JP2001143610A - ガス放電型表示装置およびその製造方法 - Google Patents

ガス放電型表示装置およびその製造方法

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JP2001143610A
JP2001143610A JP32401299A JP32401299A JP2001143610A JP 2001143610 A JP2001143610 A JP 2001143610A JP 32401299 A JP32401299 A JP 32401299A JP 32401299 A JP32401299 A JP 32401299A JP 2001143610 A JP2001143610 A JP 2001143610A
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JP
Japan
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electrode
substrate
gas discharge
groove
dielectric layer
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Application number
JP32401299A
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English (en)
Inventor
Hiroshi Watanabe
拓 渡邉
Masaki Aoki
正樹 青木
Hiroyuki Yonehara
浩幸 米原
Sadao Uemura
貞夫 植村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ガス放電表示型装置において、表示電極上の
誘電体の膜厚に厚さ分布が生じ、誘電体の耐電圧が低く
なる。 【解決手段】 ガラス基板に所定パターンの溝を形成
し、その溝内に電極材料を埋め込み、その上に誘電体層
を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はガス放電型表示装置
およびその製造方法に関わり、特に高耐電圧の誘電体層
を形成することにより、ガス放電型表示装置の誘電体層
が放電中にスパークを起して絶縁破壊することを防ぐこ
とを目的としている。
【０００２】
【従来の技術】近年、薄型に適した表示装置として注目
されているプラズマディスプレイパネルは、例えば、図
３に示す構成を有する。
【０００３】このプラズマディスプレイパネルは互いに
対向して配置された前面基板３００と背面基板３０１と
を備えている。前面基板３００の上には、表示電極３０
２、３０３、誘電体層３０４、及びＭｇＯ誘電体保護層
３０５が順に形成されている。
【０００４】また、背面基板３０１の上には、アドレス
電極３０６及び誘電体層３０７が形成されており、その
上には、更に隔壁３０８が形成され、隔壁３０８の側面
には蛍光体層３０９が塗布されている。
【０００５】前面基板３００と背面基板３０１との間に
は放電ガス３１０が、所定の圧力で封入されている。こ
の放電ガス３１０を表示電極３０２、３０３の間で放電
させて紫外線を発生させ、その紫外線を蛍光体層３０９
に照射することによって、カラー表示を含む画像表示が
可能となる。
【０００６】尚、実際は一方の基板を９０度回転させた
構造であり、電極３０２と電極３０６は交差するように
配置されている。
【０００７】また、従来の表示電極は、銀電極やＣｒ−
Ｃｕ−Ｃｒ電極が用いられている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】Ｃｒ−Ｃｕ−Ｃｒ電極
は薄膜プロセスで 形成するため膜厚を薄くできる反
面、真空プロセスのためにコスト高になることが問題で
あった。
【０００９】一方、Ａｇ電極は厚膜プロセスのため低コ
ストであるが膜厚が６〜８μｍと厚い。電極の上に形成
する誘電体の厚さはこのＡｇ電極の厚さに追従するため
に、誘電体に厚さ分布が生じる。
【００１０】このために薄いところは厚いところと比べ
て誘電体の耐電圧が低くなり、パネルの耐電圧を低くす
るという問題があった。
【００１１】本発明では電極による誘電体膜厚の凹凸を
なくし、誘電体の実効的な膜厚を均一にすることで誘電
体の絶縁耐圧を向上させ、高品質なガス放電型表示装置
を製造することを目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は、前面ガラスに
溝を形成し、その中へ表示電極を形成することを特徴と
する。
【００１３】また、溝を形成する方法としてサンドブラ
スト法を用いることを特徴とする。
【００１４】また、溝のなかに電極を形成した後、電極
と誘電体層の間に電極保護層を形成することを特徴とす
る。
【００１５】
【発明の実施の形態】誘電体層を形成するまでの工程を
図１にしたがって説明する。
【００１６】前面板となるガラス基板１０１を洗浄した
後、感光性被覆層を厚さ５０μｍのネガ型ドライフィル
ムレジスト１０２をラミネートして形成する（ｂ）。
【００１７】このドライフィルムにフォトマスクを用い
て開口幅１００μｍのパターンを形成する（ｃ）。
【００１８】次に基板上面からサンドブラスト法１０３
によって基板にガラスビーズを当てる。この際、ドライ
フィルムレジストの開口部にガラスビーズが当たり、ガ
ラス基板に溝１０４を掘る。本実施の形態では溝深さが
１０μｍとなるようサンドブラストした（ｄ）。
【００１９】サンドブラスト後、基板を剥離液に浸水し
てドライフィルムレジストを剥離した（ｅ）。
【００２０】次に、サンドブラストによって形成した溝
に印刷法によって、表示電極となる電極材料１０５を印
刷法によって埋め込んだ。電極材料は銀ペーストを用い
た（ｆ）。
【００２１】電極材料を焼成した後、誘電体層を印刷法
によって形成した。印刷、乾燥を５回繰り返した後、ガ
ラス軟化点付近で焼成し、焼成後同様な工程を繰り返し
て最終膜厚を約４０μｍとした（ｇ）。
【００２２】誘電体がガラス軟化点よりも更に高い温度
で焼成するペーストの場合、誘電体焼成工程で電極材料
が誘電体層に拡散してしまう。これを防ぐために、図２
に示すように、電極２０２が誘電体２０４とが直接接触
しないよう、基板上に電極保護層２０３を形成した。
【００２３】本実施の形態では、電極保護層として、ス
ピンコータ法によりシリカ層を形成した。
【００２４】電極が溝に埋まっているために基板面は平
坦であり、そのためにシリカ層を均一に形成することが
でき、電極材料拡散防止と高耐圧の誘電体層を形成する
ことができた。
【００２５】なお、本実施の形態では、電極材料として
Ａｇ、電極保護層としてシリカ層を用いたが、これらの
材料に限られるものではなく、電極材料としては、銅ま
たはアルミニウムを用いることできる。
【００２６】
【発明の効果】以上のように本発明によればプラズマデ
ィスプレイの誘電体層に球状化したガラス成分を用いる
ことで高耐電圧な誘電体層を形成することができ、高品
位なガス放電型表示装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】誘電体層を形成するまでの工程図
【図２】基板上に電極保護層を形成した図
【図３】従来のガス放電表示装置の構成図
【符号の説明】
１０１ 前面板ガラス １０２ ドライフィルムレジスト １０３ サンドブラスト法 １０４ 溝 １０５ 表示電極 １０６ 誘電体層 ２０１ 前面板ガラス ２０２ 表示電極 ２０３ 電極保護層 ２０４ 誘電体層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｊ 11/02 Ｈ０１Ｊ 11/02 Ｂ (72)発明者 米原 浩幸 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 植村 貞夫 大阪府高槻市幸町１番１号 松下電子工業 株式会社内 Ｆターム(参考） 5C027 AA01 AA05 5C040 FA01 FA04 GA03 GB03 GB14 GC19 GD09 GE01 JA12 JA17 MA10 MA23 5C094 AA23 AA43 AA55 BA31 CA19 DA13 DA15 DB04 EA04 EB02 FA01 FA02 FB02 FB12 FB16 GB10

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】基板、電極、誘電体層を有するガス放電型
    表示装置の製造方法において、基板に溝を形成する工程
    と、電極材料を溝に埋め込む工程と、誘電体層を形成す
    る工程と保護膜を形成する工程を有することを特徴とす
    るガス放電型表示装置の製造方法。
  2. 【請求項２】前記基板がガラス基板であって、溝を有す
    る前記ガラス基板にガラス面を飛び出さない高さに電極
    を形成し、さらに電極を覆う誘電体層を形成することを
    特徴とする請求項１記載のガス放電型表示装置の製造方
    法。
  3. 【請求項３】ガラス基板に感光性被覆層を形成する工程
    と感光性被覆層に所定パターンを形成する工程とサンド
    ブラスト法で所定パターン内に溝を形成する工程と感光
    性被覆層を除去する工程と形成した溝内に電極材料を埋
    め込む工程と基板上に誘電体層を形成する工程を有する
    ことを特徴とする請求項２記載のガス放電型表示装置の
    製造方法。
  4. 【請求項４】電極材料として銀または銅またはアルミニ
    ウムを使用することを特徴とする請求項２または３に記
    載のガス放電型表示装置の製造方法。
  5. 【請求項５】溝を有するガラス基板とガラス面を飛び出
    さない高さに形成した電極と電極を覆う電極保護層と誘
    電体層を有することを特徴とする請求項１記載のガス放
    電型表示装置の製造方法。
  6. 【請求項６】シリカを電極保護層とすることを特徴とす
    る請求項５に記載のガス放電型表示装置の製造方法。
  7. 【請求項７】基板、電極、誘電体層を有するガス放電型
    表示装置において、基板に溝を有し、前記溝に電極材料
    が埋め込まれていることを特徴とするガス放電型表示装
    置。
  8. 【請求項８】前記基板がガラス基板であって、前記ガラ
    ス基板の溝に電極が前記ガラス面を飛び出さないように
    形成されていることを特徴とする請求項７に記載のガス
    放電型表示装置。
  9. 【請求項９】前記電極が銀または銅またはアルミニウム
    であることを特徴とする請求項７または８に記載のガス
    放電型表示装置。
  10. 【請求項１０】基板、電極、誘電体層を有するガス放電
    型表示装置において、前記基板に溝を有し、前記溝に電
    極が埋め込まれ、前記電極を覆う電極保護層と誘電体層
    を有することを特徴とするガス放電型表示装置。
  11. 【請求項１１】シリカを電極保護層とすることを特徴と
    する請求項１０に記載のガス放電型表示装置。
JP32401299A 1999-11-15 1999-11-15 ガス放電型表示装置およびその製造方法 Pending JP2001143610A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100740848B1 (ko) * 2004-11-15 2007-07-19 삼성에스디아이 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조 방법

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KR100740848B1 (ko) * 2004-11-15 2007-07-19 삼성에스디아이 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조 방법

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