JP2001126655A5 - - Google Patents

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EP1367630B1 (en) * 2002-05-31 2011-09-14 Carl Zeiss SMT Limited Improvements in or relating to particle detectors
JP4636897B2 (ja) 2005-02-18 2011-02-23 株式会社日立ハイテクサイエンスシステムズ 走査電子顕微鏡
JP4581824B2 (ja) * 2005-05-06 2010-11-17 株式会社島津製作所 粒子線顕微鏡、及び真空分析装置用部材移動機構
JP5075375B2 (ja) 2006-08-11 2012-11-21 株式会社日立ハイテクノロジーズ 走査電子顕微鏡
JP5276860B2 (ja) 2008-03-13 2013-08-28 株式会社日立ハイテクノロジーズ 走査電子顕微鏡
JP5352262B2 (ja) 2009-02-06 2013-11-27 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線装置
JP5386519B2 (ja) * 2011-01-27 2014-01-15 株式会社日立ハイテクノロジーズ 半導体検査装置、及び荷電粒子線の画像、或いは光学条件の選択装置
JP5493044B2 (ja) * 2013-08-08 2014-05-14 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線装置
US11348757B2 (en) 2018-07-19 2022-05-31 Hitachi High-Tech Corporation Charged particle beam device

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