JP2001146468A - 圧電体 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【解決手段】 粉末を成形して焼結してなる（Ｂi
１／２Ｎa１／２）ＴiＯ３を主成分とする圧電体におい
て、該粉末における（Ｂi１／２Ｎa１／２）ＴiＯ ３ 系
ペロブスカイト相以外の異相が、粉末Ｘ線回析によるピ
ーク強度比にあって該ペロブスカイト相の最強ピークに
対して５％以下である粉末を成形、焼結しているので、
焼結した圧電体における分極時に絶縁破壊を生じる頻度
を０．１〜２％と、従来の圧電体における破壊頻度に対
し数十分の１から数百分の１に激減させることができ
る。 【効果】 従来の圧電体よりも製造歩留まりが高くなり
製造コストを下げ、また、製品になったアクチュエー
タ、センサ等の信頼性を向上できた。
１／２Ｎa１／２）ＴiＯ３を主成分とする圧電体におい
て、該粉末における（Ｂi１／２Ｎa１／２）ＴiＯ ３ 系
ペロブスカイト相以外の異相が、粉末Ｘ線回析によるピ
ーク強度比にあって該ペロブスカイト相の最強ピークに
対して５％以下である粉末を成形、焼結しているので、
焼結した圧電体における分極時に絶縁破壊を生じる頻度
を０．１〜２％と、従来の圧電体における破壊頻度に対
し数十分の１から数百分の１に激減させることができ
る。 【効果】 従来の圧電体よりも製造歩留まりが高くなり
製造コストを下げ、また、製品になったアクチュエー
タ、センサ等の信頼性を向上できた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁器に焼成される
圧電体に関し、精密工作機械における位置決め、光学装
置の光路長制御、流量制御用バルブ、超音波モータ又は
自動車のブレーキ装置等に電気−機械変換要素として組
み込まれるアクチュエータ及びセンサの圧電素子に利用
される圧電体に関する。更には、液体の特性測定用素子
や、微少重量の測定素子に用いられる微小なセンサに好
適に用いられる圧電体に関する。
圧電体に関し、精密工作機械における位置決め、光学装
置の光路長制御、流量制御用バルブ、超音波モータ又は
自動車のブレーキ装置等に電気−機械変換要素として組
み込まれるアクチュエータ及びセンサの圧電素子に利用
される圧電体に関する。更には、液体の特性測定用素子
や、微少重量の測定素子に用いられる微小なセンサに好
適に用いられる圧電体に関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電体は、外部から電界を印加すること
により歪みを発生するという電気エネルギーを機械エネ
ルギーへ変換する効果と、外部から応力を受けることに
より表面に電荷が発生するという機械エネルギーを電気
エネルギーへ変換する効果を有する材料である。アクチ
ュエータ、フィルタ及び各種センサに利用される圧電材
料の１つとして（Ｂi１／２Ｎa１／２）ＴiＯ３を主成
分とした材料が知られ、例えば特開平１０−３２４５６
９号公報では、これをＭeＮbＯ３ （ＭeはＫ又はＮa）
と（Ｂi２Ｏ３・Ｓｃ２Ｏ ３）とで固融させた３成分系
の圧電体磁器組成物が開示されている。
により歪みを発生するという電気エネルギーを機械エネ
ルギーへ変換する効果と、外部から応力を受けることに
より表面に電荷が発生するという機械エネルギーを電気
エネルギーへ変換する効果を有する材料である。アクチ
ュエータ、フィルタ及び各種センサに利用される圧電材
料の１つとして（Ｂi１／２Ｎa１／２）ＴiＯ３を主成
分とした材料が知られ、例えば特開平１０−３２４５６
９号公報では、これをＭeＮbＯ３ （ＭeはＫ又はＮa）
と（Ｂi２Ｏ３・Ｓｃ２Ｏ ３）とで固融させた３成分系
の圧電体磁器組成物が開示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記特開平１
０−３２４５６９号公報に開示された圧電体磁器組成物
は、（Ｂi１／２Ｎa１／２）ＴiＯ３を主成分とし、Ｍe
ＮbＯ３ （ＭeはＫ又はＮa）と（Ｂi２Ｏ３・Ｓｃ２Ｏ
３）とで固融させた３成分系であっても分極電圧は高い
ために、分極時の絶縁破壊を生じる頻度が約３０％と高
かった。
０−３２４５６９号公報に開示された圧電体磁器組成物
は、（Ｂi１／２Ｎa１／２）ＴiＯ３を主成分とし、Ｍe
ＮbＯ３ （ＭeはＫ又はＮa）と（Ｂi２Ｏ３・Ｓｃ２Ｏ
３）とで固融させた３成分系であっても分極電圧は高い
ために、分極時の絶縁破壊を生じる頻度が約３０％と高
かった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者は、
（Ｂi１／２Ｎa１／２）ＴiＯ３を主成分としながら分
極時の絶縁破壊を生じる頻度を小さくした圧電体を提供
する。本願の請求項１に係る発明は、粉末を成形して焼
結してなる（Ｂi１／２Ｎa１ ／２）ＴiＯ３ を主成分と
する圧電体において、該粉末における（Ｂi１／２Ｎa
１／２）ＴiＯ３ 系ペロブスカイト相以外の異相が、粉
末Ｘ線回析によるピーク強度比にあって該ペロブスカイ
ト相の最強ピークに対して５％以下である粉末を成形、
焼結してなる圧電体である。これにより、焼結した圧電
体においては、６ｋＶ/ｍｍの条件で分極したときに絶
縁破壊を生じる頻度を０．１から２％と、従来に圧電体
における破壊頻度に対し、数十分の１から数百分の１に
激減させることができた。また、この、単相が主相に比
較して極めて微量に含有される粉末を焼結して得られる
圧電体は、焼結体における結晶相が（Ｂi１／２Ｎa
１／２）ＴiＯ３系ペロブスカイト単相に形成されるの
で、絶縁破壊強度の高い圧電体を提供できる。
（Ｂi１／２Ｎa１／２）ＴiＯ３を主成分としながら分
極時の絶縁破壊を生じる頻度を小さくした圧電体を提供
する。本願の請求項１に係る発明は、粉末を成形して焼
結してなる（Ｂi１／２Ｎa１ ／２）ＴiＯ３ を主成分と
する圧電体において、該粉末における（Ｂi１／２Ｎa
１／２）ＴiＯ３ 系ペロブスカイト相以外の異相が、粉
末Ｘ線回析によるピーク強度比にあって該ペロブスカイ
ト相の最強ピークに対して５％以下である粉末を成形、
焼結してなる圧電体である。これにより、焼結した圧電
体においては、６ｋＶ/ｍｍの条件で分極したときに絶
縁破壊を生じる頻度を０．１から２％と、従来に圧電体
における破壊頻度に対し、数十分の１から数百分の１に
激減させることができた。また、この、単相が主相に比
較して極めて微量に含有される粉末を焼結して得られる
圧電体は、焼結体における結晶相が（Ｂi１／２Ｎa
１／２）ＴiＯ３系ペロブスカイト単相に形成されるの
で、絶縁破壊強度の高い圧電体を提供できる。
【０００５】なお、このような圧電体の製造は、原料粉
末を混合し、仮焼した後ボールミルにより湿式粉砕し、
乾燥した粉末を成形して焼結する工程を有する場合に、
粉砕したスラリーを乾燥する前に、スラリーを篩に通す
ことにより、異相の含まれる未粉砕物や凝集体を取り除
くことにより可能となる。仮焼工程で生成した異相は、
主相であるペロブスカイト相に比較して粉砕されにくい
ため、粉砕処理後においても粗粒として残存しやすい。
したがって、粉砕時間に応じ、篩の目開きのサイズを適
宜選定することにより、異相の分離が可能となる。ま
た、粉砕時間は、異相粒子の微細化を起こさずに、ま
た、粒子の凝集を抑制するために２〜４時間と短くする
ことが好ましい。この時、篩を通した後の粉末の比表面
積は８ｍ2／ｇ以下２ｍ2／ｇ以上にすることが望まし
い。異相の検出には通常のＸ線粉末回折法が採用され、
図１に示すようなＸ線粉末回折図において、（Ｂi
１／２Ｎa１／２）ＴiＯ３系ペロブスカイトのピークの
うち最強ピークであるピーク１と、これ以外の異相の最
強ピークであるピーク２とのピーク強度をそれぞれ測定
した後、ピーク１のピーク強度に比較したピーク２のピ
ーク強度比を算出する。また、主成分である（Ｂi
１／２Ｎa１／２）ＴiＯ３以外に、ＭeＮbＯ３ （Ｍeは
ＮaまたはＫ）、Ｓｃ２Ｏ３・Ｂi２Ｏ３等が置換、固溶
の形で添加されていてもよい。また、本発明の磁器にあ
っては、0．5wt％以下のＺr、Si等が不可逆的に含有さ
れうる。そして、本発明に係る圧電体は、変位特性が優
れているため、一般的な電気−機械変換要素として有用
であり、アクチュエータ、センサ等の緻密な厚膜又は薄
膜形状として好適に利用される。例えば、まず、厚さ３
〜５０μｍ、好ましくは５〜１５μｍの薄肉部を有する
ダイヤフラム基板を、ジルコニア又はアルミナ焼結体、
好ましくは部分安定化ジルコニアを用いて用意する。こ
の基板の形状として好ましくは、特開平８−５１２３８
号公報に記載する、セラミック基体の窓部を覆蓋するよ
うに一体に積層された薄肉ダイヤフラム部を、その窓部
とは反対方向となる外方に凸なる形状、又は特開平８−
１３０３３４号公報に記載する、ダイヤフラム部におけ
る凸形状の頂部部分に又はそれを含む部分に、平坦部ま
たは所定の曲率半径の曲面部を形成したダイヤフラム形
状が好適である。この基板上の薄肉部表面に、下部電極
として厚さ１〜１０μｍのＰｔ、Ｐｔ−Ｐｄ合金等の耐
熱性金属膜を形成する。この下部電極上に本発明に係る
圧電体を厚膜手法により形成し、１０００℃〜１２５０
℃の温度で焼成する。厚膜手法としてはディッピング
法、スクリーン印刷法、スピンコータ法等を用いること
ができ、好ましくはスクリーン印刷法が用いられる。焼
成後の圧電膜の厚みとしては１〜４０μｍが好ましく、
より好ましくは５〜２５μｍが用いられる。形成された
圧電膜上にＰｔ、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ等、好ましくはＡｕ
又はＡｇを、上部電極として膜厚２μｍ以下になるよう
に形成する。このように形成された圧電体は、特開平８
−２０１２６５号公報に開示されているような液体の特
性測定用素子や、微少重量の測定素子に用いられる微細
なセンサや、アクチュエータ等に好適に利用される。
末を混合し、仮焼した後ボールミルにより湿式粉砕し、
乾燥した粉末を成形して焼結する工程を有する場合に、
粉砕したスラリーを乾燥する前に、スラリーを篩に通す
ことにより、異相の含まれる未粉砕物や凝集体を取り除
くことにより可能となる。仮焼工程で生成した異相は、
主相であるペロブスカイト相に比較して粉砕されにくい
ため、粉砕処理後においても粗粒として残存しやすい。
したがって、粉砕時間に応じ、篩の目開きのサイズを適
宜選定することにより、異相の分離が可能となる。ま
た、粉砕時間は、異相粒子の微細化を起こさずに、ま
た、粒子の凝集を抑制するために２〜４時間と短くする
ことが好ましい。この時、篩を通した後の粉末の比表面
積は８ｍ2／ｇ以下２ｍ2／ｇ以上にすることが望まし
い。異相の検出には通常のＸ線粉末回折法が採用され、
図１に示すようなＸ線粉末回折図において、（Ｂi
１／２Ｎa１／２）ＴiＯ３系ペロブスカイトのピークの
うち最強ピークであるピーク１と、これ以外の異相の最
強ピークであるピーク２とのピーク強度をそれぞれ測定
した後、ピーク１のピーク強度に比較したピーク２のピ
ーク強度比を算出する。また、主成分である（Ｂi
１／２Ｎa１／２）ＴiＯ３以外に、ＭeＮbＯ３ （Ｍeは
ＮaまたはＫ）、Ｓｃ２Ｏ３・Ｂi２Ｏ３等が置換、固溶
の形で添加されていてもよい。また、本発明の磁器にあ
っては、0．5wt％以下のＺr、Si等が不可逆的に含有さ
れうる。そして、本発明に係る圧電体は、変位特性が優
れているため、一般的な電気−機械変換要素として有用
であり、アクチュエータ、センサ等の緻密な厚膜又は薄
膜形状として好適に利用される。例えば、まず、厚さ３
〜５０μｍ、好ましくは５〜１５μｍの薄肉部を有する
ダイヤフラム基板を、ジルコニア又はアルミナ焼結体、
好ましくは部分安定化ジルコニアを用いて用意する。こ
の基板の形状として好ましくは、特開平８−５１２３８
号公報に記載する、セラミック基体の窓部を覆蓋するよ
うに一体に積層された薄肉ダイヤフラム部を、その窓部
とは反対方向となる外方に凸なる形状、又は特開平８−
１３０３３４号公報に記載する、ダイヤフラム部におけ
る凸形状の頂部部分に又はそれを含む部分に、平坦部ま
たは所定の曲率半径の曲面部を形成したダイヤフラム形
状が好適である。この基板上の薄肉部表面に、下部電極
として厚さ１〜１０μｍのＰｔ、Ｐｔ−Ｐｄ合金等の耐
熱性金属膜を形成する。この下部電極上に本発明に係る
圧電体を厚膜手法により形成し、１０００℃〜１２５０
℃の温度で焼成する。厚膜手法としてはディッピング
法、スクリーン印刷法、スピンコータ法等を用いること
ができ、好ましくはスクリーン印刷法が用いられる。焼
成後の圧電膜の厚みとしては１〜４０μｍが好ましく、
より好ましくは５〜２５μｍが用いられる。形成された
圧電膜上にＰｔ、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ等、好ましくはＡｕ
又はＡｇを、上部電極として膜厚２μｍ以下になるよう
に形成する。このように形成された圧電体は、特開平８
−２０１２６５号公報に開示されているような液体の特
性測定用素子や、微少重量の測定素子に用いられる微細
なセンサや、アクチュエータ等に好適に利用される。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る圧電体を実施
する形態を詳細に説明する。まず、出発原料として、酸
化ビスマスＢｉ2Ｏ３ 、酒石酸水素ナトリウムＮａＨＣ
4Ｈ4Ｏ6 、酸化チタンＴiＯ２ を充分乾燥した後、適宜
成分比になるように秤量し、これを２ｍｍφのジルコニ
ア玉石を用い１６時間、エタノール溶媒により湿式混合
した。混合物を乾燥後、大気中、900℃で２時間仮焼
し、ボールミルで２時間湿式粉砕処理を施した。粉砕後
のスラリー状態の粉末を、４２０メッシュのナイロン製
篩に通して、未粉砕物、凝集物を除去し、充分乾燥させ
た。乾燥した粉末の結晶相をＸ線回折により調べた。次
に、乾燥粉末を用い２０φ×１０ｔのペレット状成形体
をプレス成形により作成し、大気中で１１５０℃、２時
間焼成した。焼結して得られた磁器を長さ12ｍｍ、幅3
ｍｍ、厚み1ｍｍの寸法に加工後、シリコンオイル中で
厚さ方向に6kＶ/ｍｍの電界を10min加え分極処理した。
分極処理時における絶縁破壊の頻度を記録した。以上を
実施例１とする。前述した実施例１において、仮焼処理
後の粉砕を４時間とし、その他の条件は同じにして作製
した試料を実施例２とした。また、前述の実施例１にお
いて、仮焼温度を８５０℃とし、その他の条件は同じに
して作製した試料を実施例３とした。
する形態を詳細に説明する。まず、出発原料として、酸
化ビスマスＢｉ2Ｏ３ 、酒石酸水素ナトリウムＮａＨＣ
4Ｈ4Ｏ6 、酸化チタンＴiＯ２ を充分乾燥した後、適宜
成分比になるように秤量し、これを２ｍｍφのジルコニ
ア玉石を用い１６時間、エタノール溶媒により湿式混合
した。混合物を乾燥後、大気中、900℃で２時間仮焼
し、ボールミルで２時間湿式粉砕処理を施した。粉砕後
のスラリー状態の粉末を、４２０メッシュのナイロン製
篩に通して、未粉砕物、凝集物を除去し、充分乾燥させ
た。乾燥した粉末の結晶相をＸ線回折により調べた。次
に、乾燥粉末を用い２０φ×１０ｔのペレット状成形体
をプレス成形により作成し、大気中で１１５０℃、２時
間焼成した。焼結して得られた磁器を長さ12ｍｍ、幅3
ｍｍ、厚み1ｍｍの寸法に加工後、シリコンオイル中で
厚さ方向に6kＶ/ｍｍの電界を10min加え分極処理した。
分極処理時における絶縁破壊の頻度を記録した。以上を
実施例１とする。前述した実施例１において、仮焼処理
後の粉砕を４時間とし、その他の条件は同じにして作製
した試料を実施例２とした。また、前述の実施例１にお
いて、仮焼温度を８５０℃とし、その他の条件は同じに
して作製した試料を実施例３とした。
【０００７】そして、前述した実施例１において、仮焼
処理後に粉砕を２時間ではなく１０時間ボールミルを行
い、その他の条件は同じにして作製した試料を比較例１
とした。また、前述した実施例１において、粉砕後のス
ラリー粉末を４２０メッシュの篩を通すことなく乾燥
し、その他の条件は同じにして作製した試料を比較例２
とした。これらの試料を分極処理した時における絶縁破
壊の頻度を記録した結果、Ｘ線回折の結果とともに表１
に示した。
処理後に粉砕を２時間ではなく１０時間ボールミルを行
い、その他の条件は同じにして作製した試料を比較例１
とした。また、前述した実施例１において、粉砕後のス
ラリー粉末を４２０メッシュの篩を通すことなく乾燥
し、その他の条件は同じにして作製した試料を比較例２
とした。これらの試料を分極処理した時における絶縁破
壊の頻度を記録した結果、Ｘ線回折の結果とともに表１
に示した。
【０００８】
【表１】
【０００９】異相割合が５％より大きい比較例１及び比
較例２の圧電体に対し、実施例のものは，粉末における
異相の割合が低く、分極時に絶縁破壊を生じる頻度が
０．１〜２％と低いものであった。このように、従来の
圧電体における破壊頻度に対し数十分の１から数百分の
１に激減させることができた。
較例２の圧電体に対し、実施例のものは，粉末における
異相の割合が低く、分極時に絶縁破壊を生じる頻度が
０．１〜２％と低いものであった。このように、従来の
圧電体における破壊頻度に対し数十分の１から数百分の
１に激減させることができた。
【００１０】
【発明の効果】以上説明した通り、請求項１に係る本発
明によれば、粉末を成形して焼結してなる（Ｂi１／２
Ｎa１／２）ＴiＯ３ を主成分とする圧電体において、
該粉末における（Ｂi１／２Ｎa１／２）ＴiＯ３ 系ペロ
ブスカイト相以外の異相が、粉末Ｘ線回析によるピーク
強度比にあって該ペロブスカイト相の最強ピークに対し
て５％以下である粉末を成形、焼結してなる圧電体によ
り、焼結した圧電体における分極時に絶縁破壊を生じる
頻度を０．１〜２％と、従来の圧電体における破壊頻度
に対し数十分の１から数百分の１に激減させることがで
きるため、従来の圧電体よりも製造歩留まりが高くなり
製造コストを下げることができ、また、製品になったア
クチュエータ、センサ等の信頼性を向上できた。特に、
本願に係る圧電体は、他部材上に載置する等他部材との
共存下で焼成した場合、他部材との反応性が低いという
特性があるため、圧電体本来の特性を低下させることも
なく、且つ他部材への影響度が低いことから、他部材に
クラックを生起させる等の傷害を与えることも無い。従
って、絶縁破壊頻度の激減とも相俟って、最終製品にお
いて総合的な信頼性の著しい向上が達成された。
明によれば、粉末を成形して焼結してなる（Ｂi１／２
Ｎa１／２）ＴiＯ３ を主成分とする圧電体において、
該粉末における（Ｂi１／２Ｎa１／２）ＴiＯ３ 系ペロ
ブスカイト相以外の異相が、粉末Ｘ線回析によるピーク
強度比にあって該ペロブスカイト相の最強ピークに対し
て５％以下である粉末を成形、焼結してなる圧電体によ
り、焼結した圧電体における分極時に絶縁破壊を生じる
頻度を０．１〜２％と、従来の圧電体における破壊頻度
に対し数十分の１から数百分の１に激減させることがで
きるため、従来の圧電体よりも製造歩留まりが高くなり
製造コストを下げることができ、また、製品になったア
クチュエータ、センサ等の信頼性を向上できた。特に、
本願に係る圧電体は、他部材上に載置する等他部材との
共存下で焼成した場合、他部材との反応性が低いという
特性があるため、圧電体本来の特性を低下させることも
なく、且つ他部材への影響度が低いことから、他部材に
クラックを生起させる等の傷害を与えることも無い。従
って、絶縁破壊頻度の激減とも相俟って、最終製品にお
いて総合的な信頼性の著しい向上が達成された。
【図１】Ｘ線粉末回折図である。
Claims (1)
- 【請求項１】 粉末を成形して焼結してなる（Ｂi
１／２Ｎa１／２）ＴiＯ ３ を主成分とする圧電体にお
いて、該粉末における（Ｂi１／２Ｎa１／２）ＴiＯ３
系ペロブスカイト相以外の異相が、粉末Ｘ線回析による
ピーク強度比にあって該ペロブスカイト相の最強ピーク
に対して５％以下である粉末を成形、焼結してなること
を特徴とする圧電体。
Priority Applications (4)
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|---|---|---|---|
| JP2000238738A JP3775184B2 (ja) | 1999-08-31 | 2000-08-07 | 圧電体の製造方法 |
| US09/643,116 US6531070B1 (en) | 1999-08-31 | 2000-08-21 | Piezoelectric body |
| EP20000307394 EP1081773B1 (en) | 1999-08-31 | 2000-08-29 | Method of manufacturing a sintered (Bi,Na)TiO3 piezoelectric body |
| DE60041380T DE60041380D1 (de) | 1999-08-31 | 2000-08-29 | Herstellungsverfahren für einen gesinterten piezoelektrischen Körper aus (Bi,Na)TiO3 |
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24628899 | 1999-08-31 | ||
| JP11-246288 | 1999-09-08 | ||
| JP11-254617 | 1999-09-08 | ||
| JP25461799 | 1999-09-08 | ||
| JP2000238738A JP3775184B2 (ja) | 1999-08-31 | 2000-08-07 | 圧電体の製造方法 |
Publications (2)
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|---|---|
| JP2001146468A true JP2001146468A (ja) | 2001-05-29 |
| JP3775184B2 JP3775184B2 (ja) | 2006-05-17 |
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Family Applications (1)
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Country Status (4)
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|---|---|
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| EP (1) | EP1081773B1 (ja) |
| JP (1) | JP3775184B2 (ja) |
| DE (1) | DE60041380D1 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003095737A (ja) * | 2001-09-17 | 2003-04-03 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 圧電磁器組成物 |
| JP2007031219A (ja) * | 2005-07-28 | 2007-02-08 | Toyota Motor Corp | チタン酸ビスマスナトリウム−ジルコニウムチタン酸バリウム系無鉛圧電セラミック及びその製造方法 |
| WO2008004700A1 (fr) * | 2006-07-04 | 2008-01-10 | Ngk Insulators, Ltd. | Capteur à film piézoélectrique |
| WO2008004701A1 (fr) * | 2006-07-04 | 2008-01-10 | Ngk Insulators, Ltd. | Capteur à film piézoélectrique |
| JP2008111765A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-15 | Ngk Insulators Ltd | 圧電／電歪膜型センサ |
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| CN109456055A (zh) * | 2018-12-14 | 2019-03-12 | 陕西科技大学 | 一种高击穿高极化钛酸铋钠陶瓷材料、制备方法及应用 |
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|---|---|---|---|---|
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| DE102008021827B9 (de) * | 2008-04-30 | 2022-04-07 | Tdk Electronics Ag | Keramischer Werkstoff, Verfahren zur Herstellung des keramischen Werkstoffs, Bauelement mit dem keramischen Werkstoff und seine Verwendung |
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|---|---|---|---|---|
| JPH09100156A (ja) * | 1995-10-04 | 1997-04-15 | Nikon Corp | 誘電体磁器組成物 |
| JPH10324569A (ja) | 1997-03-28 | 1998-12-08 | Tdk Corp | 圧電体磁器組成物 |
| US6004474A (en) * | 1997-03-28 | 1999-12-21 | Tdk Corporation | Piezoelectric ceramic composition |
| JP3244027B2 (ja) * | 1997-07-09 | 2002-01-07 | 株式会社村田製作所 | 圧電磁器組成物 |
-
2000
- 2000-08-07 JP JP2000238738A patent/JP3775184B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2000-08-21 US US09/643,116 patent/US6531070B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-08-29 EP EP20000307394 patent/EP1081773B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-08-29 DE DE60041380T patent/DE60041380D1/de not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2003095737A (ja) * | 2001-09-17 | 2003-04-03 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 圧電磁器組成物 |
| JP2007031219A (ja) * | 2005-07-28 | 2007-02-08 | Toyota Motor Corp | チタン酸ビスマスナトリウム−ジルコニウムチタン酸バリウム系無鉛圧電セラミック及びその製造方法 |
| WO2008004700A1 (fr) * | 2006-07-04 | 2008-01-10 | Ngk Insulators, Ltd. | Capteur à film piézoélectrique |
| WO2008004701A1 (fr) * | 2006-07-04 | 2008-01-10 | Ngk Insulators, Ltd. | Capteur à film piézoélectrique |
| US7714480B2 (en) | 2006-07-04 | 2010-05-11 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelectric/electrostrictive membrane sensor |
| US7876023B2 (en) | 2006-07-04 | 2011-01-25 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelectric/electrostrictive membrane sensor |
| JP2008111765A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-15 | Ngk Insulators Ltd | 圧電／電歪膜型センサ |
| JP2008113522A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-15 | Ngk Insulators Ltd | 圧電／電歪膜型センサ |
| CN109456055A (zh) * | 2018-12-14 | 2019-03-12 | 陕西科技大学 | 一种高击穿高极化钛酸铋钠陶瓷材料、制备方法及应用 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6531070B1 (en) | 2003-03-11 |
| EP1081773A2 (en) | 2001-03-07 |
| EP1081773A3 (en) | 2004-03-31 |
| JP3775184B2 (ja) | 2006-05-17 |
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