JP2001145819A - 排ガス処理方法および処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 プロセスから排出される有害ガスを含有する
排ガスを、高い除害効率と安いランニングコストで安全
性を確保しながら無害化処理することができる排ガス処
理方法と処理装置を提供する。 【解決手段】 有害ガスを無害化する排ガスの処理方法
において、可燃性ガスおよび／または塩基性ガス［酸性
ガスおよび／または支燃性ガス］を含有する排ガスを、
吸収液と、スクラバーで気液接触・分解吸収させ、該ス
クラバーで生成する排液を陽イオン［陰イオン］選択透
過膜を有する透析装置に送って透析し、吸収した陽
［陰］イオンの一部または全部を系外に排出し、得られ
た処理液を吸収液として再び湿式スクラバーに送って循
環させることを特徴とする排ガス処理方法及び処理装
置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体デバ
イスや液晶ディスプレイデバイス等の製造装置より排出
される排ガス中に含まれる有害ガス、特に、塩素、三フ
ッ化窒素、三フッ化塩素、亜酸化窒素等の支燃性ガスや
フッ化水素、四塩化ケイ素、四フッ化ケイ素等の酸性ガ
ス、あるいはシラン、フォスフィン、ジボラン、ＴＥＯ
Ｓ、ＴＭＯＰ、ＴＭＯＢ、一酸化炭素、アンモニア、ジ
メチルアミン等の可燃性ガスや塩基性ガスの無害化処理
技術に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体、電子関連産業の発展と共
に半導体デバイスや液晶ディスプレイデバイス等の製造
装置が増加しつつあり、これらの製造装置内では多種類
の有害あるいは引火性、爆発性のある危険度の高いガス
が使用されている。そしてこれらの装置から排出される
排ガスは、完全に反応あるいは分解されず、極端な場合
は殆どが分解されずに排出されているケースがあり、こ
れを無害化する処理装置が必要不可欠である。

【０００３】従来、この種の排ガス処理装置は、各製造
装置の排気管を集めて集合配管とし、屋外に設置した大
型の無害化装置で一括処理しているケースが多かった
が、この方式であると配管が長くなってしまうため、管
内に堆積物が生じたり、腐食で漏れが生じて火災が発生
する等の事故が起こる可能性があった。そこで、最近で
はこうした事故を未然に防止するために、排ガス処理装
置を製造装置のなるべく近傍に設置して用いられるよう
になってきている。従って、屋内設置用の小型の処理装
置が使用されることが多い。

【０００４】屋内設置用の装置としては、ガスの吸着現
象を利用した吸着固定式、メタン、プロパン等を燃料と
する燃焼バーナを利用した燃焼式、電気ヒータを使った
熱分解式、化学反応を利用した反応分解方式、水や薬液
等を使用した湿式等多くの方式を利用した排ガス処理装
置が用いられている。

【０００５】一方、除害対象として塩素を処理する場
合、塩素は水への溶解度が極めて小さい水難溶性のハロ
ゲン系ガスであるため、通常の水を使った湿式スクラバ
ーによる吸収方法では、満足な吸収効率が得られない。
吸収効率を上げるため、水酸化ナトリウム等のアルカリ
溶液を用いる場合が一般的であるが、半導体プロセスで
は、ナトリウム等のアルカリ金属による汚染を極端に嫌
うため、室内設備の湿式スクラバーでは使用できない
し、廃液処理も隔離して行わなければならず容易ではな
い。

【０００６】また、活性炭や活性炭にアルカリ性薬品を
吸着させた吸着剤で処理する方法もあるが、これらの吸
着剤は塩素を物理的に吸着させているだけであるから、
吸着飽和後、吸着剤を水で洗浄して吸着物を追い出し、
結局排水処理することになる。また、限られた量の吸着
剤では吸着量にも限界があり、吸着剤の交換に要する労
力やコストが大きいという欠点があった。

【０００７】さらにこの吸着剤を焼却する場合もある
が、この場合はさらに危険で、塩素酸系の有害ガスやダ
イオキシン等の猛毒の有機塩素化合物を発生させること
になってしまう。また、吸着剤をコンクリートで固めて
埋め立てるケースもあるが、これも本質的に除害してい
るとは言えず、しかもランニングコストも高く、論外で
ある。別途、高温下、酸化カルシウム等と反応させて無
害な塩化カルシウムに転化させる方法もあるが、設備費
も運転経費も高価であり、固体、粉体を取り扱うので運
転操作も複雑でトラブルも多い欠点がある。

【０００８】次に、三フッ化窒素を無害化させる方法と
しては、前記塩素ガスの場合と同様水難溶性ハロゲン系
ガスであるから、湿式スクラバーや吸着式だけでは処理
出来ず、加熱した金属シリコン等と反応させて一旦フッ
化けい素ガスとし、後段で湿式スクラバーや吸着剤で捕
捉する方法があるが、シリコン等の反応剤は消耗品であ
るため、頻繁に補充しなければならず、ランニングコス
トが高価になる欠点がある。また、シリコン表面の酸化
物と反応した時は、副生成物として有害な窒素酸化物を
発生し、完全な除害とは言えない。さらに、別の有害ガ
スと同時に処理する場合、燃焼式装置で燃焼処理するケ
ースも多くあるが、燃焼された三フッ化窒素は全て窒素
酸化物となって排出され、なおかつこのガスは水には溶
けにくいため、多くはそのまま排出されるので問題はよ
り大きくなる。

【０００９】また、三フッ化塩素を無害化する方法につ
いては、このガスは水によって極めて容易に分解し、塩
素、フッ素、塩化水素、フッ化水素等を生成するので、
湿式も用いられているが、これらの内塩素ガスについて
は、前記したように有効な除害方法がなく、解決を要す
る問題点を有することに変わりがない。また、吸着式、
熱分解式は他のガスと同様コストが高くつく。

【００１０】次に、シラン、フォスフィン、ジボラン、
ＴＥＯＳ、ＴＭＯＰ、ＴＭＯＢ、一酸化炭素、アンモニ
ア、ジメチルアミン等の可燃性ガスや塩基性ガスを処理
する場合について述べる。これらのガスの処理は、反応
剤で化学反応を起こさせる乾式の方法があるが、通常の
生産ラインで使用する量の場合には、反応剤の交換頻度
が多く、ランニングコストがかなり大きくなってしまう
ため、近年は燃焼式が主流である。燃焼すると、これら
は酸化ケイ素、酸化燐、酸化ホウ素の固体となる。その
ため、燃焼室周辺に固形物が堆積するため、メンテナン
スを頻繁に行う必要があり、生産ラインを頻繁に停止し
なければならないと言った問題点があった。

【００１１】特に、近年環境面に関する関心の高まりと
共に、半導体製造メーカーでは有害ガスの処理が、処理
後のガスが工場から出た後も、処理が完全に為されてい
るか否か監視する責任を負担するような潮流になってき
ており、装置の除害原理の本質が問われ、除害能力に対
する要求が厳しくなってきている。このような情勢の下
で、安全性の高い処理を行おうとすれば、前記のように
おのずとコスト高になってしまい、安価な装置で処理し
ようとすれば、湿式スクラバーを使用しなければなら
ず、能力不足やアルカリ金属を使ったアルカリ液の使用
が必要となると言った問題がある。また、アルカリ金属
水酸化物に限らず、薬品類を定常的に供給するには種々
の作業があり、大型の薬液タンクや専用配管を設ける必
要がある等の問題が出てきた。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明は、こ
のような問題点に鑑みなされたもので、プロセスから排
出される有害ガスを含有する排ガスを、高い除害効率と
安いランニングコストで安全性を確保しながら無害化処
理することができる排ガス処理方法と処理装置を提供す
ることを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の請求項１に記載した発明は、有害ガスを無
害化する排ガスの処理方法において、可燃性ガスおよび
／または塩基性ガスを含有する排ガスを、吸収液と、湿
式スクラバーで気液接触・分解吸収させ、該スクラバー
で生成する排液を陽イオン選択透過膜を有する透析装置
に送って透析し、吸収した陽イオンの一部または全部を
系外に排出し、得られた処理液を吸収液として再び湿式
スクラバーに送って循環させることを特徴とする排ガス
処理方法である。

【００１４】このように、プロセスより排出される排ガ
ス中に含まれる有害ガスを無害化する排ガスの処理方法
において、可燃性ガスおよび／または塩基性ガスを含有
する排ガスを、吸収液と、湿式スクラバーで気液接触・
分解吸収させ、スクラバーで生成する排液を陽イオン選
択透過膜を有する透析装置に送って透析し、吸収した陽
イオンの一部または全部を系外に排出し、得られた処理
液を吸収液として再び湿式スクラバーに送って循環させ
れば、湿式スクラバーにおいて高効率で有害ガスを無害
化することができ、有害ガスの排出量を著しく低減する
ことができると共に、安全性を確保して排ガス処理能力
の向上を図ることができる。また、スクラバーの排液か
ら透析により吸収液の大部分を回収できるので、従来の
処理方法と比較して設備費もランニングコストも低減化
し、排ガス処理のコストダウンを図ることもできる。さ
らに系外に排出した陽イオンは、アルカリ水として回収
して別の用途に再利用するか、中和して廃水処理にかけ
てもよい。

【００１５】この場合、請求項２に記載したように、循
環する吸収液を、酸性水溶液とすることができ、可燃性
ガスおよび／または塩基性ガスを含有する排ガスを効率
よく分解吸収することができる。また、この酸性水溶液
を、酸性電解水またはハロゲン化水素水溶液とすること
が好ましく（請求項３）、有害ガスをより一層効果的に
分解吸収することができる。

【００１６】そしてこの場合、請求項４に記載したよう
に、吸収液で分解吸収される有害ガスを、シラン、フォ
スフィン、ジボラン、ＴＥＯＳ、ＴＭＯＰ、ＴＭＯＢ、
一酸化炭素、アンモニア、ＴＤＭＡＴ、ＴＤＥＡＴ、ジ
メチルアミン、ジエチルアミン、メチルアミン、エチル
アミン、あるいはこれらの内２種以上が混入する可燃性
ガスおよび／または塩基性ガスとすることができる。

【００１７】このように、本発明では、吸収液すなわち
酸性水溶液で分解吸収される有害ガスは、シラン、フォ
スフィン、ジボラン、ＴＥＯＳ、ＴＭＯＰ、ＴＭＯＢ、
一酸化炭素、アンモニア等の可燃性ガスおよび／または
塩基性ガスであって、それぞれがプロセスより排出され
る排ガス中に単独であるいは混合状態で存在しても、こ
れらは酸性水溶液の酸性度だけでなく、例えば、酸性電
解水中のラジカル、オゾン等の酸化性によってほぼ完全
に酸化分解され、吸収されるので、無害な排水とするこ
とができる。

【００１８】次に、本発明の請求項５に記載した発明
は、有害ガスを無害化する排ガスの処理方法において、
酸性ガスおよび／または支燃性ガスを含有する排ガス
を、吸収液と、湿式スクラバーで気液接触・分解吸収さ
せ、該スクラバーで生成する排液を陰イオン選択透過膜
を有する透析装置に送って透析し、吸収した陰イオンの
一部または全部を系外に排出し、得られた処理液を吸収
液として再び湿式スクラバーに送って循環させることを
特徴とする排ガス処理方法である。

【００１９】このように、プロセスより排出される排ガ
ス中に含まれる有害ガスを無害化する排ガスの処理方法
において、酸性ガスおよび／または支燃性ガスを含有す
る排ガスを、吸収液と、湿式スクラバーで気液接触・分
解吸収させ、スクラバーで生成する排液を陰イオン選択
透過膜を有する透析装置に送って透析し、吸収した陰イ
オンの一部または全部を系外に排出し、得られた処理液
を吸収液として再び湿式スクラバーに送って循環させれ
ば、湿式スクラバーにおいて高効率で有害ガスを無害化
することができ、有害ガスの排出量を著しく低減するこ
とができると共に、安全性を確保して排ガス処理能力の
向上を図ることができる。また、スクラバーの排液から
透析により吸収液の大部分を回収できるので、従来の処
理方法と比較して設備費もランニングコストも低減化
し、排ガス処理のコストダウンを図ることもできる。さ
らに系外に排出した陰イオンは、酸性水として回収して
別の用途に再利用するか、中和して廃水処理にかけても
よい。

【００２０】この場合、請求項６に記載したように、循
環する吸収液を、アルカリ性水溶液とすることができ、
酸性ガスおよび／または支燃性ガスを含有する排ガスを
効率よく分解吸収することができる。また、このアルカ
リ性水溶液を、アンモニア水、アルカリ性電解水または
有機塩基水溶液とすることが好ましく（請求項７）、よ
り一層効果的な有害ガスの分解吸収を行うことができ
る。しかも苛性ソーダを使用する場合に比較して、半導
体工程等で有害なアルカリ金属等を使用しなくて済むと
いう利点もある。

【００２１】そして、この場合、請求項８に記載したよ
うに、有機塩基を、脂肪族第１アミン、脂肪族第２アミ
ン、脂肪族第３アミン、これらの水和物、水酸化第４ア
ンモニウム、あるいはこれらの内から選択された２種以
上の混合物とするのが好ましい。

【００２２】これらの有機塩基は、水に良く溶解し、強
アルカリ性を示す水溶液を得ることができる。従って、
プロセスから排出される排ガス中のアルカリ性水溶液と
反応する有害ガスを無害化することができ、有害ガスの
排出量を著しく低減することができる。

【００２３】さらにこの場合、請求項９に記載したよう
に、有機塩基水溶液が、有機塩基を含有するアルカリ性
ポジ型フォトレジスト現像液の廃液とすることができ
る。このように有機塩基を含有するアルカリ性ポジ型フ
ォトレジスト現像液の廃液であってもｐＨが、少なくと
も１０以上であれば、有害ガスを充分に分解吸収するこ
とができるからである。

【００２４】そして、本発明の請求項１０に記載したよ
うに、吸収液すなわちアルカリ性水溶液で分解吸収され
る有害ガスを、塩化水素、フッ化水素、臭化水素、四塩
化ケイ素、四フッ化ケイ素、四臭化ケイ素、三塩化ホウ
素、塩素、フッ素、臭素、三フッ化窒素、三フッ化塩
素、亜酸化窒素あるいはこれらの内２種以上が混入する
酸性ガスおよび／または支燃性ガスとすることができ
る。

【００２５】このように、本発明では、アルカリ水溶液
で分解吸収される酸性ガスが、塩化水素、フッ化水素、
臭化水素、四塩化ケイ素、四フッ化ケイ素、四臭化ケイ
素、三塩化ホウ素等であって、それぞれがプロセスより
排出される排ガス中に単独であるいは混合状態で存在し
ても、アルカリ水溶液の高アルカリ性を利用して苛性ソ
ーダのようなアルカリ性薬品を使用せずに中和あるいは
加水分解反応を起こさせることができ、無害化すること
ができる。従って、半導体プロセスのようにアルカリ金
属による汚染を嫌う工場では極めて有効な排ガス処理方
法である。

【００２６】またこのように、従来処理が極めて困難で
あった支燃性ガスが塩素、フッ素、臭素、三フッ化窒
素、三フッ化塩素、亜酸化窒素等で、それぞれがプロセ
スより排出される排ガス中に単独であるいは混合状態で
存在しても、本発明では、Ｃｌ ^- イオン、Ｆ^- イオン等
にほぼ完全にイオン化されるので、無害化することがで
きる。亜酸化窒素も窒素ガスと酸素ガスに還元され無毒
になる。

【００２７】さらに請求項１１に記載したように、湿式
スクラバーから排出される有害ガスを分解吸収した排液
の透析を、電気透析とすれば、非常に効率よく透析する
ことができ、処理量を高め、吸収液の回収率を向上させ
ることができる。一方、廃イオン液も無駄なく系外に排
出させることができる。

【００２８】次に、本発明の請求項１２に記載した発明
は、有害ガスを無害化する排ガスの処理装置において、
少なくとも、吸収液を、有害ガスと気液接触・分解吸収
する湿式スクラバーと該スクラバーの排液を吸収液と廃
イオン液に透析分離するイオン選択透過膜を有する透析
装置との間を循環させて成ることを特徴とする排ガス処
理装置である。

【００２９】このような装置とすれば、プロセスから排
出される排ガス中の有害ガス成分が可燃性ガスおよび／
または塩基性ガス、支燃性ガスおよび／または酸性ガス
であっても、各種別ガスの性質と反対性質の吸収液を用
いて湿式スクラバーで気液接触、分解吸収させれば殆ど
のガスを無害化することができる。また、透析装置によ
ってスクラバーの排液から吸収液を高収率で回収するこ
とができる。従って有害ガスの排出量を著しく低減する
ことができ、殆ど大気汚染を起こすことのない排ガス処
理装置となると共に、従来の各種処理方法と比較して設
備費もランニングコストも低減化し、排ガス処理のコス
トダウンを図ることのできる排ガス処理装置となる。

【００３０】この場合、請求項１３に記載したように、
排ガス処理装置を、少なくとも吸収液として酸性水溶液
を、有害ガスと気液接触・分解吸収する湿式スクラバー
と該スクラバーの排液を吸収液と廃イオン液に透析分離
する陽イオン選択透過膜を有する透析装置との間を循環
させて成る装置とすることができる。

【００３１】この装置によれば、可燃性ガスおよび／ま
たは塩基性ガスは、湿式スクラバーと陽イオン選択透過
膜を有する透析装置との間を循環する吸収液である酸性
水溶液によって酸化分解されて吸収され無害化される。
また、陽イオン選択透過膜を有する透析装置によって、
スクラバーの排液を吸収液と廃イオン液に透析分離する
ことができ、高い回収率で吸収液を循環させることがで
きる。

【００３２】また、請求項１４に記載したように、排ガ
ス処理装置を、少なくとも吸収液としてアルカリ性水溶
液を、有害ガスと気液接触・分解吸収する湿式スクラバ
ーと該スクラバーの排液を吸収液と廃イオン液に透析分
離する陰イオン選択透過膜を有する透析装置との間を循
環させて成る装置とすることもできる。

【００３３】この装置によれば、酸性ガスおよび／また
は支燃性ガスは、湿式スクラバーと陰イオン選択透過膜
を有する透析装置との間を循環する吸収液であるアルカ
リ水溶液によって分解されて吸収され無害化される。ま
た、陰イオン選択透過膜を有する透析装置によって、ス
クラバーの排液を吸収液と廃イオン液に透析分離するこ
とができ、高い回収率で吸収液を循環させることができ
る。

【００３４】さらにこの場合、請求項１５に記載したよ
うに、透析装置を電気透析装置とすることができる。こ
のように電気透析装置とすれば直流電流を駆動力とする
ので透析を高い効率で行うことができ、吸収液の回収率
を向上させることができる排ガス処理装置となる。

【００３５】以下、本発明についてさらに詳細に説明す
る。本発明者らは、各種プロセスから発生する排ガスに
含まれる有害ガス成分が、単一の場合は少なく多成分混
合系が多いため、無害化処理方法も排ガス処理装置も複
雑化し、設備費もランニングコストも高額化している現
状に鑑み、特に処理が難しい半導体関連産業で使用され
る可燃性ガス、塩基性ガス、酸性ガス、支燃性ガスの無
害化処理に適した処理方法と処理装置について、種々調
査、検討を重ねた結果、これらの有害ガスを、湿式スク
ラバーとスクラバーの排液を吸収液と廃イオン液に透析
分離するイオン選択透過膜を有する透析装置との間を循
環する吸収液と湿式スクラバーで気液接触させて分解吸
収させれば、容易に無害化できることを知見し、さらに
透析分離した吸収液を循環させれば、コストも著しく低
下できることを見出し、諸条件を精査して本発明を完成
させたものである。

【００３６】本発明の対象とした排ガスは、例えば各種
プロセスから排出される排ガス中に含まれる有害ガス
で、その反応性から下記のように分類される。先ず、第
一に、可燃性ガスと呼ばれるもので、シラン（ＳｉＨ
₄ ）、フォスフィン（ＰＨ₃ ）、ジボラン（Ｂ₂ Ｈ
₆ ）、ＴＥＯＳ（Ｔｅｔｒａ ＥｔｈｏｘｙＳｉｌａｎ
ｅ，Ｓｉ（ＯＣ₂ Ｈ₅ ）₄ ）、ＴＭＯＰ（Ｔｒｉ Ｍｅ
ｔｈｙｌＰｈｏｓｐｈａｔｅ，ＰＯ（ＯＣＨ₃ ）₃ ）、
ＴＭＯＢ（Ｔｒｉ Ｍｅｔｈｏｘｙ Ｂｏｒｏｎ，Ｂ
（ＯＣＨ₃ ）₃ ）、一酸化炭素（ＣＯ）あるいはこれら
の内２種以上が混入するガスが例示され、塩基性ガスと
してはアンモニア（ＮＨ₃ ）、ＴＤＭＡＴ（Ｔｅｔｒａ
Ｄｉ Ｍｅｔｈｙｌ Ａｍｉｎｏ Ｔｉｔａｎａｔ
ｅ）、ＴＤＥＡＴ（Ｔｅｔｒａ Ｄｉ Ｅｅｔｈｙｌ
Ａｍｉｎｏ Ｔｉｔａｎａｔｅ）、ジメチルアミン、ジ
エチルアミン、メチルアミン、エチルアミンが混入する
場合がある。

【００３７】本発明の場合、湿式スクラバーと透析装置
から成る排ガス処理装置内を循環する吸収液を酸性水溶
液とすれば、これらのガスを効率良く分解吸収し、無害
化することができる。さらに、この酸性水溶液を、酸性
電解水またはハロゲン化水素水溶液とすることが好まし
く、有害ガスをより一層効果的に分解吸収することがで
きる。

【００３８】この酸性電解水は、水を電解するいわゆる
電解水生成器によって製造される水で、通常、酸化還元
電位が＋１０００ｍＶ以上、ｐＨ２．７以下の強酸化水
であるが、必ずしも酸化還元電位が高くなくても良く、
排ガス中の可燃性ガスあるいは塩基性ガスの種類、濃
度、流量等によって適宜最適条件を選択することにな
る。また、ハロゲン化水素水溶液は、塩酸水溶液が入手
が容易で、安価であり、反応性も高く、使い易い。この
ような酸性水溶液を吸収液として使用すれば、湿式スク
ラバーにおいて高効率で可燃性ガスおよび／または塩基
性ガスを無害化し、有害ガスの排出量を著しく低減する
ことができる。

【００３９】そしてこの場合、湿式スクラバーで生成し
た排液を、陽イオン選択透過膜を有する透析装置に送っ
て透析し、吸収した陽イオンの一部または全部をアルカ
リ水溶液として系外に排出し、得られた酸性の処理液を
吸収液として再び湿式スクラバーに送って循環させ、有
害ガスと気液接触、分解吸収させることができる。この
ように、スクラバーの排液から透析により吸収液の大部
分を回収できるので、従来の処理方法と比較して設備費
もランニングコストも低減化し、排ガス処理のコストダ
ウンを図ることもできる。さらに系外に排出した陽イオ
ンは、アルカリ水として回収して別の用途に再利用する
か、中和して廃水処理にかけてもよい。別の用途として
は、例えば酸性ガスあるいは支燃性ガスを含有する排ガ
スの吸収液として使用するようにしてもよい。

【００４０】次に、酸性ガスとは、本発明では、塩化水
素、フッ化水素、臭化水素、四塩化ケイ素、四フッ化ケ
イ素、四臭化ケイ素、三塩化ホウ素等、あるいはこれら
の内２種以上が混入するガスを例示することができる。
この場合、排ガス処理装置内を循環する吸収液としてア
ルカリ水溶液で分解吸収されるガスを指しており、これ
により無害化することができる。

【００４１】さらに、支燃性ガスとは酸素のように可燃
性ガス（水素、シラン、炭化水素等）と爆発的に反応を
起こすガスを指しており、本発明では、従来無害化処理
が困難とされていたこれら支燃性ガスを処理の対象とし
て取り上げた。具体的には塩素（Ｃｌ₂ ）、フッ素（Ｆ
₂ ）、臭素（Ｂｒ₂ ）、三フッ化窒素（ＮＦ₃ ）、三フ
ッ化塩素（ＣｌＦ₃ ）、亜酸化窒素（Ｎ₂ Ｏ）等、ある
いはこれらの内２種以上が混入するガスであって、これ
らも上記酸性ガスと同様にアルカリ水溶液で分解吸収
し、無害化することができる。

【００４２】そしてこのアルカリ水溶液をアンモニア
水、アルカリ性電解水または有機塩基水溶液とすること
が好ましく、より一層効果的な有害ガスの分解吸収を行
うことができる。しかも苛性ソーダを使用する場合に比
較して、半導体工程等で有害なアルカリ金属等を使用し
なくて済むという利点もある。

【００４３】上記の内アルカリ性電解水は、いわゆる水
を電解する電解水生成器で製造される還元性のアルカリ
イオン水であって、通常、ｐＨ１１以上のアルカリ性
で、酸化還元電位が−８００ｍＶ以下という強還元力を
持っているが、必ずしも酸化還元電位が低くなければな
らないことはなく、排ガス中の酸性ガスや支燃性ガスの
種類、濃度、流量等によって適宜最適条件を選択すれば
よい。

【００４４】また、有機塩基は、脂肪族第１アミン、脂
肪族第２アミン、脂肪族第３アミン、これらの水和物、
水酸化第４アンモニウム、あるいはこれらの内から選択
された２種以上の混合物とするのが好ましい。これらの
有機塩基は、水に良く溶解し、強アルカリ性を示す水溶
液を得ることができる。従って、プロセスから排出され
る排ガス中のアルカリ性水溶液と反応する有害ガスを無
害化することができ、有害ガスの排出量を著しく低減す
ることができる。

【００４５】さらに有機塩基水溶液が、有機塩基を含有
するアルカリ性ポジ型フォトレジスト現像液の廃液であ
っても良い。このように有機塩基を含有するアルカリ性
ポジ型フォトレジスト現像液の廃液であってもｐＨが、
少なくとも１０以上であれば、有害ガスを充分に分解吸
収することができるし、ポジ型フォトレジスト現像液の
廃液を有効利用することができる。

【００４６】さらに、本発明の特徴は、この吸収液とし
てのアルカリ水溶液を湿式スクラバーと透析装置との間
を循環させたことにある。すなわち、酸性ガスおよび／
または支燃性ガスを含有する排ガスを、アルカリ水溶液
と、湿式スクラバーで気液接触・分解吸収させ、無害化
された排気ガスはスクラバー塔頂から排出され、塔底に
溜ったスクラバーで生成する排液を透析装置に送るよう
にした。

【００４７】そして、湿式スクラバーで生成した排液
を、陰イオン選択透過膜を有する透析装置に送って透析
し、吸収した陰イオンの一部または全部を酸性水溶液と
して系外に排出し、得られたアルカリ性の処理液を吸収
液として再び湿式スクラバーに送って循環させ、有害ガ
スと気液接触、分解吸収させる排ガス処理方法とした。

【００４８】このようにすれば、湿式スクラバーにおい
て、特に処理が難しい支燃性ガスおよび／または酸性ガ
スを高効率で無害化し、有害ガスの排出量を著しく低減
することができると共に、安全性を確保して排ガス処理
能力の向上を図ることができる。また、湿式スクラバー
の排液から透析により吸収液の大部分を回収できるの
で、従来の処理方法と比較して設備費もランニングコス
トも低減化し、排ガス処理のコストダウンを図ることも
できる。さらに系外に排出した陰イオンは、酸性水溶液
として回収して塩基性ガスの吸収液として用いる等の別
の用途に再利用するか、中和して廃水処理にかけてもよ
い。

【００４９】上記のように、本発明の最大の特徴は、湿
式スクラバーで生成した排液を吸収液と廃イオン液に透
析分離することにある。このようにすれば、排液から有
害ガスが分解して生じたイオンを、イオン選択透過膜を
通して透析分離することができるので、排液を有害ガス
を分解吸収する能力のある吸収液に再生し回収すること
ができる。そこで、この吸収液を湿式スクラバーに送っ
て再び排ガスと気液接触させ分解吸収して循環させるこ
とができる。一方、廃イオン液も回収してその性質を利
用して別の用途に向けるか、中和して廃水処理にかける
ことになる。

【００５０】ここで行う透析処理は、イオン交換膜を用
いて濃度差を利用する拡散透析で処理することもできる
が、直流電流を駆動力とし、イオン交換膜を使用する電
気透析の方が分離効率、処理能力等の点で優れているの
で好ましく用いられる。イオン交換膜には、市販品とし
て、陽イオンを選択的に透過する陽イオン選択透過膜
（カチオン交換膜）と陰イオンを選択的に透過する陰イ
オン選択透過膜（アニオン交換膜）とがあり、それぞれ
に多くの品種があるので、処理液の成分、性質、成分濃
度、用途等に応じて最適膜を選択することになる。

【００５１】このように、本発明では、例えば酸性ガス
および／または支燃性ガスが、プロセスより排出される
排ガス中に単独であるいは混合状態で存在しても、アル
カリ性水溶液の高アルカリ性を利用して苛性ソーダ等の
アルカリ性薬品を使用せずに中和あるいは加水分解反応
を起こさせることができ、無害化することができる。従
って、半導体デバイス工程のようにソーダやカリ等のア
ルカリ金属による汚染を極端に嫌う工程で、本発明の有
効性が極めて高いものとなる。また、透析により回収し
たアルカリ性水溶液もその反応性には何の問題もないの
で、吸収液として十分有効に循環使用することができ
る。さらに酸性ガスや支燃性ガスは共通する性質も多々
あるので、両者を含有する排ガスをアルカリ水溶液と気
液接触させて効率的に処理することもできる。

【００５２】本発明の排ガス処理方法では、例えば、上
記４種類に分類した有害ガスの反応性に対して、吸収液
として酸性水溶液と透析によって回収した酸性水溶液あ
るいはアルカリ性水溶液と透析によって回収したアルカ
リ性水溶液を選択して用いることによって、効率的かつ
低コストで無害化処理が可能となる。

【００５３】従って、これらの有害ガスがさらに混合さ
れている場合や、排ガスの組成が正確に判らない場合に
は、有害ガスを酸性水溶液と気液接触させて分解吸収さ
せる工程と、アルカリ性水溶液と気液接触させて分解吸
収させる工程との両方を行うことによって無害化処理す
るようにすれば、ほぼ完全に排ガスを無害化することが
できる。この処理工程の順序は、酸性水溶液との気液接
触を行った後、アルカリ性水溶液と気液接触を行っても
よいし、逆にアルカリ性水溶液と気液接触を行った後、
酸性水溶液と気液接触を行ってもよい。

【００５４】上記排ガス処理方法によって、分解吸収処
理を終えた排ガスは、有害ガスの含有量が大幅に低減し
ているので、そのまま大気に放出してもよいが、より完
全を期するために、処理後の排ガスの一部を処理装置の
入口側に戻すこともできるし、あるいは吸着器の吸着剤
に吸着させることもできる。また、有害ガスの成分によ
っては、分解後に固形分を生成することもあり、この場
合はフィルター等で分離し、二次処理をすればよい。

【００５５】以上述べたように、プロセスより排出され
る排ガス中に含まれる有害ガスを、吸収液として酸性水
溶液と透析によって回収した酸性水溶液あるいはアルカ
リ性水溶液と透析によって回収したアルカリ性水溶液で
分解吸収させれば、有害ガスのほぼ全量を無害化するこ
とができ、有害ガスの排出量を著しく低減することがで
きると共に、安全性を確保して排ガス処理能力の向上を
図ることができる。また、従来の各種処理方法と比較し
て設備費もランニングコストも低減化し、排ガス処理の
コストダウンを図ることもできる。さらに半導体デバイ
ス工程においては、本発明の排ガス処理方法ではアルカ
リ金属を使用しなくてもよいので、汚染染がなくなる。
従って排ガス処理装置の屋内設置も可能となり、屋外設
置の場合に問題となっていた配管の詰りや腐食等の事故
防止も容易になる。

【００５６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て添付した図面に基づいて具体的に説明するが、本発明
はこれらに限定されるものではない。ここで、図１は本
発明の排ガス処理装置の構成例を示す概要図である。

【００５７】図１に示したように、本発明の排ガス処理
装置１は、例えば、少なくとも、吸収液を、有害ガスと
気液接触・分解吸収する湿式スクラバー２と該スクラバ
ーの排液を吸収液と廃イオン液に透析分離するイオン選
択透過膜１１を有する透析装置１０との間を循環させる
ように構成されている。

【００５８】湿式スクラバー２内には、気液接触効率を
高める気液接触部３を設けて、該気液接触部３の上部か
ら吸収液を吸収液散水管４を通して散水する。この時、
気液接触部３の下部からは有害ガスを含む排ガスが排ガ
ス導入管５を通して導入され、気液接触部３を介して吸
収液と排ガスは交流接触し、排ガス中の有害ガスは吸収
液に吸収されて塔底に溜り、脱有害ガスは塔頂より排出
される。塔底に溜った排液は、吸収液循環ポンプ６によ
り透析装置１０に送られる。

【００５９】さらに具体的には、排ガスが可燃性ガスお
よび／または塩基性ガスの場合には、少なくとも吸収液
として酸性水溶液を、有害ガスと気液接触・分解吸収す
る湿式スクラバー２ａと該スクラバーの排液を吸収液と
廃イオン液に透析分離する陽イオン選択透過膜１１Ｃを
有する透析装置１０との間を循環させるように構成され
ている。

【００６０】また、排ガスが酸性ガスおよび／または支
燃性ガスの場合には、少なくとも吸収液としてアルカリ
性水溶液を、有害ガスと気液接触・分解吸収する湿式ス
クラバー２ｂと該スクラバーの排液を吸収液と廃イオン
液に透析分離する陰イオン選択透過膜１１Ａを有する透
析装置１０との間を循環させるように構成されている。

【００６１】可燃性ガスおよび／または塩基性ガスを処
理する湿式スクラバー（以下酸性水湿式スクラバーとい
うことがある）と酸性ガスおよび／または支燃性ガスを
処理する湿式スクラバー（以下アルカリ水湿式スクラバ
ーということがある）とは、処理する排ガスの成分と吸
収液の種類が異なるだけで機器の構成に大きな差はない
ので、酸性水湿式スクラバー２ａについて説明する（ア
ルカリ水湿式スクラバー２ｂの場合は、酸性水溶液をア
ルカリ性水溶液と、酸性水をアルカリ水とすればよい。
［ ］内の符号はアルカリ水湿式スクラバーの符号であ
る。）。

【００６２】酸性水湿式スクラバー２ａ［アルカリ水湿
式スクラバー２ｂ］内には、気液接触効率を高める気液
接触部３を設けて、該気液接触部３の上部から吸収液と
して酸性水溶液を酸性水溶液散水管４ａ［アルカリ性水
溶液散水管４ｂ］を通して散水する。この時、気液接触
部３の下部からは有害ガスを含む排ガスが排ガス導入管
５を通して導入され、気液接触部３を介して酸性水溶液
と排ガスは交流接触し、排ガス中の有害ガスは酸性水溶
液に吸収されて塔底に溜り、脱有害ガスは塔頂より排出
される。塔底に溜った酸性水溶液は、酸性水溶液循環ポ
ンプ６ａ［アルカリ性水溶液循環ポンプ６ｂ］により透
析装置１０に送られる。この際、湿式スクラバーと透析
装置の処理能力がアンバランスな場合には、湿式スクラ
バーと透析装置の間に中間タンク（不図示）を設けて調
整を図るようにしてもよい。

【００６３】湿式スクラバーの気液接触部３において気
液接触させる方法としては、スリット板、多孔板あるい
は泡鐘板等を用いて液中に排ガスをバブリングするスク
ラバー方式、スプレーノズルや分散板によって排ガス中
に吸収液を散水する方法、充填物を積み重ねた充填層で
気液を交流させる方法等いわゆる吸収塔や充填塔を使用
する方法が挙げられるが、いずれの方法でも有効であ
る。

【００６４】酸性水湿式スクラバー２ａによって有害ガ
スの分解、吸収処理を終えた排ガスは、有害ガスの含有
量が大幅に低減しているので、そのまま大気に放出して
もよいが、より完全を期するために、処理後の排ガスの
一部を各湿式スクラバーの入口側に戻すこともできる
し、あるいは吸着器９の吸着剤に吸着させることも可能
である。吸着剤としては活性炭等が挙げられる。また、
有害ガスの成分によっては、分解後に固形分を生成する
こともあり、その場合はフィルター等で分離し、二次処
理すればよい（不図示）。

【００６５】透析装置１０は、陽イオン選択透過膜（カ
チオン交換膜）１１Ｃを有し、送られてきた有害ガスを
吸収した酸性水溶液は、ここで電気透析される。電気透
析により回収した酸性水溶液は、吸収液として再び酸性
水溶液散水管４ａを経て湿式スクラバーでスプレーされ
る。一方、電気透析により生成したアルカリ性水溶液は
吸収した陽イオンの一部または全部を廃水として廃イオ
ン液排出管１２を通して系外に排出するか、回収して別
の用途に利用することができる。この際、廃水分の水は
水供給管８から、少量の陰イオンの損失分は吸収液供給
管７から補給される。

【００６６】そして、透析装置について、排ガスが酸性
ガスおよび／または支燃性ガスの場合には、アルカリ水
湿式スクラバー２ｂの塔底に溜ったアルカリ性水溶液
は、アルカリ性水溶液循環ポンプ６ｂにより陰イオン選
択透過膜（アニオン交換膜）１１Ａを有する透析装置１
０に送られ、電気透析される。電気透析により回収され
たアルカリ性水溶液は、吸収液としてアルカリ性水溶液
散水管４ｂを経て再びスプレーされる。一方、電気透析
により生成した酸性水溶液は吸収した陰イオン（捕捉し
た有害ガスから生成したハロゲンイオン等）の一部また
は全部を廃水として廃イオン液排出管１２を経て系外に
排出するか、回収して別の用途に利用することができ
る。この際、廃水分の水は水供給管８から、少量の陽イ
オンの損失分は吸収液として吸収液供給管７から補給さ
れる。

【００６７】ここで、前記透析装置は、イオン交換膜を
使用し濃度差を利用する拡散透析型でも使えるが、より
効率よく透析するには、直流電流を駆動力とし、イオン
交換膜を使用する電気透析装置を使用するのが良く、こ
れにより処理能力を高めることができる。

【００６８】本発明の排ガス処理装置の別の構成例とし
ては、前記酸性水湿式スクラバー２ａの後にアルカリ水
湿式スクラバー２ｂを直列に配置して、先ず可燃性ガス
および／または塩基性ガスを酸性水溶液で処理し、次い
で支燃性ガスおよび／または酸性ガスをアルカリ性水溶
液で処理するか、順序を逆にし、アルカリ水湿式スクラ
バー２ｂの後に酸性水湿式スクラバー２ａを直列に配置
しても良く、目的に応じて適宜選択すればよい。この場
合、酸性水湿式スクラバー２ａの塔頂から排出された脱
有害ガス（脱可燃性ガスおよび／または塩基性ガス）
は、中間ブロワ（不図示）によりアルカリ水湿式スクラ
バー２ｂの気液接触部３の下部に供給され、上記循環す
るアルカリ性水溶液に接触して分解、吸収される。

【００６９】以上のように構成した装置とすれば、プロ
セスから排出される排ガス中の有害ガスが可燃性ガス、
塩基性ガス、支燃性ガス、酸性ガスに属するものであれ
ば、酸性水溶液もしくはアルカリ性水溶液によって酸性
水湿式スクラバーあるいはアルカリ水湿式スクラバーで
分解、吸収処理され、有害ガスをほぼ完全に無害化する
ことができる。また、透析装置で系外に排出された廃イ
オン液は、イオンの種類、イオン濃度等によっては、廃
イオン液と同イオン性の吸収液として利用できる場合も
ある。従って有害ガスの排出量を著しく低減することが
でき、殆ど大気汚染を起こすことのない排ガス処理装置
となると共に、従来の各種処理方法と比較して設備費も
ランニングコストも低減化し、排ガス処理のコストダウ
ンを図ることができる排ガス処理装置となる。

【００７０】

【実施例】次に、本発明の実施例を挙げて詳細に説明す
るが、これらは本発明を限定するものではない。 （実施例１）図１に示した排ガス処理装置を用いて有害
ガスとして塩素ガスを含む排ガスを処理した。塩素ガス
（Ｃｌ₂ ）１００ｓｃｃｍ（standard cubic centimete
r per minute）を窒素ガス４０ｓｌｐｍ（standard lit
re per minute ）で希釈した排ガスを、湿式スクラバー
ＳＢＳ−４ ＦＵ−３（セイコー化工機（株）製商品
名）で処理した。湿式スクラバーで用いた吸収液は、水
道水で１０００ｐｐｍ（０．１％）に希釈した水酸化テ
トラメチルアンモニウム［ＴＭＡＨ：（ＣＨ₃）₄ ＮＯ
Ｈ］水溶液をアルカリ水として１Ｌ／ｍｉｎの流量で循
環させた。

【００７１】気液接触の終わった排液を、陰イオン選択
透過膜を有する電気透析装置 ＤＷ−１型（旭硝子
（株）製商品名）に送って透析し、透過した陰イオン
（塩素ガスが分解して生成した塩素イオン）を系外に排
出し、得られたアルカリ性水溶液（ｐＨ１２、ＴＭＡＨ
水溶液）を吸収液として再度湿式スクラバーに送り、塩
素ガスと気液接触させ、排液は再度、電気透析装置に送
って循環させた。この運転を連続して１００時間行った
結果、湿式スクラバー出口の排気中塩素ガス濃度は、終
始、検出限度の０．５ｐｐｍ以下であり、充分な除害性
能を有していることが判った。

【００７２】（実施例２）図１に示した排ガス処理装置
を用いて有害ガスとしてアンモニアガスを含む排ガスを
処理した。アンモニアガス（ＮＨ₃ ）２０００ｓｃｃｍ
（standard cubiccentimeter per minute）（２Ｌ／ｍ
ｉｎ）を窒素ガス４０ｓｌｐｍ（standardlitre per mi
nute ）で希釈した排ガスを、湿式スクラバー ＳＢＳ
−４ ＦＵ−３（セイコー化工機（株）製商品名）で処
理した。湿式スクラバーで用いた吸収液は、水道水で１
０００ｐｐｍ（０．１％）に希釈した塩酸（ＨＣｌ）水
溶液を酸性水溶液として１Ｌ／ｍｉｎの流量で循環させ
た。また、補充用として水道水を３００ｃｃ／ｍｉｎ、
１％ＨＣｌ水溶液を１ｍｌ／ｍｉｎの流量で添加した。

【００７３】気液接触の終わった排液を、陽イオン選択
透過膜を有する電気透析装置 ＤＷ−１型（旭硝子
（株）製商品名）に送って透析し、透過した廃陽イオン
液をアルカリ性水溶液として系外に排出し、得られた酸
性水溶液を吸収液として再度湿式スクラバーに送り、ア
ンモニアガスと気液接触させ、排液は再度、電気透析装
置に送って循環させた。この運転を連続して１００時間
行った結果、湿式スクラバー出口の排気中アンモニアガ
ス濃度は、終始、検出限度の０．５ｐｐｍ以下であり、
充分な除害性能を有していることが判った。

【００７４】尚、本発明は、上記実施形態に限定される
ものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の
特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一
な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかな
るものであっても本発明の技術的範囲に包含される。

【００７５】例えば、本発明の排ガス処理方法および処
理装置は、前述の半導体プロセス等のみに適用されるも
のではない。本発明の方法および装置によって無害化可
能な有害ガスを発生するプロセスは、本発明が適用でき
ることは言うまでもない。また、本発明でいう湿式スク
ラバーは、その名称に拘泥されるものではない。湿式で
排ガスを吸収、分解するものであれば、本発明の範囲で
あり、名称が充填塔、吸収塔等その他であっても、本発
明の範囲であることは言うまでもない。

【００７６】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、プロセス
より排出される排ガス中に含まれる有害ガスを、湿式ス
クラバーと電気透析装置の間を循環する吸収液と気液接
触させて分解吸収させれば、有害ガスのほぼ全量を無害
化することができ、有害ガスの排出量を著しく低減する
ことができると共に、安全性を確保して排ガス処理能力
の向上を図ることができる。また、従来の各種処理方法
と比較して設備費もランニングコストも低減化し、排ガ
ス処理のコストダウンを図ることもできる。さらに半導
体プロセスにおいては、本発明の排ガス処理方法ではア
ルカリ金属を使用しないでもよいので、汚染がなくな
り、従って排ガス処理装置の屋内設置も可能となり、屋
外設置の場合に問題となっていた配管の詰りや腐食等の
事故防止も容易になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の排ガス処理装置の構成例を示す概要図
である。

【符号の説明】

１…排ガス処理装置、 ２…湿式スクラバー、２ａ…酸
性水湿式スクラバー、 ２ｂ…アルカリ水湿式スクラバ
ー、３…気液接触部、 ４…吸収液散水管、 ４ａ…酸
性水溶液散水管、４ｂ…アルカリ性水溶液散水管、 ５
…排ガス導入管、６…吸収液循環ポンプ、 ６ａ…酸性
水溶液循環ポンプ、６ｂ…アルカリ性水溶液循環ポン
プ、 ７…吸収液供給管、８…水供給管、 ９…吸着
器、 １０…透析装置、１１…イオン選択透過膜（イオ
ン交換膜）、１１Ｃ…陽イオン選択透過膜（カチオン交
換膜）、１１Ａ…陰イオン選択透過膜（アニオン交換
膜）、１２…廃イオン液排出管。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ０１Ｄ 53/58 Ｆターム(参考） 4D002 AA08 AA13 AA14 AA18 AA22 AA23 AA26 AA27 AC10 BA02 BA04 BA20 CA01 CA07 CA13 DA07 DA26 DA70 GA02 GB02 GB09

Claims (15)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 有害ガスを無害化する排ガスの処理方法
   において、可燃性ガスおよび／または塩基性ガスを含有
   する排ガスを、吸収液と、湿式スクラバーで気液接触・
   分解吸収させ、該スクラバーで生成する排液を陽イオン
   選択透過膜を有する透析装置に送って透析し、吸収した
   陽イオンの一部または全部を系外に排出し、得られた処
   理液を吸収液として再び湿式スクラバーに送って循環さ
   せることを特徴とする排ガス処理方法。
2. 【請求項２】 前記循環する吸収液が、酸性水溶液であ
   ることを特徴とする請求項１に記載した排ガス処理方
   法。
3. 【請求項３】 前記酸性水溶液が酸性電解水またはハロ
   ゲン化水素水溶液であることを特徴とする請求項２に記
   載した排ガス処理方法。
4. 【請求項４】 前記吸収液で分解吸収される有害ガス
   が、シラン、フォスフィン、ジボラン、ＴＥＯＳ、ＴＭ
   ＯＰ、ＴＭＯＢ、一酸化炭素、アンモニア、ＴＤＭＡ
   Ｔ、ＴＤＥＡＴ、ジメチルアミン、ジエチルアミン、メ
   チルアミン、エチルアミン、あるいはこれらの内２種以
   上が混入する可燃性ガスおよび／または塩基性ガスであ
   ることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか
   １項に記載した排ガス処理方法。
5. 【請求項５】 有害ガスを無害化する排ガスの処理方法
   において、酸性ガスおよび／または支燃性ガスを含有す
   る排ガスを、吸収液と、湿式スクラバーで気液接触・分
   解吸収させ、該スクラバーで生成する排液を陰イオン選
   択透過膜を有する透析装置に送って透析し、吸収した陰
   イオンの一部または全部を系外に排出し、得られた処理
   液を吸収液として再び湿式スクラバーに送って循環させ
   ることを特徴とする排ガス処理方法。
6. 【請求項６】 前記循環する吸収液が、アルカリ性水溶
   液であることを特徴とする請求項５に記載した排ガス処
   理方法。
7. 【請求項７】 前記アルカリ性水溶液が、アンモニア
   水、アルカリ性電解水または有機塩基水溶液であること
   を特徴とする請求項６に記載した排ガス処理方法。
8. 【請求項８】 前記有機塩基が、脂肪族第１アミン、脂
   肪族第２アミン、脂肪族第３アミン、これらの水和物、
   水酸化第４アンモニウム、あるいはこれらの内から選択
   された２種以上の混合物であることを特徴とする請求項
   ７に記載した排ガス処理方法。
9. 【請求項９】 前記有機塩基水溶液が、有機塩基を含有
   するアルカリ性ポジ型フォトレジスト現像液の廃液であ
   ることを特徴とする請求項７または請求項８に記載した
   排ガス処理方法。
10. 【請求項１０】 前記吸収液で分解吸収される有害ガス
    が、塩化水素、フッ化水素、臭化水素、四塩化ケイ素、
    四フッ化ケイ素、四臭化ケイ素、三塩化ホウ素、塩素、
    フッ素、臭素、三フッ化窒素、三フッ化塩素、亜酸化窒
    素あるいはこれらの内２種以上が混入する酸性ガスおよ
    び／または支燃性ガスであることを特徴とする請求項５
    ないし請求項９のいずれか１項に記載した排ガス処理方
    法。
11. 【請求項１１】 前記透析は、電気透析をすることを特
    徴とする請求項１ないし請求項１０のいずれか１項に記
    載した排ガス処理方法。
12. 【請求項１２】 有害ガスを無害化する排ガスの処理装
    置において、少なくとも、吸収液を、有害ガスと気液接
    触・分解吸収する湿式スクラバーと該スクラバーの排液
    を吸収液と廃イオン液に透析分離するイオン選択透過膜
    を有する透析装置との間を循環させて成ることを特徴と
    する排ガス処理装置。
13. 【請求項１３】 前記排ガス処理装置において、少なく
    とも吸収液として酸性水溶液を、有害ガスと気液接触・
    分解吸収する湿式スクラバーと該スクラバーの排液を吸
    収液と廃イオン液に透析分離する陽イオン選択透過膜を
    有する透析装置との間を循環させて成ることを特徴とす
    る請求項１２に記載した排ガス処理装置。
14. 【請求項１４】 前記排ガス処理装置において、少なく
    とも吸収液としてアルカリ性水溶液を、有害ガスと気液
    接触・分解吸収する湿式スクラバーと該スクラバーの排
    液を吸収液と廃イオン液に透析分離する陰イオン選択透
    過膜を有する透析装置との間を循環させて成ることを特
    徴とする請求項１２または請求項１３に記載した排ガス
    処理装置。
15. 【請求項１５】 前記透析装置が、電気透析装置である
    ことを特徴とする請求項１２ないし請求項１４のいずれ
    か１項に記載した排ガス処理装置。