JP2001159508A

JP2001159508A - 測定装置および測定システム

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Publication number: JP2001159508A
Application number: JP34462199A
Authority: JP
Inventors: Hitoshi Usami; 仁宇佐美
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1999-12-03
Filing date: 1999-12-03
Publication date: 2001-06-12
Anticipated expiration: 2019-12-03
Also published as: JP4411712B2

Abstract

(57)【要約】【課題】操作性の良い測定装置および測定システムを
提供する。【解決手段】被測定物を観察する観察手段２７ａ，２
７ｂと、被測定物と観察手段２７ａ，２７ｂとを予め定
めた１以上の座標軸に沿って相対移動可能に支持する支
持手段２１，２４，２７と、被測定物と観察手段２７
ａ，２７ｂとの相対移動量をカウントするカウンタ手段
と、カウンタ手段によるカウント値を被測定物上の観察
点の座標に変換する変換手段と、変換手段によって得ら
れた座標を表示する表示手段３５と、外部のデータ処理
装置１４が電気的に接続されているとき、表示手段３５
の表示内容を該データ処理装置１４からの出力信号に応
じた内容に変更する表示制御手段とを備えたものであ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被測定物の寸法を
測定する測定装置および測定システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、被測定物であるワークの形状
寸法を測定する測定装置として、測定顕微鏡や投影機な
どが知られている。通常、この測定装置は、測定結果に
対する演算処理を実行する外部のデータ処理装置に接続
可能である。測定装置にデータ処理装置を接続すること
により、単なる２点間の寸法測定だけでなく、多角形の
各辺の寸法測定や円の中心測定といった複雑な測定も簡
単に行うことができる。

【０００３】ここで、従来の測定装置５０およびデータ
処理装置５８について、図５〜図７を用いて説明する。
測定装置５０は、図５に示すように、ワーク５１を載置
するＸＹステージ５２と、ＸＹステージ５２の移動量を
カウントしてカウント値を出力するカウンタ５３と、カ
ウンタ５３のカウント値をリセットするためのリセット
信号を出力するリセットスイッチ５６と、測定結果（座
標）を表示するカウンタ表示部５５と、測定結果をデー
タ処理装置５８に転送するためのデータ転送信号を出力
するデータ転送スイッチ５７と、ＣＰＵ５４とで構成さ
れている。

【０００４】また、データ処理装置５８は、測定装置５
０からの測定結果に対する演算処理を行う演算部（不図
示）と、演算結果を表示する表示部５９とで構成されて
いる。このような測定装置５０およびデータ処理装置５
８では、図６，図７に示すフローチャートにしたがって
動作が行われる。すなわち、測定装置５０のＣＰＵ５４
は、まず、カウンタ５３が出力するカウント値を読み込
み（図６のＳ４０）、座標に変換する（Ｓ４１）。この
座標は、ＸＹステージ５２の移動軸を座標軸とする座標
系（機械座標系）に関する座標である。ＣＰＵ５４は、
上記の変換により得た座標をカウンタ表示部５５に表示
させる（Ｓ４２）。

【０００５】また、データ転送スイッチ５７からデータ
転送信号が出力されたり、データ処理装置５８からデー
タ転送の要求があると（Ｓ４３がＹのとき）、ＣＰＵ５
４は、上記の変換により得た座標のデータをデータ処理
装置５８に転送する（Ｓ４４）。一方、データ処理装置
５８では、測定装置５０から座標のデータを受け取ると
（図７のＳ４５）、受け取った機械座標系の座標をワー
ク座標系の座標に変換する（Ｓ４６）。ワーク座標系
は、測定対象のワーク５１に応じて予めデータ処理装置
５８に設定された座標系である。

【０００６】そして、データ処理装置５８では、上記の
座標変換により得た座標を表示部５９に表示させる（Ｓ
４７）。また、データ処理装置５８では、測定装置５０
から転送される複数の座標のデータに基づいて、多角形
の各辺の長さを求めたり、円の中心を求めるなどの決め
られた演算処理が行われる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の測定システム（測定装置５０，データ処理装置
５８）では、測定装置５０のカウンタ表示部５５に表示
される座標の座標系（機械座標系）と、データ処理装置
５８の表示部５９に表示される座標の座標系（ワーク座
標系）とが異なるため、使い勝手が悪いという問題があ
った。

【０００８】また、リセットスイッチ５６が誤って操作
された場合でも、カウンタ５３のカウント値がリセット
され、すなわち、カウンタ表示部５５に表示される座標
（機械座標系）がリセットされ、測定装置５０側の機械
座標系とデータ処理装置５８側のワーク座標系との対応
関係が崩れてしまうという問題もある。この場合には、
データ処理装置５８側のワーク座標系を再度設定し直さ
なければならず、使い勝手が悪い。

【０００９】本発明の目的は、操作性の良い測定装置お
よび測定システムを提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の測定装
置は、被測定物を観察する観察手段と、被測定物と観察
手段とを予め定めた１以上の座標軸に沿って相対移動可
能に支持する支持手段と、被測定物と観察手段との相対
移動量をカウントするカウンタ手段と、カウンタ手段に
よるカウント値を被測定物上の観察点の座標に変換する
変換手段と、変換手段によって得られた座標を表示する
表示手段と、外部のデータ処理装置が電気的に接続され
ているとき、表示手段の表示内容を該データ処理装置か
らの出力信号に応じた内容に変更する表示制御手段とを
備えたものである。このため、外部のデータ処理装置か
らの出力信号に応じた内容（例えば、ワーク座標系での
座標）を表示手段に表示させることができ、操作性が向
上する。

【００１１】また、請求項２に記載の測定装置は、被測
定物を観察する観察手段と、被測定物と観察手段とを予
め定めた１以上の座標軸に沿って相対移動可能に支持す
る支持手段と、被測定物と観察手段との相対移動量をカ
ウントするカウンタ手段と、カウンタ手段によるカウン
ト値を被測定物上の観察点の座標に変換する変換手段
と、カウンタ手段に対してリセット信号を出力し、変換
手段によって得られる座標のリセットを要求するリセッ
ト要求手段と、リセット要求手段から出力されるリセッ
ト信号のカウンタ手段への入力を許可するか否かを制御
するリセット制御手段とを備えたものである。このた
め、リセット要求手段から誤ってリセット信号が出力さ
れた場合でも、このリセット信号のカウンタ手段への入
力を不許可にすることができる。その結果、カウンタ手
段のカウント値の不要なリセットを防止することがで
き、操作性が向上する。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明の実施
形態を詳細に説明する。本実施形態では、３次元の座標
を扱える測定顕微鏡１０を例に説明を行う。測定顕微鏡
１０は、図１(ａ)に示すように、被測定物であるワーク
（不図示）を載置するステージ部１１と、ステージ部１
１に載置された被測定物を観察する観察部１２と、後述
するカウンタユニット１３とで構成されている。

【００１３】このうち、ステージ部１１は、Ｘ方向に移
動可能なＸステージ２１，Ｘステージ２１を移動させる
Ｘハンドル２２，Ｘステージ２１の移動量に応じてパル
ス信号を出力するＸスケール２３と、Ｙ方向に移動可能
なＹステージ２４，Ｙステージ２４を移動させるＹハン
ドル２５，Ｙステージ２４の移動量に応じてパルス信号
を出力するＹスケール２６とで構成されている。

【００１４】また、観察部１２は、対物レンズ２７ａお
よび接眼レンズ２７ｂが設けられかつＺ方向に移動可能
な鏡筒２７と、鏡筒２７をＺ方向に移動させるＺハンド
ル２８と、鏡筒２７の移動量に応じてパルス信号を出力
するＺスケール２９とで構成されている。ちなみに、上
記したＸスケール２３，Ｙスケール２６，Ｚスケール２
９は、例えば、光電式リニアエンコーダで構成される。

【００１５】また、Ｘスケール２３，Ｙスケール２６，
Ｚスケール２９から出力されるパルス信号Ｐｘ,Ｐｙ,Ｐ
ｚは、図２に示すように、カウンタユニット１３を構成
するカウンタ３１，３２，３３に入力される。ここで、
カウンタユニット１３には、カウンタ３１，３２，３３
の他、ＣＰＵ３４と、カウンタ表示部３５と、リセット
スイッチ３６，３７，３８と、データ転送スイッチ３９
と、リセットマスク回路４１，４２，４３とが設けられ
ている。

【００１６】上記のカウンタ３１，３２，３３は、Ｘス
ケール２３，Ｙスケール２６，Ｚスケール２９からのパ
ルス信号Ｐｘ,Ｐｙ,Ｐｚを個別にカウントし、カウント
値Ｃｘ,Ｃｙ,ＣｚをＣＰＵ３４に出力する。カウンタ３
１，３２，３３からのカウント値Ｃｘ,Ｃｙ,Ｃｚは、Ｃ
ＰＵ３４において、座標（Ｘａ，Ｙａ，Ｚａ）に変換さ
れる。また、座標（Ｘａ，Ｙａ，Ｚａ）は、ＣＰＵ３４
の制御により、カウンタ表示部３５に表示されたり、後
述するデータ処理装置１４に転送されたりする。

【００１７】ここで、座標（Ｘａ，Ｙａ，Ｚａ）は、上
記したＸステージ２１，Ｙステージ２４，鏡筒２７の移
動軸（Ｘ軸，Ｙ軸，Ｚ軸）を座標軸とする座標系（機械
座標系）での座標である。ところで、上記のカウンタ３
１，３２，３３には、Ｘスケール２３，Ｙスケール２
６，Ｚスケール２９からのパルス信号Ｐｘ,Ｐｙ,Ｐｚの
他、リセット信号Ｒｘ,Ｒｙ,Ｒｚも入力される。

【００１８】リセット信号Ｒｘ,Ｒｙ,Ｒｚは、カウンタ
３１，３２，３３のカウント値Ｃｘ,Ｃｙ,Ｃｚをリセッ
トする、つまり、機械座標系での座標（Ｘａ，Ｙａ，Ｚ
ａ）をリセットするための信号である。また、このリセ
ット信号Ｒｘ,Ｒｙ,Ｒｚは、リセットスイッチ３６，３
７，３８から出力され、リセットマスク回路４１，４
２，４３を介して、カウンタ３１，３２，３３に入力さ
れる。

【００１９】リセットマスク回路４１，４２，４３は、
カウンタ３１，３２，３３に対するリセット信号Ｒｘ,
Ｒｙ,Ｒｚの入力を許可するか否かを制御する回路、す
なわち、カウンタ３１，３２，３３に対するリセット信
号Ｒｘ,Ｒｙ,Ｒｚの入力をマスクする機能を備えた回路
である。このため、リセットマスク回路４１，４２，４
３には、上記のリセット信号Ｒｘ,Ｒｙ,Ｒｚの他、ＣＰ
Ｕ３４からリセットマスク信号Ｍｘ,Ｍｙ,Ｍｚが入力さ
れる。このリセットマスク信号Ｍｘ,Ｍｙ,Ｍｚは、「マ
スク要求」を示す制御信号である。

【００２０】リセットマスク信号Ｍｘ,Ｍｙ,Ｍｚがリセ
ットマスク回路４１，４２，４３に入力されると、リセ
ットマスク回路４１，４２，４３では、リセット信号Ｒ
ｘ,Ｒｙ,Ｒｚのカウンタ３１，３２，３３への入力をマ
スクする（不許可にする）。この場合、リセットスイッ
チ３６，３７，３８からリセット信号Ｒｘ,Ｒｙ,Ｒｚが
出力されても、カウンタ３１，３２，３３のカウント値
Ｃｘ,Ｃｙ,Ｃｚはリセットされない。

【００２１】一方、リセットマスク信号Ｍｘ,Ｍｙ,Ｍｚ
がリセットマスク回路４１，４２，４３に入力されない
とき、リセットマスク回路４１，４２，４３では、リセ
ット信号Ｒｘ,Ｒｙ,Ｒｚのカウンタ３１，３２，３３へ
の入力を許可する（マスク解除）。この場合、リセット
スイッチ３６，３７，３８からリセット信号Ｒｘ,Ｒｙ,
Ｒｚが出力されると、カウンタ３１，３２，３３のカウ
ント値Ｃｘ,Ｃｙ,Ｃｚが実際にリセットされる。

【００２２】なお、リセットスイッチ３６，３７，３８
から出力されるリセット信号Ｒｘ,Ｒｙ,Ｒｚは、リセッ
トマスク回路４１，４２，４３に入力すると同時に、Ｃ
ＰＵ３４にも入力される。ちなみに、上記のカウンタユ
ニット１３は、カウンタ表示部３５，リセットスイッチ
３６〜３８，データ転送スイッチ３９が筐体１３ａに
（図１(ａ)）、それ以外が筐体１３ｂに設けられてい
る。

【００２３】また、上記のカウンタユニット１３は、汎
用（ＲＳ２３２Ｃなど）または専用のインターフェース
を介してデータ処理装置１４に接続されている（図
２）。このため、測定顕微鏡１０とデータ処理装置１４
とは、必要に応じてデータの送受を行うことができる。
なお、データ処理装置１４には、各種の演算処理を実行
する演算部（不図示）と、演算結果を表示する表示部１
５（図１(ｂ)，図２）とが設けられる。本実施形態で
は、データ処理装置１４と測定顕微鏡１０とで、測定シ
ステムを構成している。

【００２４】ここで、本実施形態と請求項との対応関係
を示しておく。本実施形態の測定顕微鏡１０は請求項の
「測定装置」に対応する。また、本実施形態の対物レン
ズ２７ａおよび接眼レンズ２７ｂは請求項の「観察手
段」に対応する。Ｘステージ２１、Ｙステージ２４およ
び鏡筒２７は「支持手段」に対応する。スケール２３，
２６，２９およびカウンタ３１，３２，３３は「カウン
タ手段」、カウンタ表示部３５は「表示手段」、リセッ
トスイッチ３６，３７，３８は「リセット要求手段」、
ＣＰＵ３４は「変換手段」および「表示制御手段」、リ
セットマスク回路４１，４２，４３およびＣＰＵ３４は
「リセット制御手段」に対応する。

【００２５】次に、上記のように構成された測定システ
ム（測定顕微鏡１０，データ処理装置１４）の動作につ
いて、図３，図４に示すフローチャートを用いて説明す
る。図３はデータ処理装置１４側のフローチャート、図
４は測定顕微鏡１０側のフローチャートである。データ
処理装置１４と測定顕微鏡１０とが電気的に接続されて
いるとき、データ処理装置１４は、所定のタイミング
で、カウンタユニット１３のＣＰＵ３４に対してリセッ
トマスク信号Ｍｘ,Ｍｙ,Ｍｚを出力する（図３のＳ１
０）。

【００２６】カウンタユニット１３のＣＰＵ３４は、デ
ータ処理装置１４からリセットマスク信号Ｍｘ,Ｍｙ,Ｍ
ｚを受け取ると（図４のＳ２０がＹのとき）、このリセ
ットマスク信号Ｍｘ,Ｍｙ,Ｍｚをリセットマスク回路４
１，４２，４３に転送する（Ｓ２１）。その結果、リセ
ットマスク回路４１，４２，４３は、リセット信号Ｒ
ｘ,Ｒｙ,Ｒｚのカウンタ３１，３２，３３への入力をマ
スクする状態（マスク状態）となる。

【００２７】この状態で、ＣＰＵ３４は、カウンタ３
１，３２，３３からのカウント値Ｃｘ,Ｃｙ,Ｃｚを所定
のタイミングで順次に読み込み（図４のＳ２２）、機械
座標系での座標（Ｘａ，Ｙａ，Ｚａ）に変換する（Ｓ２
３）。そして、ＣＰＵ３４は、変換により得た機械座標
系の座標（Ｘａ，Ｙａ，Ｚａ）をデータ処理装置１４に
出力する（Ｓ２４）。このとき、機械座標系の座標（Ｘ
ａ，Ｙａ，Ｚａ）がカウンタ表示部３５に表示されるこ
とはない。

【００２８】また、このＣＰＵ３４は、リセットスイッ
チ３６，３７，３８からリセット信号Ｒｘ,Ｒｙ,Ｒｚが
出力されたことを検出すると（Ｓ２５がＹのとき）、こ
のリセット信号Ｒｘ,Ｒｙ,Ｒｚをデータ処理装置１４に
転送する（Ｓ２６）。なお、上記Ｓ２１でリセットマス
ク回路４１，４２，４３がマスク状態に制御されたた
め、リセット信号Ｒｘ,Ｒｙ,Ｒｚが出力されても、カウ
ンタ３１，３２，３３のカウント値Ｃｘ,Ｃｙ,Ｃｚはリ
セットされない。

【００２９】一方、データ処理装置１４では、カウンタ
ユニット１３のＣＰＵ３４から機械座標系での座標（Ｘ
ａ，Ｙａ，Ｚａ）を受け取ると（図３のＳ１１）、この
座標（Ｘａ，Ｙａ，Ｚａ）をワーク座標系での座標（Ｘ
ｂ，Ｙｂ，Ｚｂ）に変換する（Ｓ１２）。ワーク座標系
は、測定対象のワークに応じて予めデータ処理装置１４
に設定された座標系である。

【００３０】また、データ処理装置１４では、カウンタ
ユニット１３からリセット信号Ｒｘ,Ｒｙ,Ｒｚを受け取
ると（Ｓ１３がＹのとき）、所定のプログラムにしたが
って実際にリセットするか否かを判断する（Ｓ１４）。
そして、Ｓ１４の判断の結果が「リセットする（Ｙ）」
の場合には、ワーク座標系での座標（Ｘｂ，Ｙｂ，Ｚ
ｂ）をリセットし（Ｓ１５）、リセットしたワーク座標
系の座標（０，０，０）を表示部１５に表示させる（Ｓ
１６）。

【００３１】なお、データ処理装置１４では、カウンタ
ユニット１３からリセット信号Ｒｘ,Ｒｙ,Ｒｚを受け取
らないとき（図３のＳ１３がＮのとき）、および、Ｓ１
４の判断の結果が「リセットしない（Ｎ）」の場合に
は、Ｓ１２の座標変換で得たワーク座標系の座標（Ｘ
ｂ，Ｙｂ，Ｚｂ）を表示部１５に表示させる（Ｓ１
６）。

【００３２】さらに、データ処理装置１４では、Ｓ１６
で表示部１５に表示させたワーク座標系での座標（Ｘ
ｂ，Ｙｂ，Ｚｂ）または（０，０，０）をカウンタユニ
ット１３に出力する（図３のＳ１７）。一方、カウンタ
ユニット１３では、データ処理装置１４から座標（Ｘ
ｂ，Ｙｂ，Ｚｂ）または（０，０，０）を受け取ると
（図４のＳ２７）、このワーク座標系での座標（Ｘｂ，
Ｙｂ，Ｚｂ）または（０，０，０）をカウンタ表示部３
５に表示させる（Ｓ２８）。

【００３３】このように、データ処理装置１４と測定顕
微鏡１０とが電気的に接続されているとき、測定装置１
０のカウンタ表示部３５に表示される座標の座標系と、
データ処理装置１４の表示部１５に表示される座標の座
標系とが、同じワーク座標系となるため、操作者にとっ
て非常に使い勝手が良い。また、リセットスイッチ３６
〜３８を誤って操作した場合でも、データ処理装置１４
が許可しない限り、カウンタ３１〜３３のカウント値Ｃ
ｘ,Ｃｙ,Ｃｚがリセットされないため、測定装置１０側
の機械座標系とデータ処理装置１４側のワーク座標系と
の対応関係が維持され、操作者にとって非常に使い勝手
が良い。

【００３４】ちなみに、図３のＳ１４における判断結果
が「リセットする（Ｙ）」となるのは、例えば、測定対
象のワークに応じたワーク座標系をデータ処理装置１４
に設定する段階（原点設定）である。データ処理装置１
４に設定されたワーク座標系を用いて、測定対象のワー
クの形状寸法などを演算するに当たり、演算に必要な複
数の測定点の座標（Ｘｂ1，Ｙｂ1，Ｚｂ1），（Ｘｂ2，
Ｙｂ2，Ｚｂ2），…は、測定装置１０に設けられたデー
タ転送スイッチ３９によって順次に指定することができ
る。

【００３５】この場合、データ処理装置１４からの出力
信号に基づいて、次の測定点の座標（ワーク座標系）を
測定装置１０のカウンタ表示部３５に表示させることが
でき、操作性の向上が図られる。

【００３６】データ処理装置１４での演算結果は、デー
タ処理装置１４の表示部１５だけでなく、測定装置１０
のカウンタ表示部３５にもデータ処理装置１４からの出
力信号に基づいて表示させることができる。ところで、
本実施形態の測定システムは、データ処理装置１４と測
定装置１０とが電気的に接続されてない場合にも動作可
能である。

【００３７】この場合、カウンタユニット１３のＣＰＵ
３４は、リセットマスク信号Ｍｘ,Ｍｙ,Ｍｚを受け取ら
ない（図４のＳ２０がＮとなる）ので、後述するＳ３０
〜Ｓ３２の処理を行う。また、リセットマスク回路４
１，４２，４３にはリセットマスク信号Ｍｘ,Ｍｙ,Ｍｚ
が入力されないため、リセットマスク回路４１，４２，
４３は、リセット信号Ｒｘ,Ｒｙ,Ｒｚのカウンタ３１，
３２，３３への入力を許可する状態（マスク解除状態）
となる。

【００３８】したがって、カウンタ３１，３２，３３の
カウント値Ｃｘ,Ｃｙ,Ｃｚは、リセットスイッチ３６，
３７，３８からの要求どおり、リセット信号Ｒｘ,Ｒｙ,
Ｒｚにしたがってリセットされる。さて、ＣＰＵ３４
は、カウンタ３１，３２，３３からのカウント値Ｃｘ,
Ｃｙ,Ｃｚを所定のタイミングで順次に読み込み（図４
のＳ３０）、機械座標系での座標（Ｘａ，Ｙａ，Ｚａ）
に変換する（Ｓ３１）。そして、ＣＰＵ３４は、変換に
より得た機械座標系の座標（Ｘａ，Ｙａ，Ｚａ）をその
ままカウンタ表示部３５に表示させる（Ｓ３２）。この
とき、カウンタ表示部３５に表示された機械座標系の座
標（Ｘａ，Ｙａ，Ｚａ）を読み取ることで、測定対象の
ワークの形状寸法などを求めることができる。

【００３９】なお、本実施形態では、測定顕微鏡１０を
例に説明したが、投影機やマニュアル画像測定機、マニ
ュアル三次元座標測定機にも本発明は適用できる。ま
た、本実施形態では、データ処理装置１４からの要求
（リセットマスク信号Ｍｘ,Ｍｙ,Ｍｚの出力）の有無に
応じて、リセットマスク回路４１，４２，４３をマスク
状態またはマスク解除状態に切り替える例を説明した
が、これに限らない。例えば、カウンタユニット１３に
切替スイッチを設け、この切替スイッチによってリセッ
トマスク回路４１，４２，４３をマスク状態またはマス
ク解除状態に切り替えてもよい。

【００４０】このとき、データ処理装置１４の表示部１
５と測定装置１０のカウンタ表示部３５との少なくとも
一方に、「マスク要求」の有無を表示させることが好ま
しい。さらに、データ処理装置１４から測定装置１０の
カウンタユニット１３に送られるデータは、次の測定点
の座標や測定結果といったワーク座標系に限らない。ま
た、データ処理装置１４は専用に限らない。市販のコン
ピュータに専用のデータ処理ソフトを組み込んだもので
もよい。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１に記載の
発明によれば、外部のデータ処理装置からの出力信号に
応じた内容（例えば、ワーク座標系での座標）を表示手
段に表示させることができるため、操作性が向上する。
また、請求項２〜請求項４に記載の発明によれば、誤っ
てリセット要求手段が操作された場合には、カウンタ手
段のカウント値の不要なリセットが防止されるため、操
作性が向上する。

【００４２】したがって、被測定物の測定を効率的に行
える測定装置および測定システムを提供することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】(ａ)は本実施形態の測定顕微鏡１０を正面から
見た外観図である。(ｂ)はデータ処理装置１４の外観図
である。

【図２】本実施形態のカウンタユニット１３およびデー
タ処理装置１４を説明するブロック図である。

【図３】データ処理装置１４の動作を示すフローチャー
トである。

【図４】カウンタユニット１３の動作を示すフローチャ
ートである。

【図５】従来のカウンタユニット５２およびデータ処理
装置５８を説明するブロック図である。

【図６】カウンタユニット５２の動作を示すフローチャ
ートである。

【図７】データ処理装置５８の動作を示すフローチャー
トである。

【符号の説明】

１０測定顕微鏡１１ステージ部１２観察部１３カウンタユニット１４，５８データ処理装置１５，５９表示部２１Ｘステージ２２Ｘハンドル２３Ｘスケール２４Ｙステージ２５Ｙハンドル２６Ｙスケール２７鏡筒２８Ｚハンドル２９Ｚスケール３１，３２，３３カウンタ３４，５４ＣＰＵ３５，５５カウンタ表示部３６，３７，３８，５６リセットスイッチ３９，５７データ転送スイッチ４１，４２，４３リセットマスク回路５２ＸＹステージ５１ワーク

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被測定物を観察する観察手段と、前記被測定物と前記観察手段とを予め定めた１以上の座
標軸に沿って相対移動可能に支持する支持手段と、前記被測定物と前記観察手段との相対移動量をカウント
するカウンタ手段と、前記カウンタ手段によるカウント値を前記被測定物上の
観察点の座標に変換する変換手段と、前記変換手段によって得られた座標を表示する表示手段
と、外部のデータ処理装置が電気的に接続されているとき、
前記表示手段の表示内容を該データ処理装置からの出力
信号に応じた内容に変更する表示制御手段とを備えたこ
とを特徴とする測定装置。
【請求項２】被測定物を観察する観察手段と、前記被測定物と前記観察手段とを予め定めた１以上の座
標軸に沿って相対移動可能に支持する支持手段と、前記被測定物と前記観察手段との相対移動量をカウント
するカウンタ手段と、前記カウンタ手段によるカウント値を前記被測定物上の
観察点の座標に変換する変換手段と、前記カウンタ手段に対してリセット信号を出力し、前記
変換手段によって得られる座標のリセットを要求するリ
セット要求手段と、前記リセット要求手段から出力される前記リセット信号
の前記カウンタ手段への入力を許可するか否かを制御す
るリセット制御手段とを備えたことを特徴とする測定装
置。
【請求項３】請求項２に記載の測定装置と外部のデー
タ処理装置とが電気的に接続されてなる測定システムで
あって、前記測定装置の前記リセット制御手段は、前記データ処
理装置からリセットマスク信号が出力されたとき、該リ
セットマスク信号に基づいて、前記リセット信号の前記
カウンタ手段への入力を不許可にすることを特徴とする
測定システム。
【請求項４】請求項３に記載の測定システムにおい
て、前記測定装置の前記リセット制御手段は、前記リセット
要求手段から前記リセット信号が出力されたとき、該リ
セット信号を前記データ処理装置に転送し、前記データ処理装置は、当該データ処理装置内の座標系
を再設定するとき以外、前記測定装置の前記リセット制
御手段から転送された前記リセット信号を無視すること
を特徴とする測定システム。