JP2001135552A - 弁作用金属粉体２次粒子の製造方法、固体電解コンデンサ用陽極体の製造方法および連続焼結装置 - Google Patents
弁作用金属粉体２次粒子の製造方法、固体電解コンデンサ用陽極体の製造方法および連続焼結装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 固体電解コンデンサの小型・大容量化のため
に、微細な弁作用金属粉体を用いて、焼結させてた陽極
体ペレットの含有酸素量及びコンデンサとしての漏れ電
流を著しく低下できる焼結陽極体の製造方法、その製造
を行う連続焼結装置及びその焼結陽極体、更には微細な
弁作用金属粉体を低酸素含有量の２次粒子への製造方法
を提供するものである。 【解決手段】 弁作用金属粉体をプレス成型したペレッ
トを所定の高温度・高１次真空下で焼結させ、この高真
空下での自然冷却及び不活性ガス雰囲気下での強制冷却
後、焼結ペレットを前記所定の１次真空度の徐酸化室
で、大気リーク、再真空の真空−大気リーク−真空のサ
イクル処理を繰り返して、徐々に大気リークによるリー
ク度を上げて段階的に大気圧にさせ、徐酸化室から大気
中に酸素含有量が抑制されたペレット焼結体を取り出す
固体電解コンデンサ用の焼結形陽極体の製造方法であ
る。
に、微細な弁作用金属粉体を用いて、焼結させてた陽極
体ペレットの含有酸素量及びコンデンサとしての漏れ電
流を著しく低下できる焼結陽極体の製造方法、その製造
を行う連続焼結装置及びその焼結陽極体、更には微細な
弁作用金属粉体を低酸素含有量の２次粒子への製造方法
を提供するものである。 【解決手段】 弁作用金属粉体をプレス成型したペレッ
トを所定の高温度・高１次真空下で焼結させ、この高真
空下での自然冷却及び不活性ガス雰囲気下での強制冷却
後、焼結ペレットを前記所定の１次真空度の徐酸化室
で、大気リーク、再真空の真空−大気リーク−真空のサ
イクル処理を繰り返して、徐々に大気リークによるリー
ク度を上げて段階的に大気圧にさせ、徐酸化室から大気
中に酸素含有量が抑制されたペレット焼結体を取り出す
固体電解コンデンサ用の焼結形陽極体の製造方法であ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、固体電解コンデン
サ用の陽極体の製造方法及びその陽極体に関し、より詳
細には、コンデンサの小型化、容量向上のために、弁作
用を有する微細な金属粉体を用いて、焼結させてた陽極
体ペレットの含有酸素量を著しく低減でき、コンデンサ
としての漏れ電流を著しく低下できる焼結形陽極体の製
造方法及びその焼結形陽極体に関する。
サ用の陽極体の製造方法及びその陽極体に関し、より詳
細には、コンデンサの小型化、容量向上のために、弁作
用を有する微細な金属粉体を用いて、焼結させてた陽極
体ペレットの含有酸素量を著しく低減でき、コンデンサ
としての漏れ電流を著しく低下できる焼結形陽極体の製
造方法及びその焼結形陽極体に関する。
【０００２】また、高温度・高真空での焼結後、酸素の
含有量を低減させて大気中に焼結体を取り出すことがで
きる連続焼結装置にも関する。
含有量を低減させて大気中に焼結体を取り出すことがで
きる連続焼結装置にも関する。
【０００３】更にはまた、本発明は、弁作用を有する微
細な１次粒子の金属粉体を用いて、成型時における流れ
性（又は充填性）、成形性、ハンドリング性に優れる低
含有酸素量の２次粒子の製造方法にも関する。
細な１次粒子の金属粉体を用いて、成型時における流れ
性（又は充填性）、成形性、ハンドリング性に優れる低
含有酸素量の２次粒子の製造方法にも関する。
【０００４】
【従来の技術】従来から、タンタル、アルミニウム等の
弁作用を有する微細金属粉体をプレス成型したペレット
を高温度・高真空下に多孔質の焼結体にさせて、電解コ
ンデンサの焼結形陽極体として用いられている。
弁作用を有する微細金属粉体をプレス成型したペレット
を高温度・高真空下に多孔質の焼結体にさせて、電解コ
ンデンサの焼結形陽極体として用いられている。
【０００５】近年は、半導体集積回路が、益々微細化、
高集積、小型化の傾向にあるなかで、パソコン、電話機
等が、携帯形で、小型、軽量化の方向にあって、用いら
れるコンデンサも小型・大容量化の方向としての傾向が
益々求められている。
高集積、小型化の傾向にあるなかで、パソコン、電話機
等が、携帯形で、小型、軽量化の方向にあって、用いら
れるコンデンサも小型・大容量化の方向としての傾向が
益々求められている。
【０００６】このような要求を満たすために、上述した
焼結体の多孔質度（又は気孔率）を高めて陽極体の表面
積を高めて、コンデンサの小型化、大容量化を達成させ
るために、その出発原料の弁作用を有する金属粉体をよ
り微細な１次粒子径、例えば、特に近年、その平均粒子
径として１．５〜０．７μｍの１次粒子径の原料金属粉
体が用いられるようになっている。
焼結体の多孔質度（又は気孔率）を高めて陽極体の表面
積を高めて、コンデンサの小型化、大容量化を達成させ
るために、その出発原料の弁作用を有する金属粉体をよ
り微細な１次粒子径、例えば、特に近年、その平均粒子
径として１．５〜０．７μｍの１次粒子径の原料金属粉
体が用いられるようになっている。
【０００７】また、通常、このような微細粉体を成型す
るに際しては、成型時の粉体の充填性（流れ性）、成形
性、ハンドリング性の観点から、例えば、高温度・高真
空の熱処理下で熱凝集させて２次粒子化（造粒）させた
金属粉体を使用するのが一般的である。
るに際しては、成型時の粉体の充填性（流れ性）、成形
性、ハンドリング性の観点から、例えば、高温度・高真
空の熱処理下で熱凝集させて２次粒子化（造粒）させた
金属粉体を使用するのが一般的である。
【０００８】例えば、特開平２−３１０３０１号公報に
は、タンタル粉末の製造方法が記載されていて、高温度
・高真空下で得られたその微細な１次粒子を、例えば、
１０ -3Ｐａの真空炉で１４００〜１５５０℃の高温度で
熱処理（３０分）を行い、熱凝集させた粉末を軽く解砕
後、マグネシウムで８５０℃加熱下で脱酸素処理を行う
ことが記載されている。
は、タンタル粉末の製造方法が記載されていて、高温度
・高真空下で得られたその微細な１次粒子を、例えば、
１０ -3Ｐａの真空炉で１４００〜１５５０℃の高温度で
熱処理（３０分）を行い、熱凝集させた粉末を軽く解砕
後、マグネシウムで８５０℃加熱下で脱酸素処理を行う
ことが記載されている。
【０００９】しかしながら、一般的に、このように金属
粉体が微細になれば、その微細化に比例してその表面活
性が高くなる。なかでも弁作用を有する、例えば、タン
タル等の金属粉体は、微細化と共に、その表面が高活性
になり、固体電解コンデンサ用陽極体として用いられて
いる他の弁作用金属粉体のなかでも、特に酸素との親和
性が強く、焼結体とした場合に、含有する酸素量を低減
させることが、著しく困難であるのが一般的である。
粉体が微細になれば、その微細化に比例してその表面活
性が高くなる。なかでも弁作用を有する、例えば、タン
タル等の金属粉体は、微細化と共に、その表面が高活性
になり、固体電解コンデンサ用陽極体として用いられて
いる他の弁作用金属粉体のなかでも、特に酸素との親和
性が強く、焼結体とした場合に、含有する酸素量を低減
させることが、著しく困難であるのが一般的である。
【００１０】その焼結体が、例えば、固体電解コンデン
サの陽極体として使用すると、焼結体中の酸素量が増大
すると、コンデンサとしての漏れ電流特性を劣化させる
要因になり、焼結体の含有酸素量をできるだけ低下させ
ることが、このような焼結体の製造においては、極めて
重要である。
サの陽極体として使用すると、焼結体中の酸素量が増大
すると、コンデンサとしての漏れ電流特性を劣化させる
要因になり、焼結体の含有酸素量をできるだけ低下させ
ることが、このような焼結体の製造においては、極めて
重要である。
【００１１】そこで、例えば、特開平２−３９４１７号
公報には、弁作用を有する金属粉末を用いて高温度・高
真空で焼結させ、含有酸素量に着目して、焼結させた焼
結体を陽極とする電解コンデンサの製造方法が記載され
ている。
公報には、弁作用を有する金属粉末を用いて高温度・高
真空で焼結させ、含有酸素量に着目して、焼結させた焼
結体を陽極とする電解コンデンサの製造方法が記載され
ている。
【００１２】ところが、この公報の提案では、酸素含有
量に着目して、焼結前の出発原料の金属粉体中に含まれ
る酸素濃度が、例えば、２０００ｐｐｍ以下の金属粉体
を用いて焼結体を製造することが記載されているが、焼
結体とした後の酸素含有量については何ら記載されてい
ない。
量に着目して、焼結前の出発原料の金属粉体中に含まれ
る酸素濃度が、例えば、２０００ｐｐｍ以下の金属粉体
を用いて焼結体を製造することが記載されているが、焼
結体とした後の酸素含有量については何ら記載されてい
ない。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】以上のような状況下に
あって、既に上述するように、固体電解コンデンサ用の
焼結形の陽極体は、例えば、弁作用を有するタンタル粉
末（２次粒子粉末）をタンタル線と共にプレス成型し、
この成形体を高真空・高温度下で焼結させた多孔質ペレ
ットを大気中に取り出しても大気中の酸素と物理的に
も、化学的にも吸着され難いものであることが重要であ
る。
あって、既に上述するように、固体電解コンデンサ用の
焼結形の陽極体は、例えば、弁作用を有するタンタル粉
末（２次粒子粉末）をタンタル線と共にプレス成型し、
この成形体を高真空・高温度下で焼結させた多孔質ペレ
ットを大気中に取り出しても大気中の酸素と物理的に
も、化学的にも吸着され難いものであることが重要であ
る。
【００１４】そこで、従来から、通常、高真空・高温度
での焼結後、製造工程として不活性ガス雰囲気で高温度
の焼結体の温度を低下させながら、大気中に取り出す。
従って、その過程での大気を導入させての真空リーク、
また、大気中に取り出した後にも、焼結体の表面を大気
中の酸素に接触させることになる。
での焼結後、製造工程として不活性ガス雰囲気で高温度
の焼結体の温度を低下させながら、大気中に取り出す。
従って、その過程での大気を導入させての真空リーク、
また、大気中に取り出した後にも、焼結体の表面を大気
中の酸素に接触させることになる。
【００１５】そこで、上述した如く、コンデンサの小型
化、高容量化のため、より微細粒子を用いる傾向にあっ
て、特に従来から用いられている酸素親和性の高いタン
タル等の弁作用金属粉体を含めて、上述した大気中の酸
素接触に係わって、その焼結体に含有される酸素量を低
減させるには、著しく困難であることが理解される。
化、高容量化のため、より微細粒子を用いる傾向にあっ
て、特に従来から用いられている酸素親和性の高いタン
タル等の弁作用金属粉体を含めて、上述した大気中の酸
素接触に係わって、その焼結体に含有される酸素量を低
減させるには、著しく困難であることが理解される。
【００１６】従って、既に上述した公報例を含めて、従
来から公知である不活性ガス雰囲気下での強制冷却を取
り入れたとしても、大気中の酸素との接触による酸素含
有量の低下及び／又その金属粉体及びその焼結体の酸素
親和性の低下等を十分に達成できる製造方法ではなく、
又その製造を可能させる十分に満足される焼結装置が得
られていないが実状である。
来から公知である不活性ガス雰囲気下での強制冷却を取
り入れたとしても、大気中の酸素との接触による酸素含
有量の低下及び／又その金属粉体及びその焼結体の酸素
親和性の低下等を十分に達成できる製造方法ではなく、
又その製造を可能させる十分に満足される焼結装置が得
られていないが実状である。
【００１７】以上から、この金属粉体がより微細な１次
粒子径を有する場合には、従来のような製造方法では、
その含有酸素量を増大させる傾向にあると言える。
粒子径を有する場合には、従来のような製造方法では、
その含有酸素量を増大させる傾向にあると言える。
【００１８】既に上述した如くコンデンサ特性の一つで
あって、例えば、この酸素含有量を小さくさせて、漏れ
電流を低減させるためには、酸素と親和性の大きいこの
ような金属の焼結体に含有する酸素量を焼結前の金属粉
体の酸素含有量に比較して、可能な限り増大させない製
造方法が求められる。
あって、例えば、この酸素含有量を小さくさせて、漏れ
電流を低減させるためには、酸素と親和性の大きいこの
ような金属の焼結体に含有する酸素量を焼結前の金属粉
体の酸素含有量に比較して、可能な限り増大させない製
造方法が求められる。
【００１９】そこで、出発原料の粒子径をより微細化さ
せて近年のコンデンサの更なる小型化・大容量化に対応
させるため、微細化による酸素との親和性の一層増大、
焼結体の酸素含有量の増大させる等を解消させるため、
未だ十分に満足できる固体電解コンデンサ用の焼結形陽
極体及びその製造方法が得られていないのが実状であ
る。
せて近年のコンデンサの更なる小型化・大容量化に対応
させるため、微細化による酸素との親和性の一層増大、
焼結体の酸素含有量の増大させる等を解消させるため、
未だ十分に満足できる固体電解コンデンサ用の焼結形陽
極体及びその製造方法が得られていないのが実状であ
る。
【００２０】そこで、本発明の目的は、弁作用を有する
出発原料の金属粉体の平均１次粒子径が１．５μｍ以下
であって、その熱凝集させた２次粒子を用いて高真空・
高温度で焼結させた焼結体を固体電解コンデンサの陽極
体として用いても、コンデンサの漏れ電流に悪影響を及
ぼす酸素含有量が、０．１ｐｐｍ／ＣＶ（ＣＶとは静電
容量と化成電圧の積である）以下に低減でき、且つその
製造工程に係る時間的なコストパホマンスが著しく改善
される固体電解コンデンサ用の焼結形陽極体の製造方法
を及びその焼結装置を提供することである。
出発原料の金属粉体の平均１次粒子径が１．５μｍ以下
であって、その熱凝集させた２次粒子を用いて高真空・
高温度で焼結させた焼結体を固体電解コンデンサの陽極
体として用いても、コンデンサの漏れ電流に悪影響を及
ぼす酸素含有量が、０．１ｐｐｍ／ＣＶ（ＣＶとは静電
容量と化成電圧の積である）以下に低減でき、且つその
製造工程に係る時間的なコストパホマンスが著しく改善
される固体電解コンデンサ用の焼結形陽極体の製造方法
を及びその焼結装置を提供することである。
【００２１】また、本発明は、この製造方法によって、
１次粒子径が１．５μｍ以下の微細タンタル金属粉体を
用いて、その焼結体として固体電解コンデンサ用のタン
タル焼結形陽極体を提供することである。
１次粒子径が１．５μｍ以下の微細タンタル金属粉体を
用いて、その焼結体として固体電解コンデンサ用のタン
タル焼結形陽極体を提供することである。
【００２２】更にはまた、本発明は、１次粒子径が１．
５μｍ以下の弁作用を有する金属粉体を加熱下に熱凝集
させて、その金属粉体の成形時において、流れ性、成形
性（又は充填性）、ハンドリング性に優れた、低酸素含
有量の２次粒子の製造方法を提供することである。
５μｍ以下の弁作用を有する金属粉体を加熱下に熱凝集
させて、その金属粉体の成形時において、流れ性、成形
性（又は充填性）、ハンドリング性に優れた、低酸素含
有量の２次粒子の製造方法を提供することである。
【００２３】
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記する課
題に鑑みて、その課題を解決すべく鋭意検討を行い、弁
作用を有する金属粉体の中でも酸素との親和性の高い微
細なタンタル金属粉体を用いて、高温度・高真空下で焼
結させた後、そのペレットを従来の如くアルゴンガスの
雰囲気下で急冷させた後、大気中に取り出すことなく、
再度高真空下にし、次いで大気を入れて真空度を下げて
リークさせるサイクル処理を多数回行ったところ、従来
の如く焼結体の表面温度を上昇させることなく、大気中
に焼結体を取り出すことを見出して、本発明を完成させ
るに至った。
題に鑑みて、その課題を解決すべく鋭意検討を行い、弁
作用を有する金属粉体の中でも酸素との親和性の高い微
細なタンタル金属粉体を用いて、高温度・高真空下で焼
結させた後、そのペレットを従来の如くアルゴンガスの
雰囲気下で急冷させた後、大気中に取り出すことなく、
再度高真空下にし、次いで大気を入れて真空度を下げて
リークさせるサイクル処理を多数回行ったところ、従来
の如く焼結体の表面温度を上昇させることなく、大気中
に焼結体を取り出すことを見出して、本発明を完成させ
るに至った。
【００２４】すなわち、本発明によれば、弁作用を有す
る平均１次粒子径が１．５μｍ以下の微細な金属粉体及
びその２次粒子をプレス成型したペレットを焼結させて
所定量以下の低酸素含有量を有することを特徴とする固
体電解コンデンサ用の焼結形陽極体の製造方法を提供す
る。
る平均１次粒子径が１．５μｍ以下の微細な金属粉体及
びその２次粒子をプレス成型したペレットを焼結させて
所定量以下の低酸素含有量を有することを特徴とする固
体電解コンデンサ用の焼結形陽極体の製造方法を提供す
る。
【００２５】更に、本発明によれば、このような脱酸素
雰囲気下で焼結させ、酸素含有量を低減された焼結体を
大気中に取り出す製造を可能にさせる連続焼結装置は、
焼結室、自然冷却室及び強制冷却室を有し、強制冷却後
に再度所定の１次高真空度に戻す真空−大気リーク−真
空のサイクル処理を繰り返して、大気リークによるリー
ク度を段階的に上げて大気にさせて焼結体を大気中に取
り出す徐酸化室を備えていることを特徴とする。
雰囲気下で焼結させ、酸素含有量を低減された焼結体を
大気中に取り出す製造を可能にさせる連続焼結装置は、
焼結室、自然冷却室及び強制冷却室を有し、強制冷却後
に再度所定の１次高真空度に戻す真空−大気リーク−真
空のサイクル処理を繰り返して、大気リークによるリー
ク度を段階的に上げて大気にさせて焼結体を大気中に取
り出す徐酸化室を備えていることを特徴とする。
【００２６】すなわち、この連続焼結装置を用いる製造
方法では、このペレットを所定の高温度で、所定の１次
真空度下で、焼結させ、同所定の１次真空度下で自然冷
却させた後、不活性ガス雰囲気下に移送させて強制冷却
させる。
方法では、このペレットを所定の高温度で、所定の１次
真空度下で、焼結させ、同所定の１次真空度下で自然冷
却させた後、不活性ガス雰囲気下に移送させて強制冷却
させる。
【００２７】次いで、このペレットを同所定の１次真空
度下にある徐酸化室に移送させて、少量の大気を導入さ
せなが真空度をリークさせ、再度前記所定の１次真空度
に戻す真空−大気リーク−真空のサイクル処理を繰り返
して、徐々にこの大気リークのサイクル処理によって、
このリーク度を段階的に大気圧にさせた後、徐酸化室か
ら焼結体のペレットを大気中に取り出すことを特徴とし
ている。
度下にある徐酸化室に移送させて、少量の大気を導入さ
せなが真空度をリークさせ、再度前記所定の１次真空度
に戻す真空−大気リーク−真空のサイクル処理を繰り返
して、徐々にこの大気リークのサイクル処理によって、
このリーク度を段階的に大気圧にさせた後、徐酸化室か
ら焼結体のペレットを大気中に取り出すことを特徴とし
ている。
【００２８】また、本発明によればこの製造方法によっ
て、平均１次粒子径が１．５μｍ以下のタンタル金属粉
体を用いた固体電解コンデンサ用の焼結形陽極体が、そ
の酸素含有量が０．１ｐｐｍ／ＣＶ以下であることを特
徴とする固体電解コンデンサ用の焼結形陽極体を提供す
る。
て、平均１次粒子径が１．５μｍ以下のタンタル金属粉
体を用いた固体電解コンデンサ用の焼結形陽極体が、そ
の酸素含有量が０．１ｐｐｍ／ＣＶ以下であることを特
徴とする固体電解コンデンサ用の焼結形陽極体を提供す
る。
【００２９】また更には、本発明によれば、１次粒子径
が１．５μｍ以下の弁作用を有する微細な金属粉体を、
酸素含有量（ｐｐｍ／ＣＶ）が所定量以下の低酸素量で
あることを特徴とする粒子径が１０〜２００μｍ範囲の
２次粒子の製造方法を提供する。
が１．５μｍ以下の弁作用を有する微細な金属粉体を、
酸素含有量（ｐｐｍ／ＣＶ）が所定量以下の低酸素量で
あることを特徴とする粒子径が１０〜２００μｍ範囲の
２次粒子の製造方法を提供する。
【００３０】この金属粉体を所定の高温度で、所定の高
１次真空度下で、熱凝集させて２次粒子化させた後、所
定の１次真空度下で自然冷却させ、この２次粒子を不活
性ガス雰囲気下に移送させて強制冷却させる。
１次真空度下で、熱凝集させて２次粒子化させた後、所
定の１次真空度下で自然冷却させ、この２次粒子を不活
性ガス雰囲気下に移送させて強制冷却させる。
【００３１】次いで、この２次粒子を、同所定の１次高
真空度下にある徐酸化窒に移送させて、少量の大気を導
入させてリークさせ、再度同所定の１次高真空度に戻す
真空−大気リーク−真空のサイクル処理を繰り返して、
徐々にこの大気リークのサイクル処理によって、このリ
ーク度を段階的に大気圧にさせた後、徐酸化室から２次
粒子を大気中に取り出すことを特徴とするものである。
真空度下にある徐酸化窒に移送させて、少量の大気を導
入させてリークさせ、再度同所定の１次高真空度に戻す
真空−大気リーク−真空のサイクル処理を繰り返して、
徐々にこの大気リークのサイクル処理によって、このリ
ーク度を段階的に大気圧にさせた後、徐酸化室から２次
粒子を大気中に取り出すことを特徴とするものである。
【００３２】以上から、本発明においては、このような
２次粒子の製造方法及び焼結形陽極体の製造方法によっ
て、この２次粒子及びた多孔質の焼結形陽極体が、その
出発原料の弁作用を有する金属粉体が、その平均１次粒
子径が１．５μｍ以下の微細粉末であっても、この徐酸
化室での上述した真空−大気リーク−真空のサイクル処
理を多数回行い、そのリーク度を段階的に高めることに
より、従来の方法とは著しく異なり、大気リーク時、大
気中の酸素に接触させても、常に、その表面温度の高ま
り以上に放熱を大きくなる条件下に、酸素吸着量の増加
を著しく抑制させることができ、２次粒子、焼結体の発
熱・自然発火を防止させて大気中に取り出すことができ
る。
２次粒子の製造方法及び焼結形陽極体の製造方法によっ
て、この２次粒子及びた多孔質の焼結形陽極体が、その
出発原料の弁作用を有する金属粉体が、その平均１次粒
子径が１．５μｍ以下の微細粉末であっても、この徐酸
化室での上述した真空−大気リーク−真空のサイクル処
理を多数回行い、そのリーク度を段階的に高めることに
より、従来の方法とは著しく異なり、大気リーク時、大
気中の酸素に接触させても、常に、その表面温度の高ま
り以上に放熱を大きくなる条件下に、酸素吸着量の増加
を著しく抑制させることができ、２次粒子、焼結体の発
熱・自然発火を防止させて大気中に取り出すことができ
る。
【００３３】
【発明の実施の形態】以下に、本発明による２次粒子の
製造方法及び焼結形陽極体の製造方法についての実施形
態を説明する。
製造方法及び焼結形陽極体の製造方法についての実施形
態を説明する。
【００３４】そこで、図１を参照しながら、本発明によ
る徐酸化室を設けた連続焼結装置を用いた固体電解コン
デンサ用の焼結形陽極体の製造工程を以下に説明する。
る徐酸化室を設けた連続焼結装置を用いた固体電解コン
デンサ用の焼結形陽極体の製造工程を以下に説明する。
【００３５】従来から公知の成型法で、平均１次粒子径
が１．５μｍ以下の微細な弁作用金属粉体で、その２次
粒子経が１０〜２００μｍである金属粉体を用いて得ら
れたペレットを焼結させる。その条件は、通常、温度１
２００〜１６００℃で、１０ -3〜１０-4Ｐａの高真空下
（以下、これを所定の高１次真空と称す）であり、図１
に示すＡＢ−工程である。
が１．５μｍ以下の微細な弁作用金属粉体で、その２次
粒子経が１０〜２００μｍである金属粉体を用いて得ら
れたペレットを焼結させる。その条件は、通常、温度１
２００〜１６００℃で、１０ -3〜１０-4Ｐａの高真空下
（以下、これを所定の高１次真空と称す）であり、図１
に示すＡＢ−工程である。
【００３６】次いで、この高１次真空下で自然冷却（Ｂ
Ｃ−工程）させ、通常、この冷却で焼結体の表面温度を
３００〜５００℃範囲に低下させる。次いで、脱酸素雰
囲気下にアルゴンガス（Ａｒ）等の不活性雰囲気ガス
（この際の真空度は、Ａｒで大気圧近傍迄リークされて
いる）で強制冷却（ＣＤＥ−工程）させて、通常、その
表面温度を１００℃近傍に低下させる。
Ｃ−工程）させ、通常、この冷却で焼結体の表面温度を
３００〜５００℃範囲に低下させる。次いで、脱酸素雰
囲気下にアルゴンガス（Ａｒ）等の不活性雰囲気ガス
（この際の真空度は、Ａｒで大気圧近傍迄リークされて
いる）で強制冷却（ＣＤＥ−工程）させて、通常、その
表面温度を１００℃近傍に低下させる。
【００３７】ここで、本発明においては、この焼結ペレ
ットを再度上述した所定の高１次真空下（図１に示すＲ
0の真空度に相当する）にある本発明による連続焼結装
置の徐酸化室に（徐々に酸化させるチャンバ）に移送さ
せる。
ットを再度上述した所定の高１次真空下（図１に示すＲ
0の真空度に相当する）にある本発明による連続焼結装
置の徐酸化室に（徐々に酸化させるチャンバ）に移送さ
せる。
【００３８】次いで、図１に示す真空・リークのプロフ
ァイルの如く、真空−大気リーク−真空のサイクル処理
を繰り返して、図１に示す如く、その真空度をＲ１→Ｒ
２→Ｒ３→Ｒ４の如く、段階的に低下させて大気リーク
を除々に上げて大気レベルにする。この時点では、大気
中に取り出された焼結ペレットの表面温度は、３０〜６
５℃である。
ァイルの如く、真空−大気リーク−真空のサイクル処理
を繰り返して、図１に示す如く、その真空度をＲ１→Ｒ
２→Ｒ３→Ｒ４の如く、段階的に低下させて大気リーク
を除々に上げて大気レベルにする。この時点では、大気
中に取り出された焼結ペレットの表面温度は、３０〜６
５℃である。
【００３９】なお、既に上述した２次粒子の製造方法に
おいては、図１において、焼結のＡＢ−工程が加熱処理
による熱凝集工程となり、その処理温度は、通常、１０
００〜１４００℃（処理時間は３０分程度）であり、そ
の後のＢＣ−工程、ＣＤＥ−工程、真空−大気リーク−
真空のリサイクル処理等の条件は、焼結体の場合とほぼ
同等である。
おいては、図１において、焼結のＡＢ−工程が加熱処理
による熱凝集工程となり、その処理温度は、通常、１０
００〜１４００℃（処理時間は３０分程度）であり、そ
の後のＢＣ−工程、ＣＤＥ−工程、真空−大気リーク−
真空のリサイクル処理等の条件は、焼結体の場合とほぼ
同等である。
【００４０】そこで、このような本発明による製造方法
において、真空−大気リーク−真空のサイクル処理をす
ることにより、本発明においては、その弁作用を有する
金属粉体の平均１次粒子径が、１．５μｍ以下の微粉で
あっても、焼結体に含有する酸素を著しく低下されら
れ、出発原料に元々含まれている酸素量に対して、その
増加量を従来の焼結法に比べて、著しく少なくさせるこ
とができる。
において、真空−大気リーク−真空のサイクル処理をす
ることにより、本発明においては、その弁作用を有する
金属粉体の平均１次粒子径が、１．５μｍ以下の微粉で
あっても、焼結体に含有する酸素を著しく低下されら
れ、出発原料に元々含まれている酸素量に対して、その
増加量を従来の焼結法に比べて、著しく少なくさせるこ
とができる。
【００４１】また、本発明においても、上述した所定の
１次高真空度（Ｐ1＝Ｒ0）が、通常１０-3〜１０-4Ｐａ
レベルであるが、必要において、上述したサイクル処理
時の所定の１次高真空度Ｒ0は、図１に示す真空度レベ
ルとしては、Ｒ0＜Ｐ1であってもよい。
１次高真空度（Ｐ1＝Ｒ0）が、通常１０-3〜１０-4Ｐａ
レベルであるが、必要において、上述したサイクル処理
時の所定の１次高真空度Ｒ0は、図１に示す真空度レベ
ルとしては、Ｒ0＜Ｐ1であってもよい。
【００４２】また、本発明におけるこの徐酸化室での真
空−大気リーク−真空のサイクル処理は、焼結体等の金
属種によって、特に酸素との親和性の違いや、焼結体の
多孔性（気孔率）等の違いで異なるが、好ましくは、１
サイクルの所要時間を２〜２０分の範囲で適宜に行うこ
とができ、そのサイクル回数によるサイクル処理時間と
して、１０〜１８０分の範囲で処理することができる。
空−大気リーク−真空のサイクル処理は、焼結体等の金
属種によって、特に酸素との親和性の違いや、焼結体の
多孔性（気孔率）等の違いで異なるが、好ましくは、１
サイクルの所要時間を２〜２０分の範囲で適宜に行うこ
とができ、そのサイクル回数によるサイクル処理時間と
して、１０〜１８０分の範囲で処理することができる。
【００４３】これによって、焼結体の含有酸素量の増加
を抑制させる条件下で、その製造工程に係る時間的なコ
ストパホマンスが著しく改善されることが判る。
を抑制させる条件下で、その製造工程に係る時間的なコ
ストパホマンスが著しく改善されることが判る。
【００４４】また、２次粒子の製造に係わっては、既に
上述した従来例としての公報例（特開平２−３１０３０
１号公報）にある熱凝集（２次凝集）後の、加熱下にお
けるマグネシウムによる脱酸素処理を除くことが可能で
ある。
上述した従来例としての公報例（特開平２−３１０３０
１号公報）にある熱凝集（２次凝集）後の、加熱下にお
けるマグネシウムによる脱酸素処理を除くことが可能で
ある。
【００４５】また、本発明においては、既に上述した如
く、焼結後の強制冷却時の脱酸素雰囲気ガスとして、不
活性ガスとしては、アルゴンガスが好適であるが、必要
に応じて、窒素ガス単独又はアルゴンガスと窒素ガスと
の混合ガスを適宜に使用することができる。
く、焼結後の強制冷却時の脱酸素雰囲気ガスとして、不
活性ガスとしては、アルゴンガスが好適であるが、必要
に応じて、窒素ガス単独又はアルゴンガスと窒素ガスと
の混合ガスを適宜に使用することができる。
【００４６】また、本発明において、用いられる弁作用
を有する金属粉体としては、アルミニウム、チタン、タ
ンタル及びニオブ等を挙げることができる。
を有する金属粉体としては、アルミニウム、チタン、タ
ンタル及びニオブ等を挙げることができる。
【００４７】以上から、本発明においては、このような
製造方法により、上述する各種の弁作用を有する金属粉
体において、その焼結体に含まれる酸素量を何れもの金
属においても低減させることができ、金属種によってそ
の低減量が異なるが、例えば、中でも最も酸素との親和
性が高く、酸素が吸着されやすいタンタルにおいて、こ
の所定量の酸素含有量が、０．１ｐｐｍ／ＣＶ以下に抑
制させることができる。
製造方法により、上述する各種の弁作用を有する金属粉
体において、その焼結体に含まれる酸素量を何れもの金
属においても低減させることができ、金属種によってそ
の低減量が異なるが、例えば、中でも最も酸素との親和
性が高く、酸素が吸着されやすいタンタルにおいて、こ
の所定量の酸素含有量が、０．１ｐｐｍ／ＣＶ以下に抑
制させることができる。
【００４８】また、この傾向は、既に上述した本発明に
よる２次粒子の製造においても達成させることができ、
例えば、その平均１次粒子径が１．５μｍのタンタル粉
体を、熱凝集させて得られる１０〜２００μｍ粒径の２
次粒子においても、その所定量以下の酸素含有量が０．
１ｐｐｍ／ＣＶ以下である。
よる２次粒子の製造においても達成させることができ、
例えば、その平均１次粒子径が１．５μｍのタンタル粉
体を、熱凝集させて得られる１０〜２００μｍ粒径の２
次粒子においても、その所定量以下の酸素含有量が０．
１ｐｐｍ／ＣＶ以下である。
【００４９】
【実施例】そこで、以下に本発明を実施例によって説明
するが、本発明は、これらにいささかも限定されるもの
ではない。
するが、本発明は、これらにいささかも限定されるもの
ではない。
【００５０】（実施例１）図１のプロファイルに示す如
く、平均１次粒子径が１．０μｍの微細なタンタル粉体
を、熱凝集させて得られた平均粒径が５０μｍの２次粒
子を用いて、従来から公知の方法で、タンタルの成形体
（ペレット）を作製し、図１のプロファイルに示す如く
真空連続炉で温度１４００℃、真空度１０-4 Ｐａで、
３０分間の焼結（ＡＢ−工程）を行った。なお、この２
次粒子に含有する酸素量は３３００ｐｐｍ／ｇであっ
た。
く、平均１次粒子径が１．０μｍの微細なタンタル粉体
を、熱凝集させて得られた平均粒径が５０μｍの２次粒
子を用いて、従来から公知の方法で、タンタルの成形体
（ペレット）を作製し、図１のプロファイルに示す如く
真空連続炉で温度１４００℃、真空度１０-4 Ｐａで、
３０分間の焼結（ＡＢ−工程）を行った。なお、この２
次粒子に含有する酸素量は３３００ｐｐｍ／ｇであっ
た。
【００５１】次いで、この真空炉に連続している冷却室
で同高真空下で自然冷却（ＢＣ−工程）させて、その正
面温度を約３５０℃にさせた後、脱酸素雰囲気下でＡｒ
ガスで強制冷却（ＣＤＥ−工程）させて焼結ペレットの
表面温度を約１００℃にした。
で同高真空下で自然冷却（ＢＣ−工程）させて、その正
面温度を約３５０℃にさせた後、脱酸素雰囲気下でＡｒ
ガスで強制冷却（ＣＤＥ−工程）させて焼結ペレットの
表面温度を約１００℃にした。
【００５２】次いで、このペレットを真空度Ｒ0 ＝１０
-3 Ｐａの徐酸化室に移し、図１に示す真空（Ｒ0）−大
気リーク−真空（Ｒ0）のサイクル処理を、４サイクル
行い、その段階的大気によるリーク度を、Ｒ1（１０Ｐ
ａ）→Ｒ2（１０2Ｐａ）→Ｒ3（１０3Ｐａ）→Ｒ
4（１．３×１０5Ｐａ＝大気圧）として処理を行なっ
た。
-3 Ｐａの徐酸化室に移し、図１に示す真空（Ｒ0）−大
気リーク−真空（Ｒ0）のサイクル処理を、４サイクル
行い、その段階的大気によるリーク度を、Ｒ1（１０Ｐ
ａ）→Ｒ2（１０2Ｐａ）→Ｒ3（１０3Ｐａ）→Ｒ
4（１．３×１０5Ｐａ＝大気圧）として処理を行なっ
た。
【００５３】なお、この処理における１サイクル時間が
約５分で、その処理時間は、２０分であった。
約５分で、その処理時間は、２０分であった。
【００５４】得られた焼結ペレットの酸素含有量は、４
９００ｐｐｍ／ｇであった。この値をこのペレットのＣ
Ｖ値当たりに換算すると、０．０９ｐｐｍ／ＣＶであっ
た。
９００ｐｐｍ／ｇであった。この値をこのペレットのＣ
Ｖ値当たりに換算すると、０．０９ｐｐｍ／ＣＶであっ
た。
【００５５】次いで、このペレットを用いて、図２
（ｂ）の拡大概略断面図に示す如くの多孔質のペレット
陽極体−誘電体（Ｔａ2Ｏ5）−ＭｎＯ2−グラファイト
−銀ペーストからなる固体電解コンデンサ素子を作製し
て、湿式法で漏れ電流（ＬＣ値）を測定した結果、その
値は、１６．８μＡ／μＦＶであった。
（ｂ）の拡大概略断面図に示す如くの多孔質のペレット
陽極体−誘電体（Ｔａ2Ｏ5）−ＭｎＯ2−グラファイト
−銀ペーストからなる固体電解コンデンサ素子を作製し
て、湿式法で漏れ電流（ＬＣ値）を測定した結果、その
値は、１６．８μＡ／μＦＶであった。
【００５６】＜酸素含有量の測定方法＞堀場製の酸素・
窒素分析装置ＥＭＧＡ−５２０（又は６２０）を用い
て、焼結体中に含有する酸素、窒素を不活性ガス−イン
パルス加熱融解法により抽出し、酸素を酸化炭素（Ｃ
Ｏ）として高感度型非分散赤外線検出器にて、測定す
る。
窒素分析装置ＥＭＧＡ−５２０（又は６２０）を用い
て、焼結体中に含有する酸素、窒素を不活性ガス−イン
パルス加熱融解法により抽出し、酸素を酸化炭素（Ｃ
Ｏ）として高感度型非分散赤外線検出器にて、測定す
る。
【００５７】（比較例１）実施例１と同様にしてタンタ
ル金属粉体のペレットを用いて、同様の条件で、図３の
プロファイルに示す如く、焼結（ＡＢ−工程）→自然冷
却（ＢＣ−工程）→強制冷却（ＣＤＥ−工程）させた
後、従来の焼結法の１例である大気中に取り出した（Ｅ
Ｆ1−工程）場合には、焼結体の含有酸素量は、５５０
０ｐｐｍ／ｇであった。
ル金属粉体のペレットを用いて、同様の条件で、図３の
プロファイルに示す如く、焼結（ＡＢ−工程）→自然冷
却（ＢＣ−工程）→強制冷却（ＣＤＥ−工程）させた
後、従来の焼結法の１例である大気中に取り出した（Ｅ
Ｆ1−工程）場合には、焼結体の含有酸素量は、５５０
０ｐｐｍ／ｇであった。
【００５８】この値をこのペレットのＣＶ値当たりに換
算すると、０．１１０ｐｐｍ／ＣＶであった。また、実
施例１と同様にして固体電解コンデンサ素子を作製し
て、湿式法で漏れ電流（ＬＣ値）を測定した結果、その
値は、２４．４μＡ／μＦＶであった。
算すると、０．１１０ｐｐｍ／ＣＶであった。また、実
施例１と同様にして固体電解コンデンサ素子を作製し
て、湿式法で漏れ電流（ＬＣ値）を測定した結果、その
値は、２４．４μＡ／μＦＶであった。
【００５９】（比較例２）図３のプロファイルに示す如
く、ＡＢ→ＢＣ→ＣＤＥ→ＥＦ2において、Ａｒの不活
性ガス雰囲気の強制冷却（ＣＤＥ−工程）まで、比較例
２と同様に行った後に、更に、１昼夜かけて不活性ガス
雰囲気中で徐冷させて、大気中に焼結体を取り出した
（ＥＦ2−工程）場合には、焼結体の含有酸素は、５３
００ｐｐｍ／ｇで、同様にペレットのＣＶ値当たりの換
算値は０．１０６ｐｐｍ／ＣＶであった。また、同様に
して測定した漏れ電流（ＬＣ値）は、２１．４μＡ／μ
ＦＶであった。
く、ＡＢ→ＢＣ→ＣＤＥ→ＥＦ2において、Ａｒの不活
性ガス雰囲気の強制冷却（ＣＤＥ−工程）まで、比較例
２と同様に行った後に、更に、１昼夜かけて不活性ガス
雰囲気中で徐冷させて、大気中に焼結体を取り出した
（ＥＦ2−工程）場合には、焼結体の含有酸素は、５３
００ｐｐｍ／ｇで、同様にペレットのＣＶ値当たりの換
算値は０．１０６ｐｐｍ／ＣＶであった。また、同様に
して測定した漏れ電流（ＬＣ値）は、２１．４μＡ／μ
ＦＶであった。
【００６０】以上から、特に出発原料に微細な弁作用金
属粉体のペレットを焼結させた後において、本発明によ
る連続焼結装置を用いて、図１のプロファイルに示す如
くの真空−大気リーク−真空のリサイクル処理をするこ
とにより、しかも、その処理時間を著しく短縮させなが
ら、焼結体中に含有される酸素量を著しく抑制させて焼
結させることができ、得られる焼結体を固体電解コンデ
ンサの陽極体に用いてもそのコンデンサ特性（漏れ電
流）を劣化させることがない。
属粉体のペレットを焼結させた後において、本発明によ
る連続焼結装置を用いて、図１のプロファイルに示す如
くの真空−大気リーク−真空のリサイクル処理をするこ
とにより、しかも、その処理時間を著しく短縮させなが
ら、焼結体中に含有される酸素量を著しく抑制させて焼
結させることができ、得られる焼結体を固体電解コンデ
ンサの陽極体に用いてもそのコンデンサ特性（漏れ電
流）を劣化させることがない。
【００６１】
【発明の効果】以上から、本発明によれば、弁作用を有
する微細な金属粉体の２次粒子及びその固体電解コンデ
ンサ用の焼結形陽極体についての製造方法は、その出発
原料の弁作用金属粉体の平均１次粒子径が、例えば、
１．５μｍ以下の微細であっても、２次粒子化の熱凝集
及びペレットの焼結後における、徐酸化室を有する本発
明による連続焼結装置で、真空−大気リーク−真空のサ
イクル処理を行なうことにより、大気中に２次粒子及び
焼結体を取り出しても、従来法の如く自然酸化による発
熱・発火の危険性がなく、しかも、含有する酸素量を著
しく抑制でき、強制冷却後のその処理時間を著しく短縮
できて時間的なコストパホーマンスを著しく改善させる
ことができる。
する微細な金属粉体の２次粒子及びその固体電解コンデ
ンサ用の焼結形陽極体についての製造方法は、その出発
原料の弁作用金属粉体の平均１次粒子径が、例えば、
１．５μｍ以下の微細であっても、２次粒子化の熱凝集
及びペレットの焼結後における、徐酸化室を有する本発
明による連続焼結装置で、真空−大気リーク−真空のサ
イクル処理を行なうことにより、大気中に２次粒子及び
焼結体を取り出しても、従来法の如く自然酸化による発
熱・発火の危険性がなく、しかも、含有する酸素量を著
しく抑制でき、強制冷却後のその処理時間を著しく短縮
できて時間的なコストパホーマンスを著しく改善させる
ことができる。
【００６２】また、この徐酸化室での真空−大気リーク
−真空のサイクル処理は、２次粒子の製造方法におい
て、特に従来の方法における熱凝集後の加熱マグネシウ
ムによる脱酸素処理等を除くことができ、２次粒子化の
工程を簡略させることができる。
−真空のサイクル処理は、２次粒子の製造方法におい
て、特に従来の方法における熱凝集後の加熱マグネシウ
ムによる脱酸素処理等を除くことができ、２次粒子化の
工程を簡略させることができる。
【図１】本発明による連続焼結装置を用いて、弁作用を
有する金属粉体の固体電解コンデンサ用焼結形陽極体の
製造工程であって、高温・高真空焼結後の不活性雰囲気
冷却後における真空−大気リーク−真空のサイクル処理
を表すプロファイル図である。
有する金属粉体の固体電解コンデンサ用焼結形陽極体の
製造工程であって、高温・高真空焼結後の不活性雰囲気
冷却後における真空−大気リーク−真空のサイクル処理
を表すプロファイル図である。
【図２】固体電解コンデンサ素子の概念断面とそれに用
いる焼結形陽極体の拡大概念断面図である。
いる焼結形陽極体の拡大概念断面図である。
【図３】従来法による弁作用を有する金属粉体の固体電
解コンデンサ用焼結形陽極体の製造工程であって、高温
・高真空焼結後の不活性雰囲気冷却−大気リークの処理
を表すプロファイル図である。
解コンデンサ用焼結形陽極体の製造工程であって、高温
・高真空焼結後の不活性雰囲気冷却−大気リークの処理
を表すプロファイル図である。
１ 焼結形陽極体（Ｔａ） ２ 誘電体（Ｔａ2Ｏ5） ３ 固体電解質（ＭｎＯ2） ４ グラファイト ５ 銀ペースト ６ 多孔質
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１１年１１月５日（１９９９．１１．
５）
５）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正内容】
【発明の名称】 弁作用金属粉体２次粒子の製造方法、
固体電解コンデンサ用陽極体の製造方法および連続焼結
装置
固体電解コンデンサ用陽極体の製造方法および連続焼結
装置
Claims (12)
- 【請求項１】弁作用を有する金属粉体をプレス成型した
ペレットを焼結させて所定量以下の酸素含有量を有する
固体電解コンデンサ用の焼結形陽極体の製造方法におい
て、 前記ペレットを所定の高温度で、所定の１次高真空度下
で、焼結させ、 前記所定の１次高真空度下で自然冷却させた後、前記ペ
レットを不活性ガス雰囲気下に移送させて強制冷却さ
せ、 前記ペレットを前記所定の１次高真空度の徐酸化室に移
送させて、大気をリークさせて前記１次高真空度を低下
させて、再度前記所定の１次高真空度に戻す真空−大気
リーク−真空のサイクル処理を繰り返して、大気リーク
によるリーク度を段階的に上げて大気圧にさせ、 前記徐酸化室から前記ペレットの焼結体を大気中に取り
出すことを特徴とする固体電解コンデンサ用の焼結形陽
極体の製造方法。 - 【請求項２】前記弁作用を有する金属粉体の平均１次粒
子径が、１．５μｍ以下であることを特徴とする請求項
１に記載の固体電解コンデンサ用の焼結形陽極体の製造
方法。 - 【請求項３】前記所定の１次高真空度が、１０-3〜１０
-4Ｐａであることを特徴とする請求項１又は２に記載の
固体電解コンデンサ用の焼結形陽極体の製造方法。 - 【請求項４】前記徐酸化室における真空−大気リーク−
真空のサイクル処理の１サイクルの所要時間が２〜２０
分で、前記サイクル処理時間が、１０〜１８０分である
ことを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の固
体電解コンデンサ用の焼結形陽極体の製造方法。 - 【請求項５】前記不活性ガスの雰囲気ガスが、アルゴン
ガス、窒素ガス及びこれらの混合ガスであることを特徴
とする請求項１〜４の何れか１項に記載の固体電解コン
デンサ用の焼結形陽極体の製造方法。 - 【請求項６】前記弁作用を有する金属粉体が、アルミニ
ウム、チタン、タンタル及びニオブの群から選ばれる１
種であることを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に
記載の固体電解コンデンサ用の焼結形陽極体の製造方
法。 - 【請求項７】前記弁作用を有する金属粉体が、タンタル
であって、前記所定量の酸素含有量が、０．１ｐｐｍ／
ＣＶ以下であることを特徴とする請求項１〜５の何れか
１項に記載の固体電解コンデンサ用の焼結形陽極体の製
造方法。 - 【請求項８】平均１次粒子径が１．５μｍ以下のタンタ
ル金属粉体を用いた固体電解コンデンサ用の焼結形陽極
体であって、前記焼結形陽極体の酸素含有量が０．１ｐ
ｐｍ／ＣＶ以下であることを特徴とする固体電解コンデ
ンサ用の焼結形陽極体。 - 【請求項９】焼結室、自然冷却室及び強制冷却室を有す
る所定の高温度・１次高真空の脱酸素雰囲気下で焼結処
理をする連続焼結装置において、 強制冷却後に再度所定の１次高真空度に戻す真空−大気
リーク−真空のサイクル処理を繰り返して、大気リーク
によるリーク度を段階的に上げて大気にさせて焼結体を
大気中に取り出す徐酸化室を備えていることを特徴とす
る連続焼結装置。 - 【請求項１０】平均１次粒子径が１．５μｍ以下の弁作
用を有する金属粉体を、酸素含有量（ｐｐｍ／ＣＶ）が
所定量以下である粒子径が１０〜２００μｍ範囲の２次
粒子の製造方法において、 前記金属粉体を所定の高温度、所定の１次高真空下で加
熱処理させて２次粒子化させ、 前記所定の１次真空度下で自然冷却させた後、前記２次
粒子を不活性ガス雰囲気下に移送させて強制冷却させ、 前記２次粒子を前記所定の１次真空下の徐酸化窒に移送
させて、大気をリークさせて前記１次真空度を低下させ
て、再度前記所定の１次真空度に戻す真空−大気リーク
−真空のサイクル処理を繰り返して、大気リークにより
リーク度を段階的に上げて大気圧にさせ、 前記徐酸化室から前記２次粒子を大気中に取り出すこと
を特徴とする弁作用を有する金属粉体の２次粒子の製造
方法。 - 【請求項１１】前記金属粉体が、タンタルであって、前
記所定量以下の酸素含有量が０．１ｐｐｍ／ＣＶ以下で
あることを特徴とする請求項１０に記載の弁作用を有す
る金属粉体の２次粒子の製造方法。 - 【請求項１２】前記不活性ガスの雰囲気ガスが、アルゴ
ンガス、窒素ガス及びこれらの混合ガスであることを特
徴とする請求項１０又は１１に記載の弁作用を有する金
属粉体の２次粒子の製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31333999A JP3585791B2 (ja) | 1999-11-04 | 1999-11-04 | 固体電解コンデンサ用陽極体の製造方法及びその製造方法に用いられる連続焼結装置 |
| DE60039568T DE60039568D1 (de) | 1999-11-04 | 2000-11-02 | Verfahren zur Herstellung einer gesinterten Anodeneinheit für einen Festelektrolytkondensator, kontinuierliches Sinterapparat und Verfahren zur Herstellung von sekundären Partikeln eines Ventilmetallpulvers |
| EP00123870A EP1098328B1 (en) | 1999-11-04 | 2000-11-02 | Method of manufacturing a sintered anode unit for a solid electrolytic capacitor, continuous sintering apparatus and method of manufacturing secondary particles of a valve-action metal powder |
| US09/704,683 US6350406B1 (en) | 1999-11-04 | 2000-11-03 | Method of manufacturing anode unit for solid electrolytic capacitor, anode unit for solid electrolytic capacitor, continuous sintering apparatus, and method of manufacturing secondary particles of valve-action metal powder |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31333999A JP3585791B2 (ja) | 1999-11-04 | 1999-11-04 | 固体電解コンデンサ用陽極体の製造方法及びその製造方法に用いられる連続焼結装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001135552A true JP2001135552A (ja) | 2001-05-18 |
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ID=18040064
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| US4964906A (en) * | 1989-09-26 | 1990-10-23 | Fife James A | Method for controlling the oxygen content of tantalum material |
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| US5448447A (en) * | 1993-04-26 | 1995-09-05 | Cabot Corporation | Process for making an improved tantalum powder and high capacitance low leakage electrode made therefrom |
| JP2885101B2 (ja) * | 1994-12-08 | 1999-04-19 | 日本電気株式会社 | 電解コンデンサの製造方法 |
| US5993513A (en) * | 1996-04-05 | 1999-11-30 | Cabot Corporation | Method for controlling the oxygen content in valve metal materials |
| DE59801636D1 (de) * | 1997-02-19 | 2001-11-08 | Starck H C Gmbh Co Kg | Tantalpulver, verfahren zu seiner herstellung, sowie daraus erhältliche sinteranoden |
| BR9807239A (pt) * | 1997-02-19 | 2000-04-25 | Starck H C Gmbh Co Kg | Pós de tântalo, processos para a sua preparação, bem como anodos de sinterização preparados a partir deles |
-
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006179886A (ja) * | 2004-11-29 | 2006-07-06 | Showa Denko Kk | 固体電解コンデンサ用多孔質陽極体、その製造方法、及び固体電解コンデンサ |
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