JP2001141672A - Ｘ線撮像処理装置 - Google Patents
Ｘ線撮像処理装置Info
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- JP2001141672A JP2001141672A JP32251399A JP32251399A JP2001141672A JP 2001141672 A JP2001141672 A JP 2001141672A JP 32251399 A JP32251399 A JP 32251399A JP 32251399 A JP32251399 A JP 32251399A JP 2001141672 A JP2001141672 A JP 2001141672A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】対象物が変わる毎にその対象物に最適な撮像条
件に迅速に切り換えて、インライン検査に対応できる高
速性を得ることのできるＸ線撮像処理装置を提供する。 【解決手段】材質または厚さが互いに相違して透過させ
るＸ線の波長または強度を可変する複種類のＸ線透過用
フィルタ２０1 〜２０n を、Ｘ線源３と対象物１との間
のＸ線の放射経路中に択一的に順次介在させながら、こ
れと同期して対象物１に対し透過または反射したＸ線を
取り込んで対象物１をＸ線撮像装置４で撮像する。この
Ｘ線撮像装置４で得られたＸ線画像の良否を画像良否判
別手段２８で判別して、その判別結果が良好となったと
きの単一のフィルタ２０1 〜２０nをＸ線の放射経路中
に設置する。Ｘ線画像における所定領域の特徴部分の計
測結果に基づき対象物１の良否を判定するよう処理す
る。
件に迅速に切り換えて、インライン検査に対応できる高
速性を得ることのできるＸ線撮像処理装置を提供する。 【解決手段】材質または厚さが互いに相違して透過させ
るＸ線の波長または強度を可変する複種類のＸ線透過用
フィルタ２０1 〜２０n を、Ｘ線源３と対象物１との間
のＸ線の放射経路中に択一的に順次介在させながら、こ
れと同期して対象物１に対し透過または反射したＸ線を
取り込んで対象物１をＸ線撮像装置４で撮像する。この
Ｘ線撮像装置４で得られたＸ線画像の良否を画像良否判
別手段２８で判別して、その判別結果が良好となったと
きの単一のフィルタ２０1 〜２０nをＸ線の放射経路中
に設置する。Ｘ線画像における所定領域の特徴部分の計
測結果に基づき対象物１の良否を判定するよう処理す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、対象物にＸ線を照
射して、その対象物に対し透過または反射したＸ線を画
像化して対象物の計測や検査を非接触、且つ非破壊で行
うためのＸ線撮像処理装置に関するものである。
射して、その対象物に対し透過または反射したＸ線を画
像化して対象物の計測や検査を非接触、且つ非破壊で行
うためのＸ線撮像処理装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、電気製品や電子部品或いは各種デ
バイスでは、これらの積層化および高精度化に伴って、
その組立や接合を行ったのちに、内部構造を非接触且つ
非破壊で計測や検査するニーズが増大しており、Ｘ線を
利用した画像による計測や検査が不可欠になってきてい
る。このような用途に用いられる従来のＸ線撮像処理装
置は、図７のブロック構成図に示すような構成になって
いる。
バイスでは、これらの積層化および高精度化に伴って、
その組立や接合を行ったのちに、内部構造を非接触且つ
非破壊で計測や検査するニーズが増大しており、Ｘ線を
利用した画像による計測や検査が不可欠になってきてい
る。このような用途に用いられる従来のＸ線撮像処理装
置は、図７のブロック構成図に示すような構成になって
いる。
【０００３】図７において、計測や検査をすべき対象物
１は、Ｘ線を透過するアクリルなどの材質で構成された
位置決めテーブル２上に載置してセットされる。対象物
１がＸ線を透過する材質のものである場合には、図示の
ように位置決めテーブル２に対し対象物１の反対側に設
置されたＸ線源３から位置決めテーブル２を介して対象
物１にＸ線が照射される。この対象物１を透過したＸ線
が、例えばテレビカメラからなるＸ線撮像装置４に受光
される。Ｘ線撮像装置４は、位置決めテーブル２にセッ
トされる対象物１が変わったときに、可動支持部材７に
支持されながらＸ線源３に対し同一間隔を保持しつつ対
象物１に対し接離する方向に移動されて、対象物１に対
する距離を調整される。
１は、Ｘ線を透過するアクリルなどの材質で構成された
位置決めテーブル２上に載置してセットされる。対象物
１がＸ線を透過する材質のものである場合には、図示の
ように位置決めテーブル２に対し対象物１の反対側に設
置されたＸ線源３から位置決めテーブル２を介して対象
物１にＸ線が照射される。この対象物１を透過したＸ線
が、例えばテレビカメラからなるＸ線撮像装置４に受光
される。Ｘ線撮像装置４は、位置決めテーブル２にセッ
トされる対象物１が変わったときに、可動支持部材７に
支持されながらＸ線源３に対し同一間隔を保持しつつ対
象物１に対し接離する方向に移動されて、対象物１に対
する距離を調整される。
【０００４】Ｘ線源３はＸ線源制御手段８によって管電
流や管電圧を制御され、Ｘ線撮像装置４はＸ線撮像装置
制御手段９によって制御される。対象物１を透過したＸ
線はＸ線撮像装置４に取り込まれて画像化され、その画
像化された映像信号は、Ｘ線撮像装置４から画像処理部
１０に対し出力される。画像処理部１０では、入力され
た映像信号をＡ／Ｄ変換手段１１により画像の濃度に応
じて256 階調（0`255）のデジタル画像データに数値化
して取り込まれる。この画像処理部１０は、ランダムノ
イズの多いＸ線画像を積分する画像積分手段１２と、そ
の画像積分された画像における処理すべきエリアを設定
する処理エリア設定手段１３と、その設定された処理エ
リア内の状態を計測または検査するために処理エリア内
における所定濃度以上の領域を抽出する所定濃度領域抽
出手段１４と、その抽出された領域の特徴量を計測する
特徴量計測手段１７と、その計測結果に基づき処理エリ
ア内の状態が正常か否かを判定する良否判定処理手段１
８と、外部機器である主コントローラまたは操作盤から
与えられた指令に基づき画像処理部１０全体を制御する
判定制御手段１９とを備えて構成されている。
流や管電圧を制御され、Ｘ線撮像装置４はＸ線撮像装置
制御手段９によって制御される。対象物１を透過したＸ
線はＸ線撮像装置４に取り込まれて画像化され、その画
像化された映像信号は、Ｘ線撮像装置４から画像処理部
１０に対し出力される。画像処理部１０では、入力され
た映像信号をＡ／Ｄ変換手段１１により画像の濃度に応
じて256 階調（0`255）のデジタル画像データに数値化
して取り込まれる。この画像処理部１０は、ランダムノ
イズの多いＸ線画像を積分する画像積分手段１２と、そ
の画像積分された画像における処理すべきエリアを設定
する処理エリア設定手段１３と、その設定された処理エ
リア内の状態を計測または検査するために処理エリア内
における所定濃度以上の領域を抽出する所定濃度領域抽
出手段１４と、その抽出された領域の特徴量を計測する
特徴量計測手段１７と、その計測結果に基づき処理エリ
ア内の状態が正常か否かを判定する良否判定処理手段１
８と、外部機器である主コントローラまたは操作盤から
与えられた指令に基づき画像処理部１０全体を制御する
判定制御手段１９とを備えて構成されている。
【０００５】つぎに、上記構成を備えたＸ線撮像処理装
置の処理について、図８のフローチャートを参照しなが
ら説明する。計測または検査すべき対象物１が位置決め
テーブル２にセットされると、Ｘ線源３から位置決めテ
ーブル２を介して対象物１にＸ線が照射される（ステッ
プＳ１）。このとき、Ｘ線源３は、Ｘ線源制御手段８に
より電子銃を制御されて、管電圧の可変によってＸ線の
波長を対象物１に対応するよう調整されるとともに、管
電流の可変によってＸ線強度を対象物１に対応するよう
調整される。
置の処理について、図８のフローチャートを参照しなが
ら説明する。計測または検査すべき対象物１が位置決め
テーブル２にセットされると、Ｘ線源３から位置決めテ
ーブル２を介して対象物１にＸ線が照射される（ステッ
プＳ１）。このとき、Ｘ線源３は、Ｘ線源制御手段８に
より電子銃を制御されて、管電圧の可変によってＸ線の
波長を対象物１に対応するよう調整されるとともに、管
電流の可変によってＸ線強度を対象物１に対応するよう
調整される。
【０００６】対象物１を透過したＸ線はＸ線撮像装置４
に取り込まれて画像化され、そのＸ線画像は、Ｘ線撮像
装置制御手段９を介し画像処理部１０に対し出力され
て、Ａ／Ｄ変換手段１１で256 階調の画像データに数値
化され（ステップＳ２）て画像処理部１０に入力され
る。この数値化された画像データは画像積分手段１２で
積分され、続いて、処理エリア設定手段１３では、積分
されたＸ線画像に対して、対象物１の種類の相違などに
応じて決定される処理すべきエリアの設定が行われる
（ステップＳ３）。さらに、所定濃度領域抽出手段１４
は、上記設定された処理エリア内におけるＸ線透過光の
強度を示す濃淡画像から所定値以上の濃度を有する領域
を抽出し（ステップＳ４）、特徴量計測手段１７は、抽
出された所定濃度領域の特徴量の計測、例えば所定濃度
領域の面積を計測し（ステップＳ５）、良否判定処理手
段１８は特徴量の計測結果に基づいて対象物１の良否を
判定する（ステップＳ６）。制御する判定制御手段１９
は、ＣＰＵなどを備えて画像処理部１０の全体を予め設
定された制御プログラムにしたがって制御し、良否判定
処理手段１８による判定結果を外部のメインコントロー
ラに対し出力する。
に取り込まれて画像化され、そのＸ線画像は、Ｘ線撮像
装置制御手段９を介し画像処理部１０に対し出力され
て、Ａ／Ｄ変換手段１１で256 階調の画像データに数値
化され（ステップＳ２）て画像処理部１０に入力され
る。この数値化された画像データは画像積分手段１２で
積分され、続いて、処理エリア設定手段１３では、積分
されたＸ線画像に対して、対象物１の種類の相違などに
応じて決定される処理すべきエリアの設定が行われる
（ステップＳ３）。さらに、所定濃度領域抽出手段１４
は、上記設定された処理エリア内におけるＸ線透過光の
強度を示す濃淡画像から所定値以上の濃度を有する領域
を抽出し（ステップＳ４）、特徴量計測手段１７は、抽
出された所定濃度領域の特徴量の計測、例えば所定濃度
領域の面積を計測し（ステップＳ５）、良否判定処理手
段１８は特徴量の計測結果に基づいて対象物１の良否を
判定する（ステップＳ６）。制御する判定制御手段１９
は、ＣＰＵなどを備えて画像処理部１０の全体を予め設
定された制御プログラムにしたがって制御し、良否判定
処理手段１８による判定結果を外部のメインコントロー
ラに対し出力する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記Ｘ
線撮像処理装置では、対象物１に対するＸ線透過光また
はＸ線反射光によるＸ線画像を対象物１毎に最適なＸ線
の照射条件に切り換えながら撮像するために、Ｘ線源３
の電子銃の管電圧や管電流をＸ線源制御手段８で可変制
御しながら行っているが、微調整をして最適な照射条件
を得るための管電圧や管電流の可変制御をリアルタイム
で行えない上に、その可変制御するときのリレーの応答
性などに起因して、切り換えたのちに安定状態となるま
でに比較的時間がかかり過ぎる。そのため、従来のＸ線
撮像処理装置には、近年のインライン検査において要求
されている高速性に対応することができないという課題
がある。
線撮像処理装置では、対象物１に対するＸ線透過光また
はＸ線反射光によるＸ線画像を対象物１毎に最適なＸ線
の照射条件に切り換えながら撮像するために、Ｘ線源３
の電子銃の管電圧や管電流をＸ線源制御手段８で可変制
御しながら行っているが、微調整をして最適な照射条件
を得るための管電圧や管電流の可変制御をリアルタイム
で行えない上に、その可変制御するときのリレーの応答
性などに起因して、切り換えたのちに安定状態となるま
でに比較的時間がかかり過ぎる。そのため、従来のＸ線
撮像処理装置には、近年のインライン検査において要求
されている高速性に対応することができないという課題
がある。
【０００８】そこで、本発明は、上記従来の課題に鑑み
てなされたもので、対象物が変わる毎にその対象物に最
適な照射条件に迅速に切り換えて、インライン検査に対
応できる高速性を得ることのできるＸ線撮像処理装置を
提供することを目的とするものである。
てなされたもので、対象物が変わる毎にその対象物に最
適な照射条件に迅速に切り換えて、インライン検査に対
応できる高速性を得ることのできるＸ線撮像処理装置を
提供することを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、対象物にＸ線を照射して、前記対象物に
対し透過または反射したＸ線により得られたＸ線画像に
おける所定領域の特徴部分の計測結果に基づき前記対象
物の良否を判定するよう処理するＸ線撮像処理装置にお
いて、対象物にＸ線を照射するＸ線源と、材質または厚
さが互いに相違して透過させるＸ線の波長または強度を
可変する複種類のＸ線透過用フィルタと、前記Ｘ線源と
前記対象物との間のＸ線の放射経路中に前記各フィルタ
を択一的に順次介在させるフィルタ切換手段と、前記各
フィルタのＸ線の放射経路中への入れ換えに同期しなが
ら前記対象物に対し透過または反射したＸ線を取り込ん
で前記対象物を撮像するＸ線撮像装置と、前記Ｘ線撮像
装置で撮像して得られたＸ線画像の良否を判別する画像
良否判別手段と、前記画像良否判別手段の判別結果が良
好となったときの単一の前記フィルタをＸ線の放射経路
中に設置するよう制御する制御手段とを備えて構成され
ていることを特徴としている。
に、本発明は、対象物にＸ線を照射して、前記対象物に
対し透過または反射したＸ線により得られたＸ線画像に
おける所定領域の特徴部分の計測結果に基づき前記対象
物の良否を判定するよう処理するＸ線撮像処理装置にお
いて、対象物にＸ線を照射するＸ線源と、材質または厚
さが互いに相違して透過させるＸ線の波長または強度を
可変する複種類のＸ線透過用フィルタと、前記Ｘ線源と
前記対象物との間のＸ線の放射経路中に前記各フィルタ
を択一的に順次介在させるフィルタ切換手段と、前記各
フィルタのＸ線の放射経路中への入れ換えに同期しなが
ら前記対象物に対し透過または反射したＸ線を取り込ん
で前記対象物を撮像するＸ線撮像装置と、前記Ｘ線撮像
装置で撮像して得られたＸ線画像の良否を判別する画像
良否判別手段と、前記画像良否判別手段の判別結果が良
好となったときの単一の前記フィルタをＸ線の放射経路
中に設置するよう制御する制御手段とを備えて構成され
ていることを特徴としている。
【００１０】このＸ線撮像処理装置では、複種類のフィ
ルタを順次入れ換えながら良好なＸ線画像が得られるフ
ィルタを択一的に選択し、その選択したフィルタを対象
物とＸ線源との間に設置することにより、Ｘ線の照射条
件を最適に設定することができ、従来のＸ線源の管電流
および管電圧の微調整を行う手段に比較して、対象物の
インライン検査に対応できる高速性を得ることのできる
とともに、計測や検査を正確に行える。
ルタを順次入れ換えながら良好なＸ線画像が得られるフ
ィルタを択一的に選択し、その選択したフィルタを対象
物とＸ線源との間に設置することにより、Ｘ線の照射条
件を最適に設定することができ、従来のＸ線源の管電流
および管電圧の微調整を行う手段に比較して、対象物の
インライン検査に対応できる高速性を得ることのできる
とともに、計測や検査を正確に行える。
【００１１】上記発明において、複数の各フィルタは、
回転円板における回転方向に沿って分割された複数の領
域にそれぞれ配置した配列状態に固定されて、前記回転
円板の回転に伴ってＸ線の照射経路中に択一的に順次位
置させるよう構成されていることが好ましい。
回転円板における回転方向に沿って分割された複数の領
域にそれぞれ配置した配列状態に固定されて、前記回転
円板の回転に伴ってＸ線の照射経路中に択一的に順次位
置させるよう構成されていることが好ましい。
【００１２】これにより、複種類のフィルタの配列スペ
ースを縮小できるとともに、所望のフィルタの選択処理
の高速化を図りながら機械的に安定に制御できる利点が
ある。
ースを縮小できるとともに、所望のフィルタの選択処理
の高速化を図りながら機械的に安定に制御できる利点が
ある。
【００１３】また、上記発明において、各フィルタのＸ
線の放射経路中への入れ換えに同期しながらＸ線撮像装
置で対象物をそれぞれ撮像して得られた複種類のＸ線画
像を個々に一時記憶する複数の画像メモリと、複数の前
記画像メモリに記憶されている各Ｘ線画像に対し計測ま
たは検査の対象箇所の画像部分を顕著化させるための相
互の演算を行う画像間演算手段とを備えている構成とす
ることができる。
線の放射経路中への入れ換えに同期しながらＸ線撮像装
置で対象物をそれぞれ撮像して得られた複種類のＸ線画
像を個々に一時記憶する複数の画像メモリと、複数の前
記画像メモリに記憶されている各Ｘ線画像に対し計測ま
たは検査の対象箇所の画像部分を顕著化させるための相
互の演算を行う画像間演算手段とを備えている構成とす
ることができる。
【００１４】これにより、Ｘ線の異なる照射条件の下で
得られた複種類の画像間の演算によって特徴部分を顕著
化することができるので、従来においてＸ線画像に基づ
いて計測や検査ができなった対象物の検査などが可能と
なる。
得られた複種類の画像間の演算によって特徴部分を顕著
化することができるので、従来においてＸ線画像に基づ
いて計測や検査ができなった対象物の検査などが可能と
なる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態について図面を参照しながら説明する。図１は本発明
の第１の実施の形態に係るＸ線撮像処理装置を示すブロ
ック構成図であり、同図において、図７と同一若しくは
同等のものには同一の符号を付してその説明を省略し、
つぎに、相違する構成についての説明並びに図７に対す
る補足説明をする。
態について図面を参照しながら説明する。図１は本発明
の第１の実施の形態に係るＸ線撮像処理装置を示すブロ
ック構成図であり、同図において、図７と同一若しくは
同等のものには同一の符号を付してその説明を省略し、
つぎに、相違する構成についての説明並びに図７に対す
る補足説明をする。
【００１６】位置決めテーブル２にセットされた計測ま
たは検査の対象物１にＸ線を照射するためのＸ線源３
は、例えば、熱電子を加速させてモリブデンなどのター
ゲットに当てることによってＸ線を発生させる構成にな
っており、管電圧を可変することによって発生するＸ線
の波長を可変制御することができ、管電流を可変するこ
とによってＸ線の強度を可変制御することができる。
たは検査の対象物１にＸ線を照射するためのＸ線源３
は、例えば、熱電子を加速させてモリブデンなどのター
ゲットに当てることによってＸ線を発生させる構成にな
っており、管電圧を可変することによって発生するＸ線
の波長を可変制御することができ、管電流を可変するこ
とによってＸ線の強度を可変制御することができる。
【００１７】上記Ｘ線源３と対象物１との間つまりＸ線
源３と位置決めテーブル２との間には、複種類のフィル
タ２０1 〜２０n が、直線移動するフィルタ切換手段２
１上に配列して介在されている。フィルタ２０1 〜２０
n は、図３（ａ）の平面図および（ｂ）の側面図に示す
ように、Ｘ線を透過する材質であって、その材質および
厚さが互いに異なる複種類が具備されており、材質の相
違によってＸ線の波長が設定され、且つ厚さの相違によ
ってＸ線の透過量つまり強度が設定されている。これら
各フィルタ２０1 〜２０n は、フィルタ切換制御手段２
２によってフィルタ切換手段２１が作動制御されること
により、直線的に移送され、Ｘ線源３と対象物１との間
に択一的に順次位置決めされる。
源３と位置決めテーブル２との間には、複種類のフィル
タ２０1 〜２０n が、直線移動するフィルタ切換手段２
１上に配列して介在されている。フィルタ２０1 〜２０
n は、図３（ａ）の平面図および（ｂ）の側面図に示す
ように、Ｘ線を透過する材質であって、その材質および
厚さが互いに異なる複種類が具備されており、材質の相
違によってＸ線の波長が設定され、且つ厚さの相違によ
ってＸ線の透過量つまり強度が設定されている。これら
各フィルタ２０1 〜２０n は、フィルタ切換制御手段２
２によってフィルタ切換手段２１が作動制御されること
により、直線的に移送され、Ｘ線源３と対象物１との間
に択一的に順次位置決めされる。
【００１８】また、図１の画像処理部２３には、複種類
のフィルタ２０1 〜２０n を設けたのに伴って、画像良
否判別手段２８とフィルタ同期手段２４とが設けられて
いる。画像良否判別手段２８は、Ａ／Ｄ変換手段１１に
よって映像信号を画像の濃度に応じて256 階調の画像デ
ータに数値化されたのちに画像積分手段１２で画像積分
されたＸ線画像が、的確な照射条件の基にＸ線が照射さ
れたことによって得られた良好なものであるか否かを判
別し、判定制御手段１９がその判別結果が良好であるフ
ィルタ２０1 〜２０n を択一的に選択して設置する。フ
ィルタ同期手段２４は、画像良否判別手段２８によって
選択されたフィルタ２０1 〜２０n のＸ線透過量などに
対応して、Ａ／Ｄ変換手段１１で256 階調に数値化され
た画像データに対して加減算する処理を行う。
のフィルタ２０1 〜２０n を設けたのに伴って、画像良
否判別手段２８とフィルタ同期手段２４とが設けられて
いる。画像良否判別手段２８は、Ａ／Ｄ変換手段１１に
よって映像信号を画像の濃度に応じて256 階調の画像デ
ータに数値化されたのちに画像積分手段１２で画像積分
されたＸ線画像が、的確な照射条件の基にＸ線が照射さ
れたことによって得られた良好なものであるか否かを判
別し、判定制御手段１９がその判別結果が良好であるフ
ィルタ２０1 〜２０n を択一的に選択して設置する。フ
ィルタ同期手段２４は、画像良否判別手段２８によって
選択されたフィルタ２０1 〜２０n のＸ線透過量などに
対応して、Ａ／Ｄ変換手段１１で256 階調に数値化され
た画像データに対して加減算する処理を行う。
【００１９】つぎに、上記Ｘ線撮像処理装置による処理
について、図４のフローチャートを参照しながら説明す
る。計測または検査すべき対象物１が位置決めテーブル
２上にセットされると、Ｘ線源３から出射して位置決め
テーブル２を透過したＸ線が対象物１に照射される（ス
テップＳ１１）。それと同時に、フィルタ切換制御手段
２２によりフィルタ切換手段２１が作動制御されて、最
初のフィルタ２０1 がＸ線源３と対象物１との間に位置
決めされる（ステップＳ１２）。したがって、Ｘ線源３
から出射したＸ線は、フィルタ２０1 を透過することに
より、このフィルタ２０1 の材質および厚さにより設定
された波長および強度に変更されたのち、位置決めテー
ブル２を透過して対象物１に照射される。
について、図４のフローチャートを参照しながら説明す
る。計測または検査すべき対象物１が位置決めテーブル
２上にセットされると、Ｘ線源３から出射して位置決め
テーブル２を透過したＸ線が対象物１に照射される（ス
テップＳ１１）。それと同時に、フィルタ切換制御手段
２２によりフィルタ切換手段２１が作動制御されて、最
初のフィルタ２０1 がＸ線源３と対象物１との間に位置
決めされる（ステップＳ１２）。したがって、Ｘ線源３
から出射したＸ線は、フィルタ２０1 を透過することに
より、このフィルタ２０1 の材質および厚さにより設定
された波長および強度に変更されたのち、位置決めテー
ブル２を透過して対象物１に照射される。
【００２０】このとき、Ｘ線源３は、Ｘ線源制御手段８
により電子銃を制御されて、対象物１に適合する管電圧
および管電流に設定されるが、この管電圧および管電流
は、対象物１の種類などに応じて予め設定された許容範
囲内値に制御されるだけあって、従来装置のように対象
物１に最適な照射条件とするための微調整は行われな
い。つまり、管電圧および管電流は対象物１に対応する
大雑把な範囲内の値に設定されるだけあり、この設定は
リアルタイムに行うことができる。
により電子銃を制御されて、対象物１に適合する管電圧
および管電流に設定されるが、この管電圧および管電流
は、対象物１の種類などに応じて予め設定された許容範
囲内値に制御されるだけあって、従来装置のように対象
物１に最適な照射条件とするための微調整は行われな
い。つまり、管電圧および管電流は対象物１に対応する
大雑把な範囲内の値に設定されるだけあり、この設定は
リアルタイムに行うことができる。
【００２１】対象物１を透過したＸ線はＸ線撮像装置４
に取り込まれて画像化され、そのＸ線画像は、Ｘ線撮像
装置制御手段９を介しＡ／Ｄ変換手段１１において256
階調の画像データに数値化されて画像処理部２３内に入
力される（ステップＳ１３）。そして、数値化された画
像データは、フィルタ同期手段２４によって現在選択中
のフィルタ２０1 のＸ線透過量などに対応して加減算す
る処理を行われたのちに、画像積分手段１２において画
像積分されてＸ線画像特有のランダムノイズを除去され
る（ステップＳ１４）。この画像積分されたＸ線画像
は、画像良否判別手段２８において、特に注目部分が十
分に強調されて計測や検査に有効なものであるか否かを
判別される（ステップＳ１５）。例えばＸ線が十分に透
過しない対象物１の場合にはＸ線の強度を強くしないと
良好なＸ線画像とならず、逆にＸ線が透過し易い対象物
１の場合には照射するＸ線の強度を下げないと良好なＸ
線画像とならない。
に取り込まれて画像化され、そのＸ線画像は、Ｘ線撮像
装置制御手段９を介しＡ／Ｄ変換手段１１において256
階調の画像データに数値化されて画像処理部２３内に入
力される（ステップＳ１３）。そして、数値化された画
像データは、フィルタ同期手段２４によって現在選択中
のフィルタ２０1 のＸ線透過量などに対応して加減算す
る処理を行われたのちに、画像積分手段１２において画
像積分されてＸ線画像特有のランダムノイズを除去され
る（ステップＳ１４）。この画像積分されたＸ線画像
は、画像良否判別手段２８において、特に注目部分が十
分に強調されて計測や検査に有効なものであるか否かを
判別される（ステップＳ１５）。例えばＸ線が十分に透
過しない対象物１の場合にはＸ線の強度を強くしないと
良好なＸ線画像とならず、逆にＸ線が透過し易い対象物
１の場合には照射するＸ線の強度を下げないと良好なＸ
線画像とならない。
【００２２】良好なＸ線画像でないと判別された場合に
は、ステップＳ１２にリターンして、フィルタ切換制御
手段２２によりフィルタ切換手段２１が作動されること
により、次のフィルタ２０2 がＸ線源３と対象物１との
間に入れ換えて設置され、上述のステップＳ１３〜Ｓ１
５の処理を行って再びＸ線画像の良否を判別し、良好な
Ｘ線画像であると判別されるまで、ステップＳ１２〜Ｓ
１５の処理を繰り返す。画像良否判別手段２８が良好な
Ｘ線画像であると判別（ステップＳ１５）すると、その
ときのフィルタ２０1 〜２０n が対象物１に対し最適な
照射条件でＸ線を照射できるものとして択一的に選択さ
れる。このＸ線の照射条件の設定手段では、フィルタ２
０1 〜２０n を順次入れ換えながら良好なＸ線画像が得
られたか否かの判別を繰り返すだけであるから、従来の
Ｘ線源３の管電流および管電圧の微調整を行う手段に比
較して、格段に高速化でき、しかも正確に行える。
は、ステップＳ１２にリターンして、フィルタ切換制御
手段２２によりフィルタ切換手段２１が作動されること
により、次のフィルタ２０2 がＸ線源３と対象物１との
間に入れ換えて設置され、上述のステップＳ１３〜Ｓ１
５の処理を行って再びＸ線画像の良否を判別し、良好な
Ｘ線画像であると判別されるまで、ステップＳ１２〜Ｓ
１５の処理を繰り返す。画像良否判別手段２８が良好な
Ｘ線画像であると判別（ステップＳ１５）すると、その
ときのフィルタ２０1 〜２０n が対象物１に対し最適な
照射条件でＸ線を照射できるものとして択一的に選択さ
れる。このＸ線の照射条件の設定手段では、フィルタ２
０1 〜２０n を順次入れ換えながら良好なＸ線画像が得
られたか否かの判別を繰り返すだけであるから、従来の
Ｘ線源３の管電流および管電圧の微調整を行う手段に比
較して、格段に高速化でき、しかも正確に行える。
【００２３】上述のようにしてフィルタ２０1 〜２０n
の択一的な選択によってＸ線の照射条件が最適になる
と、以降は、画像積分手段１２で画像積分されたＸ線画
像が、画像良否判別手段２８に代えて、処理エリア設定
手段１３に入力されるようになる。処理エリア設定手段
１３では、数値化された画像データのうちの対象物１の
種類の相違などに応じて決定される処理すべきエリアの
設定が行われる（ステップＳ１６）。
の択一的な選択によってＸ線の照射条件が最適になる
と、以降は、画像積分手段１２で画像積分されたＸ線画
像が、画像良否判別手段２８に代えて、処理エリア設定
手段１３に入力されるようになる。処理エリア設定手段
１３では、数値化された画像データのうちの対象物１の
種類の相違などに応じて決定される処理すべきエリアの
設定が行われる（ステップＳ１６）。
【００２４】さらに、所定濃度領域抽出手段１４は、上
記設定された処理エリア内におけるＸ線透過光の強度を
示す濃淡画像から所定値以上の濃度を有する領域を抽出
する（ステップＳ１７）。特徴量計測手段１７は、抽出
された所定濃度領域の特徴量、例えば所定濃度領域の面
積を計測する（ステップＳ１８）。良否判定処理手段１
８は特徴量の計測結果に基づいて対象物１の良否を判定
する（ステップＳ１９）。例えば、良否判定処理手段１
８は、抽出された特徴部分の大きさが許容範囲内である
か否か、或いは特徴部分における注目形状の存在の有
無、または特徴部分の状態などに基づいて対象物１の良
否を判定する。画像処理部２３の全体を予め設定された
制御プログラムにしたがって制御する判定制御手段１９
は、良否判定処理手段１８による判定結果を外部のメイ
ンコントローラに対し出力する。
記設定された処理エリア内におけるＸ線透過光の強度を
示す濃淡画像から所定値以上の濃度を有する領域を抽出
する（ステップＳ１７）。特徴量計測手段１７は、抽出
された所定濃度領域の特徴量、例えば所定濃度領域の面
積を計測する（ステップＳ１８）。良否判定処理手段１
８は特徴量の計測結果に基づいて対象物１の良否を判定
する（ステップＳ１９）。例えば、良否判定処理手段１
８は、抽出された特徴部分の大きさが許容範囲内である
か否か、或いは特徴部分における注目形状の存在の有
無、または特徴部分の状態などに基づいて対象物１の良
否を判定する。画像処理部２３の全体を予め設定された
制御プログラムにしたがって制御する判定制御手段１９
は、良否判定処理手段１８による判定結果を外部のメイ
ンコントローラに対し出力する。
【００２５】なお、上記実施の形態では、Ｘ線透過光に
よる撮像によってＸ線画像を得る場合について説明した
が、Ｘ線が透過し難い対象物１の場合には、Ｘ線源３を
位置決めテーブル２上の対象物１に対向させてＸ線を対
象物１に直接照射するとともに、Ｘ線源３と対象物１と
の間にフィルタ２０1 〜２０n を配置する構成とすれ
ば、対象物１で反射したＸ線によって対象物１の撮像を
おこなったのちに、上記説明と同様の処理によって同様
の効果を得ることができる。
よる撮像によってＸ線画像を得る場合について説明した
が、Ｘ線が透過し難い対象物１の場合には、Ｘ線源３を
位置決めテーブル２上の対象物１に対向させてＸ線を対
象物１に直接照射するとともに、Ｘ線源３と対象物１と
の間にフィルタ２０1 〜２０n を配置する構成とすれ
ば、対象物１で反射したＸ線によって対象物１の撮像を
おこなったのちに、上記説明と同様の処理によって同様
の効果を得ることができる。
【００２６】なお、上記の各フィルタ２０1 〜２０n の
選択制御手段としては、上記とは別に、図３（ａ）の平
面図および（ｂ）の側面図に示すように、フィルタ２０
1 〜２０n を、Ｘ線を透過する材質からなる回転円板２
７上の放射状の各領域毎に割り当てる配置で配列して設
け、これらフィルタ２０1 〜２０n をフィルタ切換手段
によって一体的に回転させながら、所望のフィルタ２０
1 〜２０n がＸ線源３と対象物１との間に位置した時点
で回転を停止して位置決めする構成とすることもでき
る。
選択制御手段としては、上記とは別に、図３（ａ）の平
面図および（ｂ）の側面図に示すように、フィルタ２０
1 〜２０n を、Ｘ線を透過する材質からなる回転円板２
７上の放射状の各領域毎に割り当てる配置で配列して設
け、これらフィルタ２０1 〜２０n をフィルタ切換手段
によって一体的に回転させながら、所望のフィルタ２０
1 〜２０n がＸ線源３と対象物１との間に位置した時点
で回転を停止して位置決めする構成とすることもでき
る。
【００２７】上記のような回転する構成としたフィルタ
２０1 〜２０n の選択制御手段を用いる場合には、図１
の選択制御手段に比較して、フィルタ２０1 〜２０n の
配列スペースを縮小できるとともに、所望のフィルタ２
０1 〜２０n の選択処理の高速化を図りながら機械的に
安定に制御できる利点がある。このフィルタ２０1 〜２
０n の選択制御手段を用いたＸ線撮像処理装置における
作用は、図４の処理とほぼ同じであるので、その説明を
省略する。なお、図３では、作図の便宜上、フィルタ２
０1 〜２０n を４個のみ図示してある。
２０1 〜２０n の選択制御手段を用いる場合には、図１
の選択制御手段に比較して、フィルタ２０1 〜２０n の
配列スペースを縮小できるとともに、所望のフィルタ２
０1 〜２０n の選択処理の高速化を図りながら機械的に
安定に制御できる利点がある。このフィルタ２０1 〜２
０n の選択制御手段を用いたＸ線撮像処理装置における
作用は、図４の処理とほぼ同じであるので、その説明を
省略する。なお、図３では、作図の便宜上、フィルタ２
０1 〜２０n を４個のみ図示してある。
【００２８】図５は本発明の第２の実施の形態に係るＸ
線撮像処理装置を示すブロック構成図であり、同図にお
いて、図１と同一若しくは同等のものには同一の符号を
付して、その説明を省略する。この実施の形態の画像処
理部２９は、図１と同様の所定濃度領域抽出手段１４、
特徴量計測手段１７および良否判定処理手段１８からな
る構成を後処理部３１として、処理エリア設定手段１３
と後処理部との間に、複数の画像メモリ３２1 〜３２n
と、これら各画像メモリ３２1 〜３２n にそれぞれ記憶
された画像データ間の演算を行う画像間演算手段３３
と、図１と同様の処理エリア設定手段１３とからなる前
処理部３０を介挿した構成になっている。したがって、
この実施の形態では、図１の構成に比較して、画像積分
手段１２と処理エリア設定手段１３との間に複数の画像
メモリ３２1 〜３２n と画像間演算手段３３とを介挿し
た構成になっている。また、図１の画像良否判別手段２
８は除外されている。
線撮像処理装置を示すブロック構成図であり、同図にお
いて、図１と同一若しくは同等のものには同一の符号を
付して、その説明を省略する。この実施の形態の画像処
理部２９は、図１と同様の所定濃度領域抽出手段１４、
特徴量計測手段１７および良否判定処理手段１８からな
る構成を後処理部３１として、処理エリア設定手段１３
と後処理部との間に、複数の画像メモリ３２1 〜３２n
と、これら各画像メモリ３２1 〜３２n にそれぞれ記憶
された画像データ間の演算を行う画像間演算手段３３
と、図１と同様の処理エリア設定手段１３とからなる前
処理部３０を介挿した構成になっている。したがって、
この実施の形態では、図１の構成に比較して、画像積分
手段１２と処理エリア設定手段１３との間に複数の画像
メモリ３２1 〜３２n と画像間演算手段３３とを介挿し
た構成になっている。また、図１の画像良否判別手段２
８は除外されている。
【００２９】つぎに、上記Ｘ線撮像処理装置による処理
について、図６のフローチャートを参照しながら説明す
る。なお、図６において、図４と同一の処理ステップに
ついては同一のステップ番号を付して簡単に説明する。
計測または検査すべき対象物１が位置決めテーブル２に
セットされると、Ｘ線源３から出射して位置決めテーブ
ル２を透過したＸ線が対象物１に照射される（ステップ
Ｓ１１）。それと同時に、フィルタ切換制御手段２２に
よりフィルタ切換手段２１が作動制御されて最初のフィ
ルタ２０1 がＸ線源３と対象物１との間に位置決めされ
る（ステップＳ１２）。対象物１を透過したＸ線はＸ線
撮像装置４に取り込まれて画像化され、そのＸ線画像
は、Ｘ線撮像装置制御手段９を介してＡ／Ｄ変換手段１
１において256 階調の画像データに数値化されて画像処
理部２３内に入力される（ステップＳ１３）。
について、図６のフローチャートを参照しながら説明す
る。なお、図６において、図４と同一の処理ステップに
ついては同一のステップ番号を付して簡単に説明する。
計測または検査すべき対象物１が位置決めテーブル２に
セットされると、Ｘ線源３から出射して位置決めテーブ
ル２を透過したＸ線が対象物１に照射される（ステップ
Ｓ１１）。それと同時に、フィルタ切換制御手段２２に
よりフィルタ切換手段２１が作動制御されて最初のフィ
ルタ２０1 がＸ線源３と対象物１との間に位置決めされ
る（ステップＳ１２）。対象物１を透過したＸ線はＸ線
撮像装置４に取り込まれて画像化され、そのＸ線画像
は、Ｘ線撮像装置制御手段９を介してＡ／Ｄ変換手段１
１において256 階調の画像データに数値化されて画像処
理部２３内に入力される（ステップＳ１３）。
【００３０】数値化された画像データは、フィルタ同期
手段２４によって現在選択中のフィルタ２０1 のＸ線透
過量などに対応して加減算する同期処理を行われ（ステ
ップＳ２０）たのちに、画像積分手段１２において画像
積分されてＸ線画像特有のランダムノイズを除去される
（ステップＳ１４）。この画像積分されたＸ線画像は、
１番目の画像メモリ３２1 に一時記憶される（ステップ
Ｓ２１）。
手段２４によって現在選択中のフィルタ２０1 のＸ線透
過量などに対応して加減算する同期処理を行われ（ステ
ップＳ２０）たのちに、画像積分手段１２において画像
積分されてＸ線画像特有のランダムノイズを除去される
（ステップＳ１４）。この画像積分されたＸ線画像は、
１番目の画像メモリ３２1 に一時記憶される（ステップ
Ｓ２１）。
【００３１】つぎに、Ｘ線画像の記憶処理が所要回数終
了したか否かを判別して（ステップＳ２２）、所要回数
に達していない場合には、ステップＳ１２にリターンし
てステップＳ１２〜Ｓ１４，Ｓ２０，Ｓ２１，Ｓ２２の
処理を繰り返することにより、フィルタ２０1 〜２０n
を入れ換えながら得られた所要数の種類のＸ線画像、つ
まりＸ線の異なる照射条件の下に得られた複種類のＸ線
画像が個々の画像メモリ３２1 〜３２n にそれぞれ一時
記憶されていく。
了したか否かを判別して（ステップＳ２２）、所要回数
に達していない場合には、ステップＳ１２にリターンし
てステップＳ１２〜Ｓ１４，Ｓ２０，Ｓ２１，Ｓ２２の
処理を繰り返することにより、フィルタ２０1 〜２０n
を入れ換えながら得られた所要数の種類のＸ線画像、つ
まりＸ線の異なる照射条件の下に得られた複種類のＸ線
画像が個々の画像メモリ３２1 〜３２n にそれぞれ一時
記憶されていく。
【００３２】上述のようにして所要数の種類のＸ線画像
が個々の画像メモリ３２1 〜３２nにそれぞれ一時記憶
され終わると、画像間演算手段３３は、各画像メモリ３
２1〜３２n に記憶されている各Ｘ線画像を読み出すと
ともに、それら各Ｘ線画像間の演算を行う（ステップＳ
２３）。ここで、具体例として、プリント回路基板にお
ける半田付け部の検査を行う場合を例に説明すると、通
常のＸ線透過画像には半田部分と基板のパターン部分が
重なって撮像されるために、半田部分の正確な検査を行
うのが不可能であった。そこで、各画像メモリ３２1 〜
３２n から読み出したＸ線の異なる照射条件の下に得ら
れた各Ｘ線画像について相互に減算処理を行うと、パタ
ーン部の画像部分を削除して半田部のみを強調した画像
データを得ることができ、半田部分の正確な検査が可能
となる。
が個々の画像メモリ３２1 〜３２nにそれぞれ一時記憶
され終わると、画像間演算手段３３は、各画像メモリ３
２1〜３２n に記憶されている各Ｘ線画像を読み出すと
ともに、それら各Ｘ線画像間の演算を行う（ステップＳ
２３）。ここで、具体例として、プリント回路基板にお
ける半田付け部の検査を行う場合を例に説明すると、通
常のＸ線透過画像には半田部分と基板のパターン部分が
重なって撮像されるために、半田部分の正確な検査を行
うのが不可能であった。そこで、各画像メモリ３２1 〜
３２n から読み出したＸ線の異なる照射条件の下に得ら
れた各Ｘ線画像について相互に減算処理を行うと、パタ
ーン部の画像部分を削除して半田部のみを強調した画像
データを得ることができ、半田部分の正確な検査が可能
となる。
【００３３】つぎに、処理エリア設定手段１３では、上
記の画像間演算を行って得られた画像データにおける半
田付けすべき各箇所に対し処理エリアの設定が行われる
（ステップＳ１６）。さらに、所定濃度領域抽出手段１
４は、上記設定された処理エリア内におけるＸ線透過光
の強度を示す濃淡画像から所定値以上の濃度を有する領
域を抽出し（ステップＳ１７）、特徴量計測手段１７
は、抽出された所定濃度領域の特徴量、例えば所定濃度
領域の面積を計測し（ステップＳ１８）、良否判定処理
手段１８は特徴量の計測結果に基づいて半田の有無およ
び半田の形状が許容範囲内であるか否かの別によって半
田部の良否を判定する（ステップＳ１９）。判定制御手
段１９は、良否判定処理手段１８による判定結果を外部
のメインコントローラに対し出力する。
記の画像間演算を行って得られた画像データにおける半
田付けすべき各箇所に対し処理エリアの設定が行われる
（ステップＳ１６）。さらに、所定濃度領域抽出手段１
４は、上記設定された処理エリア内におけるＸ線透過光
の強度を示す濃淡画像から所定値以上の濃度を有する領
域を抽出し（ステップＳ１７）、特徴量計測手段１７
は、抽出された所定濃度領域の特徴量、例えば所定濃度
領域の面積を計測し（ステップＳ１８）、良否判定処理
手段１８は特徴量の計測結果に基づいて半田の有無およ
び半田の形状が許容範囲内であるか否かの別によって半
田部の良否を判定する（ステップＳ１９）。判定制御手
段１９は、良否判定処理手段１８による判定結果を外部
のメインコントローラに対し出力する。
【００３４】なお、上記第２の実施の形態においても、
第１の実施の形態と同様に画像良否判別手段２８によっ
て良好なＸ線画像であるか否かの判別を行って、判別結
果が良好であるＸ線画像のみを画像メモリ３２1 〜３２
n に一時記憶する構成とするようにしてもよい。このよ
うな構成とすれば、良好な複数の画像データ間の演算を
行うことができ、一層高精度な計測または検査を行うこ
とができる。
第１の実施の形態と同様に画像良否判別手段２８によっ
て良好なＸ線画像であるか否かの判別を行って、判別結
果が良好であるＸ線画像のみを画像メモリ３２1 〜３２
n に一時記憶する構成とするようにしてもよい。このよ
うな構成とすれば、良好な複数の画像データ間の演算を
行うことができ、一層高精度な計測または検査を行うこ
とができる。
【００３５】
【発明の効果】以上のように、本発明のＸ線撮像処理装
置によれば、材質または厚さが互いに相違して透過させ
るＸ線の波長または強度を可変する複種類のＸ線透過用
フィルタを、Ｘ線源と対象物との間のＸ線の放射経路中
に順次介在させながら、それに同期して撮像したＸ線画
像が良好であるか否かを判別して、良好なＸ線画像が得
られるフィルタを択一的に選択し、その選択したフィル
タを対象物とＸ線源との間に設置することにより、Ｘ線
の照射条件を最適に設定するようにしたので、従来のＸ
線源の管電流および管電圧の微調整を行う手段に比較し
て、対象物のインライン検査に対応できる高速性を得る
ことのできるとともに、計測や検査を正確に行える。
置によれば、材質または厚さが互いに相違して透過させ
るＸ線の波長または強度を可変する複種類のＸ線透過用
フィルタを、Ｘ線源と対象物との間のＸ線の放射経路中
に順次介在させながら、それに同期して撮像したＸ線画
像が良好であるか否かを判別して、良好なＸ線画像が得
られるフィルタを択一的に選択し、その選択したフィル
タを対象物とＸ線源との間に設置することにより、Ｘ線
の照射条件を最適に設定するようにしたので、従来のＸ
線源の管電流および管電圧の微調整を行う手段に比較し
て、対象物のインライン検査に対応できる高速性を得る
ことのできるとともに、計測や検査を正確に行える。
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るＸ線撮像処理
装置を示すブロック構成図。
装置を示すブロック構成図。
【図２】（ａ）は同上のＸ線撮像処理装置に用いられる
各フィルタの配列の一例を示す平面図、（ｂ）はその側
面図。
各フィルタの配列の一例を示す平面図、（ｂ）はその側
面図。
【図３】（ａ）は同上のＸ線撮像処理装置に用いられる
各フィルタの配列の他例を示す平面図、（ｂ）はその側
面図。
各フィルタの配列の他例を示す平面図、（ｂ）はその側
面図。
【図４】同上のＸ線撮像処理装置の処理を示すフローチ
ャート。
ャート。
【図５】本発明の第１の実施の形態に係るＸ線撮像処理
装置を示すブロック構成図。
装置を示すブロック構成図。
【図６】同上のＸ線撮像処理装置の処理を示すフローチ
ャート。
ャート。
【図７】従来のＸ線撮像処理装置を示すブロック構成
図。
図。
【図８】同上のＸ線撮像処理装置の処理を示すフローチ
ャート。
ャート。
１ 対象物 ３ Ｘ線源 ４ Ｘ線撮像装置 １３ 処理エリア設定手段 １４ 所定濃度領域抽出手段 １７ 特徴量計測手段 １９ 判定制御手段（制御手段） ２０1 〜２０n フィルタ ２１ フィルタ切換手段 ２７ 回転円板 ２８ 画像良否判別手段 ３２1 〜３２n 画像メモリ ３３ 画像間演算手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G001 AA01 BA11 BA15 CA01 EA06 EA09 EA20 FA06 GA07 GA09 GA11 HA04 HA20 JA02 JA05 JA16 JA20 KA03 LA11 SA29 SA30
Claims (3)
- 【請求項１】 対象物にＸ線を照射して、前記対象物に
対し透過または反射したＸ線により得られたＸ線画像に
おける所定領域の特徴部分の計測結果に基づき前記対象
物の良否を判定するよう処理するＸ線撮像処理装置にお
いて、 対象物にＸ線を照射するＸ線源と、 材質または厚さが互いに相違して透過させるＸ線の波長
または強度を可変する複種類のＸ線透過用フィルタと、 前記Ｘ線源と前記対象物との間のＸ線の放射経路中に前
記各フィルタを択一的に順次介在させるフィルタ切換手
段と、 前記各フィルタのＸ線の放射経路中への入れ換えに同期
しながら前記対象物に対し透過または反射したＸ線を取
り込んで前記対象物を撮像するＸ線撮像装置と、 前記Ｘ線撮像装置で撮像して得られたＸ線画像の良否を
判別する画像良否判別手段と、 前記画像良否判別手段の判別結果が良好となったときの
単一の前記フィルタをＸ線の放射経路中に設置するよう
制御する制御手段とを備えて構成されていることを特徴
とするＸ線撮像処理装置。 - 【請求項２】 複数の各フィルタは、回転円板における
回転方向に沿って分割された複数の領域にそれぞれ配置
した配列状態に固定されて、前記回転円板の回転に伴っ
てＸ線の照射経路中に択一的に順次位置させるよう構成
されている請求項１に記載のＸ線撮像処理装置。 - 【請求項３】 各フィルタのＸ線の放射経路中への入れ
換えに同期しながらＸ線撮像装置で対象物をそれぞれ撮
像して得られた複種類のＸ線画像を個々に一時記憶する
複数の画像メモリと、複数の前記画像メモリに記憶され
ている各Ｘ線画像に対し計測または検査の対象箇所の画
像部分を顕著化させるための相互の演算を行う画像間演
算手段とを備えている請求項１または２に記載のＸ線撮
像処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32251399A JP2001141672A (ja) | 1999-11-12 | 1999-11-12 | Ｘ線撮像処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32251399A JP2001141672A (ja) | 1999-11-12 | 1999-11-12 | Ｘ線撮像処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001141672A true JP2001141672A (ja) | 2001-05-25 |
Family
ID=18144506
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32251399A Pending JP2001141672A (ja) | 1999-11-12 | 1999-11-12 | Ｘ線撮像処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001141672A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008145308A (ja) * | 2006-12-12 | 2008-06-26 | Cataler Corp | スラリーの確認方法及び確認装置、並びにスラリーのコート方法 |
| WO2010083128A2 (en) * | 2009-01-13 | 2010-07-22 | Varian Medical Systems, Inc. | Method and apparatus to facilitate dynamically adjusting radiation intensity for imaging purposes |
| JP2015121547A (ja) * | 2009-07-21 | 2015-07-02 | ローレンス リヴァーモア ナショナル セキュリティ，エルエルシー | 単一エネルギガンマ線源による、同位体識別、分析およびイメージングのための二重同位体ノッチ観測機 |
-
1999
- 1999-11-12 JP JP32251399A patent/JP2001141672A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008145308A (ja) * | 2006-12-12 | 2008-06-26 | Cataler Corp | スラリーの確認方法及び確認装置、並びにスラリーのコート方法 |
| WO2010083128A2 (en) * | 2009-01-13 | 2010-07-22 | Varian Medical Systems, Inc. | Method and apparatus to facilitate dynamically adjusting radiation intensity for imaging purposes |
| WO2010083128A3 (en) * | 2009-01-13 | 2010-10-28 | Varian Medical Systems, Inc. | Method and apparatus to facilitate dynamically adjusting radiation intensity for imaging purposes |
| US7991117B2 (en) | 2009-01-13 | 2011-08-02 | Varian Medical Systems, Inc. | Apparatus and method to facilitate dynamically adjusting radiation intensity for imaging purposes |
| JP2015121547A (ja) * | 2009-07-21 | 2015-07-02 | ローレンス リヴァーモア ナショナル セキュリティ，エルエルシー | 単一エネルギガンマ線源による、同位体識別、分析およびイメージングのための二重同位体ノッチ観測機 |
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