JP2001125109A - スペーサ散布装置 - Google Patents
スペーサ散布装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 チャンバー内に付着したスペーサ材の塊が、
液晶基板の搬入および搬出の際に生ずる振動によって液
晶基板上に落下することを防ぐとともに、散布処理時間
の短縮を図る。 【解決手段】 液晶基板１を搬入する搬入開口部３とス
ペーサ材散布済みの液晶基板１を搬出する搬出開口部４
をチャンバー２に設け、それぞれの開口部３，４にエア
ノズル１５，１６を設置し、このエアノズル１５，１６
からエアを吹き出して開口部３，４にエアカーテン１
７，１８を形成し、チャンバー２内の雰囲気を遮断す
る。これにより、従来、それぞれの開口部に設けられて
いた機械的シャッタ機構が不要となって開閉の際に生じ
た振動がなくなり、スペーサ材の落下がなくなるととも
に、シャッタの開閉に要した時間が短縮できる。
液晶基板の搬入および搬出の際に生ずる振動によって液
晶基板上に落下することを防ぐとともに、散布処理時間
の短縮を図る。 【解決手段】 液晶基板１を搬入する搬入開口部３とス
ペーサ材散布済みの液晶基板１を搬出する搬出開口部４
をチャンバー２に設け、それぞれの開口部３，４にエア
ノズル１５，１６を設置し、このエアノズル１５，１６
からエアを吹き出して開口部３，４にエアカーテン１
７，１８を形成し、チャンバー２内の雰囲気を遮断す
る。これにより、従来、それぞれの開口部に設けられて
いた機械的シャッタ機構が不要となって開閉の際に生じ
た振動がなくなり、スペーサ材の落下がなくなるととも
に、シャッタの開閉に要した時間が短縮できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置の製
造に使用される製造装置であって、特に粉体からなるス
ペーサ材を液晶基板面に散布し、上下２枚の液晶基板間
隔を保持するためのスペーサを形成する際に使用するス
ペーサ散布装置に関する。
造に使用される製造装置であって、特に粉体からなるス
ペーサ材を液晶基板面に散布し、上下２枚の液晶基板間
隔を保持するためのスペーサを形成する際に使用するス
ペーサ散布装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置において、従来、液晶基板
を製造する際には、上下２枚の対向するガラス基板間に
所定の間隔を形成する手段として、スペーサと呼ばれる
樹脂などの材料からなる粉体が用いられている。このス
ペーサ材を基板表面に散布する方法として、湿式散布方
式または乾式散布方式が用いられている。
を製造する際には、上下２枚の対向するガラス基板間に
所定の間隔を形成する手段として、スペーサと呼ばれる
樹脂などの材料からなる粉体が用いられている。このス
ペーサ材を基板表面に散布する方法として、湿式散布方
式または乾式散布方式が用いられている。
【０００３】前者は、一定量のスペーサ材を水や有機溶
剤に混合し、この混合液を、液晶基板をセットしたチャ
ンバー内に窒素ガス等の加圧力により噴射し、スペーサ
材を液晶基板上に付着させる方式である。また、後者
は、一定量のスペーサ材をそのままの状態で窒素ガス等
により圧送し、チャンバー内にセットした液晶基板面に
上方からスペーサ材と窒素ガスとの混合気体を噴霧し、
静電気力を利用してスペーサ材を液晶基板上に付着させ
る方式である。
剤に混合し、この混合液を、液晶基板をセットしたチャ
ンバー内に窒素ガス等の加圧力により噴射し、スペーサ
材を液晶基板上に付着させる方式である。また、後者
は、一定量のスペーサ材をそのままの状態で窒素ガス等
により圧送し、チャンバー内にセットした液晶基板面に
上方からスペーサ材と窒素ガスとの混合気体を噴霧し、
静電気力を利用してスペーサ材を液晶基板上に付着させ
る方式である。
【０００４】この乾式散布方式による従来のスペーサ散
布装置の構造を、図面を用いて説明する。図３は、従来
のスペーサ散布装置の断面図である。すなわち、図３に
示すように、チャンバー２内に設けられたテーブル７上
にセットされた液晶基板（以下、単に基板１という）
に、上方からスペーサ材を散布するようにしたもので、
一定量のスペーサ材１２を、加圧された窒素ガス１３と
ともに混合気体として散布ノズル８に圧送し、散布ノズ
ル８からスペーサ材の混合気体１４を噴霧して基板１上
に付着させる。
布装置の構造を、図面を用いて説明する。図３は、従来
のスペーサ散布装置の断面図である。すなわち、図３に
示すように、チャンバー２内に設けられたテーブル７上
にセットされた液晶基板（以下、単に基板１という）
に、上方からスペーサ材を散布するようにしたもので、
一定量のスペーサ材１２を、加圧された窒素ガス１３と
ともに混合気体として散布ノズル８に圧送し、散布ノズ
ル８からスペーサ材の混合気体１４を噴霧して基板１上
に付着させる。
【０００５】散布ノズル８は、チャンバー２の上部に設
けられた駆動装置９に取り付けられており、駆動装置９
のモーターに連動して揺動するとともにＸ−Ｙ方向にも
移動でき、サインカーブを画くようにして基板１上にス
ペーサ材の散布を行なう。
けられた駆動装置９に取り付けられており、駆動装置９
のモーターに連動して揺動するとともにＸ−Ｙ方向にも
移動でき、サインカーブを画くようにして基板１上にス
ペーサ材の散布を行なう。
【０００６】また、チャンバー２には、基板１を搬入お
よび搬出するための入口となる搬入開口部３と、出口と
なる搬出開口部４が設けられている。そして、それぞれ
の開口部３，４には、機械的動作で開閉する搬入部シャ
ッタ５と搬出部シャッタ６が取り付けられており、この
シャッタ５，６は基板１の出し入れ以外は閉じられてい
る。
よび搬出するための入口となる搬入開口部３と、出口と
なる搬出開口部４が設けられている。そして、それぞれ
の開口部３，４には、機械的動作で開閉する搬入部シャ
ッタ５と搬出部シャッタ６が取り付けられており、この
シャッタ５，６は基板１の出し入れ以外は閉じられてい
る。
【０００７】また、チャンバー２の底部には排気ダクト
１０が設けられ、散布ノズル８から噴出した余分な混合
気体を排気するようになっている。この時の排気速度
は、ダンパー１１で調節することができる。
１０が設けられ、散布ノズル８から噴出した余分な混合
気体を排気するようになっている。この時の排気速度
は、ダンパー１１で調節することができる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記した構造を有する
従来のスペーサ散布装置は、散布ノズルから噴出したス
ペーサ材が基板上面に付着する以外に、チャンバー内の
壁面や上面にも付着してしまうという問題がある。これ
は、スペーサ材が窒素ガスとともに混合気体として配管
等を通過する際に帯電し、一方、チャンバー側はアース
されて低電位であることから、スペーサ材が帯電量の低
い方向に引き寄せられるためである。
従来のスペーサ散布装置は、散布ノズルから噴出したス
ペーサ材が基板上面に付着する以外に、チャンバー内の
壁面や上面にも付着してしまうという問題がある。これ
は、スペーサ材が窒素ガスとともに混合気体として配管
等を通過する際に帯電し、一方、チャンバー側はアース
されて低電位であることから、スペーサ材が帯電量の低
い方向に引き寄せられるためである。
【０００９】このスペーサ材付着の問題を解決するため
に、例えば特開平１１−３８４１９号公報に示すよう
に、チャンバー上部にフィルターユニットを設置し、チ
ャンバー内に乾燥空気をダウンフローさせてチャンバー
内を対流するスペーサの混合気体を下方に導くようにし
たスペーサ散布装置が提案されている。
に、例えば特開平１１−３８４１９号公報に示すよう
に、チャンバー上部にフィルターユニットを設置し、チ
ャンバー内に乾燥空気をダウンフローさせてチャンバー
内を対流するスペーサの混合気体を下方に導くようにし
たスペーサ散布装置が提案されている。
【００１０】しかし、このような装置を用いても、チャ
ンバー内におけるスペーサ材混合気体の対流を完全に抑
えることは不可能であり、その結果、チャンバー内壁面
へのスペーサ材の付着を免れることはできていない。そ
のため、この付着したスペーサ材が時間とともに凝集
し、塊となって基板上に落下するという問題が発生して
いる。
ンバー内におけるスペーサ材混合気体の対流を完全に抑
えることは不可能であり、その結果、チャンバー内壁面
へのスペーサ材の付着を免れることはできていない。そ
のため、この付着したスペーサ材が時間とともに凝集
し、塊となって基板上に落下するという問題が発生して
いる。
【００１１】特に、上述した従来のスペーサ散布装置で
は、基板の搬入口および搬出口に機械的なシャッタ機構
を備えているため、シャッタの開閉動作時に振動が発生
し、この振動によってチャンバー内壁に付着しているス
ペーサ材の塊が落下するという問題点があった。また、
従来の装置はシャッタの開閉に時間を要するため、散布
処理時間が長くなるという問題点があった。
は、基板の搬入口および搬出口に機械的なシャッタ機構
を備えているため、シャッタの開閉動作時に振動が発生
し、この振動によってチャンバー内壁に付着しているス
ペーサ材の塊が落下するという問題点があった。また、
従来の装置はシャッタの開閉に時間を要するため、散布
処理時間が長くなるという問題点があった。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明のスペーサ散布装
置は、液晶基板を搬入するための搬入開口部とスペーサ
散布終了後の液晶基板を搬出するための搬出開口部を有
するチャンバーを備え、チャンバー内に液晶基板を搬入
してスペーサ材の混合気体を散布ノズルから噴出させ、
液晶基板面にスペーサを形成するスペーサ散布装置にお
いて、前記液晶基板の搬入開口部と搬出開口部とのそれ
ぞれにエアカーテンを形成し、このエアカーテンにより
チャンバー内部の雰囲気を遮断することを特徴とする。
また、前記搬入開口部と搬出開口部のそれぞれにエアノ
ズルを設置し、このエアノズルからエアを吹き出してエ
アカーテンを形成することを特徴とする。また、前記エ
アカーテンは、前記それぞれの開口部の上部から下部へ
向かうダウンフローで形成されていることを特徴とす
る。また、前記エアノズルは、それぞれの開口部の上部
で、かつチャンバー壁の外側に取り付けられていること
を特徴とする。また、前記エアノズルは、エアカーテン
がそれぞれの開口部の内側下方に向くように、垂直方向
に対し傾けて取り付けられていることを特徴とする。
置は、液晶基板を搬入するための搬入開口部とスペーサ
散布終了後の液晶基板を搬出するための搬出開口部を有
するチャンバーを備え、チャンバー内に液晶基板を搬入
してスペーサ材の混合気体を散布ノズルから噴出させ、
液晶基板面にスペーサを形成するスペーサ散布装置にお
いて、前記液晶基板の搬入開口部と搬出開口部とのそれ
ぞれにエアカーテンを形成し、このエアカーテンにより
チャンバー内部の雰囲気を遮断することを特徴とする。
また、前記搬入開口部と搬出開口部のそれぞれにエアノ
ズルを設置し、このエアノズルからエアを吹き出してエ
アカーテンを形成することを特徴とする。また、前記エ
アカーテンは、前記それぞれの開口部の上部から下部へ
向かうダウンフローで形成されていることを特徴とす
る。また、前記エアノズルは、それぞれの開口部の上部
で、かつチャンバー壁の外側に取り付けられていること
を特徴とする。また、前記エアノズルは、エアカーテン
がそれぞれの開口部の内側下方に向くように、垂直方向
に対し傾けて取り付けられていることを特徴とする。
【００１３】さらに、本発明のスペーサ散布装置は、前
記チャンバーへの液晶基板の搬入および搬出をコンベア
で行なうことを特徴とする。また、前記液晶基板を停止
させることなくコンベアで搬送しながらスペーサ散布を
行なうことを特徴とする。また、前記コンベアのベルト
材に樹脂シートを使用し、散布済み液晶基板を搬出した
後ロール状に巻き取ることを特徴とする。また、前記樹
脂シートは、チャンバー内を１回通過させるだけの使い
捨てであることを特徴とする。
記チャンバーへの液晶基板の搬入および搬出をコンベア
で行なうことを特徴とする。また、前記液晶基板を停止
させることなくコンベアで搬送しながらスペーサ散布を
行なうことを特徴とする。また、前記コンベアのベルト
材に樹脂シートを使用し、散布済み液晶基板を搬出した
後ロール状に巻き取ることを特徴とする。また、前記樹
脂シートは、チャンバー内を１回通過させるだけの使い
捨てであることを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明の第
１の実施の形態を示す断面図である。図１に示すよう
に、本発明のスペーサ散布装置は、チャンバー２内のテ
ーブル１上にセットされた液晶基板（以下、単に基板１
という）に、上方からスペーサ材を散布するようにした
もので、一定量のスペーサ材１２を、３〜４気圧に加圧
された窒素ガス１３により混合気体として散布ノズル８
に圧送し、散布ノズル８からこの混合気体１４を噴霧し
て基板１上にスペーサを付着させる。
て、図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明の第
１の実施の形態を示す断面図である。図１に示すよう
に、本発明のスペーサ散布装置は、チャンバー２内のテ
ーブル１上にセットされた液晶基板（以下、単に基板１
という）に、上方からスペーサ材を散布するようにした
もので、一定量のスペーサ材１２を、３〜４気圧に加圧
された窒素ガス１３により混合気体として散布ノズル８
に圧送し、散布ノズル８からこの混合気体１４を噴霧し
て基板１上にスペーサを付着させる。
【００１５】散布ノズル８は、チャンバー２の上部に設
けられた駆動装置９に取り付けられており、駆動装置９
のモーターに連動して揺動運動するとともにＸ−Ｙ方向
にも移動でき、サインカーブを画くようにジグザグ動作
して基板１上にスペーサ散布を行なう。
けられた駆動装置９に取り付けられており、駆動装置９
のモーターに連動して揺動運動するとともにＸ−Ｙ方向
にも移動でき、サインカーブを画くようにジグザグ動作
して基板１上にスペーサ散布を行なう。
【００１６】また、チャンバー２には、基板１を搬入お
よび搬出するための入口となる搬入開口部３と、出口と
なる搬出開口部４が設けられている。そして、図示して
いない搬送装置により前工程から搬送されてきた基板１
は搬入開口部３より１枚ずつ搬入され、テーブル７上に
セットされる。散布処理が終了した基板１は搬出装置に
より搬出開口部４を通過して搬出され、次工程に送られ
る。
よび搬出するための入口となる搬入開口部３と、出口と
なる搬出開口部４が設けられている。そして、図示して
いない搬送装置により前工程から搬送されてきた基板１
は搬入開口部３より１枚ずつ搬入され、テーブル７上に
セットされる。散布処理が終了した基板１は搬出装置に
より搬出開口部４を通過して搬出され、次工程に送られ
る。
【００１７】また、チャンバー２の底部には排気ダクト
１０が設けられ、散布ノズル８から噴出した余分な混合
気体を排気するようになっている。この時の排気速度
は、ダンパー１１で調節することができる。
１０が設けられ、散布ノズル８から噴出した余分な混合
気体を排気するようになっている。この時の排気速度
は、ダンパー１１で調節することができる。
【００１８】搬入開口部３と搬出開口部４の上部には、
それぞれエアノズル１５，１６が噴出口を下に向けて取
り付けられている。このエアノズル１５，１６から高圧
エアを吹き出し、それぞれの開口部を塞ぐようにエアカ
ーテン１７，１８を形成し、チャンバー２内に充満して
いるスペーサ材の混合気体が外部へ放出するのを防止し
ている。
それぞれエアノズル１５，１６が噴出口を下に向けて取
り付けられている。このエアノズル１５，１６から高圧
エアを吹き出し、それぞれの開口部を塞ぐようにエアカ
ーテン１７，１８を形成し、チャンバー２内に充満して
いるスペーサ材の混合気体が外部へ放出するのを防止し
ている。
【００１９】また、エアカーテン１７，１８は垂直方向
にダウンフローするのではなく、あらかじめチャンバー
２内へ高圧エアが流れ込みやすいように、垂直方向に対
しわずか傾けて角度が付けてある。そのため、エアノズ
ル１５，１６の方向をチャンバー壁の外側から内側下方
に向けてわずかに傾斜させている。そして、エアカーテ
ン１７，１８を形成したエアは、チャンバー２の排気ダ
クト１０から排出されるようになっている。
にダウンフローするのではなく、あらかじめチャンバー
２内へ高圧エアが流れ込みやすいように、垂直方向に対
しわずか傾けて角度が付けてある。そのため、エアノズ
ル１５，１６の方向をチャンバー壁の外側から内側下方
に向けてわずかに傾斜させている。そして、エアカーテ
ン１７，１８を形成したエアは、チャンバー２の排気ダ
クト１０から排出されるようになっている。
【００２０】次に、上述した第１の実施の形態における
スペーサ散布装置の動作について説明する。図１に示す
ように、スペーサ材の散布処理に先立って、まず、エア
ノズル１５，１６からエアを吹き出し、搬入開口部３お
よび搬出開口部４にエアカーテン１７，１８を形成す
る。このエアカーテン１７，１８により、チャンバー２
の内部と外部との雰囲気は遮断された状態となる。
スペーサ散布装置の動作について説明する。図１に示す
ように、スペーサ材の散布処理に先立って、まず、エア
ノズル１５，１６からエアを吹き出し、搬入開口部３お
よび搬出開口部４にエアカーテン１７，１８を形成す
る。このエアカーテン１７，１８により、チャンバー２
の内部と外部との雰囲気は遮断された状態となる。
【００２１】次いで、アームなどの搬入装置により基板
１がエアカーテン１７を横切って搬入開口部３からチャ
ンバー２内に搬入され、テーブル７上にセットされる。
テーブル７上に基板１がセットされると、散布ノズル８
の先端よりスペーサ材の混合気体１４が一定時間噴出さ
れる。この時、散布ノズル８は装置上部に設けられた駆
動装置９によってＸ、Ｙの２方向に動作すると同時に揺
動運動を行ない、基板１の全面にサインカーブを画くよ
うにジグザグにスペーサ材を散布する。
１がエアカーテン１７を横切って搬入開口部３からチャ
ンバー２内に搬入され、テーブル７上にセットされる。
テーブル７上に基板１がセットされると、散布ノズル８
の先端よりスペーサ材の混合気体１４が一定時間噴出さ
れる。この時、散布ノズル８は装置上部に設けられた駆
動装置９によってＸ、Ｙの２方向に動作すると同時に揺
動運動を行ない、基板１の全面にサインカーブを画くよ
うにジグザグにスペーサ材を散布する。
【００２２】スペーサ材の散布が終了した直後は、チャ
ンバー２内に混合気体１４が充満しているため、一定時
間放置し、この間に排気ダクト１０より混合気体１４を
排気する。そして、スペーサ材の散布が終了した後も、
窒素ガス１３は一定の割合で流れ続けているため、残留
している混合気体１４は窒素ガス１３で置換されて行
き、スペーサ材の浮遊が低減する。
ンバー２内に混合気体１４が充満しているため、一定時
間放置し、この間に排気ダクト１０より混合気体１４を
排気する。そして、スペーサ材の散布が終了した後も、
窒素ガス１３は一定の割合で流れ続けているため、残留
している混合気体１４は窒素ガス１３で置換されて行
き、スペーサ材の浮遊が低減する。
【００２３】チャンバー２内が窒素ガス１３で置換され
た後、搬送装置により基板１の搬出動作を行なう。この
時、基板１上に散布されたスペーサ材の一部が搬出開口
部４のエアカーテン１８を通過する際に吹き飛ばされて
しまうのを防ぐために、エアカーテン１８の吹き出しを
ＯＦＦにして基板１の取り出し動作を行なう。
た後、搬送装置により基板１の搬出動作を行なう。この
時、基板１上に散布されたスペーサ材の一部が搬出開口
部４のエアカーテン１８を通過する際に吹き飛ばされて
しまうのを防ぐために、エアカーテン１８の吹き出しを
ＯＦＦにして基板１の取り出し動作を行なう。
【００２４】この際、チャンバー２内の雰囲気は窒素ガ
ス１３で置換されているため、エアカーテン１８をＯＦ
Ｆにしてもスペーサ材の外部への流れ出しは発生しな
い。基板１の搬出動作終了後は、再びエアカーテン１８
の吹き出しをＯＮにする。
ス１３で置換されているため、エアカーテン１８をＯＦ
Ｆにしてもスペーサ材の外部への流れ出しは発生しな
い。基板１の搬出動作終了後は、再びエアカーテン１８
の吹き出しをＯＮにする。
【００２５】また、基板１を搬出する際、基板１上に散
布されたスペーサ材がエアカーテン１８によって吹き飛
ばされないようにするための別の手段として、スペーサ
材の表面に接着性を有するスペーサ材を使用してもよ
い。この接着性を有するスペーサ材としては、樹脂粉体
からなるスペーサ材がある。このようなスペーサ材を用
いれば、基板１に付着したスペーサ材はエアカーテン１
８を通過しても吹き飛ばされることがないため、基板１
を搬出する際にエアカーテン１８を停止する必要がなく
なり、散布終了直後のチャンバー２内に混合気体１４が
充満した状態でも基板１の搬送ができる。
布されたスペーサ材がエアカーテン１８によって吹き飛
ばされないようにするための別の手段として、スペーサ
材の表面に接着性を有するスペーサ材を使用してもよ
い。この接着性を有するスペーサ材としては、樹脂粉体
からなるスペーサ材がある。このようなスペーサ材を用
いれば、基板１に付着したスペーサ材はエアカーテン１
８を通過しても吹き飛ばされることがないため、基板１
を搬出する際にエアカーテン１８を停止する必要がなく
なり、散布終了直後のチャンバー２内に混合気体１４が
充満した状態でも基板１の搬送ができる。
【００２６】次に、本発明における第２の実施の形態に
ついて説明する。図２はスペーサ散布装置の第２の実施
の形態を示す断面図である。図２に示すように、本実施
の形態では、基板１を載置するテーブルの代わりに、コ
ンベア１９などの搬送手段を用いている。このようなコ
ンベア方式を用いることによって、基板１を停止するこ
となく搬送しながら散布処理を実施することができる。
この結果、散布処理時間の大幅な短縮が見込める。
ついて説明する。図２はスペーサ散布装置の第２の実施
の形態を示す断面図である。図２に示すように、本実施
の形態では、基板１を載置するテーブルの代わりに、コ
ンベア１９などの搬送手段を用いている。このようなコ
ンベア方式を用いることによって、基板１を停止するこ
となく搬送しながら散布処理を実施することができる。
この結果、散布処理時間の大幅な短縮が見込める。
【００２７】また、このコンベア方式の場合は、基板１
以外のコンベアベルトにも余剰なスペーサ材が付着し、
次に搬送されてくる処理基板の裏面が汚染されることが
懸念される。そこで、コンベアベルトとして、使い捨て
の樹脂シート２１を巻いたロール２０を準備し、ロール
２０から樹脂シート２１を引き出してコンベアベルトと
して使用する。そして、この樹脂シート２１をチャンバ
ー２の中を一度しか通過しないようにすることによっ
て、基板１の汚染を防止するようにしている。
以外のコンベアベルトにも余剰なスペーサ材が付着し、
次に搬送されてくる処理基板の裏面が汚染されることが
懸念される。そこで、コンベアベルトとして、使い捨て
の樹脂シート２１を巻いたロール２０を準備し、ロール
２０から樹脂シート２１を引き出してコンベアベルトと
して使用する。そして、この樹脂シート２１をチャンバ
ー２の中を一度しか通過しないようにすることによっ
て、基板１の汚染を防止するようにしている。
【００２８】使い捨ての樹脂シート２１としては、例え
ば、ビニールシートをフィルム状にして巻き取るように
すればよい。すなわち、ビニールシートのロール２０を
搬入開口部３側にセットし、ロール２０から引き出した
樹脂シート２１はチャンバー２内をローラー２２で支持
されながら移動し、搬出開口部４側で巻き取るようにす
る。巻き取りが終了したら汚染された樹脂シート２１の
ロールを取り外し、新しいロール２０を搬入開口部３側
にセットする。
ば、ビニールシートをフィルム状にして巻き取るように
すればよい。すなわち、ビニールシートのロール２０を
搬入開口部３側にセットし、ロール２０から引き出した
樹脂シート２１はチャンバー２内をローラー２２で支持
されながら移動し、搬出開口部４側で巻き取るようにす
る。巻き取りが終了したら汚染された樹脂シート２１の
ロールを取り外し、新しいロール２０を搬入開口部３側
にセットする。
【００２９】
【発明の効果】本発明のスペーサ散布装置によれば、第
１の効果として、チャンバー内壁に付着しているスペー
サ材の塊が落下して基板上に付着することを防止できる
ようになったことが上げられる。その理由は、基板の搬
入および搬出用の開口部を塞ぐための機械的なシャッタ
機構を必要としなくなったためである。その結果、シャ
ッタの開閉動作などによって生ずるチャンバー部全体の
振動がなくなり、チャンバー内壁に付着しているスペー
サ材の塊の落下を防止することができる。
１の効果として、チャンバー内壁に付着しているスペー
サ材の塊が落下して基板上に付着することを防止できる
ようになったことが上げられる。その理由は、基板の搬
入および搬出用の開口部を塞ぐための機械的なシャッタ
機構を必要としなくなったためである。その結果、シャ
ッタの開閉動作などによって生ずるチャンバー部全体の
振動がなくなり、チャンバー内壁に付着しているスペー
サ材の塊の落下を防止することができる。
【００３０】また、第２の効果としては、散布処理時間
の短縮が可能になったことが上げられる。その理由は、
従来、必要であったシャッタの開閉動作がなくなったた
め開閉に要した時間がかからなくなり、基板の搬送時間
が短縮された結果、散布処理時間全体を短縮することが
できる。
の短縮が可能になったことが上げられる。その理由は、
従来、必要であったシャッタの開閉動作がなくなったた
め開閉に要した時間がかからなくなり、基板の搬送時間
が短縮された結果、散布処理時間全体を短縮することが
できる。
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す断面図であ
る。
る。
【図２】本発明の第２の実施の形態を示す断面図であ
る。
る。
【図３】従来のスペーサ散布装置の断面図である。
１ 基板 ２ チャンバー ３ 搬入開口部 ４ 搬出開口部 ５ 搬入部シャッタ ６ 搬出部シャッタ ７ テーブル ８ 散布ノズル ９ 駆動装置 １０ 排気ダクト １１ ダンパー １２ スペーサ材 １３ 窒素ガス １４ 混合気体 １５，１６ エアノズル １７，１８ エアカーテン １９ コンベア ２０ ロール ２１ 樹脂シート ２２ ローラー
Claims (9)
- 【請求項１】 液晶基板を搬入するための搬入開口部と
スペーサ散布終了後の液晶基板を搬出するための搬出開
口部を有するチャンバーを備え、チャンバー内に液晶基
板を搬入してスペーサ材の混合気体を散布ノズルから噴
出させ、液晶基板面にスペーサを形成するスペーサ散布
装置において、前記液晶基板の搬入開口部と搬出開口部
とのそれぞれにエアカーテンを形成し、このエアカーテ
ンによりチャンバー内部の雰囲気を遮断することを特徴
とするスペーサ散布装置。 - 【請求項２】 前記搬入開口部と搬出開口部のそれぞれ
にエアノズルを設置し、このエアノズルからエアを吹き
出してエアカーテンを形成することを特徴とする請求項
１記載のスペーサ散布装置。 - 【請求項３】 前記エアカーテンは、前記それぞれの開
口部の上部から下部へ向かうダウンフローで形成されて
いることを特徴とする請求項１記載のスペーサ散布装
置。 - 【請求項４】 前記エアノズルは、それぞれの開口部の
上部で、かつチャンバー壁の外側に取り付けられている
ことを特徴とする請求項２記載のスペーサ散布装置。 - 【請求項５】 前記エアノズルは、エアカーテンがそれ
ぞれの開口部の内側下方に向くように、垂直方向に対し
傾けて取り付けられていることを特徴とする請求項２記
載のスペーサ散布装置。 - 【請求項６】 前記チャンバーへの液晶基板の搬入およ
び搬出をコンベアで行なうことを特徴とする請求項１記
載のスペーサ散布装置。 - 【請求項７】 前記液晶基板を停止させることなくコン
ベアで搬送しながらスペーサ散布を行なうことを特徴と
する請求項６記載のスペーサ散布装置。 - 【請求項８】 前記コンベアのベルト材に樹脂シートを
使用し、散布済み液晶基板を搬出した後ロール状に巻き
取ることを特徴とする請求項６記載のスペーサ散布装
置。 - 【請求項９】 前記樹脂シートは、チャンバー内を１回
通過させるだけの使い捨てであることを特徴とする請求
項８記載のスペーサ散布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30559599A JP3389173B2 (ja) | 1999-10-27 | 1999-10-27 | スペーサ散布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30559599A JP3389173B2 (ja) | 1999-10-27 | 1999-10-27 | スペーサ散布装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001125109A true JP2001125109A (ja) | 2001-05-11 |
| JP3389173B2 JP3389173B2 (ja) | 2003-03-24 |
Family
ID=17947045
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30559599A Expired - Fee Related JP3389173B2 (ja) | 1999-10-27 | 1999-10-27 | スペーサ散布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3389173B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030051012A (ko) * | 2001-12-20 | 2003-06-25 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 스페이서 산포장치 |
| JP2011180175A (ja) * | 2010-02-26 | 2011-09-15 | Fujitsu Frontech Ltd | スペーサ散布装置、スペーサ散布方法及び液晶パネルの製造方法 |
-
1999
- 1999-10-27 JP JP30559599A patent/JP3389173B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030051012A (ko) * | 2001-12-20 | 2003-06-25 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 스페이서 산포장치 |
| JP2011180175A (ja) * | 2010-02-26 | 2011-09-15 | Fujitsu Frontech Ltd | スペーサ散布装置、スペーサ散布方法及び液晶パネルの製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3389173B2 (ja) | 2003-03-24 |
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