JP2001162138A - ガス混合物の処理 - Google Patents
ガス混合物の処理Info
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- carbon
- metal fluoride
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/46—Removing components of defined structure
- B01D53/68—Halogens or halogen compounds
- B01D53/70—Organic halogen compounds
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02C—CAPTURE, STORAGE, SEQUESTRATION OR DISPOSAL OF GREENHOUSE GASES [GHG]
- Y02C20/00—Capture or disposal of greenhouse gases
- Y02C20/30—Capture or disposal of greenhouse gases of perfluorocarbons [PFC], hydrofluorocarbons [HFC] or sulfur hexafluoride [SF6]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 一般的に破壊収量を増加させることができ、
また一般的に試薬の寿命を潜在的に延ばす、ペルフルオ
ロアルカンを破壊する改良方法。 【解決手段】 １種類以上のペルフルオロ有機化合物を
含むガス流を処理して、当該ガス流から当該ペルフルオ
ロ有機化合物（１種又は複数種）を除去する方法であっ
て、当該方法が３５０℃ 〜 １０００℃の温度において
炭素及び水蒸気の存在下で当該ガス流を弗化アルカリ金
属と接触させる工程を含む前記方法を提供する。
また一般的に試薬の寿命を潜在的に延ばす、ペルフルオ
ロアルカンを破壊する改良方法。 【解決手段】 １種類以上のペルフルオロ有機化合物を
含むガス流を処理して、当該ガス流から当該ペルフルオ
ロ有機化合物（１種又は複数種）を除去する方法であっ
て、当該方法が３５０℃ 〜 １０００℃の温度において
炭素及び水蒸気の存在下で当該ガス流を弗化アルカリ金
属と接触させる工程を含む前記方法を提供する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガス混合物の処理に関
するものであり、詳しくは、電子工業において用いられ
る排気ガス流の処理、特に、例えばヘキサフルオロエタ
ン（Ｃ2Ｆ6）及びテトラフルオロメタン（ＣＦ4）のよ
うなペルフルオロアルカンを含む排気ガス流の処理に関
するものである。
するものであり、詳しくは、電子工業において用いられ
る排気ガス流の処理、特に、例えばヘキサフルオロエタ
ン（Ｃ2Ｆ6）及びテトラフルオロメタン（ＣＦ4）のよ
うなペルフルオロアルカンを含む排気ガス流の処理に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】電子工業では、減圧下で半導体デバイス
をプラズマエッチングするために、通常は、酸素と混合
されたヘキサフルオロエタンが広範に利用されており、
また酸素と混合されたテトラフルオロメタンもある程度
利用されている。エッチング装置からポンプで排出され
た排気ガスは、一般的に、他のガス又は蒸気、詳しくは
四弗化珪素（ＳｉＦ4）及び弗化カルボニル（ＣＯＦ2）
と混合されるかもしれない、またエッチング装置と関連
している真空ポンプをパージするために用いられる窒素
で希釈されるかもしれない未反応のヘキサフルオロエタ
ン及び／又はテトラフルオロメタンを含む。
をプラズマエッチングするために、通常は、酸素と混合
されたヘキサフルオロエタンが広範に利用されており、
また酸素と混合されたテトラフルオロメタンもある程度
利用されている。エッチング装置からポンプで排出され
た排気ガスは、一般的に、他のガス又は蒸気、詳しくは
四弗化珪素（ＳｉＦ4）及び弗化カルボニル（ＣＯＦ2）
と混合されるかもしれない、またエッチング装置と関連
している真空ポンプをパージするために用いられる窒素
で希釈されるかもしれない未反応のヘキサフルオロエタ
ン及び／又はテトラフルオロメタンを含む。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ヘキサフルオロエタン
及びテトラフルオロメタンは、環境に放出されたとき
に、毒性が低いと考えられるが、それらは、高い赤外線
吸収能力を有する「温室」ガスであり；更に、何百年も
環境中に残留しつづけ、それらの環境に対する長期間の
効果は非常に有害であると考えられる。而して、これら
双方のガスは、環境に放出される前に、排気ガスから除
去することが極めて重要である。
及びテトラフルオロメタンは、環境に放出されたとき
に、毒性が低いと考えられるが、それらは、高い赤外線
吸収能力を有する「温室」ガスであり；更に、何百年も
環境中に残留しつづけ、それらの環境に対する長期間の
効果は非常に有害であると考えられる。而して、これら
双方のガスは、環境に放出される前に、排気ガスから除
去することが極めて重要である。
【０００４】排気ガス流中に含まれる環境に有害なガス
状物質の殆どを除去及び／又は破壊して、それらが環境
へと放出されるのを防止する様々な方法は公知である。
しかしながら、ヘキサフルオロエタン及びテトラフルオ
ロメタンには特有の問題がある。それらは、非常に化学
的に不活性であるので、周囲温度において、公知の水性
スクラビングシステム又は固体反応物スクラビングデバ
イスによって一般的に影響を受けずに、その中を通過し
てしまうのである。
状物質の殆どを除去及び／又は破壊して、それらが環境
へと放出されるのを防止する様々な方法は公知である。
しかしながら、ヘキサフルオロエタン及びテトラフルオ
ロメタンには特有の問題がある。それらは、非常に化学
的に不活性であるので、周囲温度において、公知の水性
スクラビングシステム又は固体反応物スクラビングデバ
イスによって一般的に影響を受けずに、その中を通過し
てしまうのである。
【０００５】ヘキサフルオロエタン及びテトラフルオロ
メタンは： ｉ）１０００℃を超える温度において、 ａ）珪素又はシリカと反応させることによって ｂ）火炎用プラズマ中において水素又は水素含有ガスと
反応させることによって、 ｉｉ）９００℃ 〜 ７００℃の温度において、 ｃ）珪素、モリブデン、タングステン、珪化モリブデン
及び珪化タングステンを１種類以上含む加熱充填層の中
に通し、次にアルカリ、例えばソーダ石灰で反応生成物
を処理する我々の先行欧州特許出願第０ ３８４ ８０２
号にしたがう方法によって、 ｄ）１種類以上のペルフルオロ有機化合物を含むガス流
をナトリウム塩又はカリウム塩と接触させて、熱還元を
介するナトリウムイオン又はカリウムイオンの供給源
を、珪素原子又は珪素合金に提供する我々の先行欧州特
許出願第０ ６６３ ２３３号にしたがう方法によって、 ｉｉｉ）５００℃ 〜 ３００℃に温度において、 ｅ）広い表面積の珪酸塩及びクレー上におけるＣＦ4の
不可逆的吸収が達成されるL'Air Liquideという名称の
独逸国特許出願第４ ４０４ ３２９号にしたがう方法に
よって破壊されることが知られているが、これらの方法
には、上記のような高温を用いなければならないか又は
試薬の寿命が比較的短いという難点がある。
メタンは： ｉ）１０００℃を超える温度において、 ａ）珪素又はシリカと反応させることによって ｂ）火炎用プラズマ中において水素又は水素含有ガスと
反応させることによって、 ｉｉ）９００℃ 〜 ７００℃の温度において、 ｃ）珪素、モリブデン、タングステン、珪化モリブデン
及び珪化タングステンを１種類以上含む加熱充填層の中
に通し、次にアルカリ、例えばソーダ石灰で反応生成物
を処理する我々の先行欧州特許出願第０ ３８４ ８０２
号にしたがう方法によって、 ｄ）１種類以上のペルフルオロ有機化合物を含むガス流
をナトリウム塩又はカリウム塩と接触させて、熱還元を
介するナトリウムイオン又はカリウムイオンの供給源
を、珪素原子又は珪素合金に提供する我々の先行欧州特
許出願第０ ６６３ ２３３号にしたがう方法によって、 ｉｉｉ）５００℃ 〜 ３００℃に温度において、 ｅ）広い表面積の珪酸塩及びクレー上におけるＣＦ4の
不可逆的吸収が達成されるL'Air Liquideという名称の
独逸国特許出願第４ ４０４ ３２９号にしたがう方法に
よって破壊されることが知られているが、これらの方法
には、上記のような高温を用いなければならないか又は
試薬の寿命が比較的短いという難点がある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、一般的に破壊
収量を増加させることができ、また一般的に試薬の寿命
を潜在的に延ばす、ペルフルオロアルカンを破壊する改
良方法を提供する。
収量を増加させることができ、また一般的に試薬の寿命
を潜在的に延ばす、ペルフルオロアルカンを破壊する改
良方法を提供する。
【０００７】本発明にしたがって、１種類以上のペルフ
ルオロ有機化合物を含むガス流を処理して、当該ガス流
から当該ペルフルオロ有機化合物（１種又は複数種）を
除去する方法を提供する。当該方法は、３５０℃（好ま
しくは５５０℃） 〜 １０００℃の温度において、炭素
及び水蒸気の存在下で、弗化アルカリ金属とガス流を接
触させる工程を含む。
ルオロ有機化合物を含むガス流を処理して、当該ガス流
から当該ペルフルオロ有機化合物（１種又は複数種）を
除去する方法を提供する。当該方法は、３５０℃（好ま
しくは５５０℃） 〜 １０００℃の温度において、炭素
及び水蒸気の存在下で、弗化アルカリ金属とガス流を接
触させる工程を含む。
【０００８】弗化アルカリ金属は、好ましくは弗化セシ
ウム（ＣｓＦ）、弗化カリウム（ＫＦ）、弗化ナトリウ
ム（ＮａＦ）、弗化リチウム（ＬｉＦ）又はそれらの混
合物である。それらの中でも、上記温度範囲のより低い
方の温度で本発明を行うことができることから、弗化セ
シウム及び弗化カリウムが好ましい。弗化セシウムは特
に有利である。
ウム（ＣｓＦ）、弗化カリウム（ＫＦ）、弗化ナトリウ
ム（ＮａＦ）、弗化リチウム（ＬｉＦ）又はそれらの混
合物である。それらの中でも、上記温度範囲のより低い
方の温度で本発明を行うことができることから、弗化セ
シウム及び弗化カリウムが好ましい。弗化セシウムは特
に有利である。
【０００９】本方法は、当該方法の開始時点で弗化アル
カリ金属それ自体を用いても良く、又は別法として、当
該弗化物を、炭酸塩を含む多くの他の塩と水酸化物とを
反応させることによってプロセス中にその場で生成させ
ても良い。
カリ金属それ自体を用いても良く、又は別法として、当
該弗化物を、炭酸塩を含む多くの他の塩と水酸化物とを
反応させることによってプロセス中にその場で生成させ
ても良い。
【００１０】好ましくは、炭素は、活性炭又は活性チャ
コールを含む任意の標準形態で存在する。炭素は、堅果
チャコール（nut charcoal）、ココナッツの殻（coconu
t husks）及びセルロースを加水分解することによって
作られた炭素であっても良い。炭素は、一般的に、粒状
又は粉末の形態であるべきであり、大きな表面積を有し
ているべきである。炭素は、都合の良いことに親水性で
ある。
コールを含む任意の標準形態で存在する。炭素は、堅果
チャコール（nut charcoal）、ココナッツの殻（coconu
t husks）及びセルロースを加水分解することによって
作られた炭素であっても良い。炭素は、一般的に、粒状
又は粉末の形態であるべきであり、大きな表面積を有し
ているべきである。炭素は、都合の良いことに親水性で
ある。
【００１１】炭素は、好ましくは、本発明の方法で用い
られる弗化アルカリ金属のための支持体を提供する。そ
れは、例えば、弗化アルカリ金属の水溶液を炭素と混合
し、次にオーブン中で水を蒸発させ、乾燥又は実質的に
乾燥した粉末配合物にすることによって達成される。別
法として、弗化アルカリ金属及び炭素を一緒に単純混合
しても良い。
られる弗化アルカリ金属のための支持体を提供する。そ
れは、例えば、弗化アルカリ金属の水溶液を炭素と混合
し、次にオーブン中で水を蒸発させ、乾燥又は実質的に
乾燥した粉末配合物にすることによって達成される。別
法として、弗化アルカリ金属及び炭素を一緒に単純混合
しても良い。
【００１２】水は、本発明の方法では存在していなけれ
ばならず、都合の良いことに、例えばガス流を水浴中に
泡立てることによって、弗化アルカリ金属とガス流を接
触させる前に、ガス流に対して水を加えることができ
る。別法として、水を反応域中へと直接導入して、本方
法で要求される温度で蒸気を直接生成させても良い。
ばならず、都合の良いことに、例えばガス流を水浴中に
泡立てることによって、弗化アルカリ金属とガス流を接
触させる前に、ガス流に対して水を加えることができ
る。別法として、水を反応域中へと直接導入して、本方
法で要求される温度で蒸気を直接生成させても良い。
【００１３】本発明の方法で用いられる温度は、３５０
℃ 〜 １０００℃の範囲内でなければならない。この
範囲内において、一般的により低い温度、例えば弗化セ
シウムに関しては３５０℃ 〜 ８３０℃を用いることが
でき、弗化カリウムに関してはいくぶん上の温度、例え
ば５７０℃ 〜 ８７０℃、弗化ナトリウムに関しては例
えば６５０℃ 〜 ９３０℃、及び弗化リチウムに関して
は、例えば６７０℃〜 ９６０℃を用いることができ
る。
℃ 〜 １０００℃の範囲内でなければならない。この
範囲内において、一般的により低い温度、例えば弗化セ
シウムに関しては３５０℃ 〜 ８３０℃を用いることが
でき、弗化カリウムに関してはいくぶん上の温度、例え
ば５７０℃ 〜 ８７０℃、弗化ナトリウムに関しては例
えば６５０℃ 〜 ９３０℃、及び弗化リチウムに関して
は、例えば６７０℃〜 ９６０℃を用いることができ
る。
【００１４】弗化アルカリ金属の再生が反応域のその場
で起こる傾向があることにより長い試薬寿命が達成され
ることは、本発明の利点である。而して、本方法は、触
媒的であると見なすことができる。
で起こる傾向があることにより長い試薬寿命が達成され
ることは、本発明の利点である。而して、本方法は、触
媒的であると見なすことができる。
【００１５】本方法は、恐らく、以下に示した一般的な
化学方程式： ４ＣｓＦ＋２Ｈ2Ｏ → ４ＣｓＯＨ＋４ＨＦ （１） ２ＣｓＯＨ＋２Ｃ → ４Ｃｓ＋２Ｈ2＋２ＣＯ2 （２） ４Ｃｓ＋ＣＦ4 → ＣｓＦ＋Ｃ （３） にしたがって進行すると考えられる。
化学方程式： ４ＣｓＦ＋２Ｈ2Ｏ → ４ＣｓＯＨ＋４ＨＦ （１） ２ＣｓＯＨ＋２Ｃ → ４Ｃｓ＋２Ｈ2＋２ＣＯ2 （２） ４Ｃｓ＋ＣＦ4 → ＣｓＦ＋Ｃ （３） にしたがって進行すると考えられる。
【００１６】式（１）の反応で消費される弗化セシウム
（又は他の弗化アルカリ金属）は式（３）の反応で再生
されることが、上記の式から認められる。本発明を更に
理解するために、本発明の方法を行うことができる装置
を例示している添付の図面を参照する。
（又は他の弗化アルカリ金属）は式（３）の反応で再生
されることが、上記の式から認められる。本発明を更に
理解するために、本発明の方法を行うことができる装置
を例示している添付の図面を参照する。
【００１７】図１は、本発明の方法を実行するための装
置に関する概略図である。当該装置は、ガス流を含むペ
ルフルオロ有機化合物を運ぶための供給パイプ１、ある
体積の水３を含む密閉水浴２、反応室５へと導く連結パ
イプ４、シリカゲルを含む水スクラバー室７へと導く更
なる連結パイプ６、ソーダ石灰を含む二酸化炭素スクラ
バー室８、及びガス分析器９を含む。
置に関する概略図である。当該装置は、ガス流を含むペ
ルフルオロ有機化合物を運ぶための供給パイプ１、ある
体積の水３を含む密閉水浴２、反応室５へと導く連結パ
イプ４、シリカゲルを含む水スクラバー室７へと導く更
なる連結パイプ６、ソーダ石灰を含む二酸化炭素スクラ
バー室８、及びガス分析器９を含む。
【００１８】反応室５は、内部と外部から加熱された又
は両端にある２つの水冷された電極間に電流を直接流し
ているステンレス鋼パイプ１０から作られている。弗化
セシウム及び活性チャコール（Eurocarb grade YaO）の
装填物１３は、弗化セシウム溶液を炭素に加え、次に乾
燥するまでオーブンで乾燥させることによって調製し
た。弗化セシウム装填物１３は、当該装填物の頂部及び
底部において炭素ウールプラグ（図示されていない）に
よって、反応室の適所で保持した。
は両端にある２つの水冷された電極間に電流を直接流し
ているステンレス鋼パイプ１０から作られている。弗化
セシウム及び活性チャコール（Eurocarb grade YaO）の
装填物１３は、弗化セシウム溶液を炭素に加え、次に乾
燥するまでオーブンで乾燥させることによって調製し
た。弗化セシウム装填物１３は、当該装填物の頂部及び
底部において炭素ウールプラグ（図示されていない）に
よって、反応室の適所で保持した。
【００１９】装填物１３の温度を測定するために、熱電
対温度プローブ１４が装填物１３の中心に存在してい
る。反応室５の壁及び装填物１３を加熱するために、Ａ
Ｃ電源（４ボルト／６００アンペア）を電極１１，１２
に施用するか、又は外部オーブンを用いる。本発明の方
法を試験するための装置を使用する場合には、テトラフ
ルオロメタン（ＣＦ 4）とヘキサフルオロエタン（Ｃ2Ｆ
6）との様々な組成を有する様々なガス流それぞれを、
（これらの実験では、公知のガス組成のボンベから）パ
イプ１を通して、水浴２の水３へと流し、次にパイプ４
を経由して反応室５へと流し、更にスクラバー７，８を
経由させてガス分析器９へと流した。
対温度プローブ１４が装填物１３の中心に存在してい
る。反応室５の壁及び装填物１３を加熱するために、Ａ
Ｃ電源（４ボルト／６００アンペア）を電極１１，１２
に施用するか、又は外部オーブンを用いる。本発明の方
法を試験するための装置を使用する場合には、テトラフ
ルオロメタン（ＣＦ 4）とヘキサフルオロエタン（Ｃ2Ｆ
6）との様々な組成を有する様々なガス流それぞれを、
（これらの実験では、公知のガス組成のボンベから）パ
イプ１を通して、水浴２の水３へと流し、次にパイプ４
を経由して反応室５へと流し、更にスクラバー７，８を
経由させてガス分析器９へと流した。
【００２０】当該実験では、窒素中テトラフルオロメタ
ン３％（容量基準）及び窒素中３％ヘキサフルオロエタ
ン３％（容量基準）を含むガス流を用い、水浴２によっ
て導入される水蒸気の量を、水浴２の水温を変えること
によって、変化させた。例えば、６０℃では、水蒸気圧
は１４９mmHgであると計算され、而して、テトラフルオ
ロメタン３％、水１９％及び窒素７８％（容量基準）の
ガス混合物であると計算された。異なる水浴温度におい
て、当該ガス流の計算水蒸気含量を３％ 〜 ５０％（容
量基準）の範囲で変化させた。
ン３％（容量基準）及び窒素中３％ヘキサフルオロエタ
ン３％（容量基準）を含むガス流を用い、水浴２によっ
て導入される水蒸気の量を、水浴２の水温を変えること
によって、変化させた。例えば、６０℃では、水蒸気圧
は１４９mmHgであると計算され、而して、テトラフルオ
ロメタン３％、水１９％及び窒素７８％（容量基準）の
ガス混合物であると計算された。異なる水浴温度におい
て、当該ガス流の計算水蒸気含量を３％ 〜 ５０％（容
量基準）の範囲で変化させた。
【００２１】反応室装填物として、上記試験で用いた弗
化セシウムの代わりに、弗化カリウム、弗化ナトリウム
及び弗化リチウムを用いて更なる試験を行った。全ての
試験を、弗化セシウム装填物に関して８００℃で、弗化
カリウム装填物に関して８５５℃で、弗化ナトリウムに
関して９３０℃で、及び弗化リチウムに関して９４５℃
で行った。
化セシウムの代わりに、弗化カリウム、弗化ナトリウム
及び弗化リチウムを用いて更なる試験を行った。全ての
試験を、弗化セシウム装填物に関して８００℃で、弗化
カリウム装填物に関して８５５℃で、弗化ナトリウムに
関して９３０℃で、及び弗化リチウムに関して９４５℃
で行った。
【００２２】すべての試験において、ガス分析器９の読
みによると、９８％超のペルフルオロアルカンの破壊効
率が達成された。本発明の方法は、半導体プロセスツー
ルからのガス流の処理、詳しくはエッチング又はＰＥＣ
ＶＤシステムからのガス流の処理に関して特に適用可能
である。
みによると、９８％超のペルフルオロアルカンの破壊効
率が達成された。本発明の方法は、半導体プロセスツー
ルからのガス流の処理、詳しくはエッチング又はＰＥＣ
ＶＤシステムからのガス流の処理に関して特に適用可能
である。
【図１】 本発明の方法を実行するための装置に関する
概略図である。
概略図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 イーアン・アンドリュー・ノートン イギリス国ビーエス６・７キュービー，ブ リストル，ウェストベリー・パーク，ノー スビュー 12シー (72)発明者 ピーター・レスリー・ティムス イギリス国ビーエス６・７イーキュー，ブ リストル，レッドランド・コート・ロード 18
Claims (9)
- 【請求項１】 １種類以上のペルフルオロ有機化合物を
含むガス流を処理して、当該ガス流から当該ペルフルオ
ロ有機化合物（１種又は複数種）を除去する方法であっ
て、当該方法が３５０℃ 〜 １０００℃の温度において
炭素及び水蒸気の存在下で当該ガス流を弗化アルカリ金
属と接触させる工程を含む前記方法。 - 【請求項２】 当該弗化アルカリ金属が、弗化セシウ
ム、弗化カリウム、弗化ナトリウム、又は弗化リチウ
ム、又はそれらの混合物である請求項１記載の方法。 - 【請求項３】 当該弗化アルカリ金属が、弗化セシウム
である請求項１又は２記載の方法。 - 【請求項４】 当該弗化アルカリ金属が、当該方法の開
始時に存在する請求項１ 〜 ３のいずれかに記載の方
法。 - 【請求項５】 当該弗化アルカリ金属を、プロセス中に
その場で生成される請求項１ 〜 ３のいずれか一つに記
載の方法。 - 【請求項６】 炭素が、活性炭又は活性チャコールであ
る請求項１ 〜 ５のいずれかに記載の方法。 - 【請求項７】 大きな表面積を有する当該炭素が、粒状
／粉末の形態である請求項１ 〜 ６のいずれかに記載の
方法。 - 【請求項８】 ３５０℃ 〜 １０００℃の温度で行われ
る請求項１ 〜 ７のいずれかにに記載の方法。 - 【請求項９】 当該弗化アルカリ金属が弗化セシウムで
あって、３５０℃〜 ８３０℃の温度で行われる請求項
８記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB9923951.9 | 1999-10-08 | ||
| GBGB9923951.9A GB9923951D0 (en) | 1999-10-08 | 1999-10-08 | Treatment of gas mixture |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001162138A true JP2001162138A (ja) | 2001-06-19 |
Family
ID=10862456
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000307160A Pending JP2001162138A (ja) | 1999-10-08 | 2000-10-06 | ガス混合物の処理 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6403047B1 (ja) |
| EP (1) | EP1090673A3 (ja) |
| JP (1) | JP2001162138A (ja) |
| GB (1) | GB9923951D0 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011115795A (ja) * | 2011-02-28 | 2011-06-16 | Daioh Shinyo Co Ltd | 難分解物質の分解処理方法及びその装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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