JP2001149777A - 吸着素子およびその製造方法 - Google Patents

吸着素子およびその製造方法

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JP2001149777A
JP2001149777A JP33705399A JP33705399A JP2001149777A JP 2001149777 A JP2001149777 A JP 2001149777A JP 33705399 A JP33705399 A JP 33705399A JP 33705399 A JP33705399 A JP 33705399A JP 2001149777 A JP2001149777 A JP 2001149777A
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Japan
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binder
thermoplastic resin
porous
adsorption element
adsorbent
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JP33705399A
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English (en)
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Yoshihisa Sueoka
敬久 末岡
Shinichiro Kobayashi
真一郎 小林
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Daikin Industries Ltd
Original Assignee
Daikin Industries Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 吸着剤の担持量が多く、吸着性能の高い吸着
素子を、製造効率良く、低コストに提供する。 【解決手段】 吸着剤として低温再生可能な所定のゼオ
ライト11を主材として用い、熱可塑性樹脂12をバイ
ンダーとして一体成形するとともに、所定の方法で多孔
質化することにより、吸着素子の担持量が多く、吸着性
能が高くて、製造効率の良い吸着素子およびその製造方
法を実現した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本願発明は、例えば水分や臭
い等を吸着する吸着素子およびその製造方法に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】最近では、除湿材や脱臭材に代表される
水分吸着素子や臭気成分吸着素子などの各種吸着素子が
提供され、使用されている。
【0003】この種の吸着素子は、これまで例えばセラ
ミックス繊維又はガラス繊維と山皮とを主成分とする無
機繊維紙をコルゲート加工してできたハニカム構造体に
対して、吸着剤を含浸担持させたものが多く使用されて
きた。
【0004】該従来の吸着素子の製造方法について、図
4を参照して説明する。
【0005】先ず図4の(a)に示すように、上記成分
の無機繊維紙1をコルゲート加工し、加熱成形すること
によって、図4の(b)に示すようなハニカム構造体2
を形成する。
【0006】次に、該ハニカム構造体2を、図4の
(c)に示す粉体状の吸着剤3とシリカゾル、アルミナ
ゾル等無機バインダーの分散体とを混合した混合液4の
中に入れてディッピングさせ、そのハニカム構造部の外
周面全体に吸着剤3を含浸付着させる。
【0007】最後に、該ディッピングによりハニカム構
造部の外周面全体に吸着剤3が含浸付着したハニカム構
造体2を上記混合液4中から取り出して、加熱乾燥させ
ることによって吸着剤3の付着状態を安定化させて、図
4の(d)に示すような最終的な吸着素子5を得る。
【0008】該完成した吸着素子5は、例えば中央部に
軸支用の穴5bを有する一方、そのハニカム構造部5a
に吸着剤3が含浸付着した多数の通気孔を有するドーナ
ツ状のものとなり、例えば空気清浄機や空気調和機など
の低圧損の除湿又は加湿素子や脱臭又は芳香付加素子な
どとして有効に利用される。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の吸
着素子の構造およびその製造方法の場合、次のような問
題点がある。
【0010】(1) 先ず各完成品単位のハニカム構造
体を作って、それらの各々を混合液にディッピングして
吸着剤を含浸付着させる構造および製造方法であるため
に、各製品毎に全ての工程を必要とし、同時に多数の製
品を製造することができない。
【0011】したがって、製造効率が悪く、コストが高
くなる。
【0012】(2) またディッピングによって吸着剤
を含浸付着させた構造および製造方法の場合、吸着剤の
担持量、担持性にも限界があり、十分な量の吸着剤を付
着させることができない。また、バインディング力に欠
け、付着した吸着剤が脱落しやすい。
【0013】したがって、製品として性能上の信頼性に
欠け、製造上の歩留りも悪い。したがって、その点から
も、コストが高くなる。
【0014】本願発明は、このような問題を解決するた
めになされたもので、低温再生可能な吸着剤である所定
のゼオライトを主材として用い、熱可塑性樹脂をバイン
ダーとして一体成形するとともに、所定の方法で多孔質
化することにより、吸着剤の担持量が多く、吸着剤の担
持性も高くて吸着性能が良く、しかも高強度で製造効
率、歩留りの良い吸着素子およびその製造方法を提供す
ることを目的とするものである。
【0015】
【課題を解決するための手段】本願発明の吸着素子およ
びその製造方法は、上記の目的を達成するために、それ
ぞれ次のような課題解決手段を備えて構成されている。
【0016】(1) 請求項1の発明 この発明の吸着素子は、低温再生可能な吸着剤である所
定のゼオライト11を主材とし、熱可塑性樹脂12をバ
インダーとしてハニカム構造体20に一体成形するとと
もに、所定の方法で多孔質化して構成されている。
【0017】したがって、該構成の吸着素子では、主体
となるハニカム構造体20そのものが、低温再生可能な
吸着剤である所定のゼオライト11よりなり、熱可塑性
樹脂12により十分にバインディングされて形成されて
いるから、当然に吸着剤の担持量が多くなり、また担持
性も高く、強度も強くて、吸着剤が脱落する恐れもない
ので、十分な吸着性能を実現することができる。
【0018】そのため、製造時における製品の歩留りも
高く、製造効率も向上し、低コストでありながら性能上
の信頼性も向上する。
【0019】(2) 請求項2の発明 この発明の吸着素子の製造方法は、低温再生可能な吸着
剤である所定のゼオライト11を主材として用い、熱可
塑性樹脂12をバインダーとしてハニカム構造体20に
一体成形するとともに、所定の方法で多孔質化すること
により、吸着素子を製造するようになっている。
【0020】熱可塑性樹脂12をバインダーとして用い
た場合、成形性が良好で、成形自体が容易である。ま
た、成形後の安定性も高い。
【0021】したがって、該構成の吸着素子の製造方法
では、上記低温再生可能な吸着剤である所定のゼオライ
ト11を主体とした多孔質構造のハニカム構造体20
を、従来から使用されている汎用的な合成樹脂成形機
(押し出し又は射出)16,30を使用して容易に歩留
り良く成形することができるようになり、製造効率が向
上し、低コストになる。
【0022】(3) 請求項3の発明 この発明の吸着素子の製造方法は、上記請求項2の発明
の吸着素子の製造方法の構成において、上記ハニカム構
造の成形体20を多孔質化する方法として、バインダー
である熱可塑性樹脂12とともに熱膨張性微小中空球体
13を混合し、成形時に膨張させることによって成形体
20内部に無数の独立気泡を形成した後、焼成破裂させ
て多孔質化する方法が採用されている。
【0023】したがって、該吸着素子の製造方法による
と、上記低温再生可能な吸着剤であるゼオライト11
に、バインダーである熱可塑性樹脂12とともに熱膨張
性微小中空球体13を混合し、上記成形時に膨張させる
ことによって、成形されるハニカム構造の成形体20内
部に多数の独立気泡を形成した後、焼成破裂させること
によって、容易に多孔質化することができる。
【0024】(4) 請求項4の発明 この発明の吸着素子の製造方法は、上記請求項2の発明
の吸着素子の製造方法の構成において、上記ハニカム構
造の成形体20を多孔質化する方法として、バインダー
である熱可塑性樹脂12とともに該熱可塑性樹脂12よ
りも融点の低い有機バインダーを混合し、同混合された
有機バインダーを成形後に加熱溶融させて除去すること
により多孔質化する方法が採用されている。
【0025】したがって、該吸着素子の製造方法による
と、上記低温再生可能な吸着剤である所定のゼオライト
11に、上記バインダーである熱可塑性樹脂12ととも
に該熱可塑性樹脂12よりも融点の低い有機バインダー
を混合し、同混合された有機バインダーを成形後に加熱
溶融させて除去することににより、容易に多孔質化する
ことができる。
【0026】(5) 請求項5の発明 この発明の吸着素子の製造方法は、上記請求項2の発明
の吸着素子の製造方法の構成において、上記ハニカム構
造の成形体20を多孔質化する方法として、バインダー
である熱可塑性樹脂12とともに該熱可塑性樹脂12と
は所定の溶媒に対する溶融特性の異なる有機バインダー
を混合し、成形後に同混合された有機バインダーを当該
有機バインダーに対応した所定の溶媒で溶融させて除去
することにより多孔質化する方法が採用されている。
【0027】したがって、該吸着素子の製造方法による
と、上記低温再生可能な吸着剤である所定のゼオライト
11に、上記バインダーである熱可塑性樹脂12ととも
に該熱可塑性樹脂12とは所定の溶媒に対する溶融特性
の異なる有機バインダーを混合し、成形後に同混合した
有機バインダーを当該有機バインダーに対応した所定の
溶媒で溶融させて除去することによって、容易に多孔質
化することができる。
【0028】
【発明の効果】以上の結果、本願発明の吸着素子および
その製造方法によると、吸着剤の担持量が多く、かつ担
持性も高く、強度も強くて吸着剤が脱落しにくい、吸着
性能の良好な吸着素子を、歩留りおよび製造効率良く、
容易に製造することができるようになる。その結果、製
品コストも低減される。
【0029】
【発明の実施の形態】(実施の形態1)図1および図2
は、本願発明の実施の形態1に係る吸着素子およびその
製造方法を示している。
【0030】(吸着素子の構造)先ず図1は、同吸着素
子20の構造を示している。
【0031】該吸着素子20は、水分に対して高い吸着
機能を有し、例えば100℃以下の低温で再生可能な吸
着剤であるゼオライト粉末(例えばモレキュラシーブ)
を採用し、該ゼオライト粉末にバインダーとして例えば
変性PPE、ポリプロピレン、ポリスチレン、ABS樹
脂等の何れかよりなる熱可塑性樹脂12、多孔質化する
ための膨張剤として熱膨張性微小中空球体(例えば日本
フィライト(株)のEXPANCEL)13を混合混練
し、通常の合成樹脂成形用押出成形機を用いて押出成形
し、該成形時に上記熱膨張性微小中空球体13を膨張さ
せてハニカム構造体の内部に無数の独立気泡をつくり、
その後、150〜200℃で焼成することにより、同無
数の独立気泡を各々破裂消失させることによって、図示
のように中央部に軸支用の穴20bを有するドーナツ形
状の多孔質のハニカム構造体に形成されている。
【0032】したがって、該構成の吸着素子20では、
吸着作用の主体となる多数の通気孔を有するハニカム構
造部20aそのものが、上記低温再生可能な吸着剤であ
るゼオライトそのものよりなり、熱可塑性樹脂12によ
り十分にバインディングされて形成されることになるか
ら、当然に吸着剤の担持量が多くなり、かつ担持性も高
く、強度も強くて吸着剤が脱落する恐れも少なくなるの
で、長期に亘り十分な吸着性能を実現することができ
る。そのため、製品の信頼性も向上する。
【0033】また、製造時における製品の歩留りも高
く、製造効率も向上する。その結果、製品コストも低減
される。
【0034】さらに、主材である吸着剤としてのゼオラ
イト粉末11には、上記のように低温再生が可能なもの
が選択されているので、吸着した水分の脱着再生も容易
である。
【0035】(吸着素子の製造方法)次に図2は、同構
造の吸着素子20の具体的な製造方法(製造工程)を示
している。
【0036】(1) 材料投入工程(図2の(a)参
照) 先ず、材料混練槽10の中に、上記のように水分に対し
て高い吸着機能を有し、例えば100℃以下の低温で再
生可能な吸着剤としてのゼオライト粉末(例えばモレキ
ュラシーブ)11(重量比50〜70wt%)、バイン
ダーとしての熱可塑性樹脂(例えば変性PPE、ポリプ
ロピレン、ポリスチレン、ABS樹脂等の何れか)1
2、多孔質化するための膨張剤としての熱膨張性微小中
空球体(例えば日本フィライト(株)のEXPANCE
L)13を各々投入する。
【0037】なお、上記熱膨張性微小中空球体13は、
熱可塑性の中空球体となっており、ガスを包み込んだ熱
可塑性の殻でできている。したがって、加熱すると、同
熱可塑性の殻が軟化し、内部のガスは圧力を増す。その
結果球体が膨張して気泡を形成する。
【0038】(2) 混練工程(図2の(b)参照) 次に、上記混練槽10の中にロールミル等の撹拌手段1
4を挿入して、それらを十分に撹拌混練する。
【0039】(3) 押出成形機16への材料移入工程
(図2の(c)参照) 以上のようにして、準備された成形材料15を、通常の
合成樹脂成形用の押出成形機16の材料注入部16a内
に移入する。
【0040】材料注入部16aは、成形材料15が投入
されるホッパー17と該ホッパー17内に投入された成
形材料15を押出成形機16の押出チューブ16b内に
注入するスクリューコンベア18とから構成されてい
る。
【0041】(4) 押出チューブ16b内への成形材
料15の注入充填工程(図2の(d)参照) したがって、次に上記スクリューコンベア18が駆動さ
れると、徐々に押出成形機16の押出チューブ16b内
にホッパー17内の成形材料15が注入充填され、最終
的にその全ての材料が充填される。
【0042】この段階から上記熱膨張性微小中空球体1
3の膨張が始まり、無数の独立気泡が形成される。
【0043】(5) 押出成形工程(図2の(e)参
照) 上記押出チューブ16b内他端には油圧シリンダ25に
よって押出し駆動されるピストン25aが設けられてお
り、該ピストン25aによって上記注入充填された成形
材料15の全てが押出金型16cを介して外部に押し出
され、該押出過程で金型16cの形状に応じたハニカム
構造体に形成される。
【0044】(6) 切断工程(図2の(f)参照) 以上のようにして、金型16cから押出されたハニカム
構造体の押出成形品26は、内部に無数の独立気泡を有
して所定の長さに連続する筒状をなしたものとなる。
【0045】そこで、これを前述の図1のような必要な
軸方向長さ(厚さ)の複数の吸着素子20,20・・・
に所定の切断手段27で順次切断して行く。
【0046】(7) 焼成工程(図2の(g)参照) 上記のようにして切断された複数の吸着素子20,20
・・・は、最後に焼成工程に移送されて上記無数の独立
気泡となった中空球体13が破裂消失せしめられると同
時にその他の不要材料が焼失除去されて、多孔質構造に
形成され、上記図2の(a)から図2の(g)までの1
回の製造工程で、図2の(g)に示すように、図1のよ
うな固形化された最終完成品20が複数個同時に製造さ
れる。
【0047】この実施の形態の吸着素子の製造方法は、
上述の如く主材として水分に対して高い吸着性能を有
し、かつ低温で再生可能な吸着剤であるゼオライト粉末
(例えばモレキュラシーブ)を用い、熱膨張剤として熱
膨張性微小中空球体(例えば日本フィライト(株)のE
XPANCEL)13をバインダーとしての熱可塑性樹
脂12とともに混合し、成形時に膨張させてハニカム構
造体の内部に無数の独立気泡をつくり、後工程の焼成工
程(150〜200℃)で破裂消失させることにより多
孔質化させるとともに、上記熱可塑性樹脂12をバイン
ダーとして強度の高いハニカム構造体に一体成形するこ
とにより、吸着素子20を製造するようになっている。
【0048】このように熱可塑性樹脂12をバインダー
として用いた場合、成形性が良好で成形も容易になる。
また熱膨張性微小中空球体13を混合して成形時に膨張
させることにより独立気泡化し、焼成工程でそれらを破
裂消失せしめて容易に多孔質化することができる。
【0049】したがって、該構成の吸着素子の製造方法
では、吸着剤として低温再生可能なゼオライトを主体と
した多孔質構造のハニカム構造体を、合成樹脂成形機と
して汎用的な押出成形機を使用して、容易に歩留り良く
成形することができるようになり、製造効率が向上し、
低コストになる。
【0050】また、上記吸着素子20のハニカム構造部
20aの穴サイズは小さく、壁は薄い(0.1〜0.5
mm)ため、通常の化学的な発泡構造では目が塞がる、
壁が壊れる等の問題があるが、以上の方法ではそのよう
な問題が生じない。従って、信頼度が向上する。
【0051】以上の結果、この実施の形態に係る吸着素
子およびその製造方法によると、吸着剤の担持量が多
く、担持性も高く、強度も強い吸着性能の良好な吸着素
子を、製造効率良く、容易に製造することができるよう
になる。
【0052】その結果、さらに製品コストも削減され
る。
【0053】(変形例)なお、変形例として上記熱膨張
性微小中空球体13は、上記のような未膨張のものに限
らず、例えば予じめ所定の径に膨張させた膨張済み(約
30〜80μm)のものを使用することも可能である。
【0054】(実施の形態2)図3は、本願発明の実施
の形態2に係る吸着素子およびその製造方法を示してい
る。
【0055】(吸着素子の構造)この実施の形態の場
合、吸着素子およびその構成材料としては、上記実施の
形態1のものと同一のものが採用されている。
【0056】(吸着素子の製造方法)次に図3は、同構
造の吸着素子の具体的な製造方法(製造工程)を示して
いる。
【0057】(1) 材料投入工程(図3の(a)参
照) 先ず、材料混練槽10の中に、上記のように水分に対し
て高い吸着機能を有し、例えば100℃以下の低温で再
生可能な吸着剤としての所定のゼオライト粉末(例えば
モレキュラシーブ)11(重量比50〜70wt%)、
バインダーとしての熱可塑性樹脂(例えば変性PPE、
ポリプロピレン、ポリスチレン、ABS樹脂等の何れ
か)12、多孔質化するための熱膨張性微小中空球体
(例えば日本フィライト(株)のEXPANCEL)1
3を各々投入する。
【0058】(2) 混練工程(図3の(b)参照) 次に、混練槽10の中に、ロールミル等の撹拌手段14
を挿入して、それらを十分に撹拌混練する。
【0059】(3) 射出成形機30への成形材料移入
工程(図3の(c)参照) 以上のようにして、準備された成形材料15を通常の合
成樹脂成形用の射出成形機30の材料注入部30aに移
入する。
【0060】該材料注入部30aは、成形材料15が投
入されるホッパー31と該ホッパー31内に投入された
成形材料15を射出成形機30のカップリング構造の射
出成形型金型30b内の射出成形空間32に注入充填す
るスクリューコンベア33とから構成されている。
【0061】(4) 射出成形用金型30b内への成形
材料注入充填工程(図3の(d)参照) したがって、次に上記スクリューコンベア33が駆動さ
れると、上記射出成形用金型30b内の射出成形空間3
2に、上記ホッパー31内の成形材料15が、1つの成
形製品に対応した所定量だけ注入充填されて成形され
る。
【0062】この段階で上記熱膨張性微小中空球体13
が膨張し、無数の独立気泡が形成される。
【0063】(5) 型開き工程(図3の(e)参照) 以上のようにして、内部に無数の独立気泡を有し、かつ
射出成形用金型30b内の射出成形空間32の形状に応
じたハニカム構造の射出成形品34が形成されると、こ
れを型開きすることにより取り出す。
【0064】(6) バリ取り工程(図3の(f)参
照) 以上のようにして、射出成形用金型30bから取り出さ
れたハニカム構造の射出成形品34は、上述した図1の
最終成形品20の形をなしているが、部分的にバリ34
a等が付いている。
【0065】そこで、次にそのバリ34a等を削り取
る。
【0066】(7) 焼成工程(図3の(g)参照) 上記のようにしてバリ取り加工が施された吸着素子構造
の射出成形品34は、最後に焼成工程に移送されて上記
無数の独立気泡となった中空球体13を破裂消失させる
と同時にその他の不要材料が焼失除去されて、多孔質構
造に形成され、前述の図1に示すような最終完成品とし
ての固形化された吸着素子20が実現される。
【0067】したがって、該構成の吸着素子の製造方法
では、主材として低温再生可能なゼオライトを主体とし
た上記実施の形態1のものと同様の多孔質構造のハニカ
ム構造体を、合成樹脂成形機として汎用的な射出成形機
を使用して、容易に歩留り良く成形することができるよ
うになり、製造効率が向上し、低コストになる。
【0068】以上の結果、この実施の形態に係る吸着素
子およびその製造方法によると、上記実施の形態1の場
合と同様に、吸着剤の担持量が多く、担持性も高く、強
度も強い吸着性能の良好な吸着素子を、製造効率良く、
容易に製造することができるようになる。
【0069】その結果、さらに製品コストも削減され
る。
【0070】(変形例)なお、以上の各実施の形態にお
ける多孔質化の手段としては、上述のような熱膨張性微
小中空球体13による方法の他に、次のような多孔質化
方法によることもできる。
【0071】(1) 上記バインダーである熱可塑性樹
脂(例えば変性PPE、ポリプロピレン、ポリスチレ
ン、ABS樹脂等の何れか)12とともに、同樹脂12
よりも融点の低い有機バインダー(例えばポリアクリル
酸、ポリビニルアルコール、メチルセルロース等の何れ
か)を混合し、成形後に同混合された有機バインダーを
加熱溶融させて除去することにより多孔質化する方法が
採用される。
【0072】該方法によると、成形後、上記バインダー
である熱可塑性樹脂12よりも融点の低いポリアクリル
酸等からなる有機バインダーを同融点に対応した温度で
加熱溶融することにより除去することによって、容易に
多孔質化することができる。
【0073】(2) 上記バインダーである熱可塑性樹
脂(例えば変性PPE、ポリプロピレン、ポリスチレ
ン、ABS樹脂等の何れか)12とともに、同樹脂12
とは所定の溶媒に対する溶融特性の異なる有機バインダ
ーを混合し、成形後に同混合された有機バインダーを当
該有機バインダーに対応した所定の溶媒で溶融させて除
去することによって多孔質化する方法が採用される。
【0074】該方法によると、成形後、上記バインダー
である熱可塑性樹脂12とは溶媒に対する溶融特性の異
なる有機バインダーを同有機バインダーに応じた所定の
溶媒で溶融することにより除去することによって、容易
に多孔質化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本願発明の実施の形態1に係る吸着素子の構成
を示す斜視図である。
【図2】同本願発明の実施の形態1に係る吸着素子の製
造方法を示す製造工程図である。
【図3】本願発明の実施の形態2に係る吸着素子の製造
方法を示す製造工程図である。
【図4】従来の吸着素子の構成および製造方法を示す製
造工程図である。
【符号の説明】
11はゼオライト粉末、12は熱可塑性樹脂、13は発
泡剤、14は撹拌手段、16は押出成形機、20は吸着
素子、30は射出成形機である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) B28B 3/20 B28B 3/20 K Fターム(参考) 4D012 CA01 CA09 CB02 4G052 BA02 BB03 BB09 4G054 AA05 AB09 AC00 BD02 BD19 4G066 AA61B AC13D AC14D AC37D AE11D BA07 BA22 CA02 CA43 FA02 FA22 FA27

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 低温再生可能な吸着剤である所定のゼオ
    ライト(11)を主材とし、熱可塑性樹脂(12)をバ
    インダーとしてハニカム構造体(20)に一体成形する
    とともに、所定の方法で多孔質化したことを特徴とする
    吸着素子。
  2. 【請求項2】 低温再生可能な吸着剤である所定のゼオ
    ライト(11)を主材として用い、熱可塑性樹脂(1
    2)をバインダーとしてハニカム構造体(20a)に一
    体成形するとともに、所定の方法で多孔質化するように
    したことを特徴とする吸着素子の製造方法。
  3. 【請求項3】 ハニカム構造の成形体(20)を多孔質
    化する方法として、バインダーである熱可塑性樹脂(1
    2)とともに熱膨張性微小中空球体(13)を混合し、
    成形時に膨張させることによって成形体(20)内部に
    無数の独立気泡を形成した後、焼成破裂させて多孔質化
    するようにしたことを特徴とする請求項2記載の吸着素
    子の製造方法。
  4. 【請求項4】 ハニカム構造の成形体(20)を多孔質
    化する方法として、バインダーである熱可塑性樹脂(1
    2)とともに該熱可塑性樹脂(12)よりも融点の低い
    有機バインダーを混合し、同混合された有機バインダー
    を成形後に加熱溶融させて除去することにより多孔質化
    するようにしたことを特徴とする請求項2記載の吸着素
    子の製造方法。
  5. 【請求項5】 ハニカム構造の成形体(20)を多孔質
    化する方法として、バインダーである熱可塑性樹脂(1
    2)とともに該熱可塑性樹脂(12)とは所定の溶媒に
    対する溶融特性の異なる有機バインダーを混合し、成形
    後に同混合された有機バインダーを当該有機バインダー
    に対応した所定の溶媒で溶融させて除去することにより
    多孔質化するようにしたことを特徴とする請求項2記載
    の吸着素子の製造方法。
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