JP2001156510A

JP2001156510A - 積層型マジックｔ

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Publication number: JP2001156510A
Application number: JP33900499A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Uchimura; 弘志内村
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 1999-11-30
Filing date: 1999-11-30
Publication date: 2001-06-08
Anticipated expiration: 2019-11-30
Also published as: JP4199395B2

Abstract

(57)【要約】【課題】従来の方形導波管を用いたマジックＴでは、
小型化が図れず、生産性も低かった。【解決手段】第１の誘電体基板71を挟持する上部主導
体層１および下部主導体層２と、これらを所定の繰り返
し間隔および所定の幅で接続する２列の側壁用貫通導体
群３とを具備する第１および第２の誘電体導波管線路ａ
・ｃ−ｄをＴ字状に接続するとともに分岐部の上部主導
体層１に所定の上部開口１ａを設けたものに対し、第２
の誘電体基板72と、上部開口１ａ周囲に所定間隔をもっ
て接続される導体壁用貫通導体群５と、所定の間隔で形
成され、上部開口１ａと略同寸法の開口６ａを有する複
数の副導体層６とを具備する縦型の誘電体導波管線路ｂ
を接続して成る積層型マジックＴである。グリーンシー
ト積層技術を用いて十分な精度でかつ容易に製造するこ
とができ、大幅に小型化することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、主にマイクロ波お
よびミリ波等の高周波信号を伝送・分岐して高周波回路
を構成するための分岐部として用いられる、積層型の誘
電体導波管線路を用いた積層型マジックＴに関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】近年、マイクロ波やミリ波などの高周波
を用いる回路を構成するための要素に関する技術の研究
が盛んに進められている。この回路構成要素の中には様
々なものがあるが、その一つにマジックＴと呼ばれる一
種の方向性結合器がある。このマジックＴは、例えば平
衡形の位相検波やミキサ回路等に用いられる。

【０００３】この従来のマジックＴは、方形導波管のＥ
面Ｔ分岐とＨ面Ｔ分岐とを組み合わせた４端子構造をし
ている。図４に従来のマジックＴの構成を斜視図で示
す。図４においてａ・ｂ・ｃ・ｄはそれぞれ導波管を示
しており、通常は方形導波管が用いられている。これら
のうち導波管ａ・ｃ・ｄは、Ｈ面が同図中に示すｘ−ｙ
平面に平行な導波管で、導波管ｂはＨ面がｘ−ｚ平面に
平行な導波管である。

【０００４】ここで、導波管ａ・ｃ・ｄについて見る
と、Ｈ面Ｔ分岐の導波管構造をしており、導波管ｂ・ｃ
・ｄについて見ると、Ｅ面Ｔ分岐の導波管構造をしてい
る。また、各導波管ａ〜ｄは、それぞれ周波数とサイズ
を調整し、ＴＥ₁₀モードのシングルモードでのみ電磁波
が伝播できるように設定されている。

【０００５】この構造のマジックＴについてその動作を
簡単に説明する。Ｈ面Ｔ分岐のうち導波管ａから励振す
ると、この電磁波は導波管ｃ・ｄとは結合できるが、導
波管ｂとは結合できない。またＥ面Ｔ分岐のうち導波管
ｂから励振すると、この電磁波は導波管ｃ・ｄとは結合
できるが、導波管ａとは結合できない。すなわち、導波
管ａから入力された電磁波は導波管ｃ・ｄのみに分岐
し、導波管ｂから入力された電磁波は導波管ｃ・ｄのみ
に分岐する。しかも、導波管ａから入力された電磁波は
同相で分岐されるのに対して、導波管ｂから入力された
電磁波は逆相で分岐される。

【０００６】また、このマジックＴに対しては、その２
つの分岐が交差している分岐部においてインピーダンス
のマッチングをとるために、分岐部の内部にインピーダ
ンスの整合器として金属ポール（棒）や金属板が配置さ
れる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】このような構造を持っ
た従来のマジックＴは、方形導波管を用いた３次元的な
複雑な構造であるため、作製時の加工が非常に難しいと
いう問題点があった。すなわち、このような構造は金属
ブロックから導波路部分を削り出して作製することも可
能であるが、３次元的な切削加工は容易ではないので、
通常は２つまたは３つの部分に分割して作製される。こ
の場合、各部分の接続部において電磁波の漏れが発生し
たり、接続のずれによる伝送・分岐特性の劣化が発生し
たりしやすいという問題点があった。

【０００８】また、分岐部に挿入配置されるインピーダ
ンスマッチングのための整合用金属ポールや金属板も、
マジックＴに要求される対称構造を乱さないようにする
ため、図４中のＡ−Ｂ−Ｃ線に沿って切断した面に対し
て高い対称性を有していることが求められ、高精度の加
工技術が必要である。このため、良好な伝送・分岐特性
のものを安定して得ることが困難であり、生産性が低
く、その結果、製造コストも高くなってしまうという問
題点があった。

【０００９】さらに、伝送・分岐する電磁波の周波数が
低い場合にはその寸法は大きくなり、逆にミリ波のよう
に周波数が高くなると導波管の寸法が著しく小さくなっ
て、いずれの場合もその加工は非常に難しくなるという
問題点もあった。

【００１０】本発明は上記事情に鑑みて案出されたもの
であり、その目的は、良好な伝送・分岐特性のものを精
度良くかつ安定して得ることができ、生産性も高いマジ
ックＴを提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明者は、上記の問題
点を解決すべく検討を重ねた結果、従来の方形導波管に
代えて、セラミック製半導体素子収納用パッケージや多
層配線基板等を作製するグリーンシート積層技術を用い
て作製できる横型および縦型の積層型誘電体導波管線路
を用いることにより、容易に、精度良く、しかも安価に
マジックＴを製造できることを見出し発明を完成するに
至った。

【００１２】すなわち、本発明の積層型マジックＴは、
第１の誘電体基板を挟持する上部主導体層および下部主
導体層と、これら上部主導体層および下部主導体層間を
高周波信号の伝送方向に信号波長の２分の１未満の繰り
返し間隔および所定の幅で電気的に接続する２列の側壁
用貫通導体群とを具備し、前記各主導体層および前記側
壁用貫通導体群に囲まれた領域によって前記高周波信号
を伝送する第１および第２の誘電体導波管線路を、前記
第１の誘電体導波管線路の先端を前記第２の誘電体導波
管線路の一方の側部に設けた側部開口に互いの高周波信
号の伝送方向が垂直となるように接続するとともに、分
岐部の前記第２の誘電体導波管線路の前記上部主導体層
に所定の上部開口を設けて成るＴ字状分岐誘電体導波管
線路に対し、複数の誘電体層を積層して成る第２の誘電
体基板と、前記上部開口周囲の前記第２の誘電体基板内
に積層方向に形成され、所定間隔をもって前記上部主導
体層に電気的に接続される導体壁用貫通導体群と、前記
誘電体層間に前記高周波信号の信号波長の２分の１未満
の間隔で形成され、前記導体壁用貫通導体群を前記誘電
体層間でそれぞれ電気的に接続する、前記上部開口と略
同寸法の開口を有する複数の副導体層とを具備し、前記
複数の副導体層および前記導体壁用貫通導体群に囲まれ
た領域によって前記高周波信号を伝送する縦型の誘電体
導波管線路を、前記上部開口に前記第１および第２の誘
電体導波管線路に対して高周波信号の伝送方向が垂直と
なるように接続して成ることを特徴とするものである。

【００１３】また、本発明の積層型マジックＴは、上記
構成において、前記Ｔ字状分岐誘電体導波管線路の前記
分岐部に、貫通導体および／または導体層から成る整合
器を設けたことを特徴とするものである。

【００１４】

【作用】このような構成の本発明の積層型マジックＴ
は、グリーンシート積層技術を用いて容易に作製するこ
とができる。すなわち、セラミックグリーンシート等の
誘電体グリーンシートに貫通孔加工・メタライズインク
等の導体ペースト埋め込み・導体パターン印刷・積層・
焼成を行なうことにより十分な精度でかつ容易に製造可
能であり、分岐部に設けるインピーダンス整合器として
の金属ポールや金属板に相当する部分も、同様の貫通孔
の形成および導体ペーストの印刷により容易に作製する
ことができる。

【００１５】また、誘電体基板および誘電体層を構成す
るセラミックスを始めとする誘電体材料の比誘電率を適
当に選択することにより、周波数の低い場合でも、従来
の方形導波管を用いたマジックＴに比べて大幅に小型化
することができる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の積層型マジックＴ
について図面を参照しながら説明する。

【００１７】図１は、本発明の積層型マジックＴの実施
の形態の一例の概略構成を示す斜視図である。図１にお
いて、ａ・ｂ・ｃ・ｄはそれぞれ積層型誘電体導波管線
路による導波管であり、ａ・ｃ・ｄはＴ字状分岐誘電体
導波管線路を構成する横型の誘電体導波管線路であり、
ｂはその上方に接続される縦型の誘電体導波管線路であ
る。

【００１８】71は第１の誘電体基板、１は上部主導体
層、２は下部主導体層であり、これら一対の主導体層１
・２により第１の誘電体基板71を上下から挟持してい
る。３は高周波信号である電磁波の伝送方向に信号波長
の２分の１未満の繰り返し間隔および所定の幅で主導体
層１・２間を電気的に接続するように形成された２列の
側壁用貫通導体群である。また、４は主導体層１・２間
にこれらと平行に形成され、２列の側壁用貫通導体群３
のそれぞれを電気的に接続する副導体層であり、良好な
疑似導体壁を得るために必要に応じて形成されるもので
ある。これら各主導体層１・２および側壁用貫通導体群
３ならびに副導体層４に囲まれた領域によって、高周波
信号を伝送する横型の第１の誘電体導波管線路ａおよび
第２の誘電体導波管線路ｃ−ｄが構成される。そして、
第２の誘電体導波管線路ｃ−ｄの一方の側部に所定の側
壁用貫通導体群を除いて形成された側部開口に、第１の
誘電体導波管線路ａの先端を互いの高周波信号の伝送方
向が垂直となるように接続することにより、Ｔ字状分岐
誘電体導波管線路を構成している。さらに、この分岐部
の第２の誘電体導波管線路ｃ−ｄの上部主導体層１には
所定の開口寸法の上部開口１ａが設けられている。

【００１９】72は複数の誘電体層を積層して成る第２の
誘電体基板、５は上部開口１ａ周囲の第２の誘電体基板
72内にその積層方向（同図中に示すｚ方向）に形成さ
れ、所定間隔をもって上部主導体層１に電気的に接続さ
れる導体壁用貫通導体群、６は第２の誘電体基板72の誘
電体層間に高周波信号の信号波長の２分の１未満の間隔
で形成され、導体壁用貫通導体群５を誘電体層間でそれ
ぞれ電気的に接続する、上部開口１ａと略同寸法の開口
６ａを有する複数の副導体層である。これら複数の副導
体層６および導体壁用貫通導体群５に囲まれた領域によ
って、高周波信号を伝送する縦型の誘電体導波管線路ｂ
が構成される。そして、この誘電体導波管線路ｂをＴ字
状分岐誘電体導波管線路の上部主導体層１の上部開口１
ａに第１および第２の誘電体導波管線路ａ・ｃ−ｄに対
して高周波信号の伝送方向が垂直となるように接続する
ことにより、本発明の積層型マジックＴが構成される。

【００２０】まず、Ｔ字状分岐誘電体導波管線路を構成
する横型の第１および第２の誘電体導波管線路ａ・ｃ−
ｄについて説明する。２列の側壁用貫通導体群３は、所
定の幅Ｗｈをもって、高周波信号の伝送方向に信号波長
の２分の１未満の所定の繰り返し間隔ｒをもって形成さ
れ配列されており、これによりこの誘電体導波管線路ａ
・ｃ−ｄにおける疑似導体側壁を形成している。ここ
で、所定の幅Ｗｈは、導波管をシングルモードで用いる
必要があるので、λ／２＜Ｗｈ＜λとする。なお、この
λは誘電体中における高周波信号の自由空間波長であ
る。

【００２１】また、第１の誘電体基板71の厚みＨｈすな
わち上部主導体層１と下部主導体層２との間隔は、Ｈｈ
＜λ／２であることが必要である。図１に示す例では、
誘電体導波管ａ・ｃ−ｄのＥ面とＨ面に当たる部分がそ
れぞれ上部主導体層１および下部主導体層２と側壁用貫
通導体群３および副導体層４で形成されている。また、
間隔ｒが信号波長の１／２未満の間隔に設定されること
で、側壁用貫通導体群３が電気的な壁を形成している。

【００２２】側壁用貫通導体群３と副導体層４とにより
形成され、互いに平行に配置された側壁に対して、磁界
の面は垂直となる。このため、側壁用貫通導体群３の貫
通導体間の隙間が信号波長の１／２より大きいと、その
隙間は電磁波に対するスロットとして作用してそこから
電磁波が漏れることとなるので、この導波管線路に電磁
波を給電しても、電磁波はここで作られる疑似的な導波
管に沿って伝播しないこととなる。しかし、その隙間が
信号波長の１／２、望ましくは信号波長の１／４より小
さいと、電磁波はほとんど漏れることなくこの擬似的な
導波管に沿って伝播することとなる。このときの副導体
層４の役割は、側壁用貫通導体群３ほど重要ではない
が、より擬似的な導体壁をより完全な導体壁に近づける
作用があり、副導体層４を設けることにより電磁波の伝
播特性が改善される。

【００２３】その結果、図１に示す構成によれば、一対
の主導体層１・２および２列の側壁用貫通導体群３と副
導体層４によって囲まれる断面積がＷｈ×Ｈｈのサイズ
の領域が、第１および第２の誘電体導波管線路ａ・ｃ−
ｄとなる。

【００２４】なお、図１に示す例では側壁用貫通導体群
３は２列に形成したが、この側壁用貫通導体群３を４列
あるいは６列に配設して側壁用貫通導体群３による疑似
的な導体壁を２重・３重に形成することにより、導体壁
からの電磁波の漏れをより効果的に防止することができ
る。

【００２５】次に、縦型の誘電体導波管線路ｂについて
説明する。図１によれば、厚さｑの誘電体層が複数層積
層され、各々の誘電体層には導波路線路の断面形状、具
体的には上部開口１ａの輪郭に沿って、水平方向（同図
中のｘ−ｙ平面の方向）に信号波長の２分の１未満の所
定の間隔、好適には側壁用貫通導体群３の間隔ｒと同じ
間隔をもって、導体壁用貫通導体群５が形成されてい
る。この導体壁用貫通導体群５は、その下端がＴ字状分
岐誘電体導波管線路の上部主導体層１に電気的に接続さ
れている。

【００２６】また、第２の誘電体基板72の誘電体層間に
は、全ての導体壁用貫通導体群５と電気的に接続し、導
体壁用貫通導体群５を取り囲むように、上部開口１ａと
略同寸法の開口６ａを有する複数の副導体層６が互いに
平行に形成されている。なお、これら導体壁用貫通導体
群５の形成間隔および複数の副導体層６の間隔ｑは、い
ずれも伝播する信号波長の１／２未満（望ましくは１／
４以下）の間隔となるように設定されている。

【００２７】このような構成により、縦型の誘電体導波
管線路ｂにおいては、第２の誘電体基板72の誘電体層の
積層方向に延びる導体壁用貫通導体群５と互いに平行に
形成された複数の副導体層６との格子面によって、導波
管壁が形成される。ここで、上部主導体層１の上部開口
１ａおよび副導体層６の開口６ａの開口寸法のうち第２
の誘電体導波管線路ｃ−ｄの伝送方向に直交する方向の
寸法Ｗｖは、縦型の誘電体導波管線路ｂもシングルモー
ドで用いる必要があるので、λ／２＜Ｗｖ＜λ（λは誘
電体中の自由空間波長）とする。また、第２の誘電体導
波管線路ｃ−ｄの伝送方向の寸法Ｈｖは、Ｈｖ＜λ／２
であることが必要である。図１に示す例では、誘電体導
波管線路ｂのＥ面にあたる部分は、導体壁用貫通導体群
５および副導体層６で形成される、同図中に示すｙ−ｚ
面に平行な壁であり、Ｈ面にあたる部分は、導体壁用貫
通導体群５および副導体層６で形成されるｚ−ｘ面に平
行な壁である。

【００２８】Ｈ面にあたる導体壁用貫通導体群５と副導
体層６により形成されたメッシュ構造の導体壁の穴は、
信号波長の１／２より大きいとその隙間はスロットとし
て作用して電磁波が漏れることとなるので、この誘電体
導波管線路ｂに電磁波を給電してもここで作られる疑似
的な導波管に沿って伝播しないこととなる。しかし、そ
の隙間が信号波長の１／２（望ましくは信号波長の１／
４）より小さいと、電磁波はほとんど漏れることなくこ
の擬似的な導波管に沿って伝播する。

【００２９】また、Ｅ面にあたる導体壁用貫通導体群５
と副導体層６により形成されたメッシュ構造では、電磁
波による電流はｙ方向にのみ流れるので、副導体層６の
間隔ｑが信号波長の１／２未満であればよい。ここでの
Ｅ面を形成する導体壁用貫通導体群５の役割は、副導体
層６ほど重要ではないが、より完全な導体壁に近づける
作用があり、これにより電磁波の伝播特性が改善され
る。

【００３０】その結果、図１に示す構成によれば、導体
壁用貫通導体群５と副導体層６とによって囲まれる断面
積がＷｖ×Ｈｖのサイズの領域が、縦型の誘電体導波管
線路ｂとなる。

【００３１】そして、以上説明した横型の誘電体導波管
線路ａ・ｃ−ｄによるＴ字状分岐誘電体導波管線路およ
び縦型の誘電体導波管線路ｂを図１に示すように形成し
て接続することにより、本発明の積層型マジックＴの構
造が完成する。

【００３２】次に、図２は本発明の積層型マジックＴの
実施の形態の他の例の概略構成を示す部分破断斜視図で
あり、この例では、積層型マジックＴの分岐部に、従来
のインピーダンス整合用の金属ポールおよび金属板と同
様に機能する、貫通導体から成る整合器８および導体層
から成る整合器９を形成している。

【００３３】本発明の積層型マジックＴによれば、第１
の誘電体導波管線路ａ・第２の誘電体導波管線路ｃ−ｄ
および縦型の誘電体導波管線路ｂはいずれも誘電体導波
管による伝送線路となるので、その導波管の寸法は第１
および第２の誘電体基板71・72の比誘電率をε_rとする
と通常の方形導波管の１／√ε_rの大きさになる。従っ
て、第１および第２の誘電体基板71・72を比誘電率ε_r
の大きい誘電体材料によって構成するほど、各導波管の
寸法は小さくすることができ、高密度に配線が形成され
る多層配線基板または半導体素子収納用パッケージ内に
形成可能な大きさのマジックＴを構成することができ
る。

【００３４】なお、側壁用貫通導体群３および導体壁用
貫通導体群５を構成する貫通導体は前述のように信号波
長λの２分の１未満の間隔ｒで配設されており、この間
隔ｒは良好な伝送特性を実現するためには一定の繰り返
し間隔とすることが望ましいが、信号波長λの２分の１
未満の間隔であれば適宜変化させたりいくつかの値を組
み合わせたりしてもよいことは言うまでもない。

【００３５】次に、このような水平型および垂直形積層
導波管を用いたマジックＴの製造方法を図３に示す分解
斜視図を用いて説明する。

【００３６】図３において、70は最下部の誘電体基板と
なる誘電体シートである。その他の符号は図１および図
２において対応する箇所を示している。

【００３７】まず、誘電体シート70に横型の第１および
第２の誘電体導波管線路の下部主導体層２となる導体パ
ターンを印刷等により形成する。次に、第１の誘電体基
板71となる誘電体シート群に、側壁用貫通導体群３を構
成する貫通導体および貫通導体から成る整合器８を構成
する整合用貫通導体を必要に応じて形成する。これは、
誘電体シートにＮＣパンチやレーザ加工等により貫通孔
を形成した後、この貫通孔に金属インク（導体ペース
ト）を埋め込むことにより形成される。その後、上部主
導体層１および副導体層４となる導体パターンを厚膜印
刷法等により形成する。

【００３８】また、第２の誘電体基板72を構成する複数
の誘電体シートには、上記と同様にして、導体壁用貫通
導体群５・副導体層６・導体層から成る整合器９を構成
する整合用導体パターンを形成する。

【００３９】最後に、これらを一括して積層し、誘電体
シートが樹脂系の場合はキュアすることにより、またセ
ラミックスやガラスセラミックスの場合は焼成すること
により、本発明の積層型マジックＴが製造される。

【００４０】このような積層型誘電体導波管線路を構成
する第１および第２の誘電体基板71・72に用いる誘電体
材料は、誘電体として機能し高周波信号の伝送を妨げる
ことのない特性を有するものであればとりわけ限定され
るものではないが、伝送線路を形成する際の精度および
製造の容易性の点からは、第１および第２の誘電体基板
71・72はセラミックスから成ることが望ましい。

【００４１】このようなセラミックスとしてはこれまで
様々な比誘電率を持つセラミックスが知られているが、
積層型誘電体導波管線路を構成して高周波信号を伝送す
るためには常誘電体であることが望ましい。これは一般
に強誘電体セラミックスは高周波領域では誘電損失が大
きく伝送損失が大きくなるためである。従って、第１お
よび第２の誘電体基板71・72の比誘電率ε_rは４〜100
程度が適当である。

【００４２】このような第１および第２の誘電体基板71
・72に好適なセラミックスとしては、例えばアルミナセ
ラミックスやガラスセラミックス・窒化アルミニウムセ
ラミックス等がある。これらは、セラミックス原料粉末
に適当な有機溶剤・溶媒を添加混合して泥漿状になすと
ともにこれを従来周知のドクターブレード法やカレンダ
ーロール法等を採用してシート状となすことによって複
数枚のセラミックグリーンシートを得て、しかる後、こ
れらセラミックグリーンシートの各々に適当な打ち抜き
加工を施すとともにこれらを積層し、アルミナセラミッ
クスの場合は1500〜1700℃、ガラスセラミックスの場合
は850 〜1000℃、窒化アルミニウムセラミックスの場合
は1600〜1900℃の温度で焼成することによって製作され
る。

【００４３】また、上部主導体層１および下部主導体層
２ならびに副導体層４および副導体層６は、例えば第１
および第２の誘電体基板71・72がアルミナセラミックス
から成る場合であれば、タングステン等の金属粉末に適
当なアルミナ・シリカ・マグネシア等の酸化物や有機溶
剤・溶媒等を添加混合してペースト状にしたものを厚膜
印刷法により少なくとも伝送線路を完全に覆うようにセ
ラミックグリーンシート上に印刷し、しかる後、約1600
℃の高温で焼成し、厚み10〜15μｍ以上となるようにし
て形成する。

【００４４】なお、各導体層および各貫通導体を形成す
る金属粉末としては、誘電体基板がガラスセラミックス
から成る場合は銅・金・銀等が、アルミナセラミックス
や窒化アルミニウムセラミックスから成る場合はタング
ステン・モリブデン・マンガン等が好適である。また、
各導体層１・２・４・６の厚みは、５〜50μｍ程度とす
ればよい。

【００４５】また、貫通導体群３・５を構成する貫通導
体は、例えばビア導体やスルーホール導体等により形成
すればよく、その断面形状も製作が容易な円形の他、矩
形や菱形・六角形・八角形等の多角形であってもよい。
これら貫通導体は、例えば誘電体シートであるセラミッ
クグリーンシートに打ち抜き加工を施して形成した貫通
孔に上記各導体層１・２・４・６と同様の導体ペースト
を埋め込み、しかる後、誘電体シートと同時に焼成して
形成する。なお、これらの貫通導体は直径50〜300 μｍ
が適当である。

【００４６】なお、本発明は以上の実施の形態の例に限
定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲
で種々の変更や改良を施すことは何ら差し支えない。例
えば、上記の実施の形態の例では横型の誘電体導波管線
路の各主導体層がＨ面となるように形成したが、これを
各誘電体導波管線路の断面の寸法を変えてＥ面となるよ
うに形成してもよい。

【００４７】

【発明の効果】本発明の積層型マジックＴによれば、各
導波管を積層型の誘電体導波管線路で構成したことか
ら、グリーンシート積層技術を用いて十分な精度でかつ
容易に製造することができる。また、この製造工程が従
来のグリーンシート積層技術と同じなので、多層配線基
板や半導体素子収納用パッケージ等の内部に容易に組み
込むことが可能である。

【００４８】さらに、誘電体基板および誘電体層を構成
する誘電体材料の比誘電率を適当に選択することによ
り、周波数の低い場合でも、従来の方形導波管を用いた
マジックＴに比べて大幅に小型化することができる。

【００４９】分岐部に設けるインピーダンス整合器とし
ての金属ポールや金属板に相当する部分も、同様の貫通
孔の形成および導体ペーストの印刷により容易に作製す
ることができる。

【００５０】以上のように本発明によれば、良好な伝送
・分岐特性のマジックＴを精度良くかつ安定して得るこ
とができ、生産性も高いマジックＴを提供することがで
きたた。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の積層型マジックＴの実施の形態の一例
の概略構成を示す斜視図である。

【図２】本発明の積層型マジックＴの実施の形態の他の
例の概略構成を示す斜視図である。

【図３】本発明の積層型マジックＴの製造方法を説明す
るための分解斜視図である。

【図４】従来のマジックＴの例を示す斜視図である。

【符号の説明】

１・・・・・上部主導体層１ａ・・・・上部開口２・・・・・下部主導体層３・・・・・側壁用貫通導体群５・・・・・導体壁用貫通導体群６・・・・・副導体層６ａ・・・・開口８・・・・・貫通導体から成る整合器９・・・・・導体層から成る整合器 71・・・・・第１の誘電体基板 72・・・・・第２の誘電体基板ａ・・・・・第１の誘電体導波管線路ｂ・・・・・縦型の誘電体導波管線路ｃ−ｄ・・・第２の誘電体導波管線路

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】第１の誘電体基板を挟持する上部主導体
層および下部主導体層と、該上部主導体層および下部主
導体層間を高周波信号の伝送方向に信号波長の２分の１
未満の繰り返し間隔および所定の幅で電気的に接続する
２列の側壁用貫通導体群とを具備し、前記各主導体層お
よび前記側壁用貫通導体群に囲まれた領域によって前記
高周波信号を伝送する第１および第２の誘電体導波管線
路を、前記第１の誘電体導波管線路の先端を前記第２の
誘電体導波管線路の一方の側部に設けた側部開口に互い
の高周波信号の伝送方向が垂直となるように接続すると
ともに、分岐部の前記第２の誘電体導波管線路の前記上
部主導体層に所定の上部開口を設けて成るＴ字状分岐誘
電体導波管線路に対し、複数の誘電体層を積層して成る
第２の誘電体基板と、前記上部開口周囲の前記第２の誘
電体基板内に積層方向に形成され、所定間隔をもって前
記上部主導体層に電気的に接続される導体壁用貫通導体
群と、前記誘電体層間に前記高周波信号の信号波長の２
分の１未満の間隔で形成され、前記導体壁用貫通導体群
を前記誘電体層間でそれぞれ電気的に接続する、前記上
部開口と略同寸法の開口を有する複数の副導体層とを具
備し、前記複数の副導体層および前記導体壁用貫通導体
群に囲まれた領域によって前記高周波信号を伝送する縦
型の誘電体導波管線路を、前記上部開口に前記第１およ
び第２の誘電体導波管線路に対して高周波信号の伝送方
向が垂直となるように接続して成ることを特徴とする積
層型マジックＴ。
【請求項２】前記Ｔ字状分岐誘電体導波管線路の前記
分岐部に、貫通導体および／または導体層から成る整合
器を設けたことを特徴とする請求項１記載の積層型マジ
ックＴ。