JP2001144422A - 導電性ボール搭載装置におけるフラックス供給装置 - Google Patents

導電性ボール搭載装置におけるフラックス供給装置

Info

Publication number
JP2001144422A
JP2001144422A JP31965899A JP31965899A JP2001144422A JP 2001144422 A JP2001144422 A JP 2001144422A JP 31965899 A JP31965899 A JP 31965899A JP 31965899 A JP31965899 A JP 31965899A JP 2001144422 A JP2001144422 A JP 2001144422A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
flux
tank
solder ball
squeegee
conductive ball
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP31965899A
Other languages
English (en)
Inventor
Koji Sajiki
浩司 桟敷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Via Mechanics Ltd
Original Assignee
Hitachi Via Mechanics Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Via Mechanics Ltd filed Critical Hitachi Via Mechanics Ltd
Priority to JP31965899A priority Critical patent/JP2001144422A/ja
Publication of JP2001144422A publication Critical patent/JP2001144422A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】フラックス槽内に落下したはんだボールに影響
されることなく、確実にフラックスを供給することがで
きるようにしたフラックス供給装置を提供する。 【解決手段】導電性ボール搭載装置におけるフラックス
供給装置において、回転可能に支持されたフラックス槽
6と、前記フラックス槽6の回転により所定の厚さのフ
ラックス4の膜を形成するスキージ12と、前記フラッ
クス槽6の回転により、フラックス槽6とスキージ12
の間から流出するフラックス4の流れの下流側の所定の
位置に、下流側の端部がフラックス槽6に底面と接触
し、上流側にフラックス槽6の底面との間に前記導電性
ボールの直径より大きい間隙が形成され、フラックス4
中に混入してくる導電性ボールを捕捉する捕捉板17を
設けた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、BGA(Ball
Grid Array)、CSP(ChipSize
Packge または、Chip Scale Pa
ckage)など、導電性ボールを実装基板との接続材
として用いるパッケージにはんだボールを整列搭載する
ためのはんだボール搭載装置におけるフラックス供給装
置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図5に示すように、パッケージ1の下面
(図では上面)に形成された接続端子2に、はんだボー
ルに代表される導電性ボール(以下はんだボールとい
う)3をフラックス4の粘着力により保持し搭載する装
置として、たとえば、図6に示すようなはんだボール搭
載装置が提案されている。
【0003】このはんだボール搭載装置は、容器5内に
貯留した複数個のはんだボール3を圧縮ガスを吹き上げ
て浮遊させるようにしたはんだボール供給部Aと、フラ
ックス槽6内で所定の厚さに掻き均されたフラックス4
を供給するフラックス供給部Bと、はんだボール3を搭
載すべきパッケージ1を位置決めする搭載部Cと、前記
パッケージ1のはんだボール3を搭載する接続端子2の
配列と同じ配列で複数の吸着穴が形成され、配管7を介
して真空源8に接続された整列マスク9と、この整列マ
スク9を前記ボール供給部A、フラックス供給部Bおよ
び搭載部Cの順に順次移動させる搬送装置Dとを備えて
いる。
【0004】搬送装置Dにより、図7に示すように、整
列マスク9をボール供給部A上に位置決めした状態で、
真空源8から配管7を通して整列マスク9に真空圧を供
給するとともに、容器5の底部から圧縮ガスを吹き出さ
せて内部のはんだボール3を整列マスク9に向けて吹き
上げて浮遊させ、整列マスク9の吸着穴9aにはんだボ
ール3を吸着させる。
【0005】整列マスク9に所定数のはんだボール3が
吸着されると、搬送装置Dは、図8に示すように、整列
マスク9をフラックス供給部Bの上方に移動させた後、
図9に示すように、整列マスク9を下降させ、整列マス
ク9に吸着されたはんだボール3の下端部をフラックス
4に浸漬させ、はんだボール3にフラックス4を塗布さ
せる。
【0006】はんだボール3にフラックス4が塗布され
ると、搬送装置Dは、図10に示すように、整列マスク
9を搭載部Cの上方に、はんだボール3がパッケージ1
の接続端子2と対向するように移動させた後、はんだボ
ール3をパッケージ1の接続端子2に押し付ける。
【0007】そして、整列マスク9に供給されている真
空圧を遮断し、整列マスク9からはんだボール3を解放
してパッケージ1にはんだボール3を搭載する。このと
き、前記図5に示すように、はんだボール3は、フラッ
クス4の粘着力によりパッケージ1の接続端子2に保持
される。
【0008】はんだボール3を保持したパッケージ1を
加熱(リフロー)することにより、はんだボール3を溶
かし、たとえば、100〜3000個のはんだバンプ
(接続用突起)を一度に形成する。
【0009】このようなはんだボール搭載装置に使用さ
れるフラックス供給装置として、たとえば、図11に示
すようなフラックス供給装置が提案されている。
【0010】回転可能に配置されたフラックス槽6は、
モータ10により間欠回転される。スタンド11に移動
可能に支持されたスキージ12は、マイクロメータヘッ
ド13の設定によりスラックス槽6の底面との間隙が設
定される。
【0011】そして、フラックス槽6を回転させること
により、スキージ12でフラックス槽6内のフラックス
4を掻き均し、所要の厚さでフラックス4の膜を形成す
るようになっている。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】前記のようなはんだボ
ール搭載装置では、希に、整列マスク9に支持されたは
んだボール3が、その搬送時の振動あるいはフラックス
4の粘着力などによってフラックス槽6内に落下するこ
とがある。
【0013】フラックス槽6内に落下したはんだボール
3は、フラックス槽6の回転によりフラックス4ととも
に移動するため、スキージ12まで移動してスキージ1
2の先端に引っ掛かりあるいは、貼り付いたりすること
がある。すると、スキージ12で掻き均されるフラック
ス4の表面にはんだボール3による溝が形成される。
【0014】フラックス4の表面に溝が形成されると、
図9に示すように、整列マスク9に保持されたはんだボ
ールの下端部を浸漬した場合、フラックス4が付着しな
いあるいは付着量が少ないはんだボール3が発生する。
はんだボール3に対するフラックス4の付着量が少ない
と、パッケージ1に搭載されたとき、フラックス4の粘
着力によるはんだボール3の保持力が小さくなり、はん
だボール3の保持が不安定になるだけでなく、リフロー
工程におけるはんだ表面の酸化物の除去が不完全とな
り、はんだ付け不良が発生する。
【0015】上記の事情に鑑み、本発明の目的は、フラ
ックス槽内にはんだボールが落下しても、落下したはん
だボールに影響されることなく、確実にフラックスを供
給することができるようにしたはんだボール搭載装置に
おけるフラックス供給装置を提供することにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
め、本出願の発明は、回転可能に支持され、ゲル状のフ
ラックスを収容するフラックス槽と、フラックス槽の底
面と所定の間隔で配置され、前記フラックス槽の回転に
より所定の厚さのフラックス膜を形成するスキージとを
備え、パッケージに形成された接続端子に導電性ボール
を搭載する際にフラックスを供給するようにしたはんだ
ボール搭載装置におけるフラックス供給装置において、
前記フラックス槽の回転により、フラックス槽とスキー
ジの間から流出するフラックスの流れの下流側の所定の
位置に、下流側の端部がフラックス槽に底面と接触し、
上流側にフラックス槽の底面との間に前記はんだボール
の直径より大きい間隙が形成され、フラックス中に混入
してくるはんだボールを捕捉する捕捉手段を設けた。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図1ないし図4は、本発明の実施
の形態を示すもので、図1は、本発明によるフラックス
塗布装置の斜視図、図2は、図1における捕捉手段の側
面図、図3は、図1におけるフラックスの流れを示す平
面図、図4は、図1における捕捉手段の要部を示す側面
断面である。
【0018】図1ないし図4において、図11と同じも
のは同じ符号を付けて示してある。14はブロックで、
スタンド11に固定されている。15はシャフトで、ブ
ロック14に固定されたブッシュ16に摺動可能に貫通
している。17は捕捉板で、シャフト15の下端に固定
されている。18はばねで、ブロック14と捕捉板17
の間に位置するようにシャフト15に装着され、捕捉板
17をフラックス槽6の底面に押し付ける。
【0019】前記捕捉板17は、図3に示すように、フ
ラックス槽6とスキージ12の間から流出するフラック
ス4の流れの下流側に、スキージ12との角度αの線か
ら距離aだけ離れた位置に配置される。たとえば、フラ
ックス槽6の直径が350mmの場合、前記角度αを2
00度±10度、前記距離aを60mm±10mm程度
に設定することができる。
【0020】また、捕捉板17のフラックス槽6との対
向面は、図4に示すように、その上流側の間隙gがパッ
ケージに搭載するはんだボール3の直径の数倍になるよ
うに、角度θ、長さlに形成されている。たとえば、は
んだボール3の直径が0.3mmの場合、前記角度θを
25度程度、前記長さlを10ないし15mm程度の設
定することができる。
【0021】さらに、捕捉板17の下流側は、1平方m
m当たり0.1kg程度の圧力でフラックス槽6の底面
に接触している。
【0022】このような構成で、フラックス槽6が矢印
方向に回転すると、フラックス槽6に供給されたフラッ
クス4は、スキージ12により所要の厚さの膜状に掻き
均されて、フラックス槽6とスキージ12の間から流出
する。
【0023】フラックス槽6の回転により、フラックス
槽6の底面とスキージ12の間から流出したフラックス
4が捕捉板17に達すると、フラックス4は捕捉板17
で堰き止められる。そして、順次捕捉板17に送り込ま
れるフラックス4により、図4に示すように、フラック
ス4は対流しながらスキージ12へと戻される。
【0024】このとき、図2に示すように、フラックス
4上に落下したはんだボール3が捕捉板17に送り込ま
れると、フラックス4の対流によりはんだボール3はフ
ラックス4の中に沈み込み、やがてフラックス槽6と捕
捉板17の間の狭い隙間に入り込み捕捉される。
【0025】フラックス4は、使用している間にその物
理的性質が変化するため、通常は1日ないし20日(使
用するフラックスの種類、管理状況により異なる)ごと
に、交換する。このとき、フラックス槽6と捕捉板17
の間に捕捉されたはんだボール3を廃棄するフラックス
4とともに取り出すことができる。
【0026】前記はんだボール搭載装置の整列マスクか
らフラックス4上に落下するはんだボールの3数は、1
日10個以下である。したがって、前記フラックス槽6
と捕捉板17の間の狭い隙間であっても十分はんだボー
ルを捕捉しておくことができる。
【0027】
【発明の効果】以上述べたごとく、本発明によれば、回
転可能に支持され、ゲル状のフラックスを収容するフラ
ックス槽と、フラックスと所定の間隔で配置され、前記
フラックス槽の回転により所定の厚さのフラックス膜を
形成するスキージとを備え、パッケージに形成された接
続端子に導電性ボールを搭載する際にフラックスを供給
するようにした導電性ボール搭載装置におけるフラック
ス供給装置において、前記フラックス槽の回転により、
フラックス槽とスキージの間から流出するフラックスの
流れの下流側の所定の位置に、下流側の端部がフラック
ス槽に底面と接触し、上流側にフラックス槽の底面との
間に前記導電性ボールの直径より大きい間隙が形成さ
れ、フラックス中に混入してくる導電性ボールを捕捉す
る捕捉手段を設けたので、フラックス内へのはんだボー
ルの混入によるフラックスの未供給や供給不足を未然に
防止することができる。したがって、フラックスの不足
によるバンプの形成不良をなくすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるフラックス塗布装置の斜視図。
【図2】図1における捕捉手段の側面図。
【図3】図1におけるフラックスの流れを示す平面図。
【図4】図1における捕捉手段の要部を示す側面断面。
【図5】パッケージにはんだボールを搭載した状態を示
す拡大図。
【図6】従来のはんだボール搭載装置の構成を示す構成
図。
【図7】はんだボール搭載装置におけるはんだボールの
搭載工程を示す工程図。
【図8】はんだボール搭載装置におけるはんだボールの
搭載工程を示す工程図。
【図9】はんだボール搭載装置におけるはんだボールの
搭載工程を示す工程図。
【図10】はんだボール搭載装置におけるはんだボール
の搭載工程を示す工程図。
【図11】従来のはんだボール搭載装置に使用されるフ
ラックス供給装置の斜視図。
【符号の説明】
1…パッケージ、2…接続端子、3…はんだボール、4
…フラックス、6…フラックス槽、12…スキージ、1
7…捕捉板。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】回転可能に支持され、ゲル状のフラックス
    を収容するフラックス槽と、フラックス槽の底面と所定
    の間隔で配置され、前記フラックス槽の回転により所定
    の厚さのフラックス膜を形成するスキージとを備え、パ
    ッケージに形成された接続端子に導電性ボールを搭載す
    る際にフラックスを供給するようにした導電性ボール搭
    載装置におけるフラックス供給装置において、前記フラ
    ックス槽の回転により、フラックス槽とスキージの間か
    ら流出するフラックスの流れの下流側の所定の位置に、
    下流側の端部がフラックス槽の底面と接触し、上流側に
    フラックス槽の底面との間に前記導電性ボールの直径よ
    り大きい間隙が形成され、フラックス中に混入してくる
    導電性ボールを捕捉する捕捉手段を設けたことを特徴と
    する導電性ボール搭載装置におけるフラックス供給装
    置。
JP31965899A 1999-11-10 1999-11-10 導電性ボール搭載装置におけるフラックス供給装置 Withdrawn JP2001144422A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP31965899A JP2001144422A (ja) 1999-11-10 1999-11-10 導電性ボール搭載装置におけるフラックス供給装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP31965899A JP2001144422A (ja) 1999-11-10 1999-11-10 導電性ボール搭載装置におけるフラックス供給装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001144422A true JP2001144422A (ja) 2001-05-25

Family

ID=18112766

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP31965899A Withdrawn JP2001144422A (ja) 1999-11-10 1999-11-10 導電性ボール搭載装置におけるフラックス供給装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001144422A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007149825A (ja) * 2005-11-25 2007-06-14 Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd フラックス転写装置
JP2007207858A (ja) * 2006-01-31 2007-08-16 Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd フラックス転写装置
CN104051283A (zh) * 2013-03-11 2014-09-17 株式会社东芝 糊料供给单元

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007149825A (ja) * 2005-11-25 2007-06-14 Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd フラックス転写装置
JP2007207858A (ja) * 2006-01-31 2007-08-16 Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd フラックス転写装置
CN104051283A (zh) * 2013-03-11 2014-09-17 株式会社东芝 糊料供给单元

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100983253B1 (ko) 도전성 볼의 탑재 방법 및 탑재 장치
JP3803556B2 (ja) ボール転写装置およびボール整列装置
JP5021473B2 (ja) プリント配線板の製造方法
US20050056681A1 (en) Method of locating conductive spheres utilizing screen and hopper of solder balls
US7833897B2 (en) Process for making interconnect solder Pb-free bumps free from organo-tin/tin deposits on the wafer surface
JPH118272A (ja) 微小金属ボールの配列方法
US6869008B2 (en) Method of forming bumps
JP2001144422A (ja) 導電性ボール搭載装置におけるフラックス供給装置
JP3540901B2 (ja) 電極へのフラックス転写方法及びバンプの製造方法
US6402014B1 (en) Method of forming bumps
JP3419554B2 (ja) 半導体装置の製造方法および製造装置
JPH02278831A (ja) はんだバンプの形成方法
JP3666468B2 (ja) 電子部品実装装置および電子部品実装方法
JP3360435B2 (ja) 電子回路装置の製造方法
JP4505783B2 (ja) 半田バンプの製造方法及び製造装置
JP3970566B2 (ja) 導電性ボール搭載装置
JP3971954B2 (ja) 微小球体の液体による整列方法、バンプ電極形成方法、および微小球体整列装置
JP3184699B2 (ja) 微小ハンダの分離方法
JP4092707B2 (ja) 導電性ボールの搭載方法および搭載装置
JPH11135552A (ja) 半導体装置製造方法
JPH08203904A (ja) はんだバンプ形成方法
JP2001291740A (ja) 半導体素子の実装方法
JP2000332043A (ja) 導電性ボール搭載装置における導電性ボールの供給装置
JPH08148819A (ja) ボール半田の実装方法
JP4618549B2 (ja) バンプ形成方法

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20070206