JP2001135548A - 電子部品およびその製造方法 - Google Patents

電子部品およびその製造方法

Info

Publication number
JP2001135548A
JP2001135548A JP31893999A JP31893999A JP2001135548A JP 2001135548 A JP2001135548 A JP 2001135548A JP 31893999 A JP31893999 A JP 31893999A JP 31893999 A JP31893999 A JP 31893999A JP 2001135548 A JP2001135548 A JP 2001135548A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
conductor
conductor pattern
insulating layer
electronic component
pattern
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP31893999A
Other languages
English (en)
Inventor
Nobunori Mochizuki
宣典 望月
Toshiyuki Abe
寿之 阿部
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP31893999A priority Critical patent/JP2001135548A/ja
Publication of JP2001135548A publication Critical patent/JP2001135548A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【課題】 接触不良等のトラブルのない、信頼性の高い
電子部品およびその製造方法を提供する。 【解決手段】 導体突起31は、絶縁層12を貫通し、
一端が導体パターン21に接続され、他端が導体パター
ン22にくい込み、導体パターン22に立体的に接続さ
れている。導体突起32は、絶縁層13を貫通し、一端
が導体パターン22に接続され、他端が導体パターン2
3にくい込み、導体パターン23に立体的に接続されて
いる。導体突起33は、絶縁層14を貫通し、一端が導
体パターン23に接続され、他端が導体パターン24に
くい込み、導体パターン24に立体的に接続されてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、積層電子部品に関
する。
【0002】
【従来の技術】インダクタ、コンデンサ、抵抗等の受動
部品、これらの受動部品を組み合わせた複合受動部品、
上記受動部品と能動部品とを組み合わせた複合部品、サ
ーミスタまたはバリスタ等において、積層化されたのも
の(積層電子部品)は、従来よりよく知られている。
【0003】この種の積層電子部品は、絶縁層を介して
隔てられた複数の内部電極を有し、内部電極のいくつか
を、絶縁層の厚み方向に貫通するスルーホール導体によ
って導通させた構造を有する。
【0004】上述した積層電子部品を製造する場合、一
般的にはシート積層法が採用される。シート積層法にお
いては、スルーホールを設けた絶縁シートの一面上に、
導体パターンを形成すると共に、スルーホール導体を形
成する。スルーホール導体は、一端が一面上の導体パタ
ーンに連続し、他端が絶縁シートの他面に導出される。
【0005】そして、上述した構造を有する必要枚数の
絶縁シートを順次に積層し、熱圧着、接着等の手段によ
って接合し、更に、端子電極付与工程等を経て、目的の
積層電子部品が得られる。
【0006】ところが、複数枚数の絶縁シートを積層接
合した状態では、隣接する2つの絶縁シート間におい
て、一方の絶縁シートの一面上に形成された導体パター
ンの表面に、他の絶縁シートに形成されたスルーホール
導体の他端面が平面的に接触する構造となる。
【0007】このため、スルーホール導体の他端面と導
体パターンの表面との間の電気的機械的接続の信頼姓に
欠けるという難点がある。例えば、隣接する2つの絶縁
シート間の接触界面の状態によっては、導体パターンの
他端面とスルーホール導体の表面とが密着せず、互いに
接触不良を起こしてしまう等の不具合を生じる。
【0008】しかも、近年、各種電子機器の小型化に伴
い、電子部品にも小型化が求められており、それに対応
して、スルーホール導体の小径化、導体パターンの高細
密化が進展しており、スルーホール導体と導体パターン
との間の接触面積が非常に小さくなっている。このた
め、上述した接触不良が発生し易い。
【0009】更に、スルーホール導体の小径化、導体パ
ターンの高細密化の進展に伴い、スルーホール導体と導
体パターンとの間の接触面積が非常に小さくなっている
ため、スルーホール導体と導体パターンとの間の位置合
わせが極めて困難で、僅かな位置ずれを生じただけで、
スルーホール導体が導体パターンに接続できなくなって
しまう。
【0010】通常は、スルーホール導体の周囲にランド
と称される導体部分を設け、導体パターンとスルーホー
ル導体との間の接触条件の改善、及び、位置ずれに伴う
接触不良を回避する。しかし、ランドによる専有面積の
ために、導体パターンの高密度配線化が犠牲にならざる
を得ない。
【0011】更に、スルーホール導体の形成に当って
は、絶縁シートにスルーホールを設け、このスルーホー
ルに導体を形成しなければならない。スルーホール形成
手段としては、一般に、微小孔を形成するのに適したレ
ーザ加工が採用される。ところが、レーザ加工は、スル
ーホール周辺の絶縁シートに熱的ストレスを与え、クラ
ック等の欠陥を生じやすいという問題がある。
【0012】別のスルーホール形成手段として、機械的
パンチング加工法も知られている。しかし、機械的パン
チング加工法は、レーザ加工との比較において、微小な
スルーホールを形成することができないから、高密度配
線を要する積層電子部品には適していない。
【0013】スルーホール導体を設けることによる上記
問題点を回避する手段として、スルーホール導体を用い
ない方法も、いくつか知られている。例えば、特開平7
−106756号公報では、導電性金属箔の上に突起電
極を設ける技術が開示されており、特開平7−2632
32号公報では、外部端子に突起電極を構成する技術が
開示されているが、何れも多層化は困難である。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、接触
不良等のトラブルのない、信頼性の高い電子部品および
その製造方法を提供することである。
【0015】本発明のもう一つの課題は、更に高密度配
線化の進んだ電子部品およびその製造方法を提供するこ
とである。
【0016】本発明の更にもう一つの課題は、スルーホ
ールを設ける必要がなく、従って、クラック等の発生を
防止できる電子部品製造方法を提供することである。
【0017】
【課題を解決するための手段】<電子部品>上述した課
題を解決するため、本発明に係る電子部品は、少なくと
も1つの絶縁層と、複数の導体パターンと、少なくとも
1つの導体突起とを含む。
【0018】前記導体パターンは、回路要素を構成する
ものであって、前記絶縁層の両面に設けられている。前
記導体突起は、前記絶縁層を貫通し、一端が前記絶縁層
の一面に設けられた前記導体パターンに接続され、他端
が前記絶縁層の他面に設けられた前記導体パターンの内
部にくい込み、立体的に接続されている。
【0019】上述したように、導体突起は、絶縁層を貫
通し、一端部が絶縁層の一面に設けられた導体パターン
に接続され、他端(先端)部が絶縁層の他面に設けられ
た導体パターンの内部にくい込み、立体的に接続されて
いる。この構造によれば、導体突起の他端部が導体パタ
ーンの内部に入り、導体突起の他端部の周りに、導体パ
ターンが接続されることになる。このため、接触不良等
のトラブルのない、信頼性の高い電子部品が得られる。
【0020】また、導体突起の他端(先端)側の外径寸
法を適切に設計することによって、ランドを省略し、高
密度配線を実現することができる。例えば、導体突起の
他端(先端)側の外径を、導体パターンとの接続部分に
おける導体パターンの線幅よりも小さくなるように設計
することにより、導体突起を、ランドを含まない本来の
線幅の導体パターンに直接に接続することができる。こ
のため、高密度配線が可能になる。しかも、導体パター
ンを切断することなく、その面内で、導体突起を導体パ
ターンに確実にくい込ませることができるので、接続の
信頼性が向上する。
【0021】好ましくは、導体突起は、一端から他端に
向かうに従って、断面積が小さくなる。このような導体
突起は、全体の形状が、いわゆる錐体状となるので、絶
縁層を容易に貫通し、導体パターン内にくい込ませるこ
とができる。このため、絶縁層の導体パターン相互間の
接続がより確実になり、信頼性が更に向上する。
【0022】<電子部品の製造方法>本発明に係る電子
部品製造方法は、第1の工程と、第2の工程とを含む。
【0023】前記第1の工程は、第1の絶縁層の一面上
に第1の導体パターンを形成した後、前記導体パターン
の一面上に導体突起を形成する工程を含む。
【0024】前記第2の工程は、一面側に第2の導体パ
ターンを有する第2の絶縁層の他面側を、前記第1の絶
縁層の前記一面側に重ね合わせ、プレスすることによっ
て、前記導体突起の先端を前記第2の導体パターンにく
い込ませる工程を含む。
【0025】この製造方法によれば、上述した利点を有
する本発明に係る電子部品が得られることは明らかであ
る。
【0026】更に、この製造方法によれば、スルーホー
ルを形成しないので、従来のシート積層法において生じ
ていた、クラック発生等の問題を回避できる。
【0027】本発明の他の目的、構成及び利点は添付さ
れた図面を参照して、更に詳しく説明する。
【0028】
【発明の実施の形態】<電子部品>図1は本発明に係る
電子部品の分解斜視図、図2は本発明に係る電子部品の
斜視図、図3は図2の3−3線に沿った拡大断面図、図
4は図2の4−4線に沿った拡大断面図である。図1〜
4に示した実施例は、積層インダクタである。本発明
は、これに限らず、例えば、コンデンサ、抵抗等の受動
電子部品、受動電子部品を組み合わせた複合型の受動電
子部品、上記受動電子部品と能動電子部品とを組み合わ
せた複合電子部品、圧電部品、サーミスタまたはバリス
タ等の各種電子部品にも適用できる。
【0029】図1〜4に示した積層インダクタは、絶縁
層11〜15と、導体パターン21〜24と、導体突起
31〜33とを含む。
【0030】絶縁層11〜15は、対象とする電子部品
の種類に対応して、その材質が任意に選択される。例え
ば、コンデンサの場合には、絶縁層11〜15は、無機
誘電体または有機誘電体で構成される。図示実施例は積
層インダクタを示しているので、絶縁層11〜15は、
磁性材料で構成される。磁性材料としては、例えば、磁
性フェライトまたは複合磁性材料等を挙げることができ
る。
【0031】複合磁性材料は、磁性粉と合成樹脂とで構
成される。磁性粉は、セラミック系磁性粉、金属系磁性
粉または合金系磁性粉の何れであってもよい。セラミッ
ク系磁性粉の具体例としては、例えば、Ni−Zn系フ
ェライト粉末、Mn−Zn系フェライト粉末等のフェラ
イト磁性粉を挙げることができる。金属系磁性粉の具体
例としては、例えば、Fe、NiまたはCoの少なくと
も一種を含むものを挙げることができる。合金系磁性粉
の具体例としては、Fe−Ni合金(パーマロイ)また
はFe−Si−Al合金(センダスト)等を挙げること
ができる。合成樹脂の具体例としては、例えば、ポリエ
チレン、ブチルゴムまたは塩化ビニール等を挙げること
ができる。また、空芯コイルの場合には、絶縁層11〜
15を、非磁性のセラミックスや合成樹脂で構成すれば
よい。
【0032】導体パターン21〜24は、回路要素を構
成するものであって、Ag、Ag−Pd、Cuの少なく
とも一種を含む導体によって構成することができる。そ
のパターン、配置および個数等は、対象とする電子部品
によって異なる。
【0033】実施例では、図1に示すように、導体パタ
ーン21は、絶縁層11の一面に線幅の狭い旋回または
周回するパターンとして設けられており、一端側に取り
出し電極部を備える。この取り出し電極部は、絶縁層1
1の端縁まで導かれている。
【0034】導体パターン22は、絶縁層12の一面
に、狭い線幅で旋回または周回するパターンとして設け
られており、導体パターン23は、絶縁層13の一面
に、狭い線幅で旋回または周回するパターンとして設け
られている。
【0035】導体パターン24は、絶縁層14の一面
に、狭い線幅で旋回または周回するパターンとして設け
られており、一端側に取り出し電極部を備える。この取
り出し電極部は、絶縁層14の端縁まで導かれている。
【0036】導体突起31は、絶縁層12を貫通し、一
端が絶縁層11の上面に配置された導体パターン21に
接続され、他端が絶縁層12の上面に配置された導体パ
ターン22の内部にくい込み、導体パターン22に立体
的に接続されている。
【0037】導体突起32は、絶縁層13を貫通し、一
端が絶縁層12の上面に配置された導体パターン22に
接続され、他端が絶縁層13の上面に配置された導体パ
ターン23にくい込み、導体パターン23に立体的に接
続されている。
【0038】導体突起33は、絶縁層14を貫通し、一
端が絶縁層13の上面に配置された導体パターン23に
接続され、他端が絶縁層14の上面に配置された導体パ
ターン24にくい込み、導体パターン24に立体的に接
続されている。
【0039】導体突起31〜33のそれぞれは、導体パ
ターン22〜24を突き抜けてもよいし、導体パターン
22〜24の内部にとどまっていてもよい。
【0040】したがって、導体パターン21〜24は、
導体突起31〜33を介して互いに接続され、全体とし
てヘリカル状または螺旋状のパターンを構成し、コイル
として機能する。
【0041】実施例では、導体突起31〜33は、一端
から他端に向かうに従って、断面積が小さくなる、いわ
ゆる錐体状の形状である。その寸法は、例えば、絶縁層
の厚みが20μm程度の場合、底面直径が50μm程
度、高さが30〜50μm程度に設定される。導体突起
31〜33を構成する材料としては、導体パターン21
〜24と同じ材質、即ち、Ag、Ag−Pd、Cuの少
なくとも一種で構成するのが望ましい。
【0042】更に実施例に示す電子部品は、図2〜4に
示すように、端子電極41、42を含む。端子電極41
は、絶縁層11〜15の長さ方向の一端に備えられ、導
体パターン21の端部に接続される。端子電極42は、
絶縁層11〜15の長さ方向の他端に備えられ、導体パ
ターン24の端部に接続される。
【0043】図5は図1〜4に示した電子部品の等価回
路図である。図において、インダクタンスL1は、導体
パターン21〜24および導体突起31〜33によって
構成されるコイル導体によって発生する。この回路図か
ら明らかなように、図1〜4によれば、積層インダクタ
が得られる。
【0044】上述したように、導体突起31は、絶縁層
12を貫通し、一端が絶縁層11の上面に配置された導
体パターン21に接続され、他端が絶縁層12の上面に
配置された導体パターン22にくい込み、導体パターン
22に立体的に接続されている。この構造によれば、導
体突起31の他端が導体パターン22の内部に入り、導
体突起31の他端部の周りに、導体パターン22が接続
されることになる。
【0045】導体突起32は、絶縁層13を貫通し、一
端が絶縁層12の上面に配置された導体パターン22に
接続され、他端が絶縁層13の上面に配置された導体パ
ターン23にくい込み、導体パターン23に立体的に接
続されている。この構造によれば、導体突起32の他端
が導体パターン23の内部に入り、導体突起32の他端
部の周りに、導体パターン23が接続されることにな
る。
【0046】導体突起33は、絶縁層14を貫通し、一
端が絶縁層13の上面に配置された導体パターン23に
接続され、他端が絶縁層14の上面に配置された導体パ
ターン24にくい込み、導体パターン24に立体的に接
続されている。この構造によれば、導体突起33の他端
が導体パターン24の内部に入り、導体突起33の他端
部の周りに、導体パターン24が接続されることにな
る。
【0047】したがって、導体パターン21−22−2
3−24の相互間は、導体突起31〜34を介して確実
に接続される。このため、接触不良等のトラブルのな
い、信頼性の高い積層インダクタが得られる。
【0048】また、導体突起31〜33の他端(先端)
側の外径寸法を適切に設計することによって、ランドを
省略し、高密度配線を実現することができる。例えば、
導体突起31〜33の他端(先端)側の外径を、導体パ
ターン22〜24との接続部分において、導体パターン
22〜24の線幅よりも小さくなるように設計すること
により、導体突起31〜33を、ランドを含まない本来
の線幅の導体パターン22〜24に直接に接続すること
ができる。このため、高密度配線が可能になる。しか
も、導体パターン22〜24を切断することなく、その
面内で、導体突起31〜33を導体パターン22〜24
に確実にくい込ませることができるので、接続の信頼性
が向上する。
【0049】実施例では、導体突起31〜33は、一端
から他端に向かうに従って、断面積が小さくなる。この
ような導体突起31〜33は、全体の形状が、いわゆる
錐体状となるので、絶縁層12〜14を容易に貫通し、
導体パターン22〜24内にくい込ませることができ
る。このため、導体パターン21−22、22−23、
23−24相互間の接続がより確実になり、信頼性が更
に向上する。
【0050】図6は本発明に係る電子部品の別の実施例
を示す分解斜視図、図7は本発明に係る電子部品の別の
実施例を示す斜視図、図8は図7の8−8線に沿った拡
大断面図である。図6〜8に示した実施例は、積層LC
フィルタである。
【0051】図6〜8に示した積層LCフィルタは、絶
縁層51〜58と、導体パターン611〜67と、導体
突起711〜762とを含む。
【0052】図6に示すように、導体パターン611〜
67の内、導体パターン611、612は絶縁層51の
一面に互いに間隔を隔てて設けられている。導体パター
ン62は絶縁層52の一面に設けられている。導体パタ
ーン611、612および導体パターン62は、コイル
の一部を構成するものであって、狭い線幅で旋回または
周回するパターンとして設けられている。
【0053】導体パターン63は絶縁層53の一面に設
けられている。導体パターン64は絶縁層54の一面に
設けられている。これらの導体パターン63、64は、
コイルとコンデンサとの中継端子として用いられる。
【0054】導体パターン65は絶縁層55の一面に設
けられている。導体パターン65は、コンデンサ電極と
して用いられるものであって、絶縁層55の一面上にお
いて、その面内に平面状に設けられている。
【0055】導体パターン661、662は絶縁層56
の一面に設けられている。導体パターン661は、コン
デンサ電極を構成する。導体パターン661の対向する
辺には、取り出し電極部が備えられている。この取り出
し電極部は、絶縁層56の端縁まで導かれている。導体
パターン661は、中央部に無導体部を有していて、こ
の無導体部に、導体パターン662が備えられている。
導体パターン662の周辺と、導体パターン661との
間には、絶縁ギャップがリング状に設けられている。導
体パターン662は中継端子として用いられる。
【0056】導体パターン67は絶縁層57の一面に設
けられている。導体パターン67はコンデンサ電極を構
成するものであって、絶縁層57の一面上において、そ
の面内に平面状に設けられている。
【0057】導体突起711は、絶縁層52を貫通し、
一端が絶縁層51の上面に設けられた導体パターン61
1に接続され、他端が絶縁層52の上面に配置された導
体パターン62にくい込み、導体パターン62に立体的
に接続されている。
【0058】導体突起712は、絶縁層52を貫通し、
一端が絶縁層51の上面に設けられた導体パターン61
2に接続され、他端が絶縁層52の上面に配置された導
体パターン62にくい込み、導体パターン62に立体的
に接続されている。
【0059】導体突起721、722は、絶縁層53を
貫通し、一端が絶縁層52の上面に設けられた導体パタ
ーン62に接続され、他端が絶縁層53の上面に配置さ
れた導体パターン63にくい込み、導体パターン63に
立体的に接続されている。
【0060】導体突起731、732は、絶縁層54を
貫通し、一端が絶縁層53の上面に設けられた導体パタ
ーン63に接続され、他端が絶縁層54の上面に配置さ
れた導体パターン64にくい込み、導体パターン64に
立体的に接続されている。
【0061】導体突起741、742は、絶縁層55を
貫通し、一端が絶縁層54の上面に設けられた導体パタ
ーン64に接続され、他端が絶縁層55の上面に配置さ
れた導体パターン65にくい込み、導体パターン65に
立体的に接続されている。
【0062】導体突起751、752は、絶縁層56を
貫通し、一端が絶縁層55の上面に設けられた導体パタ
ーン65に接続され、他端が絶縁層56の上面に配置さ
れた導体パターン662にくい込み、導体パターン66
2に立体的に接続されている。
【0063】導体突起761、762は、絶縁層57を
貫通し、一端が絶縁層56の上面に設けられた導体パタ
ーン662に接続され、他端が絶縁層57の上面に配置
された導体パターン67にくい込み、導体パターン67
に立体的に接続されている。
【0064】更に実施例に示す電子部品は、図7、8に
示すように、端子電極81〜84を含む。端子電極81
は、絶縁層51〜58の長さ方向の一端に備えられ、導
体パターン611の端部に接続される。端子電極82
は、絶縁層51〜58の長さ方向の他端に備えられ、導
体パターン612の端部に接続される。端子電極83、
84は、絶縁層51〜58の長さ方向の中間において、
幅方向に備えられている。端子電極83は、導体パター
ン661の取り出し電極部の一方に接続される。端子電
極84は、導体パターン661の取り出し電極部の他方
に接続される。
【0065】図9は図6〜8に示した電子部品の等価回
路図である。図において、コンデンサC1は、コンデン
サ電極65およびコンデンサ電極661によって取得さ
れる。コンデンサC2は、コンデンサ電極67およびコ
ンデンサ電極661によって取得される。インダクタン
スL1は、導体パターン611、導体突起711および
導体パターン62によって発生する。インダクタンスL
2は、導体パターン62、導体突起712および導体パ
ターン612によって発生する。図9の回路図から明ら
かなように、図6〜8によれば、積層LCフィルタが得
られる。
【0066】この実施例の場合も、図1〜5に示した実
施例の場合と、同様の作用効果が得られる。
【0067】更に、実施例では、導体パターン62〜6
62それぞれの上に、導体突起が2つずつ備えられてい
る。この構造によれば、各導体パターンに導体突起が1
つだけ備えられた場合と比較して、接続の信頼性が更に
向上すると共に、電気抵抗およびインダクタンスが低減
する。
【0068】<電子部品の製造方法>本発明に係る電子
部品は、シート積層法によって製造される。以下、図1
〜5に示した電子部品を例に挙げ、その製造方法につい
て図面を参照しながら、説明する。
【0069】図10、13および14は図1〜5に示し
た電子部品の製造方法の各工程を示す図、図11、12
は図10に示した導体突起の形成方法を示す図である。
【0070】まず、図10(a)に示すように、絶縁層
11の一面上に第1の導体パターン21を形成する。導
体パターン21は、導体ペースト印刷法または導体シー
ト転写法等の手段によって形成することができる。
【0071】その後、図10(b)に示すように、導体
パターン21の一面上に導体突起31を形成する。導体
突起31は、メタルマスク等を用いたスクリーン印刷の
他、様々な方法によって形成することができる。以下、
その具体例を示す。
【0072】図11に示す方法では、導体ペースト91
が充填されたディスペンサ90を用いる。まず、図11
(a)に示すように、ディスペンサ90を、その開口部
が導体パターン21の上の所定位置にくるようにセッテ
ィングする。次に、図11(b)に示すように、所定量
の導体ペースト91を導体パターン21の上に供給す
る。供給終了後、図11(c)に示すように、ディスペ
ンサ90を持ち上げる。このとき、導体ペースト91
は、自身の粘性によって、ディスペンサ90と共に上方
に持ち上げられ、これにより、図1に示した導体突起3
1が形成される。
【0073】図12に示す方法では、円錐状の電極92
1、922、923、924、…が縦列に装填されたデ
ィスペンサ90を用いる。円錐状電極921、922、
923、924、…は、金型等により予め作成してお
く。図示はしないが、円錐状電極921、922、92
3、924、…は、取り扱いやすいように、アクリルバ
インダ等を付加して円柱状に成形してもよい。
【0074】まず、図12(a)参照に示すように、デ
ィスペンサ90を、その開口部が導体パターン21の上
の所定位置にくるようにセッティングする。次に、図1
2(b)に示すように、導体パターン21の一面上に電
極921を供給し、導電性接着剤等の結合手段を用いて
導体パターン21と電極921とを接合する。その後、
図12(c)に示すように、ディスペンサ90を持ち上
げる。これにより、図1に示した導体突起31が形成さ
れる。
【0075】次に、図13(a)に示すように、絶縁層
11〜15を、下側の絶縁層の一面側と、上側の絶縁層
の他面側とが対向するように順次に重ね合わせる。図1
3(a)に図示された絶縁層11、13は、図10〜図
12に示した工程を経て得られたものである。絶縁層1
2、14は図10〜図12に示した工程、または、この
工程から独立する工程を経て得られたものである。
【0076】次に、図13(b)参照に示すように、熱
プレスすることによって、導体突起31〜33の先端を
上側の導体パターンにくい込ませる。これにより、絶縁
層11〜15、導体パターン21〜24および導体突起
31〜33の積層体が得られる。熱プレスする際の温度
および圧力は、それぞれ40〜120℃、50〜100
0Kgf/cm2程度が望ましい。
【0077】図1〜5に示した電子部品の場合、更に、
個別分割工程と、脱バインダおよび焼成工程とが加わ
る。
【0078】積層体は、切断線X1−X1に沿って、個
別に分割する。分割手段にダイヤモンドソウ等、適宜手
段を用いて、容易に分割することができる。分割された
積層体は、脱バインダ工程に付され、積層体中に存在す
るバインダが熱処理によって除去され、更に、1000
℃前後の温度条件で、約10分程度保持することにより
焼成する(図示しない)。
【0079】これにより、図14に示した電子部品が得
られる。この後、端子電極41、42を付与することに
よって、図2、3に示した最終製品である電子部品が完
成する。
【0080】この製造方法によれば、図1〜5に示した
電子部品が得られることは明らかである。
【0081】更に、この製造方法によれば、スルーホー
ルを形成しないので、従来のシート積層法において生じ
ていた、クラック発生等の問題を回避できる。
【0082】上述した製造方法は、図6〜9に示した電
子部品およびその他各種電子部品にも適用できること
は、言うまでもない。
【0083】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
のような効果を得ることができる。 (a)接触不良等のトラブルのない、信頼性の高い電子
部品およびその製造方法を提供することができる。 (b)更に高密度配線化の進んだ電子部品およびその製
造方法を提供することができる。 (c)スルーホールを設ける必要がなく、従って、クラ
ック等の発生を防止できる電子部品製造方法を提供する
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る電子部品の分解斜視図である。
【図2】本発明に係る電子部品の斜視図である。
【図3】図2の3−3線に沿った拡大断面図である。
【図4】図2の4−4線に沿った拡大断面図である。
【図5】図1〜4に示した電子部品の等価回路図であ
る。
【図6】本発明に係る電子部品の別の実施例を示す分解
斜視図である。
【図7】本発明に係る電子部品の別の実施例を示す斜視
図である。
【図8】図7の8−8線に沿った拡大断面図である。
【図9】図6〜8に示した電子部品の等価回路図であ
る。
【図10】本発明に係る電子部品の製造工程を示す図で
ある。
【図11】図10に示した導体突起の形成方法を示す図
である。
【図12】図10に示した導体突起の別の形成方法を示
す図である。
【図13】図10に示した製造工程の後の製造工程を示
す図である。
【図14】図13に示した製造工程の後の製造工程を示
す図である。
【符号の説明】
11〜15、51〜58 絶縁層 21〜24、611〜67 導体パターン 31〜33、711〜762 導体突起 41〜42、81〜84 端子電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5E070 AA01 AB03 CB03 CB13 5E082 BC38 DD08 EE04 EE13 EE14 EE35 MM22 MM24 5E344 BB06 BB08 BB10 CC23 DD07 EE21

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくとも1つの絶縁層と、複数の導体
    パターンと、少なくとも1つの導体突起とを含む電子部
    品であって、 前記導体パターンは、回路要素を構成するものであっ
    て、前記絶縁層の両面に設けられ、 前記導体突起は、前記絶縁層を貫通し、一端が前記絶縁
    層の一面に設けられた前記導体パターンに接続され、他
    端が前記絶縁層の他面に設けられた前記導体パターンに
    くい込み、立体的に接続されている電子部品。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載された電子部品であっ
    て、 前記導体突起は、他端側の外径が、前記導体パターンと
    の接続部分における前記導体パターンの線幅よりも小さ
    い電子部品。
  3. 【請求項3】 請求項1または2の何れかに記載された
    電子部品であって、前記導体突起は、前記一端から前記
    他端に向かうに従って、断面積が小さくなる電子部品。
  4. 【請求項4】 第1の工程と、第2の工程と含む電子部
    品製造方法であって、 前記第1の工程は、第1の絶縁層の一面上に第1の導体
    パターンを形成した後、前記導体パターンの一面上に導
    体突起を形成する工程を含み、 前記第2の工程は、一面側に第2の導体パターンを有す
    る第2の絶縁層の他面側を、前記第1の絶縁層の前記一
    面側に重ね合わせ、プレスすることによって、前記導体
    突起の先端を前記第2の導体パターンにくい込ませる工
    程を含む電子部品の製造方法。
  5. 【請求項5】 請求項4に記載された製造方法であっ
    て、 前記導体突起は、前記先端が尖端状である製造方法。
JP31893999A 1999-11-09 1999-11-09 電子部品およびその製造方法 Withdrawn JP2001135548A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP31893999A JP2001135548A (ja) 1999-11-09 1999-11-09 電子部品およびその製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP31893999A JP2001135548A (ja) 1999-11-09 1999-11-09 電子部品およびその製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001135548A true JP2001135548A (ja) 2001-05-18

Family

ID=18104684

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP31893999A Withdrawn JP2001135548A (ja) 1999-11-09 1999-11-09 電子部品およびその製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001135548A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007027353A (ja) * 2005-07-15 2007-02-01 Toko Inc 積層型電子部品の製造方法
US10756589B2 (en) 2017-09-07 2020-08-25 Ibiden Co., Ltd. Motor coil
US10937588B2 (en) 2017-06-27 2021-03-02 Ibiden Co., Ltd. Coil

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007027353A (ja) * 2005-07-15 2007-02-01 Toko Inc 積層型電子部品の製造方法
US10937588B2 (en) 2017-06-27 2021-03-02 Ibiden Co., Ltd. Coil
US10756589B2 (en) 2017-09-07 2020-08-25 Ibiden Co., Ltd. Motor coil

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6778058B1 (en) Embedded 3D coil inductors in a low temperature, co-fired ceramic substrate
US6956455B2 (en) Method of manufacturing laminated ceramic electronic component and laminated ceramic electronic component
JP4375402B2 (ja) 積層型セラミック電子部品の製造方法および複合積層体
EP1067568B1 (en) Lamination type coil component and method of producing the same
JP3551876B2 (ja) 積層セラミック電子部品の製造方法
TW200416755A (en) Inductance element, laminated electronic component, laminated electronic component module and method for producing these element, component and module
US4731297A (en) Laminated components of open magnetic circuit type
EP1367611A1 (en) Inductor part, and method of producing the same
WO2012144103A1 (ja) 積層型インダクタ素子及び製造方法
KR100653429B1 (ko) 적층형 칩 타입 파워 인덕터 및 그 제조 방법
JPS5924535B2 (ja) 積層複合部品
US6551426B2 (en) Manufacturing method for a laminated ceramic electronic component
JPS59132604A (ja) 積層型インダクタ
JP2001135548A (ja) 電子部品およびその製造方法
JPH06333743A (ja) 積層チップコイルおよびその製造方法
US6597056B1 (en) Laminated chip component and manufacturing method
JPH0732908U (ja) 電磁石
JP2001307937A (ja) 積層セラミック電子部品の製造方法
JP2909122B2 (ja) 積層複合部品
JPH0757935A (ja) 積層チップインダクタ
CN107871586A (zh) 层叠型电子部件的制造方法
JP2700833B2 (ja) セラミック複合電子部品およびその製造方法
JP2001093745A (ja) 積層チップ部品
JPH06215947A (ja) 積層インダクタ
JPH03159206A (ja) 混成集積回路部品の構造

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20070109