステープ１０を、高温
の炉（funace）に通過させて半田ボールパッド５０に半
田ボール６０を鎔融付着させた後、図２ｃに示すよう
に、半田ボール６０が付着された半田ボールパッド５０
に残留の水溶性溶剤５５を洗浄液によって除去する。
【００３２】本発明の一実施例による半田ボールアタッ
チシステムは、一つのベース本体で前述の図２ａ乃至図
２ｃの工程が共に行われる。図３または図４には、図２
ａ乃至図２ｃに示すように、半田ボールアタッチ工程を
行う半田ボールアタッチシステムの全体構成が示されて
いる。図３または図４を参照すれば、半田ボールアタッ
チシステム８０１は、全体からみれば、所定の平面積を
持つ平なベース本体８００、ベースフレームアンローダ
装置１００、半田ボール安着装置２００、リフロー装置
３００、洗浄装置４００、トランスファ装置５００、ベ
ースフレームローダ装置６００及びこれらの駆動を全体
的に制御する中央処理処置（図示略）から構成される。
チシステムは、一つのベース本体で前述の図２ａ乃至図
２ｃの工程が共に行われる。図３または図４には、図２
ａ乃至図２ｃに示すように、半田ボールアタッチ工程を
行う半田ボールアタッチシステムの全体構成が示されて
いる。図３または図４を参照すれば、半田ボールアタッ
チシステム８０１は、全体からみれば、所定の平面積を
持つ平なベース本体８００、ベースフレームアンローダ
装置１００、半田ボール安着装置２００、リフロー装置
３００、洗浄装置４００、トランスファ装置５００、ベ
ースフレームローダ装置６００及びこれらの駆動を全体
的に制御する中央処理処置（図示略）から構成される。
【００３３】ベースフレームアンローダ装置１００、半
田ボール安着装置２００、リフロー装置３００、洗浄装
置４００、トランスファ装置５００及びベースフレーム
ローダ装置６００は全部ベース本体８００上に設けられ
る。このような半田ボールアタッチシステム８０１の構
成要素は、半田ボール６０（図２参照）を取付けるベー
ステープ１０（図１参照）付きのベースフレーム３０
（図１参照）が、一定の経路を持ちながら工程を行うよ
うに配置される。
田ボール安着装置２００、リフロー装置３００、洗浄装
置４００、トランスファ装置５００及びベースフレーム
ローダ装置６００は全部ベース本体８００上に設けられ
る。このような半田ボールアタッチシステム８０１の構
成要素は、半田ボール６０（図２参照）を取付けるベー
ステープ１０（図１参照）付きのベースフレーム３０
（図１参照）が、一定の経路を持ちながら工程を行うよ
うに配置される。
【００３４】詳しくは、半田ボールアタッチシステム８
０１の構成要素は、ベースフレーム３０がベースフレー
ムアンローダ装置１００からアンロードして、一実施例
として時計方向に向かって半田ボール安着装置２００−
リフロー装置３００−洗浄装置４００を経ちながら半田
ボールアタッチ工程を行った後、洗浄装置４００からア
ンロードしたベースフレーム３０がベースフレームアン
ローダ装置１００に近接しているベースフレームローダ
装置６００に納まるまで、図３に示すようにループ状の
経路に沿うようにする。
０１の構成要素は、ベースフレーム３０がベースフレー
ムアンローダ装置１００からアンロードして、一実施例
として時計方向に向かって半田ボール安着装置２００−
リフロー装置３００−洗浄装置４００を経ちながら半田
ボールアタッチ工程を行った後、洗浄装置４００からア
ンロードしたベースフレーム３０がベースフレームアン
ローダ装置１００に近接しているベースフレームローダ
装置６００に納まるまで、図３に示すようにループ状の
経路に沿うようにする。
【００３５】しかしながら、前述したように、必ずしも
半田ボールアタッチシステム８０１の構成要素によって
ベースフレーム３０をループ状に移送しなくていい。前
述の一実施例において、ベースフレーム３０がループ状
に移送されるように半田ボールアタッチシステム８０１
の構成要素を配列した理由は、半田ボールアタッチシス
テム８０１の平面積を最小すなわち最狭空間を最も效率
的に用いられること、半田ボールアタッチ工程におい
て、開始工程の行われるベースフレームアンローダ装置
１００と最後工程の行われるベースフレームローダ装置
６００とを近接設置できるため、ベースフレームアンロ
ーダ装置１００における中空の収納容器を、それを必要
とするベースフレームローダ装置６００に短時間内に移
送できることのためである。
半田ボールアタッチシステム８０１の構成要素によって
ベースフレーム３０をループ状に移送しなくていい。前
述の一実施例において、ベースフレーム３０がループ状
に移送されるように半田ボールアタッチシステム８０１
の構成要素を配列した理由は、半田ボールアタッチシス
テム８０１の平面積を最小すなわち最狭空間を最も效率
的に用いられること、半田ボールアタッチ工程におい
て、開始工程の行われるベースフレームアンローダ装置
１００と最後工程の行われるベースフレームローダ装置
６００とを近接設置できるため、ベースフレームアンロ
ーダ装置１００における中空の収納容器を、それを必要
とするベースフレームローダ装置６００に短時間内に移
送できることのためである。
【００３６】前述した半田ボールアタッチシステム９０
１の構成要素によるベースフレーム３０の移送経路を、
ループ状でなく一字形状やＵ字形状等で配列してもい
い。このように、一列配列やＵ字配列等の色々な変形の
半田ボールアタッチシステム８０１に含まれた構成要素
の配列は、前述のループ状の配列に比べて多少ベースフ
レーム３０の移送長が長くなり、ベースフレームアンロ
ーダ装置１００から中空の収納容器をベースフレームロ
ーダ装置６００に移送するのにわずか時間がかかるだけ
で、半田ボールアタッチシステム８０１の構成要素ら間
の関連関係及び自動化には何らの影響も及ばない。
１の構成要素によるベースフレーム３０の移送経路を、
ループ状でなく一字形状やＵ字形状等で配列してもい
い。このように、一列配列やＵ字配列等の色々な変形の
半田ボールアタッチシステム８０１に含まれた構成要素
の配列は、前述のループ状の配列に比べて多少ベースフ
レーム３０の移送長が長くなり、ベースフレームアンロ
ーダ装置１００から中空の収納容器をベースフレームロ
ーダ装置６００に移送するのにわずか時間がかかるだけ
で、半田ボールアタッチシステム８０１の構成要素ら間
の関連関係及び自動化には何らの影響も及ばない。
【００３７】こうした変形例らは後述の本実施例の詳細
な説明によって十分に明らかになろう。望ましく、本実
施例では、半田ボールアタッチシステム８０１に含まれ
た構成要素の配列をベースフレーム３０のループ状に移
送されるようなものを採択し、以下、添付図面を参照し
て、これを具現するための構成・作用・効果を説明す
る。
な説明によって十分に明らかになろう。望ましく、本実
施例では、半田ボールアタッチシステム８０１に含まれ
た構成要素の配列をベースフレーム３０のループ状に移
送されるようなものを採択し、以下、添付図面を参照し
て、これを具現するための構成・作用・効果を説明す
る。
【００３８】図５または図６にはベースフレームアンロ
ーダ装置１００及び半田ボール安着装置２００を示して
いる。図５には半田ボールアタッチシステム８０１にお
けるベースフレームアンローダ装置１００及び半田ボー
ル安着装置２００の設置位置と概略構成を、図６には半
田ボール安着装置２００の選別ユニットを示している。
ーダ装置１００及び半田ボール安着装置２００を示して
いる。図５には半田ボールアタッチシステム８０１にお
けるベースフレームアンローダ装置１００及び半田ボー
ル安着装置２００の設置位置と概略構成を、図６には半
田ボール安着装置２００の選別ユニットを示している。
【００３９】図５を参照して、ベースフレームアンロー
ダ装置１００を説明する。半田ボールアタッチ工程の開
始するベースフレームアンローダ装置１００は、ベース
本体８００の内部空間から上部にわたって形成され、収
納容器エレベーター１１０、収納容器ガイダ１２０及び
プッシャー１４０から構成される。詳しくは、ベース本
体８００の内部空間には半田ボール６０を取付けるベー
ステープ１０付きのベースフレーム３０を揃えた収納容
器１３０が並列方式で納まり、収納容器１３０の中の最
内側の収納容器１３０ａの下面には収納容器１３０をベ
ース本体８００の上面に持上げる収納容器エレベーター
１１０が設けられる。
ダ装置１００を説明する。半田ボールアタッチ工程の開
始するベースフレームアンローダ装置１００は、ベース
本体８００の内部空間から上部にわたって形成され、収
納容器エレベーター１１０、収納容器ガイダ１２０及び
プッシャー１４０から構成される。詳しくは、ベース本
体８００の内部空間には半田ボール６０を取付けるベー
ステープ１０付きのベースフレーム３０を揃えた収納容
器１３０が並列方式で納まり、収納容器１３０の中の最
内側の収納容器１３０ａの下面には収納容器１３０をベ
ース本体８００の上面に持上げる収納容器エレベーター
１１０が設けられる。
【００４０】収納容器エレベーター１１０中の収納容器
台１１５には収納容器１３０に揃えられたベースフレー
ム３０の一枚厚だけベースフレーム３０を押し上げるプ
ッシャー（図示略）が設けられる。かかる構成を持つ収
納容器エレベーター１１０の上部には収納容器ガイダ１
２０が設けられる。ここで、収納容器ガイダ１２０は収
納容器エレベーター１１０によって持上げた収納容器１
３０を指定の位置に正確に持上げる役割を果たす。
台１１５には収納容器１３０に揃えられたベースフレー
ム３０の一枚厚だけベースフレーム３０を押し上げるプ
ッシャー（図示略）が設けられる。かかる構成を持つ収
納容器エレベーター１１０の上部には収納容器ガイダ１
２０が設けられる。ここで、収納容器ガイダ１２０は収
納容器エレベーター１１０によって持上げた収納容器１
３０を指定の位置に正確に持上げる役割を果たす。
【００４１】収納容器１３０に揃えられたベースフレー
ム３０に半田ボールアタッチ工程を行うために、収納容
器ガイダ１２０により持上げた収納容器１３０に揃えら
れたベースフレーム３０中の最上部のものは収納容器ガ
イダ１２０の外側にアンロードされるべきである。
ム３０に半田ボールアタッチ工程を行うために、収納容
器ガイダ１２０により持上げた収納容器１３０に揃えら
れたベースフレーム３０中の最上部のものは収納容器ガ
イダ１２０の外側にアンロードされるべきである。
【００４２】このように、ベースフレーム３０を収納容
器ガイダ１２０の外側にアンロードさせるために、収納
容器ガイダ１２０にはベースフレーム３０が通過するよ
うにスリット形状の貫通孔（図示略）が形成され、ベー
スフレーム３０を収納容器ガイダ１２０から強制アンロ
ードするためのプッシャー１４０が設けられる。
器ガイダ１２０の外側にアンロードさせるために、収納
容器ガイダ１２０にはベースフレーム３０が通過するよ
うにスリット形状の貫通孔（図示略）が形成され、ベー
スフレーム３０を収納容器ガイダ１２０から強制アンロ
ードするためのプッシャー１４０が設けられる。
【００４３】より具体的にプッシャー１４０を説明す
る。プッシャー１４０は、収納容器ガイダ１２０の貫通
溝に挿入されてベースフレーム３０の側面と直接接触さ
れるＴ字形状のプッシャーバー、プッシャーバーの端部
に設けられたプッシャーバーブロック、プッシャーバー
ブロックに結合されてプッシャーバーブロックをガイド
するガイドレール、プッシャーバーブロックの上面に突
設されたヒンジ軸にスリット形状の長孔が挟まれた回動
軸、及び回動軸の他側端部と結合されて回動軸を回動さ
せるモータ軸が形成されたモータから構成される。
る。プッシャー１４０は、収納容器ガイダ１２０の貫通
溝に挿入されてベースフレーム３０の側面と直接接触さ
れるＴ字形状のプッシャーバー、プッシャーバーの端部
に設けられたプッシャーバーブロック、プッシャーバー
ブロックに結合されてプッシャーバーブロックをガイド
するガイドレール、プッシャーバーブロックの上面に突
設されたヒンジ軸にスリット形状の長孔が挟まれた回動
軸、及び回動軸の他側端部と結合されて回動軸を回動さ
せるモータ軸が形成されたモータから構成される。
【００４４】かかる構成は、モータ軸の回動により回動
軸が回動しながらプッシャーバーブロックに力を付加
し、プッシャーバーブロックは付加力によってガイドレ
ールに沿って力を付加する方向に移動し、プッシャーバ
ーブロックの移動によりプッシャーバーブロックに結合
されたプッシャーバーも移動しながら収納容器ガイダ１
２０の貫通溝の内部に挿入され、ベースフレーム３０を
加圧してベースフレーム３０が収納容器ガイダ１２０の
外部に押し出されるようにする。
軸が回動しながらプッシャーバーブロックに力を付加
し、プッシャーバーブロックは付加力によってガイドレ
ールに沿って力を付加する方向に移動し、プッシャーバ
ーブロックの移動によりプッシャーバーブロックに結合
されたプッシャーバーも移動しながら収納容器ガイダ１
２０の貫通溝の内部に挿入され、ベースフレーム３０を
加圧してベースフレーム３０が収納容器ガイダ１２０の
外部に押し出されるようにする。
【００４５】このように、ベース本体８００に複数個の
収納容器１３０を内装して必要な収納容器１３０のみベ
ースフレーム３０の上部に持上げて用いるベースフレー
ムアンローダ装置１００は、ベース本体８００の上面に
余裕空間を十分に確保することで、ベース本体８００の
上面に設けられる他の構成要素の配置がより容易にな
る。このようなフレームアンローダ装置１００によって
収納容器１３０の内部から外部にアンロードされたベー
スフレーム３０は半田ボール安着装置２００に移送され
る。
収納容器１３０を内装して必要な収納容器１３０のみベ
ースフレーム３０の上部に持上げて用いるベースフレー
ムアンローダ装置１００は、ベース本体８００の上面に
余裕空間を十分に確保することで、ベース本体８００の
上面に設けられる他の構成要素の配置がより容易にな
る。このようなフレームアンローダ装置１００によって
収納容器１３０の内部から外部にアンロードされたベー
スフレーム３０は半田ボール安着装置２００に移送され
る。
【００４６】図５または図６を参照すれば、半田ボール
安着装置２００は半田ボール安着ユニット２５０、選別
ユニット２７０及び工程待ちユニット２８０から構成さ
れる。詳しくは、ベースフレームアンローダ装置１００
からアンロードされたベースフレーム３０は、まず半田
ボール安着ユニット２５０にロードされ、選別ユニット
２７０を経った後、良品判定のベースフレームのみが工
程待ちユニット２８０で待っていて後続工程のリフロー
装置３００にアンロードされる。
安着装置２００は半田ボール安着ユニット２５０、選別
ユニット２７０及び工程待ちユニット２８０から構成さ
れる。詳しくは、ベースフレームアンローダ装置１００
からアンロードされたベースフレーム３０は、まず半田
ボール安着ユニット２５０にロードされ、選別ユニット
２７０を経った後、良品判定のベースフレームのみが工
程待ちユニット２８０で待っていて後続工程のリフロー
装置３００にアンロードされる。
【００４７】これら各構成要素をより具体的に説明す
る。半田ボール安着ユニット２５０は、さらに複合ユニ
ット２１０、溶剤塗布ユニット２２０、半田ボール供給
ユニット２３０、溶剤塗布ユニット２２０及び半田ボー
ル供給ユニット２３０を駆動させる共用駆動ユニット２
４０、半田ボール洗浄ユニット２０５並びにビジュアル
検査ユニット２０８から構成される。
る。半田ボール安着ユニット２５０は、さらに複合ユニ
ット２１０、溶剤塗布ユニット２２０、半田ボール供給
ユニット２３０、溶剤塗布ユニット２２０及び半田ボー
ル供給ユニット２３０を駆動させる共用駆動ユニット２
４０、半田ボール洗浄ユニット２０５並びにビジュアル
検査ユニット２０８から構成される。
【００４８】ベースフレームアンローダ装置１００から
アンロードされたベースフレーム３０は複合ユニット２
１０にロードされる。図６を参照すれば、複合ユニット
２１０は、ベースフレームアンローダ装置１００からベ
ースフレーム３０をロードされてベースフレーム３０中
の半田ボールパッド５０に正確に溶剤５５を塗布し、溶
剤５５の塗布された半田ボールパッド５０に正確に半田
ボール６０を安着させる時にベースフレーム３０に一動
きもないように固定する役割、及び半田ボール６０の安
着したベースフレーム３０を後続工程に移送する役割を
兼備える。
アンロードされたベースフレーム３０は複合ユニット２
１０にロードされる。図６を参照すれば、複合ユニット
２１０は、ベースフレームアンローダ装置１００からベ
ースフレーム３０をロードされてベースフレーム３０中
の半田ボールパッド５０に正確に溶剤５５を塗布し、溶
剤５５の塗布された半田ボールパッド５０に正確に半田
ボール６０を安着させる時にベースフレーム３０に一動
きもないように固定する役割、及び半田ボール６０の安
着したベースフレーム３０を後続工程に移送する役割を
兼備える。
【００４９】これを具現するために、複合ユニット２１
０は、ベースフレーム３０をロード／アンロードするた
めの構成とベースフレーム３０を固定するための構成と
も持つ。ベースフレーム３０移送のための色んな構成が
あり得るが、望ましく、本実施例ではベースフレーム３
０を迅速かつベースフレーム３０がロード/アンロード
途中ベースフレーム３０に衝撃を与えないように貼り合
う状態で回転される一対のローラ間にベースフレームを
通過させることで、ベースフレーム３０が移送されるよ
うな構成を採択した。
０は、ベースフレーム３０をロード／アンロードするた
めの構成とベースフレーム３０を固定するための構成と
も持つ。ベースフレーム３０移送のための色んな構成が
あり得るが、望ましく、本実施例ではベースフレーム３
０を迅速かつベースフレーム３０がロード/アンロード
途中ベースフレーム３０に衝撃を与えないように貼り合
う状態で回転される一対のローラ間にベースフレームを
通過させることで、ベースフレーム３０が移送されるよ
うな構成を採択した。
【００５０】詳しくは、複合ユニット２１０は移送ユニ
ット２１１と固定ユニット２１５とから構成される。移
送ユニット２１１は支持本体２１２と支持本体２１２に
設けられてベースフレーム３０を移送するローラ移送ユ
ニット２１３とから構成される。
ット２１１と固定ユニット２１５とから構成される。移
送ユニット２１１は支持本体２１２と支持本体２１２に
設けられてベースフレーム３０を移送するローラ移送ユ
ニット２１３とから構成される。
【００５１】支持本体２１２はベースフレーム３０の幅
だけ離れている二つの支持プレート２１２ａと、支持プ
レート２１２ａの下面と連結して支持プレート２１２ａ
を保持する底面から構成される。このような形状を持つ
支持本体２１２の二つの支持プレート２１２ａの各内側
にはローラ移送ユニット２１３が設けられる。ローラ移
送ユニット２１３は、二つの支持プレート２１２ａの各
内側の両端部に貼り合わせた状態で回転される噛合ロー
ラ２１３ａ、支持プレート２１２ａの一側端部に形成さ
れた歯合ローラ２１３ａと他側端部に形成された歯合ロ
ーラ２１３ａとを連結するベルト２１３ｂ、支持プレー
ト２１２ａの両端部のいずれかで対向するローラ２１３
ａ等の回転中心を相互連結する回転軸、及び回転軸２１
３ｃと連結されるモータ２１３ｄから構成される。
だけ離れている二つの支持プレート２１２ａと、支持プ
レート２１２ａの下面と連結して支持プレート２１２ａ
を保持する底面から構成される。このような形状を持つ
支持本体２１２の二つの支持プレート２１２ａの各内側
にはローラ移送ユニット２１３が設けられる。ローラ移
送ユニット２１３は、二つの支持プレート２１２ａの各
内側の両端部に貼り合わせた状態で回転される噛合ロー
ラ２１３ａ、支持プレート２１２ａの一側端部に形成さ
れた歯合ローラ２１３ａと他側端部に形成された歯合ロ
ーラ２１３ａとを連結するベルト２１３ｂ、支持プレー
ト２１２ａの両端部のいずれかで対向するローラ２１３
ａ等の回転中心を相互連結する回転軸、及び回転軸２１
３ｃと連結されるモータ２１３ｄから構成される。
【００５２】このように、移送ユニット２１にローラ移
送ユニット２１３を用いることは、ベースフレーム３０
をスムースにかつ迅速に移送するためである。これは複
合ユニット２１０の移送するベースフレーム３０の半田
ボールパッド５０にはわずかの衝撃でも半田ボールパッ
ド５０から離脱しやすい半田ボール６０が安着するため
である。
送ユニット２１３を用いることは、ベースフレーム３０
をスムースにかつ迅速に移送するためである。これは複
合ユニット２１０の移送するベースフレーム３０の半田
ボールパッド５０にはわずかの衝撃でも半田ボールパッ
ド５０から離脱しやすい半田ボール６０が安着するため
である。
【００５３】複合ユニット２１０の固定ユニット２１５
は支持本体２１２の底面に設けられる。固定ユニット２
１５は、上面に少なくとも２個以上のアラインメントキ
ー２１５ａ（alignment key）が形成されたベースフレ
ーム吸着パッド２１５ｂと、ベースフレーム吸着パッド
２１５ｂをアップダウンさせるアップダウンシリンダ
（図示略）とから構成される。
は支持本体２１２の底面に設けられる。固定ユニット２
１５は、上面に少なくとも２個以上のアラインメントキ
ー２１５ａ（alignment key）が形成されたベースフレ
ーム吸着パッド２１５ｂと、ベースフレーム吸着パッド
２１５ｂをアップダウンさせるアップダウンシリンダ
（図示略）とから構成される。
【００５４】ベースフレーム吸着パッド２１５ｂは中空
の六面体形状であって、上面には複数個の真空孔２１５
ｃが形成され、下面には真空圧を発生させる真空装置
（図示略）と連結する。このような構成を持つベースフ
レーム吸着パッド２１５ｂの上面に形成された少なくと
も２個以上のアラインメントキー２１５ａは、ベースフ
レーム３０に形成されたアラインメントホール３１と結
合されてベースフレーム３０をベースフレーム吸着パッ
ド２１５ｂの上面の指定の位置に常に位置させると共
に、真空装置による真空圧でベースフレーム３０を再度
ベースフレーム吸着パッド２１５ｂの上面に固定させる
役割をする。
の六面体形状であって、上面には複数個の真空孔２１５
ｃが形成され、下面には真空圧を発生させる真空装置
（図示略）と連結する。このような構成を持つベースフ
レーム吸着パッド２１５ｂの上面に形成された少なくと
も２個以上のアラインメントキー２１５ａは、ベースフ
レーム３０に形成されたアラインメントホール３１と結
合されてベースフレーム３０をベースフレーム吸着パッ
ド２１５ｂの上面の指定の位置に常に位置させると共
に、真空装置による真空圧でベースフレーム３０を再度
ベースフレーム吸着パッド２１５ｂの上面に固定させる
役割をする。
【００５５】このような構成を持つ複合ユニット２１０
にベースフレーム３０を固定すれば、半田ボールパッド
５０に溶剤５５の塗布及び半田ボール６０の安着の準備
済みの状態で、ベースフレーム３０には溶剤塗布ユニッ
ト２２０及び半田ボール供給ユニット２３０によって半
田ボール６０が安着する。
にベースフレーム３０を固定すれば、半田ボールパッド
５０に溶剤５５の塗布及び半田ボール６０の安着の準備
済みの状態で、ベースフレーム３０には溶剤塗布ユニッ
ト２２０及び半田ボール供給ユニット２３０によって半
田ボール６０が安着する。
【００５６】溶剤塗布ユニット２２０及び半田ボール供
給ユニット２３０は複合ユニット２１０の両側に形成さ
れ、共用される共用駆動ユニット２４０によって複合ユ
ニット２１０に移送される。溶剤塗布ユニット２２０及
び半田ボール供給ユニット２３０を移送する共用駆動ユ
ニット２４０は、前述の一実施例のように、複合ユニッ
ト２１０の上部を横切る方向に設けられた支持フレーム
２４２と、支持フレーム２４２に設けられたネジ移送ユ
ニット２４８とから構成される。
給ユニット２３０は複合ユニット２１０の両側に形成さ
れ、共用される共用駆動ユニット２４０によって複合ユ
ニット２１０に移送される。溶剤塗布ユニット２２０及
び半田ボール供給ユニット２３０を移送する共用駆動ユ
ニット２４０は、前述の一実施例のように、複合ユニッ
ト２１０の上部を横切る方向に設けられた支持フレーム
２４２と、支持フレーム２４２に設けられたネジ移送ユ
ニット２４８とから構成される。
【００５７】支持フレーム２４２は直方体プレートの両
端部を曲げ形状であって、支持フレーム２４２の両端部
はベース本体８００の上面に固定され、支持フレーム２
４２の高さは複合ユニット２１０より多少高く形成され
る。このような支持フレーム２４２の上面には長いスリ
ット形状の二つの貫通孔２４３ａ、２４３ｂが形成さ
れ、二つの貫通孔２４３ａ、２４３ｂの両側端部には互
いに対向するようにブッシング２４４が形成される。
端部を曲げ形状であって、支持フレーム２４２の両端部
はベース本体８００の上面に固定され、支持フレーム２
４２の高さは複合ユニット２１０より多少高く形成され
る。このような支持フレーム２４２の上面には長いスリ
ット形状の二つの貫通孔２４３ａ、２４３ｂが形成さ
れ、二つの貫通孔２４３ａ、２４３ｂの両側端部には互
いに対向するようにブッシング２４４が形成される。
【００５８】このとき、互いに対向するフッシング２４
４には各々移送ネジ２４５が設けられて回転自在に支持
され、二つの移送ネジ２４５のいずれか一側端部には移
送ネジ駆動装置２４７が設けられて移送ネジ２４５を回
転させる。
４には各々移送ネジ２４５が設けられて回転自在に支持
され、二つの移送ネジ２４５のいずれか一側端部には移
送ネジ駆動装置２４７が設けられて移送ネジ２４５を回
転させる。
【００５９】移送ネジ駆動装置２４７は、一実施例にお
いて、支持フレーム２４２の上面両端部に形成または設
置された駆動装置ブラケット２４７ａと、駆動装置ブラ
ケット２４７ａの外部から内部にモータ軸が貫通し、駆
動装置ブラケット２４７ａの外側面に設けられた駆動モ
ータ２４７ｂと、モータ軸及び移送ネジ２４５の端部に
設けられたプーリ２４７ｃと、プーリ２４７ｃにかけて
モータ軸から移送ネジ２４５に動力を伝達する動力伝達
ベルト２４７ｄとから構成される。
いて、支持フレーム２４２の上面両端部に形成または設
置された駆動装置ブラケット２４７ａと、駆動装置ブラ
ケット２４７ａの外部から内部にモータ軸が貫通し、駆
動装置ブラケット２４７ａの外側面に設けられた駆動モ
ータ２４７ｂと、モータ軸及び移送ネジ２４５の端部に
設けられたプーリ２４７ｃと、プーリ２４７ｃにかけて
モータ軸から移送ネジ２４５に動力を伝達する動力伝達
ベルト２４７ｄとから構成される。
【００６０】このような構成を持つ共用駆動ユニット２
４０には、二つの移送ネジ２４５、移送ネジ２４５に各
々設けられた移送ネジ駆動装置２４７によって複合ユニ
ット２１０の上部に動く溶剤塗布ユニット２２０及び半
田ボール供給ユニット２３０が設けられる。溶剤塗布ユ
ニット２２０は、支持ブロック２２１、アップ-ダウン
シリンダ２２２、ブラケット２２３及び溶剤塗布ブロッ
ク２２４からなる溶剤塗布ユニット２２０と、溶剤供給
トレイユニット２２８とから構成される。
４０には、二つの移送ネジ２４５、移送ネジ２４５に各
々設けられた移送ネジ駆動装置２４７によって複合ユニ
ット２１０の上部に動く溶剤塗布ユニット２２０及び半
田ボール供給ユニット２３０が設けられる。溶剤塗布ユ
ニット２２０は、支持ブロック２２１、アップ-ダウン
シリンダ２２２、ブラケット２２３及び溶剤塗布ブロッ
ク２２４からなる溶剤塗布ユニット２２０と、溶剤供給
トレイユニット２２８とから構成される。
【００６１】まず、溶剤塗布ユニット２２０の各構成を
具体的に説明すれば、支持ブロック２２１は前述の共用
駆動ユニット２４０の支持フレーム２４２の上面に形成
されたスリット形状の貫通孔２４３ａに挿入される形状
及び大きさを持ち、支持ブロック２２１の下端部には上
下変位が発生するシリンダロッドを持つアップダウンシ
リンダ２２２が設けられる。
具体的に説明すれば、支持ブロック２２１は前述の共用
駆動ユニット２４０の支持フレーム２４２の上面に形成
されたスリット形状の貫通孔２４３ａに挿入される形状
及び大きさを持ち、支持ブロック２２１の下端部には上
下変位が発生するシリンダロッドを持つアップダウンシ
リンダ２２２が設けられる。
【００６２】アップダウンシリンダ２２２のシリンダロ
ッドの端部にはアップダウンシリンダ２２２により変位
の発生するブラケット２２３が設けられ、ブラケット２
２３の端部には着脱自在な溶剤塗布ブロック２２４が設
けられる。
ッドの端部にはアップダウンシリンダ２２２により変位
の発生するブラケット２２３が設けられ、ブラケット２
２３の端部には着脱自在な溶剤塗布ブロック２２４が設
けられる。
【００６３】このように、溶剤塗布ブロック２２４をブ
ラケット２２３に対して着脱自在にする場合、パターン
の異なる半田ボールパッド５０を持つベーステープが供
給されても溶剤塗布ブロック２２４のみを変わった半田
ボールパッド５０のパターンと一致する溶剤塗布ブロッ
クに交替することで、溶剤塗布ユニット２２０全体を交
替しなくてもいいという長所を持つ。
ラケット２２３に対して着脱自在にする場合、パターン
の異なる半田ボールパッド５０を持つベーステープが供
給されても溶剤塗布ブロック２２４のみを変わった半田
ボールパッド５０のパターンと一致する溶剤塗布ブロッ
クに交替することで、溶剤塗布ユニット２２０全体を交
替しなくてもいいという長所を持つ。
【００６４】このように、着脱自在な溶剤塗布ブロック
２２４の下部にはベースフレーム３０に取付けられたベ
ーステープ１０の半田ボールパッド５０の位置に対応し
て溶剤塗布ピン（図示略）が設けられ、溶剤塗布ピン
（図示略）に溶剤を付いた後、半田ボールパッド５０の
上面に溶剤塗布ピンが接触されるようにアップダウンシ
リンダ２２２を作動させることで、半田ボールパッド５
０に溶剤が塗布される。
２２４の下部にはベースフレーム３０に取付けられたベ
ーステープ１０の半田ボールパッド５０の位置に対応し
て溶剤塗布ピン（図示略）が設けられ、溶剤塗布ピン
（図示略）に溶剤を付いた後、半田ボールパッド５０の
上面に溶剤塗布ピンが接触されるようにアップダウンシ
リンダ２２２を作動させることで、半田ボールパッド５
０に溶剤が塗布される。
【００６５】このように構成された溶剤塗布ブロック２
２４の溶剤塗布ピンに溶剤を付くには、ベース本体８０
０の上面の中に支持ブロック２２１が動く経路上には溶
剤供給トレイユニット２２８が設けられる。
２４の溶剤塗布ピンに溶剤を付くには、ベース本体８０
０の上面の中に支持ブロック２２１が動く経路上には溶
剤供給トレイユニット２２８が設けられる。
【００６６】溶剤供給トレイユニット２２８はさらに溶
剤トレイ２２８ａと塗布ユニットとから構成される。
剤トレイ２２８ａと塗布ユニットとから構成される。
【００６７】溶剤トレイ２２８ａは底面が平平で溶剤塗
布ブロック２２４の大きさより多少大きいトレイ形状で
あって、溶剤トレイ２２８ａの底面には溶剤が薄く塗布
される。このように、溶剤トレイ２２８ａの底面に溶剤
を薄く塗布するために溶剤トレイ２２８ａに塗布ユニッ
ト（図示略）が設けられる。
布ブロック２２４の大きさより多少大きいトレイ形状で
あって、溶剤トレイ２２８ａの底面には溶剤が薄く塗布
される。このように、溶剤トレイ２２８ａの底面に溶剤
を薄く塗布するために溶剤トレイ２２８ａに塗布ユニッ
ト（図示略）が設けられる。
【００６８】塗布ユニットは、溶剤トレイ２２８ａの底
面に接触されて底面に沿って往復運動する塗布ブロッ
ク、塗布ブロック及び溶剤トレイの底面間に溶剤を供給
する溶剤供給装置、塗布ブロックの側面に形成されたブ
ッシングに螺設された移送ネジ並びに移送ネジの端部に
結合されたモータからなる塗布ブロック移送装置から構
成される。
面に接触されて底面に沿って往復運動する塗布ブロッ
ク、塗布ブロック及び溶剤トレイの底面間に溶剤を供給
する溶剤供給装置、塗布ブロックの側面に形成されたブ
ッシングに螺設された移送ネジ並びに移送ネジの端部に
結合されたモータからなる塗布ブロック移送装置から構
成される。
【００６９】他の実施例において、塗布ブロック移送装
置は、前述のネジ移送方式の他、塗布ブロックを直線往
復運動させる各種直線往復運動機構を自由に用いられる
が、例えば直線往復運動機構で塗布ブロックをガイドレ
ールに摺接させた状態で、塗布ブロックに油圧シリンダ
のシリンダロッドを結合した状態で、油圧シリンダーを
作動させて塗布ブロックを直線往復運動させてもいい。
置は、前述のネジ移送方式の他、塗布ブロックを直線往
復運動させる各種直線往復運動機構を自由に用いられる
が、例えば直線往復運動機構で塗布ブロックをガイドレ
ールに摺接させた状態で、塗布ブロックに油圧シリンダ
のシリンダロッドを結合した状態で、油圧シリンダーを
作動させて塗布ブロックを直線往復運動させてもいい。
【００７０】このような構成を持つ溶剤塗布ユニット２
２０は、前述の共用駆動ユニット２４０によって指定の
経路上で直線往復運動して複合ユニット２１０に固定さ
れたベースフレーム３０の半田ボールパッド５０に溶剤
５５を薄く塗布させる。
２０は、前述の共用駆動ユニット２４０によって指定の
経路上で直線往復運動して複合ユニット２１０に固定さ
れたベースフレーム３０の半田ボールパッド５０に溶剤
５５を薄く塗布させる。
【００７１】溶剤塗布ユニット２２０によってベースフ
レーム３０の半田ボールパッド５０に溶剤５５が薄く塗
布されると、溶剤の塗布された半田ボールパッド５０の
上面には半田ボール供給ユニット２３０によって半田ボ
ール６０が仮安着する。このような役割をする半田ボー
ル供給ユニット２３０は、支持ブロック２３１、アップ
ダウンシリンダ２３２、ブラケット２３３、半田ボール
吸着ブロック２３４からなる半田ボール吸着ユニット２
３５と、半田ボール供給トレイユニット２３９とから構
成される。
レーム３０の半田ボールパッド５０に溶剤５５が薄く塗
布されると、溶剤の塗布された半田ボールパッド５０の
上面には半田ボール供給ユニット２３０によって半田ボ
ール６０が仮安着する。このような役割をする半田ボー
ル供給ユニット２３０は、支持ブロック２３１、アップ
ダウンシリンダ２３２、ブラケット２３３、半田ボール
吸着ブロック２３４からなる半田ボール吸着ユニット２
３５と、半田ボール供給トレイユニット２３９とから構
成される。
【００７２】まず、半田ボール吸着ユニット２３５の各
構成を具体的に説明する。支持ブロック２３１は前述の
共用駆動ユニット２４０の支持フレーム２４２の上面に
形成されたスリット形状の貫通孔２４３ａに挿入される
形状及び大きさを持ち、支持ブロック２３１の下端部に
は上下変位が発生するシリンダロッドを持つアップダウ
ンシリンダ２３２が設けられる。
構成を具体的に説明する。支持ブロック２３１は前述の
共用駆動ユニット２４０の支持フレーム２４２の上面に
形成されたスリット形状の貫通孔２４３ａに挿入される
形状及び大きさを持ち、支持ブロック２３１の下端部に
は上下変位が発生するシリンダロッドを持つアップダウ
ンシリンダ２３２が設けられる。
【００７３】アップダウンシリンダ２３２のシリンダロ
ッドにはブラケット２３３が設けられ、ブラケット２３
３には着脱自在な溶剤塗布ブロック２３４が設けられ
る。このように、溶剤塗布ブロック２３４を着脱自在に
形成する場合、前述の溶剤塗布ユニット２２０の溶剤塗
布ブロック２２４と同様に半田ボールパッド５０のパタ
ーンの異なるベーステープ１０が供給されると、半田ボ
ール吸着ブロック２３４のみを交替することで、溶剤塗
布ユニット２３５全体を交替しなくてもいいという長所
を持つ。
ッドにはブラケット２３３が設けられ、ブラケット２３
３には着脱自在な溶剤塗布ブロック２３４が設けられ
る。このように、溶剤塗布ブロック２３４を着脱自在に
形成する場合、前述の溶剤塗布ユニット２２０の溶剤塗
布ブロック２２４と同様に半田ボールパッド５０のパタ
ーンの異なるベーステープ１０が供給されると、半田ボ
ール吸着ブロック２３４のみを交替することで、溶剤塗
布ユニット２３５全体を交替しなくてもいいという長所
を持つ。
【００７４】半田ボール吸着ブロック２３４は中空の六
面体箱形状であって、半田ボール吸着ブロック２３４の
下面にはベースフレーム３０の半田ボールパッド５０の
位置に対応して、半田ボール６０が揃えられる所定深さ
の半田ボール収納溝（図示略）が形成され、半田ボール
収納溝には半田ボール吸着ブロック２３４の内部と連通
する真空ホール（図示略）が形成され、真空圧によって
半田ボール６０が吸着される。
面体箱形状であって、半田ボール吸着ブロック２３４の
下面にはベースフレーム３０の半田ボールパッド５０の
位置に対応して、半田ボール６０が揃えられる所定深さ
の半田ボール収納溝（図示略）が形成され、半田ボール
収納溝には半田ボール吸着ブロック２３４の内部と連通
する真空ホール（図示略）が形成され、真空圧によって
半田ボール６０が吸着される。
【００７５】これを具現するために、半田ボール吸着ブ
ロック２３４の内部には真空圧発生装置（図示略）が連
結して半田ボール吸着ブロック２３４の内部を真空圧に
なるようにする。このとき、半田ボール吸着ブロック２
３４の半田ボール収納溝に半田ボール６０が一つずつ納
まるのは不可なので、本実施例では、半田ボール収納溝
に半田ボール６０が正確に納まるように独特の方式を用
いるが、この解答は半田ボール供給トレイユニット２３
９によって得られる。
ロック２３４の内部には真空圧発生装置（図示略）が連
結して半田ボール吸着ブロック２３４の内部を真空圧に
なるようにする。このとき、半田ボール吸着ブロック２
３４の半田ボール収納溝に半田ボール６０が一つずつ納
まるのは不可なので、本実施例では、半田ボール収納溝
に半田ボール６０が正確に納まるように独特の方式を用
いるが、この解答は半田ボール供給トレイユニット２３
９によって得られる。
【００７６】半田ボール供給トレイユニット２３９は、
数〜数十μｍの大きさの半田ボール６０が複数納まるよ
うに、所定深さを持つトレイ形状の半田ボールトレイ２
３６と半田ボール平坦ユニット２３７とから構成され
る。半田ボール平坦ユニット２３７は、さらに半田ボー
ルトレイ２３６の内部に設けられたブラシ２３７ａ及び
ブラシ２３７ａが半田ボールトレイ２３６に沿って直線
往復運動するブラシ移送ユニット２３７ｂを含むブラシ
ユニット２３８と、半田ボールトレイ２７６を左右に揺
動かすために半田ボールトレイ２７６の下面に設けられ
た振動ユニット（図示略）とから構成される。
数〜数十μｍの大きさの半田ボール６０が複数納まるよ
うに、所定深さを持つトレイ形状の半田ボールトレイ２
３６と半田ボール平坦ユニット２３７とから構成され
る。半田ボール平坦ユニット２３７は、さらに半田ボー
ルトレイ２３６の内部に設けられたブラシ２３７ａ及び
ブラシ２３７ａが半田ボールトレイ２３６に沿って直線
往復運動するブラシ移送ユニット２３７ｂを含むブラシ
ユニット２３８と、半田ボールトレイ２７６を左右に揺
動かすために半田ボールトレイ２７６の下面に設けられ
た振動ユニット（図示略）とから構成される。
【００７７】ブラシ移送ユニット２３７ｂは前述の塗布
ブロック移送装置と非常に類似している構成を持つが、
ブラシ２３７ａ中の一部にはブラシ２３７ａの運動方向
にガイドレールが設けられ、ブラシ２３７ａはガイドレ
ールに沿って移送される。ブラシ２３７ａの移送には移
送装置を必要とするが、望ましく、一実施例において、
ブラシ２３７ａに雌ネジ部（図示略）を形成し、移送ネ
ジ２３８ｃを雌ネジ部に螺接した状態で、移送ネジ２３
８ｃをモータ２３８ｄによって回転させながらブラシ２
３７ａを直線往復運動させる。これにより半田ボールト
レイ２３６に納まった半田ボール６０が平坦化する。
ブロック移送装置と非常に類似している構成を持つが、
ブラシ２３７ａ中の一部にはブラシ２３７ａの運動方向
にガイドレールが設けられ、ブラシ２３７ａはガイドレ
ールに沿って移送される。ブラシ２３７ａの移送には移
送装置を必要とするが、望ましく、一実施例において、
ブラシ２３７ａに雌ネジ部（図示略）を形成し、移送ネ
ジ２３８ｃを雌ネジ部に螺接した状態で、移送ネジ２３
８ｃをモータ２３８ｄによって回転させながらブラシ２
３７ａを直線往復運動させる。これにより半田ボールト
レイ２３６に納まった半田ボール６０が平坦化する。
【００７８】このように、ブラシ移送ユニット２３７ｂ
または振動ユニット２３８ａで半田ボールトレイ２３６
に納まった半田ボール６０を平坦化することは、半田ボ
ール６０と真空圧の作用する半田ボール吸着ブロック２
３４との間の距離が非常に不規則に形成されるとき、半
田ボール６０が半田ボール吸着ブロック２３４に付着さ
れない場合がよく発生するためである。
または振動ユニット２３８ａで半田ボールトレイ２３６
に納まった半田ボール６０を平坦化することは、半田ボ
ール６０と真空圧の作用する半田ボール吸着ブロック２
３４との間の距離が非常に不規則に形成されるとき、半
田ボール６０が半田ボール吸着ブロック２３４に付着さ
れない場合がよく発生するためである。
【００７９】このように、複合ユニット２１０に固定さ
れたベーステープ１０の半田ボールパッド５０に半田ボ
ール６０を安着させる半田ボール供給ユニット２３０に
より、ベーステープ１０の半田ボールパッド５０に移送
される半田ボール６０は極小の直径を持つため極小の質
量を持つことになる。従って、静電気等によって半田ボ
ール供給ユニット２３０の半田ボール吸着ブロック２３
４中の半田ボール収納溝の以外の部分に仮付着される場
合がよく発生する。
れたベーステープ１０の半田ボールパッド５０に半田ボ
ール６０を安着させる半田ボール供給ユニット２３０に
より、ベーステープ１０の半田ボールパッド５０に移送
される半田ボール６０は極小の直径を持つため極小の質
量を持つことになる。従って、静電気等によって半田ボ
ール供給ユニット２３０の半田ボール吸着ブロック２３
４中の半田ボール収納溝の以外の部分に仮付着される場
合がよく発生する。
【００８０】このように、半田ボール吸着ブロック２３
４の半田ボール収納溝の以外の部分に半田ボール６０付
きの状態で半田ボール吸着ブロック２３４がベーステー
プ１０に移送され、ベーステープ１０の半田ボールパッ
ド５０に半田ボールを安着させるとき、半田ボール収納
溝の以外に付着された半田ボール６０は半田ボールパッ
ド５０の以外の部分に安着する。
４の半田ボール収納溝の以外の部分に半田ボール６０付
きの状態で半田ボール吸着ブロック２３４がベーステー
プ１０に移送され、ベーステープ１０の半田ボールパッ
ド５０に半田ボールを安着させるとき、半田ボール収納
溝の以外に付着された半田ボール６０は半田ボールパッ
ド５０の以外の部分に安着する。
【００８１】このような状態で後続工程の半田ボールリ
フロー工程を行う場合、半田ボールアタッチ不良が発生
する。本種類の半田ボールアタッチ不良はリペア工程に
よる良品への再生が難しいもので、半田ボールアタッチ
工程がボールグリッドアレイパッケージの最後の作製工
程であることに鑑みれば、半田ボール吸着ブロック２３
４の半田ボール収納溝の以外の部分に半田ボール６０を
付着させないことで、半田ボールアタッチ不良の発生を
防止する。
フロー工程を行う場合、半田ボールアタッチ不良が発生
する。本種類の半田ボールアタッチ不良はリペア工程に
よる良品への再生が難しいもので、半田ボールアタッチ
工程がボールグリッドアレイパッケージの最後の作製工
程であることに鑑みれば、半田ボール吸着ブロック２３
４の半田ボール収納溝の以外の部分に半田ボール６０を
付着させないことで、半田ボールアタッチ不良の発生を
防止する。
【００８２】これを具現するために、複合ユニット２１
０と半田ボール供給トレイユニット２３９との間には半
田ボール洗浄ユニット２０５が設けられる。半田ボール
洗浄ユニット２０５は、洗浄ブロック２０５ａと、洗浄
ブロック２０５ａの上面に設けられ、半田ボール吸着ユ
ニット２３５の下面を掻いて半田ボールアタッチ不良を
誘発する半田ボール６０を除去する洗浄バー２０５ｂと
から構成される。
０と半田ボール供給トレイユニット２３９との間には半
田ボール洗浄ユニット２０５が設けられる。半田ボール
洗浄ユニット２０５は、洗浄ブロック２０５ａと、洗浄
ブロック２０５ａの上面に設けられ、半田ボール吸着ユ
ニット２３５の下面を掻いて半田ボールアタッチ不良を
誘発する半田ボール６０を除去する洗浄バー２０５ｂと
から構成される。
【００８３】一方、半田ボール洗浄ユニット２０５と複
合ユニット２１０との間に該当するベース本体８００の
上面にはビジュアル検査ユニット２０８が設けられる。
ビジュアル検査ユニット２０８は半田ボール吸着ブロッ
ク２３４に形成された全ての半田ボール収納溝に半田ボ
ール６０が正常に吸着されているか否かを検査するもの
で、ベース本体８００の上面に形成されたビジュアル検
査ユニットケース２０８ａｋと、ビジュアル検査ユニッ
トケース２０８ａの内部に設けられ、半田ボール吸着ブ
ロック２３４の下面を撮像する高解像度検査用カメラ２
０８ｂと、検査用カメラ２０８ｂをビジュアル検査ユニ
ットケース２０８ａ内部で直線往復運動させる移送装置
（図示略）とから構成される。
合ユニット２１０との間に該当するベース本体８００の
上面にはビジュアル検査ユニット２０８が設けられる。
ビジュアル検査ユニット２０８は半田ボール吸着ブロッ
ク２３４に形成された全ての半田ボール収納溝に半田ボ
ール６０が正常に吸着されているか否かを検査するもの
で、ベース本体８００の上面に形成されたビジュアル検
査ユニットケース２０８ａｋと、ビジュアル検査ユニッ
トケース２０８ａの内部に設けられ、半田ボール吸着ブ
ロック２３４の下面を撮像する高解像度検査用カメラ２
０８ｂと、検査用カメラ２０８ｂをビジュアル検査ユニ
ットケース２０８ａ内部で直線往復運動させる移送装置
（図示略）とから構成される。
【００８４】検査用カメラ２０８ｂに移送装置を付着し
たことはベースフレーム３０の面積が検査用カメラ２０
８ｂの固定位置で撮像できる面積より大きいためであ
る。半田ボール供給ユニット２３０は、ビジュアル検査
ユニット２０８の上面で一時停止した状態で、移送装置
と検査用カメラ２０８ｂによって半田ボール収納溝に半
田ボール６０が全部納まったか否かを検査後、半田ボー
ル収納溝に半田ボール６０が全部正常に納まった半田ボ
ール吸着ブロック２３４のみを複合ユニット２１０に移
送させ、複合ユニット２１０に固定された状態で溶剤５
５の塗布された半田ボールパッド５０の上面に半田ボー
ルが安着する。
たことはベースフレーム３０の面積が検査用カメラ２０
８ｂの固定位置で撮像できる面積より大きいためであ
る。半田ボール供給ユニット２３０は、ビジュアル検査
ユニット２０８の上面で一時停止した状態で、移送装置
と検査用カメラ２０８ｂによって半田ボール収納溝に半
田ボール６０が全部納まったか否かを検査後、半田ボー
ル収納溝に半田ボール６０が全部正常に納まった半田ボ
ール吸着ブロック２３４のみを複合ユニット２１０に移
送させ、複合ユニット２１０に固定された状態で溶剤５
５の塗布された半田ボールパッド５０の上面に半田ボー
ルが安着する。
【００８５】このように、複合ユニット２１０におい
て、半田ボールパッド５０に溶剤５５が塗布され、溶剤
５５上に半田ボール６０の安着したベースフレーム３０
は、複合ユニット２１０の移送ユニット２１１によって
図７に示した選別ユニット２７０に移送される。
て、半田ボールパッド５０に溶剤５５が塗布され、溶剤
５５上に半田ボール６０の安着したベースフレーム３０
は、複合ユニット２１０の移送ユニット２１１によって
図７に示した選別ユニット２７０に移送される。
【００８６】選別ユニット２７０は複数個の収納容器２
７１、選別機２７２及びビジュアル検査ユニット２７９
から構成される。選別機２７２は第１ベースフレーム移
送ユニット２７３及び第２ベースフレーム移送ユニット
２７８から構成される。
７１、選別機２７２及びビジュアル検査ユニット２７９
から構成される。選別機２７２は第１ベースフレーム移
送ユニット２７３及び第２ベースフレーム移送ユニット
２７８から構成される。
【００８７】第１ベースフレーム移送ユニット２７３
は、ベースフレーム３０を支持する支持本体２７４、ベ
ースフレーム３０を支持本体２７４の前方に押し出すロ
ーラ移送ユニット２７５及びベースフレームプッシャー
２７６から構成される。ここで、支持本体２７４及びロ
ーラ移送ユニット２７５は、前述の複合ユニット２１０
のそれと同様な構成及び形状を持つもので、それに対す
る説明は省略する。尚、複合ユニット２１０の構成には
ないベースフレームプッシャー２７６を具体的に説明す
る。
は、ベースフレーム３０を支持する支持本体２７４、ベ
ースフレーム３０を支持本体２７４の前方に押し出すロ
ーラ移送ユニット２７５及びベースフレームプッシャー
２７６から構成される。ここで、支持本体２７４及びロ
ーラ移送ユニット２７５は、前述の複合ユニット２１０
のそれと同様な構成及び形状を持つもので、それに対す
る説明は省略する。尚、複合ユニット２１０の構成には
ないベースフレームプッシャー２７６を具体的に説明す
る。
【００８８】ベースフレームプッシャー２７６は支持本
体２７４の内部底面に設けられ、アップダウンシリンダ
（図示略）、プッシャー本体２７６ａ、水平変位シリン
ダ２７６ｂ及びプッシャープレート２７６ｃから構成さ
れる。アップダウンシリンダのシリンダロッドは支持本
体２７４の底面から上方に変位を発生させ、アップダウ
ンシリンダの端部にはプッシャー本体２７６ａが設けら
れる。
体２７４の内部底面に設けられ、アップダウンシリンダ
（図示略）、プッシャー本体２７６ａ、水平変位シリン
ダ２７６ｂ及びプッシャープレート２７６ｃから構成さ
れる。アップダウンシリンダのシリンダロッドは支持本
体２７４の底面から上方に変位を発生させ、アップダウ
ンシリンダの端部にはプッシャー本体２７６ａが設けら
れる。
【００８９】プッシャー本体２７６ａの前方には水平変
位シリンダ２７６ｂがさらに設けられ、水平変位シリン
ダ２７６ｂのシリンダロッドにはプッシャープレート２
７６ｃが設けられる。このように形成されたプッシャー
プレート２７６ｃは、ローラ移送ユニット２７５により
ベースフレーム３０を支持本体２７４の前方に設けられ
た複数個の収納容器２７１に納まるとき、収納容器２７
１に完全に納まらないベースフレーム３０が完全に納ま
るとき、特に有効である。
位シリンダ２７６ｂがさらに設けられ、水平変位シリン
ダ２７６ｂのシリンダロッドにはプッシャープレート２
７６ｃが設けられる。このように形成されたプッシャー
プレート２７６ｃは、ローラ移送ユニット２７５により
ベースフレーム３０を支持本体２７４の前方に設けられ
た複数個の収納容器２７１に納まるとき、収納容器２７
１に完全に納まらないベースフレーム３０が完全に納ま
るとき、特に有効である。
【００９０】具体的に、ベースフレームプッシャー２７
６のアップダウンシリンダのシリンダーロッドが上方に
プッシャー本体２７６ａを押し上げ、水平変位シリンダ
２７６ｂのシリンダロッドがプッシャープレート２７６
ｃを前方に押し出すことで、ベースフレーム３０は収納
容器２７１内部に完全に納まる。
６のアップダウンシリンダのシリンダーロッドが上方に
プッシャー本体２７６ａを押し上げ、水平変位シリンダ
２７６ｂのシリンダロッドがプッシャープレート２７６
ｃを前方に押し出すことで、ベースフレーム３０は収納
容器２７１内部に完全に納まる。
【００９１】このとき、選別機２７２の前方にある収納
容器２７１に納まるベースフレーム３０は、複合ユニッ
ト２１０で半田ボール供給ユニット２３０によって半田
ボール６０が半田ボールパッド５０の指定の位置に正確
に安着できない、すなわち半田ボール安着不良が発生し
たベースフレームである。このように、半田ボール安着
不良の発生したベースフレームは、以後、リフロー工程
を行わず、再度半田ボール安着工程を行う。
容器２７１に納まるベースフレーム３０は、複合ユニッ
ト２１０で半田ボール供給ユニット２３０によって半田
ボール６０が半田ボールパッド５０の指定の位置に正確
に安着できない、すなわち半田ボール安着不良が発生し
たベースフレームである。このように、半田ボール安着
不良の発生したベースフレームは、以後、リフロー工程
を行わず、再度半田ボール安着工程を行う。
【００９２】このように、後続工程のリフロー工程にお
ける半田ボールアタッチ不良を予防するために、半田ボ
ール安着ユニット２３０が半田ボールパッド５０に半田
ボール６０を安着するとき、半田ボール安着不良か否か
を判別するビジュアル検査ユニット２７９は非常に有用
である。この様な役割を果すビジュアル検査ユニット２
７９は、第１ベースフレーム移送ユニット２７３から側
面に平行移動したところに設けられる。
ける半田ボールアタッチ不良を予防するために、半田ボ
ール安着ユニット２３０が半田ボールパッド５０に半田
ボール６０を安着するとき、半田ボール安着不良か否か
を判別するビジュアル検査ユニット２７９は非常に有用
である。この様な役割を果すビジュアル検査ユニット２
７９は、第１ベースフレーム移送ユニット２７３から側
面に平行移動したところに設けられる。
【００９３】詳しくは、ビジュアル検査ユニット２７９
は、第１ベースフレーム移送ユニット２７３の最高の所
よりわずか高い支持フレーム２７９ａ、支持フレーム２
７９ａの側面に設けられたモータ２７９ｂ、モータ２７
９ｂの回転軸２７９ｃに設けられた移送ネジ２７９ｄ、
移送ネジ２７９ｄに螺接した移送ブロック２７９ｅ、及
び移送ブロック２７９ｅに設けられた高解像度検査用カ
メラ２７９ｆから構成される。
は、第１ベースフレーム移送ユニット２７３の最高の所
よりわずか高い支持フレーム２７９ａ、支持フレーム２
７９ａの側面に設けられたモータ２７９ｂ、モータ２７
９ｂの回転軸２７９ｃに設けられた移送ネジ２７９ｄ、
移送ネジ２７９ｄに螺接した移送ブロック２７９ｅ、及
び移送ブロック２７９ｅに設けられた高解像度検査用カ
メラ２７９ｆから構成される。
【００９４】このとき、高解像度検査用カメラ２７９ｆ
は、第１ベースフレーム移送ユニット２７３に安着した
ベースフレーム３０の上部で往復運動を通して半田ボー
ルパッド５０に半田ボール６０が正確に安着したか否か
を精密検査する。
は、第１ベースフレーム移送ユニット２７３に安着した
ベースフレーム３０の上部で往復運動を通して半田ボー
ルパッド５０に半田ボール６０が正確に安着したか否か
を精密検査する。
【００９５】第１ベースフレーム移送ユニット２７３と
所定距離をおいて離隔されたビジュアル検査ユニット２
７９による検査結果、半田ボールアタッチ不良の発生し
たベースフレーム３０は前述の収納容器２７１に移送
し、半田ボールアタッチ不良が発生しないベースフレー
ムは後述の工程待ちユニット２８０に移送するために、
第１ベースフレーム移送ユニット２７３の下面には収納
容器２７１と工程待ちユニット２８０との間で第１ベー
スフレーム移送ユニット２７３を直線往復運動させる第
２ベースフレーム移送ユニット２７８が設けられる。
所定距離をおいて離隔されたビジュアル検査ユニット２
７９による検査結果、半田ボールアタッチ不良の発生し
たベースフレーム３０は前述の収納容器２７１に移送
し、半田ボールアタッチ不良が発生しないベースフレー
ムは後述の工程待ちユニット２８０に移送するために、
第１ベースフレーム移送ユニット２７３の下面には収納
容器２７１と工程待ちユニット２８０との間で第１ベー
スフレーム移送ユニット２７３を直線往復運動させる第
２ベースフレーム移送ユニット２７８が設けられる。
【００９６】この様な役割を果す第２ベースフレーム移
送ユニット２７８は、第１ベースフレーム移送ユニット
２７３の下面の所定位置に突出した係止突起（図示略）
と、係止突起に固定され、収納容器２７１から工程待ち
ユニット２８０に至る長さを持ち、水平に置いている動
力伝達用テンションベルト２７８ａと、動力伝達用テン
ションベルト２７８ａに緊張を維持させる動力伝達用テ
ンションベルト２７８ａの両端に結合されたプーリ２７
８ｂと、プーリ２７８ｂのいずれかに結合されたモータ
（図示略）と、第１ベースフレーム移送ユニット２７３
を指定の経路に沿って移送させる第１ベースフレーム移
送ユニット２７３の下面に結合された一対のガイドレー
ル２７８ｃとから構成される。
送ユニット２７８は、第１ベースフレーム移送ユニット
２７３の下面の所定位置に突出した係止突起（図示略）
と、係止突起に固定され、収納容器２７１から工程待ち
ユニット２８０に至る長さを持ち、水平に置いている動
力伝達用テンションベルト２７８ａと、動力伝達用テン
ションベルト２７８ａに緊張を維持させる動力伝達用テ
ンションベルト２７８ａの両端に結合されたプーリ２７
８ｂと、プーリ２７８ｂのいずれかに結合されたモータ
（図示略）と、第１ベースフレーム移送ユニット２７３
を指定の経路に沿って移送させる第１ベースフレーム移
送ユニット２７３の下面に結合された一対のガイドレー
ル２７８ｃとから構成される。
【００９７】この様な構成を持つ選別機２７２及びビジ
ュアル検査ユニット２７９によって半田ボール安着不良
の発生したベースフレーム３０は、収納容器２７１に収
納後、半田ボール６０及び溶剤５５洗浄工程を行う。そ
の後、半田ボール安着工程をさらに開始して、半田ボー
ル安着不良の発生しないベースフレーム３０は、リフロ
ー工程を行うための準備過程で工程待ちユニット２８０
に移送される。
ュアル検査ユニット２７９によって半田ボール安着不良
の発生したベースフレーム３０は、収納容器２７１に収
納後、半田ボール６０及び溶剤５５洗浄工程を行う。そ
の後、半田ボール安着工程をさらに開始して、半田ボー
ル安着不良の発生しないベースフレーム３０は、リフロ
ー工程を行うための準備過程で工程待ちユニット２８０
に移送される。
【００９８】工程待ちユニット２８０は、図７に示すよ
うに、選別機２７２がガイドレール２７８ｃの端部まで
移送された状態で選別機２７２の第１ベースフレーム移
送ユニット２７３によってベースフレーム３０が移送さ
れる位置に設けられる。望ましく、本実施例では工程待
ちユニット２８０を複合ユニット２１０の移送ユニット
２１１と同様な構成を持つようにした。
うに、選別機２７２がガイドレール２７８ｃの端部まで
移送された状態で選別機２７２の第１ベースフレーム移
送ユニット２７３によってベースフレーム３０が移送さ
れる位置に設けられる。望ましく、本実施例では工程待
ちユニット２８０を複合ユニット２１０の移送ユニット
２１１と同様な構成を持つようにした。
【００９９】この様な工程待ちユニット２８０は、後述
のリフロー装置３００で二つのベースフレーム３０を同
時にリフローさせるという長所を持つ。
のリフロー装置３００で二つのベースフレーム３０を同
時にリフローさせるという長所を持つ。
【０１００】すなわち、これは、工程待ちユニット２８
０に半田ボールアタッチ不良が発生しないベースフレー
ム３０を収納後、半田ボールアタッチ不良が発生しない
もう一つのベースフレーム３０を第１ベースフレーム移
送ユニット２７３によって工程待ちユニット２８０と平
行な位置に移送した状態で、リフロー装置３００が第１
ベースフレーム移送ユニット２７３に納まったベースフ
レーム３０と工程待ちユニット２８０に待機中のベース
フレーム３０とを同時にピックアップして、二つのベー
スフレーム３０をリフロー装置３００で同時にリフロー
させる。本実施例では、工程待ちユニット２８０を一
つ、第１ベースフレーム移送ユニット２７３を一つ用い
て、二つのベースフレーム３０を同時にリフローさせ
る。他に、図６に示すように、工程待ちユニット２８０
を少なくとも二つ以上並列配置する場合、少なくとも三
つ以上のベースフレーム３０を同時にリフローさせるこ
とができる。
０に半田ボールアタッチ不良が発生しないベースフレー
ム３０を収納後、半田ボールアタッチ不良が発生しない
もう一つのベースフレーム３０を第１ベースフレーム移
送ユニット２７３によって工程待ちユニット２８０と平
行な位置に移送した状態で、リフロー装置３００が第１
ベースフレーム移送ユニット２７３に納まったベースフ
レーム３０と工程待ちユニット２８０に待機中のベース
フレーム３０とを同時にピックアップして、二つのベー
スフレーム３０をリフロー装置３００で同時にリフロー
させる。本実施例では、工程待ちユニット２８０を一
つ、第１ベースフレーム移送ユニット２７３を一つ用い
て、二つのベースフレーム３０を同時にリフローさせ
る。他に、図６に示すように、工程待ちユニット２８０
を少なくとも二つ以上並列配置する場合、少なくとも三
つ以上のベースフレーム３０を同時にリフローさせるこ
とができる。
【０１０１】以下、図８乃至図１１を参照して、リフロ
ー工程を行うリフロー装置３００の具体的な構成を説明
する。図９を参照すれば、リフロー装置３００は、全体
として、ヒーティング装置３０５によって半田ボール６
０の溶融温度以上で加熱したヒーティング領域３１０
と、ヒーティング領域３１０で溶融した半田ボール６０
を冷却ペン３２５によって強制冷却する強制冷却領域３
２０と、自然冷却領域３３０及びベースフレーム３０を
移送するステップ移送装置を持つリフロー炉３４０（re
flow funace）と、半田ボール安着装置２００の工程待
ちユニット２８０及び第１ベースフレーム移送ユニット
２７３から供給されたベースフレーム３０をリフロー炉
３４０に移送する、図８に示したベースフレームフィー
ダ３５０（base frame feeder）とから構成される。
ー工程を行うリフロー装置３００の具体的な構成を説明
する。図９を参照すれば、リフロー装置３００は、全体
として、ヒーティング装置３０５によって半田ボール６
０の溶融温度以上で加熱したヒーティング領域３１０
と、ヒーティング領域３１０で溶融した半田ボール６０
を冷却ペン３２５によって強制冷却する強制冷却領域３
２０と、自然冷却領域３３０及びベースフレーム３０を
移送するステップ移送装置を持つリフロー炉３４０（re
flow funace）と、半田ボール安着装置２００の工程待
ちユニット２８０及び第１ベースフレーム移送ユニット
２７３から供給されたベースフレーム３０をリフロー炉
３４０に移送する、図８に示したベースフレームフィー
ダ３５０（base frame feeder）とから構成される。
【０１０２】まず、図８を参照してベースフレームフィ
ーダ３５０を説明する。ベースフレームフィーダ３５０
は、半田ボール安着装置２００の第１ベースフレーム移
送装置２７３及び工程待ちユニット２８０の上面に設け
られ、リフロー炉３４０の側壁に設けられた支持ロッド
３５１と、支持ロッド３５１に設けられて支持ロッド３
５１に沿って動くガイダ３５２と、ガイダ３５２に設け
られ、第１ベースフレーム移送装置２７３及び工程待ち
ユニット２８０の上部に位置するピックアップモジュー
ルプレート３５３と、ピックアップモジュールプレート
３５３に設けられたピックアップモジュール３５４とか
ら構成される。
ーダ３５０を説明する。ベースフレームフィーダ３５０
は、半田ボール安着装置２００の第１ベースフレーム移
送装置２７３及び工程待ちユニット２８０の上面に設け
られ、リフロー炉３４０の側壁に設けられた支持ロッド
３５１と、支持ロッド３５１に設けられて支持ロッド３
５１に沿って動くガイダ３５２と、ガイダ３５２に設け
られ、第１ベースフレーム移送装置２７３及び工程待ち
ユニット２８０の上部に位置するピックアップモジュー
ルプレート３５３と、ピックアップモジュールプレート
３５３に設けられたピックアップモジュール３５４とか
ら構成される。
【０１０３】ピックアップモジュール３５４は、ピック
アップモジュールプレート３５３の下面すなわち第１ベ
ースフレーム移送装置２７３及び工程待ちユニット２８
０の上面に安着したベースフレーム３０との対向位置に
設けられたアップダウンシリンダ３５４ａと、アップ-
ダウンシリンダ３５４ａのシリンダロッド３５４ｂの端
部に設けられたピックアッププレート３５４ｃと、ピッ
クアッププレート３５４ｃの下面に設けられたコレット
３５４ｄ（collet）と、コレット３５４ｄに真空圧を発
生させる真空圧発生装置（図示略）とから構成される。
アップモジュールプレート３５３の下面すなわち第１ベ
ースフレーム移送装置２７３及び工程待ちユニット２８
０の上面に安着したベースフレーム３０との対向位置に
設けられたアップダウンシリンダ３５４ａと、アップ-
ダウンシリンダ３５４ａのシリンダロッド３５４ｂの端
部に設けられたピックアッププレート３５４ｃと、ピッ
クアッププレート３５４ｃの下面に設けられたコレット
３５４ｄ（collet）と、コレット３５４ｄに真空圧を発
生させる真空圧発生装置（図示略）とから構成される。
【０１０４】この様な構成を持つピックアップモジュー
ル３５４は、第１ベースフレーム移送装置２７３及び工
程待ちユニット２８０に待機中のベースフレーム３０を
ピックアップ後、リフロー炉３４０に投入する。
ル３５４は、第１ベースフレーム移送装置２７３及び工
程待ちユニット２８０に待機中のベースフレーム３０を
ピックアップ後、リフロー炉３４０に投入する。
【０１０５】図９乃至図１１を参照して、リフロー炉３
４０を具体的に説明すれば、リフロー炉３４０は、リフ
ローチャンバ３４１、リフローチャンバ３４１の内部に
設けられたステップ移送装置３４７、ヒーティング装置
３０５及び冷却ペン３２５から構成される。
４０を具体的に説明すれば、リフロー炉３４０は、リフ
ローチャンバ３４１、リフローチャンバ３４１の内部に
設けられたステップ移送装置３４７、ヒーティング装置
３０５及び冷却ペン３２５から構成される。
【０１０６】リフローチャンバ３４１は、長い直方体箱
形状でかつ長手方向の両端部に所定部分開口している形
状であって、一部開口している側面中の非開口部分には
前述のベースフレームフィーダ３５０が設けられ、リフ
ローチャンバ３４１の内部底面にはステップ移送装置３
４７が設けられる。
形状でかつ長手方向の両端部に所定部分開口している形
状であって、一部開口している側面中の非開口部分には
前述のベースフレームフィーダ３５０が設けられ、リフ
ローチャンバ３４１の内部底面にはステップ移送装置３
４７が設けられる。
【０１０７】図１０を参照して、ステップ移送装置３４
７を具体的に説明する。ステップ移送装置３４７は、ベ
ースフレーム３０の安着する幅を持つベースフレームガ
イドレール３４２と、ベースフレーム３０をリフローチ
ャンバ３４１の入口から出口に押し出すベースフレーム
移送装置３４３とを含む。
７を具体的に説明する。ステップ移送装置３４７は、ベ
ースフレーム３０の安着する幅を持つベースフレームガ
イドレール３４２と、ベースフレーム３０をリフローチ
ャンバ３４１の入口から出口に押し出すベースフレーム
移送装置３４３とを含む。
【０１０８】詳しくは、本実施例によるリフロー装置３
００は、二つのベースフレーム３０が移送されながらリ
フロー工程を行うが、一つのベースフレーム３０を支持
するには、二つのベースフレームガイドレール３４２を
必要とするため、全部四つのベースフレームガイドレー
ル３４２が設けられる。
００は、二つのベースフレーム３０が移送されながらリ
フロー工程を行うが、一つのベースフレーム３０を支持
するには、二つのベースフレームガイドレール３４２を
必要とするため、全部四つのベースフレームガイドレー
ル３４２が設けられる。
【０１０９】このベースフレームガイドレール３４２
は、リフローチャンバ３４１の内部中のリフローチャン
バ３４１の入口から出口に向かって二つがペアになって
ベースフレーム３０を移送させる。
は、リフローチャンバ３４１の内部中のリフローチャン
バ３４１の入口から出口に向かって二つがペアになって
ベースフレーム３０を移送させる。
【０１１０】このとき、ベースフレーム３０をスムース
に移送させるために、図１０に示すように、ベースフレ
ームガイドレール３４２中のベースフレーム３０と接触
される部分には段顎３４２ａが形成され、ベースフレー
ム３０が不規則に移送されることを防止する。
に移送させるために、図１０に示すように、ベースフレ
ームガイドレール３４２中のベースフレーム３０と接触
される部分には段顎３４２ａが形成され、ベースフレー
ム３０が不規則に移送されることを防止する。
【０１１１】これに加えて、ベースフレーム３０と接触
するように、それぞれのベースフレームガイドレール３
４２には複数個のローラ３４２ｂを設けるのが望ましい
が、この様なローラ３４２ｂはベースフレーム３０に揺
れや振動を最小化しかつ非常スムースに移送されるよう
にする。
するように、それぞれのベースフレームガイドレール３
４２には複数個のローラ３４２ｂを設けるのが望ましい
が、この様なローラ３４２ｂはベースフレーム３０に揺
れや振動を最小化しかつ非常スムースに移送されるよう
にする。
【０１１２】この様な役割を果す全てのベースフレーム
ガイドレール３４２は、隣接しているベースフレームガ
イドレール３４２と連結バー３４２ｃによって連結し、
最外側に形成された二つのベースフレームガイドレール
３４２は固定バー３４２ｄによってリフローチャンバ３
４１の側壁に固定支持される。
ガイドレール３４２は、隣接しているベースフレームガ
イドレール３４２と連結バー３４２ｃによって連結し、
最外側に形成された二つのベースフレームガイドレール
３４２は固定バー３４２ｄによってリフローチャンバ３
４１の側壁に固定支持される。
【０１１３】このように構成されたベースフレームガイ
ドレール３４２に前述のベースフレームフィーダ３５０
によってベースフレーム３０が安着すれば、安着のベー
スフレーム３０はステップ移送装置３４７によってリフ
ローチャンバ３４１の内部を徐々に通過する。
ドレール３４２に前述のベースフレームフィーダ３５０
によってベースフレーム３０が安着すれば、安着のベー
スフレーム３０はステップ移送装置３４７によってリフ
ローチャンバ３４１の内部を徐々に通過する。
【０１１４】これを具現するために、リフローチャンバ
３４１の内部にはベースフレームガイドレール３４２と
関連してベースフレーム移送装置３４３を必要とする。
３４１の内部にはベースフレームガイドレール３４２と
関連してベースフレーム移送装置３４３を必要とする。
【０１１５】ベースフレーム移送装置３４３は、非常に
多様な構成例えばシリンダ及びシリンダロッドからなる
移送本体や、シリンダロッドに設けられてベースフレー
ムをベースフレームガイドレール３４２に沿って移送さ
せる移送バー等で具現できるが、この場合、シリンダの
連続動作が難しいため、本実施例ではスプロケットホィ
ール、移送チェーン及び移送バーによって連続的にベー
スフレーム３０を移送する実施例を最も好適実施例とし
て説明する。具体的に、ベースフレーム移送装置３４３
はスプロケットホィールアセンブリ３４４、移送チェー
ン３４５及び移送バー３４６から構成される。
多様な構成例えばシリンダ及びシリンダロッドからなる
移送本体や、シリンダロッドに設けられてベースフレー
ムをベースフレームガイドレール３４２に沿って移送さ
せる移送バー等で具現できるが、この場合、シリンダの
連続動作が難しいため、本実施例ではスプロケットホィ
ール、移送チェーン及び移送バーによって連続的にベー
スフレーム３０を移送する実施例を最も好適実施例とし
て説明する。具体的に、ベースフレーム移送装置３４３
はスプロケットホィールアセンブリ３４４、移送チェー
ン３４５及び移送バー３４６から構成される。
【０１１６】具体的に、スプロケットホィールアセンブ
リ３４４は全体として、一定間隔を持ちながら並列配列
された三つのスプロケットホィール３４４ａ、三つのス
プロケットホィール３４４ａを連結するスプロケットホ
ィール軸３４４ｂ及びスプロケットホィール軸３４４ｂ
と結合されるモータ３４４ｃからなり、この様な二つの
スプロケットホィールアセンブリ３４４はベースフレー
ムガイドレール３４２の両端部に該当する部分に二つ用
いられる。
リ３４４は全体として、一定間隔を持ちながら並列配列
された三つのスプロケットホィール３４４ａ、三つのス
プロケットホィール３４４ａを連結するスプロケットホ
ィール軸３４４ｂ及びスプロケットホィール軸３４４ｂ
と結合されるモータ３４４ｃからなり、この様な二つの
スプロケットホィールアセンブリ３４４はベースフレー
ムガイドレール３４２の両端部に該当する部分に二つ用
いられる。
【０１１７】本実施例では、これらスプロケットホィー
ルアセンブリ３４４のうち、モータ３４４ｃの軸とスプ
ロケットホィール軸３４４ｂが結合されるスプロケット
ホィールアセンブリ３４４を駆動スプロケットホィール
アセンブリ、残りを被動スプロケットホィールアセンブ
リと定義する。
ルアセンブリ３４４のうち、モータ３４４ｃの軸とスプ
ロケットホィール軸３４４ｂが結合されるスプロケット
ホィールアセンブリ３４４を駆動スプロケットホィール
アセンブリ、残りを被動スプロケットホィールアセンブ
リと定義する。
【０１１８】このとき、駆動スプロケットホィールアセ
ンブリ及び被動スプロケットホィールアセンブリを構成
する三つのスプロケットホィールのうち、最外側に形成
された二つのスプロケットホィールがなす距離は四つの
ベースフレームガイドレール３４２中の最外側に形成さ
れた二つのベースフレームガイドレールがなす距離より
も多少長く形成され、残り一つのスプロケットホィール
は四つのベースフレームガイドレール３４２中の中央に
位置した二つのベースフレームガイドレール間に形成さ
れる。
ンブリ及び被動スプロケットホィールアセンブリを構成
する三つのスプロケットホィールのうち、最外側に形成
された二つのスプロケットホィールがなす距離は四つの
ベースフレームガイドレール３４２中の最外側に形成さ
れた二つのベースフレームガイドレールがなす距離より
も多少長く形成され、残り一つのスプロケットホィール
は四つのベースフレームガイドレール３４２中の中央に
位置した二つのベースフレームガイドレール間に形成さ
れる。
【０１１９】また、駆動スプロケットホィールアセンブ
リと被動スプロケットホィールアセンブリのスプロケッ
トホィール軸３４４ｂは、ベースフレームガイドレール
３４２と同様にリフローチャンバ３４１の側壁に設置支
持される。このように設けられた駆動スプロケットホィ
ールアセンブリと被動スプロケットホィールアセンブリ
のプロケットホィール３４４ａには、各々移送チェーン
３４５が結合される。
リと被動スプロケットホィールアセンブリのスプロケッ
トホィール軸３４４ｂは、ベースフレームガイドレール
３４２と同様にリフローチャンバ３４１の側壁に設置支
持される。このように設けられた駆動スプロケットホィ
ールアセンブリと被動スプロケットホィールアセンブリ
のプロケットホィール３４４ａには、各々移送チェーン
３４５が結合される。
【０１２０】一方、駆動スプロケットホィールアセンブ
リに軸着のモータ３４４ｃの作動により駆動スプロケッ
トホィールアセンブリ及び移送チェーン３４５が回転自
在な状態で移送チェーン３４５と隣接している移送チェ
ーンには複数個の移送バー３４６が結合される。
リに軸着のモータ３４４ｃの作動により駆動スプロケッ
トホィールアセンブリ及び移送チェーン３４５が回転自
在な状態で移送チェーン３４５と隣接している移送チェ
ーンには複数個の移送バー３４６が結合される。
【０１２１】このとき、移送バー３４６の個数及びスプ
ロケットホィールアセンブリ３４４の回転速度は非常に
重要であるから、移送バー３４６の個数及びスプロケッ
トホィールアセンブリ３４４の回転速度は、ベースフレ
ーム３０に安着した半田ボール６０が溶融付着されるの
に充分な時間及び充分な冷却時間を確保できる範囲内で
設定される。
ロケットホィールアセンブリ３４４の回転速度は非常に
重要であるから、移送バー３４６の個数及びスプロケッ
トホィールアセンブリ３４４の回転速度は、ベースフレ
ーム３０に安着した半田ボール６０が溶融付着されるの
に充分な時間及び充分な冷却時間を確保できる範囲内で
設定される。
【０１２２】一方、この様な構成を持つステップ移送装
置３４７によってリフローチャンバ３４１の入口から出
口に移送されるベースフレーム３０の半田ボールパッド
５０に安着した半田ボール６０を溶融付着させるため
に、リフローチャンバ３４１の内部には前述のヒーティ
ング領域３１０、強制冷却領域３２０及び自然冷却領域
３３０が形成される。
置３４７によってリフローチャンバ３４１の入口から出
口に移送されるベースフレーム３０の半田ボールパッド
５０に安着した半田ボール６０を溶融付着させるため
に、リフローチャンバ３４１の内部には前述のヒーティ
ング領域３１０、強制冷却領域３２０及び自然冷却領域
３３０が形成される。
【０１２３】具体的に、ヒーティング領域３１０は、半
田ボール６０が半田ボールパッド５０に溶融付着される
のに充分な温度及び時間を確保するために、リフローチ
ャンバ３４１の内部中の比較的広い空間にわたって形成
され、ヒーティング領域３１０と隣接している所には高
温加熱したベースフレーム３０を所定温度まで冷却させ
る強制冷却領域３２０が形成され、強制冷却領域３２０
と隣接している所には自然冷却を行う自然冷却領域３３
０が形成される。
田ボール６０が半田ボールパッド５０に溶融付着される
のに充分な温度及び時間を確保するために、リフローチ
ャンバ３４１の内部中の比較的広い空間にわたって形成
され、ヒーティング領域３１０と隣接している所には高
温加熱したベースフレーム３０を所定温度まで冷却させ
る強制冷却領域３２０が形成され、強制冷却領域３２０
と隣接している所には自然冷却を行う自然冷却領域３３
０が形成される。
【０１２４】このとき、ヒーティング領域３１０には精
密な温度制御が可能で、半田ボール６０の鎔融されるの
に充分な熱を発生させるヒーティング装置３０５が設け
られ、強制冷却領域３２０には冷却ペン３２５が設けら
れる。一方、自然冷却領域３３０には自然冷却終了のベ
ースフレーム３０を後続工程に移送されるまで動きを制
限するベースフレームストッパ（図示略）を設けること
が望ましい。
密な温度制御が可能で、半田ボール６０の鎔融されるの
に充分な熱を発生させるヒーティング装置３０５が設け
られ、強制冷却領域３２０には冷却ペン３２５が設けら
れる。一方、自然冷却領域３３０には自然冷却終了のベ
ースフレーム３０を後続工程に移送されるまで動きを制
限するベースフレームストッパ（図示略）を設けること
が望ましい。
【０１２５】この様な構成を持つリフロー装置３００か
らリフロー終了のベースフレーム３０の半田ボールパッ
ド５０には半田ボール６０を取付けた状態である。とこ
ろが、溶融された半田ボール６０を半田ボールパッド５
０に完全に取付けるように補助役割をする溶剤５５が半
田ボールパッド５０に残留しているため、ベースフレー
ム３０に残留している溶剤５５を除去しなければならな
い。
らリフロー終了のベースフレーム３０の半田ボールパッ
ド５０には半田ボール６０を取付けた状態である。とこ
ろが、溶融された半田ボール６０を半田ボールパッド５
０に完全に取付けるように補助役割をする溶剤５５が半
田ボールパッド５０に残留しているため、ベースフレー
ム３０に残留している溶剤５５を除去しなければならな
い。
【０１２６】これを具現するために、リフロー装置３０
０に近接しているベース本体８００には水溶性溶剤５５
を除去する洗浄装置４００が設けられる。このとき、洗
浄装置４００は、本実施例による半田ボールアタッチシ
ステム８０１の面積を最小化するための一実施例とし
て、リフロー装置３００の側面に沿って長く設けられ、
これによりリフロー装置３００を通過したベースフレー
ム３０はリフロー装置３００の通過時とは反対方向に洗
浄装置４００を通過する。
０に近接しているベース本体８００には水溶性溶剤５５
を除去する洗浄装置４００が設けられる。このとき、洗
浄装置４００は、本実施例による半田ボールアタッチシ
ステム８０１の面積を最小化するための一実施例とし
て、リフロー装置３００の側面に沿って長く設けられ、
これによりリフロー装置３００を通過したベースフレー
ム３０はリフロー装置３００の通過時とは反対方向に洗
浄装置４００を通過する。
【０１２７】この様な洗浄装置４００の配置は、半田ボ
ールアタッチシステム８０１の占有面積を極小に具現で
きるが、このためには、リフロー装置３００の出口から
洗浄装置４００の入口までベースフレーム３０を移送す
る別のトランスファ装置が必要になる。
ールアタッチシステム８０１の占有面積を極小に具現で
きるが、このためには、リフロー装置３００の出口から
洗浄装置４００の入口までベースフレーム３０を移送す
る別のトランスファ装置が必要になる。
【０１２８】図１２に本実施例によるトランスファ装置
５００の具体的な実施例を示している。トランスファ装
置５００は、リフロー装置３００の出口から後述の洗浄
装置４００の入口までベースフレーム３０を移送するた
めに、リフロー装置３００のリフローチャンバ３４１の
側壁から洗浄装置４００の洗浄チャンバの側壁まで延設
されたガイドレール５１０、ガイドレール５１０に沿っ
て動くガイドブロック５２０、ガイドブロック５２０に
螺接された移送ネジ５３０、及び移送ネジ５３０の端部
に設けられたピックアップモジュール５４０から構成さ
れる。
５００の具体的な実施例を示している。トランスファ装
置５００は、リフロー装置３００の出口から後述の洗浄
装置４００の入口までベースフレーム３０を移送するた
めに、リフロー装置３００のリフローチャンバ３４１の
側壁から洗浄装置４００の洗浄チャンバの側壁まで延設
されたガイドレール５１０、ガイドレール５１０に沿っ
て動くガイドブロック５２０、ガイドブロック５２０に
螺接された移送ネジ５３０、及び移送ネジ５３０の端部
に設けられたピックアップモジュール５４０から構成さ
れる。
【０１２９】このピックアップモジュール５４０はリフ
ロー装置３００に設けられたベースフレームフィーダ３
５０のピックアップモジュール３５４と同様な構成であ
るので、その説明は省略する。一方、洗浄装置４００の
設備異常が発生しても、洗浄工程の前工程すなわち半田
ボールアタッチ工程及びリフロー工程の中断なしに継続
行われるように、トランスファ装置５００の設けられた
ベース本体８００にはベースフレーム仮収納装置５９０
が設けられる。
ロー装置３００に設けられたベースフレームフィーダ３
５０のピックアップモジュール３５４と同様な構成であ
るので、その説明は省略する。一方、洗浄装置４００の
設備異常が発生しても、洗浄工程の前工程すなわち半田
ボールアタッチ工程及びリフロー工程の中断なしに継続
行われるように、トランスファ装置５００の設けられた
ベース本体８００にはベースフレーム仮収納装置５９０
が設けられる。
【０１３０】具体的に、ベースフレーム仮収納装置５９
０は、前述の半田ボール安着装置２００の選別ユニット
２７０と同様に、少なくとも一つ以上の収納容器５５０
及びベースフレーム移送ユニット５６０から構成され
る。
０は、前述の半田ボール安着装置２００の選別ユニット
２７０と同様に、少なくとも一つ以上の収納容器５５０
及びベースフレーム移送ユニット５６０から構成され
る。
【０１３１】ベースフレーム移送ユニット５６０は選別
ユニット２７０と同様な構成の第１ベースフレーム移送
ユニット５６５及び第２ベースフレーム移送ユニット５
６７から構成されるが、この第１及び第２ベースフレー
ム移送ユニット５６５、５６７の構成は選別ユニット２
７０の第１及び第２ベースフレーム移送ユニット２７
３、２７９と同様な構成を持つため、その説明は省略す
る。
ユニット２７０と同様な構成の第１ベースフレーム移送
ユニット５６５及び第２ベースフレーム移送ユニット５
６７から構成されるが、この第１及び第２ベースフレー
ム移送ユニット５６５、５６７の構成は選別ユニット２
７０の第１及び第２ベースフレーム移送ユニット２７
３、２７９と同様な構成を持つため、その説明は省略す
る。
【０１３２】以下、図１３を参照して、リフロー装置３
００から排出されたベースフレーム３０を洗浄する洗浄
装置４００を説明する。洗浄装置４００は全体として、
洗浄チャンバ４１０、移送装置４４０、洗浄液噴射装置
４５０、乾燥装置４６０及び図１４に示した洗浄装置用
アンローダ４７０から構成される。
００から排出されたベースフレーム３０を洗浄する洗浄
装置４００を説明する。洗浄装置４００は全体として、
洗浄チャンバ４１０、移送装置４４０、洗浄液噴射装置
４５０、乾燥装置４６０及び図１４に示した洗浄装置用
アンローダ４７０から構成される。
【０１３３】洗浄チャンバ４１０は、前述のリフロー装
置３００のリフローチャンバ３４１の側面に密着設置さ
れた直方体箱形状であって、洗浄チャンバ４１０の両端
部には入口と出口が形成され、洗浄チャンバ４１０中の
一側はベース基板３０の洗浄過程が外部で観測可能であ
るように透明材質を持つ部材から構成される。
置３００のリフローチャンバ３４１の側面に密着設置さ
れた直方体箱形状であって、洗浄チャンバ４１０の両端
部には入口と出口が形成され、洗浄チャンバ４１０中の
一側はベース基板３０の洗浄過程が外部で観測可能であ
るように透明材質を持つ部材から構成される。
【０１３４】一方、洗浄チャンバ４１０の内部にはベー
スフレーム３０を移送する移送装置４４０が設けられ、
移送装置４４０の上部及び下部にはベースフレーム３０
の半田ボールパッド５０に残存の水溶性溶剤５５を洗浄
するための洗浄液噴射装置４５０と、洗浄液を乾燥する
ための乾燥装置４６０とが設けられる。
スフレーム３０を移送する移送装置４４０が設けられ、
移送装置４４０の上部及び下部にはベースフレーム３０
の半田ボールパッド５０に残存の水溶性溶剤５５を洗浄
するための洗浄液噴射装置４５０と、洗浄液を乾燥する
ための乾燥装置４６０とが設けられる。
【０１３５】移送装置４４０は、さらに二つのベースフ
レームガイドレール４４１及びスプロケットホィールア
センブリ４４２から構成される。二つのベースフレーム
ガイドレール４４１は、ベースフレーム３０が上面に安
着する程で相互離隔された棒状で、洗浄チャンバ４１０
の側面内側に固定される。
レームガイドレール４４１及びスプロケットホィールア
センブリ４４２から構成される。二つのベースフレーム
ガイドレール４４１は、ベースフレーム３０が上面に安
着する程で相互離隔された棒状で、洗浄チャンバ４１０
の側面内側に固定される。
【０１３６】このように、洗浄チャンバ４１０の側面に
固定されたベースフレームガイドレール４４１のうち、
ベースフレーム３０の下面と接触する部分にはベースフ
レーム３０をスムースに移送するために一定間隔をおい
て移送ローラ（図示略）が設けられる。
固定されたベースフレームガイドレール４４１のうち、
ベースフレーム３０の下面と接触する部分にはベースフ
レーム３０をスムースに移送するために一定間隔をおい
て移送ローラ（図示略）が設けられる。
【０１３７】スプロケットホィールアセンブリ４４２
は、さらにスプロケットホィール４４２ａ、回転軸４４
２ｂ、移送チェーン４４３及び移送バー４４４から構成
される。移送チェーン４４３は、二つのベースフレーム
ガイドレール４４１の外側でベースフレームガイドレー
ル４４１と平行に設けられ、二つの移送チェーン４４３
の両端にはスプロケットホィール４４２ａが結合され、
対向する二つのスプロケットホィール４４２ａは各々回
転軸４４２ｂによって固定される。このとき、いずれか
の回転軸４４２ｂにはモータ（図示略）のモータ軸が結
合される。
は、さらにスプロケットホィール４４２ａ、回転軸４４
２ｂ、移送チェーン４４３及び移送バー４４４から構成
される。移送チェーン４４３は、二つのベースフレーム
ガイドレール４４１の外側でベースフレームガイドレー
ル４４１と平行に設けられ、二つの移送チェーン４４３
の両端にはスプロケットホィール４４２ａが結合され、
対向する二つのスプロケットホィール４４２ａは各々回
転軸４４２ｂによって固定される。このとき、いずれか
の回転軸４４２ｂにはモータ（図示略）のモータ軸が結
合される。
【０１３８】二つのベースフレームガイドレール４４１
の外側に互いに対向設置された二つの移送チェーン４４
３には移送バー４４４によって連結する。このとき、移
送バー４４４は、移送チェーン４４３がスプロケットホ
ィール４４２ａによって回転されながらベースフレーム
ガイドレール４４１に載置されたベースフレーム３０を
洗浄装置４００の入口から出口に向けて押し出す役割を
する。
の外側に互いに対向設置された二つの移送チェーン４４
３には移送バー４４４によって連結する。このとき、移
送バー４４４は、移送チェーン４４３がスプロケットホ
ィール４４２ａによって回転されながらベースフレーム
ガイドレール４４１に載置されたベースフレーム３０を
洗浄装置４００の入口から出口に向けて押し出す役割を
する。
【０１３９】この様な構成及び作用を持つ移送装置４４
０の設けられた洗浄チャンバ４１０のうち、移送装置４
４０の上部及び下部には洗浄液噴射装置４５０及び乾燥
装置４６０が設けられる。洗浄液噴射装置４５０は洗浄
チャンバ４１０の入口から洗浄チャンバ４１０の内部に
沿って出口方向に複数個が並列設置されるが、洗浄液噴
射装置４５０は洗浄液噴射管４５２、洗浄液供給装置
（図示略）及び洗浄液噴射ノズル４５４から構成され
る。
０の設けられた洗浄チャンバ４１０のうち、移送装置４
４０の上部及び下部には洗浄液噴射装置４５０及び乾燥
装置４６０が設けられる。洗浄液噴射装置４５０は洗浄
チャンバ４１０の入口から洗浄チャンバ４１０の内部に
沿って出口方向に複数個が並列設置されるが、洗浄液噴
射装置４５０は洗浄液噴射管４５２、洗浄液供給装置
（図示略）及び洗浄液噴射ノズル４５４から構成され
る。
【０１４０】洗浄液噴射管４５２は洗浄チャンバ４１０
の側壁に支持設置され、一側端部には洗浄液の供給され
る洗浄液供給装置が連通され、洗浄液噴射管４５２には
一定間隔をおいて複数個の洗浄液噴射ノズル４５４が設
けられる。洗浄液供給装置で洗浄液によって洗浄された
ベースフレーム３０を乾燥する為に最後の洗浄液噴射装
置４５０の設けられた部分と洗浄チャンバ４１０の出口
との間には乾燥装置４６０が設けられる。
の側壁に支持設置され、一側端部には洗浄液の供給され
る洗浄液供給装置が連通され、洗浄液噴射管４５２には
一定間隔をおいて複数個の洗浄液噴射ノズル４５４が設
けられる。洗浄液供給装置で洗浄液によって洗浄された
ベースフレーム３０を乾燥する為に最後の洗浄液噴射装
置４５０の設けられた部分と洗浄チャンバ４１０の出口
との間には乾燥装置４６０が設けられる。
【０１４１】乾燥装置４６０は、洗浄液噴射装置４５０
による洗浄時に洗浄液によって濡れているベースフレー
ム３０の両面に乾燥空気を噴死してベースフレーム３０
を乾燥させる目的として設けられる。これを具現するた
めに、移送装置４４０の上部及び下部にはエアーナイフ
４６２が設けられ、エアーナイフ４６２には高温乾燥空
気が供給されるように高温乾燥空気供給装置（図示略）
が設けられる。
による洗浄時に洗浄液によって濡れているベースフレー
ム３０の両面に乾燥空気を噴死してベースフレーム３０
を乾燥させる目的として設けられる。これを具現するた
めに、移送装置４４０の上部及び下部にはエアーナイフ
４６２が設けられ、エアーナイフ４６２には高温乾燥空
気が供給されるように高温乾燥空気供給装置（図示略）
が設けられる。
【０１４２】前述したように、移送装置４４０−洗浄液
噴射装置４５０−乾燥装置４６０によってベースフレー
ム３０の半田ボールパッド５０に半田ボール６０が鎔融
安着された状態で半田ボールパッド５０に残留している
溶剤５５は除去され、溶剤の除去されたベースフレーム
３０は移送装置４４０によって洗浄チャンバ４１０の出
口に移送される。
噴射装置４５０−乾燥装置４６０によってベースフレー
ム３０の半田ボールパッド５０に半田ボール６０が鎔融
安着された状態で半田ボールパッド５０に残留している
溶剤５５は除去され、溶剤の除去されたベースフレーム
３０は移送装置４４０によって洗浄チャンバ４１０の出
口に移送される。
【０１４３】洗浄チャンバ４１０の出口には、ベースフ
レーム３０を洗浄チャンバ４１０の外部に排出する洗浄
装置用アンローダ４７０が設けられる。図１４を参照す
れば、洗浄装置用アンローダ４７０は、洗浄チャンバ４
１０の出口の形成された側壁からリフロー装置３００方
向に所定長さ突出された第１ガイドレール４７２と、第
１ガイドレール４７２に設けられて第１ガイドレール４
７２に沿って移動する第１移送ブロック４７４と、第１
ガイドレール４７２と直交し、第１移送ブロック４７４
に設けられた第２ガイドレール４７６と、第２ガイドレ
ール４７６に設けられて第２ガイドレール４７６に沿っ
て移動する第２移送ブロック４７８と、第２移送ブロッ
ク４７８に設けられて垂直方向の動きを持ってベースフ
レーム３０を真空圧によって吸着するピックアップモジ
ュール４７９とから構成される。
レーム３０を洗浄チャンバ４１０の外部に排出する洗浄
装置用アンローダ４７０が設けられる。図１４を参照す
れば、洗浄装置用アンローダ４７０は、洗浄チャンバ４
１０の出口の形成された側壁からリフロー装置３００方
向に所定長さ突出された第１ガイドレール４７２と、第
１ガイドレール４７２に設けられて第１ガイドレール４
７２に沿って移動する第１移送ブロック４７４と、第１
ガイドレール４７２と直交し、第１移送ブロック４７４
に設けられた第２ガイドレール４７６と、第２ガイドレ
ール４７６に設けられて第２ガイドレール４７６に沿っ
て移動する第２移送ブロック４７８と、第２移送ブロッ
ク４７８に設けられて垂直方向の動きを持ってベースフ
レーム３０を真空圧によって吸着するピックアップモジ
ュール４７９とから構成される。
【０１４４】洗浄装置４００の洗浄装置用アンローダ４
７０を通して洗浄装置４００からピックアップされたベ
ースフレーム３０は、ベースフレーム３０の半田ボール
パッド５０に形成された半田ボール６０が正確に取付け
られたか否かを最終検査するビジュアル検査ユニット６
１０、ベースフレーム選別機６２０及びベースフレーム
選別機６２０により分け納まる少なくとも二つ以上の収
納容器１３０からなるベースフレームローダ装置６００
に移送される。
７０を通して洗浄装置４００からピックアップされたベ
ースフレーム３０は、ベースフレーム３０の半田ボール
パッド５０に形成された半田ボール６０が正確に取付け
られたか否かを最終検査するビジュアル検査ユニット６
１０、ベースフレーム選別機６２０及びベースフレーム
選別機６２０により分け納まる少なくとも二つ以上の収
納容器１３０からなるベースフレームローダ装置６００
に移送される。
【０１４５】このとき、ビジュアル検査ユニット６１
０、ベースフレーム選別機６２０及び収納容器１３０の
構成は、半田ボール安着装置２００に設けられたビジュ
アル検査ユニット２７９、選別ユニット２７０及び収納
容器２７１と同様な構成を持つため、その説明を省略す
る。このとき、ベースフレームローダ装置６００は、前
述の洗浄装置用アンローダ４７０とベースフレームアン
ローダ装置１００との間に設けられる。
０、ベースフレーム選別機６２０及び収納容器１３０の
構成は、半田ボール安着装置２００に設けられたビジュ
アル検査ユニット２７９、選別ユニット２７０及び収納
容器２７１と同様な構成を持つため、その説明を省略す
る。このとき、ベースフレームローダ装置６００は、前
述の洗浄装置用アンローダ４７０とベースフレームアン
ローダ装置１００との間に設けられる。
【０１４６】このように、ベースフレームローダ装置６
００をベースフレームアンローダ装置１００と近接に設
けることで、ベースフレームアンローダ装置１００で用
いられた収納容器１３０はベース本体８００の内部に設
けられたガイドレール（図示略）及び移送装置（図示
略）によってベースフレームローダ装置６００に移送さ
れ、移送の収納容器１３０にはビジュアル検査ユニット
６１０によって良否の判別されたベースフレーム３０が
ベースフレーム選別機６２０によって各々納まる。
００をベースフレームアンローダ装置１００と近接に設
けることで、ベースフレームアンローダ装置１００で用
いられた収納容器１３０はベース本体８００の内部に設
けられたガイドレール（図示略）及び移送装置（図示
略）によってベースフレームローダ装置６００に移送さ
れ、移送の収納容器１３０にはビジュアル検査ユニット
６１０によって良否の判別されたベースフレーム３０が
ベースフレーム選別機６２０によって各々納まる。
【０１４７】以下、図１５および図１６に基づき、本実
施例による半田ボールアタッチシステム８０１の作用を
工程順に説明する。まず、ベース本体８００の内部に納
まって半田ボールアタッチ工程を行うベースフレーム３
０の納まった収納装置１３０の一つが、ベースフレーム
アンローダ装置１００の収納容器エレベーター１１０に
よってベース本体８００の上部にロードされた後、収納
容器１３０に納まった複数枚のベースフレーム３０中の
最上部に位置したベースフレーム３０は、収納容器ガイ
ダ１２０とプッシャー１４０によって収納容器ガイダ１
２０からアンロードされる（段階１０）。
施例による半田ボールアタッチシステム８０１の作用を
工程順に説明する。まず、ベース本体８００の内部に納
まって半田ボールアタッチ工程を行うベースフレーム３
０の納まった収納装置１３０の一つが、ベースフレーム
アンローダ装置１００の収納容器エレベーター１１０に
よってベース本体８００の上部にロードされた後、収納
容器１３０に納まった複数枚のベースフレーム３０中の
最上部に位置したベースフレーム３０は、収納容器ガイ
ダ１２０とプッシャー１４０によって収納容器ガイダ１
２０からアンロードされる（段階１０）。
【０１４８】アンロードされたベースフレーム３０は収
納容器ガイダ１２０の前方に位置した複合ユニット２１
０に形成されたベースフレーム吸着パッド２１５及びア
ラインメントキー２１５ａによって仮固定される（段階
２０）。このように、ベースフレーム３０が複合ユニッ
ト２１０に固定された状態で、ベースフレーム３０の半
田ボールパッド５０には溶剤塗布ユニット２２０によっ
て溶剤５５が塗布される（段階３０）。
納容器ガイダ１２０の前方に位置した複合ユニット２１
０に形成されたベースフレーム吸着パッド２１５及びア
ラインメントキー２１５ａによって仮固定される（段階
２０）。このように、ベースフレーム３０が複合ユニッ
ト２１０に固定された状態で、ベースフレーム３０の半
田ボールパッド５０には溶剤塗布ユニット２２０によっ
て溶剤５５が塗布される（段階３０）。
【０１４９】半田ボールパッド５０に溶剤塗布ユニット
２２０の溶剤塗布過程を具体的に説明する。溶剤塗布ユ
ニット２２０の塗布ユニットが溶剤トレイ２２８ａを往
復しながら溶剤トレイ２２８ａの底面に薄い溶剤膜を形
成すれば、溶剤塗布ユニット２２０の溶剤塗布ブロック
２２４が下方移送しながら溶剤塗布ブロック２２４には
溶剤が付くことになり、溶剤塗布ブロック２２４に付い
ている溶剤は溶剤塗布ユニット２２０の移送により半田
ボールパッド５０に塗布される。
２２０の溶剤塗布過程を具体的に説明する。溶剤塗布ユ
ニット２２０の塗布ユニットが溶剤トレイ２２８ａを往
復しながら溶剤トレイ２２８ａの底面に薄い溶剤膜を形
成すれば、溶剤塗布ユニット２２０の溶剤塗布ブロック
２２４が下方移送しながら溶剤塗布ブロック２２４には
溶剤が付くことになり、溶剤塗布ブロック２２４に付い
ている溶剤は溶剤塗布ユニット２２０の移送により半田
ボールパッド５０に塗布される。
【０１５０】以後、半田ボールパッド５０には半田ボー
ル供給ユニット２３０によって半田ボール６０が吸着さ
れ（段階４０）、ビジュアル検査ユニット２０８によっ
て半田ボール供給ユニット２３０の半田ボール収納溝に
半田ボール６０が正確に吸着されたか否かを検査する
（段階５０）。
ル供給ユニット２３０によって半田ボール６０が吸着さ
れ（段階４０）、ビジュアル検査ユニット２０８によっ
て半田ボール供給ユニット２３０の半田ボール収納溝に
半田ボール６０が正確に吸着されたか否かを検査する
（段階５０）。
【０１５１】このとき、半田ボール供給ユニット２３０
への半田ボール６０の吸着過程を具体的に説明すれば、
まず、半田ボール供給ユニット２３０が半田ボール６０
の複数納まった半田ボールトレイ２３６に移送された
後、半田ボール供給ユニット２３０の半田ボール収納溝
に真空圧が形成された状態で、半田ボール供給ユニット
２３０が半田ボールトレイ２３６に納まった半田ボール
６０と接触されることで、半田ボール６０は半田ボール
収納溝に形成された真空圧によって半田ボール供給ユニ
ット２３０の半田ボール収納溝に納まる。
への半田ボール６０の吸着過程を具体的に説明すれば、
まず、半田ボール供給ユニット２３０が半田ボール６０
の複数納まった半田ボールトレイ２３６に移送された
後、半田ボール供給ユニット２３０の半田ボール収納溝
に真空圧が形成された状態で、半田ボール供給ユニット
２３０が半田ボールトレイ２３６に納まった半田ボール
６０と接触されることで、半田ボール６０は半田ボール
収納溝に形成された真空圧によって半田ボール供給ユニ
ット２３０の半田ボール収納溝に納まる。
【０１５２】以後、半田ボール供給ユニット２３０が原
位置に戻ると、半田ボールトレイ２３６は振動ユニット
２３８ａとブラシユニット２３８によって平坦になり、
後続工程の遂行準備をする。
位置に戻ると、半田ボールトレイ２３６は振動ユニット
２３８ａとブラシユニット２３８によって平坦になり、
後続工程の遂行準備をする。
【０１５３】このように作動する半田ボール供給ユニッ
ト２３０の全ての半田ボール収納溝の何れかでも半田ボ
ール６０が安着しない場合、半田ボール供給ユニット２
３０は半田ボールトレイ２３６に移動後、全ての半田ボ
ール収納溝に半田ボール６０が安着するように再度試
す。
ト２３０の全ての半田ボール収納溝の何れかでも半田ボ
ール６０が安着しない場合、半田ボール供給ユニット２
３０は半田ボールトレイ２３６に移動後、全ての半田ボ
ール収納溝に半田ボール６０が安着するように再度試
す。
【０１５４】ビジュアル検査ユニット２０８による検査
結果、全ての半田ボール収納溝に半田ボール６０が安着
して半田ボール安着準備を完了すれば、半田ボール供給
ユニット２３０に納まった半田ボール６０は、半田ボー
ルパッド５０の上面に安着しながら粘性を持つ溶剤５５
の上面に安着する（段階６０）。
結果、全ての半田ボール収納溝に半田ボール６０が安着
して半田ボール安着準備を完了すれば、半田ボール供給
ユニット２３０に納まった半田ボール６０は、半田ボー
ルパッド５０の上面に安着しながら粘性を持つ溶剤５５
の上面に安着する（段階６０）。
【０１５５】以後、複合ユニット２１０は選別ユニット
２７０の選別機２７２でベースフレーム３０を移送し、
選別機２７２は他のビジュアル検査ユニット２７９に移
送され、ビジュアル検査ユニット２７９は半田ボールパ
ッド５０の上面に半田ボール６０を正確に取付けたか否
かを検査後（段階７０）、ビジュアル検査ユニット２７
９の検査によって半田ボールパッド５０の上面の指定の
位置に半田ボールパッド５０が正確に安着しなかった場
合、該当ベースフレーム３０は不良ベースフレーム３０
収納容器２７１に納まり（段階７５）、半田ボール安着
状態が良好なベースフレーム３０はリフロー工程を行う
ために、ベースフレーム３０が仮待ちする工程待ちユニ
ット２８０に移送される（段階８０）。
２７０の選別機２７２でベースフレーム３０を移送し、
選別機２７２は他のビジュアル検査ユニット２７９に移
送され、ビジュアル検査ユニット２７９は半田ボールパ
ッド５０の上面に半田ボール６０を正確に取付けたか否
かを検査後（段階７０）、ビジュアル検査ユニット２７
９の検査によって半田ボールパッド５０の上面の指定の
位置に半田ボールパッド５０が正確に安着しなかった場
合、該当ベースフレーム３０は不良ベースフレーム３０
収納容器２７１に納まり（段階７５）、半田ボール安着
状態が良好なベースフレーム３０はリフロー工程を行う
ために、ベースフレーム３０が仮待ちする工程待ちユニ
ット２８０に移送される（段階８０）。
【０１５６】以後、段階１０から段階８０までを繰返し
た後、半田ボールパッド５０の上面に半田ボール６０を
正確に取付けたベースフレーム３０は、選別ユニット２
７０によって工程待ちユニット２８０と一致した状態で
後続工程の前に待つことで、半田ボールアタッチ工程が
終了される（段階１００）。
た後、半田ボールパッド５０の上面に半田ボール６０を
正確に取付けたベースフレーム３０は、選別ユニット２
７０によって工程待ちユニット２８０と一致した状態で
後続工程の前に待つことで、半田ボールアタッチ工程が
終了される（段階１００）。
【０１５７】半田ボールアタッチ工程が終了されると、
工程待ちユニット２８０及び選別ユニット２７０に待機
中のベースフレーム３０はリフロー工程を行う。
工程待ちユニット２８０及び選別ユニット２７０に待機
中のベースフレーム３０はリフロー工程を行う。
【０１５８】まず、待機中のベースフレーム３０は、ベ
ースフレームフィーダ３５０によってピックアップさ
れ、リフローチャンバ３４１内に設けられたステップ移
送装置３４７に安着した後、ステップ移送装置３４７に
よってリフローチャンバ３４１の内部に納まる（段階２
１０）。
ースフレームフィーダ３５０によってピックアップさ
れ、リフローチャンバ３４１内に設けられたステップ移
送装置３４７に安着した後、ステップ移送装置３４７に
よってリフローチャンバ３４１の内部に納まる（段階２
１０）。
【０１５９】以後、ステップ移送装置３４７によってベ
ースフレーム３０がリフローチャンバ３４１内部に移送
されながらベースフレーム３０の半田ボールパッド５０
に安着した半田ボール６０は、リフローチャンバ３４１
に内蔵されたヒーティング装置による伝達熱によって鎔
融されながら半田ボールパッド５０に取付けられる（段
階２２０）。
ースフレーム３０がリフローチャンバ３４１内部に移送
されながらベースフレーム３０の半田ボールパッド５０
に安着した半田ボール６０は、リフローチャンバ３４１
に内蔵されたヒーティング装置による伝達熱によって鎔
融されながら半田ボールパッド５０に取付けられる（段
階２２０）。
【０１６０】半田ボール６０が半田ボールパッド５０に
溶融される間に、ステップ移送装置３４７は継続リフロ
ーチャンバ３４１内に移送され、結局半田ボール６０の
溶融された状態のベースフレーム３０は、冷却ペンの形
成された強制冷却領域３２０に移送されて、冷却ペンに
より伝達された風によって強制冷却される（段階２３
０）。
溶融される間に、ステップ移送装置３４７は継続リフロ
ーチャンバ３４１内に移送され、結局半田ボール６０の
溶融された状態のベースフレーム３０は、冷却ペンの形
成された強制冷却領域３２０に移送されて、冷却ペンに
より伝達された風によって強制冷却される（段階２３
０）。
【０１６１】続いて、ステップ移送装置３４７の移動に
よってベースフレーム３０は、冷却ペンによって半田ボ
ール６０の鎔融点以下に冷却された後、自然冷却領域３
３０に移送されて常温近く冷却され（段階２４０）、リ
フロー工程段階２００が終了する。
よってベースフレーム３０は、冷却ペンによって半田ボ
ール６０の鎔融点以下に冷却された後、自然冷却領域３
３０に移送されて常温近く冷却され（段階２４０）、リ
フロー工程段階２００が終了する。
【０１６２】以後、常温近く冷却されたベースフレーム
３０は、トランスファ装置５００によって洗浄装置４０
０に移送されるが、中央処理処置はリフロー装置３００
から洗浄装置４００にベースフレーム３０を移送する前
に洗浄装置４００が正常に作動するか否かを判断後（段
階３１０）、洗浄装置４００が正常に作動しない場合、
リフロー工程の終了されたベースフレーム３０をトラン
スファ装置５００によって収納容器４５０に仮納まり
（段階３２０）、トランスファ工程が終了される。
３０は、トランスファ装置５００によって洗浄装置４０
０に移送されるが、中央処理処置はリフロー装置３００
から洗浄装置４００にベースフレーム３０を移送する前
に洗浄装置４００が正常に作動するか否かを判断後（段
階３１０）、洗浄装置４００が正常に作動しない場合、
リフロー工程の終了されたベースフレーム３０をトラン
スファ装置５００によって収納容器４５０に仮納まり
（段階３２０）、トランスファ工程が終了される。
【０１６３】以後、中央処理処置は洗浄装置４００が正
常に作動するまで段階１０から段階３１０を繰返す。
常に作動するまで段階１０から段階３１０を繰返す。
【０１６４】中央処理処置によって洗浄装置４００が正
常に作動すると判断されると、リフロー装置３００は、
トランスファ装置５００によってベースフレーム３０を
洗浄装置４００の移送装置４４０に安着させた後、移送
装置４４０を徐々に駆動させながらベースフレーム３０
が洗浄液噴射装置４５０を通過するようにし、洗浄液噴
射装置４５０はベースフレーム３０に洗浄液を噴射しな
がら半田ボールパッド５０に残留している溶剤５５を除
去する（段階４１０）。
常に作動すると判断されると、リフロー装置３００は、
トランスファ装置５００によってベースフレーム３０を
洗浄装置４００の移送装置４４０に安着させた後、移送
装置４４０を徐々に駆動させながらベースフレーム３０
が洗浄液噴射装置４５０を通過するようにし、洗浄液噴
射装置４５０はベースフレーム３０に洗浄液を噴射しな
がら半田ボールパッド５０に残留している溶剤５５を除
去する（段階４１０）。
【０１６５】以後、移送装置４４０が再駆動されながら
ベースフレーム３０は乾燥装置４６０を通過するが、乾
燥装置４６０で噴射された高温乾燥空気によってベース
フレーム３０に付いている洗浄液が乾燥され（段階４２
０）、洗浄工段階４００が終了される。
ベースフレーム３０は乾燥装置４６０を通過するが、乾
燥装置４６０で噴射された高温乾燥空気によってベース
フレーム３０に付いている洗浄液が乾燥され（段階４２
０）、洗浄工段階４００が終了される。
【０１６６】以後、ベースフレーム３０は、洗浄チャン
バ４１０の出口を通して外部に排出された後、洗浄装置
用アンローダ４７０のピックアップモジュール４７９に
よってピックアップされた後、ベースフレームローダ装
置６００のベースフレーム選別機６２０に移送された
後、ベースフレーム選別機６２０に安着したベースフレ
ーム３０は、最後に半田ボールアタッチ工程が正常か否
かを検査後（段階５１０）、正常なベースフレーム３０
はベースフレーム選別機６２０によって良品収納容器に
移送されて良品ベースフレーム収納容器に納まり（段階
５２０）、非正常なベースフレーム３０はベースフレー
ム選別機６２０によって不良ベースフレーム収納容器に
移送されて納まり（段階５３０）、ベースフレーム３０
の半田ボールパッド５０に半田ボール６０を取付ける単
位工程が終了されてベースフレームロード工程の段階５
００が終了される。
バ４１０の出口を通して外部に排出された後、洗浄装置
用アンローダ４７０のピックアップモジュール４７９に
よってピックアップされた後、ベースフレームローダ装
置６００のベースフレーム選別機６２０に移送された
後、ベースフレーム選別機６２０に安着したベースフレ
ーム３０は、最後に半田ボールアタッチ工程が正常か否
かを検査後（段階５１０）、正常なベースフレーム３０
はベースフレーム選別機６２０によって良品収納容器に
移送されて良品ベースフレーム収納容器に納まり（段階
５２０）、非正常なベースフレーム３０はベースフレー
ム選別機６２０によって不良ベースフレーム収納容器に
移送されて納まり（段階５３０）、ベースフレーム３０
の半田ボールパッド５０に半田ボール６０を取付ける単
位工程が終了されてベースフレームロード工程の段階５
００が終了される。
【０１６７】
【発明の効果】以上から説明した様に、本発明は、ベー
スフレームに取付けられたベーステープに形成された半
田ボールパッドに半田ボールを取付けるのに必須な複数
個の装置を一つに統合設置することで、半田ボールアタ
ッチ設備の占有面積を最小化することができる。
スフレームに取付けられたベーステープに形成された半
田ボールパッドに半田ボールを取付けるのに必須な複数
個の装置を一つに統合設置することで、半田ボールアタ
ッチ設備の占有面積を最小化することができる。
【０１６８】また、半田ボールアタッチに必要な複数個
の装置を一つに統合設置することで、半田ボールアタッ
チ工程を連続的に行って設備の効率性を倍加させる。
の装置を一つに統合設置することで、半田ボールアタッ
チ工程を連続的に行って設備の効率性を倍加させる。
【０１６９】また、半田ボールアタッチに必要な複数個
の装置を一つに統合設置することで、半田ボールアタッ
チに必要な複数個の装置を全部前工程設備または後工程
設備に関連するようにして半田ボールアタッチ全工程を
自動化できる。
の装置を一つに統合設置することで、半田ボールアタッ
チに必要な複数個の装置を全部前工程設備または後工程
設備に関連するようにして半田ボールアタッチ全工程を
自動化できる。
【０１７０】また、半田ボールアタッチに必要な複数個
の装置を一つに統合設置することで、半田ボールアタッ
チに必要な複数個の装置間の移動距離を最小化してベー
スフレームの移送途中で半田ボールアタッチ不良が発生
しないようにする。
の装置を一つに統合設置することで、半田ボールアタッ
チに必要な複数個の装置間の移動距離を最小化してベー
スフレームの移送途中で半田ボールアタッチ不良が発生
しないようにする。
【０１７１】また、半田ボールアタッチに必要な複数個
の装置を一つに統合設置することで、半田ボールアタッ
チに必要な複数個の装置を一つの制御装置が制御するこ
とにより半田ボールアタッチに必要な複数個の装置を非
常に效率的に制御できる。
の装置を一つに統合設置することで、半田ボールアタッ
チに必要な複数個の装置を一つの制御装置が制御するこ
とにより半田ボールアタッチに必要な複数個の装置を非
常に效率的に制御できる。
【図１】本発明の一実施例による半田ボールアタッチシ
ステムのベースフレームを示す斜視図である。
ステムのベースフレームを示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施例による半田ボールアタッチシ
ステムにより、半田ボールを半田ボールパッドに取付け
る過程を示す模式図である。
ステムにより、半田ボールを半田ボールパッドに取付け
る過程を示す模式図である。
【図３】本発明の一実施例による半田ボールアタッチシ
ステムを示すブロック図である。
ステムを示すブロック図である。
【図４】図３を立体的に示す斜視図である。
【図５】本発明の一実施例による半田ボールアタッチシ
ステムの半田ボールアタッチ装置の一部及びベースフレ
ームアンローダを示す部分切断斜視図である。
ステムの半田ボールアタッチ装置の一部及びベースフレ
ームアンローダを示す部分切断斜視図である。
【図６】図５の複合ユニットの拡大斜視図である。
【図７】本発明の一実施例による半田ボールアタッチシ
ステムの半田ボールアタッチ装置の残り部分を示す斜視
図である。
ステムの半田ボールアタッチ装置の残り部分を示す斜視
図である。
【図８】本発明の一実施例による半田ボールアタッチシ
ステムのリフロー装置の一部を示す斜視図である。
ステムのリフロー装置の一部を示す斜視図である。
【図９】本発明の一実施例による半田ボールアタッチシ
ステムのリフロー装置の内部を示すブロック図である。
ステムのリフロー装置の内部を示すブロック図である。
【図１０】本発明の一実施例による半田ボールアタッチ
システムのステップ移送装置を示す斜視図である。
システムのステップ移送装置を示す斜視図である。
【図１１】本発明の一実施例による半田ボールアタッチ
システムのリフロー装置を横方向に切断した断面図であ
る。
システムのリフロー装置を横方向に切断した断面図であ
る。
【図１２】本発明の一実施例による半田ボールアタッチ
システムのリフロー装置の後面及びトランスファ装置、
移送装置、洗浄装置の一部を示す斜視図である。
システムのリフロー装置の後面及びトランスファ装置、
移送装置、洗浄装置の一部を示す斜視図である。
【図１３】本発明の一実施例による半田ボールアタッチ
システムの洗浄装置を説明するための部分切開斜視図で
ある。
システムの洗浄装置を説明するための部分切開斜視図で
ある。
【図１４】本発明の一実施例による半田ボールアタッチ
システムのベースフレームローダ装置の斜視図である。
システムのベースフレームローダ装置の斜視図である。
【図１５】本発明の一実施例による半田ボールアタッチ
システムの工程順序を説明するための工程順序図であ
る。
システムの工程順序を説明するための工程順序図であ
る。
【図１６】本発明の一実施例による半田ボールアタッチ
システムの工程順序を説明するための工程順序図であ
る。
システムの工程順序を説明するための工程順序図であ
る。
１０ ベーステープ ３０ ベースフレーム ５０ 半田ボールパッド ５５ 溶剤 ６０ 半田ボール １００ ベースフレームアンローダ装置 ２００ 半田ボール安着装置 ３００ リフロー装置 ４００ 洗浄装置 ５００ トランスファ装置 ６００ ベースフレームローダ装置 ８００ ベース本体 ８０１ 半田ボールアタッチ
Claims (26)
- 【請求項１】 半田ボールパッドが形成されたベーステ
ープ付けのベースフレームを収納容器からアンロード
し、前記半田ボールパッドに溶剤を塗布後、前記半田ボ
ールパッドの対応位置に半田ボールの存在が確認された
半田ボールを前記半田ボールパッドに移動し、移動され
た前記半田ボールの位置を再び確認した後、前記ベース
フレームを移送し、前記ベースフレームが全部アンロー
ドされた前記収納容器を指定の位置に移送する半田ボー
ル安着段階と、 前記ベースフレームを移送し前記半田ボールパッドに安
着した前記半田ボールを溶融・冷却後、前記ベースフレ
ームを移送する半田ボールリフロー段階と、 前記ベースフレームを移送し前記半田ボールパッドに塗
布された溶剤を除去して前記ベースフレームを移送する
洗浄段階と、 前記ベースフレームを移送し判定された品質別に前記ベ
ースフレームを分類し、前記指定の位置に移送した前記
収納容器に前記ベースフレームを納める段階と、 含むことを特徴とする半田ボールアタッチ方法。 - 【請求項２】 前記半田ボール安着段階が終了すると、
前記ベースフレームは第１方向へ移送され、前記収納容
器は第２方向に沿って前記指定の位置に移送され、前記
半田ボールリフロー段階が終了すると、前記ベースフレ
ームは第３方向に移送され、洗浄段階が終了すると前記
ベースフレームは前記第２方向に沿って前記指定の位置
に移送された前記収納容器へ向かう第４方向に移送され
ることを特徴とする請求項１に記載の半田ボールアタッ
チ方法。 - 【請求項３】 前記第１方向、前記第２方向、前記第３
方向、前記第４方向は、前記ベースフレームの全体移送
経路がループ形状となる方向であることを特徴とする請
求項２に記載の半田ボールアタッチ方法。 - 【請求項４】 前記半田ボールパッドに溶剤を塗布する
場合、前記ベースフレームが指定の位置に固定され、前
記半田ボールパッドと同じ形状及び同じ位置を有する突
起付きの溶剤塗布手段に前記溶剤が塗布され、前記半田
ボールパッドに前記溶剤塗布手段を整列した状態で、前
記半田ボールパッドに前記溶剤が塗布されることを特徴
とする請求項１に記載の半田ボールアタッチ方法。 - 【請求項５】 前記半田ボールパッドに前記半田ボール
を移送するとき、前記半田ボールパッドの位置と対応す
る位置に前記半田ボールが仮固定される半田ボール固定
手段に前記半田ボールを固定し、前記半田ボール固定手
段の前記半田ボールが固定される部分以外に付着した前
記半田ボールを除去後、前記半田ボール固定手段に前記
半田ボールを正確に固定したか否かが確認されることを
特徴とする請求項１に記載の半田ボールアタッチ方法。 - 【請求項６】 前記半田ボールリフロー段階では、前記
ベースフレームを一段階ずつ移送しながら前記半田ボー
ルを溶融、前記半田ボールを強制冷却、ならびに前記半
田ボールを自然冷却することを特徴とする請求項１に記
載の半田ボールアタッチ方法。 - 【請求項７】 前記洗浄段階では、前記ベースフレーム
を一段階ずつ移送しながら前記半田ボールパッドに残留
している溶剤に洗浄液を噴射し前記溶剤を除去し、前記
ベースフレームに付着している前記洗浄液を乾燥させる
ことを特徴とする請求項１に記載の半田ボールアタッチ
方法。 - 【請求項８】 ベース本体と、 ベースフレームの半田ボールパッドに半田ボールが安着
するように、前記ベース本体に設けられた収納容器から
前記ベースフレームをアンロードするベースフレームア
ンローダと、 前記ベース本体に設けられ、前記ベースフレームアンロ
ーダからアンロードされた前記ベースフレームを指定の
位置に固定させて溶剤の塗布及び半田ボールの安着を行
い、半田ボールの安着品質ごとに前記ベースフレームを
揃える半田ボール安着装置と、 前記ベース本体に設けられ、前記ベースフレームをロー
ドして半田ボールの溶融及び冷却を行うリフロー装置
と、 前記ベース本体に設けられ、前記リフロー装置から前記
ベースフレームをロードし、前記半田ボールパッドに残
留した溶剤を洗浄液で洗浄し、洗浄時に付着した洗浄液
を乾燥させる洗浄装置と、 前記ベース本体に設けられ、前記洗浄装置から移送され
た前記ベースフレームの半田ボールパッドに取付けられ
た半田ボールのアタッチ品質によって前記ベースフレー
ムを揃えるベースフレームローダと、 を備えることを特徴とする半田ボールアタッチシステ
ム。 - 【請求項９】 前記ベースフレームアンローダ、前記半
田ボール安着装置、前記リフロー装置、前記洗浄装置及
び前記ベースフレームローダは、前記ベースフレームが
環状に移動するように前記ベース本体に設けられること
を特徴とする請求項８に記載の半田ボールアタッチシス
テム。 - 【請求項１０】 前記収納容器は前記ベース本体の内部
空間に収容され、前記ベースフレームがすべてアンロー
ドされた中空の収納容器は前記ベースフレームアンロー
ダから隣接位置に設けられた前記ベースフレームローダ
に移送されることを特徴とする請求項９に記載の半田ボ
ールアタッチシステム。 - 【請求項１１】 前記ベースフレームアンローダは、前
記ベース本体の上部から前記ベース本体の内部空間にわ
たって形成されている収納容器ガイダと、前記収納容器
を収納容器ガイダに沿って前記ベース本体の内部から上
部に持上げる収納容器エレベーターと、前記収納容器ガ
イダに装着された前記収納容器から前記ベースフレーム
を排出するプッシャーとを有することを特徴とする請求
項１０に記載の半田ボールアタッチシステム。 - 【請求項１２】 前記半田ボール安着装置は、前記ベー
スフレームアンローダからアンロードされた前記ベース
フレームの固定及び移送を行う複合ユニットと、前記複
合ユニットに固定された前記ベースフレームの前記半田
ボールパッドに溶剤を塗布する溶剤塗布ユニットと、前
記溶剤塗布ユニットによって塗布された前記半田ボール
パッドに半田ボールを安着させる半田ボール安着ユニッ
トと、前記溶剤塗布ユニット及び前記半田ボール安着ユ
ニットを前記複合ユニットに固定された前記半田ボール
パッドに移送する移送ユニットと、前記溶剤塗布及び前
記半田ボールが安着した前記ベースフレームを半田ボー
ルの安着品質別に揃える選別ユニットと、前記選別ユニ
ットによって揃えられた前記ベースフレームのうち前記
半田ボールの良品が安着されたベースフレームを後工程
の前で待たせる待ちユニットとを有することを特徴とす
る請求項８に記載の半田ボールアタッチシステム。 - 【請求項１３】 前記複合ユニットは、前記ベースフレ
ームアンローダから排出された前記ベースフレームを移
送ベルトによって移送し、前記選別ユニットにリレイす
る移送ベルト方式移送ユニットと、前記移送ベルト方式
移送ユニットによって移送されたベースフレームの下面
を真空圧で吸着するベースフレーム吸着パッド、ならび
に前記ベースフレーム吸着パッドを前記ベースフレーム
の下面に密着し離隔させるアップダウンシリンダからな
る固定ユニットとを有することを特徴とする請求項１２
に記載の半田ボールアタッチシステム。 - 【請求項１４】 前記溶剤塗布ユニットは、前記移送ユ
ニットによって移送される支持ロッドと、前記支持ロッ
ドの端部に結合され上下移動するシリンダロッドを持つ
アップダウンシリンダと、前記シリンダロッドの端部に
設けられたブラケットと、前記ブラケットに着脱自在に
結合され、前記半田ボールパッドと同じ形状及び同じ位
置を持つ溶剤塗布ピン付きの溶剤塗布ブロックと、前記
アップダウンシリンダによって溶剤塗布ピンに溶剤を塗
布する溶剤供給トレイとを有することを特徴とする請求
項１２に記載の半田ボールアタッチシステム。 - 【請求項１５】 前記溶剤供給トレイは、前記溶剤供給
トレイの底面に溶剤が塗布されるように微量の溶剤を供
給する塗布ブロックと、前記塗布ブロックを往復運動さ
せる塗布ブロック移送装置とを有することを特徴とする
請求項１４に記載の半田ボールアタッチシステム。 - 【請求項１６】 前記半田ボール安着ユニットは、前記
移送ユニットによって移送される支持ロッドと、前記支
持ロッドの端部に結合され上下移動するシリンダロッド
を持つアップダウンシリンダと、前記シリンダロッドの
端部に設けられたブラケットと、前記ブラケットに分離
可能に結合され、内部に真空が形成された空間を有し、
下面には前記半田ボールパッドの位置及び形状と同様に
前記空間と連通する半田ボール収納溝が形成されている
半田ボール吸着パッドと、前記アップダウンシリンダに
よって真空が形成された前記半田ボール吸着パッドの前
記半田ボール収納溝に半田ボールが吸着されるように複
数の半田ボールの納められている半田ボール収納トレイ
とを有することを特徴とする請求項１２に記載の半田ボ
ールアタッチシステム。 - 【請求項１７】 前記移送ユニットは、前記ベース本体
の上面から所定高さを持ちながら前記複合ユニットを横
切って設けられ、両端部から中央に向かってスリット形
状を持つ二つの長い貫通孔が形成され、前記貫通孔に前
記支持ロッドが各々挿入されている支持フレームと、前
記支持ロッドに各々螺接されている移送ネジと、前記移
送ネジの両端部を支持するブッシングと、前記移送ネジ
の両端部の何れかに結合され前記移送ネジを回転させる
駆動装置とを有することを特徴とする請求項１４または
１６に記載の半田ボールアタッチシステム。 - 【請求項１８】 前記選別ユニットは、前記複合ユニッ
トから半田ボールが取付けられたベースフレームを指定
の経路に沿って移動しながら指定の位置にアンロードす
る選別機と、前記選別機に納まった前記ベースフレーム
の半田ボールの安着品質を検査するビジュアル検査ユニ
ットと、前記ビジュアル検査ユニットによる半田ボール
の安着が不良な前記ベースフレームが選別機によって納
められた収納容器とを有することを特徴とする請求項１
２に記載の半田ボールアタッチシステム。 - 【請求項１９】 前記リフロー装置は、前記半田ボール
安着ユニットによって半田ボールが安着されたベースフ
レームをロードするベースフレームフィーダと、前記ベ
ースフレームを移送するステップ移送装置と、前記ステ
ップ移送装置を囲むチャンバと、前記ステップ移送装置
と対向する前記チャンバの出口内側面に設けられるヒー
ティング装置と、前記ヒーティング装置と所定間隔をお
いて離隔された前記チャンバの入口内側面に設けられる
冷却ペンとを有することを特徴とする請求項８に記載の
半田ボールアタッチシステム。 - 【請求項２０】 前記ステップ移送装置は、前記チャン
バの内側面の長手方向に延長され、上面に前記ベースフ
レームの両端部の支持される幅を持つ複数個のベースフ
レームガイドレールと、前記ベースフレームガイドレー
ルの上面に沿って動きながら前記ベースフレームガイド
レールに安着されたベースフレームを移送する移送バー
と、前記移送バーを駆動するために前記ベースフレーム
ガイドレールの両端部にそれぞれ設けられたスプロケッ
トホィールアセンブリと、前記スプロケットホィールア
センブリに結合され前記移送バーが結合された移送チェ
ーンとを有することを特徴とする請求項１９に記載の半
田ボールアタッチシステム。 - 【請求項２１】 トランスファ装置は、前記チャンバの
出口から前記洗浄装置まで延長された移送ネジと、 前記移送ネジの両端部を支持するブッシングと、前記移
送ネジの両端部の何れかの端部に設けられ前記移送ネジ
を回転させるモータと、前記移送ネジに螺接されて前記
モータの駆動によって前記移送ネジに沿って動く移送ブ
ロックと、前記移送ブロックに結合されて前記チャンバ
の出口に排出された前記ベースフレームを前記洗浄装置
に移送するピックアップモジュールとを有することを特
徴とする請求項２０に記載の半田ボールアタッチシステ
ム。 - 【請求項２２】 前記洗浄装置は、前記リフロー装置か
ら排出された前記ベースフレームを移送する移送装置
と、前記移送装置を囲む洗浄チャンバと、前記洗浄チャ
ンバ内に設けられ、前記移送装置を基準にして前記移送
装置の上下部に設けられる洗浄溶液供給装置と、前記洗
浄溶液供給装置から洗浄された前記ベースフレームを乾
燥させる乾燥装置と、乾燥された前記ベースフレームを
アンロードする洗浄装置用アンローダとを有することを
特徴とする請求項８に記載の半田ボールアタッチシステ
ム。 - 【請求項２３】 前記移送装置は、前記洗浄チャンバの
内側面の長手方向に延長され、上面に前記ベースフレー
ムの両端部の支持される幅を持つ複数個のベースフレー
ムガイドレールと、前記ベースフレームガイドレールの
上面に沿って動きながら前記ベースフレームガイドレー
ルに安着したベースフレームを移送する移送バーと、前
記移送バーを駆動させるためにそれぞれの前記ベースフ
レームガイドレールの両端部に設けられたスプロケット
ホィールアセンブリと、前記スプロケットホィールアセ
ンブリに結合され、前記移送バーが結合された移送チェ
ーンとを有することを特徴とする請求項２２に記載の半
田ボールアタッチシステム。 - 【請求項２４】 前記洗浄容液供給装置は、前記移送装
置の上下部を横切って並列方式に少なくとも二つ以上が
設けられ、純水が供給される洗浄液配管と、前記洗浄液
配管から前記純水が噴射される洗浄液噴射ノズルとを有
することを特徴とする請求項２２に記載の半田ボールア
タッチシステム。 - 【請求項２５】 前記乾燥装置は、前記移送装置の上下
部を横切って並列方式に少なくとも二つ以上が設けら
れ、高温乾燥空気が噴射されるエアーナイフと、前記エ
アーナイフに高温乾燥空気を供給する高温乾燥空気供給
装置とを有することを特徴とする請求項２２に記載の半
田ボールアタッチシステム。 - 【請求項２６】 前記ベースフレームローダは、前記洗
浄装置からアンロードされた前記ベースフレームを前記
半田ボールパッドの半田ボールアタッチ品質別に前記ベ
ースフレームを指定の位置に移送して分け収容するベー
スフレーム移送装置と、移送された前記ベースフレーム
の半田ボールパッドの半田ボールアタッチ品質を検査す
るビジュアル検査ユニットと、前記ベースフレーム移送
装置によって分類された前記ベースフレームを収容する
収納容器とを有することを特徴とする請求項８に記載の
半田ボールアタッチシステム。
Applications Claiming Priority (2)
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