JP2001116645A - 抵抗変化型真空度測定装置 - Google Patents
抵抗変化型真空度測定装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】高真空度においても機能する抵抗変化型真空度
測定装置を提供すること。 【解決手段】抵抗変化型真空度測定装置１０は感熱抵抗
から成る感知抵抗ＲSを雰囲気に配置して真空度を測定
する。感知抵抗ＲS、第１の抵抗Ｒ1、第２の抵抗Ｒ2、
第３の抵抗Ｒ3をこの順につないで閉じた回路とし、第
１の抵抗Ｒ1と第２の抵抗Ｒ2との接続点と、第３の抵抗
Ｒ3と感知抵抗ＲSとの接続点との間に定圧電位ＶBをか
ける。感知抵抗ＲSと第１の抵抗Ｒ1との接続点の電位Ｖ
Sと、第２の抵抗Ｒ2と第３の抵抗Ｒ3との接続点の電位
Ｖ3との電位差が０となるよう、第１の抵抗Ｒ1と感知抵
抗Ｒsとの接続点に、制御回路ＣＣ０から電流ＩXを流す
ものとする。ＶBを適切に設定することで、制御回路Ｃ
Ｃ０から流す電流ＩXの変化を大きくすることができ
る。
測定装置を提供すること。 【解決手段】抵抗変化型真空度測定装置１０は感熱抵抗
から成る感知抵抗ＲSを雰囲気に配置して真空度を測定
する。感知抵抗ＲS、第１の抵抗Ｒ1、第２の抵抗Ｒ2、
第３の抵抗Ｒ3をこの順につないで閉じた回路とし、第
１の抵抗Ｒ1と第２の抵抗Ｒ2との接続点と、第３の抵抗
Ｒ3と感知抵抗ＲSとの接続点との間に定圧電位ＶBをか
ける。感知抵抗ＲSと第１の抵抗Ｒ1との接続点の電位Ｖ
Sと、第２の抵抗Ｒ2と第３の抵抗Ｒ3との接続点の電位
Ｖ3との電位差が０となるよう、第１の抵抗Ｒ1と感知抵
抗Ｒsとの接続点に、制御回路ＣＣ０から電流ＩXを流す
ものとする。ＶBを適切に設定することで、制御回路Ｃ
Ｃ０から流す電流ＩXの変化を大きくすることができ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、抵抗変化型熱セン
サを利用した真空度測定装置に関する。尚、本明細書で
は通常、抵抗体などと称すべきところを抵抗と記載し、
抵抗の大きさを抵抗値と記載する。同様に電流の大きさ
を電流値と記載する。
サを利用した真空度測定装置に関する。尚、本明細書で
は通常、抵抗体などと称すべきところを抵抗と記載し、
抵抗の大きさを抵抗値と記載する。同様に電流の大きさ
を電流値と記載する。
【０００２】
【従来の技術】図５は、マイクロマシニング技術により
作成される抵抗変化型熱センサである。シリコン基板９
０に、空洞部９１を設けて酸化珪素の絶縁膜９２を形成
する。酸化珪素の絶縁膜９２には窓部９３を設け、空洞
部９１と外気を通じておく。この酸化珪素の絶縁膜９２
上に金属から成る細線部９４と電極部９５及び９６を形
成して、細線部９４を熱による可変抵抗とする。この熱
センサは、その温度変化により抵抗値が変化することを
利用し、真空中において赤外線の検出センサとして利用
されている。また、逆に、雰囲気の真空度により、ある
抵抗値を示すよう一定温度を保つための必要な電力が変
化することを利用し、真空度測定にも利用されている。
作成される抵抗変化型熱センサである。シリコン基板９
０に、空洞部９１を設けて酸化珪素の絶縁膜９２を形成
する。酸化珪素の絶縁膜９２には窓部９３を設け、空洞
部９１と外気を通じておく。この酸化珪素の絶縁膜９２
上に金属から成る細線部９４と電極部９５及び９６を形
成して、細線部９４を熱による可変抵抗とする。この熱
センサは、その温度変化により抵抗値が変化することを
利用し、真空中において赤外線の検出センサとして利用
されている。また、逆に、雰囲気の真空度により、ある
抵抗値を示すよう一定温度を保つための必要な電力が変
化することを利用し、真空度測定にも利用されている。
【０００３】図６は、抵抗変化型の感知抵抗ＲSを用い
た、真空度測定装置９９の回路図である。３個の抵抗Ｒ
1、Ｒ2、Ｒ3と感知抵抗ＲSをこの順につないで閉じた回
路とし、抵抗Ｒ3と感知抵抗ＲSの接続点を接地する。次
に抵抗Ｒ2と抵抗Ｒ3の接続点と、抵抗Ｒ1と感知抵抗ＲS
の接続点との間の電位差が０となるよう、制御回路ＣＶ
により抵抗Ｒ1と抵抗Ｒ2との接続点に電圧をかける。こ
のような感知抵抗ＲSを既知真空度の雰囲気下におき、
制御回路ＣＶの出力電圧Ｖ0から雰囲気の真空度を測定
するというものである。
た、真空度測定装置９９の回路図である。３個の抵抗Ｒ
1、Ｒ2、Ｒ3と感知抵抗ＲSをこの順につないで閉じた回
路とし、抵抗Ｒ3と感知抵抗ＲSの接続点を接地する。次
に抵抗Ｒ2と抵抗Ｒ3の接続点と、抵抗Ｒ1と感知抵抗ＲS
の接続点との間の電位差が０となるよう、制御回路ＣＶ
により抵抗Ｒ1と抵抗Ｒ2との接続点に電圧をかける。こ
のような感知抵抗ＲSを既知真空度の雰囲気下におき、
制御回路ＣＶの出力電圧Ｖ0から雰囲気の真空度を測定
するというものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが上記回路によ
る真空度測定装置９９では、高真空雰囲気では、出力電
圧Ｖ0の変化が小さく、正確な真空度が測定できないと
いう問題があった。このことについて、真空度と抵抗値
の変化について更に詳しく考察する。
る真空度測定装置９９では、高真空雰囲気では、出力電
圧Ｖ0の変化が小さく、正確な真空度が測定できないと
いう問題があった。このことについて、真空度と抵抗値
の変化について更に詳しく考察する。
【０００５】図７は、図６で述べた抵抗変化型の感知抵
抗ＲSについて、供給される電力1W当たりの抵抗値の変
化率（抵抗感度）ＳSを示したものである。抵抗感度ＳS
は室温での初期抵抗値をＲ0、供給される電力をＰS、そ
のときの抵抗値をＲ0＋ΔＲとして、次の式（１）で示
されるものである。
抗ＲSについて、供給される電力1W当たりの抵抗値の変
化率（抵抗感度）ＳSを示したものである。抵抗感度ＳS
は室温での初期抵抗値をＲ0、供給される電力をＰS、そ
のときの抵抗値をＲ0＋ΔＲとして、次の式（１）で示
されるものである。
【数１】
【０００６】図７から、真空度が0.1torrを下回ると、
抵抗感度ＳSの変化が小さいことがわかる。ここで、図
６の真空度測定装置９９においてＲ1＝Ｒ2とし、ＲS＝
Ｒ3となるときの電圧Ｖ0を求めると、次の通りである。
抵抗感度ＳSの変化が小さいことがわかる。ここで、図
６の真空度測定装置９９においてＲ1＝Ｒ2とし、ＲS＝
Ｒ3となるときの電圧Ｖ0を求めると、次の通りである。
【数２】
【０００７】式（２）のように、出力電圧Ｖ0は抵抗感
度ＳSに依存するので、抵抗感度ＳSの変化が小さい領域
では出力電圧Ｖ0の変化が小さく、真空度測定が困難で
あることが予想できる。実際、図７のような抵抗感度Ｓ
Sを有する感知抵抗ＲSについて、真空度(torr)と出力電
圧Ｖ0(V)との関係を求めたものを図８に示す。ただし、
Ｒ1＝Ｒ2＝Ｒ3＝10kΩ、Ｒ0＝7kΩとした。
度ＳSに依存するので、抵抗感度ＳSの変化が小さい領域
では出力電圧Ｖ0の変化が小さく、真空度測定が困難で
あることが予想できる。実際、図７のような抵抗感度Ｓ
Sを有する感知抵抗ＲSについて、真空度(torr)と出力電
圧Ｖ0(V)との関係を求めたものを図８に示す。ただし、
Ｒ1＝Ｒ2＝Ｒ3＝10kΩ、Ｒ0＝7kΩとした。
【０００８】本発明は上記の課題を解決するためになさ
れたものであり、その目的は、高真空度においても機能
する抵抗変化型真空度測定装置を提供することである。
れたものであり、その目的は、高真空度においても機能
する抵抗変化型真空度測定装置を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項１に記載の発明によれば、雰囲気中に置かれ
た感知抵抗を用い、その抵抗値の変化から雰囲気の真空
度を測定する抵抗変化型真空度測定装置において、第１
の抵抗と、感知抵抗とを直列接続して定圧電位をかけ、
感知抵抗と第１の抵抗との接続点に電流を流す制御回路
を有し、感知抵抗での電圧降下がある一定値になるとき
の制御回路から接続点に流れる電流値から感知抵抗の置
かれた雰囲気の真空度を求めることを特徴とする。
め、請求項１に記載の発明によれば、雰囲気中に置かれ
た感知抵抗を用い、その抵抗値の変化から雰囲気の真空
度を測定する抵抗変化型真空度測定装置において、第１
の抵抗と、感知抵抗とを直列接続して定圧電位をかけ、
感知抵抗と第１の抵抗との接続点に電流を流す制御回路
を有し、感知抵抗での電圧降下がある一定値になるとき
の制御回路から接続点に流れる電流値から感知抵抗の置
かれた雰囲気の真空度を求めることを特徴とする。
【００１０】また、請求項２に記載の手段によれば、雰
囲気中に置かれた感知抵抗を用い、その抵抗値の変化か
ら雰囲気の真空度を測定する抵抗変化型真空度測定装置
において、感知抵抗と、第１の抵抗と、第２の抵抗と、
第３の抵抗とをこの順につないで閉じた回路とし、第１
の抵抗と第２の抵抗との接続点と、第３の抵抗と感知抵
抗との接続点との間に定圧電位をかけ、感知抵抗と第１
の抵抗との接続点と、第２の抵抗と第３の抵抗との接続
点との間の電位差を０とするよう、感知抵抗と第１の抵
抗との接続点に電流を流す制御回路を有し、その電流値
から感知抵抗の置かれた雰囲気の真空度を求めることを
特徴とする。
囲気中に置かれた感知抵抗を用い、その抵抗値の変化か
ら雰囲気の真空度を測定する抵抗変化型真空度測定装置
において、感知抵抗と、第１の抵抗と、第２の抵抗と、
第３の抵抗とをこの順につないで閉じた回路とし、第１
の抵抗と第２の抵抗との接続点と、第３の抵抗と感知抵
抗との接続点との間に定圧電位をかけ、感知抵抗と第１
の抵抗との接続点と、第２の抵抗と第３の抵抗との接続
点との間の電位差を０とするよう、感知抵抗と第１の抵
抗との接続点に電流を流す制御回路を有し、その電流値
から感知抵抗の置かれた雰囲気の真空度を求めることを
特徴とする。
【００１１】更に請求項３に記載の手段によれば、請求
項１又は請求項２に記載の抵抗変化型真空度測定装置に
おいて、制御回路はカレントミラー回路を内包すること
を特徴とする。
項１又は請求項２に記載の抵抗変化型真空度測定装置に
おいて、制御回路はカレントミラー回路を内包すること
を特徴とする。
【００１２】
【作用及び発明の効果】本発明の概略を図１に示す。図
１（ａ）は請求項１の発明、図１（ｂ）は請求項２の発
明を説明するための概念図である。図１（ａ）の装置１
１において、第１の抵抗Ｒ1と感知抵抗Ｒsを直列につな
いで定圧電位ＶBをかける。第１の抵抗Ｒ1と感知抵抗Ｒ
sとの接続点に、制御回路ＣＣ１から電流ＩXを流すもの
とする。電流ＩXは感知抵抗Ｒsでの電圧降下がある一定
値ＶSになるよう、制御回路ＣＣ１から供給される。す
ると、次の式（３−１）、（３−２）、（３−３）、
（３−４）が成り立つ。尚、Ｒ0は感知抵抗Ｒsの初期抵
抗値、ＰSは感知抵抗Ｒsに供給される電力、Ｉ1は第１
の抵抗Ｒ1を流れる電流である。
１（ａ）は請求項１の発明、図１（ｂ）は請求項２の発
明を説明するための概念図である。図１（ａ）の装置１
１において、第１の抵抗Ｒ1と感知抵抗Ｒsを直列につな
いで定圧電位ＶBをかける。第１の抵抗Ｒ1と感知抵抗Ｒ
sとの接続点に、制御回路ＣＣ１から電流ＩXを流すもの
とする。電流ＩXは感知抵抗Ｒsでの電圧降下がある一定
値ＶSになるよう、制御回路ＣＣ１から供給される。す
ると、次の式（３−１）、（３−２）、（３−３）、
（３−４）が成り立つ。尚、Ｒ0は感知抵抗Ｒsの初期抵
抗値、ＰSは感知抵抗Ｒsに供給される電力、Ｉ1は第１
の抵抗Ｒ1を流れる電流である。
【数３】
【００１３】式（３−１）、（３−２）からＲsを求め
れば次の通りである。
れば次の通りである。
【数４】
【００１４】式（３−３）、（３−４）、（４）からＲ
s、Ｉ1を消去すると、ＩXを次の通り求めることができ
る。
s、Ｉ1を消去すると、ＩXを次の通り求めることができ
る。
【数５】
【００１５】式（２）の根号部分と式（５）を比較する
と、式（５）においてＶB、ＶSを適切に設定すること
で、制御回路ＣＣ１から流す電流ＩXの変化を大きくす
ることができることがわかる。
と、式（５）においてＶB、ＶSを適切に設定すること
で、制御回路ＣＣ１から流す電流ＩXの変化を大きくす
ることができることがわかる。
【００１６】全く同様に、図１（ｂ）の装置１２でＩX
を求める。感知抵抗ＲS、第１の抵抗Ｒ1、第２の抵抗Ｒ
2、第３の抵抗Ｒ3をこの順につないで閉じた回路とし、
第１の抵抗Ｒ1と第２の抵抗Ｒ2との接続点と、第３の抵
抗Ｒ3と感知抵抗ＲSとの接続点との間に定圧電位ＶBを
かける。感知抵抗ＲSと第１の抵抗Ｒ1との接続点の電位
ＶSと、第２の抵抗Ｒ2と第３の抵抗Ｒ3との接続点の電
位Ｖ3との電位差が０となるよう、第１の抵抗Ｒ1と感知
抵抗Ｒsとの接続点に、制御回路ＣＣ２から電流ＩXを流
すものとする。図１の（ａ）の装置１１と全く同様にし
て電流ＩXは次のように求められる。
を求める。感知抵抗ＲS、第１の抵抗Ｒ1、第２の抵抗Ｒ
2、第３の抵抗Ｒ3をこの順につないで閉じた回路とし、
第１の抵抗Ｒ1と第２の抵抗Ｒ2との接続点と、第３の抵
抗Ｒ3と感知抵抗ＲSとの接続点との間に定圧電位ＶBを
かける。感知抵抗ＲSと第１の抵抗Ｒ1との接続点の電位
ＶSと、第２の抵抗Ｒ2と第３の抵抗Ｒ3との接続点の電
位Ｖ3との電位差が０となるよう、第１の抵抗Ｒ1と感知
抵抗Ｒsとの接続点に、制御回路ＣＣ２から電流ＩXを流
すものとする。図１の（ａ）の装置１１と全く同様にし
て電流ＩXは次のように求められる。
【数６】
【００１７】式（６−１）、（６−２）においてＶB、
Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3を適切に設定することで、制御回路ＣＣ
２から流す電流ＩXの変化を大きくすることができるこ
とがわかる。
Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3を適切に設定することで、制御回路ＣＣ
２から流す電流ＩXの変化を大きくすることができるこ
とがわかる。
【００１８】上記のような構成において、カレントミラ
ー回路を加えれば、適当な抵抗を設置することで真空度
を電圧として求めることができる。
ー回路を加えれば、適当な抵抗を設置することで真空度
を電圧として求めることができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の具体的な実施例
を示す。尚、本発明は下記実施例に限定されるものでは
ない。
を示す。尚、本発明は下記実施例に限定されるものでは
ない。
【００２０】図２に、本発明の具体的な一実施例にかか
る真空度測定装置１０の回路を示す。感知抵抗ＲS、第
１の抵抗Ｒ1、第２の抵抗Ｒ2、第３の抵抗Ｒ3をこの順
につないで閉じた回路とし、第１の抵抗Ｒ1と第２の抵
抗Ｒ2との接続点と、第３の抵抗Ｒ3と感知抵抗ＲSとの
接続点との間に定圧電位ＶBをかける。感知抵抗ＲSと第
１の抵抗Ｒ1との接続点の電位ＶSと、第２の抵抗Ｒ2と
第３の抵抗Ｒ3との接続点の電位Ｖ3との電位差が０とな
るよう、第１の抵抗Ｒ1と感知抵抗Ｒsとの接続点に、制
御回路ＣＣ０から電流ＩXを流すものとする。制御回路
ＣＣ０の出力は２つのトランジスタＱ１、Ｑ２から成る
カレントミラー回路に供給され、一方は第１の抵抗Ｒ1
と感知抵抗Ｒsとの接続点に電流ＩXを出力し、もう一方
は抵抗ＲLに供給される。抵抗ＲLの他端は第３の抵抗Ｒ
3と感知抵抗ＲSとの接続点に接続される。
る真空度測定装置１０の回路を示す。感知抵抗ＲS、第
１の抵抗Ｒ1、第２の抵抗Ｒ2、第３の抵抗Ｒ3をこの順
につないで閉じた回路とし、第１の抵抗Ｒ1と第２の抵
抗Ｒ2との接続点と、第３の抵抗Ｒ3と感知抵抗ＲSとの
接続点との間に定圧電位ＶBをかける。感知抵抗ＲSと第
１の抵抗Ｒ1との接続点の電位ＶSと、第２の抵抗Ｒ2と
第３の抵抗Ｒ3との接続点の電位Ｖ3との電位差が０とな
るよう、第１の抵抗Ｒ1と感知抵抗Ｒsとの接続点に、制
御回路ＣＣ０から電流ＩXを流すものとする。制御回路
ＣＣ０の出力は２つのトランジスタＱ１、Ｑ２から成る
カレントミラー回路に供給され、一方は第１の抵抗Ｒ1
と感知抵抗Ｒsとの接続点に電流ＩXを出力し、もう一方
は抵抗ＲLに供給される。抵抗ＲLの他端は第３の抵抗Ｒ
3と感知抵抗ＲSとの接続点に接続される。
【００２１】このような真空度測定装置１０の作用はま
さに上述の通りである。式（４）において、ＳSは図７
に従い、Ｒ1＝Ｒ2＝Ｒ3＝10kΩ、Ｒ0＝7kΩ、ＶB＝2.7
V、ＲL＝300kΩとして求めた真空度と出力電圧Ｖ0＝ＩX
ＲLとの関係を図３に示す。本発明の真空度測定装置は1
0torr以下で極めて精度良く真空度を測定できることが
わかる。
さに上述の通りである。式（４）において、ＳSは図７
に従い、Ｒ1＝Ｒ2＝Ｒ3＝10kΩ、Ｒ0＝7kΩ、ＶB＝2.7
V、ＲL＝300kΩとして求めた真空度と出力電圧Ｖ0＝ＩX
ＲLとの関係を図３に示す。本発明の真空度測定装置は1
0torr以下で極めて精度良く真空度を測定できることが
わかる。
【００２２】また、図４に真空度測定装置１０の、定圧
電位ＶBを変化させたときの、真空度と出力電圧Ｖ0との
実測値と式（６−１）、（６−２）による計算値の比較
を示す。本真空度測定装置は真空度を極めて精度良く測
定できることがわかる。
電位ＶBを変化させたときの、真空度と出力電圧Ｖ0との
実測値と式（６−１）、（６−２）による計算値の比較
を示す。本真空度測定装置は真空度を極めて精度良く測
定できることがわかる。
【図１】本発明の２つの請求項の発明の構成を示す概念
図。
図。
【図２】本発明の具体的な一実施例に係る真空度測定装
置の回路構成を示すブロック図。
置の回路構成を示すブロック図。
【図３】本発明の具体的な実施例に係る真空度測定装置
の真空度と出力電圧の関係を示すグラフ図。
の真空度と出力電圧の関係を示すグラフ図。
【図４】本発明の具体的な実施例に係る真空度測定装置
の真空度と出力電圧の計算値と実測値を示すグラフ図。
の真空度と出力電圧の計算値と実測値を示すグラフ図。
【図５】本発明に用いられる感知抵抗の構造の一例を示
す平面図と断面図。
す平面図と断面図。
【図６】従来の真空度測定装置の回路構成を示すブロッ
ク図。
ク図。
【図７】感知抵抗の真空度と抵抗感度の関係の一例を示
すグラフ図。
すグラフ図。
【図８】従来の真空度測定装置の真空度と出力電圧の関
係を示すグラフ図。
係を示すグラフ図。
Ｒs 感知抵抗（可変抵抗） Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、ＲL 抵抗（固定抵抗） ＶB 定圧電源 ＩX 制御装置から供給される電流（可変電流）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤塚 徳夫 愛知県愛知郡長久手町大字長湫字横道41番 地の１ 株式会社豊田中央研究所内 (72)発明者 船橋 博文 愛知県愛知郡長久手町大字長湫字横道41番 地の１ 株式会社豊田中央研究所内 (72)発明者 坂田 二郎 愛知県愛知郡長久手町大字長湫字横道41番 地の１ 株式会社豊田中央研究所内 Ｆターム(参考） 2F055 AA40 BB08 CC43 DD20 EE12 FF07 FF11 GG31
Claims (3)
- 【請求項１】 雰囲気中に置かれた感知抵抗を用い、そ
の抵抗値の変化から雰囲気の真空度を測定する抵抗変化
型真空度測定装置において、 第１の抵抗と、前記感知抵抗とを直列接続して定圧電位
をかけ、 前記感知抵抗と前記第１の抵抗との接続点に電流を流す
制御回路を有し、 前記感知抵抗での電圧降下がある一定値になるときの前
記制御回路から前記接続点に流れる電流値から前記感知
抵抗の置かれた雰囲気の真空度を求めることを特徴とす
る抵抗変化型真空度測定装置。 - 【請求項２】 雰囲気中に置かれた感知抵抗を用い、そ
の抵抗値の変化から雰囲気の真空度を測定する抵抗変化
型真空度測定装置において、 前記感知抵抗と、第１の抵抗と、第２の抵抗と、第３の
抵抗とをこの順につないで閉じた回路とし、 前記第１の抵抗と前記第２の抵抗との接続点と、前記第
３の抵抗と前記感知抵抗との接続点との間に定圧電位を
かけ、 前記感知抵抗と前記第１の抵抗との接続点と、前記第２
の抵抗と前記第３の抵抗との接続点との間の電位差を０
とするよう、前記感知抵抗と前記第１の抵抗との接続点
に電流を流す制御回路を有し、 その電流値から前記感知抵抗の置かれた雰囲気の真空度
を求めることを特徴とする抵抗変化型真空度測定装置。 - 【請求項３】 前記制御回路からの電流はカレントミラ
ー回路を通して前記感知抵抗と前記第１の抵抗との接続
点に供給されることを特徴とする請求項１又は請求項２
に記載の抵抗変化型真空度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29741499A JP2001116645A (ja) | 1999-10-19 | 1999-10-19 | 抵抗変化型真空度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29741499A JP2001116645A (ja) | 1999-10-19 | 1999-10-19 | 抵抗変化型真空度測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001116645A true JP2001116645A (ja) | 2001-04-27 |
Family
ID=17846207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29741499A Pending JP2001116645A (ja) | 1999-10-19 | 1999-10-19 | 抵抗変化型真空度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001116645A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010199486A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Seiko Instruments Inc | 真空度検査デバイス及びその製造方法 |
-
1999
- 1999-10-19 JP JP29741499A patent/JP2001116645A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010199486A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Seiko Instruments Inc | 真空度検査デバイス及びその製造方法 |
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