JP2001144506A - 同調周波数フィルタ - Google Patents

同調周波数フィルタ

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JP2001144506A
JP2001144506A JP32267499A JP32267499A JP2001144506A JP 2001144506 A JP2001144506 A JP 2001144506A JP 32267499 A JP32267499 A JP 32267499A JP 32267499 A JP32267499 A JP 32267499A JP 2001144506 A JP2001144506 A JP 2001144506A
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JP
Japan
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linear conductor
semiconductor substrate
detection circuit
frequency filter
tuning frequency
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JP32267499A
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Inventor
Shuji Nojima
修二 野嶋
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Advantest Corp
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Advantest Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 検波回路と可変同調フィルタとの接続の電気
長を短くした同調周波数フィルタを提供する。 【解決手段】 半導体基板10の表面に形成された検波
回路11と、半導体基板10の表面に形成され、検波回
路11に接続された第1線状導体12と、半導体基板の
裏面に配置される第2線状導体32と接する第2線状導
体受容部14と、第1線状導体12と第2線状導体受容
部14との間に配置された静磁モードフェライト単結晶
球16と、を備え、検波回路11と第1線状導体12と
が半導体基板10の同一平面上に形成されているため、
検波回路11と第1線状導体12との接続電気長を短く
できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は同調周波数フィルタ
に関し、特にフィルタリングの対象となる信号を出力す
る検波回路と同調周波数フィルタとの電気長を短くした
同調周波数フィルタに関する。
【0002】
【従来の技術】検波器(ディテクタ)は、入力された交
流信号の電力の関数で単調増加あるいは減少する直流信
号(例えば直流電圧信号)を出力する回路である。被検
波信号の周波数は通常未定なので、ディテクタは広帯域
の入力が可能なように設計される。
【0003】図3に、複数のスペクトルを含む入力信号
をディテクタに入力したときの出力を示す。図3に示す
ように、検波器50により、各周波数の電力P1、P
2、P3、P4…に対応した直流信号f(P1)、f
(P2)、f(P3)、f(P4)…を加算した信号が
出力される。よって、ある特定の周波数の電力Pn(例
えばP1)を検波したければ、フィルタを使用して、入
力信号から特定の周波数の信号のみをとりだす。
【0004】ここで、検波器に入力される信号が1オク
ターブ以上にわたって掃引されるような場合、通過域が
固定されたフィルタでは高調波の抑圧が困難となる。そ
こで、同調周波数を可変とした可変同調フィルタを使用
する。
【0005】図4に、可変同調フィルタを検波器に接続
したときの出力を示す。図4に示すように、可変同調フ
ィルタを設けると、電力P2、P3、P4…に対応した
周波数の信号がカットされて、検波器に入力されてい
る。検波器50は可変同調フィルタ52に伝送線路54
により接続されている。検波器50は半導体で構成さ
れ、可変同調フィルタ52は電磁石と静磁モード磁性体
を持つ電気磁気回路で構成される。よって、検波器50
と可変同調フィルタ52とは別々の部品またはモジュー
ルで構成されるので、伝送線路54により接続すること
になる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、伝送線
路54による接続は損失を生み、高周波では無視できな
い存在となる。また、伝送線路54の電気長が長いと増
幅器50と可変同調フィルタ52との間に定在波が立
ち、検波器50と可変同調フィルタ52との組み合わせ
の性能を大きく劣化させる。
【0007】そこで、本発明は、検波回路と可変同調フ
ィルタとの接続の電気長を短くした同調周波数フィルタ
を提供することを課題とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記課題に鑑み、請求項
1に記載の発明は、半導体基板の表面に形成された第1
線状導体と、表面に形成され、第1線状導体からの出力
を入力とする入力回路と、半導体基板の裏面に配置され
る第2線状導体と接する第2線状導体受容部と、第1線
状導体と第2線状導体受容部との間に配置されたフェラ
イト結晶部材と、を備えるように構成される。
【0009】以上のように構成された同調周波数フィル
タは、入力回路と第1線状導体とが半導体基板の同一平
面上に形成されているため、入力回路と第1線状導体と
の接続電気長を短くできる。
【0010】上記課題に鑑み、請求項2に記載の発明
は、請求項1に記載の発明であって、入力回路は検波回
路であるように構成される。
【0011】上記課題に鑑み、請求項3に記載の発明
は、請求項1または2に記載の発明であって、フェライ
ト結晶部材は球体であるように構成される。
【0012】上記のように構成された同調周波数フィル
タは、穴または窪みにフィットして位置決めがしやすく
なる。
【0013】上記課題に鑑み、請求項4に記載の発明
は、請求項1から3のいずれか一項に記載の発明であっ
て、フェライト結晶部材は前記半導体基板に設けられた
穴または窪みの中に格納されるように構成される。
【0014】上記のように構成された同調周波数フィル
タは、フェライト結晶部材が穴または窪みにより位置決
めされるので製造上のばらつきが少なく再現性にすぐれ
る。
【0015】上記課題に鑑み、請求項5に記載の発明
は、請求項4に記載の発明であって、第1線状導体は穴
または窪みに沿って配置されるように構成される。
【0016】上記のように構成された同調周波数フィル
タは、穴または窪みに格納されたフェライト結晶部材に
沿って第1線状導体が配置されるため、フェライト結晶
部材の影響が強くなり、同調周波数の調整が容易にな
る。しかも、第1線状導体がフェライト結晶部材の格納
の妨げにならないため、フェライト結晶部材の格納がし
やすい。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。
【0018】まず、本発明の実施の形態に係る可変同調
フィルタの構成を説明する。図1は、本発明の実施の形
態に係る可変同調フィルタの構成を示した斜視図であ
る。図2は、可変同調フィルタを部品配置用基板に配置
したときの斜視図である。
【0019】可変同調フィルタ1は、半導体基板10、
検波回路11、第1結合線状導体12、裏面メタル1
3、第2結合線状導体受容部14、静磁モードフェライ
ト単結晶球16、フェライト球格納穴18、接地用ヴィ
アホール19を備える。
【0020】検波回路11は半導体基板10の表面に形
成されている。検波回路11は出力端子22、入力端子
24を備える。第1結合線状導体12は2本の線状導体
であり、その中央部分では大きく離れており、その一方
の端部において一体となり、入力端子24に接続する。
また、第1結合線状導体12の他方の端部において一体
となり、接地用ヴィアホール19に接続する。接地用ヴ
ィアホール19は第1結合線状導体12を接地するため
のものである。
【0021】第2結合線状導体受容部14は、半導体基
板10の裏面に配置される第2結合線状導体32と接す
る。第2結合線状導体32は部品配置用基板30上にあ
る導体パターン31にあり(図2参照)、部品配置用基
板30上に可変同調フィルタ1が配置されている。な
お、部品配置用基板30上には第2結合線状導体32と
隣り合わせて入力用伝送線路34が配置されている。
【0022】図1に戻り、フェライト球格納穴18は、
第1結合線状導体12の中央部分の大きく離れた部分に
あけられている。なお、フェライト球格納穴18は半導
体基板10を貫通しているが、貫通しないいわば窪みの
ようなものでもよい。静磁モードフェライト単結晶球1
6は、フェライト球格納穴18に格納されている。裏面
メタル13は、半導体基板10の裏面に形成されてい
る。
【0023】次に、本発明の実施の形態に係る可変同調
フィルタの動作を説明する。入力用伝送線路34に検波
されるべき電気信号が与えられると、電磁誘導により第
2結合線状導体32に電流が流れる。すると、電磁誘導
により第1結合線状導体12にも電流が流れる。
【0024】ここで、半導体基板10の表面から裏面の
方向へ静磁界をかける。すると、静磁モードフェライト
単結晶球16により、第1結合線状導体12と第2結合
線状導体32との間のインダクタンスが静磁界に応じて
決定される。よって、静磁界の強さを変更することで、
第1結合線状導体12と第2結合線状導体32との間の
インダクタンスを変更でき、同調周波数を変更できるた
め、可変同調フィルタとして機能する。
【0025】第1結合線状導体12に流れる電流は入力
端子24を介して検波回路11に与えられる。第1結合
線状導体12に流れる電流は、所望の周波数の信号のみ
が取り出されている。そして、検波回路11は検波して
直流信号を出力端子22に出力する。
【0026】本発明の実施の形態によれば、検波回路1
1と第1結合線状導体12とが、半導体基板10の表面
に配置されているので、検波回路11と第1結合線状導
体12との接続の電気長が短くできる。
【0027】しかも、静磁モードフェライト単結晶球1
6は、静磁モードフェライト単結晶であるため、所望の
周波数以外の成分を抑圧できるため不要な周波数成分を
良く取り除いた信号を出力できる。
【0028】さらに、静磁モードフェライト単結晶球1
6は、フェライト球格納穴18により位置決めされるた
め製造上のばらつきが少なく再現性にすぐれる。また、
静磁モードフェライト単結晶球16は、球体であるた
め、フェライト球格納穴18にフィットしやすい。しか
も、フェライト球格納穴18に格納された静磁モードフ
ェライト単結晶球16に沿って第1線状導体12が配置
されるため、静磁モードフェライト単結晶球16の影響
が強くなり、同調周波数の調整が容易になる。しかも、
第1線状導体12が静磁モードフェライト単結晶球16
の格納の妨げにならないため、静磁モードフェライト単
結晶球16の格納がしやすい。
【0029】
【発明の効果】本発明によれば、出力回路と第1線状導
体とが半導体基板の同一平面上に形成されているため、
出力回路と第1線状導体との接続電気長を短くできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係る可変同調フィルタの
構成を示した斜視図である。
【図2】本発明の実施の形態に係る可変同調フィルタを
部品配置用基板に配置したときの斜視図である。
【図3】従来技術における周波数fの信号を増幅器に入
力したときの出力を示す図である。
【図4】従来技術における可変同調フィルタを検波回路
に接続したときの出力を示す図である。
【符号の説明】
1 可変同調フィルタ 10 半導体基板 11 検波回路 12 第1結合線状導体 14 第2結合線状導体受容部 16 静磁モードフェライト単結晶球 18 フェライト球格納穴 32 第2結合線状導体

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】半導体基板の表面に形成された第1線状導
    体と、 前記表面に形成され、前記第1線状導体からの出力を入
    力とする入力回路と、 前記半導体基板の裏面に配置される第2線状導体と接す
    る第2線状導体受容部と、 前記第1線状導体と前記第2線状導体受容部との間に配
    置されたフェライト結晶部材と、 を備えた同調周波数フィルタ。
  2. 【請求項2】前記入力回路は検波回路である請求項1に
    記載の同調周波数フィルタ。
  3. 【請求項3】前記フェライト結晶部材は球体である請求
    項1または2に記載の同調周波数フィルタ。
  4. 【請求項4】前記フェライト結晶部材は前記半導体基板
    に設けられた穴または窪みの中に格納されている請求項
    1から3のいずれか一項に記載の同調周波数フィルタ。
  5. 【請求項5】前記第1線状導体は前記穴または前記窪み
    に沿って配置されている請求項4に記載の同調周波数フ
    ィルタ。
JP32267499A 1999-11-12 1999-11-12 同調周波数フィルタ Withdrawn JP2001144506A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022202326A1 (ja) 2021-03-22 2022-09-29 株式会社 東芝 半導体装置及びその位相特性調整方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Effective date: 20070206